JP2015055556A - Hygrometer constituent member, hygrometer, and environment testing device - Google Patents

Hygrometer constituent member, hygrometer, and environment testing device Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hygrometer constituent member capable of preventing the corrosion of a heat transfer member and the falling of a temperature detection part in a measurement space, and accurately measuring temperature to be used for a humidity arithmetic operation.SOLUTION: A hygrometer constituent member includes: a heat pipe 11 having a first portion 11a disposed in a measurement space 101 and a second portion 11b disposed in an external space heat-insulated from the measurement space 101; a temperature sensor 12, mounted on the surface of the first portion 11a of the heat pipe 11, for detecting the temperature of the surface of the first portion 11a; a protection pipe 14 for covering the first portion 11a of the heat pipe 11 and the temperature sensor 12; and a heat radiation part 13, connected to the second portion 11b of the heat pipe 11, for receiving heat from the second portion 11b and radiating heat to the external space. The first portion 11a of the heat pipe 11 is thermally connected via a filler 15 to the protection pipe 14.

Description

本発明は、湿度計構成部材、湿度計、および環境試験装置に関する。   The present invention relates to a hygrometer component, a hygrometer, and an environmental test apparatus.

従来、環境試験装置のチャンバ内部の測定空間の相対湿度を測定するために、特許文献1に記載されているようにヒートパイプなどの伝熱部材を用いた湿度計が用いられている。   Conventionally, in order to measure the relative humidity of the measurement space inside the chamber of the environmental test apparatus, a hygrometer using a heat transfer member such as a heat pipe is used as described in Patent Document 1.

この湿度計は、ヒートパイプなどの伝熱部材と、当該ヒートパイプの表面に取り付けられた温度センサとを備えている。ヒートパイプの一端部は、チャンバの断熱層を貫通して、当該チャンバ内部の測定空間の内部に挿入されている。ヒートパイプの他端部は、チャンバ外部の外部空間に晒されている。温度センサは、チャンバ内部に突出したヒートパイプの一端部の表面に接着されたり、テープやバンドなどを用いて固定されている。   This hygrometer includes a heat transfer member such as a heat pipe and a temperature sensor attached to the surface of the heat pipe. One end of the heat pipe penetrates through the heat insulating layer of the chamber and is inserted into the measurement space inside the chamber. The other end of the heat pipe is exposed to an external space outside the chamber. The temperature sensor is bonded to the surface of one end portion of the heat pipe protruding into the chamber, or is fixed using a tape or a band.

ヒートパイプは、熱伝導性の良い密閉された細い管の内部に熱伝達媒体として水などの作動流体が減圧状態で封入されたものであり、測定空間の内部および外部にそれぞれ突出する端部間において熱伝達を行う。このようなヒートパイプは、常時、測定空間外部に露出する端部が外気によって冷却されているので、測定空間内部の端部を露点以下に維持することが可能である。そして、測定空間の内部に突出するヒートパイプの端部の表面温度を温度センサによって測定する。乾球温度測定部によって得られた乾球温度およびヒートパイプ端部の表面温度を演算回路に入力し、所定の演算式で演算することにより、測定空間内部の相対湿度を求めることが可能である。   A heat pipe is a sealed thin tube with good thermal conductivity, in which a working fluid such as water is sealed under reduced pressure as a heat transfer medium, and between the ends projecting inside and outside the measurement space. Heat transfer in In such a heat pipe, since the end exposed to the outside of the measurement space is always cooled by the outside air, the end inside the measurement space can be maintained below the dew point. And the surface temperature of the edge part of the heat pipe which protrudes inside the measurement space is measured by a temperature sensor. It is possible to obtain the relative humidity inside the measurement space by inputting the dry bulb temperature obtained by the dry bulb temperature measuring unit and the surface temperature of the end of the heat pipe into the arithmetic circuit and calculating with a predetermined arithmetic expression. .

特開2012−83206号公報JP 2012-83206 A

上記のような構成では、ヒートパイプなどからなる伝熱部材は、測定空間に露出した状態で環境試験に使用されるので腐食しやすい。しかも、ヒートパイプは、通常、熱伝導性の良い銅で製造されているので、とくに腐食しやすい。   In the above configuration, the heat transfer member made of a heat pipe or the like is easily corroded because it is used for the environmental test in a state exposed to the measurement space. In addition, heat pipes are usually made of copper with good thermal conductivity, and are particularly susceptible to corrosion.

また、ヒートパイプの表面温度測定用の温度センサは、チャンバ内部に突出したヒートパイプの一端部の表面に接着などによって固定されているので、測定空間内部の水分などによって温度センサがヒートパイプ表面から脱落するおそれがあり、固定強度や耐久性に問題がある。   In addition, since the temperature sensor for measuring the surface temperature of the heat pipe is fixed to the surface of one end of the heat pipe protruding into the chamber by bonding or the like, the temperature sensor is separated from the surface of the heat pipe by moisture or the like inside the measurement space. There is a risk of falling off, and there is a problem in fixing strength and durability.

また、上記問題を解決するために、ヒートパイプおよび温度センサを保護するカバーを取り付けることが考えられるが、そのような場合、そのカバーとヒートパイプとの間の隙間にできる空気層の熱抵抗によって、温度センサによって得られる測定温度と、カバーをしないときに温度センサにより測定される測定温度(以下、「測定空間の実際の温度」という)との間のずれが大きくなり、温度センサにおける測定空間内部の温度変化に対する追従性が低下するので、湿度演算に用いる温度の正確な測定が困難になる。   In order to solve the above problem, it is conceivable to attach a cover for protecting the heat pipe and the temperature sensor. In such a case, the heat resistance of the air layer formed in the gap between the cover and the heat pipe may be considered. The difference between the measured temperature obtained by the temperature sensor and the measured temperature measured by the temperature sensor when not covered (hereinafter referred to as “the actual temperature of the measurement space”) becomes large, and the measurement space in the temperature sensor Since the followability to the internal temperature change is reduced, it is difficult to accurately measure the temperature used for the humidity calculation.

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、測定空間内部における伝熱部材の腐食および温度検出部の脱落を防止することができ、しかも、湿度演算に用いる温度を正確に測定することが可能な湿度計構成部材、およびそれを備えた湿度計および環境試験装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the circumstances as described above, and can prevent corrosion of the heat transfer member and drop-off of the temperature detection unit inside the measurement space, and can accurately set the temperature used for the humidity calculation. An object of the present invention is to provide a hygrometer component that can be measured, and a hygrometer and an environmental test apparatus including the hygrometer component.

上記課題を解決するためのものとして、本発明の湿度計構成部材は、測定空間における湿度を測定するための湿度計構成部材であって、作動流体が封入されるとともにヒートパイプ現象を生じさせ得るように構成され、前記測定空間に配置される第1部分と、前記測定空間から断熱された外部空間に配置される第2部分とを有し、当該第1部分と第2部分との間で熱が伝達される伝熱部材と、前記伝熱部材の前記第1部分の表面に取り付けられ、当該第1部分の温度を検出する温度検出部と、前記伝熱部材の前記第1部分および前記温度検出部を覆う保護管と、前記伝熱部材の前記第2部分に接続され、当該第2部分から熱を受けて前記外部空間に放熱する放熱部とを備え、前記伝熱部材の前記第1部分は、前記保護管に熱的に接続されていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, the hygrometer component of the present invention is a hygrometer component for measuring humidity in a measurement space, and can enclose a working fluid and cause a heat pipe phenomenon. A first portion arranged in the measurement space and a second portion arranged in an external space insulated from the measurement space, and between the first portion and the second portion A heat transfer member to which heat is transferred, a temperature detector attached to the surface of the first part of the heat transfer member, and detecting the temperature of the first part; the first part of the heat transfer member; A protection tube that covers the temperature detection unit; and a heat dissipation unit that is connected to the second part of the heat transfer member and receives heat from the second part and dissipates heat to the external space. One part is thermally connected to the protective tube It is characterized in.

かかる構成によれば、伝熱部材における測定空間に配置される第1部分の表面に温度検出部が取り付けられ、これら第1部分および温度検出部が保護管によって覆われているので、測定空間内部における伝熱部材の腐食および温度検出部の脱落を防止することができる。   According to such a configuration, the temperature detector is attached to the surface of the first part arranged in the measurement space of the heat transfer member, and the first part and the temperature detector are covered with the protective tube. It is possible to prevent corrosion of the heat transfer member and dropping off of the temperature detection unit.

