JP2015015365A - 粘着チャック装置 - Google Patents

Abstract

【課題】可動子を無接触状態で芯ブレせずに駆動させてワークを着脱自在に粘着保持する。
【解決手段】アクチュエータＡの伸縮部１０として、複数のベローズ１１，１１′が内外へ同心状に配置されるため、ベローズ１１，１１′を伸縮変形させることにより、伸縮部１０の全体が伸縮変形方向（Ｚ方向）以外のＸＹθ方向へ全く変形しないため、ベローズ１１，１１′の昇降部２０を介して可動子４０が、伸縮部１０の中心空間１２内で、伸縮変形方向（Ｚ方向）以外のＸＹθ方向へは芯ブレせずに往復動する。伸縮部１０の伸縮変形に伴い可動子４０の押圧部４１をワークＷと接触させることで、粘着部材７０による粘着保持などが行われる。これと逆の伸縮部１０の伸縮変形に伴い可動子４０の押圧部４１をワークＷから離すことで、粘着部材７０との剥離開放などが行われる。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）や有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）やフレキシブルディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造過程において、ガラス基板か又は樹脂基板などの板状ワークを粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や、このような基板などの絶縁体、導電体又は半導体ウエハなどのワーク（被処理体）を搬送する基板搬送装置などに用いられるアクチュエータが具備される粘着チャック装置に関する。

従来、この種の粘着チャック装置として、上方の加圧板に開孔を複数設け、これら開孔内にアクチュエータを備え、アクチュエータから下方に向かって伸びた軸の先に粘着部材が設けられ、アクチュエータの動作により開孔内で粘着部材が上下し、粘着部材で上基板を保持し、真空チャンバユニットの内部において、上下両基板の位置合わせをしてから貼り合わせを行い、貼り合わされた上基板から粘着部材を剥がす時は、アクチュエータにより開孔内で粘着部材を上昇（退行）させると、加圧板の開孔の周縁部が上基板の移動を阻止するので、簡単に粘着部材と上基板を引き離す基板組立装置がある（例えば、特許文献１参照）。
また、上方の加圧板に開口を複数設け、これら開口内に回転用アクチュエータと上下駆動用アクチュエータを夫々備え、回転用アクチュエータから下方に向かって伸びた回転軸の先端に粘着部材が取り付けられ、真空チャンバユニットの内部において、上下両基板の位置合わせを行いながら貼り合わせを行い、粘着部材を加圧板内に退行させる時は、粘着部材を基板面に対して回転用アクチュエータにより捻りながら、又は捻ってから上下駆動用アクチュエータにより退行させて、粘着部材を上基板から引き剥がす基板組立装置もある（例えば、特許文献２参照）。

特開２００１−１３３７４５号公報（第５頁、図７） 特開２００３−２７３５０８号公報（第３−５頁、図１−５）

ところで、フラットパネルディスプレイの基板貼り合わせ機などでは、一対の基板をミクロンオーダーの高精度で互いに位置合せし、これらの位置合わせ状態を保ったまま、基板同士の貼り合わせが高精度で行われる。
しかし乍ら、このような従来の粘着チャック装置では、特許文献１の場合、アクチュエータから伸びる軸の駆動時に、該軸がその軸方向と交差する方向にも僅かに芯ブレを生ずるため、上下基板の貼り合わせ完了後に上基板から粘着部材を剥がす際に、アクチュエータで軸及び粘着部材を上昇（退行）させると、軸の芯ブレにより上基板が下基板に対して位置ズレを起こしてしまう。
それによって、基板同士の貼り合わせ精度が低下し、歩留まりが悪くなるという問題があった。
また、特許文献２の場合には、上下基板の貼り合わせ完了後に上基板から粘着部材を剥がす際に、回転用アクチュエータで回転軸を捻りながら又は捻ってから上下駆動用アクチュエータにより退行させるため、粘着部材の回転移動に伴い上基板が下基板に対して位置ズレを起こし易いという問題があった。
さらに、特許文献２の場合には、回転軸の外周面に環状のシール材を当接させて、回転軸が上下及び回転自在にシールされると同時に回転軸の軸ブレを防止している。しかし、回転軸が上下移動及び回転移動をする度に回転軸とシール材が擦れるために、それらの摩耗によりゴミが発生し易い。
それによって、真空チャンバユニットなどの密閉空間内で基板同士の貼り合わせが行われる場合には、回転軸とシール材の摩耗で発生したゴミが基板同士の貼り合わせ箇所に混入するなど、悪影響を与えるおそれがあるという問題があった。

