JP2015073928A

JP2015073928A - 局所ベントを有するスロットダイを用いた塗布膜の製造方法および局所ベントを有するスロットダイ

Info

Publication number: JP2015073928A
Application number: JP2013210894A
Authority: JP
Inventors: 増田　友昭; Tomoaki Masuda; 友昭増田
Original assignee: Kaneka Corp
Current assignee: Kaneka Corp
Priority date: 2013-10-08
Filing date: 2013-10-08
Publication date: 2015-04-20

Abstract

【課題】塗布有効幅方向に塗布厚みが均等な、機能性フィルムなどの塗布膜を製造する方法及びそれに用いるスロットダイを提供する。
【解決手段】ベント部厚みが１０〜２５ｍｍとなるように全長にわたってスロット６と並行する方向にぬすみ構造が形成されているスロットダイの中央部、両端側の３か所にそれぞれが３０〜１５０ｍｍピッチで配置され、かつ、複数個の組合せグループを形成しているスロットギャップ開度調整ボルトを操作することで、塗工幅方向においてスロットギャップを局所的に調整し、スロットの断面を、塗布液の吐出量を相対的に抑制する形状に変形することができるスロットダイを使用し、スロットを基材に対向して配置し、スロットダイのリップ先端に開口するスロットから塗布液を吐出し、基材上に供給して塗布膜を形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、スロットダイを用いて機能性フィルムなどの塗布膜を製造する方法および塗布膜の製造に用いられるスロットダイに関する。

スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティングといった機能性薄膜の製膜方法は、近年、連続処理化が進んでいるが、未だに製品毎の段取り替えに時間と工夫が必要であり、生産性が乏しく、また、高コストとなるなど、未だ改善の余地が多く残されている。

これに対しグラビア方式、スロットダイ方式といった各種ウェット方式によって、生産性が高く安価な機能性フィルムが多く生産されてきた。しかし、塗布操作における基材フィルムの幅方向に膜厚精度不良や、気泡に起因する欠陥、スジといったモードが発生する問題があり、特に厳しい膜厚精度が要求される各種光学フィルム等には、製造方法の改善が求められることが多い。また、塗布時の液の乾燥、外来異物による欠陥も品質を低下させる要因となる。このため、密閉系で送液されることが要求されることが多く、塗布方式として、密閉系で送液されるスロットダイ方式が選定されることが多い。

従来のスロットダイとしては、一対のブロックを締結している締結ボルトの締め付け圧力を調整して両ブロック間に形成されるスロットギャップを調整する構造（例えば特許文献１〜５等参照。）や、前記一対のブロックのうちのいずれか一方を変形させてスロットダイ先端のスロットの開口部の大きさを調整する構造（例えば、特許文献６、７等参照。）などが提案されている。

しかし、従来のスロットダイは塗布液物性に対して専用設計することが多く、塗布液の部分的な変更に対しても追従できないなど、微調整が効かないことが問題となる場合が多かった。また、スロットダイ方式の塗布装置では、微細な領域中での厚み精度が高い反面、特に塗布幅が広い場合、塗布有効幅中央部または両端部が極端に厚くなる、または、薄くなる現象があり、製品規格から外れてしまい問題となることが多い。このような理由から、製品ごとに専用設計されることが多いスロットダイは、用途が狭いこと、生産中に局所調整ができないことが欠点となることが多い。

特開２００８−１９４５８８号公報特開２００６−１６７５３２号公報特開２００６−２０５０３１号公報特開２００５−２８８３７７号公報特開２００９−０１８２２７号公報特開平０９−２７６７７２号公報特開２０１１−０６２６８４号公報

本発明は、上記のようなスロットダイ方式の塗布膜製造の従来技術の問題点に鑑み、塗布有効幅において、厚みバラツキを簡易に、かつ、生産途中においてもタイムリーに補正することができ、また、スロットダイ自体の用途展開を増やすことができる塗布膜の製造方法およびスロットダイを提供することを目的とする。