しかも、前記伝熱部材の第1部分は、前記保護管に熱的に接続されているので、空気層を介在させずに保護管から伝熱部材へ熱を伝導することが可能である。したがって、伝熱部材に取り付けられた温度検出部によって得られる測定温度と測定空間内部の実際の温度との間のずれが低減する。そのため、温度検出部における測定空間内部の温度変化に対する追従性が向上し、湿度演算に用いる温度の正確な測定が可能になる。   In addition, since the first portion of the heat transfer member is thermally connected to the protection tube, heat can be conducted from the protection tube to the heat transfer member without interposing an air layer. Therefore, the deviation between the measurement temperature obtained by the temperature detection unit attached to the heat transfer member and the actual temperature inside the measurement space is reduced. Therefore, the followability to the temperature change in the measurement space in the temperature detection unit is improved, and the temperature used for the humidity calculation can be accurately measured.

また、前記伝熱部材と前記保護管との間に、熱伝導性の充填材が充填され、前記伝熱部材の第1部分は、前記充填材を介して前記保護管に熱的に接続されている構成であってもよい。   A heat conductive filler is filled between the heat transfer member and the protective tube, and the first portion of the heat transfer member is thermally connected to the protective tube via the filler. It may be a configuration.

かかる構成によれば、熱伝導性の充填材を介在させて保護管から伝熱部材へ熱が伝導されるので、温度検出部における測定空間内部の温度変化に対する追従性が向上し、湿度演算に用いる温度の正確な測定が可能になる。しかも、伝熱部材と保護管との間に充填材が充填されるので、伝熱部材の第1部分と保護管とを密着させる作業が必要なくなり、組み立て作業性が向上する。   According to such a configuration, heat is conducted from the protective tube to the heat transfer member via the heat conductive filler, so that the followability to the temperature change in the measurement space in the temperature detection unit is improved, and the humidity calculation is performed. It is possible to accurately measure the temperature used. In addition, since the filler is filled between the heat transfer member and the protective tube, the work of bringing the first portion of the heat transfer member into close contact with the protective tube is not required, and the assembly workability is improved.

また、前記伝熱部材の第1部分の周面の少なくとも一部は、前記保護管の内面に密着している構成であってもよい。   Further, at least a part of the peripheral surface of the first portion of the heat transfer member may be in close contact with the inner surface of the protective tube.

かかる構成によれば、前記伝熱部材の第1部分の周面は、前記保護管の内面に密着しているので、保護管から伝熱部材へ熱を直接伝導させることが可能である。したがって、温度検出部における測定空間内部の温度変化に対する追従性が向上し、湿度演算に用いる温度の正確な測定が可能になる。   According to this configuration, the peripheral surface of the first portion of the heat transfer member is in close contact with the inner surface of the protective tube, so that heat can be directly conducted from the protective tube to the heat transfer member. Therefore, the followability to the temperature change in the measurement space in the temperature detection unit is improved, and the temperature used for the humidity calculation can be accurately measured.

また、前記温度検出部は、前記伝熱部材の第1部分の表面と前記保護管との間に挟まれて保持されているのが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said temperature detection part is pinched | interposed and hold | maintained between the surface of the 1st part of the said heat-transfer member, and the said protective tube.

かかる構成によれば、温度検出部は、伝熱部材の第1部分の表面と保護管との間に挟まれて保持されているので、温度検出部が伝熱部材の表面から脱落するおそれが低減し、温度検出部の保持状態を安定させることが可能である。   According to such a configuration, the temperature detection unit is sandwiched and held between the surface of the first portion of the heat transfer member and the protective tube, so that the temperature detection unit may fall off the surface of the heat transfer member. It is possible to reduce and stabilize the holding state of the temperature detection unit.

また、前記伝熱部材は、ヒートパイプであるのが好ましい。   The heat transfer member is preferably a heat pipe.

ヒートパイプは、通常、熱伝導性の良い銅で製造されているので、測定空間に露出した状態で環境試験を使用すればとくに腐食しやすいが、上記の構成では、伝熱部材であるヒートパイプの第1部分が保護管によって覆われているので、測定空間内部におけるヒートパイプの腐食を防ぐことが出来る。   Since heat pipes are usually made of copper with good thermal conductivity, they are particularly susceptible to corrosion when used in environmental tests when exposed to the measurement space. However, in the above configuration, the heat pipe is a heat transfer member. Since the first portion is covered with a protective tube, corrosion of the heat pipe in the measurement space can be prevented.

また、前記保護管は、耐腐食性を有する金属によって製造されているのが好ましい。   The protective tube is preferably made of a metal having corrosion resistance.

かかる構成によれば、保護管は測定空間の内部に露出しても腐食しにくい。   According to such a configuration, the protective tube is not easily corroded even if it is exposed inside the measurement space.

本発明の湿度計は、測定空間における湿度を測定するための湿度計であって、上記の湿度計構成部材と、前記測定空間の乾球温度を測定する乾球温度測定部と、前記湿度計構成部材で測定された前記第1部分の温度と、前記乾球温度測定部で測定された前記測定空間の乾球温度とに基づいて、前記測定空間の湿度を演算する演算部とを備えていることを特徴とする。   A hygrometer of the present invention is a hygrometer for measuring humidity in a measurement space, the hygrometer constituting member, a dry bulb temperature measuring unit for measuring a dry bulb temperature in the measurement space, and the hygrometer A calculation unit that calculates the humidity of the measurement space based on the temperature of the first part measured by the constituent member and the dry bulb temperature of the measurement space measured by the dry bulb temperature measurement unit; It is characterized by being.

かかる構成によれば、湿度計構成部材の伝熱部材の第1部分は、前記保護管に熱的に接続されているので、空気層を介在させずに保護管から伝熱部材へ熱を伝導することが可能である。したがって、伝熱部材に取り付けられた温度検出部によって得られる測定温度と測定空間内部の実際の温度との間のずれが低減する。そのため、温度検出部における測定空間内部の温度変化に対する追従性が向上し、湿度演算に用いる温度の正確な測定が可能になる。その結果、このように湿度計構成部材によって測定された第1部分の温度と乾球温度測定部によって検出された乾球温度とに基づいて演算部が演算を行うことにより、正確な湿度の測定が可能になる。   According to this configuration, the first portion of the heat transfer member of the hygrometer component is thermally connected to the protective tube, so that heat is transferred from the protective tube to the heat transfer member without interposing an air layer. Is possible. Therefore, the deviation between the measurement temperature obtained by the temperature detection unit attached to the heat transfer member and the actual temperature inside the measurement space is reduced. Therefore, the followability to the temperature change in the measurement space in the temperature detection unit is improved, and the temperature used for the humidity calculation can be accurately measured. As a result, an accurate measurement of humidity is performed by the calculation unit performing calculations based on the temperature of the first part measured by the hygrometer component and the dry bulb temperature detected by the dry bulb temperature measurement unit in this way. Is possible.

本発明の環境試験装置は、外部空間から断熱された前記測定空間を有するチャンバと、前記測定空間の温度および湿度を制御する制御部と、測定空間における湿度を測定するための湿度計とを備えており、前記湿度計は、上記の湿度計構成部材と、前記測定空間の乾球温度を測定する乾球温度測定部と、前記湿度計構成部材で測定された前記第1部分の温度と前記乾球温度測定部で測定された前記測定空間の乾球温度とに基づいて、前記測定空間の湿度を演算する演算部とを有することを特徴とする。   An environmental test apparatus according to the present invention includes a chamber having the measurement space insulated from an external space, a control unit that controls the temperature and humidity of the measurement space, and a hygrometer for measuring humidity in the measurement space. The hygrometer includes the hygrometer component, a dry bulb temperature measurement unit that measures the dry bulb temperature of the measurement space, the temperature of the first portion measured by the hygrometer component, and the And a calculation unit that calculates the humidity of the measurement space based on the dry bulb temperature of the measurement space measured by the dry bulb temperature measurement unit.

