JP2015050810A - Vibration wave motor and optical equipment - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration wave motor which has improved vibration characteristics while improving drive power and drive efficiency, and an optical equipment.SOLUTION: The vibration wave motor 1 comprises: an electromechanical conversion element 5 to which driving signal is input through electrodes A, B; and an elastic body 6 which has a contact part 8a generating the vibration wave by inputting the driving signal to the electromechanical conversion element 5 and coming into contact with a relative movement member 4. The electrodes A, B of the electromechanical conversion element 5 are divided into first electrodes A, B to which a first phase driving signal for generating flexural vibration in which a position of the contact part 8a becomes an antinode part of vibration, is input, and second electrodes A, B to which a second phase driving signal for generating flexural vibration in which a position of the contact part 8a becomes a node part of vibration, is input.

Description

本発明は、振動波モータ及び光学機器に関するものである。   The present invention relates to a vibration wave motor and an optical apparatus.

振動波モータは、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（以降、進行波と略する）を発生させ、この進行波によって駆動面には楕円運動が生じ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子は駆動される。この様な振動波モ−タは、低回転でも高トルクを有すると行った特徴があるため、駆動装置に搭載した場合に、駆動装置のギアを省略することができるため、ギア騒音をなくすことで静寂化を達成したり、位置決め精度が向上したりできるといった利点がある。
近年、振動波モータは、径を従来の１／３〜１／５倍程度と小さくし、小型化、軽量化する傾向がある。この様な小型化された振動波モータは、機器の組み込みに対しての使い勝手が良く、アプリケーションへの適用化が進み、出荷台数を大幅に伸ばしている（特許文献１参照）。 The vibration wave motor generates a progressive vibration wave (hereinafter abbreviated as traveling wave) on the elastic drive surface using the expansion and contraction of the piezoelectric body, and this traveling wave causes an elliptical motion on the drive surface. The mover in pressure contact with the wave front of the motion is driven. Such a vibration wave motor is characterized by having a high torque even at a low rotation. Therefore, when mounted on a drive device, the gear of the drive device can be omitted, thus eliminating gear noise. This has the advantage of achieving quietness and improving positioning accuracy.
In recent years, the vibration wave motor tends to be reduced in size and weight by reducing the diameter to about 1/3 to 1/5 times that of the conventional motor. Such a miniaturized vibration wave motor is easy to use in the incorporation of devices, has been applied to applications, and has greatly increased the number of shipments (see Patent Document 1).

特開２００６−３３３６２９号公報JP 2006-333629 A

本発明は、駆動効率が向上した振動波モータ及び光学機器を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a vibration wave motor and an optical apparatus with improved driving efficiency.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。
請求項１に記載の発明は、１電極を介して駆動信号が入力される電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子への前記駆動信号の入力により振動波を生じ、相対移動部材と接触する接触部を有する弾性体と、を備え、前記電気機械変換素子の前記電極は、前記接触部の位置が振動の腹部になる曲げ振動を発生させる第１相の駆動信号が入力される第１電極と、前記接触部の位置が振動の節部になる曲げ振動を発生させる第２相の駆動信号が入力される第２電極とに分離されていること、を特徴とする振動波モータである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動波モ−タにおいて、前記接触部は、３以上設けられていること、を特徴とする振動波モータである。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の振動波モータにおいて、前記振動は、前記接触部の位置が振動の腹部になる面外曲げ振動と、該接触部の位置が振動の節部になる面外曲げ振動であること、を特徴とする振動波モータである。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の振動波モ−タにおいて、前記面外曲げ振動は３次モードの振動であること、を特徴とする振動波モータである。
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の振動波モ−タにおいて、前記電気機械変換素子は円環状であり、円周に沿って前記第１電極と前記第２電極とが交互に配置されていること、を特徴とする振動波モータである。
請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動波モ−タにおいて、前記電気機械変換素子は円環状であり、内周側に前記第１電極が配置され、外周側に前記第２電極が配置されていること、特徴とする振動波モータである。
請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれか１項に記載の振動波モ−タにおいて、前記接触部は、前記振動の腹部になる面外曲げ振動により、駆動方向に対して略垂直方向に運動し、前記接触部は、前記振動の節部になる面外曲げ振動により、駆動方向に運動すること、を特徴とする振動波モータである。
請求項８に記載の発明は、請求項１から７のいずれか１項に記載の振動波モ−タにおいて、前記Ａ相の駆動号と前記Ｂ相の駆動信号とは９０°の位相差を有すること、を特徴とする振動波モータである。
請求項９に記載の発明は、請求項１から８のいずれか１項に記載の振動波モータを備える光学機器である。
なお、上記構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。 The present invention solves the above problems by the following means.
The invention according to claim 1 is an electromechanical transducer to which a drive signal is input via one electrode;
An elastic body having a contact portion that generates a vibration wave by the input of the drive signal to the electromechanical conversion element and contacts the relative movement member, and the electrode of the electromechanical conversion element has a position of the contact portion. A first electrode to which a first-phase drive signal for generating a bending vibration that becomes a vibration abdomen is input, and a second-phase drive signal for generating a bending vibration in which the position of the contact portion is a vibration node. The vibration wave motor is characterized by being separated into an input second electrode.
According to a second aspect of the present invention, in the vibration wave motor according to the first aspect, the contact portion is provided with three or more contact portions.
According to a third aspect of the present invention, in the vibration wave motor according to the first or second aspect, the vibration includes an out-of-plane bending vibration in which the position of the contact portion becomes an abdomen of vibration, and the position of the contact portion vibrates. The vibration wave motor is characterized by being out-of-plane bending vibration that becomes a nodal portion.
A fourth aspect of the present invention is the vibration wave motor according to the third aspect, wherein the out-of-plane bending vibration is a third-order mode vibration.
According to a fifth aspect of the present invention, in the vibration wave motor according to any one of the first to fourth aspects, the electromechanical conversion element has an annular shape, and the first electrode extends along a circumference. The vibration wave motor is characterized in that the second electrodes are alternately arranged.
According to a sixth aspect of the present invention, in the vibration wave motor according to any one of the first to fifth aspects, the electromechanical conversion element has an annular shape, and the first electrode is disposed on the inner peripheral side. The vibration wave motor is characterized in that the second electrode is arranged on the outer peripheral side.
A seventh aspect of the present invention is the vibration wave motor according to any one of the first to sixth aspects, wherein the contact portion is moved in the driving direction by an out-of-plane bending vibration that becomes an antinode of the vibration. The vibration wave motor is characterized in that it moves in a substantially vertical direction, and the contact portion moves in a driving direction by an out-of-plane bending vibration that becomes a node of the vibration.
The invention according to claim 8 is the vibration wave motor according to any one of claims 1 to 7, wherein the phase A drive signal and the phase B drive signal have a phase difference of 90 °. It is a vibration wave motor characterized by having.
The invention according to claim 9 is an optical apparatus including the vibration wave motor according to any one of claims 1 to 8.
In addition, the said structure may be improved suitably, and at least one part may substitute for another structure.