本発明は、このような問題に対処することを課題とするものであり、可動子を無接触状態で芯ブレせずに駆動させてワークを着脱自在に粘着保持すること、などを目的とするものである。

このような目的を達成するために本発明による粘着チャック装置は、アクチュエータがワークと対向して配置され、粘着部材を介して前記ワークが着脱自在に保持される粘着チャック装置であって、前記アクチュエータは、複数のベローズが内外へ同心状に配置される伸縮変形可能な伸縮部と、前記ベローズの昇降部から前記伸縮部の中心空間を通るように設けられ、前記ワークに向け往復動自在に支持される押圧部を有する可動子と、を備え、前記可動子は、前記伸縮部の伸縮変形と連動して前記可動子の前記押圧部を前記ワークと接触させ、前記伸縮部の逆の伸縮変形と連動して前記可動子の前記押圧部を前記ワークから離すように制御されることを特徴とする。

前述した特徴を有する本発明による粘着チャック装置は、アクチュエータの伸縮部として、複数のベローズが内外へ同心状に配置されるため、ベローズを伸縮変形させることにより、伸縮部の全体が伸縮変形方向以外の方向へ全く変形しないため、ベローズの昇降部を介して可動子が、伸縮部の中心空間内で、伸縮変形方向以外の方向へは芯ブレせずに往復動する。伸縮部の伸縮変形に伴い可動子の押圧部をワークと接触させることで、粘着部材による粘着保持などが行われる。これと逆の伸縮部の伸縮変形に伴い可動子の押圧部をワークから離すことで、粘着部材との剥離開放などが行われる。
したがって、可動子を無接触状態で芯ブレせずに駆動させてワークを着脱自在に粘着保持することができる。
その結果、アクチュエータによる軸の駆動で芯ブレが生じ易い従来の粘着チャック装置に比べ、フラットパネルディスプレイの基板貼り合わせ機などにおいて貼り合わせ完了後の粘着剥離に使用しても、アクチュエータによる基板同士の貼り合わせ精度が低下せず、歩留まりを向上させることができる。
さらに、アクチュエータによる軸の駆動でシール材との間に擦れが生じる従来の粘着チャック装置に比べ、可動子の駆動に伴ってゴミが発生しないため、真空チャンバユニットなどの密閉空間内で基板同士の貼り合わせを行っても、ゴミなどの異物が基板同士の貼り合わせ箇所に混入するなどの悪影響を防止することができる。また、擦れにより摩耗する封止部分が無いため、長期間使用しても芯ブレを起こすことなく、安定性に優れる。

本発明の実施形態に係る粘着チャック装置の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が駆動前の状態を示す縦断正面図、（ｂ）が駆動後の状態を示す縦断正面図である。 図１の（２）−（２）線に沿える横断平面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態に係る粘着チャック装置は、図１〜図２に示すように、フラットパネルディスプレイのガラス基板や樹脂基板などからなる板状のワークＷと対向してアクチュエータＡを配置することで、ワークＷが着脱自在に粘着保持されるものである。
詳しく説明すると、本発明の実施形態に係る粘着チャック装置Ａは、複数のベローズ１１，１１′が内外へ同心状に配置される伸縮変形可能な伸縮部１０と、ベローズ１１，１１′の昇降部２０から伸縮部１０の中心空間１２を通るように設けられる可動子４０と、を主要な構成要素として備えている。