かかる構成によれば、湿度計構成部材の伝熱部材の第1部分は、前記保護管に熱的に接続されているので、空気層を介在させずに保護管から伝熱部材へ熱を伝導することが可能である。したがって、伝熱部材に取り付けられた温度検出部によって得られる測定温度と測定空間内部の実際の温度との間のずれが低減する。そのため、温度検出部における測定空間内部の温度変化に対する追従性が向上し、湿度演算に用いる温度の正確な測定が可能になる。その結果、湿度計では、この測定された第1部分の温度と乾球温度測定部によって検出された乾球温度とに基づいて演算部が演算を行うことにより、正確な湿度の測定が可能になる。これにより、環境試験装置は、正確に測定された湿度に基づいて、測定空間内部においてより細かい湿度条件で環境試験を行うことが可能である。   According to this configuration, the first portion of the heat transfer member of the hygrometer component is thermally connected to the protective tube, so that heat is transferred from the protective tube to the heat transfer member without interposing an air layer. Is possible. Therefore, the deviation between the measurement temperature obtained by the temperature detection unit attached to the heat transfer member and the actual temperature inside the measurement space is reduced. Therefore, the followability to the temperature change in the measurement space in the temperature detection unit is improved, and the temperature used for the humidity calculation can be accurately measured. As a result, in the hygrometer, the calculation unit calculates based on the measured temperature of the first part and the dry bulb temperature detected by the dry bulb temperature measurement unit, thereby enabling accurate humidity measurement. Become. Thereby, the environmental test apparatus can perform an environmental test under a finer humidity condition inside the measurement space based on the accurately measured humidity.

以上説明したように、本発明の湿度計構成部材によれば、測定空間内部における伝熱部材の腐食および温度検出部の脱落を防止することができる。しかも、湿度演算に用いる温度を正確に測定することができる。   As described above, according to the hygrometer component of the present invention, it is possible to prevent the heat transfer member from corroding inside the measurement space and the temperature detecting unit from falling off. In addition, the temperature used for the humidity calculation can be accurately measured.

また、本発明の湿度計によれば、湿度計構成部材によって測定された第1部分の温度と乾球温度測定部によって測定された乾球温度とに基づいて演算部が演算を行うことにより、正確な湿度の測定が可能になる。   Further, according to the hygrometer of the present invention, the calculation unit performs the calculation based on the temperature of the first portion measured by the hygrometer component and the dry bulb temperature measured by the dry bulb temperature measurement unit, Accurate humidity measurement is possible.

さらに、本発明の環境試験装置によれば、湿度計によって正確に測定された湿度に基づいて、測定空間内部においてより細かい湿度条件で環境試験を行うことが可能である。   Furthermore, according to the environmental test apparatus of the present invention, it is possible to perform an environmental test under a finer humidity condition inside the measurement space based on the humidity accurately measured by the hygrometer.

本発明の第1実施形態に係る湿度計構成部材を有する湿度計、およびその湿度計備えた環境試験装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the hygrometer which has the hygrometer structural member which concerns on 1st Embodiment of this invention, and the environmental test apparatus provided with the hygrometer. 図1の湿度計構成部材の内部構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the internal structure of the hygrometer structural member of FIG. 図2の保護管の先端部内部を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows the front-end | tip part inside of the protective tube of FIG. (a)図3のIV−IV線断面図、(b)は(a)の変形例である。(A) IV-IV sectional drawing of FIG. 3, (b) is a modification of (a). 図2の放熱部およびその周辺部の上面図である。It is a top view of the thermal radiation part of FIG. 2, and its peripheral part. 図2の放熱部の右側面図である。FIG. 3 is a right side view of the heat radiating unit of FIG. 2. 本発明の第2実施形態に係る湿度計構成部材の内部構成を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the internal structure of the hygrometer structural member which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 図7の保護管の先端部内部を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows the front-end | tip part inside of the protective tube of FIG. 図8のIX−IX線断面図である。It is the IX-IX sectional view taken on the line of FIG.

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態に係る湿度計構成部材、湿度計、および環境試験装置について、さらに詳細に説明する。   Hereinafter, a hygrometer component, a hygrometer, and an environmental test apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1に示される環境試験装置は、測定空間101を有するチャンバ100と、測定空間101の温度および湿度を制御する制御部(図示せず)と、測定空間101における湿度を測定するための湿度計1とを備える。
(First embodiment)
The environmental test apparatus shown in FIG. 1 includes a chamber 100 having a measurement space 101, a control unit (not shown) for controlling the temperature and humidity of the measurement space 101, and a hygrometer for measuring the humidity in the measurement space 101. 1.

チャンバ100は、その内部に測定空間101を有する中空の筐体であり、測定空間101を取り囲む断熱性を有する断熱壁102を備える。測定空間101は、断熱壁102によって外部空間103から断熱されている。   The chamber 100 is a hollow casing having a measurement space 101 therein, and includes a heat insulating wall 102 having heat insulation surrounding the measurement space 101. The measurement space 101 is insulated from the external space 103 by the heat insulating wall 102.

湿度計1は、環境試験装置のチャンバ100の内部の測定空間101における相対湿度(湿度)を測定するための装置である。   The hygrometer 1 is an apparatus for measuring the relative humidity (humidity) in the measurement space 101 inside the chamber 100 of the environmental test apparatus.

湿度計1は、チャンバ100の測定空間101の内部の温度を測定する測定部2と、当該測定部2で測定された温度から湿度を演算する演算装置3とを備える。   The hygrometer 1 includes a measurement unit 2 that measures the temperature inside the measurement space 101 of the chamber 100, and an arithmetic device 3 that calculates humidity from the temperature measured by the measurement unit 2.

測定部2は、測定空間101の乾球温度を測定する乾球温度測定部4と、湿度演算に用いるヒートパイプ11の温度を測定するヒートパイプ温度測定部5とを備える。   The measurement unit 2 includes a dry bulb temperature measurement unit 4 that measures the dry bulb temperature of the measurement space 101 and a heat pipe temperature measurement unit 5 that measures the temperature of the heat pipe 11 used for humidity calculation.

乾球温度測定部4は、測定空間101内部に設置され、測定空間101内部の温度を測定する温度センサ7と、当該温度センサ7を覆う保護管8とを備える。保護管8は、ステンレスなどの熱伝導性の良い材料で製造された密封された管である。温度センサ7は、電線9の端部に接続されている。電線9は、保護管8の内部を通って測定空間101の外部に引き出されている。保護管8の内部は、測定空間101に連通してもよい。   The dry bulb temperature measurement unit 4 is installed in the measurement space 101 and includes a temperature sensor 7 that measures the temperature in the measurement space 101 and a protective tube 8 that covers the temperature sensor 7. The protective tube 8 is a sealed tube made of a material having good thermal conductivity such as stainless steel. The temperature sensor 7 is connected to the end of the electric wire 9. The electric wire 9 is drawn out of the measurement space 101 through the inside of the protective tube 8. The inside of the protective tube 8 may communicate with the measurement space 101.

演算装置3は、測定部2から送られてきた温度に関する情報を記憶する記憶部31と、記憶部31に記憶された温度に関する情報を用いて相対湿度を演算する演算部32と、演算部32で求められた相対湿度に関する情報を出力する出力部33とを備える。   The calculation device 3 includes a storage unit 31 that stores information about the temperature sent from the measurement unit 2, a calculation unit 32 that calculates relative humidity using information about the temperature stored in the storage unit 31, and a calculation unit 32. And an output unit 33 that outputs information on the relative humidity obtained in (1).

記憶部31は、乾球温度測定部4の温度センサ7から電線9を介して送られてきた乾球温度に関する情報を記憶する乾球温度記憶部31aと、後述のヒートパイプ温度測定部5の温度センサ12から電線17を介して送られてきたヒートパイプ温度に関する情報を記憶するヒートパイプ温度記憶部31bとを有する。   The storage unit 31 includes a dry bulb temperature storage unit 31 a that stores information on the dry bulb temperature sent from the temperature sensor 7 of the dry bulb temperature measurement unit 4 via the electric wire 9, and a heat pipe temperature measurement unit 5 described later. A heat pipe temperature storage unit 31b for storing information on the heat pipe temperature sent from the temperature sensor 12 via the electric wire 17;

演算部32は、乾球温度記憶部31aに記憶された乾球温度およびヒートパイプ温度記憶部31bに記憶されたヒートパイプ温度を用いて、所定の演算式によって演算することにより、測定空間101内部の相対湿度を演算する。   The calculation unit 32 uses the dry bulb temperature stored in the dry bulb temperature storage unit 31a and the heat pipe temperature stored in the heat pipe temperature storage unit 31b to calculate according to a predetermined calculation formula, so that the inside of the measurement space 101 Calculate the relative humidity.