前記課題を解決すべく、鋭意検討した結果、スロットダイを、その塗工幅方向で局所的にベントできるようベント部を設け、中央部と両端部に複数の組合せグループで、かつ特定間隔でスロットギャップ開度調整用ボルトを配置した構造とすることで、塗布される膜厚を、塗工幅方向において、容易に、そしてタイムリーかつ短時間で調整することができることを見出し、本発明を完成させるに至った。

即ち、本発明の第一は、基材に対して塗布液を供給するためのスロットを備えたスロットダイを用いた塗布膜の製造方法であって、前記スロットダイは、前記スロットと並行する方向に、その全長にわたってぬすみ構造が形成されてスロットに対するベント部が設けられており、前記スロットの塗工幅方向の中央部、両端側の３か所に、それぞれが３０〜１５０ｍｍピッチで配置され、かつ、複数個の組合せグループを形成しているスロットギャップ開度調整ボルトを操作することで、塗工幅方向においてスロットギャップを局所的に調整可能に構成されており、前記スロットを基材に対向して配置し、前記スロットダイのリップ先端に開口するスロットから塗布液を吐出して基材上に供給することを特徴とする塗布膜の製造方法に関する。

また、本発明の第二は、塗布装置において用いられ、基材に対して塗布液を供給するためのスロットを備えたスロットダイであって、前記スロットの塗工幅方向と並行する方向に、その全長にわたってぬすみ構造が形成されてスロットに対するベント部が設けられており、前記スロットの塗工幅方向の中央部、両端側の３か所に、それぞれが３０〜１５０ｍｍピッチで配置され、かつ、複数個の組合せグループを形成しているスロットギャップ開度調整ボルトを備えており、該スロットギャップ開度調整ボルトを操作することで、塗工幅方向においてスロットギャップを局所的に調整可能に構成されていることを特徴とするスロットダイに関する。

好ましい実施態様では、前記ベント部厚みは１０〜２５ｍｍの範囲内である。

好ましい実施態様では、前記スロットダイは、スロットを境にして第一ブロックと第二ブロックとに分割でき、前記スロットギャップ開度調整ボルトとは別の組付けボルトによって組立てられる構造であって、前記第一及び第二ブロックに挟持された１枚以上のシムによって前記スロットが形成されており、前記スロットの塗工幅方向の両端壁が、前記第一及び第二ブロックに挟持された前記シムによって形成されている構造を有する。

より好ましい実施態様では、前記スロットダイのシムの形状が平面視コの字型であり、前記スロットの塗工幅方向の両端壁を形成する部分にも前記組付けボルトが配置されている。

また、好ましい実施態様では、前記スロットダイの中央に配置されている組合せグループが３個以上の奇数個のスロットギャップ開度調整ボルトで構成され、両端側に配置されている組合せグループが偶数個のスロットギャップ開度調整ボルトで構成されている。

また、好ましい実施態様では、前記スロットギャップ開度調整ボルトが、押し下げボルトと、該押し下げボルトに内蔵された該押し下げボルトより小径の引き上げボルトから構成されており、前記押し下げボルトを締め付けることでスロットギャップを狭める方向にベント部が変形し、前記引き上げボルトを緩めることでスロットギャップを広げる方向にベント部が変形する構造を有する。

好ましい実施態様では、前記スロットダイは、ＨＲＣ硬度が２５〜４０である材料から構成されている。

好ましい実施態様では、前記シムの厚みが５０〜１８０μｍである。

本発明によれば、塗布有効幅において、厚みバラツキを簡易に、かつ、生産途中においてもタイムリーに補正することができ、また、スロットダイ自体の用途展開を増やすことができる。

