JP2014231632A - Electrodeposition metal peeling device and method for peeling electrodeposition metal - Google Patents

Electrodeposition metal peeling device and method for peeling electrodeposition metal Download PDF

Info

Publication number
JP2014231632A
JP2014231632A JP2013113372A JP2013113372A JP2014231632A JP 2014231632 A JP2014231632 A JP 2014231632A JP 2013113372 A JP2013113372 A JP 2013113372A JP 2013113372 A JP2013113372 A JP 2013113372A JP 2014231632 A JP2014231632 A JP 2014231632A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
cathode
chis
metal layer
blade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013113372A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5971194B2 (en
Inventor
進太郎 石川
Shintaro Ishikawa
進太郎 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal Mining Co Ltd filed Critical Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority to JP2013113372A priority Critical patent/JP5971194B2/en
Publication of JP2014231632A publication Critical patent/JP2014231632A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5971194B2 publication Critical patent/JP5971194B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the damage of a cathode in a process of peeling the cathode from an electrodeposition metal layer.SOLUTION: The electrodeposition metal peeling device 100 comprises: a transport apparatus 16; and a chiseling apparatus 110 separated from the right and left both edge parts of an electrodeposition metal layer K to the head thereof. The chiseling apparatus 110 comprises: the main chisu blade 200; a pair of ultrasonic chisu blades 210A, 210B arranged on the right and left both sides of the main chisu blade 200; an elevation driving mechanism 220 of elevating the main chisu blade 200 and the ultrasonic chisu blades 210A, 210B to a vertical direction (Z direction); and an excitation apparatus 230. The excitation apparatus 230 comprises: an ultrasonic control part 240; and a pair of ultrasonic oscillators 250A, 250B. The ultrasonic chisu blades 210A, 210B insert the tips 212A, 212B into a space between a cathode 12 and the electrodeposition metal layer K while ultrasonic waves are inputted by the ultrasonic oscillators 250A, 250B to form a gap between the cathode 12 and the electrodeposition metal layer K.

Description

本発明はカソードに電着した電着金属を剥離する電着金属の剥離装置及び電着金属の剥離方法に関する。   The present invention relates to an electrodeposited metal peeling apparatus for peeling an electrodeposited metal electrodeposited on a cathode, and an electrodeposited metal peeling method.

例えば、銅やニッケルなどの金属の電解精製は、電解液で満たされた電解槽内に、カソードとアノードを交互に並べた状態で通電し、カソードの両面に金属を電着させることにより行われる。カソードには繰り返し利用が可能なパーマネントカソードとしてステンレス製の薄板などが一般的に用いられ、カソードの両面に電着した金属は、電解槽から引き上げた後に剥がし取られる(例えば、特許文献1参照)。   For example, electrolytic refining of metals such as copper and nickel is performed by energizing the cathode and anode alternately arranged in an electrolytic cell filled with an electrolytic solution, and electrodepositing the metal on both sides of the cathode. . As the cathode, a stainless steel thin plate or the like is generally used as a permanent cathode that can be repeatedly used. The metal electrodeposited on both sides of the cathode is removed after being pulled up from the electrolytic cell (see, for example, Patent Document 1). .

従来、電着金属の剥がし取りは、以下のように行われていた。図1に示されるように、電解槽から引き上げられたカソード12は、電解槽に吊り下げるためのビーム14部分を上にして鉛直方向に立てた状態で、搬送装置(搬送手段)16にてカソード面(垂直面)と平行方向(X方向)に搬送され、カソードを押圧するフレキシング工程の位置で停止する。カソード12の平面(おもて面、裏面)には、電着金属層Kが密着している。また、カソード12は、搬送方向(X方向)の左右端部に搬送装置16から起立したエッジカバー17の上下端に取り付けられた4個のコ字固定具18によって垂直状態に保持されている。   Conventionally, the electrodeposition metal has been peeled off as follows. As shown in FIG. 1, the cathode 12 pulled up from the electrolytic cell is placed in the vertical direction with the beam 14 for suspending from the electrolytic cell facing upward, and the cathode 12 is conveyed by a conveying device (conveying means) 16. It is transported in the direction parallel to the surface (vertical surface) (X direction), and stops at the position of the flexing process that presses the cathode. The electrodeposited metal layer K is in close contact with the flat surface (front surface, back surface) of the cathode 12. The cathode 12 is held in a vertical state by four U-shaped fixtures 18 attached to the upper and lower ends of the edge cover 17 erected from the conveying device 16 at the left and right ends in the conveying direction (X direction).

ここで、フレキシング装置20の動作について説明する。図2(A)に示されるように、例えば、フレキシング装置20は、直径φ50mmで水平方向長さが500mmを有する一対の丸棒状のフレキシング押し具22がカソード12の平面(おもて面及び裏面)に対向するように横架されている。
フレキシング押し具22は、カソード12の平面に対して垂直な水平方向(Y方向)に移動して当該カソード12の中央部を所定距離(例えば、50mmほど)押込む。このときカソード12は、図2(B)に示すようにフレキシング押し具22に押された水平方向(Y方向)に撓むため、搬送方向(X方向)から見ると、弓なりに湾曲し、カソード12の凸状湾曲面側の電着金属層Kの上側がカソード12から剥がれ、カソード12との間に隙間24が形成される。
Here, the operation of the flexing device 20 will be described. As shown in FIG. 2A, for example, the flexing device 20 includes a pair of round bar-shaped flexing pushers 22 having a diameter of 50 mm and a horizontal length of 500 mm. And the back surface).
The flexing pusher 22 moves in a horizontal direction (Y direction) perpendicular to the plane of the cathode 12 and pushes the central portion of the cathode 12 by a predetermined distance (for example, about 50 mm). At this time, the cathode 12 bends in the horizontal direction (Y direction) pushed by the flexing pusher 22 as shown in FIG. 2 (B). The upper side of the electrodeposited metal layer K on the convex curved surface side of the cathode 12 is peeled off from the cathode 12, and a gap 24 is formed between the cathode 12 and the electrode 12.

この剥離現象は、フレキシング押し具22の押圧動作によるフレキシング時に電着金属層Kの面内方向に発生する引っ張り応力が、電着金属層Kのカソード12に対する付着力より大きくなるために発現すると考えられる。このフレキシング工程により電着金属層Kの上側から剥がれる理由は、電着金属層Kの下側はカソード12下側を取り囲むように電着金属がつながっているため、カソード12の下側の付着力が上側より強いためと考えられる。フレキシング押し具22がカソード12から離れると、カソード12の湾曲変形は弾性変形のため、カソード12は元の平らな状態に戻る。フレキシング中にカソード12から離れた状態にあった電着金属層Kの上部は、カソード12が元の平らな状態に戻ると、カソード12と同様に平らになり、カソード12の平面とわずかに隙間24がある状態になる。以上のようなフレキシングの動作は、カソード12の両面(おもて面、裏面)に対して交互に同様に行われる。   This peeling phenomenon occurs because the tensile stress generated in the in-plane direction of the electrodeposited metal layer K during flexing by the pressing operation of the flexing pressing tool 22 is greater than the adhesion force of the electrodeposited metal layer K to the cathode 12. I think that. The reason why the electrodeposition metal layer K is peeled off from the upper side by this flexing process is that the electrodeposition metal is connected so that the lower side of the electrodeposition metal layer K surrounds the lower side of the cathode 12. This is probably because the wearing force is stronger than the upper side. When the flexing pusher 22 moves away from the cathode 12, the curved deformation of the cathode 12 is elastic, and the cathode 12 returns to the original flat state. The upper part of the electrodeposited metal layer K, which was away from the cathode 12 during flexing, becomes flat like the cathode 12 when the cathode 12 returns to its original flat state, and slightly above the plane of the cathode 12. The gap 24 is in a state. The flexing operation as described above is performed in the same manner alternately on both surfaces (front surface, back surface) of the cathode 12.

上記フレキシング工程が終了したカソード12は、搬送装置16により次のチゼリング装置30の前まで搬送され、一時停止する。チゼリング装置(分離手段)30は、図3(A)(B)に示されるような長方形状の板状に形成されたチス刃31を備えている。チス刃31は、下端に所定の傾斜角を有する刃先32が形成されている。   The cathode 12 that has been subjected to the flexing process is transported to the front of the next chiseling device 30 by the transport device 16 and is temporarily stopped. The chiseling device (separating means) 30 includes a chis blade 31 formed in a rectangular plate shape as shown in FIGS. The chis blade 31 has a cutting edge 32 having a predetermined inclination angle at the lower end.

ここで、チゼリング装置30による電着金属層Kの剥離工程について説明する。図4(A)に示されるように、チゼリング装置30は、一対のチス刃31を有し、チゼリング工程が開始する際に、各チス刃31の刃先32をカソード12のおもて面及び裏面の上端に所定角度傾斜させて接触させるように構成されている。また、各チス刃31は、カソード12の搬送方向のほぼ中央部に接触するように取り付けられている。このとき、カソード12の平面に電着された電着金属層Kは、フレキシング工程により上端がカソード12から隙間24を介して離間している。   Here, the peeling process of the electrodeposited metal layer K by the chiseling apparatus 30 will be described. As shown in FIG. 4A, the chiseling device 30 has a pair of chis blades 31, and when the chiseling process is started, the tip 32 of each chis blade 31 is connected to the front surface and the back surface of the cathode 12. It is comprised so that it may incline with the upper end of a predetermined angle, and may contact. Each chis blade 31 is attached so as to be in contact with a substantially central portion of the cathode 12 in the transport direction. At this time, the electrodeposited metal layer K electrodeposited on the flat surface of the cathode 12 is separated from the cathode 12 via the gap 24 by the flexing process.