出力部33は、ディスプレイまたはプリンタなどからなる。出力部33は、演算部32で求められた相対湿度に関する情報を、ディスプレイ上に表示したり、プリンタから印刷することによって出力する。   The output unit 33 includes a display or a printer. The output unit 33 outputs information on the relative humidity obtained by the calculation unit 32 by displaying it on a display or printing it from a printer.

上記のヒートパイプ温度測定部5、演算部32および出力部33によって、ヒートパイプ温度を測定する湿度計構成部材が構成される。   The heat pipe temperature measurement unit 5, the calculation unit 32, and the output unit 33 constitute a hygrometer component that measures the heat pipe temperature.

ヒートパイプ温度測定部5は、図2〜6に示されるように、チャンバ100の断熱壁102を貫通して当該チャンバ100の内側から外側にかけて延びるように取り付けられたヒートパイプ11と、当該ヒートパイプ11におけるチャンバ100の内側の部分に取り付けられた温度センサ12と、チャンバ100の内部においてヒートパイプ11および温度センサ12を保護する保護管14と、ヒートパイプ11における外側の部分に取り付けられた放熱部13と、保護管14とヒートパイプ11との隙間16に充填された充填材15とを備える。   As shown in FIGS. 2 to 6, the heat pipe temperature measuring unit 5 includes a heat pipe 11 attached so as to extend from the inside to the outside of the chamber 100 through the heat insulating wall 102 of the chamber 100, and the heat pipe. 11, a temperature sensor 12 attached to an inner portion of the chamber 100, a protective pipe 14 protecting the heat pipe 11 and the temperature sensor 12 inside the chamber 100, and a heat radiating portion attached to an outer portion of the heat pipe 11. 13 and a filler 15 filled in a gap 16 between the protective tube 14 and the heat pipe 11.

ヒートパイプ11は、チャンバ100の測定空間101の内部と外部との間で熱伝導が可能な伝熱部材であり、チャンバ100の測定空間101の内部に配置される第1部分11aと、当該測定空間101から断熱壁102によって断熱された外部空間103に配置される第2部分11bと、断熱壁102の内部を通る第3部分11cとを有する。   The heat pipe 11 is a heat transfer member capable of conducting heat between the inside and the outside of the measurement space 101 of the chamber 100, the first portion 11 a disposed inside the measurement space 101 of the chamber 100, and the measurement It has the 2nd part 11b arrange | positioned in the external space 103 thermally insulated by the heat insulation wall 102 from the space 101, and the 3rd part 11c passing through the inside of the heat insulation wall 102.

ヒートパイプ11の第1部分11aの先端は、半球形または平坦な円板形状を有する。   The tip of the first portion 11a of the heat pipe 11 has a hemispherical shape or a flat disk shape.

ヒートパイプ11は、作動流体が封入されるとともにヒートパイプ現象を生じさせ得るように構成され、断熱壁102の内部を貫通する第3部分11cを介して第1部分11aと第2部分11bとの間で熱の伝達を許容する構造を有する。ヒートパイプ11は、具体的には、銅などの熱伝導性の良い材料からなる密閉された細い管の内部に熱伝達媒体として水などの作動流体が減圧状態で封入されることにより構成される。ヒートパイプ11は、細い管の内部に封入された水などの作動流体が蒸発および凝縮をしながら管の内部を循環することによって、測定空間101の内部に突出する第1部分11aと測定空間101外部の外部空間103に突出する第2部分11bとの間において熱が搬送されるヒートパイプ現象を生じさせることが可能である。ヒートパイプ11の第1部分11aの先端(作動流体が蒸発する部分)の外面温度が周囲の空気の露点とある特定の関係を持つ。温度センサ12は、この温度を検出する。   The heat pipe 11 is configured to enclose a working fluid and cause a heat pipe phenomenon, and the first part 11 a and the second part 11 b are connected via a third part 11 c that penetrates the inside of the heat insulating wall 102. It has a structure that allows heat transfer between them. Specifically, the heat pipe 11 is configured by enclosing a working fluid such as water as a heat transfer medium in a depressurized state inside a sealed thin tube made of a material having good thermal conductivity such as copper. . The heat pipe 11 has a first portion 11a protruding into the measurement space 101 and a measurement space 101 by circulating the inside of the tube while evaporating and condensing working fluid such as water enclosed in the thin tube. It is possible to cause a heat pipe phenomenon in which heat is transferred between the second portion 11 b protruding into the external space 103. The outer surface temperature of the tip of the first portion 11a of the heat pipe 11 (the portion where the working fluid evaporates) has a certain relationship with the dew point of the surrounding air. The temperature sensor 12 detects this temperature.

温度センサ12は、ヒートパイプ11の第1部分11aの端部11a1の表面に取り付けられ、当該第1部分11aの端部11a1の表面の温度を検出する温度検出部として機能する。温度センサ12は、シート状または帯状の熱電対などからなる。温度センサ12は、厚みがほぼ均一の矩形のシート状である。また、温度センサ12は、容易に曲がることが可能であり、ヒートパイプ11の外周に沿うことが可能である。さらに、温度センサ12は、図4(a)に示されるように、ヒートパイプ11の外周の一部に接触し、外周のその他の部分は、充填材15に接触している。   The temperature sensor 12 is attached to the surface of the end portion 11a1 of the first portion 11a of the heat pipe 11, and functions as a temperature detection unit that detects the temperature of the surface of the end portion 11a1 of the first portion 11a. The temperature sensor 12 is composed of a sheet-like or belt-like thermocouple. The temperature sensor 12 is a rectangular sheet having a substantially uniform thickness. Further, the temperature sensor 12 can be easily bent and can follow the outer periphery of the heat pipe 11. Furthermore, as shown in FIG. 4A, the temperature sensor 12 is in contact with a part of the outer periphery of the heat pipe 11, and the other part of the outer periphery is in contact with the filler 15.

温度センサ12は、ヒートパイプ11の第1部分11aの端部11a1の表面に接着されたり、シールなどを用いて固定されている。これにより、温度センサ12は、ヒートパイプ11に熱的に接続されている。温度センサ12には、電線17が接続されている。電線17は、図1に示されるように、ヒートパイプ11と保護管14との隙間16を通って、チャンバ100の外部に引き出され、演算装置3のヒートパイプ温度記憶部31bに接続されている。   The temperature sensor 12 is bonded to the surface of the end portion 11a1 of the first portion 11a of the heat pipe 11 or is fixed using a seal or the like. Thereby, the temperature sensor 12 is thermally connected to the heat pipe 11. An electric wire 17 is connected to the temperature sensor 12. As shown in FIG. 1, the electric wire 17 passes through the gap 16 between the heat pipe 11 and the protective tube 14, is drawn out of the chamber 100, and is connected to the heat pipe temperature storage unit 31 b of the arithmetic device 3. .

また、温度センサ12は、図3および図4(a)に示されるように、ヒートパイプ11の第1部分11aの表面と保護管14との間に挟まれて保持されているので、ヒートパイプ11の表面から脱落するおそれを低減している。   Further, as shown in FIGS. 3 and 4A, the temperature sensor 12 is held between the surface of the first portion 11a of the heat pipe 11 and the protective tube 14, so that the heat pipe The risk of falling off the surface of 11 is reduced.

なお、温度センサ12は、それ自体の熱容量が小さい形状(例えば薄いシート状の形状や極細の線状)の方が、保護管14からヒートパイプ11へ熱が伝わりやすいので、好ましい。例えば、温度センサ12の厚みは、0.1〜0.2mm程度が好ましい。   In addition, the temperature sensor 12 is preferably in a shape having a small heat capacity (for example, a thin sheet shape or an extremely fine line shape) because heat is easily transmitted from the protective tube 14 to the heat pipe 11. For example, the thickness of the temperature sensor 12 is preferably about 0.1 to 0.2 mm.

保護管14は、一端が閉じられた筒状の部材である。すなわち、保護管14の一方の端部14aは閉じられ、他方の端部14bには開口14cが形成されている。開口14cは、保護管14内部の空間部14dに連通している。   The protective tube 14 is a cylindrical member whose one end is closed. That is, one end portion 14a of the protective tube 14 is closed, and an opening 14c is formed in the other end portion 14b. The opening 14 c communicates with the space portion 14 d inside the protective tube 14.