本発明に係るスロットダイの一実施形態を示す斜視図。図１に示すスロットダイの分解斜視図。図１に示すスロットダイにおけるベント調整構造を示す側断面図。スロットギャップ開度調整ボルトを構成する押し下げボルトによりベントを調整してスロットギャップを狭めた状態を示すスロットダイの側断面図。スロットギャップ開度調整ボルトを構成する引き上げボルトによりベントを調整してスロットギャップを広げた状態を示すスロットダイの側断面図。スロットギャップ開度調整ボルトにより塗工幅方向においてスロットギャップを調整する方法を示す断面説明図。スロットダイを用いた塗布膜の製造方法の一実施形態を示す、塗布装置におけるダイ先端（リップ）付近の拡大断面図。実施例及び比較例で製造した塗布膜の膜厚データを示すグラフ。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。

図１は、本発明に係るスロットダイの一実施形態を示した斜視図であり、図２はその分解斜視図であり、図３はベント調整構造を示す側断面図である。

本実施形態のスロットダイ１０は、スロット６を形成するように対向して配置した第一ブロック１及び第二ブロック２と、両ブロック１、２間に挟持され、スロット６を形成するシム３を備え、第一ブロック１にはベント部８を形成するぬすみ構造７を有し、第一ブロック１の上部には、塗工幅ｗ方向の中央部及び両端部の３か所に、複数個組合せグリープ４Ａ、４Ｂ、４Ｂを形成するスロットギャップ開度調整ボルト４を備える。

図例のスロットダイ１０は、前記スロットギャップ開度調整ボルト４とは異なる３０〜１００ｍｍピッチで配置された組付けボルト５によって組立てられる構造で、スロット６を境にして第一ブロック１と第二ブロック２とに分割でき、第一及び第二ブロック１、２に挟持された１枚以上のシム３によってスロット６の両端壁が形成され、該両端壁を形成する部分にも組付けボルト５を配置してある。

組付けボルト５は、その軸部が、第一ブロック１に設けられた貫通穴１１及びシム３に設けられた貫通穴３１を貫通し、第二ブロック２に設けた螺孔２１に螺合して、シム３を挟んだ状態で第一ブロック１及び第二ブロック２を互いに近接させるように固定する。なお、符号５１で示すものは、組付けボルト５と第一ブロック１の上面との間に配したワッシャであるが、なくてもよい。組付けボルト５は、シム３のコの字型の形状に沿ってマニホールド２２を取り囲むように、第一及び第二ブロック１、２の後部及び両翼部に、３０〜１００ｍｍピッチで複数配置してある。

第一及び第二ブロック１、２の前面側は、リップ先端Ｌに向かって傾斜した先細り形状をしている。第一ブロック１の傾斜した前面部には、スロット６の塗工幅ｗ方向と並行する方向に、第一ブロック１の幅方向の全長にわたって、第一ブロック１を上下に二分するように、ぬすみ構造７を第一ブロック１の後方に向かって穿設し、ぬすみ構造７の下側がベント部８となる。ベント部８の厚み８ｔは、１０〜２５ｍｍの範囲とすることが、スロットギャップＣの開度調整の容易さ及びベント部８の強度の点から好ましい。一方、第二ブロック２の上面、すなわち第一ブロック１の底面に対向する面には、その幅方向に沿って、塗布液の液溜めとなるマニホールド２２を有し、塗布液がポンプ等（図示せず）から塗布液供給管（図示せず）を経て、第二ブロック２の後部に設けた給液孔２３からマニホールド２２へと供給される。そして、第一及び第二ブロック１、２が、シム３を挟持した状態で組付けボルト５によって組み立てられると、マニホールド２２から前方側の第一ブ及び第二ブロック１、２間に、シム３により塗布液の流路となるスロット６が形成され、シム３の厚みがスロットギャップＣとなる。

第一及び第二ブロック１、２の材質は、特に限定されないが、後述するベント調整機構により調整しない場合にはスロット開口形状が変形せず、かつベント調整機構により変形可能な強度を有するものが好ましく、ＨＲＣ硬度が２５〜４０である材料から構成さることが好ましい。第一及び第二ブロック１、２の具体的な材料としては、例えば、フェライト系、オーステナイト系、マルテンサイト系、析出硬化型等のステンレス鋼が好適であるが、ＳＵＳ４０２Ｊ２やＳＵＳ６３０が特に好ましい。

また、シム３の材料も特に限定されないが、組付けボルト５による固定により変形するものや、また塗布液により腐食するものは不適であるため、適宜選択することが好ましい。シム３の具体的材料としては、例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６等の金属材料やポリエチレンテレフタレート、ポリイミド等の合成樹脂材料が挙げられる。また、シム３の厚みも特に限定されないが、５０〜１８０μｍであることが好ましい。

既述の如く、本実施形態のスロットダイ１０は、第１ブロック１の前面側に、スロット６と並行するぬすみ構造７が穿設されて第一ブロック１の前面側が上下に分断されており、ぬすみ構造７の下側に、ベント部８が形成され、スロットギャップ開度調整ボルト４によりベント部８を上下に変位させることでスロットギャップＣを調整可能に構成されている。図例の実施態様では、第一ブロック１に形成したぬすみ構造７は第二ブロックにおけるマニホールド２２の後端部付近まで達する深さ７ｄで設けているが、少なくともマニホールド２２の前端部からリップ先端Ｌにかけて第一及び第二ブロック１、２間に形成されるスロット６の全体をベント部８が覆うように構成することが、スロットギャップＣの開度の微調整がしやすいことから好ましい。また、ぬすみ構造７の高さ７ｈも特に限定はないが、第一ブロック１の強度とスロットギャップ開度調整ボルト４の機能を確保するのに必要な寸法に設定され、例えば５〜１５ｍｍ程度とする。

次に、ベント調整方法について説明する。スロット部６の上側の第一ブロック１には、ベント部８を上下動させることで、塗工幅ｗ方向において局所的にスロットギャップＣを調整可能なスロットギャップ開度調整ボルト４を設けてある。図例のスロットギャップ開度調整ボルト４は、第一ブロック１のぬすみ構造７より上側部分を上下に貫通して設けた調整ボルト用螺孔１２に螺合する押し下げボルト４１と、押し下げボルト４１を上下に貫通する螺孔４１ａに螺挿されて押し下げボルト４１に内蔵され、下部をベント部８に穿設された調整ボルト挿入孔４４に挿入した状態で配置した引き上げボルト４２からなる。押し下げボルト４１は、例えばＭ２０ボルトに上下に貫通する螺孔４１ａを設け、引き上げボルト４２は、例えばＭ１０ボルトの頭部に六角穴４２ａを穿設し、その下部には、環状凹部４２ｂを周設してある。ベント部８には、引き上げボルト４２の環状凹部４２ｂに係脱するセットボルト４３を進退自在に螺挿したセットボルト用螺孔１３が調整ボルト挿入孔４４に連通するように形成してあり、セットボルト４３を引き上げボルト４２の環状凹部４２ｂに係脱して、引き上げボルト４２とベント部８とを固定及び固定解除する。

各スロットギャップ開度調整ボルト４ごとのスロットギャップＣの調整方法は以下のとおりである。

まず、スロットギャップＣを調整しない場合は、スロットギャップ開度調整ボルト４は図３に示す状態にある。この状態では、押し下げボルト４１の下端部はベント部８から離れており、セットボルト４３による引き上げボルト４２とベント部８との固定も解除されている。

次に、スロットギャップＣを狭くする場合は、図４に示すように、セットボルト４３による引き上げボルト４２とベント部８との固定は解除したまま、押し下げボルト４１を締め込み、押し下げボルト４１の下端面をベント部８の調整ボルト挿入孔４４の開口縁部に押し当ててベント部８を押し下げる。これにより、スロットギャップＣの先端開口部が狭くなる。このとき、引き上げボルト４２は押し下げボルト４１と供回りして下方へ移動する。

