JP2010226854A

JP2010226854A - Vibration actuator, lens barrel including the same, and camera

Info

Publication number: JP2010226854A
Application number: JP2009070511A
Authority: JP
Inventors: Azusa Muto; 梓武藤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2009-03-23
Filing date: 2009-03-23
Publication date: 2010-10-07

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive vibration actuator that can be miniaturized and has good drive performance, a lens barrel including the same, and a camera. <P>SOLUTION: A vibration actuator (10) includes a vibrating member (11) for generating a vibrational wave, and a relative-movement member (40) that has a contact face (30a) contacting with the vibrating member and moves relative to the vibrating member due to drive of the contact face (30a) by the vibrational wave. The relative-movement member (40) includes a first part (30) including the contact face (30a), and a second part (40) that has higher rigidity than that of the first part (30), has a first contact face (41a) intersecting with the contact face (30a), and is mounted with the first part (30) such that at least a part of the first part (30) is in contact with the first face (41a). <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、圧電体の伸縮を利用して移動子を駆動する振動アクチュエータ、それを備えたレンズ鏡筒及びカメラに関する。 The present invention relates to a vibration actuator that drives a moving element by utilizing expansion and contraction of a piezoelectric body, a lens barrel and a camera including the vibration actuator.

振動アクチュエータは、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（以下、進行波という）を発生させ、この進行波によって駆動面に楕円運動を生じさせることにより楕円運動の波頭に加圧接触した移動子を駆動するものである。このような振動アクチュエータは、低回転でも高トルクを有するという特徴があるため、駆動装置に搭載した場合に、駆動装置のギアの数を減らすことができる。このため、ギアによる騒音を低減することで静寂化が達成可能であり、また位置決め精度が向上されるといった利点もある。 The vibration actuator generates a progressive vibration wave (hereinafter referred to as a traveling wave) on the driving surface of the elastic body by utilizing the expansion and contraction of the piezoelectric body, and generates an elliptical motion on the driving surface by the traveling wave. It drives the mover in pressure contact with the wavefront. Since such a vibration actuator has a characteristic of having a high torque even at a low rotation, the number of gears of the drive device can be reduced when mounted on the drive device. For this reason, it is possible to achieve quietness by reducing the noise caused by the gears, and there are advantages that the positioning accuracy is improved.

近年、振動アクチュエータにおいて、径を従来の１／３〜１／５倍程度とする小型化、軽量化が進んでいる。小型化された振動アクチュエータは、電磁モータの変わりとしての使用が検討される。しかし、従来の振動アクチュエータは電磁モータと比べて製造コストがかかる。このため、振動アクチュエータの様々な部材、たとえば移動子をプラスチックモールドで製造することが検討されている（特許文献１参照）。 In recent years, vibration actuators have been reduced in size and weight so that the diameter is about 1/3 to 1/5 times that of conventional ones. The use of the miniaturized vibration actuator as a change of the electromagnetic motor is considered. However, the conventional vibration actuator is expensive to manufacture compared to the electromagnetic motor. For this reason, it has been studied to manufacture various members of the vibration actuator, for example, a moving element using a plastic mold (see Patent Document 1).

また、振動アクチュエータにおいては、弾性体と移動子との摺動部の磨耗によって駆動性能が低下してくる。このため、耐久性という観点からも摺動部は、耐摩耗性を有するプラスチックで製造することが好ましい。 In the vibration actuator, the driving performance is deteriorated due to wear of the sliding portion between the elastic body and the moving element. For this reason, from the viewpoint of durability, the sliding portion is preferably manufactured from a plastic having wear resistance.

特開平４−１１７１８２号公報JP-A-4-117182

しかし、移動子を小型化し且つプラスチックで製造すると剛性が小さくなる。移動子は、剛性が小さいと曲げ変形が大きくなり、良好な駆動性能を得ることが困難になる。 However, if the mover is made smaller and made of plastic, the rigidity becomes smaller. If the mover has low rigidity, bending deformation increases and it becomes difficult to obtain good driving performance.

本発明の課題は、小型化可能で、安価で且つ良好な駆動性能を有する振動アクチュエータ及びそれを備えたレンズ鏡筒、カメラを提供することである。 An object of the present invention is to provide a vibration actuator that can be reduced in size, is inexpensive, and has good driving performance, and a lens barrel and a camera including the vibration actuator.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。 The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this.

