JP2014209172A - 感光性樹脂組成物、その硬化被膜およびプリント配線板 - Google Patents

感光性樹脂組成物、その硬化被膜およびプリント配線板 Download PDF

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Abstract

【課題】指触乾燥性が良好で、硬化物の無電解金めっき耐性、現像性および光沢に優れた感光性樹脂組成物、その硬化被膜および該硬化被膜を備えるプリント配線板を提供する。感度が良好で、硬化物の金めっき、熱、光照射による反射率の低下および変色の抑制に優れた感光性樹脂組成物、その硬化被膜および該硬化物を備えるプリント配線板を提供する。【解決手段】(A)酸変性感光性エポキシ樹脂、(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物である。前記(B)非感光性カルボン酸樹脂の酸価が120mgKOH/g以上であることが好ましい。(α)酸変性感光性樹脂、(β)スチレン骨格を有する非感光性カルボン酸樹脂、および、(γ)着色剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物である。【選択図】なし

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、その硬化被膜および該硬化被膜を備えるプリント配線板に関する。
近年、民生用プリント配線板や、産業用プリント配線板のソルダーレジストにおいて、高精度、高密度の観点から、紫外線照射後、現像することにより画像形成し、熱及び光照射の何れか一方で仕上げ硬化(本硬化)する液状現像型ソルダーレジストが使用されている。また、エレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密度化に対応して、ソルダーレジストの作業性の向上や高性能化が要求されている。
液状現像型ソルダーレジストの中でも、環境問題への配慮から、現像液としてアルカリ水溶液を用いるアルカリ現像型のフォトソルダーレジストが主流になっている。このようなアルカリ現像型のフォトソルダーレジストとして、エポキシ樹脂の変性により誘導されたエポキシアクリレート変性樹脂が一般的に用いられている。
例えば、特許文献1には、ノボラック型エポキシ化合物と不飽和一塩基酸の反応生成物に酸無水物を付加した感光性樹脂、光重合開始剤、希釈剤及びエポキシ化合物からなるソルダーレジスト組成物が開示されている。特許文献2には、サリチルアルデヒドと一価フェノールとの反応生成物にエピクロロヒドリンを反応させて得られたエポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を付加し、さらに多塩基性カルボン酸又はその無水物を反応させて得られる感光性樹脂、光重合開始剤、有機溶剤などからなるソルダーレジスト組成物が開示されている。
なお、希アルカリ水溶液によって良好にソルダーレジストの現像を行うためには、ソルダーレジスト組成物に含まれる樹脂の酸価を比較的高くする必要がある。
一方、プリント配線板の製造工程において、ソルダーレジストが形成された後に、導体パターンの表面処理や、プリントコンタクト用の端子形成、ボンディングパット形成等のために、金めっきが施されることがある。金めっきとしては、通電やめっきリードが不要なことから無電解金めっきが採用されることが多くなっている。
他方、最近では照明器具や携帯端末、パソコン、テレビ等の液晶ディスプレイのバックライト等において、その光源として発光ダイオード(LED)やエレクトロルミネッセンス(EL)が主に使用されている。そして、これらの光源から発せられる光を効率的に利用することを目的として、プリント配線板をLEDに直接実装して用いられる用途が増加している。このように使用されるプリント配線板に保護膜として被覆形成されるソルダーレジスト(絶縁膜)では、通常要求される耐溶剤性、硬度、はんだ耐熱性、電気絶縁性等の特性に加え、LEDの発光を有効に利用する目的で、反射率の高いソルダーレジストが要求されている(例えば特許文献5)。このような高反射率のソルダーレジストは、プリント配線板の作製工程における様々な処理による反射率の低下の抑制および変色の抑制に改善の余地があった。また、ソルダーレジストの形成に用いられる感光性樹脂組成物には、生産性の観点から、紫外線照射に対する高感度化が要求されていた。
特開昭61−243869号公報(特許請求の範囲) 特開平3−250012号公報(特許請求の範囲) 特開2010−224168号公報(特許請求の範囲) 国際公開2001/058977号(請求の範囲) 特開2007−322546号公報(特許請求の範囲)
しかしながら、上記のように比較的酸価が高い樹脂を使用した場合、無電解金めっきを行う際にソルダーレジストの硬化物へのめっき液のしみ込み、硬化物の膨れ、剥がれなどが発生するおそれがあるという問題があった。
これに対して、例えば、特許文献3記載のように複数の樹脂を併用することにより無電解金めっき耐性を改善することが考えられるが、特許文献4記載のように、複数の樹脂が混ざると、得られる硬化被膜の光沢、艶が失われてしまい、光沢や艶が求められる場合に問題となることがあった。一方、無電解金めっき耐性が良好である樹脂を用いると樹脂組成物の指触乾燥性が悪化するということがあった。さらに指触乾燥性を向上させるため、重量平均分子量が高い樹脂を用いると現像性が悪化するという問題もあった。
そこで本発明の目的は、指触乾燥性が良好で、硬化物の無電解金めっき耐性、現像性および光沢に優れた感光性樹脂組成物、その硬化被膜および該硬化被膜を備えるプリント配線板を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、感度が良好で、硬化物の金めっき、光照射、熱による反射率の低下および変色の抑制に優れた感光性樹脂組成物、その硬化被膜および該硬化物を備えるプリント配線板を提供することにある。
即ち、本発明の感光性樹脂組成物は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂、(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂(以下、非感光性カルボン酸樹脂と称する)、を含むことを特徴とするものである。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、前記(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂が、樹脂合成時に連鎖移動剤を用いて合成されたものであることが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、前記(B)非感光性カルボン酸樹脂の酸価が120mgKOH/g以上であることが好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、前記(B)非感光性カルボン酸樹脂のスチレン骨格の含有量が30〜60モル%であることが好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、前記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との含有割合が、質量比で、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂:(B)非感光性カルボン酸樹脂=90:10〜10:90であることが好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、エポキシ樹脂を含むことが好ましい。
本発明のドライフィルムは、上記いずれかの感光性樹脂組成物をフィルムに塗布乾燥してなることを特徴とするものである。
本発明の硬化被膜は、上記いずれかの感光性樹脂組成物、または、上記いずれかの感光性樹脂組成物をフィルムに塗布乾燥してなるドライフィルムを、硬化を行うことによって得られることを特徴とするものである。
本発明のプリント配線板は、上記の硬化被膜を備えることを特徴とするものである。
本発明の他の感光性樹脂組成物は、(α)酸変性感光性樹脂、(β)スチレン骨格を有する非感光性カルボン酸樹脂、および、(γ)着色剤を含むことを特徴とするものである。
本発明の他の感光性樹脂組成物は、前記(α)酸変性感光性樹脂と(β)スチレン骨格を有する非感光性カルボン酸樹脂との含有割合が、質量比で(α):(β)=95:5〜10:90であることが好ましい。
本発明の他の感光性樹脂組成物は、さらに、熱硬化成分を含むことが好ましい。
本発明の他のドライフィルムは、上記いずれかの感光性樹脂組成物をフィルムに塗布乾燥してなることを特徴とするものである。