ヒートパイプ11は、上記の温度センサ12が取り付けられた状態で、保護管14の開口14cを通して空間部14dに挿入される。この状態では、保護管14は、ヒートパイプ11の第1部分11aおよび当該第1部分11aの表面に取り付けられた温度センサ12を覆う。また、図2に示される保護管14は、断熱壁102内部を通るヒートパイプ11の第3部分11cも覆っている。   The heat pipe 11 is inserted into the space portion 14d through the opening 14c of the protective tube 14 in a state where the temperature sensor 12 is attached. In this state, the protective tube 14 covers the first portion 11a of the heat pipe 11 and the temperature sensor 12 attached to the surface of the first portion 11a. Further, the protective tube 14 shown in FIG. 2 also covers the third portion 11c of the heat pipe 11 passing through the inside of the heat insulating wall 102.

保護管14は、熱伝導性が良く、かつ、耐腐食性を有する金属、たとえばステンレスなどの金属材料によって製造されている。保護管14の肉厚は、測定空間101内部の熱を保護管14内部のヒートパイプ11に伝達しやすいように、薄い方が好ましく、例えば0.3mm以下が好ましい。   The protective tube 14 is made of a metal having good thermal conductivity and corrosion resistance, such as a metal material such as stainless steel. The thickness of the protective tube 14 is preferably thin so that heat inside the measurement space 101 can be easily transferred to the heat pipe 11 inside the protective tube 14, and is preferably 0.3 mm or less, for example.

保護管14の内径は、ヒートパイプ11が温度センサ12が取り付けられた状態で挿入できるように、ヒートパイプ11の外径よりも少し大きくなるように設定されている。ヒートパイプ11と保護管14との間には、隙間16が形成されている。隙間16の幅δ(図3参照)は、例えば厚さ0.1〜0.2mm程度の温度センサ12が挿入できるように、0.2〜0.4mm程度に設定されている。   The inner diameter of the protective tube 14 is set to be slightly larger than the outer diameter of the heat pipe 11 so that the heat pipe 11 can be inserted with the temperature sensor 12 attached. A gap 16 is formed between the heat pipe 11 and the protective tube 14. The width δ (see FIG. 3) of the gap 16 is set to about 0.2 to 0.4 mm so that the temperature sensor 12 having a thickness of about 0.1 to 0.2 mm can be inserted, for example.

このヒートパイプ11と保護管14との隙間16には、熱伝導性の充填材15が充填されている。なお、ヒートパイプ11と保護管14との隙間に充填材15を充填した後に、ヒートパイプ11を拡管して隙間を狭くしてもよい。   A gap 16 between the heat pipe 11 and the protective tube 14 is filled with a heat conductive filler 15. Note that after filling the gap between the heat pipe 11 and the protective tube 14 with the filler 15, the heat pipe 11 may be expanded to narrow the gap.

ヒートパイプ11のうち、チャンバ100の測定空間100内部に配置される第1部分11aおよびチャンバ100の断熱壁102を貫通する第3部分11cは、充填材15を介して保護管14の内面14eに接触して熱的に接続されている。これにより、充填材15を介して保護管14からヒートパイプ11へ熱を伝導することが可能になる。ここで、図3および図4(a)に示されるように、温度センサ12は、ヒートパイプ11の第1部分11aの表面と保護管14との間に挟まれて保持されているので、充填材15は、ヒートパイプ11の第1部分11aの周面のうち温度センサ12が配置されている場所を除くその他の場所に分布している。温度センサ12の外周部分は、充填材15によって囲まれる。   Of the heat pipe 11, the first portion 11 a disposed inside the measurement space 100 of the chamber 100 and the third portion 11 c penetrating the heat insulating wall 102 of the chamber 100 are formed on the inner surface 14 e of the protective tube 14 via the filler 15. In contact and thermally connected. This makes it possible to conduct heat from the protective tube 14 to the heat pipe 11 via the filler 15. Here, as shown in FIG. 3 and FIG. 4A, the temperature sensor 12 is sandwiched and held between the surface of the first portion 11 a of the heat pipe 11 and the protective tube 14. The material 15 is distributed in other locations on the peripheral surface of the first portion 11a of the heat pipe 11 except for the location where the temperature sensor 12 is disposed. The outer peripheral portion of the temperature sensor 12 is surrounded by the filler 15.

なお、温度センサ12の厚みは、変形例である図4(b)に示されるように、ヒートパイプ11と保護管14との隙間16の幅δよりも小さく設定してもよく、その場合には、ヒートパイプ11の全周が充填材15によって覆われるようにすればよい。   Note that the thickness of the temperature sensor 12 may be set to be smaller than the width δ of the gap 16 between the heat pipe 11 and the protective tube 14 as shown in FIG. In other words, the entire circumference of the heat pipe 11 may be covered with the filler 15.

また、図1に示されるように、温度センサ12に接続された電線17の表面は、充填材15によって覆われている。   Further, as shown in FIG. 1, the surface of the electric wire 17 connected to the temperature sensor 12 is covered with a filler 15.

充填材15としては、熱伝導性を有する材料が採用され、例えば、酸化マグネシウムや伝熱グリスなどが用いられる。   As the filler 15, a material having thermal conductivity is employed, and for example, magnesium oxide or heat transfer grease is used.

また、充填材15の熱伝導率は、0.84〜3.0W/mKの範囲であれば、熱伝導性が良好で、かつ、材料コストを抑えることができるので好ましい。熱伝導率は、0.84W/mK未満であれば、保護管14からヒートパイプ11へ熱を良好に伝導することが困難であり、一方、3.0W/mKを超えれば、材料コストを抑えることが難しくなるので、これらの熱伝導性と材料コストの両立の観点から上記の範囲であるのが好ましい。   Moreover, if the thermal conductivity of the filler 15 is in the range of 0.84 to 3.0 W / mK, it is preferable because the thermal conductivity is good and the material cost can be suppressed. If the thermal conductivity is less than 0.84 W / mK, it is difficult to conduct heat from the protective tube 14 to the heat pipe 11 well, while if it exceeds 3.0 W / mK, the material cost is suppressed. Therefore, the above range is preferable from the viewpoint of achieving both thermal conductivity and material cost.

放熱部13は、ヒートパイプ11の第2部分11bに接続され、当該第2部分11bから熱を受けて外部空間103に放熱するものである。放熱部13は、チャンバ100の測定空間101内からの放熱量の変化に応じてヒートパイプ温度測定部5の温度センサ12の測定温度が変動しないような大きさの熱容量を有し、かつ、ヒートパイプ11の第1部分11aの先端部11a1を測定空間101内部の環境下における露点以下まで冷却可能な放熱量を有するように設計されている。   The heat radiating part 13 is connected to the second part 11 b of the heat pipe 11 and receives heat from the second part 11 b to radiate heat to the external space 103. The heat dissipating unit 13 has a heat capacity of such a magnitude that the measured temperature of the temperature sensor 12 of the heat pipe temperature measuring unit 5 does not fluctuate according to the change in the amount of heat dissipated from the measurement space 101 of the chamber 100, and The tip 11 a 1 of the first portion 11 a of the pipe 11 is designed to have a heat radiation amount that can be cooled to a dew point or less in the environment inside the measurement space 101.

具体的には、放熱部13は、ヒートパイプ11を上下から挟む2つの部材、すなわち、上部部材21と、下部部材22とを備える。   Specifically, the heat radiation unit 13 includes two members that sandwich the heat pipe 11 from above and below, that is, an upper member 21 and a lower member 22.

上部部材21と下部部材22とは、基本的には上下対称の形状を有する。すなわち、上部部材21は、下側に開放された凹部を有する本体部21aと、本体部21aの上面から上方に突出する複数の細い棒状の冷却フィン21bとを備える。一方、下部部材22は、上側に開放された凹部を有する本体部22aと、本体部22aの下面から下方に突出する複数の棒状の冷却フィン22bとを備える。上部部材21と下部部材22とは、それぞれの本体部21a、22aが互いに上下に重ね合わせされた状態でネジ26によって結合されている。   The upper member 21 and the lower member 22 basically have a vertically symmetrical shape. That is, the upper member 21 includes a main body portion 21a having a concave portion opened downward, and a plurality of thin rod-like cooling fins 21b protruding upward from the upper surface of the main body portion 21a. On the other hand, the lower member 22 includes a main body portion 22a having a concave portion opened upward, and a plurality of rod-shaped cooling fins 22b protruding downward from the lower surface of the main body portion 22a. The upper member 21 and the lower member 22 are coupled together by screws 26 in a state where the main body portions 21a and 22a are superposed on each other.