請求項１に記載の発明は、振動波を生じる振動部材（１１）と、前記振動部材（１１）と接触する接触面（３０ａ）を有し、前記振動波により前記接触面（３０ａ）が駆動されることにより前記振動部材（１１）に対して相対移動する相対移動部材（４０，２４０，３４０，４４０）と、を備える振動アクチュエータ（１０）であって、前記相対移動部材（４０，２４０，３４０，４４０）は、前記接触面（３０ａ）を含む第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）と、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）よりも剛性が高く、かつ、前記接触面（３０ａ）と交差する第１の面（４１ａ，２４１ａ，３４１ａ，４４１ａ）を有し、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）の少なくとも一部が前記第１の面（４１ａ，２４１ａ，３４１ａ，４４１ａ）と接触するように前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）が取り付けられた第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）とを備えたこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）は前記接触面（３０ａ）と平行な方向に沿った第２の面（４１ｂ，２４１ｂ，３４０ｂ，４４０ｂ）を備え、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）は、前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）の前記第２の面（４１ｂ，２４１ｂ，３４０ｂ，４４０ｂ）の少なくとも一部と接触するようにして前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）に取り付けられていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）と前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）とは嵌合していること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記嵌合は、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）又は前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）のいずれか一方を熱膨張させて他方に嵌め込むことにより行われたものであること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第２の部分（４０，２４０，３４０，４４０）に凹部（３３０ｂ、４３０ｂ）が形成され、前記第１の部分（３０，２３０，３３０，４３０）は該凹部（３３０ｂ，４３０ｂ）に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項６に記載の発明は、請求項３又は４に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第１の部分（２３０）及び前記第２の部分（２４０）が円環形状を有し、前記第２の部分（２４０）の内周側に段部（２４１ａ，２４１ｂ）が形成され、前記第１の部分（２３０）は前記第２の部分（２４０）における該段部（２４１ａ，２４１ｂ）に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項７に記載の発明は、請求項３又は４に記載の振動アクチュエータ（１０）であって、前記第１の部分（３０）及び前記第２の部分（４０）が円環形状を有し、前記第２の部分（４０）の外周側に段部（４１ａ，４１ｂ）が形成され、前記第１の部分（３０）は前記第２の部分（４０）における該段部（４１ａ，４１ｂ）に嵌合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項８に記載の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）を有するレンズ鏡筒（３）である。
請求項９に記載の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０）を有するカメラ（１）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。 The invention according to claim 1 has a vibration member (11) that generates a vibration wave and a contact surface (30a) that contacts the vibration member (11), and the contact surface (30a) is driven by the vibration wave. And a relative movement member (40, 240, 340, 440) that moves relative to the vibration member (11), the vibration actuator (10) including the relative movement member (40, 240, 440). 340, 440) is higher in rigidity than the first part (30, 230, 330, 430) including the contact surface (30a) and the first part (30, 230, 330, 430), and , Having a first surface (41a, 241a, 341a, 441a) intersecting with the contact surface (30a), at least a part of the first portion (30, 230, 330, 430) being the first surface Surface (41a 241a, 341a, 441a) and a second part (40, 240, 340, 440) to which the first part (30, 230, 330, 430) is attached. The vibration actuator (10).
The invention according to claim 2 is the vibration actuator (10) according to claim 1, wherein the second portion (40, 240, 340, 440) is parallel to the contact surface (30a). A second surface (41b, 241b, 340b, 440b) extending along the first portion (30, 230, 330, 430) of the second portion (40, 240, 340, 440). A vibration actuator characterized by being attached to the second part (40, 240, 340, 440) so as to be in contact with at least a part of the second surface (41b, 241b, 340b, 440b) (10).
The invention according to claim 3 is the vibration actuator (10) according to claim 2, wherein the first portion (30, 230, 330, 430) and the second portion (40, 240, 340). , 440) is a vibration actuator (10) characterized by being fitted.
The invention according to claim 4 is the vibration actuator (10) according to claim 3, wherein the fitting is performed by the first portion (30, 230, 330, 430) or the second portion ( 40, 240, 340, 440) is a vibration actuator (10) characterized in that the vibration actuator (10) is obtained by thermally expanding one and fitting it into the other.
A fifth aspect of the invention is the vibration actuator (10) according to any one of the first to fourth aspects, wherein the second portion (40, 240, 340, 440) has a recess (330b, 430b), and the first portion (30, 230, 330, 430) is fitted in the recess (330b, 430b), the vibration actuator (10).
The invention according to claim 6 is the vibration actuator (10) according to claim 3 or 4, wherein the first portion (230) and the second portion (240) have an annular shape. Step portions (241a, 241b) are formed on the inner peripheral side of the second portion (240), and the first portion (230) is formed in the step portions (241a, 241b) of the second portion (240). The vibration actuator (10) is characterized in that it is fitted to the actuator.
A seventh aspect of the present invention is the vibration actuator (10) according to the third or fourth aspect, wherein the first portion (30) and the second portion (40) have an annular shape. Step portions (41a, 41b) are formed on the outer peripheral side of the second portion (40), and the first portion (30) is the step portion (41a, 41b) in the second portion (40). It is a vibration actuator (10) characterized by being fitted in.
The invention according to claim 8 is a lens barrel (3) having the vibration actuator (10) according to any one of claims 1 to 7.
The invention described in claim 9 is a camera (1) having the vibration actuator (10) according to any one of claims 1 to 7.
Note that the configuration described with reference numerals may be improved as appropriate, or at least a part thereof may be replaced with another component.

本発明によれば、小型化可能で、安価で且つ良好な駆動性能を有する振動アクチュエータ、それを備えたレンズ鏡筒及びカメラを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the vibration actuator which can be reduced in size, is cheap, and has favorable drive performance, a lens barrel provided with the same, and a camera can be provided.

第１実施形態のカメラを説明する図である。It is a figure explaining the camera of a 1st embodiment. 第１実施形態の超音波モータの断面図である。It is sectional drawing of the ultrasonic motor of 1st Embodiment. 超音波モータの駆動装置を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the drive device of an ultrasonic motor. 弾性体で発生する進行波と振動子との様子を説明する図である。It is a figure explaining the mode of the traveling wave and vibrator which are generated in an elastic body. 移動子の剛性が低い場合における移動子で発生する進行波と振動子との様子を説明する図である。It is a figure explaining the mode of a traveling wave and a vibrator which occur with a mover when rigidity of a mover is low. 第２実施形態の超音波モータにおける移動子の断面図である。It is sectional drawing of the slider in the ultrasonic motor of 2nd Embodiment. 第３実施形態の超音波モータにおける移動子の断面図である。It is sectional drawing of the slider in the ultrasonic motor of 3rd Embodiment. 第４実施形態の超音波モータにおける移動子の断面図である。It is sectional drawing of the slider in the ultrasonic motor of 4th Embodiment.

以下、本発明にかかる振動アクチュエータの実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施形態では、振動アクチュエータとして、超音波の振動域を利用した超音波モータを例にして説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a vibration actuator according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following embodiments, an ultrasonic motor using an ultrasonic vibration region will be described as an example of the vibration actuator.

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態にかかる超音波モータ１０を備えるカメラ１を説明する図である。カメラ１は、撮像素子を有するカメラボディ２と、レンズ７を有するレンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒３は、交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram illustrating a camera 1 including an ultrasonic motor 10 according to the first embodiment. The camera 1 includes a camera body 2 having an image sensor and a lens barrel 3 having a lens 7. The lens barrel 3 is an interchangeable lens that can be attached to and detached from the camera body 2. In this embodiment, an example in which the lens barrel 3 is an interchangeable lens is shown. However, the present invention is not limited to this. For example, the lens barrel 3 may be a lens barrel integrated with a camera body.

