JP2015032666A - データ処理装置、測定装置、選別装置、データ処理方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】規格値導出部12は複数の数値データの集合を統計処理することによって複数の数値データを選別するための規格範囲を導出する導出処理を実行する。選別部13は、複数の数値データのうち規格範囲から外れる数値データおよび複数の数値データのうち規格範囲内の数値データの少なくとも一方を特定する特定処理を実行する。判定部14は、複数の数値データのうち規格範囲から外れる数値データの個数が判定基準値以下であるか否かを判定する判定処理を実行する。規格値導出部12、選別部13および判定部14は、規格範囲から外れる数値データの個数が判定基準値以下であると判定されるまで、規格範囲から外れる数値データを元の集合から除外した新たな集合について、導出処理、特定処理および判定処理を繰り返し実行する。
【選択図】図4
Description
図3は、本発明の実施形態に係るデータ処理装置10のハードウェア構成を示すブロック図である。データ処理装置10は、外部から取得した複数の数値データを、後述する選別処理プログラムを実行することによって選別するものである。
[第2の実施形態]
第2の実施形態に係るデータ処理装置において、判定部14は、選別部13によって特定された規格外の数値データの発生率が、所定の判定基準値m以下であるか否かを判定する処理を行う点で、第1の実施形態に係るデータ処理装置と異なる。判定部14は、判定基準値mを、規格値導出部12において導出された規格値に基づいて導出する。具体的には、判定部14は、数値データの集合が正規分布に従うものとした場合における、規格上限値(μ+aσ)および規格下限値(μ−aσ)から外れる数値データの理論上の発生確率Pを判定基準値mとして導出する。ここで、規格外れとなる数値データの理論上の発生確率Pは上記(1)式および(2)式に従って導出することができる。
11 データ取得部
12 規格値導出部
13 選別部
14 判定部
15 出力部
100 CPU
200 ウェハメジャー装置
Claims (18)
- 複数の数値データの集合を統計処理することによって前記複数の数値データを選別するための規格範囲を導出する第1のステップと、
前記複数の数値データのうち前記規格範囲から外れる数値データおよび前記複数の数値データのうち前記規格範囲内の数値データの少なくとも一方を特定する第2のステップと、
前記複数の数値データのうち前記規格範囲から外れる数値データの個数が判定基準を満足するか否かを判定する第3のステップと、を含み、
前記第3のステップにおいて規格範囲から外れる数値データの個数が判定基準を満足すると判定されるまで、規格範囲から外れる数値データを元の集合から除外した新たな集合について前記第1のステップから前記第3のステップまでの処理を繰り返し実行することにより、所望の数値データの集合を抽出する数値データ処理方法。 - 前記規格範囲は、前記複数の数値データの集合の標準偏差に基づいて定められる請求項1に記載の数値データ処理方法。
- 前記判定基準は、前記複数の数値データの集合が正規分布に従うと仮定した場合における、前記規格範囲から外れる数値データの理論上の発生個数に基づいて定められる請求項1または2に記載の数値データ処理方法。
- 複数の数値データの集合を統計処理することによって前記複数の数値データを選別するための規格範囲を導出する第1のステップと、
前記複数の数値データのうち前記規格範囲から外れる数値データおよび前記複数の数値データのうち前記規格範囲内の数値データの少なくとも一方を特定する第2のステップと、
前記複数の数値データのうち前記規格範囲から外れる数値データの発生率が判定基準を満足するか否かを判定する第3のステップと、を含み、
前記第3のステップにおいて規格範囲から外れる数値データの発生率が判定基準を満足すると判定されるまで、規格範囲から外れる数値データを元の集合から除外した新たな集合について前記第1のステップから前記第3のステップまでの処理を繰り返し実行することにより、所望の数値データの集合を抽出する数値データ処理方法。 - 前記規格範囲は、前記複数の数値データの集合の標準偏差に基づいて定められる請求項4に記載の数値データ処理方法。
