JP2015062217A

JP2015062217A - 光源装置と面発光レーザの駆動方法、および画像取得装置

Info

Publication number: JP2015062217A
Application number: JP2014131616A
Authority: JP
Inventors: 藤井　英一; Hidekazu Fujii; 英一藤井; 武志内田; Takeshi Uchida
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2013-08-19
Filing date: 2014-06-26
Publication date: 2015-04-02
Also published as: US20150049341A1

Abstract

【課題】温度変化による影響を抑制し、広帯域に波長掃引を行うことが可能となる光源装置を提供する。【解決手段】可動ミラーと、前記可動ミラーと対向配置されたミラー、前記２つのミラーの間に配置された活性層と、を備えた面発光レーザ、前記可動ミラーをレーザ発振しない位置まで移動させるミラー駆動手段と、前記面発光レーザに電流を注入するレーザ駆動手段とレーザ発振しないミラー位置及びレーザ発振するミラー位置を含む、前記可動ミラーの位置情報を記憶する記憶手段と、前記記憶手段から出力される位置情報により、前記面発光レーザへの電流の注入を開始するタイミングを決定し、前記レーザ駆動手段を制御する制御手段と、を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、面発光レーザを有する光源装置と面発光レーザの駆動方法に関する。さらに、前記光源装置を備える画像取得装置に関する。

光源、特にレーザ光源については、発振波長を可変とするものが通信ネットワーク分野や検査装置の分野で種々利用されてきている。

通信ネットワーク分野では、高速な波長切替、また、検査装置の分野では高速で広範な波長掃引が、要望されている。

検査装置における波長可変（掃引）光源の用途として、レーザ分光器、分散測定器、膜厚測定器、波長掃引型光トモグラフィー（ＳｗｅｐｔＳｏｕｒｃｅＯｐｔｉｃａｌＣｏｈｅｒｅｎｃｅＴｏｍｏｇｒａｐｈｙ、以下、これをＳＳ−ＯＣＴと記す。）装置がある。

ＳＳ−ＯＣＴ装置は、光干渉を用いて検体の断層像を撮像するものである。ミクロンオーダーの空間分解能が得られることや無侵襲性等の理由から医用分野における研究が近年、盛んになってきている撮像技術である。

ＳＳ−ＯＣＴ装置の波長掃引光源としては、速い波長掃引速度と長い可干渉距離を両立でき、さらに低コストでの製造が可能な、面発光レーザ光源とＭＥＭＳミラーを組み合わせた波長可変型の面発光レーザが注目されている。このような可変波長型の面発光レーザは、特許文献１に開示されている。

特開２００４−２８１７３３号公報

しかし、面発光レーザにおいては、点灯／消灯を繰り返すような駆動を行った場合、安定な光出力が出射されず、点灯の立ち上がり時に出力が所望のパワーにならない場合がある。このため、可変波長型の面発光レーザを用いる場合、広帯域に波長掃引を行えない場合がある。

これは、面発光レーザは駆動時の内部温度上昇が大きく、また素子特性が温度に敏感で、同一の電流を注入しても温度によって光出力が変化するため、駆動電流だけで立ち上がり時の光出力を制御することができないからである。

本発明は、上記課題に鑑み、広帯域に波長掃引を行うことが可能となる面発光レーザを有する光源装置と面発光レーザの駆動方法、および画像取得装置を提供することを目的とする。

本発明の光源装置は、
可動ミラーと、前記可動ミラーと対向配置されたミラーと、前記２つのミラーの間に配置された活性層と、を備えた面発光レーザと、
前記可動ミラーをレーザ発振しない位置まで移動させるミラー駆動手段と、
前記面発光レーザに電流を注入するレーザ駆動手段と、
レーザ発振しないミラー位置及びレーザ発振するミラー位置を含む、前記可動ミラーの位置情報を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段から出力される位置情報により、前記面発光レーザへの電流の注入を開始するタイミングを決定し、前記レーザ駆動手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする。

また、本発明の面発光レーザの駆動方法は、
可動ミラーと、前記可動ミラーと対向配置されたミラーと、前記２つのミラーの間に配置された活性層と、を備えた面発光レーザの駆動方法であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのない波長が共振波長となる位置まで移動した以降であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのある波長が共振波長となる位置まで移動する以前に、前記面発光レーザへの電流の注入を開始することを特徴とする。