レンズ鏡筒３は、レンズ７、カム筒６、ギア４，５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、超音波モータ１０はφ１５以下の小型振動波モータである。超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ７を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、ギア４，５を介してカム筒６に伝えられる。レンズ７は、カム筒６に保持されており、超音波モータ１０の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。 The lens barrel 3 includes a lens 7, a cam barrel 6, gears 4 and 5, an ultrasonic motor 10, and the like. In the present embodiment, the ultrasonic motor 10 is a small vibration wave motor having a diameter of 15 or less. The ultrasonic motor 10 is used as a driving source for driving the lens 7 during the focusing operation of the camera 1, and the driving force obtained from the ultrasonic motor 10 is transmitted to the cam cylinder 6 through the gears 4 and 5. . The lens 7 is a focus lens that is held by the cam cylinder 6 and moves in substantially parallel to the optical axis direction L by the driving force of the ultrasonic motor 10 to adjust the focus.

図１において、レンズ鏡筒３内に設けられたレンズ群（レンズ７を含む）によって、撮像素子８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。 In FIG. 1, a subject image is formed on the imaging surface of the imaging element 8 by a lens group (including the lens 7) provided in the lens barrel 3. The imaged subject image is converted into an electrical signal by the image sensor 8, and image data is obtained by A / D converting the signal.

図２は、第１実施形態の超音波モータ１０の断面図である。超音波モータ１０は、振動子１１、移動子１５、出力軸１８、加圧部材１９等を備え、振動子１１側を固定とし、移動子１５を回転駆動する形態となっている。 FIG. 2 is a cross-sectional view of the ultrasonic motor 10 of the first embodiment. The ultrasonic motor 10 includes a vibrator 11, a mover 15, an output shaft 18, a pressure member 19, and the like, and the vibrator 11 side is fixed and the mover 15 is rotationally driven.

振動子１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等の電気一機械変換素子（以下、圧電体と称する）１３と、圧電体１３が接合された弾性体１２とを有する略円環形状の部材である。 The vibrator 11 includes an electro-mechanical conversion element (hereinafter referred to as a piezoelectric body) 13 such as a piezoelectric element or an electrostrictive element that converts electrical energy into mechanical energy, and an elastic body 12 to which the piezoelectric body 13 is bonded. It is a substantially ring-shaped member.

弾性体１２は、共振先鋭度が大きな金属材料によって形成され、その形状は、略円環形状である。この弾性体１２は、櫛歯部１２ａと、ベース部１２ｂと、フランジ部１２ｃとを有する。 The elastic body 12 is formed of a metal material having a high resonance sharpness, and has a substantially annular shape. The elastic body 12 includes a comb tooth portion 12a, a base portion 12b, and a flange portion 12c.

櫛歯部１２ａは、弾性体１２における圧電体１３が接合される面とは反対側の面に、複数の溝を切って形成され、この櫛歯部１２ａの先端面は、移動子１５に加圧接触され、移動子１５を駆動する駆動面１２ｄとなる。この駆動面には、Ｎｉ−Ｐ（ニッケル−リン）メッキ等の潤滑性の表面処理が施されている。櫛歯部１２ａを設ける理由は、圧電体１３の伸縮により駆動面１２ｄに生じる進行波の中立面をできる限り圧電体１３側へ近づけ、これにより駆動面１２ｄの進行波の振幅を増幅させるためである。 The comb-tooth portion 12 a is formed by cutting a plurality of grooves on the surface of the elastic body 12 opposite to the surface to which the piezoelectric body 13 is bonded, and the tip surface of the comb-tooth portion 12 a is added to the moving element 15. It becomes a driving surface 12d which is brought into pressure contact and drives the moving element 15. This drive surface is subjected to a lubricious surface treatment such as Ni-P (nickel-phosphorus) plating. The reason for providing the comb-tooth portion 12a is that the neutral surface of the traveling wave generated on the driving surface 12d due to expansion and contraction of the piezoelectric body 13 is as close as possible to the piezoelectric body 13 side, thereby amplifying the amplitude of the traveling wave on the driving surface 12d. It is.

ベース部１２ｂは、弾性体１２の周方向に連続した部分である。ベース部１２ｂにおける櫛歯部１２ａとは反対側の面に、圧電体１３が接合されている。フランジ部１２ｃは、弾性体１２の内径方向に突出した鍔状の部分である。このフランジ部１２ｃにより、振動子１１は、固定部材１６に固定されている。 The base portion 12 b is a portion that is continuous in the circumferential direction of the elastic body 12. The piezoelectric body 13 is joined to the surface of the base portion 12b opposite to the comb tooth portion 12a. The flange portion 12 c is a bowl-shaped portion protruding in the inner diameter direction of the elastic body 12. The vibrator 11 is fixed to the fixing member 16 by the flange portion 12c.

圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子である。本実施形態では、圧電体１３として圧電素子を用いたが、電歪素子等を用いてもよい。圧電体１３は、略円環形状の部材であり、弾性体１２の周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）の電気信号が入力される範囲に分かれている。各相には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられている。Ａ相とＢ相との間には、１／４波長分の間隔が空けられている。この圧電体１３は、接着材等を用いて弾性体１２と接合されている。 The piezoelectric body 13 is an electromechanical conversion element that converts electrical energy into mechanical energy. In this embodiment, a piezoelectric element is used as the piezoelectric body 13, but an electrostrictive element or the like may be used. The piezoelectric body 13 is a substantially ring-shaped member, and is divided into ranges in which electric signals of two phases (A phase and B phase) are input along the circumferential direction of the elastic body 12. In each phase, elements in which polarization is alternated every ½ wavelength are arranged. An interval corresponding to a quarter wavelength is provided between the A phase and the B phase. The piezoelectric body 13 is joined to the elastic body 12 using an adhesive or the like.