本発明の他の硬化被膜は、上記いずれかの感光性樹脂組成物、または、上記いずれかの感光性樹脂組成物をフィルムに塗布乾燥してなるドライフィルムを、硬化を行うことによって得られることを特徴とするものである。
本発明の他のプリント配線板は、上記の硬化被膜を備えることを特徴とするものである。
本発明により、指触乾燥性が良好で、硬化物の無電解金めっき耐性、現像性および光沢に優れた感光性樹脂組成物、その硬化被膜および該硬化被膜を備えるプリント配線板を提供することが可能となる。また、感度が良好で、硬化物の金めっき、熱、光照射による反射率の低下および変色の抑制に優れた感光性樹脂組成物、その硬化被膜および該硬化物を備えるプリント配線板を提供することが可能となる。
本発明の第一の実施形態において、感光性樹脂組成物は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂、(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂(以下、単に「(B)非感光性カルボン酸樹脂」とも称する)、を含むことを特徴とするものである。
以下、本発明の第一の実施形態の感光性樹脂組成物の各成分について詳細に説明する。
[(A)酸変性感光性エポキシ樹脂]
上記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂は、公知のエポキシ基を含む樹脂(多官能エポキシ化合物)を、カルボキシル基含有化合物、酸無水物等により酸変性したものであり、カルボキシル基の他に、分子内にエチレン性不飽和結合を有する。エチレン性不飽和結合としては、アクリル酸もしくはメタアクリル酸又はそれらの誘導体由来のものが好ましい。カルボキシル基の存在により、樹脂組成物をアルカリ現像性とすることができる。
多官能エポキシ化合物としては、例えば、三菱化学社製のjER828、jER834、jER1001、jER1004、DIC社製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、東都化成社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、住友化学工業社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成工業社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(何れも商品名)のビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL903、DIC社製のエピクロン152、エピクロン165、東都化成社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル社製のD.E.R.542、住友化学工業社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成工業社製のA.E.R.711、A.E.R.714等(何れも商品名)のブロム化エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER152、jER154、ダウケミカル社製のD.E.N.431、D.E.N.438、DIC社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、東都化成社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、日本化薬社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、NC−3000、住友化学工業社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成工業社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299、新日鐵化学社製のYDCN−700−2、YDCN−700−3、YDCN−700−5,YDCN−700−7、YDCN−700−10、YDCN−704 YDCN−704A、DIC社製のエピクロンN−680、N−690、N−695(いずれも商品名)等のノボラック型エポキシ樹脂;DIC社製のエピクロン830、三菱化学社製jER807、東都化成社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004等(何れも商品名)のビスフェノールF型エポキシ樹脂;東都化成社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000(商品名)等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER604、東都化成社製のエポトートYH−434住友化学工業社製のスミ−エポキシELM−120等(何れも商品名)のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;ダイセル化学工業社製のセロキサイド2021等(何れも商品名)の脂環式エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−933、ダウケミカル社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等(何れも商品名)のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;三菱化学社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121(何れも商品名)等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;日本化薬社製EBPS−200、ADEKA社製EPX−30、DIC社製のEXA−1514(商品名)等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjER157S(商品名)等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;三菱化学社製のjERYL−931等(何れも商品名)のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;日産化学工業社製のTEPIC等(何れも商品名)の複素環式エポキシ樹脂;日本油脂社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;東都化成社製ZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鐵化学社製ESN−190、ESN−360、DIC社製HP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;DIC社製HP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日油社製CP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;CTBN変性エポキシ樹脂(例えば東都化成社製のYR−102、YR−450等)等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらの中でも、特にクレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物が好ましい。
これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感光性樹脂組成物に用いることができる酸変性感光性エポキシ樹脂の具体例としては、例えば、以下に列挙するような化合物が挙げられる。
(1)後述するような2官能又は上記したような多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸などの2塩基酸無水物を付加させた酸変性感光性エポキシ樹脂。
(2)後述するような2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基を、さらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に、(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させた酸変性感光性エポキシ樹脂。
本発明で用いる(A)酸変性感光性エポキシ樹脂の酸価は、40〜200mgKOH/gであることが好ましい。酸変性感光性エポキシ樹脂の酸価が40mgKOH/g以上の場合、アルカリ現像が良好となる。一方、200mgKOH/g以下の場合、現像液による露光部の溶解を抑制できるために、必要以上にラインが痩せ、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離したりすることを抑制して、良好にレジストパターンを描画することができる。より好ましくは、50〜120mgKOH/gである。