次に、図4(B)に示されるように、チゼリング装置30は、一対のチス刃31を降下させる。各チス刃31の刃先32は、カソード12のおもて面及び裏面に接触したまま、降下するため、フレキシング工程により形成されたカソード12と電着金属層Kとの隙間24に挿入される。   Next, as shown in FIG. 4B, the chiseling device 30 lowers the pair of chis blades 31. The blade edge 32 of each chis blade 31 descends while being in contact with the front surface and the back surface of the cathode 12 and is therefore inserted into the gap 24 between the cathode 12 and the electrodeposited metal layer K formed by the flexing process. .

さらに、図4(C)に示されるように、各チス刃31は、刃先32をカソード12の中央部に向けて降下し、カソード12の中央部に付着した電着金属層Kを剥がす。   Further, as shown in FIG. 4C, each chis blade 31 descends the blade edge 32 toward the central portion of the cathode 12 and peels the electrodeposited metal layer K attached to the central portion of the cathode 12.

また、電着金属の剥離装置10は、図5(A)(B)に示すようにチゼリング装置30を有する。チゼリング装置30は、チス刃31を上下方向に移動させるチェーン式駆動機構又は空気シリンダ等からなる昇降駆動機構33を有する。剥離工程において、チゼリング装置30は、チス刃31を降下させ、刃先31を電着金属層Kとカソード12の間に空いたわずかなすき間24の中央部に上から下に挿入する。尚、剥離工程では、通常はカソード12の両面(おもて面及び裏面)を一対のチス刃31により同時に剥離する。しかし電着金属層Kの上端に空いた隙間24が狭いために、1回目の剥離後に片面だけ残る場合は、カソード12の片面ずつ剥離する場合がある。図5(B)では、カソード12の片面に電着金属Kが付着している場合の剥離工程を示す。   Moreover, the electrodeposition metal peeling apparatus 10 has a chiseling apparatus 30 as shown in FIGS. The chiseling device 30 includes a chain drive mechanism that moves the chis blade 31 in the up-down direction, a lift drive mechanism 33 that includes an air cylinder or the like. In the peeling process, the chiseling device 30 lowers the chis blade 31 and inserts the blade edge 31 from the top to the center of the slight gap 24 vacated between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12. In the peeling step, usually, both surfaces (front surface and back surface) of the cathode 12 are simultaneously peeled by the pair of chis blades 31. However, since the gap 24 opened at the upper end of the electrodeposited metal layer K is narrow, if only one side remains after the first peeling, the cathode 12 may be peeled one by one. FIG. 5B shows a peeling process in the case where the electrodeposited metal K is attached to one surface of the cathode 12.

また、電着金属層Kは、各チス刃31が通過するカソード12の中央部から剥離されると共に、カソード12の取り付け角度によりカソード12の中央部を囲む両側もカソード12の降下に伴う引張り力により徐々に剥がされる。そして、電着金属層Kは、チス刃31がカソード12の中央付近まで降下したとき、カソード12から完全に剥ぎ取られる。   Further, the electrodeposited metal layer K is peeled off from the central portion of the cathode 12 through which each of the chis blades 31 passes, and the tensile force accompanying the lowering of the cathode 12 is also present on both sides surrounding the central portion of the cathode 12 depending on the mounting angle of the cathode 12. Is gradually peeled off. The electrodeposited metal layer K is completely peeled off from the cathode 12 when the chis blade 31 descends to the vicinity of the center of the cathode 12.

このようにカソード12から剥離された電着金属層Kは、次の処理工程へ搬出される。また、電着金属層Kが剥離されたカソード12は、再び電解槽へ搬送されて再利用される。   The electrodeposited metal layer K thus peeled off from the cathode 12 is carried out to the next processing step. Further, the cathode 12 from which the electrodeposited metal layer K has been peeled is transported again to the electrolytic cell and reused.

特開2012−167340号公報JP 2012-167340 A

従来の電着金属の剥離装置10においては、次のような現象が起きているとの知見を得た。すなわち、図5(A)(B)に示すチゼリング工程において、時折発生するカソード12の片面だけ電着金属層12が剥がれ、反対面に電着金属層Kが残っている場合に、密着力の比較的強い中央部の上方からチス刃31を挿入することで、カソード12の中央部がチス刃31を挿入した側に凹形状となる反りが生じ、カソード12の平坦性が悪化する懸念がある。   In the conventional electrodeposited metal peeling apparatus 10, the knowledge that the following phenomenon occurred was obtained. That is, in the chiseling process shown in FIGS. 5 (A) and 5 (B), when the electrodeposited metal layer 12 is peeled off only on one side of the cathode 12 that is occasionally generated and the electrodeposited metal layer K remains on the opposite side, By inserting the Chis blade 31 from above the relatively strong central part, there is a concern that the central part of the cathode 12 warps in a concave shape on the side where the Chis blade 31 is inserted, and the flatness of the cathode 12 is deteriorated. .

また、カソード12の平坦性が悪化した場合、電解槽内で電着金属が析出する過程で発生するカソードとアノードの短絡問題が生じるおそれもある。また、カソード12は、繰り返し再利用されるため、カソード12の平坦性が悪化した場合には、カソード12の平坦性を修復しており、メンテナンスに手間を要していた。   Further, when the flatness of the cathode 12 is deteriorated, there is a possibility that a short circuit problem between the cathode and the anode, which occurs in the process of depositing the electrodeposited metal in the electrolytic cell, may occur. Further, since the cathode 12 is repeatedly reused, when the flatness of the cathode 12 deteriorates, the flatness of the cathode 12 is repaired, and maintenance is required.

さらに、従来は、図2(B)に示すようにカソード12が、フレキシング押し具22に押されて水平方向(Y方向)に撓むため、フレキシング工程においてカソード12が変形してしまう場合がある。その場合、チゼリング工程において、チス刃31がカソード12の変形箇所に接触してカソード12が損傷させたり、あるいは電着金属層Kがカソード12から剥離できずに残ってしまうといった問題もある。   Further, conventionally, as shown in FIG. 2B, the cathode 12 is pushed by the flexing pusher 22 and bent in the horizontal direction (Y direction), and therefore the cathode 12 is deformed in the flexing process. There is. In that case, in the chiseling process, there is a problem that the chis blade 31 comes into contact with the deformed portion of the cathode 12 to damage the cathode 12 or the electrodeposited metal layer K cannot be peeled off from the cathode 12 and remains.

そこで、本発明は、上記事情に鑑み、カソードの平坦性が悪化する可能性を低減できる電着金属の剥離装置及び電着金属の剥離方法を提供することを目的とする。   Therefore, in view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide an electrodeposited metal peeling apparatus and an electrodeposited metal peeling method that can reduce the possibility of deterioration of cathode flatness.

上記課題を解決するため、本発明は以下のような手段を有する。   In order to solve the above problems, the present invention has the following means.

一つの案では、金属が電着したカソードを搬送する搬送手段と、
前記カソードに電着した電着金属層を前記カソードから分離するための分離手段と、を備えた電着金属の剥離装置であって、
前記分離手段は、
前記カソードから前記電着金属層を分離する分離器と、
前記分離器に所望の振動を入力する加振手段と、
前記加振手段により振動する前記分離器を前記電着金属層と前記カソードとの間に挿入させる駆動機構とを有する電着金属の剥離装置が提供される。
In one proposal, a conveying means for conveying a cathode electrodeposited with metal;
A separation means for separating the electrodeposited metal layer electrodeposited on the cathode from the cathode;
The separating means includes
A separator for separating the electrodeposited metal layer from the cathode;
Vibration means for inputting desired vibration to the separator;
There is provided an electrodeposited metal stripping device having a drive mechanism for inserting the separator vibrated by the excitation means between the electrodeposited metal layer and the cathode.

一態様によれば、フレキシング工程が不要になるため、チゼリング工程の前工程でカソードが変形せず、チゼリング工程において、過剰な応力がカソードに加わることなく、容易に電着金属層をカソードから剥がすことができる。そのため、平坦性を維持したカソードを繰り返し操業で利用可能となり、電解槽内で電着金属が析出する過程で発生するカソードとアノードの短絡問題を抑制でき、電着金属層から得られる製品としての電気銅の電力原単位を低減できる。さらに、チゼリング工程によるカソードの変形がなくなり、その分カソードの修復のためのメンテナンスが不要になって電着金属の生産性をより高めることが可能になる。   According to one aspect, since the flexing process is not required, the cathode is not deformed in the previous process of the chiseling process, and in the chiseling process, an excessive stress is not applied to the cathode, and the electrodeposited metal layer can be easily removed from the cathode. Can be peeled off. As a result, a cathode that maintains flatness can be used in repeated operations, and the short circuit problem between the cathode and anode that occurs during the process of electrodeposition metal deposition in the electrolytic cell can be suppressed. Electric power consumption of copper can be reduced. Further, the cathode is not deformed by the chiseling process, and accordingly, maintenance for repairing the cathode becomes unnecessary, and the productivity of the electrodeposited metal can be further increased.

