JP2014235402A - 表示パネル検査システム及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】正確な配線検査を行うことができる表示パネル検査システム及び検査方法を提供する。
【解決手段】表示パネルと、前記表示パネルの配線を検査するための検査用プローブとを含む、表示パネル検査システムであって、前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きいことを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】表示パネルと、前記表示パネルの配線を検査するための検査用プローブとを含む、表示パネル検査システムであって、前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きいことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、表示パネル検査システム及び検査方法に関する。
検査用プローブを表示パネルの複数の配線に順次接触させて検査する、所謂、接触式配線検査の技術が知られている。
図4は、従来の接触式配線検査における検査状態を説明するための図である。図4に示す通り、接触式配線検査においては、検査用プローブ13を、基板1の上に形成された配線14に順次接触するように図中の矢印方向に走査し、配線毎の欠陥の有無を検査する。
また、特許文献1には、接触式配線検査を行う表示パネルにおいて、検査用プローブを配線に接触しやすくするために、配線における検査用プローブの接触部の高さを調整する調整層を設けた構成が記載されている。
近年、表示パネルにおいては、高解像度化、小型化等に伴い、隣り合う配線の間隔は縮小される傾向にある。このような表示パネルに上記従来の技術を用いると、検査用プローブが隣り合う配線の間に位置した場合、検査用プローブが隣り合う配線に同時に接触してしまい、配線検査ができないという問題が生じる。
図5は、従来の接触式配線検査において異常な状態を説明するための図である。図5に示す通り、検査用プローブが隣り合う配線に同時に接触すると、正確な配線検査を行うことができない。このような、検査用プローブが隣り合う配線に同時に接触する状態は、主に、検査用プローブの先端部分の径よりも、配線の間隙が小さい場合に起こり得る。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、正確な配線検査を行うことができる表示パネル検査システム及び検査方法を提供することにある。
本発明の表示パネル検査システム及び検査方法は、上述した課題を解決するため、以下のような特徴を有する。
(1)表示パネルと、前記表示パネルの配線を検査するための検査用プローブとを含む、表示パネル検査システムであって、前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きい、ことを特徴とする。
(2)上記(1)に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記検査用プローブが隣り合う2つの前記検査用パッドに同時に接触しないように、前記支持部の上面の高さが設定されている、ことを特徴とする。
(3)上記(2)に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記支持部の上面の高さは、前記検査用パッドの上面の高さ以下に設定されている、ことを特徴とする。
(4)上記(3)に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記支持部の上面の高さは、前記間隙が小さいほど該支持部の上面の高さが高くなるように設定されている、ことを特徴とする。
(5)上記(1)から(4)のいずれか1項に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記配線と前記検査用パッドと前記支持部とは、同一材料で形成されている、ことを特徴とする。
(6)上記(1)から(5)のいずれか1項に記載の表示パネル検査システムにおいて、前記検査用パッドは、表示領域の外に形成される、ことを特徴とする。
(7)表示パネルの配線を検査用プローブにて検査する、表示パネル検査方法であって、前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きい、ことを特徴とする表示パネル検査方法。
本発明の表示パネル検査システム及び表示パネル検査方法によれば、検査用パッドの間隙が検査用プローブの先端部の径よりも狭い場合であっても、検査用プローブが隣り合う検査用パッドに同時に接触せず、正確な配線検査を行うことができる。
本発明に係る表示パネル検査システムについて、以下に詳細に説明する。本発明の表示パネル検査システムは、主に、表示パネル及び検査用プローブにより構成される。また、本発明に係る表示パネル検査方法は、上記検査用プローブを上記表示パネルに配置される複数の配線に順次接触させることにより行われる。
まず、本発明に係る表示パネル検査システムを構成する表示パネルについて説明する。以下では、表示パネルとして液晶表示パネルを例に説明するが、表示パネルはこれに限らず、基板上に複数の配線が配置される構成を有していればよく、例えば有機ELパネルであってもよい。
図2は、液晶表示パネルの全体を示す概略図である。図2に示す通り、液晶表示パネル6は、平行に配置された一対の基板を有している。第1の基板1、及び第2の基板2は、例えばガラスから成り、第1の基板1は、第2の基板2と比較して、その面積が大きくなるように形成される。そして、例えば、第1の基板1、及び第2の基板2は、図2に示すように、平面視で、左側辺部及び上側辺部において第1の基板1が第2の基板2から露出するように、対向して配置される。