本発明によれば、駆動効率が向上した振動波モ−タ及び光学機器を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a vibration wave motor and an optical apparatus with improved driving efficiency.

本実施形態の振動波モータをレンズ鏡筒に搭載した例を示した図である。It is the figure which showed the example which mounted the vibration wave motor of this embodiment in the lens barrel. 第１実施形態の振動波モータを説明する図である。It is a figure explaining the vibration wave motor of a 1st embodiment. 弾性体の形状を説明する図である。It is a figure explaining the shape of an elastic body. 第１実施形態の圧電体および電極パターンを説明する図である。It is a figure explaining the piezoelectric material and electrode pattern of a 1st embodiment. 振動波モータの駆動装置を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the drive device of a vibration wave motor. 第１実施形態の振動波モータの動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the vibration wave motor of 1st Embodiment. 駆動信号Ａ相、Ｂ相を示す図である。It is a figure which shows the drive signal A phase and B phase. 突起部の時系列的な動きを説明する図である。It is a figure explaining the time-sequential movement of a projection part. 第２実施形態の圧電体および電極パターンを説明する図である。It is a figure explaining the piezoelectric material and electrode pattern of 2nd Embodiment. 第２実施形態の振動波モータの動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement of the vibration wave motor of 2nd Embodiment.

（第１実施形態）
以下、本発明にかかる振動波モータ１の第１実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本実施形態の振動波モータ１をレンズ鏡筒１００に搭載した例を示した図である。
振動波モータ１はギアユニットモジュール１０１に取り付けられ、ギアユニットモジュール１０１はレンズ鏡筒１００の固定筒１０２に取り付けられている。
振動波モータ１の出力ギア２は、ギアユニットモジュール１０１の減速ギア１０３を介して、カム環１０４に回転運動が伝達され、カム環１０４は回転駆動する。
カム環１０４には、周方向に対して斜めにキー溝１０５が切られており、そのキー溝１０５に固定ピン１０６が挿入されたＡＦ環１０７は、カム環１０４が回転駆動することにより、光軸方向に直進方向に駆動され、所望の位置に停止できる。
回路１０８は、レンズ鏡筒１００の外側固定筒１０２Ａと内側固定筒１０２Ｂの間に設けられ、振動波モータ１の駆動、制御、回転数の検出等を行う。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of a vibration wave motor 1 according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a view showing an example in which the vibration wave motor 1 of the present embodiment is mounted on a lens barrel 100.
The vibration wave motor 1 is attached to a gear unit module 101, and the gear unit module 101 is attached to a fixed cylinder 102 of the lens barrel 100.
The rotational motion of the output gear 2 of the vibration wave motor 1 is transmitted to the cam ring 104 via the reduction gear 103 of the gear unit module 101, and the cam ring 104 is driven to rotate.
A key groove 105 is cut in the cam ring 104 obliquely with respect to the circumferential direction, and the AF ring 107 in which the fixing pin 106 is inserted into the key groove 105 is rotated by the cam ring 104 so that the light It is driven in the straight direction in the axial direction and can be stopped at a desired position.
The circuit 108 is provided between the outer fixed tube 102A and the inner fixed tube 102B of the lens barrel 100, and performs driving and control of the vibration wave motor 1, detection of the number of rotations, and the like.

図２は、第１実施形態の振動波モータ１を説明する図である。
第１実施形態では振動子３側を固定とし、相対運動部材４（移動子）を駆動する。
振動子３は、後で説明する様に電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気−機械変換素子（以下、圧電体５と称する）と、圧電体５を接合した弾性体６とを備え、振動子３には振動波が発生する。 FIG. 2 is a diagram illustrating the vibration wave motor 1 according to the first embodiment.
In the first embodiment, the vibrator 3 side is fixed, and the relative motion member 4 (moving element) is driven.
As will be described later, the vibrator 3 includes an electro-mechanical conversion element (hereinafter referred to as a piezoelectric body 5) such as a piezoelectric element or an electrostrictive element that converts electrical energy into mechanical energy, and a piezoelectric body 5. A vibration wave is generated in the vibrator 3.

弾性体６は、共振先鋭度が大きな金属材料から成っている。図３は弾性体６の形状を説明する図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。図示するように弾性体６は円環形状となっている。
弾性体６はベース部７と突起部８とを有する。
突起部８は、ベース部７の上面に円周方向に対して等分に６箇所設けられており、突起部８の先端面が駆動面８ａとなり相対運動部材４に加圧接触される接触部である。また、ベース部７の下面の突起部８が無い面に圧電体５が接合される。 The elastic body 6 is made of a metal material having a high resonance sharpness. 3A and 3B are views for explaining the shape of the elastic body 6, wherein FIG. 3A is a front view and FIG. 3B is a side view. As shown in the drawing, the elastic body 6 has an annular shape.
The elastic body 6 has a base portion 7 and a protruding portion 8.
The protrusions 8 are provided on the upper surface of the base portion 7 equally at six locations in the circumferential direction, and the tip surface of the protrusion 8 becomes the drive surface 8a and is in contact with the relative motion member 4 under pressure. It is. In addition, the piezoelectric body 5 is bonded to the surface of the lower surface of the base portion 7 where there is no protrusion 8.

