JP2015050311A - 冷却装置およびそれを用いた加工物の製造方法ならびに加工素子の製造方法 - Google Patents
冷却装置およびそれを用いた加工物の製造方法ならびに加工素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015050311A JP2015050311A JP2013180775A JP2013180775A JP2015050311A JP 2015050311 A JP2015050311 A JP 2015050311A JP 2013180775 A JP2013180775 A JP 2013180775A JP 2013180775 A JP2013180775 A JP 2013180775A JP 2015050311 A JP2015050311 A JP 2015050311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- cooling device
- cooling
- housing
- cooled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 98
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 52
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 claims description 29
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 21
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 24
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 3
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000001141 propulsive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/541—CuInSe2 material PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
Description
てられた状態で水平に配列させて保持する保持工程と、前記第2開口部から、前記冷却装置内に前記冷却媒体を流入させ、前記第1開口部から前記冷却媒体を前記冷却装置の外側に流出させる、冷却媒体移動工程と、を有するものである。
図1(a)は本発明の実施形態の一つに係る冷却装置1の例を示す模式的な斜視図である。図1(b)は、図1(a)のIa−Ia線における断面図である。
体10の側面に形成することにより、冷却装置1を床面等に設置したときにも冷却媒体を収容領域12内に導くことができる。
なお、上述の例では、筐体10の下方は開放されていたが、第2開口部14があれば下方は塞がれていてもよい。また、第1開口部13は、筐体10の上方の開放部となっていたが、上面は塞がれて側壁11に形成してもよいし、上面に蓋を形成し、蓋部に孔を形成してもよい。ただし、収容領域12の上方で冷却媒体の流れに乱れを生じることなく、第1開口部13から排出できるよう、第1開口部13は第2開口部14に比べ大きい面積となるように設けることが好ましい。
増加させることで、冷却媒体の排出速度を高めることができる。これにより、第2開口部14から第1開口部13の外部までの冷却媒体の一方向流動を確実にさせることができる。
<保持工程>
冷却装置1に板状の被冷却物50を複数、互いに間隔を開けて垂直にたてられた状態で保持させる。なお、ここで、垂直とは厳密に90°のみを指すのでなく、±10°程度のずれは許容するものとする。
次に、第2開口部14から、冷却装置1内に冷却媒体を流入させ、第1開口部13から冷却媒体を冷却装置1の外側に流出させる。この冷却媒体の流れは、第1開口部13が上方に位置し、収容領域12の下方に蓄熱体20が配置されているという冷却装置1の構成により、自動的に生じさせることができる。言い換えると、第1開口部13、第2開口部14及び蓄熱体20が、外力・エネルギーを必要としない自動冷却媒体移動ポンプを形成している。すなわり、冷却媒体の自動吸入、自動排出が可能となっている。
の例では、冷却装置1を室温の雰囲気中に配置するため、室温から意図的に変動させることはない。ただし、冷却装置1に流入させる冷却媒体の温度を徐々に低下するように制御してもよい。より穏やかな条件で徐冷させることができるからである。なお、このような冷却媒体の温度制御は、冷却装置1を配置する雰囲気の温度を制御することにより行ってもよい。
冷却媒体移動工程に続いて、分割工程を設けてもよい。この場合には、所望の温度まで冷却されることで被冷却物50を加工物とした後に、この加工物を冷却装置1から取り出す。そして、冷却装置1内において同じ高さに位置していた方向に沿って加工物を分割し加工素子を得る。分割するには、通常のダイシング加工等を用いることができる。
冷却装置1において、収容領域12の上方を加熱してもよい。加熱方法は、ヒーター等による加熱や、蓄熱体20と同等の加熱体を配置することによる加熱を採用することができる。このように、収容領域12の上方における温度を上昇させることにより、収容領域12の上方側に位置する被冷却物50の端部が冷却されることなく、冷却媒体の一方向流動を維持することができる。さらに、収容領域12の上方における温度を上昇させ、積極的に冷却装置1の外部へ冷却媒体を排出させることにより、収容領域12の上方が擬似的に減圧された状態となる。このため、より確実に冷却媒体を収容領域12の上方に吸引し、冷却媒体の一方向流動を維持することができる。
冷却媒体移動工程に続いて、スクライブ工程を設けてもよい。この場合には、所望の温度まで冷却されることで被冷却物50を加工物とした後に、この加工物を冷却装置1から取り出す。そして、冷却装置1内において同じ高さに位置していた方向に沿って加工物にスクライブ加工する。例えば、基板上に薄膜が積層されている場合に、この薄膜のみを分割するように加工すればよい。
保持工程において、被冷却物50を冷却装置1に保持したあとに、加熱工程を設けてもよい。この場合には、被冷却物50を保持する段階では、被冷却物50、蓄熱体20ともに加熱されておらず、例えば常温としている。その後、冷却装置1に被冷却物50を保持した状態で、冷却装置1ごと加熱する。例えば、冷却装置1をラックとして利用し加熱炉に投入する。これにより、被冷却物50とともに蓄熱体20が略同一の温度まで加熱される。
10・・・筐体
11・・・側壁
12・・・収容領域
13・・・第1開口部
14・・・第2開口部
20・・・蓄熱体
50・・・被冷却物
Claims (6)
- 内部の収容領域に、複数の板状の被冷却物を互いに間隔を開けて垂直に立てられた状態で水平に配列して保持するとともに、前記収容領域の上方に設けられた第1開口部および下方に設けられた第2開口部を有し、前記第1開口部と前記第2開口部との間を冷却媒体が移動可能である筐体と、
前記筐体の前記収容領域の下方に配置された蓄熱体と、
を備える冷却装置。 - 前記筐体は中空の筒状であり、
前記第1開口部は、前記収容領域の上方を開放するように設けられており、
前記第2開口部は、前記筐体の側面に設けられている、請求項1に記載の冷却装置。 - 前記蓄熱体は、前記収容領域と前記第2開口部との間に配置され、前記冷却媒体が通過可能であって、前記第2開口部と前記収容領域とを結ぶ熱交換路を有する、請求項1または2に記載の冷却装置。
- 前記蓄熱体は、金属であり、前記請求項1乃至3のいずれかに記載の冷却装置。
- 被冷却物を冷却して加工物を製造する製造方法であって、
内部に収容領域、前記収容領域の上方に設けられた第1開口部および下方に設けられた第2開口部を有し、前記第1開口部と前記第2開口部との間を冷却媒体が移動可能である筐体と、前記筐体の前記収容領域の下方に配置された蓄熱体と、を有する冷却装置の前記収容領域中に、複数の板状の被冷却物を互いに間隔を開け、垂直に立てられた状態で水平に配列させて保持する保持工程と、
