JP2015033087A - 音叉型振動片及び振動デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、電極の短絡を防ぐと共に、振動効率が改善された音叉型振動片及び振動デバイスを提供する。
【解決手段】音叉型振動片(100)では、圧電体からなる基部(110)と、基部から所定方向に平行に複数伸び、第1面と該第1面に対向して形成された第2面とを有する腕部(120)と、腕部の各々の第1面上に直接設けられ所定方向に伸びる第1圧電体膜(132)と、第1圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第1電極膜(131)と、第1電極膜と対向して腕部の各々の第2面上に直接設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第2電極膜(133)と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】音叉型振動片(100)では、圧電体からなる基部(110)と、基部から所定方向に平行に複数伸び、第1面と該第1面に対向して形成された第2面とを有する腕部(120)と、腕部の各々の第1面上に直接設けられ所定方向に伸びる第1圧電体膜(132)と、第1圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第1電極膜(131)と、第1電極膜と対向して腕部の各々の第2面上に直接設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第2電極膜(133)と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、複数の腕部を有する音叉型振動片及び振動デバイスに関する。
複数の腕部と、腕部の一端が連結される基部と、腕部の一面上に形成される圧電体素子と、を有する音叉型振動子が知られている。圧電体素子は、圧電体膜と圧電体膜を挟むように形成される一対の電極膜とにより構成される。このような音叉型振動子では、小型化に伴う温度特性の低下が抑制され、腕部の本数を奇数とし隣接する腕部を互い違いに上下振動させることによりQ値が高められる。
しかし、圧電体膜が薄膜の場合には圧電体膜に微小なピンホールが存在することがあり、ピンホールを介して圧電体膜を挟む一対の電極膜同士が短絡する可能性がある。これに対して例えば特許文献1では、圧電体膜の少なくとも一面に絶縁体層を設けることによりこのような短絡を防いでいる。
しかし、特許文献1では絶縁体層を設けることにより音叉型振動片の製造工程の数が増加し、製造コストが増加してしまう。また、Zカットの音叉型水晶振動片の場合には腕部自体に伸びる動きと縮む動きとがあるため効率よく腕部を屈曲することができていたが、特許文献1のように腕部の一面上に圧電体素子が形成される場合には、腕部が圧電体膜の収縮のみで厚み方向に振動するため、振動効率が悪かった。
本発明では、製造工程数を増やすことなく電極の短絡を防ぐと共に、振動効率が改善された音叉型振動片及び振動デバイスを提供することを目的とする。
第1観点の音叉型振動片では、圧電体からなる基部と、基部から所定方向に平行に複数伸び、第1面と該第1面に対向して形成された第2面とを有する腕部と、腕部の各々の第1面上に直接設けられ所定方向に伸びる第1圧電体膜と、第1圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第1電極膜と、第1電極膜と対向して腕部の各々の第2面上に直接設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第2電極膜と、を備える。
第2観点の音叉型振動片では、第1観点において、第1圧電体膜がZnO、AlN、PZT、LiNbO3及びKNbO3の何れかを含む膜である。
第3観点の音叉型振動片では、第1観点及び第2観点において、基部及び腕部の圧電体がXカット水晶である。
第4観点の音叉型振動片では、第1観点から第3観点において、腕部に3以上の奇数本が配列され、腕部のうち、端から数えて奇数番目に配置された腕部を第1腕部とし、偶数番目に配置された腕部を第2腕部としたときに、第1腕部の第1電極膜と第2腕部の第2電極膜とが相互に電気的に接続され、かつ、第1腕部の第2電極膜と第2腕部の第1電極膜とが相互に電気的に接続されている。