第1の基板1上において、第2の基板2から露出する左側辺部及び上側辺部には、それぞれ複数の走査信号ドライバ7及び映像信号ドライバ8が配置される。走査信号ドライバ7は、後述するゲート線と接続され、該ゲート線に走査信号を供給する。また、映像信号ドライバ8は、後述するドレイン線と接続され、該ドレイン線に映像信号を供給する。
第1の基板1上には、複数のゲート線9及びドレイン線10が配置される。ゲート線9は、横方向に延在し縦方向に並列に配列しており、その一端は走査信号ドライバ7に電気的に接続される。また、ドレイン線10は、縦方向に延在し横方向に並列に配列しており、その一端は映像信号ドライバ8に電気的に接続される。
隣り合うゲート線9及び隣り合うドレイン線10で囲まれた矩形領域は、画素が形成される領域であり、複数の画素がマトリクス状に形成された領域全体が表示領域11である。
第1の基板1、及び第2の基板2の間には、液晶が配置される。該液晶は、その周囲を囲むシール(不図示)によって、第1の基板1、及び第2の基板2の間に封入されている。液晶表示パネルにおいては、走査信号ドライバ7からの走査信号及び映像信号ドライバ8からの映像信号に応じて画素単位で液晶の透過率が制御され、表示領域11に画像が形成される。
上記構成を有する液晶表示パネルにおいて、並列に配置された少なくとも一部の配線には、表示領域11外の一部に、検査用パッドが設けられており、更に、隣り合う該検査用パッドの間隙に支持部が配置されている。ここで、上記配線は、例えば、ゲート線9、ドレイン線10又は、コモン線(不図示)である。
図3は、液晶表示パネルの配線、検査用パッド、及び支持部について説明するための図である。検査用パッド3は、検査用プローブが配線12に接触しやすくするために設けられ、配線12と同一工程で形成される。検査用パッド3は、配線12の一部であり、その幅は配線12の幅よりも広く形成されている。
支持部4は、隣り合う検査用パッド3の間隙に形成される。また、支持部4と、配線12及び検査用パッド3とは電気的に絶縁されている。ここで、支持部4は、配線12及び検査用パッド3と同一工程、同一材料により形成される。こうすることで、支持層4の上面の高さを配線12及び検査用パッド3の上面の高さと同じにすることが容易であり、また、支持部4を形成するために別途工程を設ける必要がない。
続いて、検査用プローブ、及びこれを用いて前述した液晶表示パネルを検査する態様について説明する。
図1は、本発明の表示パネル検査システムに係る検査状態を説明するための図である。図1は、図3の検査用パッド3を検査用プローブが矢印方向に走査する場合の一点鎖線CDにおける断面を示す。
図1に示す通り、検査用プローブ5は、先端部が円弧状又は多角形状であるという特徴を有している。検査用プローブ5は、プローブ軸の先端部分の径、即ち、図1に示す鎖線ABの長さが検査用パッド3の間隙よりも大きいが、先端部が円弧状又は多角形状をしていることで、検査用パッド3と接触する部分における幅は、検査用パッド3の間隙よりも小さい。
図1では、検査用プローブ5の先端が、検査用パッド3と支持部4に同時に接触しているが、支持部4は、配線12(図3参照)及び検査用パッド3とは電気的に絶縁されているので、配線検査には影響を与えない。また、支持部4は、検査用プローブ5を支持しており、検査用プローブ5が隣り合う検査用パッド3の間隙に落ち込んで、隣り合う検査用パッド3に同時に接触することを防止している。
以上で説明した表示パネル検査システムによれば、配線の間隔が検査用プローブの先端部の径よりも小さい場合においても、検査用プローブが隣り合う検査用パッドに同時に接触することを防止し、正確に液晶表示パネルの配線検査を行うことができる。
尚、以上では、支持部4は、配線12及び検査用パッド3と同工程で形成され、支持部4の上面の高さは配線12及び検査用パッド3の上面の高さと同じである場合について説明したが、支持部の構成は、これに限らない。例えば、配線12及び検査用パッド3よりも前工程で形成される各種の層によって支持部を形成しても構わない。これについて以下に説明する。
図6は、支持部の別の構成を説明するための図である。図6は、配線12及び検査用パッド3よりも前工程で形成される、例えば、配線や電極に使用される金属層15、及び配線12及び検査用パッド3と金属層15とを絶縁する絶縁層16によって支持層を形成した場合を示す。この場合は、金属層15に対応する絶縁層16の突起部分が支持部に該当する。ここで、金属層15は、絶縁層16の一部分を他の部分よりも高くするものであれば良く、金属層に拘らず、他の絶縁層や半導体層等であっても構わない。こうした支持部を形成するには、まず、平面視で検査用パッド3の間隙となる位置に、金属層15を形成する。そして、その上に絶縁層16を形成し、絶縁層16の上に配線12及び検査用パッド3を形成する。ここで、金属層15の厚さを配線12及び検査用パッド3の厚さと同じになるように形成すれば、支持部の上面の高さは配線12及び検査用パッド3の上面の高さと同じになる。
また、例えば、支持部の上面の高さを、配線12及び検査用パッド3の上面の高さと異なるように支持部を形成しても構わない。前述したような、配線12及び検査用パッド3よりも前工程で形成される金属層15及び絶縁層16によって支持部を形成する場合においては、金属層15の厚さを変更することによって、配線12及び検査用パッド3の上面の高さに対する支持部の上面の高さを変更することができる。