ベース部７には内径側にフランジ７ａが延伸され、フランジ７ａの最内径部にて固定部材９により固定されている。なお、図３はフランジ７ａを省略した図となっている。
弾性体６の突起部８の駆動面８ａには摺動部材として塗装膜や潤滑メッキが施されている。
弾性体６のベース部７には、後で説明する様に、周方向に沿って二種類の面外曲げ３次振動が発生する。
一つの振動は、突起部８の位置が振動の腹部になる振動で、もう片方の振動は、突起部８の位置が振動の節部になる振動であり、突起部８から突起部８までの距離がこの曲げ振動の１／２波長分にあたる。 A flange 7a is extended to the inner diameter side of the base portion 7, and is fixed by a fixing member 9 at the innermost diameter portion of the flange 7a. In FIG. 3, the flange 7a is omitted.
The driving surface 8a of the protrusion 8 of the elastic body 6 is provided with a paint film or a lubricating plating as a sliding member.
As will be described later, two types of out-of-plane bending tertiary vibrations are generated in the base portion 7 of the elastic body 6 along the circumferential direction.
One vibration is a vibration in which the position of the protrusion 8 becomes an abdomen of vibration, and the other vibration is a vibration in which the position of the protrusion 8 becomes a node of vibration. The distance corresponds to 1/2 wavelength of this bending vibration.

圧電体５は、ＰＺＴと呼ばれるチタン酸ジルコン酸鉛、または、環境問題から鉛フリーの材料であるニオブ酸カリウムナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸ナトリウム、カリウムチタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナト２リウム、チタン酸ビスマスカリウム等から構成してもよい。
圧電体５の表面には、後で詳細を説明するが、電極が配置され、それは円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極されている。
圧電体５の弾性体６の接着面側との反対面には、駆動信号を伝達するためにフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）１０が接合され、回路１０８に伸びている。
相対運動部材４は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面の表面には耐摩耗性向上のための表面処理が成されている。 The piezoelectric body 5 is composed of lead zirconate titanate called PZT or lead-free materials such as potassium sodium niobate, potassium niobate, sodium niobate, potassium barium titanate, bismuth sodium titanate, titanium You may comprise from bismuth potassium acid etc.
Although the details will be described later on the surface of the piezoelectric body 5, electrodes are arranged, which are divided into two phases (A phase and B phase) along the circumferential direction. In each phase, it is alternately polarized every 1/2 wavelength.
A flexible printed circuit board (FPC) 10 is bonded to the surface of the piezoelectric body 5 opposite to the bonding surface side of the elastic body 6 to extend a circuit 108.
The relative motion member 4 is made of a light metal such as aluminum, and the surface of the sliding surface is subjected to a surface treatment for improving wear resistance.

出力軸１１は、ゴム部材１２と軸のＤカットにはまるように挿入されたストッパー部材１３を介して相対運動部材４に結合されている。
出力軸１１とストッパー部材１３はＥクリップ１４等により固定され、相対運動部材４と一体に回転する。ストッパー部材１３と相対運動部材４との間のゴム部材１２は、ゴムによる粘着性で相対運動部材４とストッパー部材１３と結合する機能があり、かつ相対運動部材４からの振動を出力軸１１へ伝えないための振動吸収との機能があるブチルゴム等が好適である。 The output shaft 11 is coupled to the relative motion member 4 via a rubber member 12 and a stopper member 13 inserted so as to fit into the D cut of the shaft.
The output shaft 11 and the stopper member 13 are fixed by an E clip 14 or the like, and rotate integrally with the relative motion member 4. The rubber member 12 between the stopper member 13 and the relative motion member 4 has a function of coupling with the relative motion member 4 and the stopper member 13 due to adhesiveness of rubber, and vibration from the relative motion member 4 is transmitted to the output shaft 11. Butyl rubber having a function of absorbing vibration so as not to transmit is suitable.

加圧部材１５は、出力軸１１の出力ギア２とベアリング１６の間に設けられている。この様な構造をとることで、相対運動部材４が振動子３の駆動面８ａに加圧接触する。   The pressure member 15 is provided between the output gear 2 of the output shaft 11 and the bearing 16. By taking such a structure, the relative motion member 4 is brought into pressure contact with the drive surface 8 a of the vibrator 3.

図４は圧電体５および電極パターンを説明する図である。
圧電体５の片面側は、図４の様な電極パターンが設けられている。本実施形態では、図示する面５ａは、弾性体６との接合面５ｂと反対側の面となっている。
一方、弾性体６の接合面５ｂは、全面電極となっており、弾性体６がＧＮＤになる様にされている。 FIG. 4 is a diagram illustrating the piezoelectric body 5 and the electrode pattern.
An electrode pattern as shown in FIG. 4 is provided on one side of the piezoelectric body 5. In the present embodiment, the illustrated surface 5 a is a surface opposite to the joint surface 5 b with the elastic body 6.
On the other hand, the joint surface 5b of the elastic body 6 is a full-surface electrode so that the elastic body 6 becomes GND.

電極パターンは、面外曲げ振動の波長の１／４波長の大きさで、周方向に配置され、Ａ相が入力される電極Ａと、Ｂ相が入力される電極Ｂとが交互に配置されている。
電極Ａは、円周方向に対して、電極の真ん中が突起部８に位置する様になっており、電極Ｂは、円周方向に対して、突起部８と突起部８との間に電極の真ん中が位置する。 The electrode pattern is a quarter wavelength of the wavelength of out-of-plane bending vibration, and is arranged in the circumferential direction. The electrode A to which the A phase is input and the electrode B to which the B phase is input are alternately arranged. ing.
The electrode A is configured such that the middle of the electrode is positioned at the protruding portion 8 with respect to the circumferential direction, and the electrode B is disposed between the protruding portion 8 and the protruding portion 8 with respect to the circumferential direction. The middle of is located.