本発明で用いる(A)酸変性感光性エポキシ樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2000〜150000であることが好ましい。重量平均分子量が2000以上の場合、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時に膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が150000以下の場合、より現像性が良好となり、貯蔵安定性にも優れる。より好ましくは、5000〜100000である。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定することができる。
また、本発明で用いる(A)酸変性感光性エポキシ樹脂の軟化点は出発原料の軟化点に依存している。エポキシ樹脂の軟化点は感光基を付加することにより軟化点が40〜50℃程低くなってしまう。エポキシ樹脂の軟化点が高いと指触乾燥性がより良好となり、タックフリー性能が良好となる。
(A)酸変性感光性エポキシ樹脂の配合量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂合計100質量部中10〜90質量部であることが好ましい。10質量部以上の場合、より無電解金めっき耐性が良好となる。一方、90質量部以下の場合、より指触乾燥性が良好となる。より好ましくは、20〜80質量部である。
[(B)非感光性カルボン酸樹脂]
上記(B)非感光性カルボン酸樹脂は、分子内にカルボキシル基を有し、エチレン性不飽和結合などの感光性基を有さない樹脂であり、分子内にスチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である。好ましくは、15000〜30000、より好ましくは25000〜30000、特に好ましくは30000である。このような非感光性カルボン酸樹脂は、スチレンを必須のモノマーとして共重合により合成することができる。このような構成により、上記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂との相溶性が良くなり、良好な光沢、艶を有する硬化被膜を得ることができる。
上記非感光性カルボン酸樹脂の具体例としては、例えば、以下に挙げる化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。
(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等から選ばれる不飽和基含有化合物との共重合により得られる非感光性カルボン酸樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。
本発明で用いる(B)非感光性カルボン酸樹脂の重量平均分子量は、10000〜50000である。重量平均分子量が10000以上の場合、より指触乾燥性(タックフリー性能)が良好となり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時に膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が50000以下の場合、より無電解金めっき耐性、現像性が良好となり、貯蔵安定性にも優れる。
本発明で用いる(B)非感光性カルボン酸樹脂の酸価は、120mgKOH/g以上であることが好ましく、120〜180mgKOH/gであることがより好ましく、140〜180mgKOH/gであることがさらに好ましい。(B)非感光性カルボン酸樹脂は120mgKOH/g以上の高酸価とすると高軟化点となることより、タックフリー性能に非常に優れるからである。従って、樹脂組成物の指触乾燥性を悪化させるエポキシ樹脂と組み合わせて使用しても、指触乾燥性が良好となる点で有効である。また、(B)非感光性カルボン酸樹脂の酸価が120mgKOH/g以上の場合、より現像性が良好となる。
本発明で用いる(B)非感光性カルボン酸樹脂は、スチレン骨格の割合が、分子中、30〜60モル%であることが好ましい。即ち、非感光性カルボン酸樹脂の合成時に、モノマー全体量に対して30〜60モル%のスチレンを用いることが好ましい。この範囲の割合のスチレン骨格とすることで、後述するようなエポキシ樹脂が樹脂組成物中に含まれる場合に、非感光性カルボン酸樹脂とエポキシ樹脂との相溶性がよくなる。また、30モル%以上の場合、相溶性が良好となるため、その結果、より光沢も良好となる。一方、60モル%以下の場合、より現像性が良好となる。通常、高酸価の共重合樹脂とエポキシ樹脂とは相溶性が悪く、分離により、塗膜の光沢がなくなることがある。これに対して、スチレン量を上記の範囲にすることにより、相溶性が良好になり、塗膜の光沢が失われることを抑制することができる。
(B)非感光性カルボン酸樹脂は、懸濁重合により製造される方が、高分子量の樹脂を製造することができ、その結果、当該樹脂を用いた組成物の指触乾燥性(タックフリー性能)に優れる点で好ましい。
一般に懸濁重合により製造すると樹脂は高分子量となるが、当該樹脂を用いた組成物の無電解金めっき耐性、現像性の特性をも考慮すると、重量平均分子量を10000〜50000の範囲に抑えることが必要である。そのため、分子量の制御においては、樹脂合成時に連鎖移動剤を用いることが好ましい。
連鎖移動剤は、下記に挙げる連鎖移動剤の他に、MSD(α−メチルスチレンダイマー)やn−DM(n−ドデシルメルカプタン)などが挙げられる。なかでも、MSD(α−メチルスチレンダイマー)が好ましい。
連鎖移動剤の配合量は、樹脂合成時、固形分換算で、樹脂100質量部中1〜10質量部であることが好ましい。
また重合を促進するには、樹脂合成時に重合開始剤を用いることが好ましい。
重合開始剤は、BPO(ベンゾイルパーオキサイド)、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノネート、AMBN(2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル))などが挙げられる。なかでも、BPO(ベンゾイルパーオキサイド)が好ましい。
重合開始剤の配合量は、樹脂合成時、固形分換算で、樹脂100質量部中0.1〜10質量部であることが好ましく、固形分換算で、樹脂100質量部中1〜4質量部であることがより好ましい。
(B)非感光性カルボン酸樹脂の配合量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部中、10〜90質量部であることが好ましい。10質量部以上の場合、より指触乾燥性が良好となる。一方、90質量部以下の場合、より無電解金めっき耐性が良好となる。より好ましくは20〜80質量部である。
(エポキシ樹脂)
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、エポキシ樹脂を含有することが好ましい。エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。
上記多官能エポキシ化合物としては、例えば、上記したものと同様のものが挙げられる。
上記エポキシ樹脂の配合量は、前記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂のカルボキシル基1当量に対して、好ましくは0.3〜2.5当量、より好ましくは、0.5〜2.0当量となる範囲である。分子中に2つ以上の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分、特にエポキシ樹脂の配合量が0.3以上の場合、ソルダーレジスト膜にカルボキシル基が残りにくく、耐熱性、耐アルカリ性、電気絶縁性などが良好となる。一方、2.5当量以下の場合、低分子量の環状(チオ)エーテル基が乾燥塗膜に残存しにくく、塗膜の強度などが良好となる。
上記エポキシ樹脂は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。
(熱硬化成分)
さらに、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、エポキシ樹脂以外の熱硬化成分を加えることができる。本発明に用いられる熱硬化成分としては、ブロックイソシアネート化合物、マレイミド化合物、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用の熱硬化性樹脂等が挙げられる。これらの中でも好ましい熱硬化成分は、1分子中に複数の環状エーテル基及び環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略称する)の少なくとも何れか1種を有する熱硬化成分である。これら環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分は、市販されている種類が多く、その構造によって多様な特性を付与することができる。