伸縮部１０となる複数のベローズ１１，１１′は、環状に打ち抜き加工された多数の薄肉金属板の内周端１１ｂ，１１ｂ′と外周端１１ｃ，１１ｃ′をそれぞれ交互に固着して断面波状につなぎ合わすか、又はゴムや合成樹脂などの弾性材料で一体成形することにより、伸縮変形可能な蛇腹部１１ａ，１１ａ′が形成される。
伸縮部１０は、径寸法が異なる蛇腹部１１ａ，１１ａ′を有するベローズ１１，１１′が複数個用意され、これらベローズ１１，１１′をそれぞれ蛇腹部１１ａ，１１ａ′の中心が同じ位置となるように配置することで構成される。
これら複数のベローズ１１，１１′において、伸縮部１０の中心となる最小径の蛇腹部１１ａの内部には、中心空間１２が区画形成されている。複数のベローズ１１，１１′における大小の蛇腹部１１ａ，１１ａ′の間には、気密性に優れた環状空間１３が区画形成されている。

ベローズ１１，１１′の具体例としては、多数の薄肉金属板の内周端１１ｂ，１１ｂ′と外周端１１ｃ，１１ｃ′がそれぞれ交互に溶接された溶接ベローズを用いることが好ましい。
さらに、図１（ａ）（ｂ）及び図２に示される例では、円筒状に形成した二つのベローズ１１，１１′がその径方向へ複数それぞれ同心円上に配置されている。
また、その他の例として図示しないが、ベローズ１１，１１′として円筒状以外の角筒状に形成されたものを用いたり、三つ以上のベローズ１１，１１′をそれぞれの中心が同じ位置となるように配置したりすることも可能である。

昇降部２０は、ベローズ１１，１１′の可動端（上端）に亘って気密状に連結される板材か又はその他の形状の部材で構成され、ベローズ１１，１１′の伸縮変形に伴ってＺ方向へ往復動自在に支持されている。
さらに、昇降部２０は、他の部材に接触させることで、伸縮部１０となるベローズ１１，１１′の伸縮変形範囲を制限することが好ましい。

ベローズ１１，１１′の固定端（下端）には、それらに亘って基部３０が設けられる。基部３０は、ベローズ１１，１１′の固定端に亘って気密状に連結される板材か又はその他の形状の部材で構成され、ベローズ１１，１１′を後述するチャック本体６０に対して移動不能に固定している。
基部３０の中心部には、後述する可動子４０が挿通する通孔３１を貫通開穿している。
さらに、基部３０には、複数のベローズ１１，１１′（蛇腹部１１ａ，１１ａ′）の間に形成された環状空間１３と連通する貫通孔３２を開穿することが好ましい。

可動子４０は、昇降部２０の中心から伸縮部１０の中心となる中心空間１２を通って基部３０の通孔３１に向け延びる断面円形か、又は断面矩形などのその他の形状の棒材で構成され、伸縮部１０となるベローズ１１，１１′の伸縮変形に伴い昇降部２０と連動して、伸縮部１０の中心空間１２及び基部３０の通孔３１内でＺ方向へ往復動するように吊持されている。
さらに、可動子４０は、ワークＷに向けて往復動自在に支持される押圧部４１を有している。
押圧部４１は、可動子４０において昇降部２０との連結部位と反対側の先端にワークＷと対向するように形成され、ベローズ１１，１１′の伸縮変形によるＺ方向へ往復動で、ワークＷの表面Ｗ１に対して間接的又は直接的に接触させるように配置されている。
図１（ａ）（ｂ）に示される例では、可動子４０の押圧部４１に後述する粘着部材７０が固着され、粘着部材７０を介してワークＷの表面Ｗ１に接触させることにより、ワークＷを着脱自在に保持している。
また、その他の例として図示しないが、可動子４０の押圧部４１に粘着部材７０を固着せず、押圧部４１をワークＷの表面Ｗ１に面接触させて押し移動することも可能である。

