JP2015077289A - X線撮像方法及びx線撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[基本原理]
図1(a)及び図1(b)を参照して、本発明の実施形態1に係るX線撮像装置10の基本原理を説明する。図1(a)及び図1(b)は、X線撮像装置10の基本原理を説明するための図である。詳しくは、図1(a)は、X線xr1、xr2、xr3が3つのX線光源1、2、3の各々から同時に被写体Obへ照射され、被写体Obを透過してX線検出面4に照射される様子を示している。図1(b)はX線検出面4で検出されたX線の強度に対応する画像信号g(x)を示している。図1(b)において、横軸は空間座標(x座標)を示し、縦軸はX線の強度(任意単位)を示す。複数のX線光源1、2、3はそれぞれ、必要な空間分解能よりも小さいスポットサイズを有している。
図2を参照して、本発明の実施形態1に係るX線撮像装置10の基本構成を説明する。図2はX線撮像装置10を模式的に示す斜視図である。
図2を参照して、X線撮像装置10の具体的な構成を説明する。図2に示すように、X線撮像装置10において、複数のX線光源12は、基板14に形成された複数の金属ターゲット15であってもよい。この場合、X線撮像装置10は、フィラメント16を備えることができる。フィラメント16は、複数の金属ターゲット15に電子線eを照射する。フィラメント16は、電子源として機能する。複数の金属ターゲット15はそれぞれ、電子線eが照射されることによりX線を発生する。
図2を参照して、X線撮像装置10の各構成要素の配置について説明する。図2に示すように、フィラメント16、複数の金属ターゲット15が形成された基板14、及び2次元検出器11が、この順番で、X線検出面11aに照射されるX線xrの光軸方向(電子線eの光軸方向)に沿って配置される。基板14及びX線検出面11aは、X線xrの光軸方向に直交していてもよい。被写体Obは、基板14と2次元検出器11との間に配置される。
図5(a)〜図5(c)を参照して、金属ターゲット15について説明する。
図6を参照して、透過型ターゲットとしての金属ターゲット15について説明する。図6は、金属ターゲット15によるX線の発生を説明する図である。金属ターゲット15は、電子線eを受けてX線を放出する。金属ターゲット15が透過型ターゲットとして使用される場合、放出されたX線のうち、電子線eの進行方向に放射されるX線が、被写体Obに照射される。
図7及び図8を参照して、X線光源が一つの場合に生成される画像と比較しつつ、画像処理部13によって生成される画像について説明する。図7は本発明の実施形態1のX線撮像装置10によって生成される画像を説明するための図であり、図8はX線光源が一つの場合に生成される画像を説明するための図である。
図1(a)及び図1(b)を参照して、画像処理部13の演算処理の一例を説明する。既に説明したように、画像信号g(x)は、X線xr1、xr2、xr3のそれぞれの強度に対応する各画像信号i1×f(x−a1)、i2×f(x−a2)、i3×f(x−a3)の和で表すことができ、以下の式(1)の関係が成立する。
g(x)=i1×f(x-a1)+i2×f(x-a2)+i3×f(x-a3)・・・(1)
図9(a)〜図9(d)を参照して、X線光源12の変形例について説明する。図9(a)〜図9(d)は、複数の金属ターゲット15が形成された基板14の断面図である。
[X線撮像装置の基本構成]
図10を参照して、本発明の実施形態2に係るX線撮像装置10について説明する。図10は、X線撮像装置10を模式的に示す斜視図である。本実施形態2と実施形態1とでは、X線光源12の種類が異なる。つまり、本実施形態2では、複数のX線光源12は、基板17に形成された複数の孔17aからなる。この場合、X線撮像装置10は、X線xr4を放出するX線発生源18を備えることができる。その他は、本実施形態2と実施形態1とは同様であるので、説明を割愛する。
図10を参照して、X線撮像装置10の各構成要素の配置について説明する。図10に示すように、X線発生源18、複数の孔17aが形成された基板17、及び2次元検出器11が、この順番で、X線検出面11aに照射されるX線xrの光軸方向(X線発生源18から放出されるX線xr4の光軸方向)に沿って配置される。基板17及びX線検出面11aは、X線xrの光軸方向に直交してもよい。被写体Obは、基板17と2次元検出器11との間に配置される。
基板17は、重元素材料により形成される。例えば、重元素は、原子番号がアルゴンより大きい元素である。例えば、重元素材料は、金、鉛、タングステン、タンタル、ステンレスである。なお、基板17の形状及び厚み等は、必要な数の孔17aを形成でき、かつ、X線xr4が各孔17aを通過又は透過でき、孔以外の場所でX線を遮蔽または減衰できる限り、特に限定されるものではない。
複数の孔17aはそれぞれ、基板17の一方主面から他方主面まで貫通してもよいし、凹形状に形成されてもよい。孔17aが凹形状の場合、孔17aの開口は、X線発生源18の側に位置してもよいし、X線検出面11aの側に位置してもよい。複数の孔17aのそれぞれの座標は、X線撮像装置10の測定系の座標であり、既知である。図10に示す孔17aの形状は直方体であるが、孔17aの形状は特に限定されるものではない。例えば、孔17aの形状は円筒状でもよい。複数の孔17aの各々は、例えば平面視したときに1μm以上100μm以下の径又は最大幅を有する。なお、孔17aは軽元素で埋められてもよい。