第5観点の音叉型振動片では、第1観点から第4観点において、第1圧電体膜と平行に所定方向に伸びる第2圧電体膜と、第2圧電体膜の面上に設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第3電極膜と、第3電極膜と対向して腕部の各々の第2面上に直接設けられ所定方向に伸びる導電材料からなる第4電極膜と、を備え、第1電極膜及び第2電極膜は、腕部を屈曲振動させる駆動用の電極であり、第3電極膜及び第4電極膜は、音叉型振動片の屈曲振動により発生する圧電歪を検出する検出用の電極である。
第6観点の振動デバイスでは、第1観点から第5観点に記載の音叉型振動片と、音叉型振動片を気密に収納するパッケージとを備える。
本発明の音叉型振動片及び振動デバイスによれば、製造工程数を増やすことなく電極の短絡が防がれると共に、振動効率が改善される。
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
(第1実施形態)
<音叉型振動片100の構成>
図1(a)は、音叉型振動片100の斜視図である。音叉型振動片100は、基部110と、基部110に連結される3本の腕部120と、各腕部120に形成されている圧電体素子130と、を含んでいる。以下の説明では、腕部120が伸びる方向をY軸方向、各腕部120が並ぶ方向をX軸方向、X軸方向とY軸方向とに垂直な方向をZ軸方向として説明する。
<音叉型振動片100の構成>
図1(a)は、音叉型振動片100の斜視図である。音叉型振動片100は、基部110と、基部110に連結される3本の腕部120と、各腕部120に形成されている圧電体素子130と、を含んでいる。以下の説明では、腕部120が伸びる方向をY軸方向、各腕部120が並ぶ方向をX軸方向、X軸方向とY軸方向とに垂直な方向をZ軸方向として説明する。
各腕部120は、基部110から+Y軸方向に伸びており、基部110と一体的に形成されている。基部110及び腕部120は、所定の振動特性を有する圧電体で構成される。圧電体としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が用いられる。水晶では、Xカットの水晶が用いられるが、ATカット及びZカット等であっても良い。以下、説明のために、−X軸側の腕部120を腕部120aとし、中央の腕部120を腕部120bとし、+X軸側の腕部120を腕部120cとする。また、腕部120aに形成される圧電体素子130を圧電体素子130aとし、同様に、腕部120bには圧電体素子130bが形成され、腕部120cには圧電体素子130cが形成されているとする。なお、図1(a)では、基部110上にも電極が形成されるが、これらの電極は図示されていない。
図1(b)は、図1(a)のA−A断面図である。各腕部120の+Z軸側の面には第1圧電体膜132が形成され、第1圧電体膜132上には第1電極膜131が形成され、各腕部120の−Z軸側の面には第2電極膜133が形成される。各腕部120に形成される圧電体素子130は、第1電極膜131、第1圧電体膜132、及び第2電極膜133により構成される。以下の説明では、腕部120aに形成される圧電体素子130aが第1電極膜131a、第1圧電体膜132a、及び第2電極膜133aにより構成されるとし、同様に、腕部120bに形成される圧電体素子130bが第1電極膜131b、第1圧電体膜132b、及び第2電極膜133bにより構成され、腕部120cに形成される圧電体素子130cが第1電極膜131c、第1圧電体膜132c、及び第2電極膜133cにより構成されるとする。
また、基部110上には接続端子134a及び接続端子134bが形成される。接続端子134bは第1電極膜131aと、第2電極膜133bと、第1電極膜131cとに導通しており、接続端子134aは第2電極膜133aと、第1電極膜131bと、第2電極膜133cとに導通している。音叉型振動片100では、接続端子134a及び接続端子134bの間に交番電圧が印加された場合に、腕部120bと、腕部120a及び腕部120cと、がZ軸方向に互い違いになるように振動する。
第1圧電体膜132は、例えばZnO、AlN、PZT、LiNbO3及びKNbO3により構成される。また、第1電極膜131及び第2電極膜133は導電材料により形成される。具体的には、第1電極膜131は例えばAl等、第2電極膜133は例えばPt、Mo等により形成される。