電極Ａだけ見ると、円周方向に沿って（＋）（−）と交互に分極されている。また、電極Ｂだけ見ると、円周方向に沿って（＋）（−）と交互に分極されている。   When only the electrode A is viewed, it is alternately polarized with (+) (−) along the circumferential direction. Further, when only the electrode B is viewed, it is alternately polarized with (+) (−) along the circumferential direction.

本実施形態で圧電体５は、ｄ３１圧電現象を利用している。
これは、分極方向（３方向）に電圧を印加すると、円周方向（１方向）に変位が生じる現象である。圧電体５の厚さ方向に電圧を加えると、圧電体５には伸び変位、縮み変位が発生し、これにより弾性体６ベース部７が曲げ変位が生じる。駆動信号を交流電圧とすると、ベース部７には面外曲げ振動（定在波）が発生する。 In the present embodiment, the piezoelectric body 5 utilizes the d31 piezoelectric phenomenon.
This is a phenomenon in which displacement occurs in the circumferential direction (one direction) when a voltage is applied in the polarization direction (three directions). When a voltage is applied in the thickness direction of the piezoelectric body 5, an expansion displacement and a contraction displacement are generated in the piezoelectric body 5, thereby causing a bending displacement of the elastic body 6 base portion 7. When the drive signal is an AC voltage, out-of-plane bending vibration (standing wave) is generated in the base portion 7.

従って、電極ＡへのＡ相の入力により、弾性体６のベース部７には、突起部８が面外曲げ振動の腹部に位置する振動が生じ、電極ＢへのＢ相の入力により、弾性体６ベース部７には、突起部８が面外曲げ振動の節部に位置する振動が生じる。   Accordingly, the A-phase input to the electrode A causes a vibration in which the protrusion 8 is positioned at the antinode of the out-of-plane bending vibration in the base portion 7 of the elastic body 6. In the body 6 base portion 7, vibration is generated in which the protrusion 8 is positioned at a node portion of out-of-plane bending vibration.

図５は、本実施形態の振動波モータ１の駆動装置２０を説明するブロック図である。まず、振動波モータ１の駆動／制御について説明する。   FIG. 5 is a block diagram illustrating the driving device 20 of the vibration wave motor 1 of the present embodiment. First, driving / control of the vibration wave motor 1 will be described.

発振部２２は、制御部２１の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。
移相部２３は、該発振部２２で発生した駆動信号を９０°位相の異なる２つの駆動信号に分ける。
増幅部２４は、移相部２３によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。
増幅部２４からの駆動信号は、振動波モータ１に伝達される。振動波モータ１では、この駆動信号の印加により振動子３に振動が発生し、その振動により相対運動部材４が駆動される。 The oscillating unit 22 generates a drive signal having a desired frequency according to a command from the control unit 21.
The phase shifter 23 divides the drive signal generated by the oscillator 22 into two drive signals having a 90 ° phase difference.
The amplification unit 24 boosts the two drive signals divided by the phase shift unit 23 to desired voltages, respectively.
A drive signal from the amplifying unit 24 is transmitted to the vibration wave motor 1. In the vibration wave motor 1, vibration is generated in the vibrator 3 by application of the drive signal, and the relative motion member 4 is driven by the vibration.

位置・速度検出部２５は、光学式エンコーダや磁気エンコ−ダ等により構成され、相対運動部材４の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出し、検出値を電気信号として制御部２１に伝達する。
制御部２１は、レンズ鏡筒１００内またはカメラ本体のＣＰＵからの駆動指令を基に振動波モータ１の駆動を制御する。制御部２１は、位置・速度検出部２５からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部２２の周波数を制御する。 The position / velocity detection unit 25 is configured by an optical encoder, a magnetic encoder, or the like, detects the position or speed of a driven object driven by driving the relative motion member 4, and uses the detected value as an electrical signal for the control unit 21. To communicate.
The control unit 21 controls driving of the vibration wave motor 1 based on a driving command from the CPU of the lens barrel 100 or the camera body. The control unit 21 receives the detection signal from the position / speed detection unit 25, obtains position information and speed information based on the value, and controls the frequency of the oscillation unit 22 so as to be positioned at the target position.

図６を用いて、第１実施形態の振動波モータ１の動作を説明する。図６（ａ）は加圧方向の振動を示し、（ｂ）は駆動方向の振動を示す。
制御部２１から駆動指令が発令されると、発振部２２からは駆動信号が発生される。その駆動信号は位相部により９０度位相の異なる２つの駆動信号（Ａ相、Ｂ相）に分割され、増幅部２４により所望の電圧に増幅される。図７は、駆動信号を示すグラフであり、（ａ）はＡ相、（ｂ）はＢ相を示す。 The operation of the vibration wave motor 1 of the first embodiment will be described with reference to FIG. 6A shows the vibration in the pressurizing direction, and FIG. 6B shows the vibration in the driving direction.
When a drive command is issued from the control unit 21, a drive signal is generated from the oscillation unit 22. The drive signal is divided into two drive signals (A phase and B phase) having a phase difference of 90 degrees by the phase unit, and is amplified to a desired voltage by the amplification unit 24. FIG. 7 is a graph showing drive signals, where (a) shows the A phase and (b) shows the B phase.