また、上部部材21の本体部21aと下部部材22の本体部22aとが結合された状態では、それぞれの凹部が互いに連通することにより、空間部23が形成されている。空間部23内部には、伝熱グリスなどの熱伝導性を有する充填材24が充填されている。放熱部13には、空間部23に連通する開口25が形成されている。この開口25を通して、ヒートパイプ11の第2部分11bの端部11b1およびその近傍部分が空間部23内部に挿入される。ヒートパイプ11の第2部分11bの熱は、充填材24を介して上部部材21および下部部材22に伝達される。上部部材21および下部部材22に伝達された熱は、それぞれの冷却フィン21b、22bからチャンバ100の外部空間103へ放出される。   Further, in a state where the main body portion 21a of the upper member 21 and the main body portion 22a of the lower member 22 are coupled, the respective concave portions communicate with each other, whereby the space portion 23 is formed. The space 23 is filled with a filler 24 having thermal conductivity such as heat transfer grease. An opening 25 communicating with the space portion 23 is formed in the heat radiating portion 13. Through this opening 25, the end portion 11 b 1 of the second portion 11 b of the heat pipe 11 and the vicinity thereof are inserted into the space portion 23. The heat of the second portion 11 b of the heat pipe 11 is transmitted to the upper member 21 and the lower member 22 through the filler 24. The heat transmitted to the upper member 21 and the lower member 22 is released from the cooling fins 21b and 22b to the external space 103 of the chamber 100.

このように、上記の放熱部13では、ヒートパイプ11の第2部分11bの熱を充填材24を介して上部部材21および下部部材22に良好に伝達することが可能である。しかも、上部部材21および下部部材22はそれぞれ複数の針状の冷却フィン21bを備えており、これらの上部部材21および下部部材22によって、ヒートパイプ11の上下両方に広範囲に放熱することができるので、放熱部13の放熱効果は、従来の平板状のヒートシンクと比較して大幅に向上している。   As described above, in the heat radiating portion 13, the heat of the second portion 11 b of the heat pipe 11 can be satisfactorily transmitted to the upper member 21 and the lower member 22 through the filler 24. In addition, each of the upper member 21 and the lower member 22 includes a plurality of needle-like cooling fins 21b, and the upper member 21 and the lower member 22 can radiate heat in a wide range both above and below the heat pipe 11. The heat dissipation effect of the heat dissipating part 13 is greatly improved as compared with the conventional flat plate heat sink.

上記の第1実施形態のヒートパイプ温度測定部5を備えた湿度計構成部材の特徴は以下の(1)〜(5)の通りである。   The characteristics of the hygrometer component provided with the heat pipe temperature measuring unit 5 of the first embodiment are as follows (1) to (5).

(1)
第1実施形態の湿度計構成部材では、ヒートパイプ11における測定空間101に配置される第1部分11aの表面に温度センサ12が取り付けられ、これら第1部分11aおよび温度センサ12が保護管14によって覆われているので、測定空間101内部におけるヒートパイプ11の腐食および温度センサ12の脱落を防止することができる。
(1)
In the hygrometer component of the first embodiment, the temperature sensor 12 is attached to the surface of the first portion 11 a arranged in the measurement space 101 in the heat pipe 11, and the first portion 11 a and the temperature sensor 12 are protected by the protective tube 14. Since it is covered, the corrosion of the heat pipe 11 and the drop-off of the temperature sensor 12 in the measurement space 101 can be prevented.

しかも、ヒートパイプ11の第1部分11aは、充填材15を介して保護管14に熱的に接続、すなわち、保護管14から熱が伝導されるように熱伝導性の充填材15を介して当該保護管14の内面14eに接触しているので、空気層を介在させずに保護管14からヒートパイプ11へ熱を伝導することが可能である。したがって、ヒートパイプ11に取り付けられた温度センサ12によって得られる測定温度と測定空間101内部の実際の温度との間のずれが低減する。そのため、温度センサ12における測定空間101内部の温度変化に対する追従性が向上し、湿度演算に用いるヒートパイプ温度の正確な測定が可能になる。   Moreover, the first portion 11 a of the heat pipe 11 is thermally connected to the protective tube 14 via the filler 15, that is, via the thermally conductive filler 15 so that heat is conducted from the protective tube 14. Since it is in contact with the inner surface 14e of the protective tube 14, it is possible to conduct heat from the protective tube 14 to the heat pipe 11 without interposing an air layer. Therefore, the deviation between the measured temperature obtained by the temperature sensor 12 attached to the heat pipe 11 and the actual temperature inside the measurement space 101 is reduced. Therefore, the followability to the temperature change in the measurement space 101 in the temperature sensor 12 is improved, and accurate measurement of the heat pipe temperature used for humidity calculation is possible.

(2)
しかも、第1実施形態の湿度計構成部材では、ヒートパイプ11と保護管14との間に充填材15が充填されるので、ヒートパイプ11の第1部分11aと保護管14とを密着させる作業が必要がなくなり、組み立て作業性が向上する。
(2)
Moreover, in the hygrometer component of the first embodiment, the filler 15 is filled between the heat pipe 11 and the protective tube 14, so that the first portion 11 a of the heat pipe 11 and the protective tube 14 are in close contact with each other. This eliminates the need to improve assembly workability.

(3)
第1実施形態の湿度計構成部材では、温度センサ12は、ヒートパイプ11の第1部分11aの表面と保護管14との間に挟まれて保持されているので、温度センサ12がヒートパイプ11の表面から脱落するおそれが低減し、温度センサ12の保持状態を安定させることが可能である。
(3)
In the hygrometer component of the first embodiment, the temperature sensor 12 is sandwiched and held between the surface of the first portion 11 a of the heat pipe 11 and the protective tube 14. It is possible to stabilize the temperature sensor 12 holding state.

(4)
上記第1実施形態の湿度計構成部材では、伝熱部材としてヒートパイプ11が採用されている。ヒートパイプ11は、通常、熱伝導性の良い銅で製造されているので、測定空間に露出した状態で環境試験を使用すればとくに腐食しやすいが、上記の第1実施形態では、伝熱部材であるヒートパイプの第1部分が保護管によって覆われているので、測定空間101内部におけるヒートパイプの腐食を防ぐことができる。
(4)
In the hygrometer component of the first embodiment, the heat pipe 11 is employed as the heat transfer member. Since the heat pipe 11 is usually made of copper having good thermal conductivity, it is particularly susceptible to corrosion if an environmental test is used while exposed to the measurement space. In the first embodiment, the heat transfer member is used. Since the first portion of the heat pipe is covered with the protective tube, corrosion of the heat pipe in the measurement space 101 can be prevented.

(5)
第1実施形態の湿度計構成部材では、保護管14が耐腐食性を有する金属によって製造されているので、当該保護管14は測定空間101の内部に露出しても腐食しにくい。
(5)
In the hygrometer component of the first embodiment, since the protective tube 14 is made of a metal having corrosion resistance, the protective tube 14 is not easily corroded even if it is exposed inside the measurement space 101.

また、第1実施形態の湿度計1では、上記の湿度計構成部材によって測定されたヒートパイプ温度と乾球温度測定部4によって測定された乾球温度とに基づいて演算部32が演算を行うことにより、正確な湿度の測定が可能になる。   In the hygrometer 1 of the first embodiment, the calculation unit 32 calculates based on the heat pipe temperature measured by the hygrometer component and the dry bulb temperature measured by the dry bulb temperature measurement unit 4. This makes it possible to accurately measure humidity.

さらに、第1実施形態の環境試験装置では、上記の湿度計1によって正確に測定された湿度に基づいて、測定空間101内部においてより細かい湿度条件で環境試験を行うことが可能である。   Furthermore, in the environmental test apparatus according to the first embodiment, it is possible to perform an environmental test under a finer humidity condition in the measurement space 101 based on the humidity accurately measured by the hygrometer 1 described above.