このような分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分は、分子中に3、4又は5員環の環状エーテル基、又は環状チオエーテル基のいずれか一方又は2種類の基を2個以上有する化合物であり、例えば、分子中に複数のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物、分子中に複数のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂などが挙げられる。
また、本発明の感光性樹脂組成物には、組成物の硬化性及び得られる硬化膜の強靭性を向上させるために、熱硬化成分として、1分子中に複数のイソシアネート基又はブロック化イソシアネート基を有する化合物を加えることができる。このような1分子中に複数のイソシアネート基又はブロック化イソシアネート基を有する化合物は、1分子中に複数のイソシアネート基を有する化合物、すなわちポリイソシアネート化合物、又は1分子中に複数のブロック化イソシアネート基を有する化合物、すなわちブロックイソシアネート化合物などが挙げられる。
前記ポリイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート又は脂環式ポリイソシアネートが用いられる。芳香族ポリイソシアネートの具体例としては、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン−1,5−ジイソシアネート、o−キシリレンジイソシアネート、m−キシリレンジイソシアネート及び2,4−トリレンダイマーが挙げられる。脂肪族ポリイソシアネートの具体例としては、テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)及びイソホロンジイソシアネートが挙げられる。脂環式ポリイソシアネートの具体例としてはビシクロヘプタントリイソシアネートが挙げられる。並びに先に挙げられたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体及びイソシアヌレート体が挙げられる。
ブロックイソシアネート化合物に含まれるブロック化イソシアネート基は、イソシアネート基がブロック剤との反応により保護されて一時的に不活性化された基である。所定温度に加熱されたときにそのブロック剤が解離してイソシアネート基が生成する。
ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物とイソシアネートブロック剤との付加反応生成物が用いられる。ブロック剤と反応し得るイソシアネート化合物としては、イソシアヌレート型、ビウレット型、アダクト型等が挙げられる。このイソシアネート化合物としては、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート又は脂環式ポリイソシアネートが用いられる。芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート、脂環式ポリイソシアネートの具体例としては、先に例示したような化合物が挙げられる。
イソシアネートブロック剤としては、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール、クロロフェノール及びエチルフェノール等のフェノール系ブロック剤;ε−カプロラクタム、δ−パレロラクタム、γ−ブチロラクタム及びβ−プロピオラクタム等のラクタム系ブロック剤;アセト酢酸エチル及びアセチルアセトンなどの活性メチレン系ブロック剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、アミルアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ベンジルエーテル、グリコール酸メチル、グリコール酸ブチル、ジアセトンアルコール、乳酸メチル及び乳酸エチル等のアルコール系ブロック剤;ホルムアルデヒドキシム、アセトアルドキシム、アセトキシム、メチルエチルケトキシム、ジアセチルモノオキシム、シクロヘキサンオキシム等のオキシム系ブロック剤;ブチルメルカプタン、ヘキシルメルカプタン、t−ブチルメルカプタン、チオフェノール、メチルチオフェノール、エチルチオフェノール等のメルカプタン系ブロック剤;酢酸アミド、ベンズアミド等の酸アミド系ブロック剤;コハク酸イミド及びマレイン酸イミド等のイミド系ブロック剤;キシリジン、アニリン、ブチルアミン、ジブチルアミン等のアミン系ブロック剤;イミダゾール、2−エチルイミダゾール等のイミダゾール系ブロック剤;メチレンイミン及びプロピレンイミン等のイミン系ブロック剤等が挙げられる。
ブロックイソシアネート化合物は市販のものであってもよく、例えば、スミジュールBL−3175、BL−4165、BL−1100、BL−1265、デスモジュールTPLS−2957、TPLS−2062、TPLS−2078、TPLS−2117、デスモサーム2170、デスモサーム2265(以上、住友バイエルウレタン社製、商品名)、コロネート2512、コロネート2513、コロネート2520(以上、日本ポリウレタン工業社製、商品名)、B−830、B−815、B−846、B−870、B−874、B−882(以上、三井武田ケミカル社製、商品名)、TPA−B80E、17B−60PX、E402−B80T(以上、旭化成ケミカルズ社製、商品名)等が挙げられる。なお、スミジュールBL−3175、BL−4265はブロック剤としてメチルエチルオキシムを用いて得られるものである。
上記の1分子中に複数のイソシアネート基又はブロック化イソシアネート基を有する化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
このような1分子中に複数のイソシアネート基又はブロック化イソシアネート基を有する化合物の配合量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、1〜100質量部、より好ましくは、2〜70質量部である。前記配合量が、1質量部以上の場合、十分な塗膜の強靭性が得られる。一方、100質量部以下の場合、保存安定性が良好である。
また、熱硬化成分として、本発明の感光性樹脂組成物には、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体といったアミノ樹脂等を加えることができる。そのような熱硬化成分としては、例えばメチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物、メチロール尿素化合物、アルコキシメチル化メラミン化合物、アルコキシメチル化ベンゾグアナミン化合物、アルコキシメチル化グリコールウリル化合物、アルコキシメチル化尿素化合物などが挙げられる。上記アルコキシメチル基の種類については特に限定されるものではなく、例えばメトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、ブトキシメチル基等とすることができる。特に人体や環境に優しいホルマリン濃度が0.2%以下のメラミン誘導体が好ましい。上記熱硬化成分は1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの熱硬化成分の市販品としては、例えばサイメル300、同301、同303、同370、同325、同327、同701、同266、同267、同238、同1141、同272、同202、同1156、同1158、同1123、同1170、同1174、同UFR65、同300(以上、三井サイアナミッド社製)、ニカラックMx−750、同Mx−032、同Mx−270、同Mx−280、同Mx−290、同Mx−706、同Mx−708、同Mx−40、同Mx−31、同Ms−11、同Mw−30、同Mw−30HM、同Mw−390、同Mw−100LM、同Mw−750LM、(以上、三和ケミカル社製)等を挙げることができる。
(光重合開始剤)
本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含むことが好ましい。光重合開始剤としては、公知のいずれのものも用いることができるが、中でも、オキシムエステル基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤が好ましい。光重合開始剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用して用いてもよい。
オキシムエステル系光重合開始剤としては、市販品として、BASFジャパン社製のCGI−325、イルガキュア(登録商標)OXE01、イルガキュアOXE02、ADEKA社製N−1919、アデカアークルズ(登録商標)NCI−831などが挙げられる。
また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する光重合開始剤も好適に用いることができ、具体的には、下記一般式で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。
Figure 2014209172
(式中、Xは、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)を表し、Y、Zはそれぞれ、水素原子、炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、ハロゲン基、フェニル基、フェニル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1〜17のアルキル基、炭素数1〜8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1〜8のアルキル基を持つアルキルアミノ基又はジアルキルアミノ基により置換されている)、アンスリル基、ピリジル基、ベンゾフリル基、ベンゾチエニル基を表し、Arは、炭素数1〜10のアルキレン、ビニレン、フェニレン、ビフェニレン、ピリジレン、ナフチレン、チオフェン、アントリレン、チエニレン、フリレン、2,5−ピロール−ジイル、4,4’−スチルベン−ジイル、4,2’−スチレン−ジイルを表し、nは0又は1の整数である)
特に、上記式中、X、Yが、それぞれ、メチル基又はエチル基であり、Zがメチル又はフェニルであり、nが0であり、Arが、フェニレン、ナフチレン、チオフェン又はチエニレンであるオキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。
オキシムエステル系光重合開始剤を使用する場合の配合量は、好ましくは、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、0.01〜5質量部である。0.01質量部以上の場合、銅上での光硬化性が良好であり、塗膜が剥離しにくく、耐薬品性などの塗膜特性が良好となる。一方、5質量部以下の場合、ソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が良好となり、深部硬化性が向上する。より好ましくは、0.5〜3質量部である。
α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤としては、具体的には、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノンなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン社製のイルガキュア907、イルガキュア369、イルガキュア379などが挙げられる。
アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、具体的には2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。市販品としては、BASFジャパン社製のルシリン(登録商標)TPO、イルガキュア819などが挙げられる。
α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤またはアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤を用いる場合のそれぞれの配合量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、0.01〜25質量部であることが好ましい。0.01質量部以上の場合、オキシムエステル系光重合開始剤を用いた場合と同様に銅上での光硬化性が良好であり、塗膜が剥離しにくく、耐薬品性などの塗膜特性の低下を抑制できる。一方、25質量部以下の場合、アウトガスが低減し、さらにソルダーレジスト塗膜表面での光吸収が良好となり、深部硬化性が向上する。より好ましくは0.5〜20質量部である。
(光開始助剤または増感剤)
上記光重合開始剤の他、本発明の感光性樹脂組成物においては、光開始助剤または増感剤を好適に用いることができる。光開始剤または増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物、及びキサントン化合物などを挙げることができる。これらの化合物は、光重合開始剤として用いることができる場合もあるが、光重合開始剤と併用して用いることが好ましい。また、光開始助剤または増感剤は1種類を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
ベンゾイン化合物としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなどが挙げられる。
アセトフェノン化合物としては、例えばアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノンなどが挙げられる。
アントラキノン化合物としては、例えば2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノンなどが挙げられる。
チオキサントン化合物としては、例えば2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。
ケタール化合物としては、例えばアセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。
ベンゾフェノン化合物としては、例えばベンゾフェノン、4−ベンゾイルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4−ベンゾイル−4’−プロピルジフェニルスルフィドなどが挙げられる。
3級アミン化合物としては、例えばエタノールアミン化合物、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物、例えば、市販品では、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン(日本曹達社製ニッソキュアー(登録商標)MABP)、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノン(保土ヶ谷化学社製EAB)などのジアルキルアミノベンゾフェノン、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オン(7−(ジエチルアミノ)−4−メチルクマリン)などのジアルキルアミノ基含有クマリン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル(日本化薬社製カヤキュアー(登録商標)EPA)、2−ジメチルアミノ安息香酸エチル(インターナショナルバイオ−シンセティクス社製QuantacureDMB)、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル(インターナショナルバイオ−シンセエティックス社製QuantacureBEA)、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエチルエステル(日本化薬社製カヤキュアーDMBI)、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル(VanDyk社製Esolol507)などが挙げられる。3級アミン化合物としては、ジアルキルアミノベンゼン構造を有する化合物が好ましく、中でも、ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物、最大吸収波長が350〜450nmにあるジアルキルアミノ基含有クマリン化合物及びケトクマリン類が特に好ましい。
ジアルキルアミノベンゾフェノン化合物としては、4,4’−ジエチルアミノベンゾフェノンが毒性が低いことから好ましい。ジアルキルアミノ基含有クマリン化合物は、最大吸収波長が350〜410nmと紫外線領域にあるため、着色が少なく、無色透明な感光性組成物はもとより、着色顔料を用い、着色顔料自体の色を反映した着色ソルダーレジスト膜を得ることが可能となる。特に、7−(ジエチルアミノ)−4−メチル−2H−1−ベンゾピラン−2−オンが、波長400〜410nmのレーザー光に対して優れた増感効果を示すことから好ましい。
これらのうち、チオキサントン化合物及び3級アミン化合物が好ましい。特に、チオキサントン化合物が含まれることにより、深部硬化性を向上させることができる。
光開始助剤または増感剤を用いる場合の配合量としては、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましい。光開始助剤または増感剤の配合量が0.1質量部以上の場合、良好な増感効果を得ることができる。一方、20質量部以下の場合、3級アミン化合物による塗膜の表面での光吸収が大きくなりすぎず、深部硬化性が良好となる。より好ましくは、0.1〜10質量部である。
光重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤の総量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、35質量部以下であることが好ましい。35質量部以下の場合、これらの光吸収による深部硬化性の低下を抑制できる。
なお、これら光重合開始剤、光開始助剤、及び増感剤は、特定の波長を吸収するため、場合によっては感度が低くなり、紫外線吸収剤として働くことがある。しかしながら、これらは組成物の感度を向上させることだけの目的に用いられるものではない。必要に応じて特定の波長の光を吸収させて、表面の光反応性を高め、レジストのライン形状及び開口を垂直、テーパー状、逆テーパー状に変化させるとともに、ライン幅や開口径の加工精度を向上させることができる。
(連鎖移動剤)
本発明の感光性樹脂組成物には、感度を向上するために連鎖移動剤として公知慣用のNフェニルグリシン類、フェノキシ酢酸類、チオフェノキシ酢酸類、メルカプトチアゾール等を用いることができる。連鎖移動剤としては、例えば、メルカプト琥珀酸、メルカプト酢酸、メルカプトプロピオン酸、メチオニン、システイン、チオサリチル酸及びその誘導体等のカルボキシル基を有する連鎖移動剤;メルカプトエタノール、メルカプトプロパノール、メルカプトブタノール、メルカプトプロパンジオール、メルカプトブタンジオール、ヒドロキシベンゼンチオール及びその誘導体等の水酸基を有する連鎖移動剤;1−ブタンチオール、ブチル−3−メルカプトプロピオネート、メチル−3−メルカプトプロピオネート、2,2−(エチレンジオキシ)ジエタンチオール、エタンチオール、4−メチルベンゼンチオール、ドデシルメルカプタン、プロパンチオール、ブタンチオール、ペンタンチオール、1−オクタンチオール、シクロペンタンチオール、シクロヘキサンチオール、チオグリセロール、4,4−チオビスベンゼンチオール等が挙げられる。
また、連鎖移動剤として多官能性メルカプタン系化合物も用いることができる。多官能性メルカプタン系化合物としては、例えば、ヘキサン−1,6−ジチオール、デカン−1,10−ジチオール、ジメルカプトジエチルエーテル、ジメルカプトジエチルスルフィド等の脂肪族チオール類、キシリレンジメルカプタン、4,4′−ジメルカプトジフェニルスルフィド、1,4−ベンゼンジチオール等の芳香族チオール類;エチレングリコールビス(メルカプトアセテート)、ポリエチレングリコールビス(メルカプトアセテート)、プロピレングリコールビス(メルカプトアセテート)、グリセリントリス(メルカプトアセテート)、トリメチロールエタントリス(メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(メルカプトアセテート)、ペンタエリスリトールテトラキス(メルカプトアセテート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(メルカプトアセテート)等の多価アルコールのポリ(メルカプトアセテート)類;エチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ポリエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、プロピレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、グリセリントリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールエタントリス(メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)等の多価アルコールのポリ(3−メルカプトプロピオネート)類;1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルタプトブチレート)等のポリ(メルカプトブチレート)類等が挙げられる。
これらの市販品としては、例えばBMPA、MPM、EHMP、NOMP、MBMP、STMP、TMMP、PEMP、DPMP、及びTEMPIC(以上、堺化学工業社製)、カレンズMT−PE1、カレンズMT−BD1、及びカレンズ−NR1(以上、昭和電工社製)等を挙げることができる。
また、連鎖移動剤としてメルカプト基を有する複素環化合物も用いることができる。メルカプト基を有する複素環化合物としては、例えば、メルカプト−4−ブチロラクトン(別名:2−メルカプト−4−ブタノリド)、2−メルカプト−4−メチル−4−ブチロラクトン、2−メルカプト−4−エチル−4−ブチロラクトン、2−メルカプト−4−ブチロチオラクトン、2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−メトキシ−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−エトキシ−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−メチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−(2−メトキシ)エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、N−(2−エトキシ)エチル−2−メルカプト−4−ブチロラクタム、2−メルカプト−5−バレロラクトン、2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−メチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−(2−メトキシ)エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、N−(2−エトキシ)エチル−2−メルカプト−5−バレロラクタム、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプト−5−メチルチオ−チアジアゾール、2−メルカプト−6−ヘキサノラクタム、2,4,6−トリメルカプト−s−トリアジン(三協化成社製:商品名 ジスネットF)、2−ジブチルアミノ−4,6−ジメルカプト−s−トリアジン(三協化成社製:商品名 ジスネットDB)、及び2−アニリノ−4,6−ジメルカプト−s−トリアジン(三協化成社製:商品名 ジスネットAF)等が挙げられる。
特に、感光性樹脂組成物の現像性を損なうことがないことから、メルカプトベンゾチアゾール、3−メルカプト−4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール、5−メチル−1,3,4−チアジアゾール−2−チオール、1−フェニル−5−メルカプト−1H−テトラゾールが好ましい。これらの連鎖移動剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
(ウレタン化触媒)
本発明の感光性樹脂組成物には、水酸基やカルボキシル基とイソシアネート基との硬化反応を促進させるためにウレタン化触媒を加えることができる。ウレタン化触媒としては錫系触媒、金属塩化物、金属アセチルアセトネート塩、金属硫酸塩、アミン化合物、及びアミン塩よりなる群から選択される1種以上のウレタン化触媒を使用することが好ましい。
前記錫系触媒としては、例えばスタナスオクトエート、ジブチルすずジラウレートなどの有機すず化合物、無機すず化合物などが挙げられる。
前記金属塩化物としては、Cr、Mn、Co、Ni、Fe、Cu又はAlからなる金属の塩化物で、例えば、塩化第二コバルト、塩化第一ニッケル、塩化第二鉄などが挙げられる。
前記金属アセチルアセトネート塩としては、Cr、Mn、Co、Ni、Fe、Cu又はAlからなる金属のアセチルアセトネート塩であり、例えば、コバルトアセチルアセトネート、ニッケルアセチルアセトネート、鉄アセチルアセトネートなどが挙げられる。
前記金属硫酸塩としては、Cr、Mn、Co、Ni、Fe、Cu又はAlからなる金属の硫酸塩で、例えば、硫酸銅などが挙げられる。