そして、本発明の実施形態に係る粘着チャック装置におけるアクチュエータＡは、昇降部２０と対向して伸縮部１０となるベローズ１１，１１′の伸縮変形に伴い昇降部２０が当接するように設けられるストッパ５０を更に備え、ストッパ５０に昇降部２０が当接することで可動子４０を移動停止させるように構成することが好ましい。
つまり、伸縮部１０となるベローズ１１，１１′の伸縮変形に伴って昇降部２０をＺ方向へ移動させることにより、昇降部２０がストッパ５０に突き合って可動子４０の移動範囲が制限される。
ストッパ５０は、昇降部２０及び可動子４０の下限位置を設定するための下限ストッパ５１ａと、昇降部２０及び可動子４０の上限位置を設定するための上限ストッパ５２ａを有している。
下限ストッパ５１ａは、図１（ａ）（ｂ）及び図２に示される場合、伸縮部１０となるベローズ１１，１１′の外周を囲むように設けられる側壁部５１の内面に沿って段状に形成され、昇降部２０の下面２１を当接させることで、可動子４０の下方移動が停止するように構成されている。
上限ストッパ５２ａは、図１（ａ）（ｂ）及び図２に示される場合、側壁部５１の上端面に亘って昇降部２０を覆うように設けられたトッププレート５２の下面に沿って面状に形成され、昇降部２０の上面２２を当接させることで、可動子４０の上方移動が停止するように構成されている。

さらに、アクチュエータＡは、複数のベローズ１１，１１′（蛇腹部１１ａ，１１ａ′）の間に形成される環状空間１３に向けて駆動用流体Ｆを供給するための供給部６１を更に備え、供給部６１から環状空間１３への駆動用流体Ｆが供給されることでベローズ１１，１１′を同時に伸縮変形させるように構成することが好ましい。
つまり、供給部６１から駆動用流体Ｆを環状空間１３へ供給することにより、伸縮部１０となるベローズ１１，１１′が同時に伸長変形し、これと逆に環状空間１３から駆動用流体Ｆを供給部６１へ戻すことで、ベローズ１１，１１′が同時に短縮変形する。
供給部６１は、圧縮空気などの気体又は液体からなる駆動用流体Ｆが貯留される供給源（図示しない）と、駆動用流体Ｆの供給源からベローズ１１，１１′間の環状空間１３に亘って形成される供給路６１ａと、供給路６１ａを経て供給源及び環状空間１３に亘り駆動用流体Ｆを一方向のみに供給するか又は双方向へ出し入れするためのポンプなどの駆動手段（図示しない）と、を有している。

図１（ａ）（ｂ）及び図２に示される例では、供給部６１として、後述するチャック本体６０の内部に供給路６１ａを区画形成し、基部３０に開穿された貫通孔３２を介して供給部６１の供給路６１ａと環状空間１３が連通している。
図１（ａ）に示される状態では、ベローズ１１，１１′及び昇降部２０の自重と、ベローズ１１，１１′が有する弾性力により、蛇腹部１１ａ，１１ａ′がＺ方向へ圧縮変形し、昇降部２０がストッパ５０（下限ストッパ５１ａ）と当接することで可動子４０が下限制限で停止している。
図１（ｂ）に示される状態では、供給部６１の駆動手段が作動し、供給源から駆動用流体Ｆが供給路６１ａを経て環状空間１３に供給され、環状空間１３の内圧が上がることにより、ベローズ１１，１１′を同時にＺ方向へ膨張して伸縮変形させ、昇降部２０がストッパ５０（上限ストッパ５２ａ）と当接することで可動子４０が上限制限で停止している。
その後、環状空間１３内の駆動用流体Ｆが供給路６１ａを経て供給源に逆流させるか、又は別の逃がし通路（図示しない）から抜いて、環状空間１３の内圧を下げることにより、蛇腹部１１ａ，１１ａ′がＺ方向へ圧縮変形して、図１（ａ）に示される状態に戻される。
また、その他の例として図示しないが、チャック本体６０内の供給路６１ａや基部３０の貫通孔３２に代えて、外側に配置されるベローズ１１′の蛇腹部１１ａ′や昇降部２０に対し、供給部６１の供給管路を直接的に配管接続するなど、供給部６１としてチャック本体６０と関係なく環状空間１３に駆動用流体Ｆを供給することも可能である。