(第2実施形態)
上記の第1実施形態では、ヒートパイプ11の第1部分11aは、保護管14から熱が伝導されるように、充填材15を介して当該保護管14の内面14eに間接的に接触しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、以下の第2実施形態のように、ヒートパイプ11の第1部分11aが保護管の内面に密着することによって直接的に接触するようにしてもよい。
(Second Embodiment)
In the first embodiment, the first portion 11a of the heat pipe 11 is indirectly in contact with the inner surface 14e of the protective tube 14 via the filler 15 so that heat is conducted from the protective tube 14. However, the present invention is not limited to this, and the first portion 11a of the heat pipe 11 is in direct contact with the inner surface of the protective tube as in the second embodiment below. May be.

第2実施形態の湿度計は、図1に示される第1の実施形態の湿度計1の構成のうち、湿度計構成部材のヒートパイプ温度測定部5が、図7〜9に示されるヒートパイプ温度測定部40に置き換わった構成を有している。その他の構成は、図1に示される第1の実施形態の湿度計1の構成と共通しているので、説明を省略する。   The hygrometer of the second embodiment is a heat pipe in which the heat pipe temperature measuring unit 5 of the hygrometer component is the heat pipe shown in FIGS. 7 to 9 among the configurations of the hygrometer 1 of the first embodiment shown in FIG. The temperature measurement unit 40 is replaced. The other configuration is the same as the configuration of the hygrometer 1 of the first embodiment shown in FIG.

図7〜9に示される湿度計構成部材のヒートパイプ温度測定部40では、温度センサ12が存在していない場所において、ヒートパイプ11の第1部分11aが保護管44の内面に密着することによって直接的に接触している。温度センサ12が存在している場所では、第1部分11aと保護管44との間に温度センサ12が挟持されている。その他の点では、第1実施形態のヒートパイプ温度測定部5の構成と共通しているので、説明を省略する。   In the heat pipe temperature measuring unit 40 of the hygrometer component shown in FIGS. 7 to 9, the first portion 11 a of the heat pipe 11 is in close contact with the inner surface of the protective tube 44 in a place where the temperature sensor 12 does not exist. Direct contact. In a place where the temperature sensor 12 exists, the temperature sensor 12 is sandwiched between the first portion 11 a and the protective tube 44. In other respects, the configuration is the same as the configuration of the heat pipe temperature measurement unit 5 of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted.

なお、図7〜9では、温度センサ12は、ヒートパイプ11の下側に配置されている例が示されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、ヒートパイプ11の表面に取り付けられていればよい。   7 to 9 show examples in which the temperature sensor 12 is disposed below the heat pipe 11, but the present invention is not limited to this, and the temperature sensor 12 is formed on the surface of the heat pipe 11. It only has to be attached.

ヒートパイプ11のうちチャンバ100の測定空間100内部に配置される第1部分11aの周面は、保護管44の内面44eに密着することにより、保護管44の内面44eに熱的に接続されている。   The peripheral surface of the first portion 11 a disposed in the measurement space 100 of the chamber 100 in the heat pipe 11 is thermally connected to the inner surface 44 e of the protective tube 44 by being in close contact with the inner surface 44 e of the protective tube 44. Yes.

ここで、ヒートパイプ11の第1部分11aの周面の少なくとも一部が保護管44の内面に密着するようにすれば、ヒートパイプ11と保護管44との熱的な接続が得られる。   Here, if at least a part of the peripheral surface of the first portion 11 a of the heat pipe 11 is in close contact with the inner surface of the protective tube 44, thermal connection between the heat pipe 11 and the protective tube 44 can be obtained.

その他の点では、保護管44は、第1実施形態の保護管14と同じ構成を有する。   In other respects, the protective tube 44 has the same configuration as the protective tube 14 of the first embodiment.

図7〜9に示されるヒートパイプ温度測定部40では、ヒートパイプ11の第1部分11aの端部11a1に上記の温度センサ12が取り付けられ、かつ、当該第1部分11aが保護管44の開口44cを通して空間部44dに挿入された状態で、ヒートパイプ11の第1部分11aと保護管44の内面44eとが密着するように加工される。   7 to 9, the temperature sensor 12 is attached to the end portion 11 a 1 of the first portion 11 a of the heat pipe 11, and the first portion 11 a is an opening of the protective tube 44. The first portion 11a of the heat pipe 11 and the inner surface 44e of the protective tube 44 are processed to be in close contact with each other in a state of being inserted into the space portion 44d through 44c.

例えば、保護管44に手で押し込んで挿入可能な外径を有するヒートパイプ11を用意し、そのヒートパイプ11の第1部分11aを保護管44内部に挿入した後、密閉された管であるヒートパイプ11を加熱してヒートパイプ11内部の熱伝導媒体を熱膨張させ、当該ヒートパイプ11を温度センサ12に沿うように塑性変形(いわゆるバルジ成形)させることにより、保護管44の内面44eと密着させる。これにより、ヒートパイプ11の第1部分11aの外周面全体を保護管44の内面44eに容易かつ確実に密着させることが可能である。なお、保護管44とヒートパイプ11との間に充填材を充填してもよい。   For example, the heat pipe 11 having an outer diameter that can be inserted by being manually pushed into the protective tube 44 is prepared, and the first portion 11a of the heat pipe 11 is inserted into the protective tube 44, and then the heat is a sealed tube. The pipe 11 is heated to thermally expand the heat conduction medium inside the heat pipe 11, and the heat pipe 11 is plastically deformed (so-called bulge forming) along the temperature sensor 12, thereby closely contacting the inner surface 44 e of the protective tube 44. Let As a result, the entire outer peripheral surface of the first portion 11 a of the heat pipe 11 can be easily and reliably brought into close contact with the inner surface 44 e of the protective tube 44. Note that a filler may be filled between the protective tube 44 and the heat pipe 11.

ヒートパイプ11の第1部分11aの外周面全体が保護管44の内面44eに密着した状態では、温度センサ12は、図8〜9に示されるように、ヒートパイプ11の第1部分11aの表面と保護管44との間に挟まれて保持されるので、ヒートパイプ11の表面から脱落するおそれを低減している。   In a state in which the entire outer peripheral surface of the first portion 11a of the heat pipe 11 is in close contact with the inner surface 44e of the protective tube 44, the temperature sensor 12 has a surface of the first portion 11a of the heat pipe 11 as shown in FIGS. Between the heat pipe 11 and the protective tube 44, the possibility of falling off from the surface of the heat pipe 11 is reduced.

また、他の密着方法として、例えば、ヒートパイプ11の第1部分11aを保護管44に挿入後、保護管44を外側から内側へ部分的に凹ませることによりートパイプ11の第1部分11aを保護管44の内面44eに部分的に密着させてもよい。また、その場合、保護管44とヒートパイプ11とが密着していない他の部分には隙間が生じているので、その隙間に熱伝導性の充填材を充填することにより、熱伝導性の向上を図ることが可能である。   As another contact method, for example, after the first portion 11a of the heat pipe 11 is inserted into the protective tube 44, the first portion 11a of the toe pipe 11 is protected by partially denting the protective tube 44 from the outside to the inside. The inner surface 44e of the tube 44 may be partially adhered. In this case, since a gap is formed in the other portion where the protective tube 44 and the heat pipe 11 are not in close contact with each other, the thermal conductivity is improved by filling the gap with a thermally conductive filler. Can be achieved.

以上のように、第2実施形態のヒートパイプ温度測定部40を備えた湿度計構成部材では、ヒートパイプ11の第1部分11aが保護管44の内面44eに密着することにより、保護管44の内面44eから熱伝導可能に接触され、すなわち、熱的に接続されている。これにより、保護管44からヒートパイプ11へ熱を直接伝導させることが可能である。したがって、温度センサ12における測定空間101内部の温度変化に対する追従性が向上し、湿度演算に用いるヒートパイプ温度の正確な測定が可能になる。   As described above, in the hygrometer component having the heat pipe temperature measuring unit 40 of the second embodiment, the first portion 11a of the heat pipe 11 is in close contact with the inner surface 44e of the protective tube 44, thereby The inner surface 44e is contacted so as to conduct heat, that is, is thermally connected. As a result, heat can be directly conducted from the protective tube 44 to the heat pipe 11. Therefore, the followability to the temperature change in the measurement space 101 in the temperature sensor 12 is improved, and the heat pipe temperature used for the humidity calculation can be accurately measured.