前記アミン化合物としては、例えば、従来公知のトリエチレンジアミン、N,N,N’,N’−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミン、ビス(2−ジメチルアミノエチル)エーテル、N,N,N’,N”,N”−ペンタメチルジエチレントリアミン、N−メチルモルフォリン、N−エチルモルフォリン、N,N−ジメチルエタノールアミン、ジモルホリノジエチルエーテル、N−メチルイミダゾール、ジメチルアミノピリジン、トリアジン、N’−(2−ヒドロキシエチル)−N,N,N’−トリメチルービス(2−アミノエチル)エーテル、N,N−ジメチルヘキサノールアミン、N,N−ジメチルアミノエトキシエタノール、N,N,N’−トリメチル−N’−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン、N−(2−ヒドロキシエチル)−N,N’,N”,N”−テトラメチルジエチレントリアミン、N−(2−ヒドロキシプロピル)−N,N’,N”,N”−テトラメチルジエチレントリアミン、N,N,N’−トリメチル−N’−(2−ヒドロキシエチル)プロパンジアミン、N−メチル−N’−(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、ビス(N,N−ジメチルアミノプロピル)アミン、ビス(N,N−ジメチルアミノプロピル)イソプロパノールアミン、2−アミノキヌクリジン、3−アミノキヌクリジン、4−アミノキヌクリジン、2−キヌクリジオール、3−キヌクリジノール、4−キヌクリジノール、1−(2’−ヒドロキシプロピル)イミダゾール、1−(2’−ヒドロキシプロピル)−2−メチルイミダゾール、1−(2’−ヒドロキシエチル)イミダゾール、1−(2’−ヒドロキシエチル)−2−メチルイミダゾール、1−(2’−ヒドロキシプロピル)−2−メチルイミダゾール、1−(3’−アミノプロピル)イミダゾール、1−(3’−アミノプロピル)−2−メチルイミダゾール、1−(3’−ヒドロキシプロピル)イミダゾール、1−(3’−ヒドロキシプロピル)−2−メチルイミダゾール、N,N−ジメチルアミノプロピル−N’−(2−ヒドロキシエチル)アミン、N,N−ジメチルアミノプロピル−N’,N’−ビス(2−ヒドロキシエチル)アミン、N,N−ジメチルアミノプロピル−N’,N’−ビス(2−ヒドロキシプロピル)アミン、N,N−ジメチルアミノエチル−N’,N’−ビス(2−ヒドロキシエチル)アミン、N,N−ジメチルアミノエチル−N’,N’−ビス(2−ヒドロキシプロピル)アミン、メラミン又は/及びベンゾグアナミンなどが挙げられる。
前記アミン塩としては、例えば、DBU(1,8−ジアザ−ビシクロ[5.4.0]ウンデセン−7)の有機酸塩系のアミン塩などが挙げられる。
前記ウレタン化触媒の配合量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜10.0質量部である。
(熱硬化触媒)
上記エポキシ樹脂や、分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化成分を使用する場合、熱硬化触媒を含有することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物などが挙げられる。また、市販されているものとしては、例えば四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT(登録商標)3503N、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)などが挙げられる。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、もしくはエポキシ基及びオキセタニル基の少なくとも何れか1種とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独で又は2種以上を混合して使用してもかまわない。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を前記熱硬化触媒と併用する。
これら熱硬化触媒の配合量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。
(密着促進剤)
本発明の感光性樹脂組成物には、層間の密着性、又は感光性樹脂層と基材との密着性を向上させるために密着促進剤を用いることができる。密着促進剤としては、例えば、ベンゾイミダゾール、ベンゾオキサゾール、ベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール(商品名:川口化学工業社製アクセルM)、3−モルホリノメチル−1−フェニル−トリアゾール−2−チオン、5−アミノ−3−モルホリノメチル−チアゾール−2−チオン、2−メルカプト−5−メチルチオ−チアジアゾール、トリアゾール、テトラゾール、ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、アミノ基含有ベンゾトリアゾール、シランカップリング剤などが挙げられる。
(着色剤)
本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤を含有することができる。使用する着色剤としては、赤、青、緑、黄、白などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。具体例として、下記のようなカラーインデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyers and Colourists)発行)番号が付されているものを挙げることができる。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。
赤色着色剤:
赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などがあり、具体的には以下のものが挙げられる。
モノアゾ系:Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15,16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 112, 114, 146, 147, 151, 170,184, 187, 188, 193,210, 245, 253, 258, 266, 267, 268, 269。
ジスアゾ系:Pigment Red 37, 38, 41。
モノアゾレーキ系:Pigment Red 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1,49:2, 50:1, 52:1, 52:2,53:1, 53:2, 57:1, 58:4, 63:1, 63:2, 64:1,68。
ベンズイミダゾロン系:Pigment Red 171、PigmentRed 175、Pigment Red 176、PigmentRed 185、Pigment Red 208。
ぺリレン系:Solvent Red 135、SolventRed 179、Pigment Red 123、PigmentRed 149、Pigment Red 166、PigmentRed 178、Pigment Red 179、PigmentRed 190、Pigment Red 194、PigmentRed 224。
ジケトピロロピロール系:Pigment Red 254、PigmentRed 255、Pigment Red 264、PigmentRed 270、Pigment Red 272。
縮合アゾ系:Pigment Red 220、PigmentRed 144、Pigment Red 166、PigmentRed 214、Pigment Red 220、PigmentRed 221、Pigment Red 242。
アンスラキノン系:Pigment Red 168、PigmentRed 177、Pigment Red 216、SolventRed 149、Solvent Red 150、SolventRed 52、Solvent Red 207。
キナクリドン系:Pigment Red 122、PigmentRed 202、Pigment Red 206、PigmentRed 207、Pigment Red 209。
青色着色剤:
青色着色剤としてはフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には:Pigment Blue 15、Pigment Blue 15:1、Pigment Blue 15:2、Pigment Blue 15:3、Pigment Blue 15:4、Pigment Blue 15:6、Pigment Blue 16、Pigment Blue 60。
