JP2015040310A - めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】めっき容器が自公転する導電性粒子のめっき装置において、電気的接点を回転摺動させることなく、電源と電極との間の電気的導通をとることが可能なめっき装置を提供する。
【解決手段】本発明は、内部に陽極5aと陰極5bとを配するめっき容器2が、第1の軸線Aを中心に自転すると共に、該第1の軸線と平行な第2の軸線B周りに公転するめっき装置1であって、前記陽極と前記陰極とが、前記めっき容器の公転軌跡外側から伸びるアーム3cにより支持されて、陽極と陰極はめっき容器から独立しており、めっき容器の自公転には追従せずに固定されている。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、内部に陽極5aと陰極5bとを配するめっき容器2が、第1の軸線Aを中心に自転すると共に、該第1の軸線と平行な第2の軸線B周りに公転するめっき装置1であって、前記陽極と前記陰極とが、前記めっき容器の公転軌跡外側から伸びるアーム3cにより支持されて、陽極と陰極はめっき容器から独立しており、めっき容器の自公転には追従せずに固定されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、導電性粒子のめっき装置に関する。
導電性粒子表面にめっき層を形成するめっき装置が、例えば、特許文献1及び特許文献2に開示されている。これらめっき装置は、めっき液と導電性粒子を収納するめっき容器が自公転し、導電性粒子を流動撹拌しながらめっき処理をするものである。このようなめっき装置は、導電性粒子の凝集を抑止しながらめっき処理が出来ると共に、導電性粒子間のめっき層の膜厚差が小さくなるようにめっき処理が出来る。
上記特許文献のように、めっき容器が自公転する従来のめっき装置には、電源と回転する陽極、或いは陰極との間において電気的導通がとれるよう、回転摺動する電気的接点が用いられていた。
例えば、特許文献1のめっき装置では、電源に接続した固定のワイヤーホイールに対して、陰極ストリップが摺動回転されて電気的導通がとられている。また、特許文献2のめっき装置では、電源に接続する固定部品と電極に接続する回転部品との間にスリップリングが挿入されて電気的導通がとられている。
これら文献にあるような回転摺動する電気的接点において、外部に金属が露出した構造であると、飛散・蒸散しためっき液が付着した場合には腐食が進行してしまう恐れがある。電気的接点が腐食すると、電源−電極の通電状態が不安定になり、最悪、電気的導通がとれなくなって、めっき処理が進行しなくなる。
例えば、特許文献1のめっき装置では、電源に接続した固定のワイヤーホイールに対して、陰極ストリップが摺動回転されて電気的導通がとられている。また、特許文献2のめっき装置では、電源に接続する固定部品と電極に接続する回転部品との間にスリップリングが挿入されて電気的導通がとられている。
これら文献にあるような回転摺動する電気的接点において、外部に金属が露出した構造であると、飛散・蒸散しためっき液が付着した場合には腐食が進行してしまう恐れがある。電気的接点が腐食すると、電源−電極の通電状態が不安定になり、最悪、電気的導通がとれなくなって、めっき処理が進行しなくなる。
そこで本発明は、めっき容器が自公転する導電性粒子のめっき装置において、電気的接点を回転摺動させることなく、電源と電極との間の電気的導通がとれるようなめっき装置を提供するものである。
本発明のめっき装置は、内部に陽極と陰極とを配するめっき容器が、第1の軸線を中心に自転すると共に、該第1の軸線と平行な第2の軸線周りに公転するめっき装置であって、前記陽極と前記陰極とが、前記めっき容器の公転軌跡外側から伸びるアームにより支持されている。
また、本発明のめっき装置は、前記アームの駆動により、前記陽極と前記陰極とが、前記めっき容器の公転に追従して移動するようにしても良く、その場合、前記陽極と前記陰極とが、前記めっき容器の公転外周側を維持するように移動することが好ましい。
本発明のめっき装置は、めっき容器が自公転するものの、回転摺動する電気的接点を必要とせず、電気的に安定しためっき処理を可能にすることが出来る。
以下、本発明のめっき装置について、実施形態の図面を参照しながら説明する。ただし、本発明のめっき装置は、以下の実施形態に限定されるものではない。
[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態であるめっき装置1について、図1の断面模式図と図2の平面模式図を用いて説明する。