また、上記の第2実施形態の湿度計構成部材においても、第1実施形態の湿度計構成部材における前述の特徴(1)および(3)〜(5)に記載されている作用効果を奏することが可能である。   In addition, the hygrometer component of the second embodiment also exhibits the effects described in the features (1) and (3) to (5) of the hygrometer component of the first embodiment. Is possible.

なお、上記第1および第2実施形態では、チャンバ100の測定空間101の内部と外部との間で熱伝導が可能な伝熱部材の一例として、ヒートパイプ11を例に挙げて説明しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、作動流体が封入されるとともにヒートパイプ現象を生じさせ得るように構成されていれば、他の構造の伝熱部材を用いてもよい。   In the first and second embodiments, the heat pipe 11 is described as an example of a heat transfer member capable of conducting heat between the inside and the outside of the measurement space 101 of the chamber 100. However, the present invention is not limited to this, and a heat transfer member having another structure may be used as long as the working fluid is enclosed and the heat pipe phenomenon can be generated.

また、上記第1および第2実施形態における放熱部13は、上部部材21および下部部材22の本体部21a、22aの凹部によって形成された空間部23に伝熱グリスなどの充填材24が充填され、充填材24を介してヒートパイプ11から上部部材21および下部部材22への熱伝達を行っているが、本発明はこれに限定されるものではない。放熱部13の変形例として、中実のブロック状の放熱部品に溝または穴を形成し、ヒートパイプ11を溝または穴の内面に密着させることにより、ヒートパイプ11から放熱部品への伝熱性を向上させてもよい。   Further, in the heat radiation part 13 in the first and second embodiments, the space part 23 formed by the concave parts of the main body parts 21a and 22a of the upper member 21 and the lower member 22 is filled with a filler 24 such as heat transfer grease. Although heat transfer from the heat pipe 11 to the upper member 21 and the lower member 22 is performed via the filler 24, the present invention is not limited to this. As a modification of the heat radiating part 13, a groove or a hole is formed in a solid block-shaped heat radiating component, and the heat pipe 11 is brought into close contact with the inner surface of the groove or the hole so that heat transfer from the heat pipe 11 to the heat radiating component It may be improved.

また、上記第1および第2実施形態における保護管14、44は、ヒートパイプ11のうちチャンバ100の測定空間101内部に配置される第1部分11aだけでなく、断熱壁102を貫通する第3部分11cも覆っているが、本発明はこれに限定されるものではなく、保護管14、44が第1部分11aだけを覆うようにしてもよい。また、測定空間101外部に配置される第2部分11bに保護管14、44を設けてもよい。   In addition, the protective tubes 14 and 44 in the first and second embodiments are not only the first portion 11 a disposed in the measurement space 101 of the chamber 100 in the heat pipe 11 but also the third portion that penetrates the heat insulating wall 102. Although the portion 11c is also covered, the present invention is not limited to this, and the protective tubes 14 and 44 may cover only the first portion 11a. Moreover, you may provide the protective tubes 14 and 44 in the 2nd part 11b arrange | positioned outside the measurement space 101. FIG.

1 湿度計
2 測定部
11 ヒートパイプ
11a 第1部分
11b 第2部分
12 温度センサ(温度検出部)
13 放熱部
14 保護管
14e 保護管の内面
15 充填材
44 保護管
44e 保護管の内面
100 チャンバ
101 測定空間
102 断熱壁
103 外部空間
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hygrometer 2 Measurement part 11 Heat pipe 11a 1st part 11b 2nd part 12 Temperature sensor (temperature detection part)
13 Heat radiation part 14 Protective tube 14e Protective tube inner surface 15 Filler 44 Protective tube 44e Protective tube inner surface 100 Chamber 101 Measurement space 102 Heat insulation wall 103 External space

Claims (8)

測定空間における湿度を測定するための湿度計構成部材であって、
作動流体が封入されるとともにヒートパイプ現象を生じさせ得るように構成され、前記測定空間に配置される第1部分と、前記測定空間から断熱された外部空間に配置される第2部分とを有し、当該第1部分と第2部分との間で熱が伝達される伝熱部材と、
前記伝熱部材の前記第1部分の表面に取り付けられ、当該第1部分の温度を検出する温度検出部と、
前記伝熱部材の前記第1部分および前記温度検出部を覆う保護管と、
前記伝熱部材の前記第2部分に接続され、当該第2部分から熱を受けて前記外部空間に放熱する放熱部と
を備え、
前記伝熱部材の前記第1部分は、前記保護管に熱的に接続されている、
湿度計構成部材。
A hygrometer component for measuring humidity in a measurement space,
The working fluid is sealed and configured to cause a heat pipe phenomenon, and includes a first portion disposed in the measurement space and a second portion disposed in an external space insulated from the measurement space. And a heat transfer member for transferring heat between the first part and the second part,
A temperature detector attached to the surface of the first part of the heat transfer member and detecting the temperature of the first part;
A protective tube covering the first portion of the heat transfer member and the temperature detection unit;
A heat radiating part connected to the second part of the heat transfer member, receiving heat from the second part and radiating heat to the external space;
The first portion of the heat transfer member is thermally connected to the protective tube;
Hygrometer component.
前記伝熱部材と前記保護管との間に、熱伝導性の充填材が充填され、
前記伝熱部材の第1部分は、前記充填材を介して前記保護管に熱的に接続されている、
請求項1に記載の湿度計構成部材。
Between the heat transfer member and the protective tube, a thermally conductive filler is filled,
The first portion of the heat transfer member is thermally connected to the protective tube via the filler.
The hygrometer component according to claim 1.
前記伝熱部材の第1部分の周面の少なくとも一部は、前記保護管の内面に密着している、
請求項1に記載の湿度計構成部材。
At least a part of the peripheral surface of the first portion of the heat transfer member is in close contact with the inner surface of the protective tube,
The hygrometer component according to claim 1.
前記温度検出部は、前記伝熱部材の第1部分の表面と前記保護管との間に挟まれて保持されている、
請求項2または3に記載の湿度計構成部材。
The temperature detection unit is sandwiched and held between the surface of the first portion of the heat transfer member and the protective tube,
The hygrometer component according to claim 2 or 3.
前記伝熱部材は、ヒートパイプである、
請求項1から4のいずれかに記載の湿度計構成部材。
The heat transfer member is a heat pipe.
The hygrometer component according to any one of claims 1 to 4.
前記保護管は、耐腐食性を有する金属によって製造されている、
請求項1から5のいずれかに記載の湿度計構成部材。
The protective tube is made of a metal having corrosion resistance,
The hygrometer component according to any one of claims 1 to 5.
測定空間における湿度を測定するための湿度計であって、
請求項1から6のいずれかに記載の湿度計構成部材と、
前記測定空間の乾球温度を測定する乾球温度測定部と、
前記湿度計構成部材で測定された前記第1部分の温度と、前記乾球温度測定部で測定された前記測定空間の乾球温度とに基づいて、前記測定空間の湿度を演算する演算部と
を備えている湿度計。
A hygrometer for measuring humidity in a measurement space,
The hygrometer component according to any one of claims 1 to 6,
A dry bulb temperature measurement unit for measuring the dry bulb temperature of the measurement space;
An arithmetic unit that calculates the humidity of the measurement space based on the temperature of the first part measured by the hygrometer component and the dry bulb temperature of the measurement space measured by the dry bulb temperature measurement unit; Equipped with a hygrometer.
外部空間から断熱された前記測定空間を有するチャンバと、
前記測定空間の温度および湿度を制御する制御部と、
測定空間における湿度を測定するための湿度計と
を備えており、
前記湿度計は、請求項1から6のいずれかに記載の湿度計構成部材と、前記測定空間の乾球温度を測定する乾球温度測定部と、前記湿度計構成部材で測定された前記第1部分の温度と前記乾球温度測定部で測定された前記測定空間の乾球温度とに基づいて、前記測定空間の湿度を演算する演算部とを有する、
環境試験装置。
A chamber having the measurement space insulated from the external space;
A control unit for controlling the temperature and humidity of the measurement space;
With a hygrometer for measuring the humidity in the measurement space,
The hygrometer comprises the hygrometer component according to any one of claims 1 to 6, a dry bulb temperature measurement unit that measures the dry bulb temperature of the measurement space, and the hygrometer component measured by the hygrometer component. A calculation unit that calculates the humidity of the measurement space based on the temperature of one part and the dry bulb temperature of the measurement space measured by the dry bulb temperature measurement unit;
Environmental test equipment.
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