- 前記判定基準は、前記複数の数値データの集合が正規分布に従うと仮定した場合における、前記規格範囲から外れる数値データの理論上の発生確率に基づいて定められる請求項4または5に記載の数値データ処理方法。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の数値データ処理方法における各処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 複数の数値データの集合を統計処理することによって前記複数の数値データを選別するための規格範囲を導出する導出処理を実行する導出手段と、
前記複数の数値データのうち前記規格範囲から外れる数値データおよび前記複数の数値データのうち前記規格範囲内の数値データの少なくとも一方を特定する特定処理を実行する特定手段と、
前記複数の数値データのうち前記規格範囲から外れる数値データの個数が判定基準を満足するか否かを判定する判定処理を実行する判定手段と、を含み、
前記導出手段、前記特定手段および前記判定手段は、前記判定手段によって規格範囲から外れる数値データの個数が判定基準を満足すると判定されるまで、規格範囲から外れる数値データを元の集合から除外した新たな集合について、それぞれ前記導出処理、前記特定処理および前記判定処理を繰り返し実行することにより、所望の数値データの集合を抽出する数値データ処理装置。 - 前記導出手段は、前記複数の数値データの集合の標準偏差に基づいて前記規格範囲を導出する請求項8に記載の数値データ処理装置。
- 前記判定手段は、前記複数の数値データの集合が正規分布に従うと仮定した場合における、前記規格範囲から外れる数値データの理論上の発生個数に基づいて前記判定基準を設定する請求項8または9に記載の数値データ処理装置。
- 前記判定手段によって規格範囲から外れる数値データの個数が判定基準を満足すると判定された場合に、前記複数の数値データのうち、前記特定手段によって特定された全ての数値データとそれ以外の数値データとを選別した選別結果を出力する出力手段を更に含む請求項8乃至10のいずれか1項に記載の数値データ処理装置
- 複数の数値データの集合を統計処理することによって前記複数の数値データを選別するための規格範囲を導出する導出処理を実行する導出手段と、
前記複数の数値データのうち前記規格範囲から外れる数値データおよび前記複数の数値データのうち前記規格範囲内の数値データの少なくとも一方を特定する特定処理を実行する特定手段と、
前記複数の数値データのうち前記規格範囲から外れる数値データの発生率が判定基準を満足するか否かを判定する判定処理を実行する判定手段と、を含み、
前記導出手段、前記特定手段および前記判定手段は、前記判定手段によって規格範囲から外れる数値データの発生率が判定基準を満足すると判定されるまで、規格範囲から外れる数値データを元の集合から除外した新たな集合について、それぞれ前記導出処理、前記特定処理および前記判定処理を繰り返し実行することにより、所望の数値データの集合を抽出する数値データ処理装置。 - 前記導出手段は、前記複数の数値データの集合の標準偏差に基づいて前記規格範囲を導出する請求項12に記載の数値データ処理装置。
- 前記判定手段は、前記複数の数値データの集合が正規分布に従うと仮定した場合における、前記規格範囲から外れる数値データの理論上の発生確率に基づいて前記判定基準を設定する請求項12または13に記載の数値データ処理装置。
- 前記判定手段によって規格範囲から外れる数値データの発生率が判定基準を満足すると判定された場合に、前記複数の数値データのうち、前記特定手段によって特定された全ての数値データとそれ以外の数値データとを選別した選別結果を出力する出力手段を更に含む請求項12乃至14のいずれか1項に記載の数値データ処理装置
- 請求項8乃至15のいずれか1項に記載の数値データ処理装置と、
測定対象物の測定を行い、前記測定によって取得した数値データを前記数値データ処理装置に供給する測定手段と、
を含む測定装置。 - 前記測定部は、半導体装置の電気特性を測定する請求項16に記載の測定装置。
- 請求項11または15に記載の数値データ処理装置と、
前記出力手段によって出力された選別結果に基づいて前記複数の数値データの各々に対応する選別対象物を選別する選別手段と、
を含む選別装置。
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