めっき装置1は、めっき液Lと、複数の導電性粒子P’からなる導電性粒子群Pとを収納するめっき容器2と、ベースプレート3aを有する架台3と、めっき容器2を自公転させる駆動部4と、電極ユニット5を備えている。そして、めっき装置1では、2式のめっき容器2が左右対称に配されていて、2式のめっき容器2それぞれに対して、電極ユニット5が配されている。
まず、本発明の第1実施形態であるめっき装置1について、図1の断面模式図と図2の平面模式図を用いて説明する。
めっき装置1は、めっき液Lと、複数の導電性粒子P’からなる導電性粒子群Pとを収納するめっき容器2と、ベースプレート3aを有する架台3と、めっき容器2を自公転させる駆動部4と、電極ユニット5を備えている。そして、めっき装置1では、2式のめっき容器2が左右対称に配されていて、2式のめっき容器2それぞれに対して、電極ユニット5が配されている。
めっき容器2は、底部2aと側壁2bを有する略円筒状を呈していて、底部2aの内底2aaには、第1の軸線Aに沿って上方に延びる凸部(センターコラム2c)が形成されていて、底部2aの外底2abには、第1の軸線Aに沿って延びる軸部2dが形成されている。そして、軸部2dには、自転用歯車2eが嵌合されていて、ベースプレート3aに固定された内歯歯車3bに噛み合っている。そして、めっき容器2は、第1の軸線Aがベースプレート3aに対して垂直に配されている。(言い換えれば、軸部2dがベースプレート3aに対して垂直に配されている。)そして、駆動部4を駆動させると、めっき容器2は、第1の軸線Aを中心に自転出来、第2の軸線B周りに公転出来るようになっている。(めっき装置1全体の動作については後述する。)
架台3は、ベースプレート3aと、内歯歯車3bと、電極ユニット5を支持するアーム3cを備えている。ベースプレート3aには、第2の軸線Bを中心とする開口部3aaが形成され、開口部3aaには、内歯歯車3bが配されている。そして、内歯歯車3bには、めっき容器2の自転用歯車2eが噛み合わされ、めっき容器2が、第2の軸線Bに対して時計回り(矢印の方向)に公転すると、めっき容器2が、軸心Aを中心に反時計回りに自転出来るようになっている。
駆動部4は、モータ4aと、モータ軸4aaに取付けられて回転する駆動歯車4bと、駆動歯車4bと噛合って第2の軸線Bを中心に回転する従動歯車4cと、従動歯車4cに嵌合された軸部4daと、従動歯車4cと共に第2の軸線Bを中心に回転する公転ホルダ4dと、公転ホルダ4dの回転を外周から支持する軸受4eと、ベースプレート3aに固定され、軸受4eを外周から保持する軸受ケース4gを備えている。
軸受ケース4gは、軸受4fを内蔵してめっき容器2の中心軸(第1の軸線A)の位置に配され、軸受4fがめっき容器2の軸部2dを支持している。そして、めっき容器2は、従動歯車4cの回転により、軸受4fと共に軸線Bの周りを公転出来、内歯歯車3bと自転用歯車2eとの噛み合い回転により、軸受4fの中心軸である軸線Aを中心に自転出来る。
軸受ケース4gは、軸受4fを内蔵してめっき容器2の中心軸(第1の軸線A)の位置に配され、軸受4fがめっき容器2の軸部2dを支持している。そして、めっき容器2は、従動歯車4cの回転により、軸受4fと共に軸線Bの周りを公転出来、内歯歯車3bと自転用歯車2eとの噛み合い回転により、軸受4fの中心軸である軸線Aを中心に自転出来る。
また、図2の平面図のように、めっき装置1では、常に、めっき容器2の側壁2bの内側に、公転ホルダ4dの回転軸(第2の軸線B)が位置される。これにより、図3の平面模式図に示すように、めっき容器2が公転して公転軌跡k(破線)を描くと、めっき容器2の内部に、軸線Bを中心とする直径φの内部領域(交わり空間Sと称する)が形成される。
電極ユニット5は、陽極5aと、陽極5aより下方に配された陰極5bと、一端が陽極5aに接続された陽極接続線5cと、一端が陰極5bに接続され陰極接続線5dと、一端にめっき液供給口5eを開口しためっき液供給管5fと、一端にめっき液排出口5gを開口しためっき液排出管5hと、陽極接続線5c、陰極接続線5d、めっき液供給管5f、めっき液排出管5hを保護する筐体5jとを備えている。
陽極接続線5cは、陽極5aに接続していない他端が、直流電源(不図示)の正極に接続され、陰極接続線5dは、陰極5bに接続していない他端が、直流電源の負極に接続され、陽極5aと陰極5bとの間に電流が流れるようになっている。
そして、めっき液供給管5fとめっき液排出管5hは、めっき液供給口5eとめっき液排出口5gでない他端が、めっき液循環装置(不図示)に接続され、めっき容器2中のめっき液Lが循環濾過出来るようになっている。
