JP2015024937A - グラファイト膜の製造方法およびグラファイト構造体 - Google Patents
グラファイト膜の製造方法およびグラファイト構造体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015024937A JP2015024937A JP2013155759A JP2013155759A JP2015024937A JP 2015024937 A JP2015024937 A JP 2015024937A JP 2013155759 A JP2013155759 A JP 2013155759A JP 2013155759 A JP2013155759 A JP 2013155759A JP 2015024937 A JP2015024937 A JP 2015024937A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base body
- gallium
- graphite film
- graphite
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】この発明に従ったグラファイト膜の製造方法は、ベース体10の表面にガリウム体20を配置する工程と、ベース体10に炭素を含有する原料ガスを供給するとともに、ベース体10を加熱することにより、ガリウム体20が加熱されて得られた液体ガリウムとベース体10との界面にグラファイト膜を成長させる工程とを備える。
【選択図】図2
Description
図1〜図2を参照して、本発明の実施の形態によるグラファイト膜の製造方法を説明する。
次に、図1に示すグラファイト膜の製造方法を用いてグラファイト膜を製造し、その製造したグラファイト膜について、ラマンスペクトルおよびシート抵抗の測定を行なった。
次に、図4を参照して、図1および図2に示したグラファイト膜の製造方法の変形例を説明する。
図4を参照して、本変形例は、基本的に図2に示した製造装置と同様の構成を備えるが、原料ガスを生成するための原料ガス生成部が設けられている点が図2に示した製造装置とは異なっている。この原料ガス生成部は、反応管3と、反応管3の外部に設けられたヒータ4とにより構成される。反応管3の内部に樟脳(C10H16O)5を設置し、ヒータ4を用いて反応管3を加熱(200〜300℃程度)することにより、樟脳5が昇華して原料ガスが生成される。生成された原料ガスは、反応管3内部に導入されるアルゴンガスをキャリアとして石英反応管1の内部に導入される。
上述した本発明の実施の形態によるグラファイト膜の製造方法によれば、ガリウム体が加熱されて得られた液体ガリウムとベース体との界面にグラファイト膜が形成される。したがって、ベース体の表面にガリウム体を部分的に配置することで、ベース体の一部にグラファイト膜を形成することができる。また、ベース体が表面に凹凸形状を有する場合においては、その凹凸形状を覆うようにガリウム体を配置することで、凹凸形状を有するグラファイト膜を形成することも可能となる。
次に、図7を参照して、本発明の実施の形態によるグラファイト構造体の製造方法の比較例として、従来のグラファイト膜の製造方法を利用したグラファイト構造体の製造方法を説明する。比較例では、図6に示した本発明の実施の形態によるグラファイト構造体の製造方法と同様に、グラフェンデバイスの配線層を形成するものとする。
Claims (2)
- ベース体の表面にガリウム体を配置する工程と、
前記ベース体に炭素を含有する原料ガスを供給するとともに、前記ベース体を加熱することにより、前記ガリウム体が加熱されて得られた液体ガリウムと前記ベース体との界面にグラファイト膜を成長させる工程とを備える、グラファイト膜の製造方法。 - 請求項1に記載の製造方法を用いて製造され、
ベース体と、
前記ベース体の表面の少なくとも一部に形成されたグラファイト膜とを備える、グラファイト構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013155759A JP2015024937A (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | グラファイト膜の製造方法およびグラファイト構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013155759A JP2015024937A (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | グラファイト膜の製造方法およびグラファイト構造体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015024937A true JP2015024937A (ja) | 2015-02-05 |
Family
ID=52489911
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013155759A Pending JP2015024937A (ja) | 2013-07-26 | 2013-07-26 | グラファイト膜の製造方法およびグラファイト構造体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015024937A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016143999A1 (ko) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 한양대학교 산학협력단 | 박막, 그 제조 방법, 및 그 제조 장치 |
KR20160110873A (ko) * | 2015-03-09 | 2016-09-22 | 한양대학교 산학협력단 | 박막, 그 제조 방법, 및 그 제조 장치 |
WO2016175195A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 国立大学法人筑波大学 | グラフェンおよび電子素子ならびにこれらの製造方法 |
JP2017045639A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 国立大学法人 筑波大学 | グラフェン膜、電子透過電極及び電子放出素子 |
WO2019070872A1 (en) * | 2017-10-03 | 2019-04-11 | Northwestern University | INTERFACIAL BARRIERS IN GRAPHIC CONDUCTOR FOR ELECTRONIC DEVICES BASED ON LIQUID METAL |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010062333A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Fujitsu Ltd | 集積回路装置及びその製造方法 |
WO2010110153A1 (ja) * | 2009-03-27 | 2010-09-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | グラフェン膜の製造方法、電子素子の製造方法および基板へのグラフェン膜の転写方法 |
WO2012060468A1 (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-10 | 日本電気株式会社 | グラフェン基板の製造方法およびグラフェン基板 |
WO2012086233A1 (ja) * | 2010-12-21 | 2012-06-28 | 学校法人 名城大学 | グラフェン素材の製造方法及びグラフェン素材 |
CN102583359A (zh) * | 2012-04-01 | 2012-07-18 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种液态催化剂辅助化学气相沉积制备石墨烯的方法 |
JP2012246193A (ja) * | 2011-05-30 | 2012-12-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 炭素膜の形成装置、及び炭素膜の形成方法 |
US20130011574A1 (en) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | Sony Corporation | Graphene production method and graphene production apparatus |
-
2013
- 2013-07-26 JP JP2013155759A patent/JP2015024937A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010062333A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Fujitsu Ltd | 集積回路装置及びその製造方法 |
WO2010110153A1 (ja) * | 2009-03-27 | 2010-09-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | グラフェン膜の製造方法、電子素子の製造方法および基板へのグラフェン膜の転写方法 |
US20120082787A1 (en) * | 2009-03-27 | 2012-04-05 | Jun-Ichi Fujita | Method for producing graphene film, method for manufacturing electronic element, and method for transferring graphene film to substrate |
WO2012060468A1 (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-10 | 日本電気株式会社 | グラフェン基板の製造方法およびグラフェン基板 |
US20130214253A1 (en) * | 2010-11-04 | 2013-08-22 | Nec Corporation | Manufacturing method of graphene substrate and graphene substrate |
WO2012086233A1 (ja) * | 2010-12-21 | 2012-06-28 | 学校法人 名城大学 | グラフェン素材の製造方法及びグラフェン素材 |
JP2012144415A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-08-02 | Meijo Univ | グラフェン素材の製造方法及びグラフェン素材 |
JP2012246193A (ja) * | 2011-05-30 | 2012-12-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology | 炭素膜の形成装置、及び炭素膜の形成方法 |
US20130011574A1 (en) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | Sony Corporation | Graphene production method and graphene production apparatus |
JP2013014484A (ja) * | 2011-07-06 | 2013-01-24 | Sony Corp | グラフェンの製造方法及びグラフェン製造装置 |
CN102583359A (zh) * | 2012-04-01 | 2012-07-18 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种液态催化剂辅助化学气相沉积制备石墨烯的方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016143999A1 (ko) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 한양대학교 산학협력단 | 박막, 그 제조 방법, 및 그 제조 장치 |
KR20160110873A (ko) * | 2015-03-09 | 2016-09-22 | 한양대학교 산학협력단 | 박막, 그 제조 방법, 및 그 제조 장치 |
KR101696539B1 (ko) | 2015-03-09 | 2017-01-16 | 한양대학교 산학협력단 | 박막, 그 제조 방법, 및 그 제조 장치 |
KR101789006B1 (ko) | 2015-03-09 | 2017-10-20 | 한양대학교 산학협력단 | 박막, 그 제조 방법, 및 그 제조 장치 |
WO2016175195A1 (ja) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | 国立大学法人筑波大学 | グラフェンおよび電子素子ならびにこれらの製造方法 |
JP2017045639A (ja) * | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 国立大学法人 筑波大学 | グラフェン膜、電子透過電極及び電子放出素子 |
WO2019070872A1 (en) * | 2017-10-03 | 2019-04-11 | Northwestern University | INTERFACIAL BARRIERS IN GRAPHIC CONDUCTOR FOR ELECTRONIC DEVICES BASED ON LIQUID METAL |
US11057994B2 (en) | 2017-10-03 | 2021-07-06 | Northwestern University | Conductive graphene interfacial barriers for liquid metal electronics |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Tai et al. | Direct growth of graphene on silicon by metal-free chemical vapor deposition | |
US7988941B2 (en) | Graphene sheet and method of preparing the same | |
US9567223B2 (en) | Method for manufacturing graphene film, graphene film manufactured by same, electronic device comprising the graphene film | |
JP5627967B2 (ja) | グラフェンの製造方法、その製造方法により製造されたグラフェン及びそのグラフェンからなる導電性薄膜、透明電極、放熱素子または発熱素子 | |
JP2015024937A (ja) | グラファイト膜の製造方法およびグラファイト構造体 | |
US20140205763A1 (en) | Growth of graphene films and graphene patterns | |
KR100682864B1 (ko) | 탄소나노튜브의 합성을 위한 촉매층 형성방법 및 이를 이용한 탄소나노튜브 합성방법 | |
US9318295B2 (en) | Carbon nanotube patterning on a metal substrate | |
WO2012051182A2 (en) | Fabrication of single-crystalline graphene arrays | |
KR20120111400A (ko) | 3차원 그래핀 구조체, 그의 제조방법 및 전사방법 | |
KR20110014446A (ko) | 그라펜 기재 및 그의 제조방법 | |
JP2010064488A (ja) | カーボンナノチューブアレイを利用した複合体の製造方法 | |
KR20110094178A (ko) | 그라핀 필름의 제어된 성장 방법 | |
EP2763936A1 (en) | Rapid synthesis of graphene and formation of graphene structures | |
KR20110089501A (ko) | 그래핀 층 형성 방법 | |
Im et al. | Xenon Flash Lamp‐Induced Ultrafast Multilayer Graphene Growth | |
JP5269352B2 (ja) | 単層カーボンナノチューブ製造方法、半導体配線構造の製造方法、フィールドエミッションディスプレイ用電子部品の製造方法及び探針製造方法 | |
WO2014127218A1 (en) | Defect engineered multilayer epitaxial graphene growth | |
JP2011258895A (ja) | エピタキシャル成長装置及びエピタキシャルウェーハの製造方法 | |
KR20130035617A (ko) | 그래핀상의 금속 박막의 형성 방법 | |
CN108396377B (zh) | 一种高质量单层多晶石墨烯薄膜的制备方法 | |
JP2012224507A (ja) | カーボンナノチューブの形成方法及び熱拡散装置 | |
KR101308120B1 (ko) | 성장 방향이 제어된 그래핀의 제조 방법 | |
JP5618599B2 (ja) | パターンの形成方法 | |
JP2005112659A (ja) | カーボンナノチューブ製造装置及びカーボンナノチューブの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160721 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170329 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170404 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171024 |