本発明によれば、温度変化による影響を抑制し、広帯域に波長掃引を行うことが可能となる面発光レーザを有する光源装置と面発光レーザの駆動方法を実現することができる。

本発明の実施形態におけるＯＣＴ装置に用いられる光源装置の構成例について説明する図である。本発明の実施形態における光源の構成例を説明するための図である。本発明の実施例１におけるレーザ発振しないミラー位置の位置情報を求める方法を説明するための図である。本発明の実施例１における光源装置の動作を説明する図である。比較例１を説明する図である。本発明の実施例２における構成例を説明する図である。本発明の実施例３における光源装置を備えた画像取得装置（ＯＣＴ）の構成例を説明する図である。

つぎに、本発明の実施形態におけるＯＣＴ装置（画像取得装置）に用いられる光源装置の構成例について、図１、２を用いて説明する。

光源装置は、垂直共振器型面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）の一方の共振器ミラーをＭＥＭＳで可動させる光源１０１を有している。

本実施形態の光源１０１は、可動ミラーの往復移動により、該可動ミラーと対向配置されたミラーとにより形成された共振器の共振器長を変え、レーザ光の波長を変化させるように構成された面発光レーザである。

図２に、光源１０１のより詳細な構成を示す。

光源１０１は、導電性のある半導体基板２０１、下部ＤＢＲ（ＤｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄＢｒａｇｇＲｅｆｌｅｃｔｏｒ）２０２、ｎ型クラッド層２０３、活性層２０４、ｐ型クラッド層２０５、電流狭窄層２０６、レーザ駆動用電極２０７、２０８を有する。

また、光源１０１は、Ｓｉ基板２１３、絶縁層兼可動ギャップ形成層２１２、可動梁２１１、可動ミラー２１４、絶縁層兼共振器ギャップ形成層２１０、可動ミラー駆動用電極２１５、２１６、発光部と可動ミラー部を接合するための金パッド２０９を有する。

レーザ駆動用電極２０７、２０８の間に電圧が印加されると、電極２０７、２０８から電子あるいは正孔が注入され、バンドギャップの最も狭い活性層２０４において正孔と電子の結合が生じて光が発せられる。ＤＢＲ２０２と可動ミラー２１４との間に形成される光共振器によって光増幅され、可動ミラー２１４側から出射される。

この場合、出射されるレーザ光の波長は、可動ミラー２１４と活性層２０４との間に形成されるエアギャップの大きさに対応するので、このエアギャップの大きさを変化させることによりレーザ光の波長を変化させることができる。

次に、レーザ光の波長を変化させる動作について説明する。

可動ミラー駆動用電極２１５、２１６の間に駆動電圧を印加すると、可動梁２１１と可動ミラー駆動用電極２１６との間に静電気力が働き、可動梁２１１に設けられた可動ミラー２１４は光の射出方向において変位し、エアギャップの大きさは大きくなる。

従って、駆動電圧を制御してエアギャップの大きさを制御することにより、任意所望のレーザ光の波長を得ることができる。

この光源１０１には、ＭＥＭＳミラーを駆動するためのミラー駆動回路（ミラー駆動手段）１０２と、ＶＣＳＥＬを駆動するためのレーザ駆動回路（レーザ駆動手段）１０３が接続されている。レーザ駆動回路１０３は、ＶＣＳＥＬに電流を注入する回路である。

ミラー駆動回路１０２とレーザ駆動回路１０３は、制御装置１０４によって制御される。制御装置１０４は信号源１０５の出力に同期し、光源１０１の出力光が略波数リニアに変化するような可動ミラー駆動信号を生成する。

また、可動ミラー２１４は、レーザ共振器長が活性層のゲインが小さく光源１０１がレーザ発振できない波長となる位置まで移動するような振幅で駆動する。制御装置１０４はレーザ発振しないミラー位置の位置情報を記憶する記憶手段１０６の位置情報を用いて、光源１０１に電流注入するタイミングを決定し、レーザ駆動回路１０３を制御する。