そして、電極ユニット5は、めっき容器2の交わり空間Sの位置に上方から挿入され、めっき容器2の公転軌跡の外側からアーム3cにより支持される。
陽極接続線5cは、陽極5aに接続していない他端が、直流電源(不図示)の正極に接続され、陰極接続線5dは、陰極5bに接続していない他端が、直流電源の負極に接続され、陽極5aと陰極5bとの間に電流が流れるようになっている。
そして、めっき液供給管5fとめっき液排出管5hは、めっき液供給口5eとめっき液排出口5gでない他端が、めっき液循環装置(不図示)に接続され、めっき容器2中のめっき液Lが循環濾過出来るようになっている。
そして、電極ユニット5は、めっき容器2の交わり空間Sの位置に上方から挿入され、めっき容器2の公転軌跡の外側からアーム3cにより支持される。
次に、めっき装置1の操作と動きについて説明する。
まず、所定量のめっき液Lと導電性粒子群Pをめっき容器2中に収納した後、電極ユニット5をめっき容器2中に挿入してアーム3cにより固定支持する。
次に、駆動部4のモータ4aの電源を入れると、モータ軸4aaと、モータ軸4aaに接続する駆動歯車4bが回転し、駆動歯車4bに噛み合った従動歯車4cと、軸部4daが従動歯車4cに嵌合した公転ホルダ4dが回転する。これにより、めっき容器2は、公転ホルダ4dに支持されながら、公転ホルダ4dの回転軸周り、すなわち、第2の軸線B周りを公転する。また、めっき容器2は、軸受4fにより回転自在に公転ホルダ4dに支持されていることから、軸部2dの自転用歯車2eが、ベースプレート3に設けられた内歯歯車3bに噛み合いながら回転することにより、めっき容器2は、第1の軸線Aを中心に自転する。
まず、所定量のめっき液Lと導電性粒子群Pをめっき容器2中に収納した後、電極ユニット5をめっき容器2中に挿入してアーム3cにより固定支持する。
次に、駆動部4のモータ4aの電源を入れると、モータ軸4aaと、モータ軸4aaに接続する駆動歯車4bが回転し、駆動歯車4bに噛み合った従動歯車4cと、軸部4daが従動歯車4cに嵌合した公転ホルダ4dが回転する。これにより、めっき容器2は、公転ホルダ4dに支持されながら、公転ホルダ4dの回転軸周り、すなわち、第2の軸線B周りを公転する。また、めっき容器2は、軸受4fにより回転自在に公転ホルダ4dに支持されていることから、軸部2dの自転用歯車2eが、ベースプレート3に設けられた内歯歯車3bに噛み合いながら回転することにより、めっき容器2は、第1の軸線Aを中心に自転する。
次に、めっき液循環装置(不図示)を動作させると、めっき容器2に収納されているめっき液Lは、めっき液排出口5gから排出され、めっき液排出管5h、めっき液循環装置、めっき液供給管5f、めっき液供給口5eを通って再びめっき容器2中に戻されて循環される。
そして、直流電源(不図示)のスイッチを入れると、陰極5bに接する導電性粒子P’と、陽極5aとの間に電流が流れ、導電性粒子P’表面にめっき層が形成される。
そして、直流電源(不図示)のスイッチを入れると、陰極5bに接する導電性粒子P’と、陽極5aとの間に電流が流れ、導電性粒子P’表面にめっき層が形成される。
ここで、電極ユニット5は、図3で説明した交わり空間Sに挿入され、めっき容器2の公転軌跡の外側からアーム3cに支持されているので、自公転するめっき容器2に対して移動させる必要が無い。即ち、陽極5aと陰極5bを自公転するめっき容器2に対して静止した状態にして側壁2bから離間して配することが出来る。このように、陽極5aと陰極5bとが静止しためっき装置1では、陽極5aと電源、或いは、陰極5bと電源との間に、回転摺動する電気的接点を用いる必要が無く、腐食の心配無しに安定しためっき処理をすることが出来る。
なお、電極ユニット5は、自公転するめっき容器2中において、陽極5a、陰極5b、めっき液排出口5gが常にめっき液Lに常に浸漬するよう、高さを調整することが必要であり、特に陰極5bは、常に導電性粒子群Pの中に埋もれるよう高さを調整する必要がある。このような調整は、めっき容器2を自公転させる前に行っても良いし、めっき容器2を自公転させてから、陽極5a−陰極5b間の導通状態、或いは、めっき液Lの循環状態を見ながら行っても良い。また、陰極5bは、導電性粒子群Pに埋もれるよう高さが調整されるので、めっき容器2が自公転すると、導電性粒子群Pは陰極5bにより撹拌されるようになる。このような撹拌作用は、個々の導電性粒子P’に形成されるめっき層の膜厚差小さくするのに有効なものである。