フレキシブルプリント基板１４は、その配線が圧電体１３の各相の電極に接続されている。フレキシブルプリント基板１４には、後述の増幅部１０４，１０５（図３参照）から駆動信号が供給され、この駆動信号によって、圧電体１３が伸縮する。振動子１１には、この圧電体１３の伸縮により、弾性体１２の駆動面に進行波が発生する。本実施形態では、４波の進行波が発生している。 The flexible printed circuit board 14 is connected to the electrodes of each phase of the piezoelectric body 13. A drive signal is supplied to the flexible printed circuit board 14 from amplifiers 104 and 105 (see FIG. 3) described later, and the piezoelectric body 13 expands and contracts by the drive signal. In the vibrator 11, a traveling wave is generated on the drive surface of the elastic body 12 by the expansion and contraction of the piezoelectric body 13. In the present embodiment, four traveling waves are generated.

移動子１５は、後述するが、弾性体１２の駆動面１２ｄに生じる進行波によって回転駆動される部材である。出力軸１８は、略円柱形状の部材である。出力軸１８は、一方の端部がゴム部材２３を介して移動子１５に接しており、移動子１５と一体に回転するように設けられている。ゴム部材２３は、ゴムにより形成された略円環形状の部材である。このゴム部材２３は、ゴムによる粘弾性で移動子１５と出力軸１８とを一体に回転可能とする機能と、移動子１５からの振動を出力軸１８へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、ブチルゴム、シリコンゴム、プロピレンゴム等が用いられている。 As will be described later, the movable element 15 is a member that is rotationally driven by a traveling wave generated on the drive surface 12 d of the elastic body 12. The output shaft 18 is a substantially cylindrical member. One end of the output shaft 18 is in contact with the moving element 15 via the rubber member 23, and is provided so as to rotate integrally with the moving element 15. The rubber member 23 is a substantially ring-shaped member made of rubber. The rubber member 23 has a function of allowing the mover 15 and the output shaft 18 to rotate integrally with rubber viscoelasticity, and a function of absorbing vibration so as not to transmit vibration from the mover 15 to the output shaft 18. And butyl rubber, silicon rubber, propylene rubber and the like are used.

加圧部材１９は、振動子１１と移動子１５とを加圧接触させる加圧力を発生する部材であり、ギア４とベアリング受け部材２１との間に設けられている。本実施形態では、加圧部材１９は、圧縮コイルバネを用いているが、これに限定されるものではない。ギア４は、出力軸１８のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅリング等のストッパ２２で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸１８と一体となるように設けられている。ギア４は、出力軸１８の回転と共に回転することにより、ギア５（図１参照）に駆動力を伝達する。 The pressurizing member 19 is a member that generates a pressing force that pressurizes the vibrator 11 and the moving element 15, and is provided between the gear 4 and the bearing receiving member 21. In the present embodiment, the pressure member 19 uses a compression coil spring, but is not limited thereto. The gear 4 is inserted so as to fit in the D cut of the output shaft 18, is fixed by a stopper 22 such as an E ring, and is provided so as to be integrated with the output shaft 18 in the rotation direction and the axial direction. The gear 4 transmits a driving force to the gear 5 (see FIG. 1) by rotating with the rotation of the output shaft 18.

また、ベアリング受け部材２１は、ベアリング１７の内径側に配置され、ベアリング１７は、固定部材１６の内径側に配置された構造となっている。加圧部材１９は、振動子１１を移動子１５側へ、出力軸１８の軸方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子１５は、振動子１１の駆動面に加圧接触し、回転駆動される。なお、加圧部材１９とベアリング受け部材２１との間には、加圧力調整ワッシャーを設けて、超音波モータ１０の駆動に適正な加圧力が得られるようにしてもよい。 Further, the bearing receiving member 21 is arranged on the inner diameter side of the bearing 17, and the bearing 17 is arranged on the inner diameter side of the fixed member 16. The pressurizing member 19 pressurizes the vibrator 11 toward the moving element 15 in the axial direction of the output shaft 18. With this applied pressure, the moving element 15 comes into pressure contact with the drive surface of the vibrator 11, Driven by rotation. A pressure adjusting washer may be provided between the pressure member 19 and the bearing receiving member 21 so that an appropriate pressure for driving the ultrasonic motor 10 can be obtained.

図３は、第１実施形態の超音波モータ１０の駆動装置１００を説明するブロック図である。超音波モータ１０の駆動装置１００は、発振部１０１と、制御部１０２と、移相部１０３と、増幅部１０４，１０５と、検出部１０６とを有する。発振部１０１は、制御部１０２の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する部分である。移相部１０３は、発振部１０１で発生した駆動信号を、９０°位相の異なる２つの駆動信号に分ける部分である。 FIG. 3 is a block diagram illustrating the driving apparatus 100 for the ultrasonic motor 10 according to the first embodiment. The driving apparatus 100 for the ultrasonic motor 10 includes an oscillating unit 101, a control unit 102, a phase shift unit 103, amplification units 104 and 105, and a detection unit 106. The oscillating unit 101 is a part that generates a drive signal having a desired frequency according to a command from the control unit 102. The phase shift unit 103 is a part that divides the drive signal generated by the oscillation unit 101 into two drive signals having a 90 ° phase difference.

増幅部１０４，１０５は、移相部１０３によって分けられた２つの駆動信号を、それぞれ所望の電圧に昇圧する部分である。増幅部１０４，１０５からの駆動信号は、超音波モータ１０に伝達され、この駆動信号の印加により振動子１１に進行波が発生し、移動子１５が駆動される。 The amplifying units 104 and 105 are units that boost the two drive signals divided by the phase shift unit 103 to desired voltages, respectively. Drive signals from the amplifying units 104 and 105 are transmitted to the ultrasonic motor 10, and traveling waves are generated in the vibrator 11 by the application of the drive signals, so that the moving element 15 is driven.

検出部１０６は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動子１５の駆動によって駆動されたレンズ７の位置や速度を検出する部分である。制御部１０２は、カメラボディ２に設けられた不図示のＣＰＵからの駆動指令を基に、超音波モータ１０の駆動を制御する部分である。制御部１０２は、検出部１０６からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部１０１が発生する駆動信号の駆動周波数を制御する。 The detection unit 106 is configured by an optical encoder, a magnetic encoder, or the like, and is a part that detects the position and speed of the lens 7 driven by driving the moving element 15. The control unit 102 is a part that controls the drive of the ultrasonic motor 10 based on a drive command from a CPU (not shown) provided in the camera body 2. The control unit 102 receives the detection signal from the detection unit 106, obtains position information and speed information based on the values, and sets the drive frequency of the drive signal generated by the oscillation unit 101 so as to be positioned at the target position. Control.