図7乃至9は、支持部の高さを説明するための図である。図7は、金属層15の厚さを配線12及び検査用パッド3の厚さよりも薄く形成した場合の支持部及び検査状態を示す。図7では、支持部の上面の高さは、配線12及び検査用パッド3の上面の高さよりも低いが、検査用プローブ5の先端は支持部により支持されているので、検査用プローブ5が、隣り合う検査用パッド3に同時に接触せず、正確な配線検査を行うことができる。
また、図8は、図7と同様に、金属層15の厚さを配線12及び検査用パッド3の厚さよりも薄く形成する場合において、配線12及び検査用パッド3の間隙が更に縮小された場合の支持部及び検査状態を示す。このように、配線12および検査用パッド3の間隙が縮小されるほど、検査用プローブ5が、隣り合う検査用パッド3に同時に接触するのを防止するために必要な支持部の上面の高さは高くなる。金属層15の厚さを配線12及び検査用パッド3の厚さよりも薄く形成する場合においては、以上の様にして、隣り合う検査用パッド3の間隙の大きさに応じて、支持部の高さを設定すれば良い。
液晶表示パネルにおいては、ゲート線の配列間隔とドレイン線の配列間隔が異なる場合がある。このような場合には、その配列間隔の大きさに応じて、以上の様にして支持部の高さを設定すれば良い。例えば、ゲート線の配列間隔よりも、ドレイン線の配列間隔の方が狭い場合には、ゲート線の間隙に形成される支持部の高さよりも、ドレイン線の間隙に形成される支持部の高さが高くなるように支持部の高さを設定すれば良い。
また、図9は、金属層15の厚さを配線12及び検査用パッド3の厚さよりも厚く形成した場合の支持部及び検査状態を示す。この場合は、支持部の上面の高さは、配線12及び検査用パッド3の上面の高さよりも高くなる。よって、検査用プローブ5は、図9に示す状態から矢印の方向へ移動すると、支持部によって、配線12及び検査用パッド3よりも高い位置に支持され、検査用プローブ5は隣り合う検査用パッド3に同時に接触しない。
尚、配線12及び検査用パッド3の上面の高さと、支持部の上面の高さとを異ならせる上記構成は、図1に示した支持部4自身の高さを変更することにより実現してもよい。
1 第1の基板、2 第2の基板、3 検査用パッド、4 支持層、5、13 検査用プローブ、6 液晶表示パネル、7 走査信号ドライバ、8 映像信号ドライバ、9 ゲート線、10 ドレイン線、11 表示領域、12、14 配線、15 金属層、16 絶縁層。
Claims (7)
- 表示パネルと、前記表示パネルの配線を検査するための検査用プローブとを含む、表示パネル検査システムであって、
前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、
前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、
隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、
前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きい、
ことを特徴とする表示パネル検査システム。 - 前記検査用プローブが隣り合う2つの前記検査用パッドに同時に接触しないように、前記支持部の上面の高さが設定されている、ことを特徴とする請求項1に記載の表示パネル検査システム。
- 前記支持部の上面の高さは、前記検査用パッドの上面の高さ以下に設定されている、ことを特徴とする請求項2に記載の表示パネル検査システム。
- 前記支持部の上面の高さは、前記間隙が小さいほど該支持部の上面の高さが高くなるように設定されている、ことを特徴とする請求項3に記載の表示パネル検査システム。
- 前記配線と前記検査用パッドと前記支持部とは、同一材料で形成されている、ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の表示パネル検査システム。
- 前記検査用パッドは、表示領域の外に形成される、ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の表示パネル検査システム。
- 表示パネルの配線を検査用プローブにて検査する、表示パネル検査方法であって、
前記表示パネルは、並列に配置された複数の配線を含み、
前記複数の配線のそれぞれには、前記検査用プローブと接触する検査用パッドが形成されており、
隣り合う前記検査用パッドの間隙には、前記複数の配線とは電気的に絶縁された支持部が形成されており、
前記検査用プローブは、円弧状又は多角形状の先端部を有しており、前記先端部の径は、前記検査用パッドの間隙よりも大きい、
ことを特徴とする表示パネル検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013118745A JP2014235402A (ja) | 2013-06-05 | 2013-06-05 | 表示パネル検査システム及び検査方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112289777A (zh) * | 2020-10-28 | 2021-01-29 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板及显示装置 |
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2013
- 2013-06-05 JP JP2013118745A patent/JP2014235402A/ja active Pending
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