JP2014229881A5 - - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 37
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013111330A JP6120677B2 (ja) | 2013-05-27 | 2013-05-27 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013111330A JP6120677B2 (ja) | 2013-05-27 | 2013-05-27 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014229881A JP2014229881A (ja) | 2014-12-08 |
JP2014229881A5 true JP2014229881A5 (ko) | 2016-07-21 |
JP6120677B2 JP6120677B2 (ja) | 2017-04-26 |
Family
ID=52129430
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013111330A Active JP6120677B2 (ja) | 2013-05-27 | 2013-05-27 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6120677B2 (ko) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6242099B2 (ja) * | 2013-07-23 | 2017-12-06 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置およびデバイス製造方法 |
JP6282298B2 (ja) * | 2015-06-10 | 2018-02-21 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP6921600B2 (ja) * | 2017-04-20 | 2021-08-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、制御データの生成方法、及び物品の製造方法 |
US11175598B2 (en) | 2017-06-30 | 2021-11-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method of manufacturing article |
JP7033994B2 (ja) * | 2018-04-11 | 2022-03-11 | キヤノン株式会社 | 成形装置及び物品の製造方法 |
JP7204457B2 (ja) * | 2018-12-06 | 2023-01-16 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
JP7274431B2 (ja) | 2020-01-17 | 2023-05-16 | 三協立山株式会社 | セッティングブロック位置決め治具 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5809409B2 (ja) * | 2009-12-17 | 2015-11-10 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びパターン転写方法 |
JP5771938B2 (ja) * | 2010-10-14 | 2015-09-02 | 株式会社ニコン | 露光方法、サーバ装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
JP2012178470A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Canon Inc | インプリント装置及びデバイスの製造方法 |
JP5686779B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2015-03-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
JP6140966B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2017-06-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
-
2013
- 2013-05-27 JP JP2013111330A patent/JP6120677B2/ja active Active
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