図２に戻り、本実施形態の移動子１５は、移動子本体４０と、振動体１１の駆動面１２ｄと接触する接触面３０ａを有する摺動部材３０とを備える。移動子本体４０は、ステンレス鋼で製造された円環状で、移動子１５の剛性の向上に寄与する補強部材であり、摺動部材３０よりも剛性が高い部材で構成される。移動子本体４０の中心には出力軸１８が挿入されている。また移動子本体４０の外径側は、振動子１１側に筒状に延び、その延在部４１の外径は、移動子本体４０の上部側（振動子１１が設けられている側と反対側）の外径よりも径が小さくなっている。すなわち、移動子本体４０は、接触面３０ａと交差する方向に沿った第１の面４１ａと、接触面３０ａと平行な方向に沿った第２の面４１ｂとを備える。また、第１の面４１ａと第２の面４１ｂとにより、移動体本体４０の外周側には段部が形成されている。 Returning to FIG. 2, the mover 15 of this embodiment includes a mover body 40 and a sliding member 30 having a contact surface 30 a that contacts the drive surface 12 d of the vibrating body 11. The mover main body 40 is an annular member made of stainless steel, is a reinforcing member that contributes to improving the rigidity of the mover 15, and is configured of a member having higher rigidity than the sliding member 30. An output shaft 18 is inserted in the center of the movable body 40. Further, the outer diameter side of the mover body 40 extends in a cylindrical shape toward the vibrator 11 side, and the outer diameter of the extending portion 41 is the upper side of the mover body 40 (opposite to the side where the vibrator 11 is provided). The diameter is smaller than the outer diameter of the side. That is, the movable body 40 includes a first surface 41a along a direction intersecting the contact surface 30a and a second surface 41b along a direction parallel to the contact surface 30a. Further, the first surface 41 a and the second surface 41 b form a step portion on the outer peripheral side of the movable body main body 40.

摺動部材３０は、高分子材を主成分として製造された円環形状を有する。高分子材料としては、ポリイミド、ポリアセタール、ポリカーボネート、ＰＥＳ、ＰＥＥＫ等の射出成形が可能なモールド樹脂材が好適である。摺動部材３０は、モールド樹脂材であり、熱膨張係数は移動子本体４０より大きい。この両材料の温度変形量の違いを利用し、摺動部材３０を膨張させて摺動部材３０の内径を膨張させ、この状態で、摺動部材３０を移動子本体４０の延在部分４１の第１の面４１ａに沿わせて第２の面４１ｂに当接するまではめ込む。そして自然冷却することにより摺動部材３０は、移動子本体４０の外周の段部４１ａ，４１ｂに固定される。 The sliding member 30 has an annular shape manufactured with a polymer material as a main component. As the polymer material, a mold resin material capable of injection molding such as polyimide, polyacetal, polycarbonate, PES, and PEEK is preferable. The sliding member 30 is a mold resin material and has a thermal expansion coefficient larger than that of the moving body 40. Utilizing the difference in the amount of temperature deformation between the two materials, the sliding member 30 is expanded to expand the inner diameter of the sliding member 30, and in this state, the sliding member 30 is moved to the extension portion 41 of the moving body 40. It fits along the first surface 41a until it comes into contact with the second surface 41b. The sliding member 30 is fixed to the step portions 41 a and 41 b on the outer periphery of the movable body 40 by natural cooling.

また、摺動部材３０の厚みは、移動子本体４０の延在部分４１における外径が小さくなった部分の厚みより厚い。このため、摺動部材３０の接触面３０ａ（振動子１１側の面）は、移動子本体４０の第３の面である下面４１ｃ（振動子１１側の面）よりもさらに振動子１１側に突出する。この突出した接触面３０ａは、ラッピング工程等の研磨工程により高い平面度で形成されている。これにより、振動子に発生した進行波の楕円運動が、効率的に摩擦伝達される。 Further, the thickness of the sliding member 30 is thicker than the thickness of the portion where the outer diameter of the extending portion 41 of the movable body 40 is reduced. For this reason, the contact surface 30a (surface on the vibrator 11 side) of the sliding member 30 is further on the vibrator 11 side than the lower surface 41c (surface on the vibrator 11 side) that is the third surface of the movable body 40. Protruding. The protruding contact surface 30a is formed with high flatness by a polishing process such as a lapping process. Thereby, the elliptical motion of the traveling wave generated in the vibrator is efficiently transmitted by friction.

本実施形態の超音波モータ１０は、以下のように動作する。まず、制御部１０２に目標位置が伝達される。発振部１０１からは、駆動信号が発生し、その信号から、移相部１０３により９０°位相の異なる２つの駆動信号が生成され、増幅部１０４，１０５により所望の電圧に増幅される。 The ultrasonic motor 10 of this embodiment operates as follows. First, the target position is transmitted to the control unit 102. A drive signal is generated from the oscillation unit 101, and two drive signals having a phase difference of 90 ° are generated from the signal by the phase shift unit 103, and are amplified to a desired voltage by the amplification units 104 and 105.

駆動信号は、超音波モータ１０の圧電体１３に印加され、圧電体１３が励振され、その励振によって、弾性体１２には、４次の曲げ振動が発生する。駆動信号は、それぞれ圧電体１３のＡ相とＢ相とに印加される。Ａ相から発生する４次曲げ振動とＢ相から発生する４次曲げ振動とは、位置的な位相が１／４波長ずれるようになっており、また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは、９０°位相がずれているため、２つの曲げ振動は、合成され、４波の進行波となる。 The drive signal is applied to the piezoelectric body 13 of the ultrasonic motor 10, and the piezoelectric body 13 is excited. Due to the excitation, fourth-order bending vibration is generated in the elastic body 12. The drive signals are applied to the A phase and the B phase of the piezoelectric body 13, respectively. The quaternary bending vibration generated from the A phase and the quaternary bending vibration generated from the B phase are such that the positional phase is shifted by a quarter wavelength, and the A phase driving signal and the B phase driving signal are Since the phase is 90 ° out of phase, the two bending vibrations are combined into four traveling waves.