また、スロットギャップＣを広げる場合は、図５に示すように、六角レンチを用いてセットボルト４３をねじ込み、引き上げボルト４２とベント部８を固定した状態で、押し下げボルト４１を緩めるとともに、六角レンチを用いて引き上げボルト４２を緩める、すなわち押し下げボルト４１に螺じ込む方向に回すと、引き上げボルト４２の上昇に伴いベント部８が上方に引き上げられ、スロットギャップＣの先端開口部が広がる。

そして、図１、２に示す、スロット６の塗工幅ｗ方向の中央部、両端側の３か所に配置した、複数個の組合せグループ４Ａ、４Ｂ、４Ｂを形成している各スロットギャップ開度調整ボルト４を上記のようにして適宜操作することで、図６に示すように、塗工幅方向（図６中、左右方向。）においてスロットギャップＣを局所的に調整する（ベント調整）。これにより、塗布工程において、塗布される膜厚を容易に、そしてタイムリーかつ短時間で調整することができる。

前記複数個の組合せグループ４Ａ、４Ｂとしては、中央に配置されている組合せグループ４Ａが３個以上の奇数個のスロットギャップ開度調整ボルト４で構成され、両端側に配置されている組合せグループ４Ｂが偶数個のスロットギャップ開度調整ボルト４で構成されていることが好ましい。スロットダイの中央に配置されている組合せグループ４Ａを３個以上の奇数個のスロットギャップ開度調整ボルト４で構成することで、前記奇数個のスロットギャップ開度調整ボルト４のうち、両側をスロットギャップ開度調整ボルト４で支持された、中央に位置するスロットギャップ開度調整ボルト４を主たる操作部として、これを押す、または引きつけるといった操作を行うことで、ベント部８の局所的なベント操作を効率よく行うことができる。また、前記主たる操作部としての中央のスロットギャップ開度調整ボルト４が配置される調整ボルト用螺孔１２をスロットダイ１０の中心として、左右対称に各スロットギャップ開度調整ボルト４に対応する調整ボルト用螺孔１２、セットボルト用螺孔１３、調整ボルト挿入孔４４等の穴あけ加工等がなされることで、スロットダイ全体の構造的バランスもよい。また、両端側に配置されている組合せグループＢについては、スロットダイ１０の両側部を固定している固定ボルト５が組合せグループＢを構成するスロットギャップ開度調整ボルト４と同様の機能を担うことで、該固定ボルト５を有効利用して、スロットダイ１０の端部部分におけるベント部８のベント操作を効率よく行うことができる。

なお、本実施形態では、第一及び第二ブロック１、２の相対する内面が何れも、マニホールド２２部分を除いた全体が段差の無い平坦な面で形成され、シム３の厚みがスロットダイ１０のスロットギャップＣの基準間隙となるが、第一及び第二ブロック１、２の何れか一方又は両方の内面に段差が設けられ、シム３の厚みとスロットギャップＣの基準間隙とが一致しなくてもよい。

上記のような本発明のスロットダイ１０を用いた塗布装置による塗布膜の製造方法の一例を、図７に基づき説明する。バックアップロールＲに基材Ｂを抱かせ、バックアップロールＲに対し、所定のコーティングギャップＧ（リップ先端Ｌと基材Ｂの表面との間隙）に設定して、スロットダイ１０を垂直方向に近接して配置し、バックアップロールＲを回転方向ｒに回転させ、基材Ｂを所定の速度で搬送しつつスロット６から塗布液Ｍを基材Ｂ上に吐出する。スロット６から順次吐出される塗布液Ｍは、リップ先端Ｌの端面と基材Ｂとの間を満たすとともに、バックアップロールＲの回転により走行する基材Ｂ表面に塗布膜Ｆとして形成されて基材ＢとともにバックアップロールＲの回転方向ｒに連続的に搬送される。

