JP2014520258A5 - - Google Patents
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Claims (22)
- 平面基板と、
前記平面基板上に形成され、受信した光学信号を分岐するスプリッタと、
前記平面基板上に形成され、分岐した光学信号の第１の部分を受信してサンプルへと導くサンプルアームと、
前記平面基板上に形成され、分岐した光学信号の第２の部分を受信する参照アームと、
分岐した光学信号の第１の部分とサンプルとの相互作用により生成された受信サンプル信号と分岐した光学信号の第２の部分とを干渉させることにより生成されたインターフェログラムを受信する検出素子と
を備える干渉計。 - 分岐した光学信号の第１の部分と分岐した光学信号の第２の部分との間に遅延が導入されることを特徴とする、請求項１に記載の干渉計。
- 遅延が前記参照アームに導入されることを特徴とする、請求項２に記載の干渉計。
- コントローラブルな遅延素子をさらに備え、前記遅延素子が遅延を調整するよう動作可能であることを特徴とする、請求項３に記載の干渉計。
- 前記参照アーム及びサンプルアームが有効な屈折率を有する導波路であることを特徴とする、請求項４に記載の干渉計。
- 前記コントローラブルな遅延素子が前記参照アームの一部の屈折率を調整することにより遅延が導入されることを特徴とする、請求項５に記載の干渉計。
- 前記コントローラブルな遅延素子が前記参照アームの一部の温度を変えることにより参照アームの屈折率を調整することを特徴とする、請求項６に記載の干渉計。
- 前記コントローラブルな遅延素子が電気光学的効果により前記参照アームの屈折率を調整することを特徴とする、請求項６に記載の干渉計。
- 前記参照アームが蛇行形状であることを特徴とする、請求項５に記載の干渉計。
- 前記参照アーム及びサンプルアームが、前記受信した光学信号の波長範囲で透過性を示す材料から形成されていることを特徴とする、請求項５に記載の干渉計。
- 前記材料がシリコン、酸窒化シリコン、窒化シリコン、ドープガラス、またはポリマーであることを特徴とする、請求項１０に記載の干渉計。
- インターフェログラムを受信して、受信したインターフェログラムの複数のスペクトルを表す複数の狭帯域インターフェログラムを生成するための分散素子と、前記複数の狭帯域インターフェログラムをそれぞれ受信するためのさらなる検出素子とをさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の干渉計。
- 前記検出素子が前記平面基板上に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の干渉計。
- 光学信号を生成する、前記平面基板上に形成された光源をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の干渉計。
- ファイバー入力と接続してその光学信号を受信するための入力モード変換器をさらに備えることを特徴とする、請求項１３に記載の干渉計。
- 前記受信サンプル信号を受信するために前記平面基板上に形成されたサンプルリターンアームと、前記平面基板上に形成され、サンプルリターンアーム及び参照アームに光学的に接続されてリターンサンプル信号と分岐した光学信号の第２の部分とを干渉させてインターフェログラムを生成する合成器とをさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の干渉計。
- 前記合成器が、リターンサンプル信号と分岐した光学信号の第２の部分とを干渉させることにより第２のインターフェログラムを生成し、第２のインターフェログラムが第２の検出器アレイによって受信されて、光路長の差を決定することを特徴とする、請求項１６に記載の干渉計。
- 前記合成器が、リターンサンプル信号と分岐した光学信号の第２の部分とを干渉させることにより第２のインターフェログラムを生成し、第２のインターフェログラムは前記インターフェログラムと位相がずれており、第２のインターフェログラムが第２の検出器アレイによって受信されて、第１のインターフェログラムからノイズがフィルタされた第３のインターフェログラムを生成することを特徴とする、請求項１６に記載の干渉計。
- 前記スプリッタが方向性結合器であり、前記干渉計が、参照アームの一端に光学的に接続され、前記分岐した光学信号の第２の部分を前記方向性結合器に向けて反射させる反射素子をさらに備え、前記方向性結合器が受信したサンプル信号と反射された分岐した光学信号の第２の部分とを干渉させてインターフェログラムを生成することを特徴とする、請求項１に記載の干渉計。
- 前記方向性結合器が、受信したサンプル信号と反射された分岐した光学信号の第２の部分とを干渉させて第２のインターフェログラムを生成し、第２のインターフェログラムが第２の検出素子によって受信されて光路長の差を決定することを特徴とする、請求項１９に記載の干渉計。
- 前記方向性結合器が、受信したサンプル信号と反射された分岐した光学信号の第２の部分とを干渉させて第２のインターフェログラムを生成し、前記第２のインターフェログラムが第２の検出器アレイによって受信されて、第１のインターフェログラムからノイズがフィルタされた第３のインターフェログラムを生成することを特徴とする、請求項１９に記載の干渉計。
- インターフェログラムにより受信される光学信号を生成することが可能である調節可能な光源をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載のインターフェログラム。
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