JP2015032613A - 荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置、荷電ビーム照射位置の補正方法、フォトマスクの製造方法及び半導体装置 - Google Patents
荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置、荷電ビーム照射位置の補正方法、フォトマスクの製造方法及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015032613A JP2015032613A JP2013159230A JP2013159230A JP2015032613A JP 2015032613 A JP2015032613 A JP 2015032613A JP 2013159230 A JP2013159230 A JP 2013159230A JP 2013159230 A JP2013159230 A JP 2013159230A JP 2015032613 A JP2015032613 A JP 2015032613A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amount
- irradiation position
- charged beam
- correction
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、偏向感度の低下を改善して、より高精度な描画及び描画寸法の精度の向上を図ることができる、荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置、荷電ビーム照射位置の補正方法、これを用いたフォトマスクの製造方法及び半導体装置を提供することを目的とする。
また、前記荷電ビームによって描画される試料はフォトマスク上に形成されたレジストであり、前記荷電ビームは電子ビームであり、前記描画データは回路パターンデータであることとしてもよい。
初めに、本発明の実施形態に係る補正装置1が用いられる電子ビーム描画装置について説明する。電子ビーム描画装置20は、図1に示すように、フォトマスク10のガラス基板13上の金属製遮光膜12上に形成されたレジスト11の表面に電子ビーム6を照射して、所望の回路パターンを描画するものである。
次に、本発明の実施形態に係る補正装置1の構成を説明する。補正装置1は、上記した初期設定値を補正する補正量を算出し、制御装置4へ出力するものである。補正装置1は、図1に示すように、電子ビーム描画装置20の制御装置4に接続される演算装置2及び演算装置2に接続される記憶装置3を有する。記憶装置3は、後述する基準ずれ量を格納するものである。
演算装置2は、図2に示すように、区分処理部2aと、描画密度算出処理部2bと、抽出処理部2cと、補正量算出処理部2dとを有する。
描画密度算出処理部2bは、区分処理部2aによって区分された描画領域毎に回路パターンデータの描画密度を算出し、算出された描画領域毎の描画密度を、描画領域データとともに抽出処理部2cへ出力する。
補正量算出処理部2dは、抽出処理部2cから入力された描画領域毎の基準ずれ量に基づいて、各描画領域に電子ビーム6を照射する際、初期設定値における偏向器8の偏向量又はステージ9の移動量を補正する補正量を算出し、これを制御装置4へ出力する。
次に、基準ずれ量について説明する。基準ずれ量は、照射される電子ビーム6の照射位置の、目標照射位置からの推定ずれ量として予め設定されるものである。
まず本発明者らは、研究の結果、電子ビーム6照射時の偏向感度は、描画領域毎の描画密度、描画領域に照射される電子ビーム6の照射量及び電子ビーム6が照射されるレジスト11の材質という3つのパラメータによって変化するという知見を得た。
(b)描画密度25%の状態では、実際の照射位置RPの形状は、目標照射位置TPの形状と同じ正方形状でありかつその中心位置も同じであるが、四辺の各々の長さが目標照射位置TPの四辺よりやや小さくなっている。また時計方向に略10度回転している。
(d)描画密度75%の状態では、実際の照射位置RPの形状は、上記(b)の状態に近似している。
このような実証実験を、レジスト11の材質を変更させるとともに電子ビーム6の照射量を変化させて複数回行ったところ、上記同様に、描画密度の変化に対応して偏向感度が変化する結果となった。また電子ビーム6の他、各種のイオンビームを用いた場合も同様であった。
次に、本実施形態に係る補正装置1を用いて、電子ビーム6の照射位置を補正する電子ビーム照射位置の補正方法(以下、単に「補正方法」ともいう)を、図2を用いて説明する。また図3に、以下の各ステップ(S1〜S6)のフローチャートを示す。
まず、描画する回路パターンデータを、外部入力装置を用いて制御装置4に入力する。その後、制御装置4を用いて上記のように初期設定値を作成する。そして回路パターンデータ、電子ビーム6の照射量及びレジスト11の材質を、図2に示すように、演算装置2へ入力する(S1)。回路パターンデータは区分処理部2aに入力され、電子ビーム6の照射量及びレジスト11の材質は抽出処理部2cに入力される。
次に、描画密度算出処理部2bを用いて、区分された描画領域毎の回路パターンデータの描画密度を算出する描画密度算出処理を行う(S3)。そして、算出された描画領域毎の描画密度を、描画領域データとともに抽出処理部2cへ出力する。
そして記憶装置3を用いて、この3つのパラメータに対応する描画領域毎の基準ずれ量を抽出する(S4)。そして、抽出した基準ずれ量を補正量算出処理部2dへ出力する。
次に、制御装置4を用いて、算出された補正量を偏向器8又はステージ9の初期設定値を補正する(S6)。そして、補正された初期設定値を用いてレジスト11上に電子ビーム6を照射して回路パターンを描画する。これにより、電子ビーム6の目標照射位置を補正し、補正前に設定された当初の目標照射位置からの電子ビーム6の照射位置のずれを抑制して、偏向感度の低下を改善することができる。このようにして、本実施形態に係る電子ビーム照射位置の補正方法が構成される。
加えて、こうして得られたフォトマスク10を用いて、レジストがその上面に形成された半導体ウェーハ(不図示)を露光させた後、現像・エッチング・洗浄等の後工程を施すことにより、所望の回路パターンが形成された半導体装置を得ることができる。
本実施形態に係る補正装置及び補正方法によれば、回路パターンデータの描画密度、電子ビーム6の照射量及びレジスト11の材質という3つのパラメータを用いて、電子ビーム6の照射位置を補正する。よって、電子ビーム6をより精度よく偏向制御して照射するので、偏向感度の低下を改善して、より高精度な描画及び描画寸法の精度の向上を図ることができる。
また、本実施形態に係る照射位置補正装置を用いれば、フォトマスク10上に形成されたレジスト11に電子ビーム6を照射し、回路パターンデータに基づいた回路パターンの描画を行う。そして偏向感度の低下を改善して、より高精度な描画及び描画寸法の精度を向上させてフォトマスクを描画するので、従来よりも高精度のフォトマスクを得ることができる。
また、本実施形態に係る補正装置及び補正方法においては、レジスト11上に電子ビーム6を実際に照射して測定した電子ビーム6の大きさ及び回転角度を用いて測定する。そしてこの実測値と、シミュレーションの結果とを組み合わせて基準ずれ量を設定するので、単に実測データだけ或いは単にシミュレーションだけに基づいて設定された基準ずれ量よりも精度の高い基準ずれ量を得ることができる。
尚、本発明に係る補正装置が用いられる荷電ビーム描画装置で照射される荷電ビームは、電子ビームに限らずイオンビーム等他のビームでもよいし、描画されるのは回路パターンに限らず他の形状のものであってよい。また試料はフォトマスク上のレジストに限らず、荷電ビームが照射され加工が施される金属素材等他の試料であってよい。
また、本発明に係る補正装置が用いられる荷電ビーム描画装置で荷電ビームが照射される対象は、フォトマスクに限らずレチクル等であってもよい。また一旦回路パターンが形成されたフォトマスクの欠陥修正に用いられるものであってもよい。
また、本発明に係る補正装置とこれに接続される制御装置の構成は、本実施形態で記載された形態に限定されるものではない。例えば、演算装置2や記憶装置3が、制御装置4の中に組み込まれた構成とされたりしてもよく、適宜構成されてよい。
2 演算装置
2a 区分処理部
2b 描画密度算出処理部
2c 抽出処理部
2d 補正量算出処理部
3 記憶装置
4 制御装置
5 電子工学鏡筒
6 電子ビーム
7 電子銃
8 静電偏向器
9 ステージ
10 フォトマスク
11 レジスト
20 電子ビーム描画装置
TP 目標照射位置
RP 実際の照射位置
Claims (6)
- 荷電ビームによって描画される試料に荷電ビームを照射するビーム源と、荷電ビームを偏向する偏向器と、前記試料を移動可能に支持する支持装置と、描画データに基づいて荷電ビームの前記試料上の目標照射位置を設定し前記偏向器又は前記支持装置を制御する制御装置とを有する荷電ビーム描画装置において用いられる照射位置補正装置であって、
照射される荷電ビームの照射位置の前記目標照射位置からの推定ずれ量として、描画領域毎の描画密度、描画領域に照射される荷電ビームの照射量及び試料の材質に基づいて予め設定される基準ずれ量を格納した記憶装置と、
前記描画データを複数の描画領域に区分する区分処理部と、
当該区分された描画領域毎の描画密度を算出する描画密度算出処理部と、
当該算出された描画領域毎の描画密度、当該描画領域に照射される荷電ビームの照射量及び荷電ビームが照射される試料の材質に対応する前記基準ずれ量を前記記憶装置から抽出する抽出処理部と、
当該抽出された基準ずれ量に基づいて前記偏向器の偏向量又は前記支持装置の移動量を補正する補正量を算出する補正量算出処理部と、を有し、
前記補正量算出処理部によって算出された補正量を用いて前記設定された目標照射位置が補正されるように前記制御装置を構成したことを特徴とする荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置。 - 前記基準ずれ量は、シミュレーションによって導出した値であることを特徴とする請求項1に記載の荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置。
- 前記荷電ビームによって描画される試料はフォトマスク上に形成されたレジストであり、
前記荷電ビームは電子ビームであり、
前記描画データは回路パターンデータであることを特徴とする請求項1又は2に記載の荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置。 - 荷電ビームによって描画される試料に荷電ビームを照射するビーム源と、荷電ビームを偏向する偏向器と、前記試料を移動可能に支持する支持装置と、描画データに基づいて荷電ビームの前記試料上の目標照射位置を設定し前記偏向器又は前記支持装置を制御する制御装置と、照射される荷電ビームの照射位置の前記目標照射位置からの推定ずれ量として、描画領域毎の描画密度、描画領域に照射される荷電ビームの照射量及び試料の材質に基づいて予め設定される基準ずれ量を格納した記憶装置と、を有する荷電ビーム描画装置で用いられる照射位置の補正方法であって、
