KR101253913B1 - 다중 빔 헤드를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법 - Google Patents

다중 빔 헤드를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법 Download PDF

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Abstract

다중 빔 헤드를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법이 제공된다. 다중 빔 헤드를 가지는 레이저 초음파 장치는, 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 레이저 광원과, 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 피검사체의 표면에 조사하는 제2 레이저 광원과, 제1 레이저 광원에 의한 제1 레이저 빔 및 제2 레이저 광원에 의한 제2 레이저 빔을 피검사체 표면으로 유도하며, 피검사체에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 획득하는 광학부와, 광학부에 위해 획득된 반사된 제2 레이저 빔에 기초하여, 초음파의 진동으로 발생되는 획득된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 단일의 레이저 간섭계와, 단일의 레이저 간섭계로부터 출력되는 간섭광의 강도를 전기적인 신호로 변환하는 광 검출부를 포함하며, 광학부는 피검사체의 폭방향으로 배치된 적어도 2 이상의 빔 헤드들을 포함하여 구성된다. 이를 통해 피검사체가 고속으로 이송중인 경우에도 폭 방향의 재질분포 등을 정확하게 측정할 수 있으며, 다수의 레이저 간섭계를 사용하는 경우에 비해 재질분포 등을 측정하는데 발생하는 오차를 줄일 수 있다.

Description

다중 빔 헤드를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법{LASER ULTRASONIC APPARATUS HAVING MULTIPLE BEAM HEAD AND METHOD OF PROCESSING SIGNAL USING THEREOF}
본 발명은 레이저 초음파 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다중 빔 헤드를 가지는 레이저 초음파 장치에 관한 것이다.
일반적으로 철강 제품의 재질은 코일의 길이방향에 따른 변동량뿐만 아니라 폭 방향의 변동량도 매우 중요하다. 특히 후공정에서의 가공을 고려하면, 인장 강도, 항복 강도, 연신율, 소성 이방성, 잔류 응력 등의 재질분포 등을 폭 방향으로 측정할 수 있으면 좋다. 하지만, 종래 철강 제품의 재질분포 등은 주로 파괴적 방법을 통해 측정되고 있기 때문에, 폭 방향의 재질분포 등을 측정하는 것을 일반적으로 불가능하다.
종래 철강 제품의 폭 방향 재질분포 등을 측정하는 방법으로, 자기장을 이용한 비접촉, 비파괴적 방법이 있다. 하지만, 이 방법은 소재와 자기 센서와의 거리를 근접하게 유지하여야 하므로, 소재와 자기 센서와의 충돌 가능성이 있다는 단점이 있다.
철강 제품의 폭 방향 재질분포 등을 측정하는 다른 방법으로, 레이저 초음파 기술을 이용한 방법이 있다. 하지만, 이 방법은 일반적으로 하나의 광학계를 소재의 폭 방향으로 이동시키며 재질분포 등을 측정하여야 하기 때문에, 이송중인 소재의 길이 방향으로 동일한 지점을 측정할 수 없으며, 따라서 소재의 이송 속도가 빨라질수록 폭 방향 재질분포 등이 부정확하게 측정될 수 있다는 문제점이 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 피검사체가 고속으로 이송중인 경우에도 폭 방향의 재질분포 등을 정확하게 측정할 수 있는 다중 빔 헤드를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 다른 실시 형태에 의하면, 다수의 레이저 간섭계를 사용하는 경우에 비해 재질분포 등을 측정하는데 발생하는 오차를 줄일 수 있는 다중 빔 헤드를 가지는 레이저 초음파 장치 및 이를 이용한 신호 처리 방법을 제공한다.
본 발명의 제1 실시 형태에 의하면,
제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 레이저 광원;
상기 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 상기 피검사체의 표면에 조사하는 제2 레이저 광원;
상기 제1 레이저 광원에 의한 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 광원에 의한 제2 레이저 빔을 피검사체 표면으로 유도하며, 상기 피검사체에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 획득하는 광학부;
상기 광학부에 위해 획득된 상기 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 단일의 레이저 간섭계; 및
상기 단일의 레이저 간섭계로부터 출력되는 간섭광의 강도를 전기적인 신호로 변환하는 광 검출부를 포함하며,
상기 광학부는,
상기 피검사체의 폭방향으로 배치된 다중 빔 헤드들을 가지는 레이저 초음파 장치를 제공한다.