また、図4の平面模式図は、めっき容器2が自公転する際の、公転角度とその姿勢(自転角度)、電極ユニット5の位置関係を示したものである。なお、図4では、めっき容器2の公転角度を、(a)の状態で0°とし、そこから、46°間隔で184°まで記している((b)〜(e))。また、めっき容器2の側壁2bの上端部に記した黒丸●は、めっき容器2の自転角度を把握し易くしたマークmである。
めっき装置1において、めっき容器2が、反時計回りに0°→46°→92°と公転しながら時計方回りに自転する(マークmは図に示されるように位置変化する)と、めっき容器2に収納されている導電性粒子群P(図4には記していない)には、軸線Bから外向きの公転起因による遠心力(太矢印)が作用し、その向きは、マークmに対して反時計回りに角度変化してゆく。これにより、自転するめっき容器2の側壁2bと導電性粒子群Pとの間には、摺動を伴う相対移動が発生し、導電性粒子群Pは継続して流動撹拌される。このような流動撹拌作用は、個々の導電性粒子P’に形成されるめっき層の膜厚差をより一層小さくするのに有効なものである。
めっき装置1において、めっき容器2が、反時計回りに0°→46°→92°と公転しながら時計方回りに自転する(マークmは図に示されるように位置変化する)と、めっき容器2に収納されている導電性粒子群P(図4には記していない)には、軸線Bから外向きの公転起因による遠心力(太矢印)が作用し、その向きは、マークmに対して反時計回りに角度変化してゆく。これにより、自転するめっき容器2の側壁2bと導電性粒子群Pとの間には、摺動を伴う相対移動が発生し、導電性粒子群Pは継続して流動撹拌される。このような流動撹拌作用は、個々の導電性粒子P’に形成されるめっき層の膜厚差をより一層小さくするのに有効なものである。
また、めっき容器2の内底2aには、センターコラム2cが形成されていて、めっき容器2の自転軸(軸線A)から側壁2b方向に、導電性粒子群Pを寄せるようにしている。これにより、導電性粒子群Pと、めっき容器2の側壁2bとの摺動機会を増やして、個々の導電性粒子P’に形成されるめっき層の膜厚差を、より一層小さくすることが出来るようになっている。センターコラム2cの形状は、導電性粒子群Pをより効果的に周壁方向に寄せることが出来るように、図1,図2に示されるような錐形状にすることが好ましい。
また、センターコラム2cは、めっき容器2内に存在する導電性粒子群Pの嵩高さを高くすることも出来、陰極5bを導電性粒子群Pの中に確実に埋もれさせ、導電性粒子P’との電気的導通を確実にすることが出来る。
また、センターコラム2cは、めっき容器2内に存在する導電性粒子群Pの嵩高さを高くすることも出来、陰極5bを導電性粒子群Pの中に確実に埋もれさせ、導電性粒子P’との電気的導通を確実にすることが出来る。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態のめっき装置について、図5の平面模式図と図6の断面模式図を用いて説明する。なお、図5、図6における第1実施形態と同様の構成には、第1実施形態と同じ符号が付けられている。また、本実施形態のめっき装置は、第1実施形態のめっき装置と、図5及び図6以外の構成が同じなので、めっき装置全体の図示は省略する。
次に、本発明の第2実施形態のめっき装置について、図5の平面模式図と図6の断面模式図を用いて説明する。なお、図5、図6における第1実施形態と同様の構成には、第1実施形態と同じ符号が付けられている。また、本実施形態のめっき装置は、第1実施形態のめっき装置と、図5及び図6以外の構成が同じなので、めっき装置全体の図示は省略する。
図5は、本実施形態のめっき装置において、めっき容器2と電極ユニット5の動きを説明する平面模式図である。
本実施形態である図5のめっき装置は、めっき容器2の半径rに対して、めっき容器の公転半径Rを大きしたものであり、めっき容器2が公転した際に、図3のような交わり空間Sが形成されない構成になっている。このような構成にすることで、めっき容器2の公転に起因する遠心力を大きくすることが出来、また、公転半径Rが大きくすることで内場歯車3bの歯数が増え、めっき容器2の自転速度を速くすることも出来る。
このような構成により、本実施形態のめっき装置では、自転するめっき容器2の側壁2bと導電性粒子群Pとの間の流動撹拌作用を高めることが出来、個々の導電性粒子P’に形成されるめっき層の膜厚差をより一層小さくすることが出来る。