本発明に使用する塗布液は、塗布後に乾燥、硬化して塗膜を形成しうる樹脂液である。該塗布液を構成する樹脂材料については特に限定されず、例えば、ポリシロキサン、ウレタンアクリル系ポリマー、シクロオレフィンポリマー、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリエーテルケトン、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミド−イミド又はポリエステル−イミド等の各種ポリマーを挙げることができる。これらのポリマーは、いずれか一種類を単独で使用してもよいし、例えば、ポリエーテルケトンとポリアミドとの混合物のように、異なる官能基を持つ２種類以上の混合物として使用してもよい。さらには、ＩＴＯ（スズドープ酸化インジウム）、ＡＴＯ（アンチモンドープ酸化スズ）といった超微粒子、カーボンブラック、金属、セラミクス等のフィラーが混合されていてもよい。

また、前記樹脂を溶解させる溶剤としては、前記樹脂材料を溶解でき、且つ前記基材フィルムを侵食しにくいものであればよく、使用する樹脂材料及び基材フィルムに応じ適宜選択することができる。具体的には、例えば、クロロホルム、ジクロロメタン、四塩化炭素、ジクロロエタン、テトラクロロエタン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、クロロベンゼン、ｏ−ジクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類、フェノール、ｐ−クロロフェノール等のフェノール類、ベンゼン、トルエン、キシレン、メトキシベンゼン、１，２−ジメトキシベンゼン等の芳香族炭化水素類、アセトン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール、ｔ−ブチルアルコール、グリセリン、エチレングリコール、トリエチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、エチルセルソルブ、ブチルセルソルブ、２−ピロリドン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ピリジン、トリエチルアミン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、アセトニトリル、ブチロニトリル、メチルイソブチルケトン、メチルエーテルケトン、シクロヘキサン、シクロペンタノン、二硫化炭素等を用いることができる。これら溶剤は、１種又は２種以上を適宜に組み合わせて使用することができる。

また、基材フィルムについても、特に限定されるものではなく、用途に応じて適宜選択することができる。例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系ポリマー、ジアセチルセルロース、トリアセチルセルロース等のセルロース系ポリマー、ポリカーボネート系ポリマー、ポリメチルメタクリレート等のアクリル系ポリマー、ポリスチレン、アクリロニトリルースチレン共重合体等のスチレン系ポリマー、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状またはノルボルネン構造を有するポリオレフィン、エチレン−プロピレン共重合体等のオレフィン系ポリマー、塩化ビニル系ポリマー、ナイロン（脂肪族ポリアミド）や芳香族ポリアミド等のアミド系ポリマー、ポリイミドなどのポリマーからなるフィルム、これら各種ポリマーのブレンド物からなるフィルム等を好適に使用することができる。

次に本発明の実施例を示すが、本発明はこれらの実施例によって何ら制限を受けるものではなく、本発明の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術範囲に含まれる。なお、各例中に示される、部、％は、重量基準である。

（実施例１）
テトラエトキシシラン（ポリシロキサン熱硬化性成分）３０部、導電性金属微粒子として、粒径５０〜１００ｎｍであるスズドープ酸化インジウムを７０部を溶媒に溶解して固形分濃度１５％の塗布液を調製した。溶媒には、イソプロピルアルコールを使用した。厚さ５０μｍのトリアセチルセルロースフィルムに、上記塗布液を図１〜５に示した構造を有するスロットダイを用い、図７に示した塗布装置を用いて、幅４００ｍｍで約２００ｍ連続塗布を行った。塗布後約１２０℃の環境下で３分間加熱硬化して約１．６μｍとなる導電層を形成した。塗布する際に、図１中に示す中央の調整ボルトグループ４Ａを左から順に緩める（図５に示す状態。）、締める（図４に示す状態。）、緩める（図５に示す状態。）ように調整した。なお、両側の調整ボルトグループ４Ｂ、４Ｂは調整していない（図４に示す状態。）。