前記描画データを複数の描画領域に区分する区分処理と、
当該区分された描画領域毎の描画データの描画密度を算出する描画密度算出処理と、
当該算出された描画領域毎の描画密度、当該描画領域に照射される荷電ビームの照射量及び前記試料の材質に対応する前記基準ずれ量を前記記憶装置から抽出する抽出処理と、
当該抽出された基準ずれ量に基づいて前記偏向器の偏向量又は前記支持装置の移動量を補正する補正量を算出する補正量算出処理と、を有し、
当該算出された補正量を用いて前記目標照射位置を補正する荷電ビーム照射位置の補正方法。 - フォトマスク上に形成されたレジストに電子ビームを照射するビーム源と、電子ビームを偏向する偏向器と、前記フォトマスクを移動可能に支持する支持装置と、回路パターンデータに基づいて電子ビームの前記レジスト上の目標照射位置を設定し前記偏向器又は前記支持装置を制御する制御装置と、照射される電子ビームの照射位置の前記目標照射位置からの推定ずれ量として、描画領域毎の描画密度、描画領域に照射される電子ビームの照射量及びレジストの材質に基づいて予め設定される基準ずれ量を格納した記憶装置と、を有する電子ビーム描画装置を用いて前記レジストに回路パターンを描画してフォトマスクを製造する方法であって、
前記回路パターンデータを複数の描画領域に区分する区分処理と、
当該区分された描画領域毎の回路パターンデータの描画密度を算出する描画密度算出処理と、
当該算出された描画領域毎の描画密度、当該描画領域に照射される電子ビームの照射量及び前記レジストの材質に対応する前記基準ずれ量を前記記憶装置から抽出する抽出処理と、
当該抽出された基準ずれ量に基づいて前記偏向器の偏向量又は前記支持装置の移動量を補正する補正量を算出する補正量算出処理と、を有し、
当該算出された補正量を用いて前記設定された目標照射位置を補正することを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 請求項5に記載のフォトマスクの製造方法によって製造されたフォトマスクを用いて、当該フォトマスクに形成された回路パターンに対応するパターンが形成された半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013159230A JP2015032613A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置、荷電ビーム照射位置の補正方法、フォトマスクの製造方法及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013159230A JP2015032613A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置、荷電ビーム照射位置の補正方法、フォトマスクの製造方法及び半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015032613A true JP2015032613A (ja) | 2015-02-16 |
Family
ID=52517734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013159230A Pending JP2015032613A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置、荷電ビーム照射位置の補正方法、フォトマスクの製造方法及び半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015032613A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113767465A (zh) * | 2019-12-17 | 2021-12-07 | 株式会社新川 | 半导体装置的制造装置以及半导体装置的制造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001085303A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Toshiba Corp | 荷電ビーム露光装置及び荷電ビーム露光方法 |
JP2004312030A (ja) * | 1999-04-13 | 2004-11-04 | Etec Systems Inc | バルク加熱により基板に生じた歪みを修正するためのシステムおよび方法 |
JP2009260250A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-11-05 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
-
2013
- 2013-07-31 JP JP2013159230A patent/JP2015032613A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004312030A (ja) * | 1999-04-13 | 2004-11-04 | Etec Systems Inc | バルク加熱により基板に生じた歪みを修正するためのシステムおよび方法 |