光源１０１に電流注入するタイミングの決定方法をより詳しく説明する。

事前に、ＯＣＴ用の光源１０１として利用する時と同程度の大きさの直流電流をレーザ駆動回路から供給しながら、可動ミラーを低速、例えば０．１Ｈｚで駆動する。

このとき、ミラー位置と光源１０１の出力の関係を検出して、光源１０１がレーザ発振するミラー位置、レーザ発振しないミラー位置の情報を記憶装置１０６が記憶する。

この情報を用いて、最短キャビティ時はレーザ発振しないミラー位置、最長キャビティ時もレーザ発振しないミラー位置となるように、可動ミラーの駆動範囲を決定する。

こうして決定した可動ミラー駆動範囲で可動ミラーを信号源１０５に同期してミラー駆動回路１０２で駆動する。

そして、ミラー位置が、レーザ共振器の共振器長が最短共振器長となるミラーの位置よりも活性層２０４側であって、レーザ発振しないミラー位置にミラーが存在する時刻に、レーザ駆動回路１０３を制御して光源への電流注入を開始する。

具体的には、可動ミラーが面発光レーザにおける発光ゲインのない波長が共振波長となる位置まで移動した以降であって、可動ミラーが、面発光レーザにおける発光ゲインのある波長が共振波長となる位置まで移動する以前に、開始される。

さらに、このとき、電流注入を開始する時刻は、ミラーが移動してレーザ発振可能な位置に達するよりも少なくとも５００ｎｓ以上前であることが望ましい。より望ましくは、電流注入を開始する時刻は、ミラーが移動してレーザ発振可能な位置に達するより１μｓ以上前であることが好ましい。

次に、ミラー位置が、レーザ共振器の共振器長が最長共振器長となるミラーの位置よりも活性層２０４とは反対側であって、レーザ発振しないミラー位置にミラーが存在する時刻に、レーザ駆動回路１０３を制御して光源１０１への電流注入を停止する。

上記のようにミラー駆動回路１０２とレーザ駆動回路１０３を制御することで、実効的な波長掃引幅が狭まるという前述した課題を解決し、短波長から長波長へ広帯域に波長掃引を行うことが可能となる光源装置とその駆動方法を提供できる。

なお、上記のような波長可変型の面発光レーザをＳＳ−ＯＣＴ装置に利用する場合、往復掃引で眼底を走査して撮像すると画質が悪化する。

これは、活性層内部での非線形光学効果により、短波長から長波長に掃引する場合と、長波長から短波長に掃引する場合で出力が異なるためである。

この出力差の影響で、往復掃引で眼底走査して撮像すると１撮像点置きにコントラストの異なった断層画像となり、画質が悪化する。

これを避けるため、一方向の掃引のみで撮像する方法が採用されている。一方向の掃引のみで撮像する方法では、眼科用ＳＳ−ＯＣＴ装置ではおよそ半分の時間は光源が消灯していることになる。これは、眼科用のＳＳ−ＯＣＴ装置では、レーザ光による眼への障害を避けるため、不要なレーザ光の眼内への照射を極力避けるためである。

眼科用ＳＳ−ＯＣＴ装置で、例えば１００ｋＨｚのスキャンレートで断層像を撮像する場合、およそ５μｓの時間光源が消灯することになる。

面発光レーザの温度変化の時定数は、サブμｓから数μｓであるから、前記消灯時間は内部温度変化による発振閾値電流変化を生じるのに十分な時間となる。このため、波長掃引型の面発光レーザで一方向の波長掃引のみで撮像する方法を実行すると、波長掃引光出力の出力開始部分で面発光レーザの発振閾値電流が時間とともに低下し、上述した課題が顕著に表れる。

以下に、本発明の実施例について説明する。

［実施例１］
実施例１として、ＧａＡｓ基板を用い、ＩｎＧａＡｓの多重量子井戸を活性層に用いた１０６０ｎｍ近傍でレーザ発振可能なＭＥＭＳ−ＶＣＳＥＬ型の光源を用い、図１に示した本発明のＯＣＴ用光源装置を構成した。

光源１０１にレーザ駆動回路１０３を用いて６ｍＡの定電流を流した。この状態で、ミラー駆動回路から印加する可動ミラー駆動電圧を０Ｖにして、可動ミラーを共振器長が最短となる位置ｚｓに保持した。