（実施例２）
ウレタンアクリル系紫外線硬化型樹脂１００部を溶媒に溶解して固形分濃度４０％の塗布液を調整した。溶媒にはトルエンを使用した。厚さ１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに、上記塗布液を図１〜５に示したスロットダイを用いて、幅４００ｍｍで約２００ｍ連続塗布を行った。塗布後８５℃で乾燥し、紫外線照射（積算２５０ｍｊ／ｍ２）で硬化させ約３．５μｍとなる樹脂層を形成した。塗布する際に、図１中に示す両側の調整ボルト組合せグループ４Ｂのスロットギャップ開度調整ボルト４を外側から順番に締める（図４に示す状態。）、緩める（図５に示す状態）ように調整した。なお、中央の調整ボルトグループ４Ａは調整していない（図４に示す状態。）。

（比較例１）
実施例１において、調整ボルト機構がないスロットダイを用いたこと以外は、実施例１と同様にしてトリアセチルセルロースフィルム上に導電層を形成した。

（比較例２）
実施例２において、調整ボルト機構がないスロットダイを用いたこと以外は、実施例２と同様にしてポリエチレンテレフタレートフィルム上に樹脂層を形成した。

以上の実施例１，２、比較例１，２で製造した塗布膜付フィルムについて厚みを測定して、塗布膜厚み精度を測定した。測定には、接触方式膜厚計を使用し、フィルム幅方向（ＴＤ方向）に対して１ｍｍピッチでデータ化した。測定結果を図８のグラフに示す。

図８に示すグラフからわかるように、本発明のスロットダイを用い、ベントを調整して塗布膜を製造した場合には、使用しない場合と比較して、ＴＤ（塗布有効幅）方向厚みバラツキが改善していることがわかる。また、同操作は、塗布時にタイムリーに行っており、生産効率、歩留向上に効果があることがわかる。

１．・・・・第一ブロック
２．・・・・第二ブロック
３．・・・・シム
４．・・・・スロットギャップ開度調整ボルト
４Ａ．・・・調整ボルト組合せグループ（奇数；中央）
４Ｂ．・・・調整ボルト組合せグループ（偶数；両側）
５．・・・・組付けボルト
６．・・・・スロット
７．・・・・ぬすみ構造
７ｄ．・・・ぬすみ構造の水平方向深さ（奥行）
７ｈ．・・・ぬすみ構造の高さ
８．・・・・ベント部
８ｔ．・・・ベント部厚み
１０．・・・スロットダイ
１１．・・・貫通孔
１２．・・・調整ボルト用螺孔
１３．・・・セットボルト用螺孔
２１．・・・組付けボルト用螺孔
２２．・・・マニホールド
２３．・・・給液孔
３１．・・・貫通孔
４１．・・・押し下げボルト
４１ａ．・・螺孔
４２．・・・引き上げボルト
４２ａ．・・六角穴
４２ｂ．・・環状凹部（係合部）
４３．・・・セットボルト
４３ａ．・・六角穴
４４．・・・調整ボルト挿入孔
５１．・・・ワッシャ
Ｂ．・・・・基材
Ｃ．・・・・スロットギャップ
Ｆ．・・・・塗布膜
Ｌ．・・・・リップ先端
Ｍ．・・・・塗布液
Ｒ．・・・・バックアップロール
ｒ．・・・・回転方向（バックアップロール）
ｗ．・・・・塗工幅