カソードが搬送装置によって搬送される様子を示す概略図である。It is the schematic which shows a mode that a cathode is conveyed by the conveying apparatus. フレキシングにより湾曲したカソードから電着金属の上端が剥がれた様子を側方から見た説明図である。It is explanatory drawing which looked at a mode that the upper end of the electrodeposition metal peeled from the cathode curved by the flexing from the side. 従来の剥離装置に付属するチス刃を示す概略図である。It is the schematic which shows the chis blade attached to the conventional peeling apparatus. 従来の剥離装置における、チス刃の動きを示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the motion of the chis blade in the conventional peeling apparatus. カソードの片面だけに電着金属が付いている場合に、従来の剥離装置におけるチス刃をカソードと電着金属間に挿入した様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a mode that the chis blade in the conventional peeling apparatus was inserted between the cathode and the electrodeposition metal when the electrodeposition metal was attached only to the single side | surface of the cathode. 本発明の実施形態1における、山型の主チス刃と超音波チス刃とを有する電着金属の剥離装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the peeling apparatus of the electrodeposited metal which has the mountain-shaped main chis blade and ultrasonic chis blade in Embodiment 1 of this invention. 実施形態1の主チス刃の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the main chis blade of Embodiment 1. FIG. 実施形態1の各チス刃の動きと電着金属の剥離状態を示す正面図である。It is a front view which shows the movement of each chis blade of Embodiment 1, and the peeling state of an electrodeposited metal. 実施形態1の各チス刃の動きと電着金属の上端の剥離状態を示す横断面図である。It is a cross-sectional view which shows the movement of each chis blade of Embodiment 1, and the peeling state of the upper end of an electrodeposited metal. 本発明の実施形態2における、曲率を有した山型の主チス刃と超音波チス刃とを有する電着金属の剥離装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the peeling apparatus of the electrodeposited metal which has the mountain-shaped main chis blade and the ultrasonic chis blade with the curvature in Embodiment 2 of this invention. 実施形態2の主チス刃の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the main chis blade of Embodiment 2. FIG. 本発明の実施形態3における、左右に一対の超音波チス刃に超音波を伝搬する電着金属の剥離装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the peeling apparatus of the electrodeposited metal which propagates an ultrasonic wave to a pair of ultrasonic chis blade in the left and right in Embodiment 3 of this invention. 実施形態3の超音波チス刃の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the ultrasonic chis blade of Embodiment 3. 実施形態3の超音波チス刃を移動させる駆動機構の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the drive mechanism which moves the ultrasonic chis blade of Embodiment 3.

以下、図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

〔実施形態1〕
図6は本発明の実施形態1における、山型の主チス刃と超音波チス刃とを有する電着金属の剥離装置を示す概略図である。尚、図6において、従来と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
Embodiment 1
FIG. 6 is a schematic view showing an electrodeposited metal peeling apparatus having a chevron-shaped main chis blade and an ultrasonic chis blade in Embodiment 1 of the present invention. In FIG. 6, the same parts as those in the prior art are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

図6に示されるように、電着金属の剥離装置100は、前述した搬送装置(搬送手段)16と、電着金属層Kの左右両端部から先に分離するチゼリング装置(分離手段)110とを有する。チゼリング装置110は、主チス刃(分離器)200と、主チス刃200の左右両側に配置された一対の超音波チス刃210A、210B(分離器)と、主チス刃200及び超音波チス刃210A、210Bを上下方向(Z方向)に昇降させる昇降駆動機構220と、加振装置(加振手段)230とを有する。   As shown in FIG. 6, the electrodeposited metal peeling apparatus 100 includes a transport device (transport means) 16 described above, and a chiseling device (separation means) 110 that separates the left and right ends of the electrodeposited metal layer K first. Have The chiseling device 110 includes a main chis blade (separator) 200, a pair of ultrasonic chis blades 210A and 210B (separators) disposed on the left and right sides of the main chis blade 200, the main chis blade 200 and the ultrasonic chis blade. 210A and 210B includes an elevating drive mechanism 220 that elevates and lowers vertically (Z direction), and a vibration device (vibration means) 230.

加振装置230は、超音波制御部240と、一対の超音波発振器250A、250Bとを有する。一対の超音波発振器250A、250Bは、それぞれ一対の超音波チス刃210A、210Bの上端に搭載されている。また、超音波発振器250A、250Bは、例えば、円筒状の筐体内部に振動発生源となる圧電素子(ピエゾ素子など)が組み込まれている。そして、超音波制御部240は、超音波チス刃210A、210Bが電着金属層Kを剥離する剥離工程のときに超音波発振器250A、250Bに駆動電流を入力する。   The vibration device 230 includes an ultrasonic control unit 240 and a pair of ultrasonic oscillators 250A and 250B. The pair of ultrasonic oscillators 250A and 250B are mounted on the upper ends of the pair of ultrasonic chisels 210A and 210B, respectively. Further, in the ultrasonic oscillators 250A and 250B, for example, a piezoelectric element (piezo element or the like) serving as a vibration generation source is incorporated in a cylindrical housing. Then, the ultrasonic control unit 240 inputs a drive current to the ultrasonic oscillators 250A and 250B during the peeling process in which the ultrasonic chisels 210A and 210B peel the electrodeposited metal layer K.

超音波発振器250A、250Bは、入力された交流電圧により所定周波数で軸方向(Z方向)に振動する。そして、所定周波数(例えば、21KHz±1.5KHz)の超音波が上下方向(Z方向)の振動波として超音波チス刃210A、210Bに伝搬される。これにより、超音波チス刃210A、210Bは、Z方向に高速で振動しながら電着金属Kをカソード12から剥離することが可能になる。また、超音波による振動は、人間の聴覚で識別することが難しいため、電着金属層Kをカソード12から剥離させる際の騒音を低減することが可能になり、騒音対策としての効果も得られる。   The ultrasonic oscillators 250A and 250B vibrate in the axial direction (Z direction) at a predetermined frequency by the input AC voltage. Then, ultrasonic waves having a predetermined frequency (for example, 21 KHz ± 1.5 KHz) are propagated to the ultrasonic chis blades 210A and 210B as vibration waves in the vertical direction (Z direction). Accordingly, the ultrasonic chis blades 210A and 210B can peel the electrodeposited metal K from the cathode 12 while vibrating at high speed in the Z direction. In addition, since vibration due to ultrasonic waves is difficult to identify by human hearing, it is possible to reduce noise when the electrodeposited metal layer K is peeled from the cathode 12, and an effect as a noise countermeasure can be obtained. .

尚、加振装置230の超音波発振器250A、250Bから発生される超音波は、上記周波数に限るものではなく、任意の周波数に適宜調整することが可能である。また、人間の可聴域の上限周波数は、16KHz〜18KHz程度とされているが、16KHz以下の周波数の振動を超音波チス刃210A、210Bに入力した場合でも電着金属層Kの剥離を効率良く行うことができる。そのため、加振装置230においては、超音波以外の振動周波数(例えば、16KHz以下の周波数)を有する振動を加振するように設定しても良い。   Note that the ultrasonic waves generated from the ultrasonic oscillators 250A and 250B of the vibration device 230 are not limited to the above frequencies, and can be appropriately adjusted to arbitrary frequencies. The upper limit frequency of the human audible range is about 16 KHz to 18 KHz. Even when vibrations having a frequency of 16 KHz or less are input to the ultrasonic chis blades 210A and 210B, the electrodeposition metal layer K can be peeled off efficiently. It can be carried out. Therefore, the vibration device 230 may be set so as to vibrate vibration having a vibration frequency other than ultrasonic waves (for example, a frequency of 16 KHz or less).

昇降駆動機構220は、主チス刃200の上端202に連結された一対の支柱222と、支柱222より側方(X方向)に延在して超音波発振器250A、250Bに連結された一対の腕部224とを有する。そのため、主チス刃200及び超音波チス刃210A、210Bは、昇降駆動機構220により同時に上下方向(Z方向)に移動する。   The elevating drive mechanism 220 includes a pair of struts 222 coupled to the upper end 202 of the main chis blade 200 and a pair of arms extending laterally (X direction) from the struts 222 and coupled to the ultrasonic oscillators 250A and 250B. Part 224. Therefore, the main chis blade 200 and the ultrasonic chis blades 210A and 210B are simultaneously moved in the vertical direction (Z direction) by the lifting drive mechanism 220.

超音波チス刃210A、210Bは、垂下方向に直線的に延在する板状に形成されており、上端が超音波発振器250A、250Bに直結され、下端に刃先212A、212Bが設けられている。また、超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bは、主チス刃200の刃先204、206よりも下方に突出している。そのため、昇降駆動機構220により主チス刃200及び超音波チス刃210A、210Bが同時に降下する際、超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bが主チス刃200の刃先204,206よりも先に電着金属層Kとカソード12との間に挿入される。   The ultrasonic chis blades 210A and 210B are formed in a plate shape extending linearly in the drooping direction, the upper ends thereof are directly connected to the ultrasonic oscillators 250A and 250B, and the cutting edges 212A and 212B are provided at the lower ends. Further, the blade tips 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B protrude below the blade tips 204 and 206 of the main chis blade 200. Therefore, when the main chis blade 200 and the ultrasonic chis blades 210A and 210B are simultaneously lowered by the elevating drive mechanism 220, the blade tips 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B are ahead of the cutting edges 204 and 206 of the main chis blade 200. Between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12.

尚、チゼリング装置110は、カソード12のおもて面、裏面に対する主チス刃200のY方向の傾斜角度を調整するチス刃取付角度調整機構(図示せず)も有する。   The chiseling device 110 also has a chis blade attachment angle adjustment mechanism (not shown) that adjusts the inclination angle of the main chis blade 200 in the Y direction with respect to the front and back surfaces of the cathode 12.