このような本発明の実施形態に係る粘着チャック装置のアクチュエータＡによると、伸縮部１０として、蛇腹部１１ａ，１１ａ′を有する複数のベローズ１１，１１′が内外へ同心状に配置されるため、ベローズ１１，１１′を伸縮変形させることにより、ベローズ１１，１１′の蛇腹部１１ａ，１１ａ′においてそれぞれの内周端１１ｂ，１１ｂ′及び外周端１１ｃ，１１ｃ′がそれぞれ交互に連結されているから、伸縮部１０の全体が伸縮変形方向（Ｚ方向）以外のＸＹθ方向へ全く変形しない。
それにより、ベローズ１１，１１′の可動端に亘って設けられる昇降部２０を介して可動子４０が、伸縮部１０の中心空間１２及び基部３０の通孔３１内で、伸縮変形方向（Ｚ方向）以外のＸＹθ方向へは芯ブレせずに往復動する。
したがって、可動子４０が無接触状態で芯ブレせずに駆動させることができる。
特に、内外へ同心状に配置される複数のベローズ１１，１１′として、多数の薄肉金属板の内周端１１ｂ，１１ｂ′と外周端１１ｃ，１１ｃ′がそれぞれ交互に溶接された溶接ベローズを用いた場合には、その軸方向（Ｚ方向）へは伸縮変形するが、それ以外のＸＹθ方向へは剛性が高くて変形せず動かないとともに、複数の溶接ベローズを内外へ同心状に配置することで更に剛性が高まるため、可動子４０の芯ブレを完全に防止できる。

さらに、昇降部２０と対向して伸縮部１０の伸縮変形に伴い昇降部２０が当接するように設けられるストッパ５０を更に備え、ストッパ５０に昇降部２０が当接することで可動子４０を移動停止させるように構成した場合には、伸縮部１０の伸縮変形に伴って昇降部２０を移動させることにより、昇降部２０がストッパ５０に突き合って可動子４０の移動範囲が制限される。
したがって、簡単な構造で可動子４０の移動範囲を制限することができる。
その結果、可動子４０がワークＷなどの衝突することを防止することができて、破損事故などが発生せず、安全性の向上が図れる。

また、ベローズ１１，１１′の間に形成される環状空間１３に向けて駆動用流体Ｆを供給する供給部６１を更に備え、供給部６１から環状空間１３に駆動用流体Ｆが供給されることでベローズ１１，１１′を同時に伸縮変形させるように構成した場合には、供給部６１から駆動用流体Ｆを環状空間１３へ供給することにより、ベローズ１１，１１′が同時に伸長変形し、これと逆に環状空間１３から駆動用流体Ｆを供給部６１へ戻すことで、ベローズ１１，１１′が同時に短縮変形する。
したがって、簡単な構造で可動子４０を芯ブレせずにスムーズに往復させることができる。
その結果、長期間に亘って使用しても安定した作動が得られ、作動性に優れる。

そして、このようなアクチュエータＡを用いた本発明の実施形態に係る粘着チャック装置は、複数のアクチュエータＡをチャック本体６０にワークＷと対向してそれぞれ所定間隔毎に分散配置し、粘着部材７０を介してワークＷが着脱自在に保持されるように構成することが好ましい。さらに、粘着チャック装置は、真空雰囲気や所定の真空度に到達した雰囲気か、又は大気雰囲気などに配備されている。
なお、図１（ａ）（ｂ）及び図２に示される例では、粘着チャック装置のチャック本体６０に対して一つのアクチュエータＡのみを配置しているが、それと同様にその他のアクチュエータＡも配置されるため、図面上では他のアクチュエータＡを省略している。
チャック本体６０は、例えば金属やセラミックスなどの剛体で撓み変形しない厚さの平板状に形成された定盤などからなり、少なくともアクチュエータＡの基部３０の通孔３１と連通して可動子４０が通るように設けられる複数の連通孔６２を有している。

アクチュエータＡは、伸縮部１０となるベローズ１１，１１′の伸縮変形に伴い、すべての可動子４０の押圧部４１がチャック本体６０の保持面６０ａから同時に突出してそれぞれワークＷの表面Ｗ１と接触させ、伸縮部１０となるベローズ１１，１１′の逆の伸縮変形に伴い、すべての可動子４０の押圧部４１がチャック本体６０内へ同時に没入してそれぞれワークＷの表面Ｗ１から離すように制御されている。
つまり、チャック本体６０に分散配置される複数のアクチュエータＡにおいて、伸縮部１０となるベローズ１１，１１′を伸縮変形させることにより、すべての可動子４０の押圧部４１が連通孔６２を貫通してチャック本体６０の保持面６０ａから同時に突出し、可動子４０の押圧部４１のそれぞれがワークＷの表面Ｗ１と接触することで、粘着部材７０による粘着保持などが行われ、これと逆に伸縮部１０となるベローズ１１，１１′を伸縮変形させることにより、すべての可動子４０の押圧部４１がチャック本体６０の連通孔６２内へ同時に没入し、可動子４０の押圧部４１のそれぞれがワークＷの表面Ｗ１から離れることで、粘着部材７０との剥離開放などが行われる。

図１（ａ）（ｂ）及び図２に示される例では、複数のアクチュエータＡの可動子４０の押圧部４１にシート状の粘着部材７０をそれぞれ設けている。
図１（ａ）に示される状態では、伸縮部１０の短縮変形による可動子４０の下方移動に伴って、粘着部材７０がチャック本体６０の保持面６０ａから同時に突出移動し、すべての粘着部材７０をワークＷの表面Ｗ１へ同時に接着させて、ワークＷを粘着保持している。
図１（ｂ）に示される状態では、伸縮部１０の伸長変形による可動子４０の上方移動に伴って、粘着部材７０がチャック本体６０の連通孔６２内へ同時に没入移動し、すべての粘着部材７０をワークＷの表面Ｗ１から同時に引き剥がしてワークＷを開放している。
また、その他の例として図示しないが、可動子４０の押圧部４１に粘着部材７０を設けずに、チャック本体６０の保持面６０ａにおける連通孔６２の周縁又はその近傍に粘着部材７０を設け、伸縮部１０の伸長変形による可動子４０の没入移動に伴い、チャック本体６０の粘着部材７０をワークＷの表面Ｗ１に接着させてワークＷを粘着保持し、伸縮部１０の短縮変形による可動子４０の突出移動に伴い、ワークＷの表面Ｗ１をチャック本体６０の粘着部材７０から押し剥がしてワークＷを開放することも可能である。

このような本発明の実施形態に係る粘着チャック装置によると、チャック本体６０に分散配置される複数のアクチュエータＡにおいて、伸縮部１０を伸縮変形させることにより、すべての可動子４０の先端が連通孔６２を貫通してチャック本体６０の保持面６０ａから同時に突出し、それぞれがワークＷと接触することで、粘着部材７０による粘着保持などが行われ、これと逆に伸縮部１０を伸縮変形させることにより、すべての可動子４０の先端がチャック本体６０の連通孔６２内へ同時に没入し、それぞれがワークＷから離れることで、粘着部材７０との剥離開放などが行われる。
したがって、複数の可動子４０で芯ブレせずにワークＷを着脱自在に粘着保持することができる。
その結果、フラットパネルディスプレイの基板貼り合わせ機などにおいて貼り合わせ完了後の粘着剥離に使用しても、アクチュエータによる基板同士の貼り合わせ精度が低下せず、歩留まりを向上させることができる。
さらに、可動子４０の駆動に伴ってゴミが発生しないため、真空チャンバユニットなどの密閉空間内で基板同士の貼り合わせを行っても、ゴミなどの異物が基板同士の貼り合わせ箇所に混入するなどの悪影響を防止することができる。