基部110及び腕部120を構成する圧電体にXカットの水晶が用いられ、第1電極膜131及び第2電極膜133に交番電圧が印加された場合には、各腕部120を構成するXカットの水晶はY軸方向に伸張振動し、第1圧電体膜132もY軸方向に伸張収縮する。このとき、音叉型振動片100に用いられるXカットの水晶は、腕部120がY軸方向に伸びるときにその腕部120に形成される第1圧電体膜132がY軸方向に収縮し、腕部120がY軸方向に収縮するときにその腕部120に形成される第1圧電体膜132がY軸方向に伸びるように結晶軸方向が調整されて配置される。すなわち、腕部120と第1圧電体膜132とが、腕部120a及び腕部120cがY軸方向に伸張するときに第1圧電体膜132a及び第1圧電体膜132cが収縮し、同時に腕部120bがY軸方向に収縮して第1圧電体膜132bが伸張するように形成される。音叉型振動片100では同一の腕部120内で伸びる動きと縮む動きとが行われることにより、各腕部120がZ軸方向である上下方向に屈曲振動し易くなり振動効率が改善される。
(第2実施形態)
音叉型振動片の各腕部には、各腕部を屈曲振動させる駆動用の圧電体素子が形成されると共に、腕部の屈曲振動により発生する圧電歪を電荷に変換して出力する検出用の圧電体素子が形成されていても良い。以下に検査用の圧電体素子が形成された音叉型振動片について説明する。また、以下の説明では第1実施形態と同様の部分に関しては第1実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
音叉型振動片の各腕部には、各腕部を屈曲振動させる駆動用の圧電体素子が形成されると共に、腕部の屈曲振動により発生する圧電歪を電荷に変換して出力する検出用の圧電体素子が形成されていても良い。以下に検査用の圧電体素子が形成された音叉型振動片について説明する。また、以下の説明では第1実施形態と同様の部分に関しては第1実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
<音叉型振動片200の構成>
図2(a)は、音叉型振動片200の斜視図である。音叉型振動片200は、基部110と、基部110に連結される3本の腕部120と、各腕部120に形成されている駆動用の圧電体素子230と、各腕部120に形成されている検出用の圧電体素子240と、を含んで形成される。図2(a)では、腕部120aには駆動用の圧電体素子230a及び検出用の圧電体素子240aが形成され、腕部120bには駆動用の圧電体素子230b及び検出用の圧電体素子240bが形成され、腕部120cには駆動用の圧電体素子230c及び検出用の圧電体素子240cが形成されている。駆動用の圧電体素子230は各腕部120の−X軸側に形成され、検出用の圧電体素子240は各腕部120の+X軸側に形成されている。また、各駆動用の圧電体素子230及び検出用の圧電体素子240は、各腕部120において+Z軸側及び−Z軸側の面をY軸方向に伸びるように形成されている。
図2(a)は、音叉型振動片200の斜視図である。音叉型振動片200は、基部110と、基部110に連結される3本の腕部120と、各腕部120に形成されている駆動用の圧電体素子230と、各腕部120に形成されている検出用の圧電体素子240と、を含んで形成される。図2(a)では、腕部120aには駆動用の圧電体素子230a及び検出用の圧電体素子240aが形成され、腕部120bには駆動用の圧電体素子230b及び検出用の圧電体素子240bが形成され、腕部120cには駆動用の圧電体素子230c及び検出用の圧電体素子240cが形成されている。駆動用の圧電体素子230は各腕部120の−X軸側に形成され、検出用の圧電体素子240は各腕部120の+X軸側に形成されている。また、各駆動用の圧電体素子230及び検出用の圧電体素子240は、各腕部120において+Z軸側及び−Z軸側の面をY軸方向に伸びるように形成されている。
図2(b)は、図2(a)のB−B断面図である。各腕部120の+Z軸側の面には駆動用の第1圧電体膜232及び検出用の第2圧電体膜242が形成され、第1圧電体膜232及び第2圧電体膜242上には第1電極膜231及び第3電極膜241が形成され、各腕部120の−Z軸側の面には第1電極膜231及び第3電極膜241に対応するように第2電極膜233及び第4電極膜243が形成される。また、各腕部120に形成される駆動用の圧電体素子230は、第1電極膜231、第1圧電体膜232、及び第2電極膜233を含んで構成され、検出用の圧電体素子240は、第3電極膜241、第2圧電体膜242、及び第4電極膜243を含んで構成される。以下の説明では、腕部120aに形成される駆動用の圧電体素子230aが第1電極膜231a、第1圧電体膜232a、及び第2電極膜233aにより構成されるとし、同様に、腕部120bに形成される駆動用の圧電体素子230bが第1電極膜231b、第1圧電体膜232b、及び第2電極膜233bにより構成され、腕部120cに形成される駆動用の圧電体素子230cが第1電極膜231c、第1圧電体膜232c、及び第2電極膜233cにより構成されるとする。また、腕部120aに形成される検出用の圧電体素子240aが第3電極膜241a、第2圧電体膜242a、及び第4電極膜243aにより構成されるとし、同様に、腕部120bに形成される検出用の圧電体素子240bが第3電極膜241b、第2圧電体膜242b、及び第4電極膜243bにより構成され、腕部120cに形成される検出用の圧電体素子240cが第3電極膜241c、第2圧電体膜242c、及び第4電極膜243cにより構成されるとする。