ここで、主チス刃200の構成について説明する。図7(A)(B)に示されるように、主チス刃200は、電着金属層Kとカソード12との密着力が中央部に対して比較的弱い電着金属層Kの左右両端部から先に分離するように山型(逆V字状)に形成されている。   Here, the configuration of the main chis blade 200 will be described. As shown in FIGS. 7A and 7B, the main chis blade 200 has left and right end portions of the electrodeposited metal layer K in which the adhesion between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12 is relatively weak with respect to the central portion. It is formed in a mountain shape (inverted V shape) so as to be separated first.

主チス刃200の搬送方向(X方向)の幅寸法は、カソード12の幅寸法より狭くなっている。また、主チス刃200と超音波チス刃210A、210Bとを合計した搬送方向(X方向)の幅寸法は、カソード12の幅寸法とほぼ同じである。   The width dimension of the main chis blade 200 in the transport direction (X direction) is narrower than the width dimension of the cathode 12. Further, the width dimension in the transport direction (X direction) of the main chis blade 200 and the ultrasonic chis blades 210 </ b> A and 210 </ b> B is substantially the same as the width dimension of the cathode 12.

主チス刃200の下端部は、電着金属層Kの左右両端部に接触する一対の刃先204、206を有する。さらに、主チス刃200は、一対の刃先204、206の中間部に山型(逆V字状)に形成された傾斜刃208、209を有する。また、主チス刃200は、側方からみると、楔形状に形成されている。   The lower end portion of the main chis blade 200 has a pair of cutting edges 204 and 206 that come into contact with both left and right end portions of the electrodeposited metal layer K. Further, the main chis blade 200 has inclined blades 208 and 209 formed in a mountain shape (inverted V shape) at an intermediate portion between the pair of blade edges 204 and 206. The main chis blade 200 is formed in a wedge shape when viewed from the side.

傾斜刃208、209は、中間部のZ方向の中心線に対して側方(X方向)に傾斜しており、その傾斜角θが80°以下に設定されており、望ましくは傾斜角θ=40°〜80°である。また、主チス刃200は、カソード12のおもて面、裏面に対するY方向の傾斜角度が所望の角度に調整されているので、刃先204、206がカソード12のおもて面、裏面に接触するとき、傾斜刃208、209はカソード12から僅かに離間している。   The inclined blades 208 and 209 are inclined to the side (X direction) with respect to the center line in the Z direction of the intermediate portion, and the inclination angle θ is set to 80 ° or less, preferably the inclination angle θ = It is 40 ° -80 °. In addition, since the main chis blade 200 is adjusted to have a desired angle of inclination in the Y direction with respect to the front and back surfaces of the cathode 12, the blade tips 204 and 206 are in contact with the front and back surfaces of the cathode 12. In doing so, the inclined blades 208, 209 are slightly spaced from the cathode 12.

〔主チス刃200及び超音波チス刃210A、210Bの動き〕
図8は実施形態1の各チス刃の動きと電着金属の剥離状態を示す正面図である。図9は実施形態1の各チス刃の動きと電着金属の上端の剥離状態を示す横断面図である。
[Movement of main chis blade 200 and ultrasonic chis blades 210A and 210B]
FIG. 8 is a front view showing the movement of each chis blade and the peeled state of the electrodeposited metal according to the first embodiment. FIG. 9 is a cross-sectional view showing the movement of each chis blade and the peeled state of the upper end of the electrodeposited metal according to the first embodiment.

図8(A)及び図9(A)に示されるように、主チス刃200及び超音波チス刃210A、210Bは、カソード12の上方から下方(Z方向)に降下すると共に、密着力が中央部に対して比較的弱い電着金属層Kの左右両端部に超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bが接触し、カソード12と電着金属層Kと間に挿入される。その際、超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bは、超音波発振器250A、250Bより入力された超音波により上下方向(Z方向)に高速で振動(例えば、周波数が16KHz以上の振動)しており、電着金属層Kをカソード12から容易に剥離して電着金属層Kとカソード12との間に隙間を形成する。   As shown in FIGS. 8A and 9A, the main chis blade 200 and the ultrasonic chis blades 210A and 210B descend from the upper side of the cathode 12 to the lower side (Z direction), and the adhesive force is at the center. The blade tips 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B are in contact with the left and right ends of the electrodeposited metal layer K that is relatively weak with respect to the portion, and are inserted between the cathode 12 and the electrodeposited metal layer K. At that time, the blade tips 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B vibrate at high speed in the vertical direction (Z direction) by the ultrasonic waves input from the ultrasonic oscillators 250A and 250B (for example, vibration having a frequency of 16 KHz or more). The electrodeposited metal layer K is easily separated from the cathode 12 to form a gap between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12.

そして、主チス刃200の左右両端部の刃先204、206は、超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bによって形成されたカソード12と電着金属層Kとの間に形成された隙間24に挿入される。そのため、主チス刃200の左右両端部の刃先204、206は、超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bによって形成された隙間24に殆ど抵抗なく挿入される。   The blade edges 204 and 206 at both the left and right ends of the main chis blade 200 are gaps 24 formed between the cathode 12 and the electrodeposited metal layer K formed by the blade edges 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B. Inserted into. Therefore, the cutting edges 204 and 206 at both left and right ends of the main chis blade 200 are inserted into the gap 24 formed by the cutting edges 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B with almost no resistance.

このような超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212B、続いて主チス刃200の左右両端部の刃先204、206が電着金属Kとカソード12の間に上方から挿入されると、まず電着金属Kの上端とカソード12の密着力が中央部に対して比較的弱い左右両端部から先に剥離を開始する。その際、剥離開始時の電着金属層Kによる負荷が比較的小さいため、剥離動作がスムーズに行える。   When the blade tips 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B and the blade tips 204 and 206 at the left and right ends of the main chis blade 200 are inserted between the electrodeposited metal K and the cathode 12 from above, Peeling starts first from the left and right end portions where the adhesion between the upper end of the electrodeposited metal K and the cathode 12 is relatively weak with respect to the central portion. At that time, since the load by the electrodeposited metal layer K at the start of peeling is relatively small, the peeling operation can be performed smoothly.

図8(B)及び図9(B)に示されるように、さらに超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bが先行して上記隙間24を拡張する。続いて、主チス刃200が下方(Z方向)に降下すると共に、主チス刃200の傾斜刃208、209がカソード12の中間部分に付着した電着金属Kをカソード12から容易に剥離する。このとき、電着金属層Kは、左右両端部が超音波チス刃210A、210Bにより少しずつ剥離され、さらに主チス刃200の刃先204、206により剥がされ、続いて中間部分の傾斜刃208、209の傾斜角度θによる傾斜面に沿うようにして連続的に剥がされる。   As shown in FIGS. 8B and 9B, the blade tips 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B further expand the gap 24 in advance. Subsequently, the main chis blade 200 descends downward (Z direction), and the inclined blades 208 and 209 of the main chis blade 200 easily peel off the electrodeposited metal K adhering to the intermediate portion of the cathode 12 from the cathode 12. At this time, the left and right ends of the electrodeposited metal layer K are peeled off little by little by the ultrasonic chis blades 210A and 210B, and further peeled by the cutting edges 204 and 206 of the main chis blade 200, and then the inclined blades 208 in the middle part. The film is continuously peeled off along an inclined surface with an inclination angle θ of 209.

図8(C)及び図9(C)に示されるように、さらに超音波チス刃210A、210B及び主チス刃200がカソード12の上方から下方(Z方向)に降下すると、カソード12から剥がされた電着金属層Kの全体がスムーズに剥離される。すなわち、超音波チス刃210A、210B及び主チス刃200が降下するとともに、主チス刃200の傾斜刃208、209がカソード12の左右端部から中央部に向かうことで電着金属槽Kは、カソード12から完全に剥がされる。   As shown in FIGS. 8C and 9C, when the ultrasonic chis blades 210A and 210B and the main chis blade 200 are further lowered from above the cathode 12 (in the Z direction), they are peeled off from the cathode 12. The entire electrodeposited metal layer K is peeled off smoothly. That is, while the ultrasonic chis blades 210A and 210B and the main chis blade 200 are lowered, the inclined blades 208 and 209 of the main chis blade 200 are directed from the left and right end portions of the cathode 12 to the central portion, so that the electrodeposition metal tank K is It is completely peeled off from the cathode 12.

ここで、電着金属層Kとカソード12との密着力が中央部より左右両端部の方が弱い理由は、電着した金属がカソード電着面内方向に圧縮応力を与え、中央部から外周に向けた径方向に大きくなるせん断応力を生じるためである。   Here, the reason why the adhesion between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12 is weaker at the left and right ends than at the center is because the electrodeposited metal gives compressive stress in the cathode electrodeposition surface direction, and the outer periphery from the center. This is because shear stress that increases in the radial direction toward the surface is generated.

また、カソード12の上部のビーム14の中央部から垂直に下した仮想平面(X方向とZ方向の2辺を有する垂直なX−Z平面)からの最大変位量をひずみ量とした場合、チゼリング工程で増加するひずみ量は、従来のチス刃31で平均2mmだったものが、本発明による超音波チス刃210A、210B及び山型の主チス刃200を用いたことで平均1mmまで低減した。   Further, when the maximum displacement amount from a virtual plane (vertical XZ plane having two sides in the X direction and the Z direction) vertically lowered from the central portion of the beam 14 above the cathode 12 is defined as the strain amount, The amount of strain increased in the process, which was 2 mm on average with the conventional chis blade 31, was reduced to 1 mm on average by using the ultrasonic chis blades 210 </ b> A and 210 </ b> B and the mountain-shaped main chis blade 200 according to the present invention.