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본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 다중 빔 헤드들에 의해 획득된 상기 반사된 제2 레이저 빔에 의한 간섭광은,
상기 단일의 레이저 간섭계의 동일 원주상에 입사되는 2 이상의 빔 헤드들을 포함 할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 간섭광을 구성하는 반사 간섭광 및 투과 간섭광은,
상기 단일의 레이저 간섭계의 동일 원주상의 대향하는 위치에 입사될 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 광 검출부는,
상기 간섭광을 구성하는 투과광과 반사광의 차분을 취함으로써, 신호대잡음비를 증가시킬 수 있다.
본 발명의 제2 실시 형태에 의하면,
제1 레이저 광원에서, 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 단계;
제2 레이저 광원에서, 상기 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 상기 피검사체의 표면에 조사하는 단계;
광학부에서, 상기 제1 레이저 광원에 의한 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 광원에 의한 제2 레이저 빔을 피검사체 표면으로 유도하며, 상기 피검사체에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 획득하는 단계;
단일의 레이저 간섭계에서, 상기 광학부에 위해 획득된 상기 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 단계; 및
광 검출부에서, 상기 단일의 레이저 간섭계로부터 출력되는 간섭광의 강도를 전기적인 신호로 변환하는 단계를 포함하며,
상기 광학부는,
상기 피검사체의 폭방향으로 배치된 다중 빔 헤드들을 가지는 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법을 제공한다.
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본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 다중 빔 헤드들에 의해 획득된 상기 반사된 제2 레이저 빔에 의한 간섭광은,
상기 단일의 레이저 간섭계의 동일 원주상에 입사되는 2 이상의 빔 헤드들을 포함 할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 간섭광을 구성하는 반사 간섭광 및 투과 간섭광은,
상기 단일의 레이저 간섭계의 동일 원주상의 대향하는 위치에 입사되는 다중 빔 헤드를 가질 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 광 검출부는,
상기 간섭광을 구성하는 투과광과 반사광의 차분을 취함으로써, 신호대잡음비를 증가시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 이송중인 피검사체의 폭 방향으로 다중 빔 헤드가 배치되도록 함으로써, 피검사체가 고속으로 이송중인 경우에도 폭 방향의 재질분포 등을 정확하게 측정할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시 형태에 의하면, 단일의 레이저 간섭계를 이용하기 때문에, 다수의 레이저 간섭계를 사용하는 경우에 비해 재질분포 등을 측정하는데 발생하는 오차를 줄일 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 초음파 장치의 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 빔 헤드의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 간섭계의 동일 원주상에 입사되는 반사광과 투과광을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법을 설명하는 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나 본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 초음파 장치의 전체 구성도이다. 한편, 도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 빔 헤드의 구성도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 간섭계의 동일 원주상에 입사되는 반사광과 투과광을 도시한 도면이다.
우선, 도 1의 실시예에 따른 레이저 초음파 장치는 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체(S)의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 레이저 광원(100)과, 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 피검사체(S)의 표면에 조사하는 제2 레이저 광원(101)과, 제1 레이저 광원(100)에 의한 제1 레이저 빔 및 제2 레이저 광원(101)에 의한 제2 레이저 빔을 피검사체(S) 표면으로 유도하며, 피검사체(S)에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 획득하는 광학부(120 내지 123)와, 광학부(120 내지 123)에 위해 획득된 반사된 제2 레이저 빔에 기초하여, 초음파의 진동으로 발생되는 획득된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 단일의 레이저 간섭계(140)와, 레이저 간섭계(140)로부터 출력되는 간섭광의 강도를 전기적인 신호로 변환하는 광 검출부(160)를 포함하며, 광학부(160)는 피검사체(S)의 폭방향으로 배치된 적어도 2 이상의 빔 헤드들(120 내지 123)을 포함하여 구성될 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 초음파 장치를 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1 레이저 광원(100)은 피검사체(S)의 표면에서 초음파를 여기시키기 위한 레이저로, 예를 들면 야그(YAG) 레이저나 이산화탄소(CO2) 등 고에너지 펄스 레이저가 사용될 수 있다. 제1 레이저 광원(100)에서 발생된 레이저는 광학부(120 내지 123)로 전달될 수 있다. 이후 펄스 레이저인 제1 레이저 빔(B1)에 의한 융발 효과(ablation effect)나 열탄성 효과(thermo-elastic effect)에 의해 피검출체(S)로부터 초음파가 발생될 수 있다.
제2 레이저 광원(101)은 제1 레이저 광원(100)으로부터의 제1 레이저 빔(B1)의 조사에 의해 피검사체(S)의 표면에서 발생하여 피검사체(S) 내를 전파해 온 초음파를 검출하기 위한 레이저이다. 제2 레이저 광원(101)은 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔(B2)을 피검사체(S)의 표면에 조사한다. 이러한 제2 레이저 광원(101)은 단일 주파수의 연속 레이저 빔을 발생하는 것을 이용할 수 있다.