図４は、弾性体１２で発生する進行波と振動子１１との様子を説明する図である。図示するように、圧電体１３によって弾性体１２に進行波が発生すると、進行波の波頭には、楕円運動Ａが生じる。弾性体１２の駆動面１２ｄと摺動部材３０の接触面３０ａは加圧接触されているので、移動子１５は、この楕円運動によって摩擦駆動されて回転する。移動子１５が回転すると、その回転はゴム部材２３により出力軸１８に伝達され、出力軸１８が回転する。出力軸１８の回転よりギア４が回転され、ギア４，５を介してカム筒６が回転し、レンズ７が移動される。 FIG. 4 is a diagram for explaining the state of the traveling wave generated in the elastic body 12 and the vibrator 11. As shown in the figure, when a traveling wave is generated in the elastic body 12 by the piezoelectric body 13, an elliptical motion A is generated at the wavefront of the traveling wave. Since the drive surface 12d of the elastic body 12 and the contact surface 30a of the sliding member 30 are in pressure contact, the moving element 15 is driven by friction by this elliptical motion and rotates. When the mover 15 rotates, the rotation is transmitted to the output shaft 18 by the rubber member 23, and the output shaft 18 rotates. The gear 4 is rotated by the rotation of the output shaft 18, the cam cylinder 6 is rotated via the gears 4, 5, and the lens 7 is moved.

光学式エンコーダ等の検出部１０６は、移動子１５の駆動により駆動されたカム筒６の位置や速度を検出し、電気パルスとして、制御部１０２に伝達する。制御部１０２は、この信号を基に、レンズ７の現在の位置と現在の速度とを得ることが可能となり、発振部１０１が発生する駆動周波数は、これらの位置情報、速度情報及び目標位置情報を基に制御される。 The detection unit 106 such as an optical encoder detects the position and speed of the cam cylinder 6 driven by driving the moving element 15 and transmits it to the control unit 102 as an electric pulse. The control unit 102 can obtain the current position and current speed of the lens 7 based on this signal, and the drive frequency generated by the oscillation unit 101 is the position information, speed information, and target position information. It is controlled based on.

以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）図５は、図４と同様に、振動子１１２で発生する進行波と移動子１１５との様子を説明する図であり、移動子１１５の剛性が本実施形態よりも小さい比較形態を示す。比較形態によると、移動子１１５の剛性が小さいため、移動子１１５の曲げ変形が大きくなり、進行波の波底においても移動子１１５と弾性体１１２とは接触している。波底では波頭の楕円運動と逆方向の楕円運動が発生している。このように、移動子１１５の剛性が小さいと移動子１１５の良好な駆動が困難となる。 As described above, this embodiment has the following effects.
(1) FIG. 5 is a diagram for explaining the state of the traveling wave generated by the vibrator 112 and the moving element 115, as in FIG. 4, and shows a comparative example in which the rigidity of the moving element 115 is smaller than that of the present embodiment. Show. According to the comparative mode, since the rigidity of the moving element 115 is small, the bending deformation of the moving element 115 increases, and the moving element 115 and the elastic body 112 are in contact with each other even at the wave bottom of the traveling wave. At the wave bottom, elliptical motion in the opposite direction to the elliptical motion of the wave front occurs. Thus, if the rigidity of the moving element 115 is small, it becomes difficult to drive the moving element 115 satisfactorily.

ここで、移動子１１５を全て金属で製造すれば、大型化せずに高い剛性を確保することができるが、コストがかかる。また、磨耗による耐久性も低くなる。これに対し、移動子をプラスチックで製造すると、安価であるが、所望の剛性を得るには、大型化する。弾性率を金属とプラスチックで比較すると、アルミニウムが約７０ＧＰａ（≒７０万ｋｇｆ／ｃｍ^２）に対して、剛性が大きいといわれているエンジニアプラスチックでも５〜１０ＧＰａと、約１／１０程度である。したがってアルミニウムと同等の曲げ剛性をプラスチックで確保するためには、幅で約１０倍（剛性は幅に比例）、又は、厚さで２倍以上（剛性は厚さの３乗に比例）の大きさが必要となる。 Here, if the mover 115 is made entirely of metal, high rigidity can be ensured without increasing the size, but costs are increased. In addition, durability due to wear is also reduced. On the other hand, if the mover is made of plastic, it is inexpensive, but the size is increased in order to obtain a desired rigidity. Comparing the elastic modulus between metal and plastic, aluminum is about 70 GPa (≈700,000 kgf / cm ² ), and engineer plastic, which is said to have high rigidity, is about 5 to 10 GPa, about 1/10. Therefore, in order to ensure the bending rigidity equivalent to that of aluminum with plastic, the width is about 10 times (the rigidity is proportional to the width) or more than twice the thickness (the rigidity is proportional to the cube of the thickness). Is needed.

本実施形態によると、移動子１５において移動子本体１５が金属材料で製造されているため、剛性が確保される。したがって、図４に示すように、移動子１５の摺動部材３０と弾性体１２との接触は進行波の波頭のみとなり、十分な駆動性能が確保できるようになる。 According to this embodiment, since the movable body 15 is made of a metal material in the movable body 15, rigidity is ensured. Therefore, as shown in FIG. 4, the contact between the sliding member 30 of the moving element 15 and the elastic body 12 is only the wave wave front, and sufficient driving performance can be secured.

（２）本実施形態によると、上述のように移動子本体１５は金属材料で製造されているが、移動子１５の接触面３０ａはプラスチックで製造されている。プラスチックは良好な耐摩耗性を有するため、移動子１５と弾性体１２との間の磨耗が低減し、超音波モータ１０として耐久性が向上するとともに良好な駆動性能が確保される。 (2) According to the present embodiment, the movable body 15 is made of a metal material as described above, but the contact surface 30a of the movable body 15 is made of plastic. Since plastic has good wear resistance, wear between the moving element 15 and the elastic body 12 is reduced, and the durability of the ultrasonic motor 10 is improved and good driving performance is ensured.