上記超音波チス刃210A、210B及び主チス刃200を用いたチゼリング工程においては、フレキシング工程が不要になると共に、過剰な応力がカソード12に加わることなく、容易に電着金属層Kをカソード12から剥がすことが可能になる。そのため、平坦性を維持したカソード12を繰り返し操業で利用可能となり、電解槽内で電着金属が析出する過程で発生するカソードとアノードの短絡問題を抑制することが可能になる。さらに、その結果として製品である電気銅の電力原単位を低減することができる。   In the chiseling process using the ultrasonic chis blades 210A and 210B and the main chis blade 200, a flexing process is not necessary, and the electrodeposited metal layer K is easily formed on the cathode without applying excessive stress to the cathode 12. 12 can be peeled off. For this reason, the cathode 12 that maintains flatness can be used repeatedly, and the short-circuit problem between the cathode and the anode that occurs in the process of depositing the electrodeposited metal in the electrolytic cell can be suppressed. Furthermore, as a result, the electric power consumption rate of the electric copper which is a product can be reduced.

また、超音波チス刃210A、210Bの及び主チス刃200を用いることで剥離工程の効率が高まり、剥離工程における時間も20%程度短縮することが可能になる。さらに、フレキシング工程が無くなることで、フレキシング工程によるカソード12の損傷が抑制されるため、カソード12の修復作業も不要になり、カソード12のメンテナンスも容易に行える。   Further, by using the ultrasonic chis blades 210A and 210B and the main chis blade 200, the efficiency of the peeling process is increased, and the time in the peeling process can be shortened by about 20%. Furthermore, since the flexing process is eliminated, damage to the cathode 12 due to the flexing process is suppressed, so that repair work of the cathode 12 is not necessary, and maintenance of the cathode 12 can be performed easily.

〔実施形態2〕
図10は本発明の実施形態2における、曲率を有した山型のチス刃と超音波チス刃とを有する電着金属の剥離装置を示す概略図である。図11は実施形態2のチス刃の構成を示す図である。尚、図10において、従来と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
[Embodiment 2]
FIG. 10 is a schematic view showing an electrodeposited metal peeling apparatus having a chevron-shaped chis blade having a curvature and an ultrasonic chis blade in Embodiment 2 of the present invention. FIG. 11 is a diagram showing the configuration of the chis blade of the second embodiment. In FIG. 10, the same parts as those in the prior art are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

図10に示されるように、電着金属の剥離装置300は、電着金属層Kの左右両端部から先に分離するチゼリング装置(分離手段)310を有する。チゼリング装置310は、電着金属層Kとカソード12との密着力が中央部に対して比較的弱い電着金属層Kの左右両端部から先に分離する主チス刃(分離器)400と、主チス刃200の左右両側に配置された一対の超音波チス刃210A、210B(分離器)と、主チス刃200及び超音波チス刃210A、210Bを上下方向(Z方向)に昇降させる昇降駆動機構410と、加振装置(加振手段)230とを有する。   As shown in FIG. 10, the electrodeposited metal peeling apparatus 300 includes a chiseling device (separating means) 310 that first separates the left and right end portions of the electrodeposited metal layer K. The chiseling device 310 includes a main chis blade (separator) 400 that first separates the left and right end portions of the electrodeposited metal layer K in which the adhesion between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12 is relatively weak with respect to the center portion; A pair of ultrasonic chis blades 210A and 210B (separators) arranged on the left and right sides of the main chis blade 200, and an elevating drive for raising and lowering the main chis blade 200 and the ultrasonic chis blades 210A and 210B in the vertical direction (Z direction). A mechanism 410 and a vibration device (vibration means) 230 are included.

尚、チゼリング装置310は、カソード12のおもて面、裏面に対する主チス刃400の傾斜角度を調整するチス刃取付角度調整機構(図示せず)も有する。また、昇降駆動機構410は、実施形態1の昇降駆動機構220と同様に、主チス刃400の上端402に連結された一対の支柱412と、支柱412より側方(X方向)に延在して超音波発振器250A、250Bに連結された一対の腕部414とを有する。そのため、主チス刃400及び超音波チス刃210A、210Bは、昇降駆動機構410により同時に上下方向(Z方向)に移動する。   The chiseling device 310 also has a chis blade attachment angle adjustment mechanism (not shown) that adjusts the inclination angle of the main chis blade 400 with respect to the front and back surfaces of the cathode 12. Similarly to the lift drive mechanism 220 of the first embodiment, the lift drive mechanism 410 extends to the side (X direction) from the pair of support posts 412 connected to the upper end 402 of the main chis blade 400. And a pair of arm portions 414 connected to the ultrasonic oscillators 250A and 250B. Therefore, the main chis blade 400 and the ultrasonic chis blades 210A and 210B are simultaneously moved in the vertical direction (Z direction) by the elevating drive mechanism 410.

また、超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bは、主チス刃400の刃先404、406よりも下方に突出している。そのため、昇降駆動機構410により主チス刃400及び超音波チス刃210A、210Bが同時に降下する際、超音波チス刃210A、210Bの刃先212A、212Bが主チス刃400の刃先404、406よりも先に電着金属層Kとカソード12との間に挿入される。   Further, the blade tips 212A and 212B of the ultrasonic chis blades 210A and 210B protrude below the blade tips 404 and 406 of the main chis blade 400. Therefore, when the main chis blade 400 and the ultrasonic chis blades 210 </ b> A and 210 </ b> B are simultaneously lowered by the elevating drive mechanism 410, the blade tips 212 </ b> A and 212 </ b> B of the ultrasonic chis blades 210 </ b> A and 210 </ b> B are ahead of the blade tips 404 and 406 of the main chis blade 400. Between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12.

ここで、主チス刃400の構成について説明する。図11(A)(B)に示されるように、主チス刃400の上端部402は、搬送方向(X方向)の幅寸法がカソード12の幅寸法とほぼ同じである。主チス刃400の搬送方向(X方向)の幅寸法は、カソード12の幅寸法より狭くなっている。また、主チス刃400と超音波チス刃210A、210Bとを合計した搬送方向(X方向)の幅寸法は、カソード12の幅寸法とほぼ同じである。   Here, the configuration of the main chis blade 400 will be described. As shown in FIGS. 11A and 11B, the upper end portion 402 of the main chis blade 400 has a width dimension in the transport direction (X direction) that is substantially the same as the width dimension of the cathode 12. The width dimension of the main chis blade 400 in the transport direction (X direction) is narrower than the width dimension of the cathode 12. The width dimension in the transport direction (X direction) of the main chis blade 400 and the ultrasonic chis blades 210A and 210B is substantially the same as the width dimension of the cathode 12.

主チス刃400の下端部は、密着力が中央部に対して比較的弱い電着金属層Kの左右両端部に接触する一対の刃先404、406を有する。さらに、主チス刃400は、一対の刃先404、406の中間部に山型(逆U字状)に形成された傾斜刃407、408と、傾斜刃407、408の間を接続する湾曲刃409とを有する。また、主チス刃400は、側方からみると、楔形状に形成されている。   The lower end portion of the main chis blade 400 has a pair of blade edges 404 and 406 that come into contact with the left and right end portions of the electrodeposited metal layer K whose adhesion is relatively weak with respect to the central portion. Further, the main chis blade 400 includes an inclined blade 407, 408 formed in a mountain shape (inverted U shape) at an intermediate portion between the pair of blade edges 404, 406 and a curved blade 409 connecting the inclined blades 407, 408. And have. The main chis blade 400 is formed in a wedge shape when viewed from the side.

傾斜刃407、408は、縦方向の中心線に対する傾斜角θが80°以下に設定されており、望ましくは傾斜角θ=40°〜80°である。また、電着金属層Kを引き剥がす際、カソード12に作用する応力を考慮すると、傾斜刃407、408に中間部に形成された湾曲刃409の曲率半径は0.25m〜2.0mの範囲内であることが望ましい。   The inclined blades 407 and 408 have an inclination angle θ with respect to the center line in the vertical direction set to 80 ° or less, and preferably the inclination angle θ = 40 ° to 80 °. In consideration of the stress acting on the cathode 12 when the electrodeposited metal layer K is peeled off, the radius of curvature of the curved blade 409 formed in the middle portion of the inclined blades 407 and 408 is in the range of 0.25 m to 2.0 m. It is desirable to be within.

また、主チス刃400は、カソード12のおもて面、裏面に対するY方向の傾斜角度が所望の角度に調整されているので、刃先404、406がカソード12のおもて面、裏面に接触するとき、傾斜刃407、408及び湾曲刃409はカソード12から僅かに離間している。   In addition, since the tilt angle in the Y direction with respect to the front surface and the back surface of the cathode 12 is adjusted to a desired angle, the blade tips 404 and 406 are in contact with the front surface and the back surface of the cathode 12. When doing so, the inclined blades 407 and 408 and the curved blade 409 are slightly spaced from the cathode 12.

上記主チス刃400の動きは、前述した実施形態1の主チス刃200の場合と同様であるので、図8及び図9に示すように動作して電着金属層Kを効率良くカソード12から剥がすことが可能になる。   Since the movement of the main chis blade 400 is the same as that of the main chis blade 200 of the first embodiment described above, it operates as shown in FIGS. 8 and 9 to efficiently remove the electrodeposited metal layer K from the cathode 12. It can be peeled off.