次に、可動ミラー駆動電圧を徐々に上げて、可動ミラーを共振器長が長くなる方向に移動させ、約１０秒かけてミラーが可動な最長共振器長となる位置ｚｅまで可動ミラーを移動させた。

この間に、図３に示すようなミラー位置と光出力の関係を測定し、レーザ発振しないミラー位置ｚ１から位置ｚ２と位置ｚ３から位置ｚ４を求めた。

以上のように求めたレーザ発振しないミラー位置の位置情報を記憶する記憶手段１０６の位置情報を用いて、制御装置１０４により可動ミラーが位置ｚ１と位置ｚ３の間を往復するようにミラー駆動回路を制御した。なお、可動ミラーが位置ｚ１と位置ｚ２との間にある場合には、レーザ発振が起こらない。

可動ミラーが往復する周波数、すなわち波長掃引周波数は１００ｋＨｚにした。このとき、レーザ共振器の共振周波数がおおよそ時間に比例して変化するように、可動ミラーの駆動を制御した。また、レーザ駆動回路は以下のように制御した。レーザ共振器の共振器長が短くなる方向に可動ミラーが移動している過程、つまり、可動ミラーが位置ｚ３から位置ｚ１に移動している途中であって、可動ミラーが位置ｚ２を通過した時にレーザ駆動電流の印加を開始した。レーザ共振器の共振器長が長くなる方向に可動ミラーが移動している過程、つまり、可動ミラーが位置ｚ１から位置ｚ３に移動している途中であって、可動ミラーが位置ｚ３に到達した時にレーザ駆動電流の印加を停止した。

以上の、実施例１の光源装置の駆動方法を含む動作を、図４を用いて説明する。図４（ａ）は駆動電流の時間変化、（ｂ）は光出力の変化、（ｃ）は共振器長の変化、（ｄ）はレーザ発振周波数変化を表している。本実施例の光源装置では、実際に波長掃引光の光出力が開始する前に、駆動電流を注入してもレーザ発振を生じない予備注入の時間が最大になるように制御した。

このようにレーザ発振しない条件であっても、電流を流せば共振器中の活性層の温度は上昇するため、この予備注入によってレーザ発振開始時までに活性層を十分に予備加熱できる。この結果、波長半値幅（図４のΔｆ）で３０ＴＨｚの広帯域な掃引が実現できた。

（比較例）
つぎに、比較例について、図５を用いて説明する。

実施例１と同様な光源を用い、図５に示すように、光源がレーザ発振可能な可動ミラー位置、位置ｚ２から位置ｚ３の間をカバーするように可動ミラーを駆動した。

レーザ駆動回路は、可動ミラーが共振器長が長くなる方向に移動している領域であって、レーザ発振可能な位置ｚ２から位置ｚ３に可動ミラーが移動する間、レーザ駆動電流を注入するように動作させた。

つまり、通常行われるように、レーザ光出力を出力させたい時に電流を注入し、レーザ光出力を停止したい時に電流注入を停止するという制御を行った。

この結果、図５（ｂ）に示すように、位置ｚ２近傍では光出力が小さくなってしまい、高周波数（短波長）側で小さい出力しか得られなかった。

この結果、波長掃引出力の波長半値幅（図５のΔｆ）が１２ＴＨｚとなり、実施例１と比べて帯域の狭い波長掃引光出力しか得られなかった。

［実施例２］
実施例２として、実施例１と同様の図１に示した本発明のＯＣＴ用の光源装置を構成した。

図６に示すように、光源がレーザ発振可能な可動ミラー位置、位置ｚ２から位置ｚ３の間を包含するように可動ミラーを駆動した。具体的には、最短共振器長となる位置ｚ５から最長共振器長となる位置ｚ６まで可動ミラーを駆動させた。なお、可動ミラーが位置ｚ５と位置ｚ２との間、位置ｚ３と位置ｚ６との間にある場合には、レーザ発振が起こらない。

可動ミラーの往復運動の周波数は３００ｋＨｚにした。面発光レーザ光源は制御装置１０４とレーザ駆動回路１０３を用いて以下のように制御した。

可動ミラーが共振器長が短くなる方向に移動している領域、つまり、可動ミラーが位置ｚ６から位置ｚ５に移動している途中であって、可動ミラーがｚ２を通過した時にレーザ駆動電流の印加を開始した。