各腕部120は駆動用の圧電体素子230により振動させられ、検出用の圧電体素子240により屈曲振動により発生する圧電歪が検出される。これにより、音叉型振動片200は、加速度の変化に伴う周波数の変化を検出用の圧電体素子240により検出することによって加速度センサとして用いることができる。
第1圧電体膜232は例えばPZTにより形成され、第2圧電体膜242は例えばZnOにより形成される。PZTはZnOと比べて圧電歪定数が高い。圧電歪定数は印加電圧に対する変位量を示す値であり、圧電歪定数が高いPZTを駆動用の圧電体素子230に用いることにより腕部120の変位量を大きくすることができる。また、ZnOはPZTと比べて圧電出力係数が高い。圧電出力係数は加えた力に対する出力電圧の大きさに係る係数であり、検出用の圧電体素子240に圧電出力係数が高いZnOを用いることにより出力電圧を大きくすることができる。
基部110上には接続端子234a、接続端子234b、接続端子244a、及び接続端子244bが形成される。接続端子234aは第1電極膜231b、第2電極膜233a、及び第2電極膜233cに電気的に接続されており、接続端子234bは第1電極膜231a、第2電極膜233b、及び第1電極膜231cに電気的に接続されている。図2(b)では、接続端子234a又は接続端子234bに接続される配線が実線で示されている。また、接続端子244aは第3電極膜241a、第4電極膜243b、及び第3電極膜241cに電気的に接続されており、接続端子244bは第4電極膜243a、第3電極膜241b、及び第4電極膜243cに電気的に接続されている。図2(b)では、接続端子244a又は接続端子244bに接続される配線が点線で示されている。
音叉型振動片200は、接続端子234aと接続端子234bとの間に交番電圧が印加された場合に、腕部120bと、腕部120a及び腕部120cとがZ軸方向に互い違いの向きにZ軸方向の上下振動をする。また、加速度の変化に伴う振動の周波数の変化が接続端子244a及び接続端子244bの出力電圧に反映される。これにより、音叉型振動片200が加速度を検出することができる。
(第3実施形態)
音叉型振動片の腕部の本数は、3本より多い奇数本とすることができる。以下に腕部の本数が5本である音叉型振動片300に関して説明する。また、以下の説明では第1実施形態及び第2実施形態と同様の部分に関しては第1実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
音叉型振動片の腕部の本数は、3本より多い奇数本とすることができる。以下に腕部の本数が5本である音叉型振動片300に関して説明する。また、以下の説明では第1実施形態及び第2実施形態と同様の部分に関しては第1実施形態と同様の符号を付してその説明を省略する。
<音叉型振動片300の構成>
図3(a)は、音叉型振動片300の斜視図である。音叉型振動片300は、基部310と、基部310に連結される5本の腕部320と、各腕部320に形成されている圧電体素子330と、を含んで形成される。図3(a)では、説明のために各腕部320を−X軸側から腕部320a、腕部320b、腕部320c、腕部320d、腕部320eとし各腕部に形成される圧電体素子330をX軸側から、圧電体素子330a、圧電体素子330b、圧電体素子330c、圧電体素子330d、圧電体素子330eとしている。
図3(a)は、音叉型振動片300の斜視図である。音叉型振動片300は、基部310と、基部310に連結される5本の腕部320と、各腕部320に形成されている圧電体素子330と、を含んで形成される。図3(a)では、説明のために各腕部320を−X軸側から腕部320a、腕部320b、腕部320c、腕部320d、腕部320eとし各腕部に形成される圧電体素子330をX軸側から、圧電体素子330a、圧電体素子330b、圧電体素子330c、圧電体素子330d、圧電体素子330eとしている。