また、カソード12の上部のビーム14の中央部から垂直に下した仮想平面(X方向とZ方向の2辺を有する垂直なX−Z平面)からの最大変位量をひずみ量とした場合、チゼリング工程で増加するひずみ量は、従来のチス刃31で平均2mmだったものが、本発明による山型の主チス刃400及び音波チス刃210A、210Bを用いたことで平均1mmまで低減した。   Further, when the maximum displacement amount from a virtual plane (vertical XZ plane having two sides in the X direction and the Z direction) vertically lowered from the central portion of the beam 14 above the cathode 12 is defined as the strain amount, The amount of strain increased in the process, which was 2 mm on average with the conventional chis blade 31, was reduced to 1 mm on average by using the mountain-shaped main chis blade 400 and the sonic chis blades 210A and 210B according to the present invention.

上記超音波チス刃210A、210B及び主チス刃400を用いたチゼリング工程においては、フレキシング工程が不要になると共に、過剰な応力がカソード12に加わることなく、容易に電着金属層Kをカソード12から剥がすことが可能になる。そのため、平坦性を維持したカソード12を繰り返し操業で利用可能となり、電解槽内で電着金属が析出する過程で発生するカソードとアノードの短絡問題を抑制することが可能になる。さらに、その結果として製品である電気銅の電力原単位を低減することができる。   In the chiseling process using the ultrasonic chis blades 210A and 210B and the main chis blade 400, the flexing process is not necessary, and the electrodeposited metal layer K is easily formed on the cathode without applying excessive stress to the cathode 12. 12 can be peeled off. For this reason, the cathode 12 that maintains flatness can be used repeatedly, and the short-circuit problem between the cathode and the anode that occurs in the process of depositing the electrodeposited metal in the electrolytic cell can be suppressed. Furthermore, as a result, the electric power consumption rate of the electric copper which is a product can be reduced.

また、超音波チス刃210A、210B及び主チス刃400を用いることで剥離工程の効率が高まり、剥離工程における時間も20%程度短縮することが可能になる。さらに、フレキシング工程が無くなることで、フレキシング工程によるカソード12の損傷が抑制されるため、カソード12の修復作業も不要になり、カソード12のメンテナンスも容易に行える。   Further, by using the ultrasonic chis blades 210A and 210B and the main chis blade 400, the efficiency of the peeling process is increased, and the time in the peeling process can be shortened by about 20%. Furthermore, since the flexing process is eliminated, damage to the cathode 12 due to the flexing process is suppressed, so that repair work of the cathode 12 is not necessary, and maintenance of the cathode 12 can be performed easily.

〔実施形態3〕
図12は本発明の実施形態3における、左右に一対の超音波チス刃を備えた電着金属の剥離装置を示す概略図である。尚、図12において、従来と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
[Embodiment 3]
FIG. 12 is a schematic view showing an electrodeposited metal peeling apparatus provided with a pair of ultrasonic chis blades on the left and right according to Embodiment 3 of the present invention. In FIG. 12, the same parts as those in the prior art are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

図12に示されるように、電着金属の剥離装置500は、電着金属層Kの左右両端部から先に分離するチゼリング装置(分離手段)510を有する。すなわち、チゼリング装置510は、一対の超音波チス刃(第1、第2の超音波チス刃)600A、600Bと、一対の超音波チス刃600A、600Bを水平方向に移動させる水平駆動機構610と、水平駆動機構610と共に一対の超音波チス刃600A、600Bを昇降させる昇降駆動機構620と、加振装置(加振手段)230とを有する。   As shown in FIG. 12, the electrodeposited metal peeling apparatus 500 includes a chiseling device (separating means) 510 that first separates the left and right end portions of the electrodeposited metal layer K. That is, the chiseling device 510 includes a pair of ultrasonic chis blades (first and second ultrasonic chis blades) 600A and 600B, and a horizontal drive mechanism 610 that moves the pair of ultrasonic chis blades 600A and 600B in the horizontal direction. And a horizontal drive mechanism 610, and a lift drive mechanism 620 that lifts and lowers the pair of ultrasonic chis blades 600A and 600B, and a vibration device (vibration means) 230.

実施形態3では、主チス刃が無く、超音波発振器250A、250Bより入力された超音波により一対の超音波チス刃600A、600Bを上下方向に振動させながら、カソード12と電着金属層Kとの間に挿入し、且つ一対の超音波チス刃600A、600Bを水平方向に駆動して電着金属層Kを剥離する。   In the third embodiment, the cathode 12 and the electrodeposited metal layer K have no main chis blade and the pair of ultrasonic chis blades 600A and 600B are vibrated in the vertical direction by the ultrasonic waves input from the ultrasonic oscillators 250A and 250B. And the pair of ultrasonic chisels 600A and 600B are driven in the horizontal direction to peel the electrodeposited metal layer K.

尚、チゼリング装置510は、カソード12のおもて面、裏面に対する超音波チス刃600A、600BのY方向の傾斜角度を調整するチス刃取付角度調整機構(図示せず)も有する。また、昇降駆動機構620は、従来の昇降駆動機構33と同様な構成であるので、詳細は省略する。   The chiseling device 510 also has a chis blade mounting angle adjusting mechanism (not shown) that adjusts the inclination angle in the Y direction of the ultrasonic chis blades 600A and 600B with respect to the front and back surfaces of the cathode 12. Moreover, since the raising / lowering drive mechanism 620 is the same structure as the conventional raising / lowering drive mechanism 33, it abbreviate | omits for details.

図13は実施形態3のチス刃の構成を示す図である。図13(A)(B)に示されるように、超音波チス刃600A、600Bは、左右対称な構成になっており、電着金属層Kとカソード12との密着力が中央部に対して比較的弱い電着金属層Kの左右両端部から先に分離するように分散配置されている。また、それぞれ密着力が中央部に対して比較的弱い電着金属層Kの左端部、右端部に接触する一対の刃先602A、602Bを有する。さらに、超音波チス刃600A、600Bは、傾斜刃604A、604Bを有する。また、超音波チス刃600A、600Bは、側方からみると、楔形状に形成されている。   FIG. 13 is a view showing a configuration of the chis blade of the third embodiment. As shown in FIGS. 13A and 13B, the ultrasonic chis blades 600A and 600B have a symmetrical configuration, and the adhesion force between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12 is relative to the central portion. The relatively weak electrodeposited metal layer K is distributed and arranged so as to be separated first from the left and right end portions. Moreover, it has a pair of blade edge | tips 602A and 602B which contact the left end part and right end part of the electrodeposition metal layer K whose contact | adhesion power is comparatively weak respectively with respect to a center part. Furthermore, the ultrasonic chis blades 600A and 600B have inclined blades 604A and 604B. The ultrasonic chisels 600A and 600B are formed in a wedge shape when viewed from the side.

傾斜刃604A、604Bは、Z方向の中心線に対する傾斜角θが80°以下に設定されており、望ましくは傾斜角θ=40°〜80°である。   The inclined blades 604A and 604B have an inclination angle θ with respect to the center line in the Z direction being set to 80 ° or less, and preferably the inclination angle θ = 40 ° to 80 °.

また、超音波チス刃600A、600Bは、カソード12のおもて面、裏面に対する傾斜角度が所望の角度に調整されているので、刃先602A、602Bがカソード12のおもて面、裏面に接触するとき、傾斜刃604A、604Bはカソード12から僅かに離間している。   In addition, since the ultrasonic chis blades 600A and 600B are adjusted to have desired inclination angles with respect to the front and back surfaces of the cathode 12, the blade edges 602A and 602B are in contact with the front and back surfaces of the cathode 12. In doing so, the inclined blades 604A, 604B are slightly spaced from the cathode 12.

上記チス刃604A,604Bの降下動作は、前述した実施形態1の超音波チス刃210A、210Bの場合と同様であるので、図8及び図9に示すように密着力が中央部に対して比較的弱い電着金属層Kの左右両端部から先に分離するように動作して電着金属層Kを効率良くカソード12から剥がすことが可能になる。   Since the lowering operation of the chis blades 604A and 604B is the same as that of the ultrasonic chis blades 210A and 210B of the first embodiment described above, the adhesion force is compared with the center as shown in FIGS. The electrodeposited metal layer K can be efficiently peeled off from the cathode 12 by operating so as to separate the left and right ends of the weakly electrodeposited metal layer K first.

また、実施形態3では、一対の超音波チス刃600A、600Bは、水平駆動機構610により水平方向(X方向)に移動可能に支持されている。水平駆動機構610は、図14に示されるように、超音波チス刃600A、600Bの上端に結合された支持棒606A、606Bと、支持棒606A、606Bに固定されたスライダ608A、608Bと、スライダ608A、608Bに連結されたタイミングベルト609A、609Bとを有する。さらに、水平駆動機構610は、昇降駆動機構620の空気シリンダのロッド622A、622Bにより昇降可能に支持された昇降ベース612と、昇降ベース612の正面に設けられ、タイミングベルト609A、609Bに噛合するギヤ614〜617とを有する。各ギヤ614〜617は、昇降ベース612に設けられたモータに回転駆動される。   In the third embodiment, the pair of ultrasonic chisels 600A and 600B are supported by the horizontal drive mechanism 610 so as to be movable in the horizontal direction (X direction). As shown in FIG. 14, the horizontal drive mechanism 610 includes support bars 606A and 606B coupled to the upper ends of the ultrasonic chis blades 600A and 600B, sliders 608A and 608B fixed to the support bars 606A and 606B, and a slider. Timing belts 609A and 609B connected to 608A and 608B. Further, the horizontal drive mechanism 610 includes a lift base 612 supported by the air cylinder rods 622A and 622B of the lift drive mechanism 620 so as to be liftable and a gear that meshes with the timing belts 609A and 609B. 614-617. Each gear 614 to 617 is rotationally driven by a motor provided on the lifting base 612.