圧電体５の電極パターンは、上述の図４の説明のようにＡ相の駆動信号が入力される電極Ａと、Ｂ相の駆動信号が入力される電極Ｂとに分けられている。
電極ＡへのＡ相の駆動信号の入力により、弾性体６のベース部７には、突起部８が面外曲げ振動の腹部に位置する３次モード振動（定在波）が発生する（図６（ａ））。
それとともに、電極ＢへのＢ相の駆動信号の入力により、弾性体６のベース部７には、突起部８が面外曲げ振動の節部に位置する３次モード振動（定在波）が発生する（図６（ｂ））。 The electrode pattern of the piezoelectric body 5 is divided into an electrode A to which an A-phase drive signal is input and an electrode B to which a B-phase drive signal is input as described in FIG.
Due to the input of the A-phase drive signal to the electrode A, the base portion 7 of the elastic body 6 generates third-order mode vibration (standing wave) in which the protrusion 8 is located at the antinode of the out-of-plane bending vibration (FIG. 5). 6 (a)).
At the same time, due to the input of the B-phase drive signal to the electrode B, the base portion 7 of the elastic body 6 has third-order mode vibration (standing wave) in which the protrusion 8 is located at the node of the out-of-plane bending vibration. It occurs (FIG. 6B).

突起部８が面外曲げ振動の腹部に位置する振動は、突起部８を上下方向即ち加圧方向に変位する振動となる（図６（ａ））。
突起部８が面外曲げ振動の節部に位置する振動は、突起部８を回転運動させ、即ち駆動方向に変位する振動となる（図６（ｂ））。 The vibration in which the protrusion 8 is positioned at the antinode of the out-of-plane bending vibration is vibration that displaces the protrusion 8 in the vertical direction, that is, the pressurizing direction (FIG. 6A).
The vibration in which the protrusion 8 is located at the node of the out-of-plane bending vibration is a vibration that causes the protrusion 8 to rotate, that is, is displaced in the driving direction (FIG. 6B).

図８は、突起部８（８１，８２）の時系列的な動きを説明する図である。（ａ）は突起部８１、（ｂ）は突起部８１の隣に配置される突起８２の動きを示す。
突起部８１は、
ｔ＝１の時は、上側へ運動し、
ｔ＝２の時は、右側へ運動し、
ｔ＝３の時は、下側へ運動し、
ｔ＝４の時は、左側へ運動し、
ｔ＝５の時は、上側へ運動、即ちｔ＝１の時に戻る。
この様に突起部８１の駆動面８１ａは楕円運動を発生する。 FIG. 8 is a diagram for explaining the time-series movement of the protrusion 8 (81, 82). (A) shows the movement of the protrusion 81, and (b) shows the movement of the protrusion 82 arranged next to the protrusion 81.
The protrusion 81 is
When t = 1, it moves upward,
When t = 2, move to the right,
When t = 3, it moves downward,
When t = 4, move to the left,
When t = 5, it moves upward, that is, when t = 1.
Thus, the drive surface 81a of the protrusion 81 generates an elliptical motion.

突起部８１の隣の突起部８２は、
ｔ＝１の時は、下側へ運動し、
ｔ＝２の時は、左側へ運動し、
ｔ＝３の時は、上側へ運動し、
ｔ＝４の時は、右側へ運動し、
ｔ＝５の時は、下側へ運動、即ちｔ＝１の時に戻る。
この様に突起部８２の駆動面８２ａも楕円運動を発生する。
突起部８１と突起部８２とは、交互に位置しており、お互いの楕円運動は１８０度位相がずれたようになっている。 The protrusion 82 next to the protrusion 81 is
When t = 1, move downward,
When t = 2, move to the left,
When t = 3, it moves upward,
When t = 4, move to the right,
When t = 5, it moves downward, that is, when t = 1.
In this way, the drive surface 82a of the protrusion 82 also generates an elliptical motion.
The protrusions 81 and the protrusions 82 are alternately positioned, and the elliptical motions of each other appear to be 180 degrees out of phase.

本発明においては、ベース部７に突起部８（８１，８２）を配置し、１枚の圧電体５の接合といった構成により、振動子３の構造が非常に単純となる。
これにより駆動に必要な振動のみを励起させることが可能となり、従来の構造よりも駆動力や駆動効率を大幅に向上させることが可能となる。
また、部品点数が非常に少なくなり、組立工数も大幅に削減したため、大幅なコストダウンも達成することが出来る。
本発明の振動波モータ１は、Ａ相入力で加圧方向の振動を発生させ、Ｂ相の入力で駆動方向の振動を発生させる方式であるが、この方式の振動波モータ１は、楕円運動の大きさや形状をコントロールできる。 In the present invention, the structure of the vibrator 3 becomes very simple by arranging the protruding portions 8 (81, 82) on the base portion 7 and joining one piezoelectric body 5.
As a result, only vibrations necessary for driving can be excited, and driving force and driving efficiency can be greatly improved as compared with the conventional structure.
In addition, the number of parts is greatly reduced and the number of assembly steps is greatly reduced, so that a significant cost reduction can be achieved.
The vibration wave motor 1 of the present invention is a system that generates vibration in the pressurizing direction by the A-phase input and generates vibration in the drive direction by the B-phase input. You can control the size and shape.

比較として、進行波型振動波モータを例について説明すると、速度制御は主に周波数や電圧によって行うが、速度を下げるため、周波数を高くする（または電圧を小さくする）と、楕円運動の駆動方向だけではなく、加圧方向も小さくなってしまう。
このため、低速時に駆動面８ａの面粗さや平面度の状態によっては、回転ムラが大きくなったり、急激停止したりする場合がある。 As a comparison, a traveling wave type vibration wave motor will be described as an example. Speed control is mainly performed by frequency and voltage, but if the frequency is increased (or decreased) to reduce the speed, the driving direction of the elliptical motion In addition to this, the pressurizing direction is also reduced.
For this reason, depending on the surface roughness and flatness of the drive surface 8a at a low speed, the rotation unevenness may increase or stop suddenly.

速度を上げるため、周波数を低くする（または電圧を大きくする）と、楕円運動の駆動方向だけではなく、加圧方向も大きくなってしまい、低加圧方向の振動が大きくなりすぎる故に異音が発生したり、消費電力が大きくなったりする場合がある。   If the frequency is lowered (or the voltage is increased) to increase the speed, not only the driving direction of the elliptical motion but also the pressurizing direction becomes large, and the vibration in the low pressurizing direction becomes too large, so that abnormal noise is generated. May occur or power consumption may increase.

これに対し、この方式の振動波モータ１は、速度を下げる時には、Ａ相の電圧を維持し、Ｂ相の電圧を下げていけば、加圧方向の振幅は確保しながら、駆動方向の振幅を小さくする状態が可能となり（この状態は楕円が縦長形状となっている）、超低速度の駆動が可能となる。
また、速度を上げる時には、Ａ相の電圧を維持し、Ｂ相の電圧を上げていけば、駆動方向の振幅のみを大きくする状態が可能となり（この状態は楕円が横長形状となっている）、進行波型と比較して高回転でも異音の発生が生じず、消費電力も抑えることが可能となる。 On the other hand, the vibration wave motor 1 of this system maintains the A-phase voltage when the speed is lowered, and if the B-phase voltage is lowered, the amplitude in the pressurizing direction is ensured while the amplitude in the driving direction is secured. Can be reduced (in this state, the ellipse has a vertically long shape), and ultra-low speed driving becomes possible.
Also, when the speed is increased, if the A-phase voltage is maintained and the B-phase voltage is increased, only the amplitude in the driving direction can be increased (in this state, the ellipse has a horizontally long shape). As compared with the traveling wave type, no abnormal noise is generated even at a high speed, and the power consumption can be suppressed.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を説明する。第２実施形態は第１実施形態に対して、圧電体５Ａの電極パターンが異なる。図９は第２実施形態の圧電体５Ａおよび電極パターンを説明する図である。振動波モータの外観、レンズ鏡筒１００に組み込んだ外観や駆動回路１０８については、第１実施形態と同様なため説明は省略する。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. The second embodiment differs from the first embodiment in the electrode pattern of the piezoelectric body 5A. FIG. 9 is a diagram illustrating the piezoelectric body 5A and the electrode pattern of the second embodiment. The appearance of the vibration wave motor, the appearance incorporated in the lens barrel 100, and the drive circuit 108 are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof is omitted.

圧電体５Ａの片面側は、図９の様な電極パターンが設けられている。
第２実施形態では、図示する面５Ａａは、弾性体６との接合面とは反対面となっている。
一方、弾性体６の接合面は、第１実施形態と同様に全面電極となっており、弾性体６がＧＮＤになる様にされている。 An electrode pattern as shown in FIG. 9 is provided on one side of the piezoelectric body 5A.
In the second embodiment, the illustrated surface 5 </ b> Aa is a surface opposite to the joint surface with the elastic body 6.
On the other hand, the joint surface of the elastic body 6 is a full-surface electrode as in the first embodiment, and the elastic body 6 is set to GND.

電極パターンは、面外曲げ振動の波長の１／２波長の大きさで、Ａ相が入力される電極Ａが内側に、Ｂ相が入力される電極Ｂが外側に配置されている。
電極Ａは、円周方向に対して、電極の真ん中が突起部８Ａに位置する。
電極Ｂは、円周方向に対して、突起部８Ａと突起部８Ａとの間に電極の真ん中が位置する。 The electrode pattern is half the wavelength of the out-of-plane bending vibration, and the electrode A to which the A phase is input is disposed on the inner side, and the electrode B to which the B phase is input is disposed on the outer side.
In the electrode A, the center of the electrode is located at the protrusion 8A with respect to the circumferential direction.
In the electrode B, the middle of the electrode is located between the protrusion 8A and the protrusion 8A with respect to the circumferential direction.

電極Ａだけ見ると、円周方向に沿って（＋）（−）と交互に分極されていて、電極Ｂだけ見ると、円周方向に沿って（＋）（−）と交互に分極されている。   When only the electrode A is viewed, it is alternately polarized with (+) (−) along the circumferential direction, and when only the electrode B is viewed, it is alternately polarized with (+) (−) along the circumferential direction. Yes.

電極ＡへのＡ相の入力により、弾性体６のベース部７には、突起部８が面外曲げ振動の腹部に位置する振動が生じ、電極ＢへのＢ相の入力により、弾性体６ベース部７には、突起部８が面外曲げ振動の節部に位置する振動が生じる。
なお、第２実施形態においても、ｄ３１圧電現象を利用している。 Due to the input of the A phase to the electrode A, vibration occurs in the base portion 7 of the elastic body 6 in which the protrusion 8 is located at the antinode of the out-of-plane bending vibration, and due to the input of the B phase to the electrode B, the elastic body 6 In the base portion 7, vibration is generated in which the protruding portion 8 is positioned at a node portion of out-of-plane bending vibration.
In the second embodiment, the d31 piezoelectric phenomenon is also used.

図１０を用いて、第２実施形態の振動波モータの動作を説明する。図１０（ａ）は加圧方向の振動を示し、（ｂ）は駆動方向の振動を示す。
第１実施形態と同様に、制御部２１から駆動指令が発令されると、発振部２２からは駆動信号が発生される。その駆動信号は移相部２３により９０度位相の異なる２つの駆動信号（Ａ相、Ｂ相）に分割され、増幅部２４により所望の電圧に増幅される。駆動信号Ａ相、Ｂ相は、第１実施形態の図７と同様である。 The operation of the vibration wave motor according to the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 10A shows vibration in the pressurizing direction, and FIG. 10B shows vibration in the driving direction.
Similarly to the first embodiment, when a drive command is issued from the control unit 21, a drive signal is generated from the oscillation unit 22. The drive signal is divided into two drive signals (A phase and B phase) having a phase difference of 90 degrees by the phase shift unit 23 and amplified to a desired voltage by the amplifier unit 24. The drive signals A phase and B phase are the same as in FIG. 7 of the first embodiment.

圧電体５Ａは上述のようにＡ相の駆動信号が入力される電極Ａと、Ｂ相の駆動信号が入力される電極Ｂとに分けられている。
駆動信号Ａ相、Ｂ相はそれぞれ圧電体５Ａの電極Ａと電極Ｂとに印加される。すると、電極ＡへのＡ相の入力により、弾性体６のベース部７には、突起部８Ａ１が面外曲げ振動の腹部に位置する３次モード振動が発生する。電極ＢへのＢ相の入力により、弾性体６のベース部７には、突起部８Ａ２が面外曲げ振動の節部に位置する３次モード振動が発生する。
突起部８が面外曲げ振動の腹部に位置する振動は、突起部８を上下方向即ち加圧方向に変位する振動となる（図１０（ａ））。突起部８が面外曲げ振動の節部に位置する振動は、突起部８を回転運動させ、即ち駆動方向に変位する振動となる（図１０（ｂ））。 As described above, the piezoelectric body 5A is divided into the electrode A to which the A-phase drive signal is input and the electrode B to which the B-phase drive signal is input.
The drive signals A phase and B phase are applied to the electrodes A and B of the piezoelectric body 5A, respectively. Then, due to the input of the A phase to the electrode A, tertiary mode vibration is generated in the base portion 7 of the elastic body 6 in which the protruding portion 8A1 is located at the antinode of the out-of-plane bending vibration. Due to the input of the B phase to the electrode B, the base portion 7 of the elastic body 6 generates third-order mode vibration in which the protrusion 8A2 is located at the node of the out-of-plane bending vibration.
The vibration in which the protrusion 8 is positioned at the antinode of the out-of-plane bending vibration is vibration that displaces the protrusion 8 in the vertical direction, that is, in the pressing direction (FIG. 10A). The vibration in which the protrusion 8 is positioned at the node of the out-of-plane bending vibration is a vibration that rotates the protrusion 8, that is, is displaced in the driving direction (FIG. 10B).

本実施形態においても、ベース部７に突起部８Ａ（８Ａ１，８Ａ２）を配置し、１枚の圧電体５の接合といった構成により、振動子３の構造が非常に単純となり、これにより駆動に必要な振動のみを励起させることが可能となる。これにより、従来の構造よりも駆動力や駆動効率を大幅に向上させることが可能となる。   Also in the present embodiment, the structure of the vibrator 3 becomes very simple due to the configuration in which the protruding portion 8A (8A1, 8A2) is arranged on the base portion 7 and the single piezoelectric body 5 is joined, which is necessary for driving. It is possible to excite only the vibration. As a result, the driving force and the driving efficiency can be greatly improved as compared with the conventional structure.

また、部品点数が非常に少なくなり、組立工数も大幅に削減したため、大幅なコストダウンも達成することが出来る。
第１実施形態においては、円周方向に対して、電極パターンは１／４波長となっているが、第２実施形態では、Ａ相、Ｂ相とも円周方向に対して、電極パターンを１／２波長を確保することができる。このため、第１実施形態よりも曲げ振動の励起が有利になることから、駆動力を向上させることが可能である。
また、第１実施形態と同様に、Ａ相入力で加圧方向の振動を発生させ、Ｂ相の入力で駆動方向の振動を発生させる方式であるが、この方式の振動波モータ１は、楕円運動の大きさや形状をコントロールできる。 In addition, the number of parts is greatly reduced and the number of assembly steps is greatly reduced, so that a significant cost reduction can be achieved.
In the first embodiment, the electrode pattern has a quarter wavelength with respect to the circumferential direction. However, in the second embodiment, both the A phase and the B phase have 1 electrode pattern in the circumferential direction. / 2 wavelength can be secured. For this reason, since the excitation of bending vibration is more advantageous than in the first embodiment, it is possible to improve the driving force.
In addition, as in the first embodiment, the vibration in the pressurizing direction is generated by the A-phase input and the vibration in the driving direction is generated by the B-phase input. You can control the size and shape of the exercise.

以上、上述の実施形態において、突起部８，８Ａは６箇所で、面内３次曲げ振動モードを例として説明した。しかし、この組み合わせに限定されない。例えば、駆動性能面では劣るが、突起部８を３箇所で、面内３次曲げ振動モードでも駆動可能となる。   As described above, in the above-described embodiment, the protrusions 8 and 8A are provided at six locations, and the in-plane tertiary bending vibration mode is described as an example. However, it is not limited to this combination. For example, although the driving performance is inferior, the protrusion 8 can be driven at three locations even in the in-plane tertiary bending vibration mode.

突起部８，８Ａは、相対運動部材４の摺動面との接触を確保するためには、３箇所以上が好適である。   The protrusions 8 and 8A are preferably three or more in order to ensure contact with the sliding surface of the relative motion member 4.

また、駆動性能面では、（突起部数÷２）の次数の曲げ振動が好適である。例えば、突起部数が８なら、４次曲げ振動が好適である。突起部数が１０なら、５次曲げ振動が好適である。３次の曲げ振動は、振幅が大きく出来るため、振動次数が大きい場合よりも有利である。   In terms of driving performance, bending vibration of the order of (number of protrusions / 2) is preferable. For example, if the number of protrusions is 8, quaternary bending vibration is suitable. If the number of protrusions is 10, fifth-order bending vibration is preferable. Since the third-order bending vibration can increase the amplitude, it is more advantageous than the case where the vibration order is large.

実施形態では突起部８，８Ａを設け、その突起部８，８Ａの駆動面８ａが相対運動部材４の摺動面と接触するようにしたが、本発明はこれに限定されない。例えば、突起部８，８Ａを設けず、ベース部７の表面が直接、相対運動部材４の摺動面と接触する構成であってもよい。   In the embodiment, the protrusions 8 and 8A are provided, and the drive surface 8a of the protrusions 8 and 8A is in contact with the sliding surface of the relative motion member 4, but the present invention is not limited to this. For example, the protrusions 8 and 8A may not be provided, and the surface of the base portion 7 may be in direct contact with the sliding surface of the relative motion member 4.

