JP2015045251A - 圧縮装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧縮装置の小型化を図る。
【解決手段】圧縮装置は、ガスを圧縮するシリンダ5を有する圧縮機2と、シリンダ5内で圧縮されたガスを冷却するガスクーラ4と、シリンダ4内で圧縮されたガスをガスクーラ4内に導く流通路と、を備える。ガスクーラはシリンダ4に拡散接合されている。前記流通路は、ガスクーラ4及びシリンダ5が互いに対向した部位であって、少なくとも周囲が拡散接合されている部位を貫通するように形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】圧縮装置は、ガスを圧縮するシリンダ5を有する圧縮機2と、シリンダ5内で圧縮されたガスを冷却するガスクーラ4と、シリンダ4内で圧縮されたガスをガスクーラ4内に導く流通路と、を備える。ガスクーラはシリンダ4に拡散接合されている。前記流通路は、ガスクーラ4及びシリンダ5が互いに対向した部位であって、少なくとも周囲が拡散接合されている部位を貫通するように形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、ガスを圧縮する圧縮装置に関するものである。
近年、燃料電池車に水素ガスを供給する水素ステーションが提案されている。水素ステーションでは、燃料電池車に効率良く水素ガスを充填するために水素ガスを圧縮した状態で供給する圧縮装置が用いられる。圧縮装置は、水素ガスを圧縮する圧縮機と、圧縮機で圧縮されることによって昇温した水素ガスを冷却するガスクーラとを備える。ガスクーラとしては、例えば、下記特許文献1に示されているようなプレート式熱交換器の利用が提案されている。
プレート式熱交換器は、多数のプレートが積層された積層体からなり、積層されたプレート間には、流体を流通させる流路がそれぞれ形成されている。そして、熱交換器内では、プレートの積層方向において隣り合う流路にそれぞれ流れる流体同士の熱交換が行われる。
ところで、上記の圧縮装置では、圧縮機とガスクーラとを接続する多数の配管が必要となり、広い設置スペースを確保する必要がある。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、圧縮装置の小型化を図ることである。
上記目的を達成するために、本発明による圧縮装置は、ガスを圧縮するシリンダを有する圧縮機と、前記シリンダ内で圧縮されたガスを冷却する熱交換器と、前記シリンダ内で圧縮されたガスを前記熱交換器内に導く流通路と、を備え、前記熱交換器が前記シリンダに固層接合されており、前記流通路は、前記熱交換器及び前記シリンダが互いに対向した部位であって、少なくとも周囲が固層接合されている部位を貫通するように形成されている圧縮装置である。
本発明では、熱交換器がシリンダに固層接合されている。そして、流通路が、熱交換器及びシリンダが互いに対向した部位であって、少なくとも周囲が固層接合されている部位を貫通するように形成されている。このため、シリンダと熱交換器とを接続する配管の設置スペースを省略することができ、圧縮装置の小型化を図ることができる。また配管を省略することができるため、部品点数の削減にも寄与する。しかも、熱交換器とシリンダとが固層接合によって密着しているため、圧縮機から吐出される高圧のガスが流通路を流れる際に、ガスの漏洩の虞を低減することができる。
ここで、前記固相接合は拡散接合であってもよい。この態様では、圧縮機から吐出された高圧ガスの漏洩をより確実に低減することができる。
前記固層接合されている面は平坦な面であってもよい。この場合、前記流通路は、固層接合されている部位を貫通していてもよい。この態様では、熱交換器に対向するシリンダの一面と、シリンダに対向する熱交換器の一面とがその全体において互いに接触している。そして、これらの互いに対向する面が固層接合されている。このため、固層接合する際に接合面に均等に圧力をかけることができる。したがって、より確実にガスの漏洩の虞を低減することができる。
前記熱交換器は、ガスを冷却する冷却流体が流れる冷却流路と、ガスが流れるガス流路とが交互に形成されるように複数のプレートが積層された構成であってもよい。この場合、端に配置されたプレートが前記シリンダに固層接合されていてもよい。この態様では、冷却流体によるガスの良好な冷却効率を得ることができる。また熱交換器を圧縮機に容易に取り付けることができる。
この態様において、隣り合うプレート同士が固層接合されていてもよい。この態様では、隣り合うプレート同士が固層接合されているので、プレート間からのガス又は冷却流体の漏洩の虞を低減することができる。
本発明によれば、圧縮装置の小型化を図ることができる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
本発明の実施形態による圧縮装置は、例えば燃料電池車に水素を供給する水素ステーションで用いられる圧縮装置である。
本実施形態による圧縮装置は、図1〜図3に示すように、水素ガスを圧縮する圧縮機2と、圧縮機2による圧縮後の水素ガスを冷却するガスクーラ4とを備える。ガスクーラ4は、マイクロチャネル熱交換器である。
圧縮機2は往復動圧縮機であり、シリンダ5及びピストン7を有する圧縮部16と、ピストン7を駆動するための駆動機構とを有する。駆動機構は、クランクケース6と、クランク軸8と、図略の駆動部と、クロスガイド10と、クロスヘッド12と、連結ロッド14とを有する。
クランクケース6内には、クランク軸8が水平軸回りに回転自在に設けられている。図略の駆動部は、クランク軸8に接続されており、動力をクランク軸8に伝達してクランク軸8を回転させる。
クロスガイド10は、クランクケース6に連設された筒状の部材である。クロスガイド10内には、クロスヘッド12がクロスガイド10の軸方向に往復動可能に収容されている。連結ロッド14は、クランク軸8とクロスヘッド12とを連結しており、クランク軸8の回転運動を直線的な往復運動に変換してクロスヘッド12へ伝達する。
圧縮部16は、複数段式の圧縮機構によって構成されており、水素ガスの一段目の圧縮を行う第1圧縮部61と、水素ガスの二段目の圧縮を行う第2圧縮部62とを有する。シリンダ5は、第1圧縮部61に含まれる第1シリンダ部63と、第2圧縮部62に含まれる第2シリンダ部66とを備えている。ピストン7は、第1圧縮部61に含まれる第1ピストン64と、第2圧縮部62に含まれる第2ピストン67とを備えている。
第1シリンダ部63は、筒状に形成されている。第1シリンダ部63の一端部は、クロスガイド10の軸方向端部に結合されている。
第1シリンダ部63の内部空間は、第1シリンダ室63aとして機能する。第1シリンダ室63aには、第1ピストン64が往復動可能に収容されている。第1ピストン64は、ピストンロッド24によってクロスヘッド12と連結されている。したがって、第1ピストン64は、クロスヘッド12と一体的に動く。
第2シリンダ部66は、第1シリンダ部63と一体的に形成されている。第2シリンダ部66には、第1シリンダ室63aに連通し、第2シリンダ部66の軸方向に延びる有底の穴部が形成されている。穴部の軸方向端部は、第2シリンダ部66の端部壁66cによって塞がれている。穴部は、第2シリンダ室66aとして機能する。第2シリンダ室66aは、第2ピストン67を往復動可能に収容している。
第1シリンダ室63a及び第2シリンダ室66aは、共に断面円形の空間であり、第2シリンダ室66aは、第1シリンダ室63aよりも小径であり、第1シリンダ室63aと同軸状に形成されている。第1シリンダ室63aにおいて、第1ピストン64とピストンロッド24側の隔壁25との間の空間は、水素ガスを圧縮する第1圧縮室63bとして機能する。
第2ピストン67は、第1ピストン64におけるピストンロッド24が連結された端部とは反対側の端部に繋がっており、第1ピストン64からピストンロッド24と反対側へ延びている。第1ピストン64及び第2ピストン67は、共に円柱状に形成されており、第2ピストン67は、第1ピストン64よりも小径である。
第2シリンダ室66aにおいて、第2ピストン67と第2シリンダ部66における端部壁66cとの間の空間は、第1圧縮室63bにて圧縮された水素ガスがさらに圧縮される第2圧縮室66bとして機能する。すなわち、圧縮部16の圧縮室16aには、第1圧縮室63bと第2圧縮室66bとが含まれている。
図2は圧縮装置を図1中の矢印II−IIの位置にて切断した断面図である。第1シリンダ部63は、第1吸込弁室69aと、第1吸込側連通路70aと、第1吸込路71と、第1吐出弁室69bと、第1吐出側連通路70bと、第1吐出路72とを備えている。
第1吸込弁室69aおよび第1吐出弁室69bは、第1圧縮室63bの両側に位置する。第1吸込弁室69aおよび第1吐出弁室69bはそれぞれ、水平面内において第1および第2ピストン64,67の移動方向に垂直な方向に延びている。
第1吸込弁室69aには、第1吸込弁74aが収容され、第1吸込弁固定フランジ75aによって固定されている。第1吸込側連通路70aは、第1圧縮室63bと第1吸込弁室69aとを連通させる通路である。第1吐出弁室69bには、第1吐出弁74bが収容され、第1吐出弁固定フランジ75bによって固定されている。第1吐出側連通路70bは、第1圧縮室63bと第1吐出弁室69bとを連通させる通路である。
第1吸込路71は、第1吸込弁室69aの上側に配置され、第1シリンダ部63の上面から下方へ延びて第1吸込弁室69aに繋がっている。第1吸込路71の上端には、図略の供給源からの水素ガスを供給する供給配管76が接続されている。
第1吐出路72は、第1吐出弁室69bから第1シリンダ部63の下面へと延びる。第1吐出路72は、第1シリンダ部63の下面において開口する第1吐出路開口72aを有する。
図3は圧縮装置を図1中の矢印III−IIIの位置にて切断した断面図である。第2シリンダ部66の下面と第1シリンダ部63の下面は、面一で平面状に形成されている。つまり、圧縮機2において、ガスクーラ4に対向した部位は平坦な面によって形成されている。
第2シリンダ部66は、第2吸込弁室78aと、第2吸込側連通路79aと、第2吸込路80と、第2吐出弁室78bと、第2吐出側連通路79bと、第2吐出路81とを備えている。
第2吸込弁室78aおよび第2吐出弁室78bは、第2圧縮室66bの両側に位置する。第2吸込弁室78aおよび第2吐出弁室78bはそれぞれ、水平面内において移動方向に垂直な方向に延びている。第2吸込弁室78aには、第2吸込弁83aが収容され、第2吸込弁固定フランジ84aによって固定されている。第2吸込側連通路79aは、第2圧縮室66bと第2吸込弁室78aとを連通させる通路である。第2吐出弁室78bには、第2吐出弁83bが収容され、第2吐出弁固定フランジ84bによって固定されている。第2吐出側連通路79bは、第2圧縮室66bと第2吐出弁室78bとを連通させる通路である。
第2吸込路80は、第2吸込弁室78aの下側に配置され、第2シリンダ部66の下面から上方へ延びて第2吸込弁室78aに繋がっている。第2吸込路80は、第2シリンダ部66の下面において開口する第2吸込路開口80aを有する。
第2吐出路81は、第2吐出弁室78bの上側に配置され、第2シリンダ部66の上面から下方へ延びる。第2吐出路81の上端には、連通配管85が接続されている。
ガスクーラ4は、圧縮機2で圧縮された水素ガスを冷却用流体としての水によって冷却するための熱交換器であり、本体部38と、供給ヘッダ42(図3参照)と、回収ヘッダ44(図3参照)とを有する。
本体部38は、一対の端部プレート50,50間にガス用プレート46および水用プレート48が積層された積層体である。なお、本実施形態では、本体部38の中間位置に仕切プレート88が介装されており、本体部38は、この仕切プレート88によって二つの部位に分かれている。
具体的には、本体部38は、一段目の圧縮後の水素ガスを冷却するための熱交換器である第1冷却部86と、二段目の圧縮後の水素ガスを冷却するための熱交換器である第2冷却部87とを有する。そして、本体部38内は、仕切プレート88によって第1冷却部86と第2冷却部87とに仕切られている。
第1冷却部86は、仕切プレート88に対して圧縮機2側に配置され、第2冷却部87は、仕切プレート88に対して圧縮機2とは反対側に配置されている。
第1冷却部86及び第2冷却部87はそれぞれ、複数のガス用プレート46と、複数の水用プレート48と、を備えている。そして、ガス用プレート46と水用プレート48とが交互に配置されている。
図4に示すように、ガス用プレート46は、ステンレス鋼によって形成された矩形状の平板である。ガス用プレート46は、流入路用貫通穴46dと、排出路用貫通穴46eとを備えている。また、ガス用プレート46の一方の面には、複数のガス路用溝部46aと、分配部用溝部46bと、回収部用溝部46cとが形成されている。分配部用溝部46bは、流入路用貫通孔46dに繋がり、回収部用溝部46cは、排出路用貫通孔46eに繋がっている。ガス用プレート46と水用プレート48とが互いに積層されると、ガス路用溝部46aと水用プレート48とによってガス流路54が形成される。
図5に示すように、水用プレート48は、ガス用プレート46と同様に、ステンレス鋼によって形成された矩形状の平板である。水用プレート48は、流入路用貫通穴48bと、排出路用貫通穴48cとを備えている。水用プレート48の一方の板面には、複数の水路用溝部48aが形成されている。水用プレート48とガス用プレート46とが互いに積層されると、水路用溝部48aとガス用プレート46とによって冷却水流路57が形成される。
端部プレート50は、ステンレス鋼によって形成された矩形状の平板である。第1冷却部86側の端部プレート50は、圧縮機2のシリンダ5(第1シリンダ部63及び第2シリンダ部66)の下面に拡散接合されており、該下面に密着している。すなわち、シリンダ5と端部プレート50とを互いに密着させた状態で,これら母材の融点以下の温度条件で塑性変形をできるだけ生じない程度に加圧して、接合面間に生じる原子の拡散を利用して接合されている。端部プレート50の上面は、平坦な面となっており、圧縮機2のシリンダ5に対向した部位を構成している。
端部プレート50には、流入路用貫通穴50bと排出路用貫通穴50dとが形成されている(図2、3参照)。流入路用貫通穴50bには、圧縮機2から吐出されてガスクーラ4に導入される水素ガスが通過する。排出路用貫通穴50dには、ガスクーラ4から排出される水素ガスが通過する。
第1冷却部86と第2冷却部87とでは、ガス用プレート46の向きが逆になるように配置されており、また、端部プレート50aおよび水用プレート48についても向きが逆になるように配置されている。すなわち、ガス用プレート46の分配部用溝部46bと回収部用溝部46cとの位置関係は、第1冷却部86と第2冷却部87とでは互いに逆向きとなっており、また流入路用貫通孔46dと排出路用貫通孔46eとの位置関係も、第1冷却部86と第2冷却部87とで互いに逆向きとなっている。端部プレート50aおよび水用プレート48については、流入路用貫通孔48b,50bと排出路用貫通孔48c,50dとの位置関係が、第1冷却部86と第2冷却部87とで互いに逆向きとなっている。
ガス用プレート46、水用プレート48、端部プレート50及び仕切プレート88のうち互いに隣り合うプレートは、拡散接合によって互いに接合されている。
第1冷却部86では、各プレートの流入路用貫通孔46d,48b,50bが連通することによって、プレートの積層方向に延びる第1ガス流入路52aが形成されている。第1ガス流入路52aの流入側の開口52cは、第1吐出路72の第1吐出路開口72aと連通している。このため、第1ガス流入路52aには、第1圧縮部61で圧縮されて第1吐出側連通路70bおよび第1吐出路72を流れた水素ガスが流入し、第1ガス流入路52aを流れた水素ガスは、第1冷却部86内のガス流路54に導入される。したがって、配管を介することなく圧縮機2からガスクーラ4へと水素ガスを流入させることができる。
また、第1冷却部86では、排出路用貫通孔46e,48c,50dが連通することによって、プレートの積層方向に延びる第1ガス排出路53aが形成されている。第1ガス排出路53aの排出側の開口53cは第2吸込路80の第2吸込路開口80aと連通している。このため、第1ガス排出路53aの開口53cには、第1冷却部86内で冷却水によって冷却された水素ガスが通過し、この水素ガスは、第2圧縮部62に向けて排出される。
第2冷却部87では、各プレートの流入路用貫通孔46d,48b,50bが連通することによって、プレートの積層方向に延びる第2ガス流入路52bが形成されている。第2ガス流入路52bは、第2圧縮部62で圧縮されて連通配管85を通して第2冷却部87内に導入された水素ガスを第2冷却部87内のガス流路54に導く。
また、第2冷却部87では、排出路用貫通孔46e,48c,50dが連通することによって、プレートの積層方向に延びる第2ガス排出路53bが形成されている。第2ガス排出路53bは、第2冷却部87内で冷却水によって冷却された水素ガスを排出配管89に向けて排出する。
図3に示すように、本体部38の左右の側面のうち、一方の側面には、冷却水供給配管58が接続された供給ヘッダ42が取り付けられており、他方の側面には、冷却水回収配管59が接続された回収ヘッダ44が取り付けられている。ガスクーラ4では、冷却水供給配管58から供給ヘッダ42、冷却水流路57(図5参照)および回収ヘッダ44を介して冷却水回収配管59へと冷却水が流れる。
圧縮装置の駆動時には、水素ガスが第1吸込弁74a(図2参照)を介して第1吸込路71から第1圧縮室63bへと吸い込まれる。第1圧縮室63bにおいて水素ガスは、第1ピストン64によって圧縮されて、第1吐出側連通路70bおよび第1吐出路72を通して第1シリンダ部63から吐出される。この水素ガスは、第1吐出路開口72aを通してガスクーラ4の第1冷却部86内に流入する。すなわち、第1吐出側連通路70b及び第1吐出路72は、シリンダ5内で圧縮された水素ガスを熱交換器内に導く流通路77として機能する。
第1冷却部86においては、水素ガスは、第1ガス流入路52aからガス流路54(図4)へ流れ、冷却水流路57(図5)を流れる冷却水との熱交換により冷却される。冷却された水素ガスは、第1ガス排出路53aを介して第1冷却部86から第2圧縮室66bへと排出される。第2圧縮室66bでは、第2ピストン67により水素ガスがさらに圧縮される。
第2圧縮室66bにおいて圧縮された水素ガスは、第2吐出路81を通って連通配管85へ吐出される。連通配管85へ吐出された水素ガスは、第2冷却部87の第2ガス流入路52bに流入する。水素ガスは第2冷却部87にて冷却された後、第2ガス排出路53bへ流れ、排出配管89へ排出される。
本実施形態に係る圧縮装置では、ガスクーラ4が圧縮機2に直接的に固定されることから、圧縮機2とガスクーラ4との間の配管を省略することができる。その結果、配管の設置スペースが不要となり、圧縮装置を小型化することができる。また、配管の数を減らすことができるため、部品点数の削減にも寄与する。しかも、ガスクーラ4とシリンダ5とが拡散接合によって密着しているため、水素ガス封止用のシール部材が設けられていなくても、圧縮機2から吐出される高圧のガスが流通路を流れる際に、ガスの漏洩の虞を低減することができる。
また本実施形態では、ガスクーラ4(又は第1冷却部86)に対向するシリンダ5の一面と、シリンダ5に対向するガスクーラ4(又は第1冷却部86)の一面とがその全体において互いに接触している。そして、これらの互いに対向する面が拡散接合されている。このため、拡散接合する際に接合面に均等に圧力をかけることができる。したがって、より確実にガスの漏洩の虞を低減することができる。
また本実施形態では、ガスクーラ4が、複数のプレート46,48が積層された構成となっているため、冷却水による水素ガスの良好な冷却効率を得ることができる。またガスクーラ4を圧縮機2に容易に取り付けることができる。
また本実施形態では、ガスクーラ4において、隣り合うプレート46,48同士が拡散接合されているので、プレート46,48間からの水素ガス又は冷却水の漏洩の虞を低減することができる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
例えば、ガスクーラ4として、プレートフィン式熱交換器など他の様々なプレート式熱交換器が用いられてもよい。プレートフィン熱交換器は、溝形状の加工の仕方及び積層された層同士の接合の仕方はマイクロチャネル熱交換器と異なるものの、機能上はマイクロチャネル熱交換器と同様の構造を有する。また、熱交換器としてチューブ式熱交換器が用いられてもよい。
前記実施形態では、圧縮機2が、複数の圧縮部61,62からなる圧縮部16を備えた構成としたが、これに限られない。圧縮機2は、例えば図6に示すように、一段圧縮式の圧縮部16を有した構成であってもよく、あるいは3段以上の圧縮部(図示省略)を有していてもよい。1つの圧縮部16を有する圧縮装置では、図6に示すように、シリンダ5内がピストン7によって2つの空間に仕切られており、ピストンロッド24とは反対側の空間が圧縮室16aとして機能する。シリンダ5には、圧縮室16aに連通する吐出路18が設けられていて、この吐出路18の開口18aがシリンダ5の下面に形成されている。吐出路18は、ガスクーラ4のガス流路54に連通している。ガスクーラ4は、第1冷却部86と第2冷却部87に分割された構成ではないため、仕切プレート88は設けられていない。このため、吐出路18からガス流路54に導入された水素ガスは、ガス流路54において、冷却水によって冷却され、その後、ガスクーラ4の排出配管89から排出される。
また、ピストン7の移動方向が上下方向となるようにクロスガイド10とシリンダ5とが上下方向において結合され、ガスクーラ4をシリンダ5の側面に取り付ける圧縮装置に適用してもよい。
ガス流路54は、ガス用プレート46の板面上で蛇行した形状に形成されていてもよく、冷却水流路57は、水用プレート48の板面上で蛇行した形状に形成されていてもよい。この構成によれば、ガス流路54および冷却水流路57の表面積を増大させることができ、より有効に水素ガスを冷却することができる。上記実施形態の圧縮装置は、水素ガス以外にヘリウムガスや天然ガスなど空気よりも軽いガスに利用されてもよく、二酸化炭素などのガスの圧縮に利用されてもよい。
また前記実施形態では、ガスクーラ4の上面と圧縮機2のシリンダ5の下面がそれぞれ平坦面に形成されていて、これの面の全体に亘って固層接合された構成とした。しかしながら、これに限られるものではない。例えば、図7に示すように、シリンダ5の下面の一部に平坦でない部位が存在し、この凹んだ部位5aにおいてはシリンダ5の下面がガスクーラ4の上面と密着していない構成としてもよい。つまり、シリンダ5において吐出路72が開口する部位と、ガスクーラ4においてガス流入路52aが開口する部位とは、拡散接合されていない構成としてもよい。ただし、この場合でも、シリンダ5の下面において第1吐出路72の開口72aの周囲がガスクーラ4に拡散接合されている必要がある。
前記実施形態では、ガスクーラ4とシリンダ5とが拡散接合された構成としたが、これに限られるものではない。ガスクーラ4とシリンダ5との接合には、爆発圧接など他の固相接合が利用されてもよい。
2 圧縮機
4 ガスクーラ(熱交換器)
5 シリンダ
16a 圧縮室
52a 第1ガス流入路
52b 第2ガス流入路
53a 第1ガス排出路
54 ガス流路
57 冷却水流路
63b 第1圧縮室
66b 第2圧縮室
86 第1冷却部(熱交換器)
87 第2冷却部(熱交換器)
4 ガスクーラ(熱交換器)
5 シリンダ
16a 圧縮室
52a 第1ガス流入路
52b 第2ガス流入路
53a 第1ガス排出路
54 ガス流路
57 冷却水流路
63b 第1圧縮室
66b 第2圧縮室
86 第1冷却部(熱交換器)
87 第2冷却部(熱交換器)
Claims (5)
- ガスを圧縮するシリンダを有する圧縮機と、
前記シリンダ内で圧縮されたガスを冷却する熱交換器と、
前記シリンダ内で圧縮されたガスを前記熱交換器内に導く流通路と、
を備え、
前記熱交換器が前記シリンダに固層接合されており、
前記流通路は、前記熱交換器及び前記シリンダが互いに対向した部位であって、少なくとも周囲が固層接合されている部位を貫通するように形成されている圧縮装置。 - 前記固相接合は拡散接合である請求項1に記載の圧縮装置。
- 前記固層接合されている面は平坦な面であり、
前記流通路は、固層接合されている部位を貫通している請求項1又は2に記載の圧縮装置。 - 前記熱交換器は、ガスを冷却する冷却流体が流れる冷却流路と、ガスが流れるガス流路とが交互に形成されるように複数のプレートが積層された構成であり、
端に配置されたプレートが前記シリンダに固層接合されている請求項1から3の何れか1項に記載の圧縮装置。 - 隣り合うプレート同士が固層接合されている請求項4に記載の圧縮装置。
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