JP2001085303A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Toshiba Corp | 荷電ビーム露光装置及び荷電ビーム露光方法 |
JP2009260250A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-11-05 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113767465A (zh) * | 2019-12-17 | 2021-12-07 | 株式会社新川 | 半导体装置的制造装置以及半导体装置的制造方法 |
CN113767465B (zh) * | 2019-12-17 | 2023-11-10 | 株式会社新川 | 半导体装置的制造装置以及半导体装置的制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8502175B2 (en) | Charged particle beam pattern forming apparatus and charged particle beam pattern forming method | |
JP6259694B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームの照射量変調係数の取得方法 | |
US8429575B2 (en) | Method for resizing pattern to be written by lithography technique, and charged particle beam writing method | |
US8466440B2 (en) | Charged particle beam drawing apparatus and control method thereof | |
JP5617947B2 (ja) | 荷電粒子線照射位置の補正プログラム、荷電粒子線照射位置の補正量演算装置、荷電粒子線照射システム、荷電粒子線照射位置の補正方法 | |
US20150041684A1 (en) | Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method | |
US20130099139A1 (en) | Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method | |
JP6253924B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
US20140138527A1 (en) | Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam dose check method | |
US8487281B2 (en) | Electron beam exposure apparatus and electron beam exposure method | |
US9006691B2 (en) | Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method using a generated frame that surrounds a first data processing block | |
JP2010250286A (ja) | フォトマスク、半導体装置、荷電ビーム描画装置 | |
JP5985852B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP6262007B2 (ja) | セトリング時間の取得方法 | |
JP2011100818A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP2015032613A (ja) | 荷電ビーム描画装置用の照射位置補正装置、荷電ビーム照射位置の補正方法、フォトマスクの製造方法及び半導体装置 | |
JP2012043988A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
US9117632B2 (en) | Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method | |
JP5758325B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP6171062B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP2016149400A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置の評価方法 | |
JP6781615B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
KR101116529B1 (ko) | 포토마스크, 반도체 장치, 하전 빔 묘화 장치 | |
JP6124617B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | |
JP2012043972A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170601 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171003 |