前記第2開口部から、前記冷却装置内に前記冷却媒体を流入させ、前記第1開口部から前記冷却媒体を前記冷却装置の外側に流出させる、冷却媒体移動工程と、を有する加工物の製造方法。 - 請求項5に記載の加工物の製造方法により製造した前記加工物を前記冷却装置から取り出し、前記冷却装置内において同じ高さに位置していた方向に沿って分割して前記加工物を複数の加工素子とする分割工程を有する、加工素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013180775A JP6185339B2 (ja) | 2013-08-31 | 2013-08-31 | 冷却装置およびそれを用いた加工物の製造方法ならびに加工素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013180775A JP6185339B2 (ja) | 2013-08-31 | 2013-08-31 | 冷却装置およびそれを用いた加工物の製造方法ならびに加工素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015050311A true JP2015050311A (ja) | 2015-03-16 |
JP6185339B2 JP6185339B2 (ja) | 2017-08-23 |
Family
ID=52700082
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013180775A Expired - Fee Related JP6185339B2 (ja) | 2013-08-31 | 2013-08-31 | 冷却装置およびそれを用いた加工物の製造方法ならびに加工素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6185339B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5250496A (en) * | 1975-10-20 | 1977-04-22 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | Heat storage type temperature rise preventive apparatus |
JPS62134294U (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-24 | ||
JPH06209039A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Kawasaki Steel Corp | 半導体装置の収納装置 |
-
2013
- 2013-08-31 JP JP2013180775A patent/JP6185339B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5250496A (en) * | 1975-10-20 | 1977-04-22 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | Heat storage type temperature rise preventive apparatus |
JPS62134294U (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-24 | ||
JPH06209039A (ja) * | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Kawasaki Steel Corp | 半導体装置の収納装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6185339B2 (ja) | 2017-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10334755B2 (en) | Liquid cooling of electronic devices | |
KR101966391B1 (ko) | 기판 냉각을 수반하는 이송 로봇 | |
JPWO2005092791A1 (ja) | シリコン鋳造装置および多結晶シリコンインゴットの製造方法 | |
KR101379748B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 반송 장치 | |
JP2008153337A (ja) | 貼り合せ基板の分離方法、貼り合せ基板の分離装置及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
US10582642B2 (en) | Pourous heat sink with chimney | |
JP2015233138A (ja) | ボンディングヘッド及びこれを含むダイボンディング装置 | |
JP2019205991A (ja) | 有機膜形成装置、および有機膜の製造方法 | |
KR20120123096A (ko) | 다층체의 가공을 위한 장치, 시스템 및 방법 | |
CN107195567B (zh) | 冷却腔室及半导体加工设备 | |
US20120280429A1 (en) | Apparatus and method for producing a multicrystalline material having large grain sizes | |
JP6185339B2 (ja) | 冷却装置およびそれを用いた加工物の製造方法ならびに加工素子の製造方法 | |
JP6270912B2 (ja) | 不活性ガス雰囲気を有したダイボンディング装置 | |
JP6257616B2 (ja) | コーティングされた基板を処理するための、プロセスボックス、装置及び方法 | |
JP6076377B2 (ja) | コーティングされた基板を処理するプロセスボックス、アッセンブリ及び方法 | |
JP2013112581A (ja) | 坩堝、多結晶シリコンインゴットの製造方法、多結晶シリコンインゴット、多結晶シリコンウエハ、多結晶シリコン太陽電池、多結晶太陽電池モジュール | |
JP4186644B2 (ja) | 真空処理装置の冷却装置 | |
US20220005727A1 (en) | Temperature control device | |
JP2013116844A (ja) | 多結晶シリコンインゴット製造装置、多結晶シリコンインゴット、多結晶シリコンブロック、多結晶シリコンウエハ、多結晶シリコン太陽電池、多結晶太陽電池モジュール | |
KR20130006166A (ko) | 태양전지용 고순도 다결정 실리콘 제작 장치 및 방법 | |
JP5853291B2 (ja) | 基板処理装置、及び、搬送装置 | |
JPWO2013099894A1 (ja) | 基板処理装置及びそれを用いた基板処理方法 | |
JP2014110294A (ja) | 真空加熱炉及び有機半導体素子の製造方法 | |
KR101824082B1 (ko) | 레이저 분리형 3d 프린터 챔버 구조 | |
EP3288127B1 (en) | Solid laser amplification device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170627 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170727 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6185339 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |