JP2015017804A - 膜厚分布測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
予め分かっている膜厚の薄膜を有する薄膜付ウェーハを用いて、該薄膜付ウェーハの中心の反射率を測定し、該測定した反射率と予め分かっている膜厚からウェーハ中心における補正された入射角を算出する。測定対象の薄膜付ウェーハと、算出したウェーハ中心における補正された入射角を用い、該薄膜付ウェーハをライン光源に垂直なウェーハ面内方向に移動させながら、ライン光源の中心位置でのウェーハ中心線に沿った領域の膜厚分布を測定する。その後、薄膜付ウェーハを90°回転させた後、測定した領域の反射率分布をライン光源方向の各点において測定し、測定した反射率分布からライン光源方向の各点における補正された入射角を算出する。補正された入射角を用いて薄膜付ウェーハの薄膜の膜厚分布を測定する。
【選択図】 図1
Description
そのため、例えば直径300mm以上のSOIウェーハなどの薄膜付ウェーハの膜厚分布の測定を高密度で精度良く、かつ短時間で行うことが課題となっている。
ライン光源を用いたスキャン方式の分光反射法による膜厚分布測定において、光源からの入射光が薄膜で反射して検出器(カメラ)で検出される際の入射角は、光源のライン方向の各測定点で異なる。そのため、各測定点毎の入射角を予め算出し、所定値(理論入射角)に設定しておく必要がある。
このようにすれば、光源からの入射光の波長の変化に対する反射率の絶対値が十分に大きくなるので、入射角の測定精度を高めることができる。
測定対象の薄膜付ウェーハは、基板の表面上に形成された少なくとも1つの薄膜を有する。1層の薄膜を有する薄膜付ウェーハの例としては、シリコン酸化膜付きのシリコン単結晶ウェーハが挙げられる。また、2層の薄膜を有する薄膜付ウェーハの例としては、シリコン基板の上に埋め込み酸化膜(BOX膜)が形成され、その上にシリコン単結晶からなるSOI層が形成されたSOIウェーハが挙げられる。しかし、本発明はこれらのウェーハに限定されるものではなく、3層以上の薄膜構造にも適用可能である。
図2に示すように、測定装置1はライン光源2、検出器(カメラ及び分光器)3を有している。ライン光源2から線状の光が測定対象の薄膜付ウェーハWに照射される。この照射された光の反射光を検出器3で検出し、スペクトル解析することで、薄膜付ウェーハ上のライン光源方向の各測定点における薄膜の膜厚分布を測定できる。
従来の膜厚分布測定方法では、理論入射角を予め設定して膜厚分布の測定に用いているが、実際の測定系においては、光学系の幾何学的なズレが存在するので、実際の入射角と理論入射角にズレが生じてしまい、膜厚分布の測定誤差の原因となる。
そのため、光学系の幾何学的なズレなどにより生じる入射角の誤差をなくすことができ、高精度の膜厚分布の測定が可能となる。
図1に示すように、入射角の補正は、以下に示す第1の工程、第2の工程、及び第3の工程を通じて算出される。
まず、第1の工程では、予め分かっている膜厚の薄膜を有する薄膜付ウェーハを用意する。この薄膜付ウェーハは、測定対象の薄膜付ウェーハの薄膜と同じ材質の薄膜を有し、例えば、薄膜としてシリコン酸化膜を有するシリコン単結晶ウェーハ(以下、標準酸化膜付きウェーハと言う)を用意することができる。
その理由を以下に示す。反射分光法で酸化膜厚の測定精度を高めるためには、入射光の波長の変化に対して反射率の変動が大きく、反射率の絶対値が大きいことが必要である。このとき酸化膜が薄いと反射率の変動が少なく、反射率も小さくなり、測定精度を高めることができない。シリコン酸化膜の膜厚が200nm以上の場合、25〜35%の反射率が得られ、反射率の変動幅も大きくなり、測定精度を上げることができる。酸化膜厚が更に厚くなり、特に1000nm以上になると、入射光の波長の変化に対して反射率の周期的変動が顕著になるため、測定精度を更に高めることができる。
尚、シリコン酸化膜以外の薄膜に対しても反射率に関し上記と同様の傾向を示す。