そのため、水平駆動機構610は、モータの回転方向を制御することによりスライダ608A、608Bを水平方向(X方向)に移動させることができるので、例えば、一対の超音波チス刃600A、600Bの昇降動作(Z方向動作)と連動して一対の超音波チス刃600A、600Bの水平方向の間隔(X方向の離間距離)を任意の距離に調整することが可能である。   Therefore, the horizontal drive mechanism 610 can move the sliders 608A and 608B in the horizontal direction (X direction) by controlling the rotation direction of the motor. For example, the horizontal drive mechanism 610 moves up and down the pair of ultrasonic chisels 600A and 600B. In conjunction with the (Z direction operation), it is possible to adjust the horizontal distance (separation distance in the X direction) between the pair of ultrasonic chisels 600A and 600B to an arbitrary distance.

また、一対の超音波チス刃600A、600Bの刃先602A、602Bは、超音波発振器250A、250Bから入力された超音波により上下方向に高速振動しながらカソード12の左右端部に位置する離間距離に調整される。そのため、一対の超音波チス刃600A、600Bは、カソード12の上端で電着金属Kとの隙間24に挿入されるとき、高速振動しながらZ方向へ降下すると共に、X方向の離間距離を徐々に狭くして中央部の剥離を促進する。   Further, the blade edges 602A and 602B of the pair of ultrasonic chisels 600A and 600B are spaced apart at the left and right ends of the cathode 12 while being vibrated at high speed in the vertical direction by the ultrasonic waves input from the ultrasonic oscillators 250A and 250B. Adjusted. Therefore, when the pair of ultrasonic chisels 600A and 600B are inserted into the gap 24 between the electrode 12 and the electrodeposited metal K at the upper end of the cathode 12, the pair of ultrasonic teeth 600A and 600B descends in the Z direction while being vibrated at high speed and gradually increase the separation distance in the X direction. Narrow to facilitate the peeling of the central part.

すなわち、超音波により加振された一対の超音波チス刃600A、600Bは、フレキシング工程が無くても電着金属層Kとカソード12との間に上方から同時に挿入されると、電着金属層Kとカソード12との密着力が中央部に対して比較的弱い左右両端部から容易に剥離を開始する。そして、各超音波チス刃600A、600BがZ方向へ降下するとともに各超音波チス刃600A、600Bをカソード12の中央部方向(近接方向)に向けて水平移動させることで、電着金属層Kは左右両側から挟まれるように剥がされてカソード12から完全に分離される。   That is, when a pair of ultrasonic teeth 600A and 600B vibrated by ultrasonic waves are inserted simultaneously between the electrodeposited metal layer K and the cathode 12 without any flexing process, the electrodeposited metal Peeling is easily started from both left and right end portions where the adhesion between the layer K and the cathode 12 is relatively weak with respect to the central portion. Then, the ultrasonic chis blades 600A and 600B are lowered in the Z direction, and the ultrasonic chis blades 600A and 600B are horizontally moved toward the central portion direction (proximity direction) of the cathode 12, whereby the electrodeposited metal layer K. Is peeled so as to be sandwiched from both the left and right sides and completely separated from the cathode 12.

また、各超音波チス刃600A、600Bは、超音波発振器250A、250Bにより超音波が入力されて上下方向に高速で振動しながらZ方向へ降下と共に、上記水平方向(X方向)の近接・離間動作を繰り返すことでカソード12の全面から全ての電着金属層Kを分離させることが可能になる。   The ultrasonic chisels 600A and 600B receive ultrasonic waves from the ultrasonic oscillators 250A and 250B and vibrate at a high speed in the vertical direction while descending in the Z direction and approaching / separating in the horizontal direction (X direction). By repeating the operation, it is possible to separate all the electrodeposited metal layers K from the entire surface of the cathode 12.

さらに、左右に分散配置された一対の超音波チス刃600A、600Bは、各々独立した駆動機構で制御されているため、カソード12の位置が多少ずれている、またはカソード12が若干変形している場合にも、スムーズに電着金属層Kをカソード12から剥離することができる。   Furthermore, the pair of ultrasonic chis blades 600A and 600B distributed in the left and right directions are controlled by independent drive mechanisms, so that the position of the cathode 12 is slightly shifted or the cathode 12 is slightly deformed. Even in this case, the electrodeposited metal layer K can be peeled off from the cathode 12 smoothly.

また、カソード12の上部のビーム14の中央部から垂直に下した仮想平面(X方向とZ方向の2辺を有する垂直なX−Z平面)からの最大変位量をひずみ量とした場合、チゼリング工程で増加するひずみ量は、従来のチス刃31で平均2mmだったものが、本発明による一対の超音波チス刃600A、600Bを用いたことで平均1mmまで低減した。   Further, when the maximum displacement amount from a virtual plane (vertical XZ plane having two sides in the X direction and the Z direction) vertically lowered from the central portion of the beam 14 above the cathode 12 is defined as the strain amount, The amount of strain increased in the process, which was 2 mm on the average with the conventional chis blade 31, was reduced to 1 mm on average by using the pair of ultrasonic chis blades 600A and 600B according to the present invention.

上記超音波チス刃600A、600Bを用いたチゼリング工程においては、フレキシング工程が不要になると共に、過剰な応力がカソード12に加わることなく、容易に電着金属層Kをカソード12から剥がすことが可能になる。そのため、平坦性を維持したカソード12を繰り返し操業で利用可能となり、電解槽内で電着金属が析出する過程で発生するカソードとアノードの短絡問題を抑制することが可能になる。さらに、その結果として製品である電気銅の電力原単位を低減することができる。   In the chiseling process using the ultrasonic chisels 600A and 600B, a flexing process is not necessary, and the electrodeposited metal layer K can be easily peeled off from the cathode 12 without applying excessive stress to the cathode 12. It becomes possible. For this reason, the cathode 12 that maintains flatness can be used repeatedly, and the short-circuit problem between the cathode and the anode that occurs in the process of depositing the electrodeposited metal in the electrolytic cell can be suppressed. Furthermore, as a result, the electric power consumption rate of the electric copper which is a product can be reduced.

また、超音波チス刃600A、600Bを用いることで剥離工程の効率が高まり、剥離工程における時間も20%程度短縮することが可能になる。さらに、フレキシング工程が無くなることで、フレキシング工程によるカソード12の損傷が抑制されるため、カソード12の修復作業も不要になり、カソード12のメンテナンスも容易に行える。   Further, by using the ultrasonic chisels 600A and 600B, the efficiency of the peeling process is increased, and the time in the peeling process can be shortened by about 20%. Furthermore, since the flexing process is eliminated, damage to the cathode 12 due to the flexing process is suppressed, so that repair work of the cathode 12 is not necessary, and maintenance of the cathode 12 can be performed easily.

尚、上記水平駆動機構610は、モータ、ギヤ、タイミングベルト等の組み合わせた駆動機構により一対の超音波チフ刃600A、600Bを水平方向(X方向)に移動させて離間距離を任意の距離に調整する構成としたが、これに限らず、他の形式(例えば、空気シリンダを水平方向に配置した駆動機構)でも良い。   The horizontal drive mechanism 610 moves the pair of ultrasonic tip blades 600A and 600B in the horizontal direction (X direction) by a combined drive mechanism such as a motor, a gear, and a timing belt, and adjusts the separation distance to an arbitrary distance. However, the present invention is not limited to this, and other types (for example, a drive mechanism in which air cylinders are arranged in the horizontal direction) may be used.

K 電着金属層
12 カソード
24 隙間
100、300、500 電着金属の剥離装置
110、310、510 チゼリング装置(分離手段)
200、400 主チス刃(分離器)
202、402 上端部
204、206、404、406、602A、602B、212A、212B 刃先
208、209、407、408、604A、604B 傾斜刃
210A、210B、600A、600B 超音波チス刃(分離器)
220、420、620 昇降駆動機構
230 加振装置
240 超音波制御部
250A、250B 超音波発振器
409 湾曲刃
606A、606B 支持棒
608A、608B スライダ
609A、609B タイミングベルト
610 水平駆動機構
612 昇降ベース
614〜617 ギヤ
622A、622B ロッド
K electrodeposited metal layer 12 cathode 24 gap 100, 300, 500 electrodeposited metal peeling device 110, 310, 510 chiseling device (separating means)
200, 400 Main Chis blade (separator)
202, 402 Upper end portion 204, 206, 404, 406, 602A, 602B, 212A, 212B Cutting edge 208, 209, 407, 408, 604A, 604B Inclined blade 210A, 210B, 600A, 600B Ultrasonic chis blade (separator)
220, 420, 620 Elevating drive mechanism 230 Exciting device 240 Ultrasonic controller 250A, 250B Ultrasonic oscillator 409 Curved blade 606A, 606B Support bar 608A, 608B Slider 609A, 609B Timing belt 610 Horizontal drive mechanism 612 Elevating base 614-617 Gear 622A, 622B Rod

Claims (8)