（３）移動子１５の一部である摺動部材３０がプラスチックで製造されているため、全体を金属材料で製造するよりも安価で製造することができる。また、移動子１５の一部である移動子本体４０が金属材料で製造されているため、全体をプラスチックで製造するよりも小さな形状で、必要な剛性が確保できる。 (3) Since the sliding member 30 which is a part of the moving element 15 is made of plastic, the whole can be manufactured at a lower cost than that of a metal material. In addition, since the movable body 40 that is a part of the movable body 15 is made of a metal material, the required rigidity can be ensured with a smaller shape than when the whole is made of plastic.

（４）また、本実施形態のように小径型の振動波モータ１０は、移動子１５の回転数が高い使用方法が多く、この場合、移動子１５の接触面３０ａには摩擦駆動により摩擦熱が発生し、これをすばやく放熱する必要がある。すばやく放熱できない場合には、駆動面の温度が極端に上昇し、駆動信号を一定周波数として定速駆動させようとしても、雰囲気温度よりも高い温度で駆動された場合と同じとなり、回転数が下がってくる現象が生じ、駆動制御に影響することが生じる。本実施形態は、移動子本体４０が接触面３０ａの近傍に配置されているので、接触面３０ａに発生した摩擦熱を、金属部に素早く放熱でき、接触面３０ａの温度上昇を抑制でき、駆動制御への影響を低減できる。 (4) Further, as in the present embodiment, the small-diameter vibration wave motor 10 has many usages in which the rotational speed of the moving element 15 is high. In this case, the contact surface 30a of the moving element 15 is subjected to frictional heat by friction driving. Will need to be dissipated quickly. If heat cannot be dissipated quickly, the temperature of the drive surface will rise extremely, and even if you try to drive the drive signal at a constant frequency at a constant speed, it will be the same as when it is driven at a temperature higher than the ambient temperature, and the rotational speed will decrease. Phenomenon occurs, which affects drive control. In the present embodiment, since the movable body 40 is disposed in the vicinity of the contact surface 30a, the frictional heat generated on the contact surface 30a can be quickly dissipated to the metal part, the temperature rise of the contact surface 30a can be suppressed, and the drive The influence on the control can be reduced.

（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態を示した図である。第２実施形態において第１実施形態と同様な部分の説明は省略する。第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、移動子本体２４０の延在部分２４１において、内径側の径が大きくなっている点である。すなわち、移動子本体２４０は、接触面２３０ａと交差する方向に沿った第１の面２４１ａと、接触面３０ａと平行な方向に沿った第２の面２４１ｂとを備える。また、第１の面２４１ａと第２の面２４１ｂとにより、移動体本体４０の内周側には段部が形成されている。 (Second Embodiment)
FIG. 6 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. In the second embodiment, the description of the same parts as in the first embodiment is omitted. The second embodiment is different from the first embodiment in that the diameter on the inner diameter side is increased in the extending portion 241 of the moving body 240. That is, the mover main body 240 includes a first surface 241a along a direction intersecting the contact surface 230a and a second surface 241b along a direction parallel to the contact surface 30a. Further, the first surface 241a and the second surface 241b form a step on the inner peripheral side of the movable body 40.

第２実施形態において摺動部材２３０は、移動子本体２４０の温度を上昇させて移動子本体２４０を膨張させ、この状態で、摺動部材２３０を移動子本体２４０の延在部分２４１の第１の面４２１ａに沿わせて第２の面２４１ｂに当接するまではめ込む。そして自然冷却させることにより摺動部材２３０は移動子本体２４０の内周の段部２４１ａ，２４１ｂに固定される。以上、第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。 In the second embodiment, the sliding member 230 increases the temperature of the movable body 240 to expand the movable body 240, and in this state, the sliding member 230 is moved to the first portion 241 of the extended portion 241 of the movable body 240. It fits in along the surface 421a until it abuts on the second surface 241b. Then, the sliding member 230 is fixed to the step portions 241a and 241b on the inner periphery of the moving body 240 by natural cooling. As mentioned above, also in 2nd Embodiment, the effect similar to 1st Embodiment can be acquired.

（第３実施形態）
図７は、本発明の第３実施形態を示した図である。第３実施形態において第１実施形態と同様な部分の説明は省略する。第３実施形態が第１実施形態と異なる点は、移動子本体３４０の延在部分３４１において、摺動面３３０ａ側から円周に沿って凹部３３０ｂが設けられている点である。その凹部３３０ｂに円環状の摺動部材３３０が挿入されている。すなわち、移動子本体３４０は、接触面３３０ａと交差する方向に沿った２つの第１の面３４１ａと、接触面３３０ａと平行な方向に沿った第２の面３４１ｂとを備える。第１の面３４１ａと第２の面３４１ｂとにより、移動体本体３４０の凹部３３０ｂが形成されている。 (Third embodiment)
FIG. 7 is a diagram showing a third embodiment of the present invention. In the third embodiment, the description of the same parts as in the first embodiment is omitted. The third embodiment is different from the first embodiment in that a recessed portion 330b is provided along the circumference from the sliding surface 330a side in the extending portion 341 of the movable body 340. An annular sliding member 330 is inserted into the recess 330b. That is, the movable body 340 includes two first surfaces 341a along a direction intersecting the contact surface 330a and a second surface 341b along a direction parallel to the contact surface 330a. The first surface 341a and the second surface 341b form a concave portion 330b of the movable body main body 340.

そして、凹部３３０ｂに挿入された摺動部材３３０を移動子３１５に固定するため、延在部分３４１にはねじ穴３５１が設けられ、延在部分３４１の外周側から、そのねじ穴３４１を挿通してねじ３５０が摺動部材３３０まで挿入されている。ねじ３５０の個数は本実施形態では円周に沿って２箇所であるが、これに限定されず１以上のいずれの個数であってもよい。以上、第３実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。 Then, in order to fix the sliding member 330 inserted into the recess 330b to the moving element 315, the extension portion 341 is provided with a screw hole 351, and the screw hole 341 is inserted from the outer peripheral side of the extension portion 341. The screw 350 is inserted up to the sliding member 330. In this embodiment, the number of screws 350 is two along the circumference. However, the number of screws 350 is not limited to this and may be any number of one or more. As mentioned above, also in 3rd Embodiment, the effect similar to 1st Embodiment can be acquired.

（第４実施形態）
図８は、本発明の第４実施形態を示した図である。第４実施形態は摺動部材４３０の固定方法が異なる以外、第３実施形態と同様である。移動子本体４４０の延在部分４４１において、摺動面４３０ａ側から円周に沿って凹部４３０ｂが設けられている点である。その凹部４３０ｂに円環状の摺動部材４３０が挿入されている。すなわち、移動子本体４４０は、接触面４３０ａと交差する方向に沿った２つの第１の面４４１ａと、接触面４３０ａと平行な方向に沿った第２の面４４１ｂとを備える。第１の面４４１ａと第２の面４４１ｂとにより、移動体本体４４０の凹部３３０ｂが形成されている。 (Fourth embodiment)
FIG. 8 is a diagram showing a fourth embodiment of the present invention. The fourth embodiment is the same as the third embodiment except that the method for fixing the sliding member 430 is different. In the extending part 441 of the movable body 440, a recess 430b is provided along the circumference from the sliding surface 430a side. An annular sliding member 430 is inserted into the recess 430b. That is, the mover body 440 includes two first surfaces 441a along a direction intersecting the contact surface 430a and a second surface 441b along a direction parallel to the contact surface 430a. The first surface 441a and the second surface 441b form a recess 330b of the movable body main body 440.

そして、摺動部材４３０は、移動子本体４４０の凹部４３０ｂに挿入されて接着剤で固定されている。以上、第４実施形態においても、第３実施形態と同様の効果を得ることができる。 And the sliding member 430 is inserted in the recessed part 430b of the moving body 440, and is being fixed with the adhesive agent. As mentioned above, also in 4th Embodiment, the effect similar to 3rd Embodiment can be acquired.

（変形形態）
（１）本実施形態では、移動子本体をステンレス鋼としたが、高分子材料より縦弾性係数が大きい材料なら、例えば、鉄鋼材、アルミニウム材、真鍮材でもよい。
（２）縦振動−ねじり振動といった定在波を組み合わせた振動波モータでも、移動子又は相対運動部材の剛性が必要な場合には、本実施形態を同様に適応でき、小型化や低コスト化といった同様の効果が得られる。
（３）また、上述の実施形態では、φ１５以下の小型の超音波モータ振動アクチュエータを例にして説明したが、例えば、φ３０〜８０位の円環状の進行波型振動アクチュエータでも同様に適用でき、小型化や低コスト化といった同様の効果が得られる。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。 (Deformation)
(1) In the present embodiment, the movable body is made of stainless steel, but may be made of steel, aluminum, or brass, for example, as long as the material has a higher longitudinal elastic modulus than the polymer material.
(2) Even in the case of a vibration wave motor that combines standing waves such as longitudinal vibration and torsional vibration, if the rigidity of the moving element or relative motion member is required, the present embodiment can be similarly applied to reduce the size and cost. The same effect is obtained.
(3) In the above-described embodiment, a small ultrasonic motor vibration actuator having a diameter of 15 or less has been described as an example. However, for example, an annular traveling wave vibration actuator having a diameter of 30 to 80 can be similarly applied. Similar effects such as downsizing and cost reduction can be obtained.
In addition, although embodiment and a deformation | transformation form can also be used in combination suitably, detailed description is abbreviate | omitted. Further, the present invention is not limited to the embodiment described above.

１：カメラ、３：レンズ鏡筒、１０：振動アクチュエータ、１１：振動体、３０，２３０，３３０，４３０：摺動部材、４０，２４０，３４０，４４０：移動子本体、４１ａ，２４１ａ，３４１ａ，４４１ａ：第１の面、４１ｂ，２４１ｂ，３４０ｂ，４４０ｂ：第２の面、３３０ｂ，４３０ｂ：凹部、２４１ａ，２４１ｂ：段部、４１ａ，４１ｂ：段部 1: camera, 3: lens barrel, 10: vibration actuator, 11: vibration body, 30, 230, 330, 430: sliding member, 40, 240, 340, 440: moving body, 41a, 241a, 341a, 441a: first surface, 41b, 241b, 340b, 440b: second surface, 330b, 430b: recessed portion, 241a, 241b: stepped portion, 41a, 41b: stepped portion

Claims

A vibration member that generates a vibration wave;
A relative movement member that has a contact surface in contact with the vibration member, and that moves relative to the vibration member when the contact surface is driven by the vibration wave;
A vibration wave actuator comprising:
The relative movement member includes a first portion including the contact surface, a first surface having a rigidity higher than that of the first portion and intersecting the contact surface. A vibration actuator, comprising: a second portion to which the first portion is attached so that at least a portion thereof is in contact with the first surface.

The vibration actuator according to claim 1,
The second portion comprises a second surface along a direction parallel to the contact surface;
The vibration actuator, wherein the first part is attached to the second part so as to be in contact with at least a part of the second surface of the second part.

The vibration actuator according to claim 2,
The vibration actuator, wherein the first portion and the second portion are fitted.

The vibration actuator according to claim 3,
The vibration actuator is characterized in that the fitting is performed by thermally expanding one of the first part and the second part and fitting the other part into the other part.

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 4,
A vibration actuator, wherein a concave portion is formed in the second portion, and the first portion is fitted into the concave portion.

The vibration actuator according to claim 3 or 4,
The first part and the second part have an annular shape, and a step is formed on the inner peripheral side of the second part,
The vibration actuator, wherein the first portion is fitted to the step portion in the second portion.

The vibration actuator according to claim 3 or 4,
The first part and the second part have an annular shape, and a step is formed on the outer peripheral side of the second part,
The vibration actuator, wherein the first portion is fitted to the step portion in the second portion.

A lens barrel having the vibration actuator according to any one of claims 1 to 7.

A camera comprising the vibration actuator according to any one of claims 1 to 7.