광학부(120 내지 123)는, 예를 들면 도 2에 도시된 바와 같이, 입사된 레이저를 전반사하는 복수 개의 거울(120a, 120b, 120c, 120d) 및 입사된 레이저를 집광시키는 렌즈(120e)를 포함한다. 거울(120a, 120b) 및 렌즈(120e)를 통해서는 제1 레이저 빔(B1)이 피검사체(S)의 표면에 조사되도록 유도되며, 거울(120c, 120d)을 통해서는 제2 레이저 빔(RL)이 피검사체(S)의 표면에 조사되도록 유도된다. 이후 피검사체(S)에 의해 반사된 제2 레이저 빔(RL)을 획득한다. 획득된 제2 레이저 빔(RL)은 빔평행기(collimator)(102)로 전달된다. 한편, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 광학부(120 내지 123)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 빔 헤드들(120 내지 123)을 포함하도록 구성되며, 다수의 빔 헤드들(120 내지 123)은 피검사체(S)의 폭방향으로 배치된다. 이와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 피검사체(S)의 폭 방향으로 다수의 빔 헤드(120 내지 123)가 배치되도록 함으로써, 피검사체(S)가 고속으로 이송(D1 방향)중인 경우에도 폭 방향(D2)의 재질분포 등을 정확하게 측정할 수 있는 기술적 효과가 있다.
빔평행기(collimator)(102)는 광학부(120 내지 123)의 각 빔 헤드들로부터 전달받은 제2 레이저 빔(RL)을 평행광으로 변환하며, 변환된 평행광은 편광빔분할기(Polarizing Beam Splitter, PBS)(130)로 입사된다.
편광빔분할기(Polarizing Beam Splitter, PBS)(130)는 빔평행기(collimator)(102)로부터 입사된 제2 레이저 빔(RL)을 레이저 간섭계(140)로 투과시킴과 동시에 레이저 간섭계(140)로부터 입사되는 간섭광을 렌즈(150)로 반사한다.
레이저 간섭계(140)는 편광빔분할기(130)를 통해 입사된 제2 레이저 빔(RL)에 기초하여, 초음파의 진동으로 발생되는 획득된 제2 레이저 빔(RL)의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 파브리-페롯 간섭계(pabry-perot interferometer)일 수 있다. 이러한 레이저 간섭계(140)는 소정의 투과율을 가지며 일정한 거리를 가지고 대향하여 배치된 2개의 반사 미러(142a, 142b)와, 반사 미러(142a, 142b)간의 거리를 조절하는 액츄에이터(141)를 포함하여 구성되어, 제2 레이저 빔(RL)의 주파수 변화를 간섭광(반사 간섭광과 투과 간섭광) 강도로 출력한다. 출력된 간섭광의 강도는 편광빔분할기(130)에서 반사되어 렌즈(150)로 입사된다.
여기서, 레이저 간섭계(140)에 입사되는 반사 간섭광과 투과 간섭광의 입사 위치를 도 3을 참조하여 설명한다.
도 3을 참조하면, 다수의 빔 헤드들(120 내지 123)로부터 입사되는 제2 레이저 빔(RL)은 레이저 간섭계(140)에 의해 간섭되어 다수의 반사 간섭광(R1, R2, R3, ..., Rn)과 다수의 투과 간섭광(T1, T2, T3,..., Tn)으로 반사 또는 투과될 수 있다. 또한, (R1, T1), (R2, T2), (R3, T3), (Rn, Tn) 각각은 한 쌍으로 이루어 레이저 간섭계(140)의 동일한 원주상에서 서로 대향하는 위치에 입사된다.
통상 다수의 레이저 간섭계를 사용하는 경우에는, 피검사체(S)를 진행하는 초음파의 크기가 같다고 하더라도, 각 레이저 간섭계를 구성하는 반사 거울간의 거리를 정확하게 조절할 수 없기 때문에 폭방향의 재질 측정시 오차가 발생하게 된다. 따라서, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 단일의 레이저 간섭계를 이용하기 때문에, 다수의 레이저 간섭계를 사용하는 경우에 비해 재질분포 등을 측정하는데 발생하는 오차를 줄일 수 있는 기술적 효과가 있다.
다시 도 1을 참조하면, 렌즈(150)는 예를 들면 비구면 렌즈로 구성되어 편광빔분할기(130)를 통해 입사되는 간섭광의 강도를 광 검출부(160)로 전달한다.
