JP2015059874A - マイクログルコースセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
(1)小さなファイバーの限られた表面上の高効率電極、
(2)多層構造アライメントといった、異なる機能材料の集積が容易、
(3)大量生産が容易。
図5は、ナノインプリントおよびフォトリソグラフィー技術の組み合わせを使用したファイバー上の電気化学電極の作製過程を示す。ファイバー11は、図2(b)および図4に示す本発明のナノインプリントモジュールによって挟まれ、微小パターン12が形成される(図5(b))。ナノインプリントされたファイバーは、Pt金属薄膜で覆われる。次に、レジスト13a〜13cによって覆われ、図2(a)および図3に示す、本願発明の3D露光モジュール(ただし、微細パターンが図2(a)のものとは異なる)に導入され、フォトリソグラフィープロセスが実行される(図5(c))。現像後、Ptフィルムは、基本の電極14a〜14cを形成するためにパターニングされる(図5(d))。リファレンス電極を形成するために、薄いレジストフィルム15が形成され、パターニングされる。厚さ300nmのAg薄膜が形成され、その表面が厚さ約200nmのAgCl層16に修正され(図5(e))レジストが除去される(図5(f))。次に、酵素と他の機能性材料がインクジェット法によってワーク電極16(AgCl層16)内に導入される。ナノインプリントパターンの存在のため、酵素および他の機能性材料はワーク電極16内によく閉じ込められる。薄い、または厚いフィルムを形成するためにスプレーコーティング技術が使用される。浸漬被覆技術も可能である。パッシベーション層が形成される場合、酵素は、ディッピング法によってナノインプリント電極上に形成されることが出来る。
2a、2b、2c 電極
3a、3b、3c ナノインプリントパターン
4、8 ハーフパイプ基板
5、13a、13b、13c レジスト材料
6 金属膜
7 金属の層
9 レジストモールド
10 ニッケル合金フィルムまたは他の材料
11 ファイバー
12 微小パターン
14a、14b、14c 基本の電極
15 レジストフィルム
16 AgCl層
Claims (9)
- 微小キャピラリー上へのグルコースセンサ作製のための3D微細加工モジュールであって、
ハーフパイプ基板と、
前記ハーフパイプ基板上の金属薄膜と、
を含み、前記金属薄膜は微細パターンを形成していることを特徴とする3D微細加工モジュール。 - 前記微細パターンは、前記微小キャピラリー上にピラー構造を形成するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の3D微細加工モジュール。
- 前記ハーフパイプ基板がUV透過型であって、ナノインプリントプロセスがUVベースであることを特徴とする請求項1に記載の3D微細加工モジュール。
- ナノインプリントプロセスが熱ベースであることを特徴とする請求項1に記載の3D微細加工モジュール。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の3D微細加工モジュールを用いて作製したグルコースセンサであって、
微小キャピラリーと、
微小キャピラリー上に電極と
を含み、前記電極は微小パターンを有し、前記電極内に酵素を有することを特徴とするグルコースセンサ。 - 微小キャピラリー上へのグルコースセンサ作製のためのフォトリソグラフィーモジュールの作製方法であって、
ハーフパイプ基板内にレジスト材料を設置することと、
マルチフォトニック重合ベースの直接レーザー書き込み技術を使用して前記ハーフパイプ内の微細パターンを形成することと、
前記ハーフパイプ基板内に金属薄膜を堆積させることと、
前記レジスト材料を除去することと
を備えた方法。 - 微小キャピラリー上へのグルコースセンサ作製のための3Dナノインプリントモジュールの作製方法であって、
ハーフパイプ基板内に金属のシード層を堆積させることと、
前記ハーフパイプ基板内にレジスト材料を設置することと、
マルチフォトニック重合ベースの直接レーザー書き込み技術を使用して前記ハーフパイプ内の微細パターンを形成することと、
前記ハーフパイプ基板内に、ニッケル合金フィルムを堆積させることと、
前記レジスト材料および前記シード層を除去することと
を備えた方法。 - 微小キャピラリー上へのグルコースセンサの作製方法であって、
請求項7に記載の方法で作製された3Dナノインプリントモジュールによって前記微小キャピラリーを覆い、前記微小キャピラリー上に微小パターンをインプリントすることと、
インプリントされた前記微小キャピラリー上にPt金属薄膜を堆積させることと、
前記Pt金属薄膜上をレジストで覆うことと、
請求項6に記載の方法で作製されたフォトリソグラフィーモジュールによって前記微小キャピラリーを覆い、フォトリソグラフィープロセスを実行することと、
前記Pt金属薄膜をパターニングすることと、
前記Pt金属薄膜がパターニングされた前記微小キャピラリーを薄いレジスト層で覆い、パターニングすることと、
前記パターニングされた前記微小キャピラリー上にAg薄膜を形成することと、
前記Ag薄膜が形成された前記微小キャピラリーをHCl溶液に浸し、Ag薄膜をAgClに転換して電極とすることと、
前記電極内に酵素を導入することと
を備えた方法。 - 前記微細パターンは、ピラー構造であることを特徴とする請求項8に記載の方法。
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