そして、可動ミラーが最短共振器長となる位置ｚ５で折り返しふたたび位置ｚ２の位置に到達するまでの間、８ｍＡの駆動電流を流した。

引き続き可動ミラーが位置ｚ２から位置ｚ３の位置に移動する間６ｍＡの電流を流し、可動ミラーが位置ｚ３に到達した時点で電流印加を停止した。

この結果、波長掃引出力の波長半値幅（図６のΔｆ）で３０ＴＨｚの広帯域な掃引が実現できた。

本実施例では、可動ミラーの往復運動の周波数、すなわち波長掃引周波数を３００ｋＨｚと高速にしているため、駆動電流を注入してもレーザ発振を生じない予備注入の時間が５００ｎｓと短くなっている。

そこで、予備注入時間が短くても広帯域な掃引を実現するため、予備注入電流を増加させた。本実施例のように、予備注入電流量を適切に増やすことで、高速な波長掃引においても本発明の効果を発揮し、広帯域な波長掃引が実現できる。

［実施例３］
実施例３として、光源部に本発明の光源装置を備えた画像取得装置（具体的には、ＯＣＴ装置である）の構成例について、図７を用いて説明する。

図７において、７０１は本実施例による光源装置、７０４はＯＣＴ干渉計を示す。７０７は被検体の走査部、７０６は参照面である。

７０５は被検体からの光束と参照面からの光束を合波干渉させるファイバーカプラー、７０２、７０３は差動検出系を構成するためのファイバーカプラー、７０８は変調干渉信号を差動検出するディテクターである。

７０９は断層画像を計算するために用いる波数クロックを生成するｋクロック装置である。７１０は電気的に検出した信号をデジタル化し、フーリエ変換などの計算をして断層画像を計算するコンピュータ、７１１はその断層像を表示する装置である。

光源装置７０１からの光束はファイバーを通り、カップラー７０２で２方向に分岐する。その一方はｋクロック装置７０９に接続され、波数クロックが生成される。他方は、カプラー７０５で２方向に分岐する。

その一方の腕は、走査光学系を経由して被検体である眼底の網膜を照射する。そして、反射光が再びファイバーカップラー７０５に戻る。他方の腕に分岐した光束は、参照ミラーを照射し、この参照ミラーからの反射光が再びファイバーカップラー７０５にもどる。

このように、被検体測定部から伝達された反射光と、参照部から伝達された反射光とがファイバーカップラー７０５（干渉部）で干渉し、この干渉光がカプラー７０２、７０３を経由して光検出部を構成する差動検出器７０８に入る。

このとき光源装置７０１からの波長を変化させると、断層構造に応じた変調干渉信号が得られる。

この信号をｋクロック装置７０９で生成した波数クロックに同期してデジタル化し、画像処理部を構成するコンピュータ７１０でフーリエ変換することにより断層信号を取得することができる。

これはポイントの断層信号なので、７０７の走査部を走査して一次元方向の断層像を測定し、表示装置７１１により可視化することにより光断層像が検出できる。

以上による光断層画像撮像装置によってコヒーレンス長が長く且つ波数掃引幅が３０ＴＨｚ以上の広帯域な干渉信号から演算した光断層画像が得られるため、検出深さが深く、深さ方向の検出分解能が高いＯＣＴ装置を提供できる。

以上のように、本発明の面発光型で且つ往復掃引型の光源をＯＣＴ装置に用いることにより、ＳＮ比の良好な高画質の断層像を撮像することが可能となる。

１０１光源
１０２ミラー駆動回路
１０３レーザ駆動回路
１０４制御装置
１０５信号源
１０６記憶手段

Claims

可動ミラーと、前記可動ミラーと対向配置されたミラーと、前記２つのミラーの間に配置された活性層と、を備えた面発光レーザと、
前記可動ミラーをレーザ発振しない位置まで移動させるミラー駆動手段と、
前記面発光レーザに電流を注入するレーザ駆動手段と、
レーザ発振しないミラー位置及びレーザ発振するミラー位置を含む、前記可動ミラーの位置情報を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段から出力される位置情報により、前記面発光レーザへの電流の注入を開始するタイミングを決定し、前記レーザ駆動手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする光源装置。
前記面発光レーザへの電流の注入が、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのない波長が共振波長となる位置まで移動した以降であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのある波長が共振波長となる位置まで移動する以前に、開始されることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
前記面発光レーザへの電流の注入の開始が、前記可動ミラーが移動してレーザ発振の可能な位置に達するよりも少なくとも５００ｎｓ以上前であることを特徴とする請求項１または２に記載の光源装置。
前記面発光レーザへの電流の注入の開始が、前記可動ミラーが移動してレーザ発振の可能な位置に達するより少なくとも１μｓ以上前であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光源装置。
前記面発光レーザへの電流の注入が、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのない波長が共振波長となる位置まで移動した以降であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのある波長が共振波長となる位置まで移動する以前に開始され、
更に、前記発光ゲインのある波長が共振波長となる位置に前記可動ミラーが移動するまでに面発光レーザへ注入される電流が、
前記発光ゲインのある波長が共振波長となる位置に前記可動ミラーが移動した後のレーザ発振させるために面発光レーザへ注入される電流よりも大きいことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の光源装置。
前記面発光レーザへの電流の注入が開始された後、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのない波長が共振波長となる位置まで移動した以降であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのある波長が共振波長となる位置まで移動する以前に、前記面発光レーザへの電流の注入を停止することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光源装置。
信号源を備え、前記制御手段は前記信号源の出力に同期し、前記面発光レーザの出力が略波数リニアに変化するようにした可動ミラー駆動信号を生成することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の光源装置。
前記制御手段の制御によって、短波長から長波長へ波長掃引することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光源装置。
可動ミラーと、前記可動ミラーと対向配置されたミラーと、前記２つのミラーの間に配置された活性層と、を備えた面発光レーザの駆動方法であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのない波長が共振波長となる位置まで移動した以降であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのある波長が共振波長となる位置まで移動する以前に、前記面発光レーザへの電流の注入を開始することを特徴とする面発光レーザの駆動方法。
前記面発光レーザへの電流の注入の開始が、前記可動ミラーが移動してレーザ発振の可能な位置に達するよりも少なくとも５００ｎｓ以上前であることを特徴とする請求項９に記載の面発光レーザの駆動方法。
前記面発光レーザへの電流の注入の開始が、前記可動ミラーが移動してレーザ発振の可能な位置に達するより少なくとも１μｓ以上前であることを特徴とする請求項９または１０に記載の面発光レーザの駆動方法。
前記面発光レーザへの電流の注入が、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのない波長が共振波長となる位置まで移動した以降であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのある波長が共振波長となる位置まで移動する以前に開始され、
更に、前記発光ゲインのある波長が共振波長となる位置に前記可動ミラーが移動するまでに面発光レーザへ注入される電流が、
前記発光ゲインのある波長が共振波長となる位置に前記可動ミラーが移動した後のレーザ発振させるために面発光レーザへ注入される電流よりも大きいことを特徴とする請求項９から１１のいずれか１項に記載の面発光レーザの駆動方法。
前記面発光レーザへの電流の注入が開始された後、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのない波長が共振波長となる位置まで移動した以降であって、
前記可動ミラーが前記面発光レーザにおける発光ゲインのある波長が共振波長となる位置まで移動する以前に、前記面発光レーザへの電流の注入を停止することを特徴とする請求項９から１２のいずれか１項に記載の面発光レーザの駆動方法。
前記面発光レーザの出力が略波数リニアに変化するようにした可動ミラー駆動信号を生成することを特徴とする請求項９から１３のいずれか１項に記載の面発光レーザの駆動方法。
前記制御手段の制御によって、短波長から長波長へ波長掃引することを特徴とする請求項９から１４のいずれか１項に記載の面発光レーザの駆動方法。
請求項１から８のいずれか１項に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光を被検体に照射し、被検体からの反射光を伝達させる測定部と、
前記光源装置からの光を参照ミラーに照射し、該参照ミラーからの反射光を伝達させる参照部と、
前記被検体測定部からの反射光と前記参照部からの反射光とを干渉させる干渉部と、
前記干渉部からの干渉光を検出する光検出部と、
前記光検出部で検出された光に基づいて、前記被検体の光断層画像を取得する画像処理部と、
を有することを特徴とする画像取得装置。