１：振動波モータ、３：振動子、４：相対運動部材、５：圧電体、６：弾性体、７：ベース部、８：突起部、８ａ：駆動面、２０：駆動装置、８１：突起部、１００：レンズ鏡筒、Ａ：電極、Ｂ：電極   1: vibration wave motor, 3: vibrator, 4: relative motion member, 5: piezoelectric body, 6: elastic body, 7: base portion, 8: protrusion, 8a: driving surface, 20: driving device, 81: protrusion Part, 100: lens barrel, A: electrode, B: electrode

Claims (9)

電極を介して駆動信号が入力される電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子への前記駆動信号の入力により振動波を生じ、相対移動部材と接触する接触部を有する弾性体と、を備え、
前記電気機械変換素子の前記電極は、前記接触部の位置が振動の腹部になる曲げ振動を発生させる第１相の駆動信号が入力される第１電極と、前記接触部の位置が振動の節部になる曲げ振動を発生させる第２相の駆動信号が入力される第２電極とに分離されていること、
を特徴とする振動波モータ。 An electromechanical transducer to which a drive signal is input via an electrode;
An elastic body having a contact portion that generates a vibration wave by the input of the drive signal to the electromechanical conversion element and contacts a relative movement member;
The electrode of the electromechanical conversion element includes a first electrode to which a first-phase driving signal for generating a bending vibration in which the position of the contact portion is a vibration antinode and a position of the contact portion is a vibration node. Separated into a second electrode to which a second-phase drive signal that generates bending vibrations is input,
Vibration wave motor characterized by 請求項１に記載の振動波モ−タにおいて、
前記接触部は、３以上設けられていること、
を特徴とする振動波モータ。 The vibration wave motor according to claim 1,
3 or more of the contact portions are provided,
Vibration wave motor characterized by 請求項１または２に記載の振動波モータにおいて、
前記振動は、前記接触部の位置が振動の腹部になる面外曲げ振動と、該接触部の位置が振動の節部になる面外曲げ振動であること、
を特徴とする振動波モータ。 In the vibration wave motor according to claim 1 or 2,
The vibration is an out-of-plane bending vibration in which the position of the contact portion becomes a vibration abdomen and an out-of-plane bending vibration in which the position of the contact portion becomes a vibration node,
Vibration wave motor characterized by 請求項３に記載の振動波モ−タにおいて、
前記面外曲げ振動は３次モードの振動であること、
を特徴とする振動波モータ。 In the vibration wave motor according to claim 3,
The out-of-plane bending vibration is a third-order mode vibration;
Vibration wave motor characterized by 請求項１から４のいずれか１項に記載の振動波モ−タにおいて、
前記電気機械変換素子は円環状であり、円周に沿って前記第１電極と前記第２電極とが交互に配置されていること、
を特徴とする振動波モータ。 The vibration wave motor according to any one of claims 1 to 4,
The electromechanical transducer is annular, and the first electrode and the second electrode are alternately arranged along a circumference;
Vibration wave motor characterized by 請求項１から５のいずれか１項に記載の振動波モ−タにおいて、
前記電気機械変換素子は円環状であり、内周側に前記第１電極が配置され、外周側に前記第２電極が配置されていること、
特徴とする振動波モータ。 In the vibration wave motor according to any one of claims 1 to 5,
The electromechanical transducer is annular, the first electrode is disposed on the inner peripheral side, and the second electrode is disposed on the outer peripheral side;
The characteristic vibration wave motor. 請求項１から６のいずれか１項に記載の振動波モ−タにおいて、
前記接触部は、前記振動の腹部になる面外曲げ振動により、駆動方向に対して略垂直方向に運動し、
前記接触部は、前記振動の節部になる面外曲げ振動により、駆動方向に運動すること、
を特徴とする振動波モータ。 In the vibration wave motor according to any one of claims 1 to 6,
The contact portion moves in a direction substantially perpendicular to the driving direction by out-of-plane bending vibration that becomes an abdomen of the vibration,
The contact portion moves in a driving direction by an out-of-plane bending vibration that becomes a node of the vibration;
Vibration wave motor characterized by 請求項１から７のいずれか１項に記載の振動波モ−タにおいて、
前記Ａ相の駆動号と前記Ｂ相の駆動信号とは９０°の位相差を有すること、
を特徴とする振動波モータ。 In the vibration wave motor according to any one of claims 1 to 7,
The phase A drive signal and the phase B drive signal have a phase difference of 90 °;
Vibration wave motor characterized by 請求項１から８のいずれか１項に記載の振動波モータを備える光学機器。   An optical apparatus comprising the vibration wave motor according to claim 1.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111262471A (en) * 2020-02-17 2020-06-09 北京大学 Annular piezoelectric driver and piezoelectric motor

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63268471A (en) * 1987-04-23 1988-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor
JPH05236767A (en) * 1991-12-27 1993-09-10 Asmo Co Ltd Oscillation motor
JP2001197760A (en) * 1999-11-01 2001-07-19 Seiko Instruments Inc Ultrasonic motor and electronic equipment therewith
JP2013162675A (en) * 2012-02-07 2013-08-19 Nikon Corp Vibration wave motor, lens barrel and camera

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63268471A (en) * 1987-04-23 1988-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor
JPH05236767A (en) * 1991-12-27 1993-09-10 Asmo Co Ltd Oscillation motor
JP2001197760A (en) * 1999-11-01 2001-07-19 Seiko Instruments Inc Ultrasonic motor and electronic equipment therewith
JP2013162675A (en) * 2012-02-07 2013-08-19 Nikon Corp Vibration wave motor, lens barrel and camera

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111262471A (en) * 2020-02-17 2020-06-09 北京大学 Annular piezoelectric driver and piezoelectric motor

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