金属が電着したカソードを搬送する搬送手段と、
前記カソードに電着した電着金属層を前記カソードから分離するための分離手段と、を備えた電着金属の剥離装置であって、
前記分離手段は、
前記カソードから前記電着金属層を分離する分離器と、
前記分離器に所望の振動を入力する加振手段と、
前記加振手段により振動する前記分離器を前記電着金属層と前記カソードとの間に挿入させる駆動機構とを有することを特徴とする電着金属の剥離装置。
Conveying means for conveying a cathode electrodeposited with metal;
A separation means for separating the electrodeposited metal layer electrodeposited on the cathode from the cathode;
The separating means includes
A separator for separating the electrodeposited metal layer from the cathode;
Vibration means for inputting desired vibration to the separator;
An electrodeposited metal peeling apparatus comprising: a drive mechanism for inserting the separator vibrated by the vibration means between the electrodeposited metal layer and the cathode.
前記加振手段は、
超音波を発生する超音波発振器と、
前記駆動機構により前記分離器を前記カソードに電着された電着金属層を分離させる際に前記超音波発振器に駆動電流を出力する超音波制御部とを有することを特徴とする請求項1に記載の電着金属の剥離装置。
The vibration means is
An ultrasonic oscillator that generates ultrasonic waves;
2. The ultrasonic control unit according to claim 1, further comprising: an ultrasonic control unit that outputs a driving current to the ultrasonic oscillator when the separator separates the electrodeposited metal layer electrodeposited on the cathode by the driving mechanism. The electrodeposition metal peeling apparatus as described.
前記分離器は、
前記電着金属層に接触する刃先が前記電着金属層の左右両端部から先に分離する主チス刃と、
前記主チス刃の両側に配置され、前記超音波発振器により発生された超音波が入力される一対の超音波チス刃と、
を有し、
前記主チス刃は、前記縁部の左右端部より山型に形成された中間部を有することを特徴とする請求項2に記載の電着金属の剥離装置。
The separator is
A main chis blade in which the cutting edge in contact with the electrodeposited metal layer is separated first from the left and right ends of the electrodeposited metal layer;
A pair of ultrasonic chis blades that are disposed on both sides of the main chis blade and to which ultrasonic waves generated by the ultrasonic oscillator are input; and
Have
The electrodeposited metal peeling apparatus according to claim 2, wherein the main chis blade has an intermediate portion formed in a mountain shape from left and right end portions of the edge portion.
前記主チス刃は、前記中間部から側方に角度40度〜80度の範囲の傾斜を有することを特徴とする請求項3に記載の電着金属の剥離装置。   4. The electrodeposited metal peeling apparatus according to claim 3, wherein the main chis blade has an inclination in an angle range of 40 degrees to 80 degrees laterally from the intermediate portion. 前記主チス刃は、前記中間部が、0.25m〜2.0mの曲率半径を有することを特徴とする請求項3又は4に記載の電着金属の剥離装置。   5. The electrodeposited metal peeling apparatus according to claim 3, wherein the intermediate portion of the main chis blade has a radius of curvature of 0.25 m to 2.0 m. 前記分離器は、
前記超音波発振器により発生された超音波が入力され、前記電着金属層の左端部を分離する第1の超音波チス刃と、
前記超音波発振器により発生された超音波が入力され、前記電着金属層の右端部を分離する第2の超音波チス刃と、
を有することを特徴とする請求項2に記載の電着金属の剥離装置。
The separator is
A first ultrasonic chis blade that receives an ultrasonic wave generated by the ultrasonic oscillator and separates a left end portion of the electrodeposited metal layer;
A second ultrasonic chis blade that receives an ultrasonic wave generated by the ultrasonic oscillator and separates a right end portion of the electrodeposited metal layer;
The apparatus for peeling an electrodeposited metal according to claim 2, comprising:
さらに、前記分離器は、
前記第1の超音波チス刃及び前記第2の超音波チス刃を水平方向に移動させ、前記第1の超音波チス刃と前記第2の超音波チス刃との離間距離を調整する水平駆動機構と、
前記第1の超音波チス刃及び前記第2の超音波チス刃を前記水平駆動機構と共に、昇降させて前記第1の超音波チス刃及び前記第2の超音波チス刃を前記電着金属層の左右両端部に接触させて前記電着金属層の左右両端部から先に分離する昇降駆動機構と、
を有することを特徴とする請求項6に記載の電着金属の剥離装置。
Furthermore, the separator is
Horizontal drive for moving the first ultrasonic chis blade and the second ultrasonic chis blade in a horizontal direction to adjust the distance between the first ultrasonic chis blade and the second ultrasonic chis blade Mechanism,
The first ultrasonic chis blade and the second ultrasonic chis blade are moved up and down together with the horizontal drive mechanism to move the first ultrasonic chis blade and the second ultrasonic chis blade to the electrodeposited metal layer. An elevating drive mechanism for contacting the left and right ends of the electrodeposition metal layer and separating the left and right ends of the electrodeposited metal layer first;
The electrodeposition metal peeling apparatus according to claim 6, comprising:
金属が電着したカソードを搬送する搬送工程と、
分離器により前記電着金属層と前記カソードとを分離するための分離工程と、を有する電着金属の剥離方法であって、
前記分離工程は、前記分離器に加振手段による所望の振動が入力されながら前記分離器の先端を前記電着金属層と前記カソードとの間に挿入することを特徴とする電着金属の剥離方法。
A transporting process for transporting a cathode electrodeposited with metal;
A separation step for separating the electrodeposited metal layer and the cathode by a separator, comprising:
In the separation step, the electrodeposition metal peeling is characterized in that the tip of the separator is inserted between the electrodeposited metal layer and the cathode while a desired vibration by the vibration means is input to the separator. Method.
JP2013113372A 2013-05-29 2013-05-29 Electrodeposition metal peeling apparatus and electrodeposition metal peeling method Expired - Fee Related JP5971194B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013113372A JP5971194B2 (en) 2013-05-29 2013-05-29 Electrodeposition metal peeling apparatus and electrodeposition metal peeling method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013113372A JP5971194B2 (en) 2013-05-29 2013-05-29 Electrodeposition metal peeling apparatus and electrodeposition metal peeling method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014231632A true JP2014231632A (en) 2014-12-11
JP5971194B2 JP5971194B2 (en) 2016-08-17

Family

ID=52125208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013113372A Expired - Fee Related JP5971194B2 (en) 2013-05-29 2013-05-29 Electrodeposition metal peeling apparatus and electrodeposition metal peeling method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5971194B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105862087A (en) * 2016-06-08 2016-08-17 苏州丹源环保科技有限公司 Electrolytic manganese beating and stripping device
CN108396340A (en) * 2018-05-11 2018-08-14 三门三友科技股份有限公司 A kind of cathode flexure separator
CN111485258A (en) * 2020-05-20 2020-08-04 泉州市微柏工业机器人研究院有限公司 Stripping and vibrating device and method for electrolytic metal
JP2021011605A (en) * 2019-07-05 2021-02-04 住友金属鉱山株式会社 Electrolytic refining method for nonferrous metal

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4916645Y1 (en) * 1970-09-28 1974-04-26
JPS4925094B1 (en) * 1970-12-29 1974-06-27

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4916645Y1 (en) * 1970-09-28 1974-04-26
JPS4925094B1 (en) * 1970-12-29 1974-06-27

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105862087A (en) * 2016-06-08 2016-08-17 苏州丹源环保科技有限公司 Electrolytic manganese beating and stripping device
CN108396340A (en) * 2018-05-11 2018-08-14 三门三友科技股份有限公司 A kind of cathode flexure separator
JP2021011605A (en) * 2019-07-05 2021-02-04 住友金属鉱山株式会社 Electrolytic refining method for nonferrous metal
JP7272147B2 (en) 2019-07-05 2023-05-12 住友金属鉱山株式会社 Electrolytic refining method for non-ferrous metals
CN111485258A (en) * 2020-05-20 2020-08-04 泉州市微柏工业机器人研究院有限公司 Stripping and vibrating device and method for electrolytic metal
CN111485258B (en) * 2020-05-20 2021-08-20 福建省微柏工业机器人有限公司 Stripping and vibrating device and method for electrolytic metal

Also Published As

Publication number Publication date
JP5971194B2 (en) 2016-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5971194B2 (en) Electrodeposition metal peeling apparatus and electrodeposition metal peeling method
JP6397807B2 (en) Ultrasonic composite vibration welding method
JP2007083332A (en) Cut-off device and cutter holder for the same
KR20120096910A (en) Methods and apparatus for scoring thin glass
CN104624463A (en) Two-dimensional ultrasound vibration platform
CN107234330B (en) Ultrasonic metal welding device and working method thereof
KR102157008B1 (en) Ultrasonic bonding tool and ultrasonic bonding device
JP5974966B2 (en) Electrodeposition metal peeling apparatus and electrodeposition metal peeling method
WO2012036195A1 (en) Punching metal manufacturing method and device
US20230211597A1 (en) Solar panel disassembling apparatus
CN1534762A (en) Method for mfg. semiconductor device
JP6673961B2 (en) Ultrasonic compound vibration processing equipment
JP6585217B2 (en) Compound bending vibration detection method
CN109128509A (en) A kind of method of high-frequency vibration auxiliary laser welding nickel base superalloy
JP6033190B2 (en) Multi-wire processing apparatus and multi-wire processing method
US20220241900A1 (en) Severing machine
JP2019063969A (en) Cutting device
JP2014177068A (en) Method and device for cleavage of single crystal
CN1310810C (en) Electricity discharge and goods taking, stripping charge suppressing method and device, goods taking and receiving device
WO2013073225A1 (en) Wire electrical discharge machining device and method for manufacturing semiconductor wafer
JP2007083350A (en) Cutting blade
JP7179239B1 (en) Multi-wire electrical discharge machine, multi-wire electrical discharge machining method, thin plate manufacturing method, and semiconductor wafer manufacturing method
US20210229209A1 (en) Plated metal bonding method and plated metal bonding apparatus
CN220030780U (en) Slicing machine
CN220030761U (en) Wire cutting equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150618

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160314

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160322

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160523

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160614

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160627

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5971194

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees