JP2014213552A5

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Info

Publication number: JP2014213552A5
Application number: JP2013093614A
Authority: JP
Filing date: 2013-04-26
Publication date: 2016-04-14
Anticipated expiration: 2033-04-26

Claims

凹凸パターンを有する板状のスタンパにシート状の被転写体を供給しながら前記凹凸パターンを転写する供給転写ステップと、
転写された前記被転写体を前記スタンパから剥離しながら、剥離された前記被転写体を前記供給した側に引き込む剥離引込ステップと、
前記引き込まれた前記被転写体を巻き取る巻取りステップと、を有し、
前記巻取りステップの後に前記供給転写ステップからの各前記ステップを行うことを特徴とするナノインプリント方法。
請求項１に記載したナノインプリント方法であって、
前記供給転写ステップは、前記スタンパの一面上であって前記被転写体を前記巻き取る方向と直交する方向の線状領域を加熱、加圧し、前記線状領域を前記巻き取る方向とは反対方向に移動させて前記転写を行う、
ことを特徴とするナノインプリント方法。
請求項1又は２に記載したナノインプリント方法であって、
前記スタンパへの前記被転写体の供給速度は、前記線状領域の移動速度と協調制御される、
ことを特徴とするナノインプリント方法。
請求項１乃至３のいずれかに記載したナノインプリント方法であって、
前記供給した側への引き込みは、前記スタンパへ前記被転写体を供給する側に設けられたピンチローラで行い、
引き込まれた前記被転写体は、前記ピンチローラに到達しない、
ことを特徴とするナノインプリント方法。
請求項１乃至４のいずれかに記載したナノインプリント方法であって、
前記引き込まれた前記被転写体の巻き取る量は、前記巻取りステップの終了位置から前記供給転写ステップの終了位置までの長さとする、
ことを特徴とするナノインプリント方法。
前記請求項１乃至５のいずれかに記載したナノインプリント方法であって、
前記スタンパから巻き取る側に搬送される前記被転写体の被転写面は、前記スタンパの転写面と略同一の高さである、
ことを特徴とするナノインプリント方法。
請求項１乃至６のいずれかに記載したナノインプリント方法であって、
前記巻取りステップを実施中は、前記スタンパに新たな前記被転写体を供給しない、
ことを特徴とするナノインプリント方法。
請求項１乃至７のいずれかに記載したナノインプリント方法であって、
前記剥離引込ステップは、前記スタンパの前記凹凸パターンを有する転写面を冷却する、
ことを特徴とするナノインプリント方法。
シート状の被転写体を巻回している原反リールを有し、凹凸パターンを有する板状のスタンパに向けて前記被転写体を供給する供給手段と、
前記原反リールから前記被転写体を前記スタンパに供給しながら前記凹凸パターンを転写する供給転写手段と、
転写された前記被転写体を前記スタンパから剥離しながら剥離された前記被転写体を前記供給手段側に引き込む剥離引込手段と、
前記引き込まれた前記被転写体を巻き取る巻取りリールを有する巻取り手段と、
を有することを特徴とするナノインプリント装置。
請求項９に記載したナノインプリント装置であって、
前記供給転写手段は、前記スタンパの一面上であって前記被転写体を前記巻き取る方向と直交する方向の線状領域を加圧する成形ローラと、前記線状領域を加熱する加熱手段とを有し、前記成形ローラを前記巻き取る方向とは反対方向に移動させ、前記成形ローラが前記供給手段から供給された前記被転写体を前記一面上に供給しながら前記転写を行う、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
請求項１０に記載したナノインプリント装置であって、
前記加熱手段は、前記線状領域と平行な加熱面を有する電磁誘導加熱部を有し、前記電磁誘導加熱部は前記成形ローラと同期して前記反対方向と移動する、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
請求項１０又は１１に記載したナノインプリント装置であって、
前記供給手段は、前記スタンパへの前記被転写体の供給速度を前記線状領域の移動速度と協調制御して行う、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
請求項９乃至１２のいずれかに記載したナノインプリント装置であって、
前記剥離引込手段は、前記剥離及び前記引き込みを前記被転写体の前記供給手段側に設けられたピンチローラで行い、前記ピンチローラは、引き込まれた前記被転写体が到達しない位置に設けられ、
前記供給手段は、前記ピンチローラによって前記原反リール側に引き込まれた前記被転写体を吸収する吸収手段を有する、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
請求項１３に記載したナノインプリント装置であって、
前記吸収手段は、供給側に引き込まれた前記被転写体の長さを検出する検出手段を有し、
前記巻取り手段は、前記検出手段の結果に基づいて前記長さを巻き取る、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
前記請求項９乃至１４のいずれかに記載したナノインプリント装置であって、
前記スタンパから前記巻き取る側に搬送される前記被転写体の被転写面が前記スタンパの転写面と略同一の高さになるように前記被転写面と反対側の前記被転写体の面を支持するピンチローラを設けた、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
前記請求項１０又は１２のいずれかに記載したナノインプリント装置であって、
前記成形ローラは、前記被転写体の前記スタンパへの供給角度及びスタンパからの剥離角度をそれぞれ規定する剥離ローラを有する、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
前記請求項１６に記載したナノインプリント装置であって、
前記剥離ローラは、前記原反リールに対して前記成形ローラの反対側に設けられ、
前記巻取りリールは、前記スタンパに対して前記原反リールと同一側に設けられている、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
請求項１５乃至１７のいずれかに記載したナノインプリント装置であって、
前記スタンパの前記転写面を冷却する冷却手段を有する、
ことを特徴とするナノインプリント装置。
前記請求項１８に記載したナノインプリント装置であって、
前記冷却手段は、前記成形ローラの前記巻取りリール側に隣接して設けられた冷却ローラと、前記冷却ローラを前記転写面に当接可能とする昇降手段とを有し、前記冷却ローラは、前記成形ローラと一体になって移動し、前記転写面を冷却する、
ことを特徴とするナノインプリント装置。