図3(b)は、図3(a)のC−C断面図である。各腕部320の+Z軸側の面には第1圧電体膜332が形成され、第1圧電体膜332上には第1電極膜331が形成される。また、各腕部320の−Z軸側の面には第1電極膜331に対応するように第2電極膜333が形成される。各腕部320に形成される圧電体素子330は、第1電極膜331、圧電体膜332、及び第2電極膜333を含んで構成される。以下の説明では、腕部320aに形成される圧電体素子330aが第1電極膜331a、第1圧電体膜332a、及び第2電極膜333aにより構成されるとする。同様に、腕部320bに形成される圧電体素子330bが第1電極膜331b、第1圧電体膜332b、及び第2電極膜333bにより構成され、腕部320cに形成される圧電体素子330cが第1電極膜331c、第1圧電体膜332c、及び第2電極膜333cにより構成され、腕部320dに形成される圧電体素子330dが第1電極膜331d、第1圧電体膜332d、及び第2電極膜333dにより構成され、腕部320eに形成される圧電体素子330eが第1電極膜331e、第1圧電体膜332e、及び第2電極膜333eにより構成されるとする。
基部310上には接続端子334a及び接続端子334bが形成される。接続端子334aは第1電極膜331a、第2電極膜333b、第1電極膜331c、第2電極膜333d、及び第1電極膜331eに電気的に接続されており、接続端子334bは第2電極膜333b、第1電極膜331b、第2電極膜333c、第1電極膜331d、及び第2電極膜333eに電気的に接続されている。音叉型振動片300は、接続端子334aと接続端子334bとの間に交番電圧が印加された場合に、腕部320a、腕部320c、及び腕部320eと、腕部320b及び腕部320dと、がZ軸方向に互い違いに振動する。
音叉型振動片300では、腕部320a、腕部320c、及び腕部320eがY軸方向に伸張するときに第1圧電体膜332a、第1圧電体膜332c、及び第1圧電体膜332eが収縮し、同時に腕部320b及び腕部320dがY軸方向に収縮して第1圧電体膜332b及び第1圧電体膜332dが伸張するように腕部320及び第1圧電体膜332が形成される。これにより、音叉型振動片300では、音叉型振動片100と同様に同一の腕部320内で伸びる動きと縮む動きとが行われるため、各腕部320がZ軸方向である上下方向に屈曲振動し易くなり振動効率が改善される。
(第4実施形態)
第1実施形態から第3実施形態で示された音叉型振動片は、パッケージに収容されて振動デバイスとして形成される。以下に、このような振動デバイス400について説明する。
第1実施形態から第3実施形態で示された音叉型振動片は、パッケージに収容されて振動デバイスとして形成される。以下に、このような振動デバイス400について説明する。
<振動デバイス400の構成>
図4は、振動デバイス400の断面図である。図4は、図1(a)のD−D断面を含んでいる。振動デバイス400は、パッケージ410と、パッケージ410内に載置される音叉型振動片100と、音叉型振動片100をパッケージ410内に密封するリッド板420と、を有している。パッケージ410の+Z軸側の面には、−Z軸側に凹んだ凹部411が形成され、音叉型振動片100は凹部411に載置される。また、凹部411はリッド板420により密封される。
図4は、振動デバイス400の断面図である。図4は、図1(a)のD−D断面を含んでいる。振動デバイス400は、パッケージ410と、パッケージ410内に載置される音叉型振動片100と、音叉型振動片100をパッケージ410内に密封するリッド板420と、を有している。パッケージ410の+Z軸側の面には、−Z軸側に凹んだ凹部411が形成され、音叉型振動片100は凹部411に載置される。また、凹部411はリッド板420により密封される。
パッケージ410は、例えば第1層410aと、第1層410aの+Z軸側の面に形成される第2層410bと、により形成される。第1層410aの−Z軸側の面には、振動デバイス400をプリント基板等に実装する場合にプリント基板等と電気的に接続される一対の実装電極412が形成される。また、第1層410aの+Z軸側の面には一対の接続電極413が形成される。接続電極413と実装電極412とはそれぞれ第1層410aを貫通する貫通電極414を介して互いに電気的に接続されている。第2層410bは、中央領域がZ軸方向に貫通した層であり、凹部411の側面を形成する層である。
音叉型振動片100は、凹部411に形成される一対の接続電極413に接続端子134a及び接続端子134b(図1(b)参照)が導電性接着剤432を介してそれぞれ電気的に接続されることにより、凹部411に載置される。音叉型振動片100が載置された凹部411は、リッド板420が封止材431を介して第2層410bの+Z軸側の面に載置されることにより密封されている。
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
100、200、300 … 音叉型振動片
110、310 … 基部
120、120a、120b、120c、320、320a、320b、320c、320d、320e … 腕部
130、130a、130b、130c、330、330a、330b、330c、330d、330e … 圧電体素子
131、131a、131b、131c、231、231a、231b、231c、331a、331b、331c、331d、331e … 第1電極膜
132、132a、132b、132c、232、232a、232b、232c、332a、332b、332c、332d、332e … 第1圧電体膜
133、133a、133b、133c、233、233a、233b、233c、333a、333b、333c、333d、333e … 第2電極膜
134a、134b、234a、234b、244a、244b、334a、334b … 接続端子
230、230a、230b、230c … 駆動用の圧電体素子
240、240a、240b、240c … 検出用の圧電体素子
241、241a、241b、241c … 第3電極膜
242、242a、242b、242c … 第2圧電体膜
243、243a、243b、243c … 第4電極膜
400 … 振動デバイス
410 … パッケージ
410a … 第1層
410b … 第2層
411 … 凹部
412 … 実装電極
413 … 接続電極
414 … 貫通電極
420 … リッド板
431 … 封止材
432 … 導電性接着剤
110、310 … 基部
120、120a、120b、120c、320、320a、320b、320c、320d、320e … 腕部
130、130a、130b、130c、330、330a、330b、330c、330d、330e … 圧電体素子
131、131a、131b、131c、231、231a、231b、231c、331a、331b、331c、331d、331e … 第1電極膜
132、132a、132b、132c、232、232a、232b、232c、332a、332b、332c、332d、332e … 第1圧電体膜
133、133a、133b、133c、233、233a、233b、233c、333a、333b、333c、333d、333e … 第2電極膜
134a、134b、234a、234b、244a、244b、334a、334b … 接続端子
230、230a、230b、230c … 駆動用の圧電体素子
240、240a、240b、240c … 検出用の圧電体素子
241、241a、241b、241c … 第3電極膜
242、242a、242b、242c … 第2圧電体膜
243、243a、243b、243c … 第4電極膜
400 … 振動デバイス
410 … パッケージ
410a … 第1層
410b … 第2層
411 … 凹部
412 … 実装電極
413 … 接続電極
414 … 貫通電極
420 … リッド板
431 … 封止材
432 … 導電性接着剤
Claims (6)
- 圧電体からなる基部と、
前記基部から所定方向に平行に複数伸び、第1面と該第1面に対向して形成された第2面とを有する腕部と、
前記腕部の各々の前記第1面上に直接設けられ前記所定方向に伸びる第1圧電体膜と、
前記第1圧電体膜の面上に設けられ前記所定方向に伸びる導電材料からなる第1電極膜と、
前記第1電極膜と対向して前記腕部の各々の前記第2面上に直接設けられ前記所定方向に伸びる導電材料からなる第2電極膜と、
を備える音叉型振動片。 - 前記第1圧電体膜がZnO、AlN、PZT、LiNbO3及びKNbO3の何れかを含む膜である請求項1に記載の音叉型振動片。
- 前記基部及び前記腕部の圧電体がXカット水晶である請求項1又は請求項2に記載の音叉型振動片。
- 前記腕部は3以上の奇数本が配列され、
前記腕部のうち、端から数えて奇数番目に配置された前記腕部を第1腕部とし、偶数番目に配置された前記腕部を第2腕部としたときに、
前記第1腕部の前記第1電極膜と前記第2腕部の前記第2電極膜とが相互に電気的に接続され、かつ、前記第1腕部の前記第2電極膜と前記第2腕部の前記第1電極膜とが相互に電気的に接続された請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の音叉型振動片。 - 前記第1圧電体膜と平行に前記所定方向に伸びる第2圧電体膜と、
前記第2圧電体膜の面上に設けられ前記所定方向に伸びる導電材料からなる第3電極膜と、
前記第3電極膜と対向して前記腕部の各々の前記第2面上に直接設けられ前記所定方向に伸びる導電材料からなる第4電極膜と、
を備え、
前記第1電極膜及び前記第2電極膜は、前記腕部を屈曲振動させる駆動用の電極であり、
前記第3電極膜及び前記第4電極膜は、前記音叉型振動片の前記屈曲振動により発生する圧電歪を検出する検出用の電極である請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の音叉型振動片。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の音叉型振動片と、前記音叉型振動片を気密に収納するパッケージとを備える振動デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013163461A JP2015033087A (ja) | 2013-08-06 | 2013-08-06 | 音叉型振動片及び振動デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013163461A JP2015033087A (ja) | 2013-08-06 | 2013-08-06 | 音叉型振動片及び振動デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015033087A true JP2015033087A (ja) | 2015-02-16 |
Family
ID=52518046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013163461A Pending JP2015033087A (ja) | 2013-08-06 | 2013-08-06 | 音叉型振動片及び振動デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015033087A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016175218A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
US10659004B2 (en) | 2015-04-27 | 2020-05-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonator and resonance device |
US10790800B2 (en) | 2015-04-27 | 2020-09-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonator and resonance device |
US10812046B2 (en) | 2018-02-07 | 2020-10-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Micromechanical resonator having reduced size |
-
2013
- 2013-08-06 JP JP2013163461A patent/JP2015033087A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107534432A (zh) * | 2015-04-28 | 2018-01-02 | 株式会社村田制作所 | 谐振子以及谐振装置 |
JPWO2016175218A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2018-02-08 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
US10673403B2 (en) | 2015-04-28 | 2020-06-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonator and resonance device |
CN107534432B (zh) * | 2015-04-28 | 2020-06-05 | 株式会社村田制作所 | 谐振子以及谐振装置 |
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