本実施形態である図5のめっき装置は、めっき容器2の半径rに対して、めっき容器の公転半径Rを大きしたものであり、めっき容器2が公転した際に、図3のような交わり空間Sが形成されない構成になっている。このような構成にすることで、めっき容器2の公転に起因する遠心力を大きくすることが出来、また、公転半径Rが大きくすることで内場歯車3bの歯数が増え、めっき容器2の自転速度を速くすることも出来る。
このような構成により、本実施形態のめっき装置では、自転するめっき容器2の側壁2bと導電性粒子群Pとの間の流動撹拌作用を高めることが出来、個々の導電性粒子P’に形成されるめっき層の膜厚差をより一層小さくすることが出来る。
また、図5のめっき装置では、電極ユニット5が、スクリューアーム3c’に取付けられていて、スクリューアーム3c’が、めっき容器2の公転軌跡外側にあるアームフィーダ3dに支持されつつC軸周りに回転し、めっき容器2の公転移動に追従するように電極ユニット5を移動出来るようになっている。
このような構成により、本実施形態のめっき装置では、自公転するめっき容器2に対して、電極ユニット5自体を回転させることなく、伸縮アーム3c’の移動だけで、電極ユニット5を移動させることが出来る。即ち、本実施形態のめっき装置では、電極ユニット(陽極5aと陰極5b)と電源との間に、回転摺動する電気的接点を用いる必要が無く、腐食の心配無しに安定しためっき処理をすることが出来る。
このような構成により、本実施形態のめっき装置では、自公転するめっき容器2に対して、電極ユニット5自体を回転させることなく、伸縮アーム3c’の移動だけで、電極ユニット5を移動させることが出来る。即ち、本実施形態のめっき装置では、電極ユニット(陽極5aと陰極5b)と電源との間に、回転摺動する電気的接点を用いる必要が無く、腐食の心配無しに安定しためっき処理をすることが出来る。
一方、図5のめっき装置では、スクリューアーム3c’を駆動させ、自公転するめっき容器2に追従するよう電極ユニット5を移動させることで、陰極5bが、めっき容器2内の導電性粒子群Pに常に接触させたものである。本実施形態のめっき装置の場合、図6の断面模式図のように、めっき容器2内の導電性微粒子群Pは、めっき容器2の公転による遠心力Fの作用方向、即ち、めっき容器2内の公転軸から離れる側に偏って流動撹拌されるようになる。従って、本実施形態のめっき装置では、図6のように、陰極5bが、導電性粒子P’の多い側、即ち、遠心力Fの作用方向であるめっき容器2内の公転外周側に配されるよう、スクリューアーム3c’を動かして電極ユニット5を移動し、陰極5bが導電性粒子群Pに確実に接触されるようにすることが好ましい。
また、本実施形態のめっき装置では、陰極5bの断面形状を変えることにより、導電性粒子群Pの流動撹拌を促進させることが出来る。
図7は、陰極の断面形状を流線型の長手状にした場合の、導電性粒子P’の動きを説明する平面模式図であり、図7(a)は、めっき容器2の自転方向と陰極5b断面の長手方向を一致させた場合、図7(c)は、めっき容器2の半径方向と陰極5b断面の長手方向を一致させた場合、図7(b)は、陰極5bを図7(a)と図7(c)の中間角度に設定した場合である。
図7の断面形状をした陰極5bの場合、図7(b)のように、陰極5bの断面長手方向を傾けると、導電性粒子P’がめっき容器2の側壁2bの方向へ流動し、導電性粒子P’の相互間の摺動運動、及び側壁2bとの摺動運動を激しくすることが出来、導電性粒子群Pの撹拌を促進することが出来る。
なお、導電性粒子群Pの流動撹拌は、陰極5bを変えるだけでなく、電極ユニット5に任意形状のアタッチメントを取り付け、導電性粒子群の流動を変えることでも出来る。また、スクリューアーム3c’に昇降機構を設け、導電性粒子群Pに対する挿し込み深さを変え、より細かく導電性粒子P’の動きを調整することも出来る。
図7は、陰極の断面形状を流線型の長手状にした場合の、導電性粒子P’の動きを説明する平面模式図であり、図7(a)は、めっき容器2の自転方向と陰極5b断面の長手方向を一致させた場合、図7(c)は、めっき容器2の半径方向と陰極5b断面の長手方向を一致させた場合、図7(b)は、陰極5bを図7(a)と図7(c)の中間角度に設定した場合である。
図7の断面形状をした陰極5bの場合、図7(b)のように、陰極5bの断面長手方向を傾けると、導電性粒子P’がめっき容器2の側壁2bの方向へ流動し、導電性粒子P’の相互間の摺動運動、及び側壁2bとの摺動運動を激しくすることが出来、導電性粒子群Pの撹拌を促進することが出来る。
なお、導電性粒子群Pの流動撹拌は、陰極5bを変えるだけでなく、電極ユニット5に任意形状のアタッチメントを取り付け、導電性粒子群の流動を変えることでも出来る。また、スクリューアーム3c’に昇降機構を設け、導電性粒子群Pに対する挿し込み深さを変え、より細かく導電性粒子P’の動きを調整することも出来る。