次に、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
この実施例は、図１（ａ）（ｂ）及び図２に示すように、粘着チャック装置が、チャック本体６０に対し複数のアクチュエータＡの基部３０をそれぞれ気密接合させて、チャック本体６０の内部に形成される駆動用流体Ｆの供給部６１と、アクチュエータＡの基部３０に環状空間１３と通じるように設けられる貫通孔３２とが連通するように取り付けることにより、複数のアクチュエータＡの伸縮部１０の駆動経路となる駆動用流体Ｆのネットワークを構成したものである。
チャック本体６０は、その内部に形成される駆動用流体Ｆの供給部６１と、アクチュエータＡの基部３０が接触するように取り付けられる複数の取付部６３と、取付部６３に取り付けられたアクチュエータＡの基部３０の通孔３１と連通するようにそれぞれ開設される複数の連通孔６２と、取付部６３に取り付けられたアクチュエータＡの基部３０の貫通孔３２に向けて供給部６１と連通するようにそれぞれ開設される複数の供給孔６４を有している。

駆動用流体Ｆの供給部６１における供給路６１ａは、チャック本体６０に対して取り付けられる複数のアクチュエータＡを相互につなぐように形成され、供給路６１ａの一部がポンプなどの駆動手段を介して駆動用流体Ｆの供給源に配管接続されている。
アクチュエータＡの取付部６３とは、チャック本体６０に対してアクチュエータＡの基部３０をそれぞれ位置決めするための固定手段である。
図１（ａ）（ｂ）及び図２に示される例では、取付部６３として、チャック本体６０に開設される複数の係止孔６３ａと、アクチュエータＡの基部３０から係止孔６３ａに向け挿通されて係合するネジやボルトなどの締結具６３ｂを備えている。アクチュエータＡの基部３０に挿通した締結具６３ｂを係止孔６３ａに係合（螺合）させることにより、アクチュエータＡの基部３０をチャック本体６０に対して気密状に連結している。
また、その他の例として図示しないが、取付部６３として係止孔６３ａ及び締結具６３ｂに代え、それ以外の連結部材を用いて、アクチュエータＡの基部３０をチャック本体６０に対して気密状に連結することも可能である。

このような本発明の実施例に係る粘着チャック装置によると、チャック本体６０における複数の取付部６３に対し、複数のアクチュエータＡをそれぞれの基部３０が接触するように取り付けることにより、各アクチュエータＡの基部３０の通孔３１がチャック本体６０の連通孔６２と連通し、各アクチュエータＡの基部３０の貫通孔３２がチャック本体６０の供給孔６４と連通して、チャック本体６０の供給部６１から駆動用流体Ｆが、ベローズ１１，１１′間の環状空間１３へ供給されることで、各アクチュエータＡのベローズ１１，１１′がそれぞれ伸長変形する。
したがって、複数のアクチュエータＡの設置とそれらに対する駆動配管を同時に行うことができる。
その結果、一辺が数メートルの大型ワークを保持する粘着チャック装置であっても、多数のアクチュエータＡの駆動経路に複雑な配管接合などは必要なく、駆動経路を短時間で且つ確実に確保できて、作業性に優れるという利点がある。

さらに、図１（ａ）（ｂ）及び図２に示されるように、複数のアクチュエータＡの可動子４０の押圧部４１に粘着部材７０を設け、伸縮部１０の伸長変形による可動子４０の没入移動に伴い、粘着部材７０からワークＷを引き剥がして開放する場合には、図示しないが、伸縮部１０の短縮変形による可動子４０の突出移動に伴い、チャック本体６０の保持面６０ａに設けられた粘着部材７０からワークＷを押し剥がして開放する場合に比べて、粘着部材７０によるワークＷの接着面積が小さくなるため、ワークＷの変形量を制限しながら可動子４０の移動ストロークが短くてもワークＷを確実に剥離開放できる。
それにより、可動子４０の芯ブレを皆無にすることができる。
さらに、ワークＷが有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）や高精細の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのような、一対の基板の間にスペーサの無い液材が挟み込まれるものであっても、可動子４０の押し剥がしに伴う潰れを防止できる。