このシリコン単結晶ウェーハを、図2に示すように測定装置1を用いて、ライン光源2に垂直なウェーハ面内方向Aに移動(スキャン)させながら、ライン光源2の中心位置でのウェーハ中心線に沿った(ウェーハの直径方向)領域の膜厚分布を測定する。
次に、図1に示すように、第4の工程を実施する。第4の工程では、第3の工程で算出した補正された入射角θを用いてシリコン単結晶ウェーハのシリコン酸化膜の膜厚分布を測定する。
このように、補正された入射角を用いて、ウェーハの全面の膜厚を精度良く、高いスループットで測定できる。
エリプソメータで校正された膜厚1000nmのシリコン酸化膜を有するシリコン単結晶ウェーハ(標準酸化膜付きウェーハ:直径300mm、結晶方位<100>)を用いて第1の工程を行い、ライン光源中心の入射角を求めた。
その結果、入射角は3.28度と算出され、設定値(理論入射角)の3度に比べて10%程度のズレが生じていることが判明した。
その後、第2の工程後のウェーハを90°回転し、第2の工程で膜厚分布を求めた領域の反射率をライン光源に平行な方向の各点において測定した。測定された各点の反射率と第2の工程で測定した酸化膜厚分布を用いて、ライン光源方向の各点の入射角(補正入射角)を求めた。この入射角の結果を図4に示す。
図5は、1回目の測定と2回目の測定における、ノッチと平行な方向のウェーハ中心線(すなわちライン光源に平行なウェーハ中心線)の膜厚分布とその差分を示している。
尚、2回目の測定はウェーハを180度回転させて行っているが、図5には1回目と2回目の測定位置が一致するようにプロットしてある。
入射角を補正せず、初期設定値である理論入射角の設定のまま、実施例と同一のSOIウェーハ全面のSOI膜厚測定を行った。
図4に比較例で設定した理論入射角を示す。図4に示すように、理論入射角と補正入射角の間に差があることがわかる。
尚、2回目の測定はウェーハを180度回転させて行っているが、図6には1回目と2回目の測定位置が一致するようにプロットしてある。
図6に示すように、膜厚差を示す折れ線グラフによれば、両者には±0.5nm以上の相違が見られる。これは、初期設定された理論入射角が正確でないため、ウェーハのスキャン方向により測定値が異なることを示しており、理論入射角のままで測定を行うと膜厚測定精度が低下することを示している。
Claims (2)
- 基板の表面上に形成された少なくとも1つの薄膜を有する薄膜付ウェーハの前記薄膜の膜厚分布をライン光源を用いた反射分光法によって測定する膜厚分布測定方法であって、
前記薄膜付ウェーハ上のライン光源方向の各点における入射角を補正する下記の第1の工程、第2の工程、及び第3の工程と、前記補正された入射角を用いて前記薄膜付ウェーハの薄膜の膜厚分布を測定する第4の工程を有し、
前記第1の工程において、予め分かっている膜厚の薄膜を有する薄膜付ウェーハを用いて、該薄膜付ウェーハの中心の反射率を測定し、該測定した反射率と前記予め分かっている膜厚からウェーハ中心における補正された入射角を算出し、
前記第2の工程において、前記第1の工程で用いた前記薄膜付ウェーハの薄膜と同じ材質の薄膜を有する前記膜厚分布の測定対象の薄膜付ウェーハと、前記算出したウェーハ中心における補正された入射角を用い、該薄膜付ウェーハを前記ライン光源に垂直なウェーハ面内方向に移動させながら、前記ライン光源の中心位置でのウェーハ中心線に沿った領域の膜厚分布を測定し、
前記第3の工程において、前記第2の工程後の薄膜付ウェーハを90°回転させた後、前記第2の工程で測定した領域の反射率分布を前記ライン光源方向の各点において測定し、該測定した反射率分布と前記第2の工程で測定した膜厚分布から前記ライン光源方向の各点における補正された入射角を算出することを特徴とする膜厚分布測定方法。 - 前記第1の工程において用いる薄膜付ウェーハ及び/又は前記測定対象の薄膜付ウェーハとして、エリプソメータで校正された200nm以上の膜厚のシリコン酸化膜がシリコン単結晶ウェーハの表面上に形成されたウェーハを用いることを特徴とする請求項1に記載の膜厚分布測定方法。
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