以上、本発明のめっき装置について、第1及び第2実施形態を用いて説明してきたが、本発明の構成はこれに限定されるものではない。例えば、本実施形態の電極ユニット5では、電極とめっき液の給排機構をユニット化しているが、これらは別々に設けても良く、アームに支持される電極ユニットを電極(陽極及び陰極)だけの構成にすることも出来る。
1 めっき装置
2 めっき容器
2a 底部
2aa 内底
2ab 外底
2b 側壁
2c センターコラム(凸部)
2d 軸部
2e 自転用歯車
3 架台
3a ベースプレート
3aa 開口部
3b 内歯歯車
3c 固定アーム
3c’ スクリューアーム
3d アームフィーダ
4 駆動部
4a モータ
4aa モータ軸
4b 駆動歯車
4c 従動歯車
4d 公転ホルダ
4da 軸部
4e、4f 軸受
4g 軸受ケース
5 電極ユニット
5a 陽極
5b 陰極
5c 陽極接続線
5d 陰極接続線
5e めっき液供給口
5f めっき液供給管
5g めっき液排出口
5h めっき液排出管
5j 筐体
A 第1の軸線
B 第2の軸線
C 伸縮アームの回転軸
L めっき液
P 導電性粒子
S 交わり空間
2 めっき容器
2a 底部
2aa 内底
2ab 外底
2b 側壁
2c センターコラム(凸部)
2d 軸部
2e 自転用歯車
3 架台
3a ベースプレート
3aa 開口部
3b 内歯歯車
3c 固定アーム
3c’ スクリューアーム
3d アームフィーダ
4 駆動部
4a モータ
4aa モータ軸
4b 駆動歯車
4c 従動歯車
4d 公転ホルダ
4da 軸部
4e、4f 軸受
4g 軸受ケース
5 電極ユニット
5a 陽極
5b 陰極
5c 陽極接続線
5d 陰極接続線
5e めっき液供給口
5f めっき液供給管
5g めっき液排出口
5h めっき液排出管
5j 筐体
A 第1の軸線
B 第2の軸線
C 伸縮アームの回転軸
L めっき液
P 導電性粒子
S 交わり空間
Claims (3)
- 内部に陽極と陰極とを配するめっき容器が、第1の軸線を中心に自転すると共に、該第1の軸線と平行な第2の軸線周りに公転するめっき装置であって、
前記陽極と前記陰極とが、前記めっき容器の公転軌跡外側から伸びるアームにより支持されていることを特徴とする導電性粒子のめっき装置。 - 前記アームの駆動により、前記陽極と前記陰極とが、前記めっき容器の公転に追従して移動することを特徴とする請求項1に記載の導電性粒子のめっき装置。
- 前記陽極と前記陰極とが、前記めっき容器の公転外周側を維持するように移動することを特徴とする請求項2に記載の導電性粒子のめっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013170211A JP2015040310A (ja) | 2013-08-20 | 2013-08-20 | めっき装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013170211A JP2015040310A (ja) | 2013-08-20 | 2013-08-20 | めっき装置 |
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JP (1) | JP2015040310A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112725867A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-04-30 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构工作方法 |
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2013
- 2013-08-20 JP JP2013170211A patent/JP2015040310A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112725867A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-04-30 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构工作方法 |
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