なお、前示実施例では、チャック本体６０の供給部６１に通じる供給孔６４と、アクチュエータＡの基部３０の貫通孔３２とをそれぞれ気密状に連通させたが、これに限定されず、アクチュエータＡにおける外側の蛇腹部１１ａ′や昇降部２０を貫通して環状空間１３と通じるように供給部６１の供給管路を直接的に配管接続するなど、供給部６１としてチャック本体６０と関係なく環状空間１３に駆動用流体Ｆを供給しても良い。

Ａ アクチュエータ １０ 伸縮部
１１，１１′ ベローズ １２ 中心空間
１３ 環状空間 ２０ 昇降部
３０ 基部 ３１ 通孔
３２ 貫通孔 ４０ 可動子
５０ ストッパ ６０ チャック本体
６１ 供給部 ６２ 連通孔
６３ 取付部 ６４ 供給孔
７０ 粘着部材 Ｆ 駆動用流体
Ｗ ワーク

このような目的を達成するために本発明による粘着チャック装置は、アクチュエータがワークと対向して配置され、粘着部材を介して前記ワークが着脱自在に保持される粘着チャック装置であって、前記アクチュエータは、複数のベローズが内外へ同心状に配置される伸縮変形可能な伸縮部と、前記ベローズの昇降部から前記伸縮部の中心空間を通るように設けられ、前記ワークに向け往復動自在に支持される押圧部を有する可動子と、前記ベローズの前記昇降部と対向して前記伸縮部の伸縮変形に伴い前記昇降部が当接するように設けられるストッパと、を備え、前記可動子は、前記伸縮部の伸縮変形と連動して前記可動子の前記押圧部を前記ワークと接触させ、前記伸縮部の逆の伸縮変形と連動して前記可動子の前記押圧部を前記ワークから離すように制御され、前記ストッパは、前記昇降部の当接に伴って前記可動子の前記押圧部が前記ワークに向かう移動を停止させる移動範囲制限部を有することを特徴とする。

Claims (4)

1. アクチュエータがワークと対向して配置され、粘着部材を介して前記ワークが着脱自在に保持される粘着チャック装置であって、
   前記アクチュエータは、複数のベローズが内外へ同心状に配置される伸縮変形可能な伸縮部と、
   前記ベローズの昇降部から前記伸縮部の中心空間を通るように設けられ、前記ワークに向け往復動自在に支持される押圧部を有する可動子と、を備え、
   前記可動子は、前記伸縮部の伸縮変形と連動して前記可動子の前記押圧部を前記ワークと接触させ、前記伸縮部の逆の伸縮変形と連動して前記可動子の前記押圧部を前記ワークから離すように制御されることを特徴とする粘着チャック装置。
2. 前記ベローズの前記昇降部と対向して前記伸縮部の伸縮変形に伴い前記昇降部が当接するように設けられるストッパを更に備え、前記ストッパに前記昇降部が当接することで前記可動子を移動停止させるように構成したことを特徴とする請求項１記載の粘着チャック装置。
3. 前記ベローズの間に形成される環状空間に向けて駆動用流体を供給する供給部を更に備え、前記供給部から前記環状空間に前記駆動用流体が供給されることで前記ベローズを同時に伸縮変形させるように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の粘着チャック装置。
4. 前記アクチュエータがチャック本体に前記ワークと対向して複数それぞれ分散配置される粘着チャック装置であって、
   前記アクチュエータは、前記ベローズの基部に前記環状空間と通じるように設けられる貫通孔を有し、
   前記チャック本体は、その内部に形成される前記駆動用流体の前記供給部と、前記アクチュエータの前記基部が接触するように取り付けられる複数の取付部と、前記取付部に取り付けられた前記アクチュエータの前記基部の通孔と連通するようにそれぞれ開設される複数の連通孔と、前記取付部に取り付けられた前記アクチュエータの前記基部の前記貫通孔に向けて前記供給部と連通するようにそれぞれ開設される複数の供給孔を有することを特徴とする請求項３記載の粘着チャック装置。

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