광 검출부(160)는 렌즈(150)를 통해 입사된 간섭광의 강도를 전기적인 신호로 변환하고, 변환된 신호를 신호 처리부(170)로 전달한다. 특히, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 광 검출부(160)는 간섭광을 구성하는 투과광과 반사광의 차분을 취함으로써, 신호대잡음비를 증가시킬 수 있는 기술적 효과가 있다.
이후, 신호 처리부(170)는 광 검출부(160)로부터 전달받은 전기적인 신호에 기초하여 피검사체(S)의 폭방향의 재질분포 등을 측정할 수 있다.
한편, 도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 우선 제1 레이저 광원(100)은 제1 레이저 빔(B1)을 조사함으로써, 피검사체(S)의 표면에 초음파를 발생시킨다(S400). 여기서, 제1 레이저 광원(100)은 피검사체(S)의 표면에서 초음파를 여기시키기 위한 레이저로, 예를 들면 야그(YAG) 레이저나 이산화탄소(CO2) 등 고에너지 펄스 레이저가 사용될 수 있다.
다음, 제2 레이저 광원(101)은 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔(B2)을 피검사체(S)의 표면에 조사한다(S401). 여기서, 제2 레이저 광원(101)은 단일 주파수의 연속 레이저 빔을 발생하는 것을 이용할 수 있다.
이후, 광학부(120 내지 123)는 피검사체(S)에 의해 반사된 제2 레이저 빔(RL)을 획득한다(S402). 구체적으로, 광학부(120 내지 123)는, 예를 들면 도 2에 도시된 바와 같이, 입사된 레이저를 전반사하는 복수 개의 거울(120a, 120b, 120c, 120d) 및 입사된 레이저를 집광시키는 렌즈(120e)를 포함한다. 거울(120a, 120b) 및 렌즈(120e)를 통해서는 제1 레이저 빔(B1)이 피검사체(S)의 표면에 조사되도록 유도되며, 거울(120c, 120d)을 통해서는 제2 레이저 빔(RL)이 피검사체(S)의 표면에 조사되도록 유도된다. 이후 피검사체(S)에 의해 반사된 제2 레이저 빔(RL)을 획득한다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 광학부(120 내지 123)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 빔 헤드들(120 내지 123)을 포함하도록 구성되며, 다수의 빔 헤드들(120 내지 123)은 피검사체(S)의 폭방향으로 배치된다. 이와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 피검사체(S)의 폭 방향으로 다수의 빔 헤드(120 내지 123)가 배치되도록 함으로써, 피검사체(S)가 고속으로 이송(D1 방향)중인 경우에도 폭 방향(D2)의 재질분포 등을 정확하게 측정할 수 있는 기술적 효과가 있다.
이후, 단일의 레이저 간섭계(140)는 광학부(120 내지 123)에 위해 획득된 반사된 제2 레이저 빔(RL)에 기초하여, 초음파의 진동으로 발생되는 획득된 제2 레이저 빔(RL)의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력한다(S403). 구체적으로, 레이저 간섭계(140)는 편광빔분할기(130)를 통해 입사된 제2 레이저 빔(RL)에 기초하여, 초음파의 진동으로 발생되는 획득된 제2 레이저 빔(RL)의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 파브리-페롯 간섭계(pabry-perot interferometer)일 수 있다. 이러한 레이저 간섭계(140)는 소정의 투과율을 가지며 일정한 거리를 가지고 대향하여 배치된 2개의 반사 미러(142a, 142b)와, 반사 미러(142a, 142b)간의 거리를 조절하는 액츄에이터(141)를 포함하여 구성되어, 제2 레이저 빔(RL)의 주파수 변화를 간섭광(반사 간섭광과 투과 간섭광) 강도로 출력한다.
본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 다수의 빔 헤드들(120 내지 123)로부터 입사되는 제2 레이저 빔(RL)은 레이저 간섭계(140)에 의해 간섭되어 다수의 반사 간섭광(R1, R2, R3, ..., Rn)과 다수의 투과 간섭광(T1, T2, T3,..., Tn)으로 반사 또는 투과될 수 있다. 또한, (R1, T1), (R2, T2), (R3, T3), (Rn, Tn) 각각은 한 쌍으로 이루어 레이저 간섭계(140)의 동일한 원주상에서 서로 대향하는 위치에 입사된다. 다수의 빔 헤드들(120 내지 123)로부터 입사되는 제2 레이저 빔(RL)은 레이저 간섭계(140)에 의해 간섭되어 다수의 반사 간섭광(R1, R2, R3, ..., Rn)과 다수의 투과 간섭광(T1, T2, T3,..., Tn)으로 반사 또는 투과될 수 있다. 또한, (R1, T1), (R2, T2), (R3, T3), (Rn, Tn) 각각은 한 쌍으로 이루어 레이저 간섭계(140)의 동일한 원주상에서 서로 대향하는 위치에 입사된다. 상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 단일의 레이저 간섭계를 이용하기 때문에, 다수의 레이저 간섭계를 사용하는 경우에 비해 재질분포 등을 측정하는데 발생하는 오차를 줄일 수 있는 기술적 효과가 있다.