[X線撮像装置の基本構成]
図11を参照して、本発明の実施形態3に係るX線撮像装置10について説明する。図11は、X線撮像装置10を模式的に示す斜視図である。本実施形態3と実施形態1とでは、X線光源12の種類が異なる。つまり、本実施形態3では、X線光源12は反射型ターゲットである。したがって、本実施形態3では、実施形態1と比較して、X線撮像装置10の各構成要素の配置が異なる。その他は、本実施形態3と実施形態1とは同様であるので、説明を割愛する。
図2、図10、図11、及び図12を参照して、本発明の実施形態4に係るX線撮像方法について説明する。図12は、X線撮像方法を示すフローチャートである。X線撮像方法は、図1に示した実施形態1に係るX線撮像装置10、図10に示した実施形態2に係るX線撮像装置10、又は図11示した実施形態3に係るX線撮像装置11によって実行される。
図13を参照して、図12のステップ3におけるデコンボリューションの一例を説明する。図13は、図12のステップ3におけるデコンボリューションの一例を示すフローチャートである。ここでは、説明の簡略化のために、X線検出面11aのx軸方向に平行な方向に沿って4個以上のX線光源12が一列に並ぶ場合を例に説明する。この場合、以下の式(2)の関係が成立する。
式(2)において、g(x)は、X線検出面11aで検出されるX線xrの強度に対応する第1画像信号を示している。i1×f(x−a1)、i2×f(x−a2)、・・・、in×f(x−an)はそれぞれ、複数のX線光源12の各々からX線検出面11aに照射されたX線のそれぞれの強度に対応する各第3画像信号を示している。nは4以上の整数である。
図12、図14(a)、図14(b)、図15〜図17を参照して、実施形態4に係るX線撮像方法によって生成された画像を説明する。図14(a)及び図14(b)は、実施形態4に係るX線撮像方法が適用された実施例に使用された被写体を示す図である。図15は、本実施例に用いたX線光源を示す図である。図16は、本実施例における再構築前の画像を示す図である。図17は、本実施例における再構築された画像を示す図である。
4、11、182 2次元検出器
10 X線撮像装置
11a、192、202 X線検出面
13 画像処理部
14 基板
15 金属ターゲット
16 フィラメント
17 基板
17a 孔
18 X線発生源
91 膜
xr、xr1〜xr4 X線
e 電子線
Ob 被写体
Claims (9)
- X線検出面と複数のX線光源との間に配置された被写体に対し、前記複数のX線光源の各々から同時にX線を照射するステップと、
前記X線検出面に照射されたX線の強度を検出し、前記検出されたX線の強度に対応する第1画像信号を生成するステップと、
前記複数のX線光源のそれぞれの位置情報と、前記複数のX線光源のそれぞれのX線強度情報とを用いて、前記第1画像信号をデコンボリューションすることにより、第2画像信号を生成するステップと、
を包含する、X線撮像方法。 - 前記第2画像信号を生成するステップは、
前記第1画像信号をフーリエ変換するステップと、
フーリエ変換された前記第1画像信号に対して、前記複数のX線光源のそれぞれの位置情報と、前記複数のX線光源のそれぞれのX線強度情報とに基づいて数値処理を実施するステップと、
前記数値処理が実施された前記第1画像信号を逆フーリエ変換して前記第2画像信号を生成するステップと、
を包含する、請求項1に記載のX線撮像方法。 - 前記複数のX線光源の各々は、平面視したときに50nm以上100μm以下の径又は幅を有する、請求項1又は2に記載のX線撮像方法。
- X線検出面を有し、前記X線検出面に照射されたX線の強度を検出し、前記検出されたX線の強度に対応する第1画像信号を生成する2次元検出器と、
前記X線検出面に向けてX線を同時に照射する複数のX線光源と、
前記複数のX線光源のそれぞれの位置情報と、前記複数のX線光源のそれぞれのX線強度情報とを用いて、前記第1画像信号をデコンボリューションすることにより、第2画像信号を生成する画像処理部と、
を備えた、X線撮像装置。 - 前記画像処理部は、
前記第1画像信号をフーリエ変換し、
フーリエ変換された前記第1画像信号に対して、前記複数のX線光源のそれぞれの位置情報と、前記複数のX線光源のそれぞれのX線強度情報とに基づいて数値処理を実施した後、
前記数値処理が実施された前記第1画像信号を逆フーリエ変換することにより、前記第2画像信号を生成する、請求項4に記載のX線撮像装置。 - 電子線を放出する電子源をさらに備え、
前記複数のX線光源は、複数の金属ターゲットからなり、
前記複数の金属ターゲットのそれぞれに、前記電子源から電子線が同時に照射されることにより、前記複数の金属ターゲットの各々から前記X線検出面へ向けてX線が照射される、請求項4又は5に記載のX線撮像装置。 - 前記複数の金属ターゲットの各々は、平面視したときに50nm以上100μm以下の径又は幅を有する、請求項6に記載のX線撮像装置。
- X線を放出するX線発生源をさらに備え、
前記複数のX線光源は、基板に形成された複数の孔からなり、
前記複数の孔のそれぞれに、前記X線発生源からX線が同時に照射されることにより、前記複数の孔の各々から前記X線検出面へ向けてX線が照射される、請求項4又は5に記載のX線撮像装置。 - 前記複数の孔の各々は、平面視したときに1μm以上100μm以下の径又は幅を有する、請求項8に記載のX線撮像装置。
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