JP2015008262A - 光起電力素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この光起電力素子は、基板の第1主面に形成されたN導電型のN型薄膜と、硫化鉄を主成分とし、N型薄膜上に形成されたP導電型のP型薄膜と、を有する光起電力素子である。そして、N型薄膜とP型薄膜との間に、N型薄膜に較べて、酸あるいはアルカリに対する耐性の強い、バッファ層を有する。
【選択図】図1
Description
最初に、図1を参照して、本実施形態に係る光起電力素子10の概略構成について説明する。
第1実施形態では、バッファ層50として単体の硫黄薄膜を用いる例を示した。これに対して、本実施形態では、バッファ層50として硫化カドミウム(CdS)薄膜を用いる例を示す。
本実施形態では、図11〜図13を参照して、バッファ層50として硫化鉄の酸化物を含む例について説明する。
本実施形態では、P型薄膜40が酸素を含有する例について説明する。なお、P型薄膜40を除く構成要素は、上記した各実施形態を適用することができるため、詳細な説明を省略する。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
20・・・基板,21・・・ガラス板,22・・・ITO膜
30・・・N型薄膜
40・・・P型薄膜
50・・・バッファ層
60,70・・・電極
Claims (10)
- 基板(20)の第1主面(22a)に形成されたN導電型のN型薄膜(30)と、硫化鉄を主成分とし、前記N型薄膜上に形成されたP導電型のP型薄膜(40)と、を有する光起電力素子であって、
前記N型薄膜と前記P型薄膜との間に、前記N型薄膜に較べて、酸あるいはアルカリに対する耐性の強い、バッファ層(50)を有することを特徴とする光起電力素子。 - 前記バッファ層は、バンドギャップが、前記N型薄膜よりも小さく、前記P型薄膜よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の光起電力素子。
- 前記バッファ層は、
前記N型薄膜および前記P型薄膜の成分が混合した第1混合層、
前記N型薄膜に単体の硫黄が混合した第2混合層(52)、
前記P型薄膜に単体の硫黄が混合した第3混合層(53)、
前記第1混合層に単体の硫黄が混合した第4混合層、の少なくとも1つの混合層であることを特徴とする請求項2に記載の光起電力素子。 - 前記P型薄膜は、該P型薄膜がPNダイオード特性を示すような所定量の酸素を含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光起電力素子。
- 前記N型薄膜は、酸化亜鉛であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光起電力素子。
- 前記バッファ層は、硫化カドミウム、酸化チタン(IV)、酸化鉄(III)、もしくは、硫化鉄の酸化物、の少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項5に記載の光起電力素子。
- 基板の第1主面にN導電型のN型薄膜を成膜するN型薄膜成膜工程と、
該N型薄膜成膜工程の後、前記N型薄膜に積層するようにバッファ層を形成するバッファ層形成工程と、
前記N型薄膜に積層するように硫化鉄を主成分とするP型薄膜を成膜するP型薄膜成膜工程と、を備え、
前記バッファ層形成工程における前記バッファ層は、前記N型薄膜に較べて、酸あるいはアルカリに対する耐性の強い層とすることを特徴とする光起電力素子の製造方法。 - 前記P型薄膜成膜工程の後、積層された前記N型薄膜、前記バッファ層、および、前記P型薄膜を、不活性ガス中または真空中にてアニールするアニール工程を備えることを特徴とする請求項7に記載の光起電力素子の製造方法。
- 前記P型薄膜成膜工程の後、積層された前記N型薄膜、前記バッファ層、および、前記P型薄膜を、不活性ガスを吹きつけて乾燥させる乾燥工程を備えることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の光起電力素子の製造方法。
- 前記バッファ層形成工程は、硫化鉄を主成分とする前駆体膜を、前記N型薄膜に積層するように成膜する工程と、
覆われた前記前駆体膜を酸素雰囲気中においてアニールして酸化する工程と、を備えることを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の光起電力素子の製造方法。
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JP2006157028A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Palo Alto Research Center Inc | ヘテロ接合光電池 |
JP2012019021A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光電変換素子 |
JP2012031460A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 酸化物蒸着材と透明導電膜および太陽電池 |
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2013
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