이후, 광 검출부(160)는 레이저 간섭계(140)로부터 출력되는 간섭광의 강도를 전기적인 신호로 변환한다(S404). 특히, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 광 검출부(160)는 간섭광을 구성하는 투과광과 반사광의 차분을 취함으로써, 신호대잡음비를 증가시킬 수 있는 기술적 효과가 있다. 이후 변환된 전기적인 신호는 신호 처리부(170)에서 피검사체(S)의 폭방향의 재질분포 등을 측정하는데 사용될 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 아니한다. 첨부된 청구범위에 의해 권리범위를 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
100: 제1 레이저 광원 101: 제2 레이저 광원
102: 빔평행기 120, 121, 122, 123: 빔 헤드(광학부)
130: 편광빔분할기 140: 레이저 간섭계
141: 엑추에이터 142a, 142b: 반사 미러
150: 비구면 렌즈 160: 광 검출부
170: 신호 처리부 S: 피검사체
B1: 제1 레이저 빔 B2: 제2 레이저 빔
RL: 반사된 제2 레이저 빔 D1: 이송 방향
D2: 폭 방향

Claims (8)

  1. 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 제1 레이저 광원;
    상기 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 상기 피검사체의 표면에 조사하는 제2 레이저 광원;
    상기 제1 레이저 광원에 의한 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 광원에 의한 제2 레이저 빔을 피검사체 표면으로 유도하며, 상기 피검사체에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 획득하는 광학부;
    상기 광학부에 위해 획득된 상기 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 단일의 레이저 간섭계; 및
    상기 단일의 레이저 간섭계로부터 출력되는 간섭광의 강도를 전기적인 신호로 변환하는 광 검출부를 포함하며,
    상기 광학부는,
    상기 피검사체의 폭방향으로 배치된 다중 빔 헤드들을 가지는 레이저 초음파 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다중 빔 헤드들에 의해 획득된 상기 반사된 제2 레이저 빔에 의한 간섭광은,
    상기 단일의 레이저 간섭계의 동일 원주상에 입사되는 레이저 초음파 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 간섭광을 구성하는 반사 간섭광 및 투과 간섭광은,
    상기 단일의 레이저 간섭계의 동일 원주상의 대향하는 위치에 입사되는 레이저 초음파 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 광 검출부는,
    상기 간섭광을 구성하는 투과광과 반사광의 차분을 취함으로써, 신호대잡음비를 증가시키는 레이저 초음파 장치.
  5. 제1 레이저 광원에서, 제1 레이저 빔을 조사함으로써, 피검사체의 표면에 초음파를 발생시키는 단계;
    제2 레이저 광원에서, 상기 초음파를 검출하기 위한 제2 레이저 빔을 상기 피검사체의 표면에 조사하는 단계;
    광학부에서, 상기 제1 레이저 광원에 의한 제1 레이저 빔 및 상기 제2 레이저 광원에 의한 제2 레이저 빔을 피검사체 표면으로 유도하며, 상기 피검사체에 의해 반사된 제2 레이저 빔을 획득하는 단계;
    단일의 레이저 간섭계에서, 상기 광학부에 위해 획득된 상기 반사된 제2 레이저 빔의 주파수 변화를 간섭광 강도로 출력하는 단계; 및
    광 검출부에서, 상기 단일의 레이저 간섭계로부터 출력되는 간섭광의 강도를 전기적인 신호로 변환하는 단계를 포함하며,
    상기 광학부는,
    상기 피검사체의 폭방향으로 배치된 다중 빔 헤드들을 가지는 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 다중 빔 헤드들에 의해 획득된 상기 반사된 제2 레이저 빔에 의한 간섭광은,
    상기 단일의 레이저 간섭계의 동일 원주상에 입사되는 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 간섭광을 구성하는 반사 간섭광 및 투과 간섭광은,
    상기 단일의 레이저 간섭계의 동일 원주상의 대향하는 위치에 입사되는 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 광 검출부는,
    상기 간섭광을 구성하는 투과광과 반사광의 차분을 취함으로써, 신호대잡음비를 증가시키는 레이저 초음파 장치를 이용한 신호 처리 방법.
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