Claims

基材に対して塗布液を供給するためのスロットを備えたスロットダイを用いた塗布膜の製造方法であって、前記スロットダイは、前記スロットと並行する方向に、その全長にわたってぬすみ構造が形成されてスロットに対するベント部が設けられており、前記スロットの塗工幅方向の中央部、両端側の３か所に、それぞれが３０〜１５０ｍｍピッチで配置され、かつ、複数個の組合せグループを形成しているスロットギャップ開度調整ボルトを操作することで、塗工幅方向においてスロットギャップを局所的に調整可能に構成されており、前記スロットを基材に対向して配置し、前記スロットダイのリップ先端に開口するスロットから塗布液を吐出して基材上に供給することを特徴とする塗布膜の製造方法。
前記スロットダイのベント部厚みが１０〜２５ｍｍの範囲内であることを特徴とする、請求項１に記載の塗布膜の製造方法。
前記スロットダイが、前記スロットを境にして第一ブロックと第二ブロックとに分割でき、前記スロットギャップ開度調整ボルトとは別の組付けボルトによって組立てられる構造であって、前記第一及び第二ブロックに挟持された１枚以上のシムによって前記スロットが形成されており、前記スロットの塗工幅方向の両端壁が、前記第一及び第二ブロックに挟持された前記シムによって形成されている構造を有することを特徴とする、請求項１または２に記載の塗布膜の製造方法。
前記シムの形状が平面視コの字型であり、前記スロットの塗工幅方向の両端壁を形成する部分にも組付けボルトが配置されていることを特徴とする、請求項３に記載の塗布膜の製造方法。
前記中央に配置されている組合せグループが３個以上の奇数個のスロットギャップ開度調整ボルト４で構成され、両端側に配置されている組合せグループが偶数個のスロットギャップ開度調整ボルトで構成されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の塗布膜の製造方法。
前記スロットギャップ開度調整ボルトが、押し下げボルトと、該押し下げボルトに内蔵された該押し下げボルトより小径の引き上げボルトから構成されており、前記押し下げボルトを締め付けることでスロットを狭める方向にベント部が変形し、前記引き上げボルトを緩めることでスロットギャップを広げる方向にベント部が変形する構造を有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の塗布膜の製造方法。
前記スロットダイが、ＨＲＣ硬度が２５〜４０である材料から構成されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の塗布膜の製造方法。
前記シムの厚みが５０〜１８０μｍであることを特徴とする請求項３〜７のいずれか一項に記載の塗布膜の製造方法。
塗布装置において用いられ、基材に対して塗布液を供給するためのスロットを備えたスロットダイであって、前記スロットの塗工幅方向と並行する方向に、その全長にわたってぬすみ構造が形成されてスロットに対するベント部が設けられており、前記スロットの塗工幅方向の中央部、両端側の３か所に、それぞれが３０〜１５０ｍｍピッチで配置され、かつ、複数個の組合せグループを形成しているスロットギャップ開度調整ボルトを備えており、該スロットギャップ開度調整ボルトを操作することで、塗工幅方向においてスロットギャップを局所的に調整可能に構成されていることを特徴とするスロットダイ。
前記ベント部厚みが１０〜２５ｍｍの範囲内であることを特徴とする、請求項９に記載のスロットダイ。
前記スロットを境にして第一ブロックと第二ブロックとに分割でき、前記スロットギャップ開度調整ボルトとは別の組付けボルトによって組立てられる構造であって、前記第一及び第二ブロックに挟持された１枚以上のシムによって前記スロットが形成されており、前記スロットの塗工幅方向の両端壁が、前記第一及び第二ブロックに挟持された前記シムによって形成されている構造を有することを特徴とする、請求項９または１０に記載のスロットダイ。
前記シムの形状が平面視コの字型であり、前記スロットの塗工幅方向の両端壁を形成する部分にも組付けボルトが配置されていることを特徴とする、請求項１１に記載のスロットダイ。
前記中央に配置されている組合せグループが３個以上の奇数個のスロットギャップ開度調整ボルト４で構成され、両端側に配置されている組合せグループが偶数個のスロットギャップ開度調整ボルトで構成されていることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれか一項に記載のスロットダイ。
前記スロットギャップ開度調整ボルトが、押し下げボルトと、該押し下げボルトに内蔵された該押し下げボルトより小径の引き上げボルトから構成されており、前記押し下げボルトを締め付けることでスロットギャップを狭める方向にベント部が変形し、前記引き上げボルトを緩めることでスロットギャップを広げる方向にベント部が変形する構造を有することを特徴とする、請求項９〜１３のいずれか一項に記載のスロットダイ。
ＨＲＣ硬度が２５〜４０である材料から構成されていることを特徴とする、請求項９〜１４のいずれか一項に記載のスロットダイ。
前記シムの厚みが５０〜１８０μｍであることを特徴とする請求項１１〜１５のいずれか一項に記載のスロットダイ。