染料系としては、Solvent Blue 35、SolventBlue 63、Solvent Blue 68、SolventBlue 70、Solvent Blue 83、SolventBlue 87、Solvent Blue 94、SolventBlue 97、Solvent Blue 122、SolventBlue 136、Solvent Blue 67、SolventBlue 70等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
緑色着色剤:
緑色着色剤としては、同様にフタロシアニン系、アントラキノン系、ペリレン系があり、具体的にはPigmentGreen 7、Pigment Green 36、SolventGreen 3、Solvent Green 5、SolventGreen 20、Solvent Green 28等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。
黄色着色剤:
黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等があり、具体的には以下のものが挙げられる。
アントラキノン系:Solvent Yellow 163、PigmentYellow 24、Pigment Yellow 108、PigmentYellow 193、Pigment Yellow 147、PigmentYellow 199、Pigment Yellow 202。
イソインドリノン系:Pigment Yellow 110、PigmentYellow 109、Pigment Yellow 139、PigmentYellow 179、Pigment Yellow 185。
縮合アゾ系:Pigment Yellow 93、PigmentYellow 94、Pigment Yellow 95、PigmentYellow 128、Pigment Yellow 155、PigmentYellow 166、Pigment Yellow 180。
ベンズイミダゾロン系:Pigment Yellow 120、PigmentYellow 151、Pigment Yellow 154、PigmentYellow 156、Pigment Yellow 175、PigmentYellow 181。
モノアゾ系:Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 61,62, 62:1, 65, 73, 74, 75, 97, 100, 104,105, 111, 116, 167, 168, 169, 182, 183。
ジスアゾ系:Pigment Yellow 12, 13, 14, 16, 17, 55, 63, 81,83, 87, 126, 127, 152, 170, 172, 174, 176, 188, 198。
白色着色剤:
また、本発明においては着色剤として、白色着色剤を用いることもできる。白色着色剤としては、例えば酸化チタン、酸化亜鉛、塩基性炭酸鉛、塩基性硫酸鉛、硫酸鉛、硫化亜鉛、酸化アンチモン等が挙げられる。酸化チタンとしてはルチル型酸化チタンでもアナターゼ型酸化チタンでもよいが、ルチル型酸化チタンを用いることが好ましい。同じ酸化チタンであるアナターゼ型酸化チタンは、ルチル型酸化チタンと比較して白色度が高く、白色顔料としてよく使用されるが、アナターゼ型酸化チタンは、光触媒活性を有するために、特にLEDから照射される光により、絶縁性樹脂組成物中の樹脂の変色を引き起こすことがある。これに対し、ルチル型酸化チタンは、白色度はアナターゼ型と比較して若干劣るものの、光活性を殆ど有さないために、酸化チタンの光活性に起因する光による樹脂の劣化(黄変)が顕著に抑制され、また熱に対しても安定である。このため、LEDが実装されたプリント配線板の絶縁層において白色着色剤として用いられた場合に、高反射率を長期にわたり維持することができる。
ルチル型酸化チタンとしては、公知のものを使用することができる。ルチル型酸化チタンの製造法には、硫酸法と塩素法の2種類あり、本発明では、いずれの製造法により製造されたものも好適に使用することができる。ここで、硫酸法は、イルメナイト鉱石やチタンスラグを原料とし、これを濃硫酸に溶解して鉄分を硫酸鉄として分離し、溶液を加水分解することにより水酸化物の沈殿物を得、これを高温で焼成してルチル型酸化チタンを取り出す製法をいう。一方、塩素法は、合成ルチルや天然ルチルを原料とし、これを約1000℃の高温で塩素ガスとカーボンに反応させて四塩化チタンを合成し、これを酸化してルチル型酸化チタンを取り出す製法をいう。その中で、塩素法により製造されたルチル型酸化チタンは、特に熱による樹脂の劣化(黄変)の抑制効果が顕著であり、本発明においてより好適に用いられる。
これらの酸化チタンの中でも、表面が含水アルミナ又は水酸化アルミニウムで処理された酸化チタンを用いることが、組成物中での分散性、保存安定性、難燃性の観点から特に好ましい。
その他、色調を調整する目的で紫、オレンジ、茶色、黒などの着色剤を加えてもよい。
具体的に例示すれば、Pigment Violet 19、23、29、32、36、38、42、SolventViolet13、36、C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7等がある。
着色剤(白色着色剤を除く)の配合量は、特に制限はないが、前記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、好ましくは0.01〜10質量部、特に好ましくは0.1〜5質量部である。白色着色剤の配合量は、特に制限はないが、前記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、好ましくは50〜300質量部、より好ましくは70〜250質量部である。
(エチレン性不飽和基を有する化合物(感光性モノマー))
本発明の感光性樹脂組成物は、分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(感光性モノマー)を用いてもよい。分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物は、活性エネルギー線照射により、光硬化して、前記酸変性感光性エポキシ樹脂を、アルカリ水溶液に不溶化、又は不溶化を助けるものである。
上記感光性モノマーとして用いられる化合物としては、例えば、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコール又はこれらのエチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、及びこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;上記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類及びメラミンアクリレート、及び上記アクリレートに対応する各メタクリレート類の少なくとも何れか1種などが挙げられる。
さらに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどのヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネートなどのジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物などを感光性モノマーとして用いてもよい。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる
上記の感光性モノマーとして用いられる分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物の配合量は、好ましくは(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、5〜100質量部、より好ましくは、5〜70質量部の割合である。前記配合量が、5質量部以上の場合、光硬化性が良好であり、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像により、パターン形成が容易となる。一方、100質量部以下の場合、指触乾燥性(タックフリー性能)が良好となり、解像度も良好となる。
(フィラー)
本発明の感光性樹脂組成物には、得られる硬化物の物理的強度等を上げるために、必要に応じて、フィラーを配合することができる。このようなフィラーとしては、公知の無機又は有機フィラーが使用でき、例えば、硫酸バリウム、球状シリカ又はタルク、カオリン、シリチンを用いることができる。さらに、白色の外観や難燃性を得るために酸化チタンや金属酸化物、水酸化アルミなどの金属水酸化物を体質顔料フィラーとしても使用することができる。
これらフィラーの配合量は、上記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、好ましくは500質量部以下、より好ましくは300質量部以下、特に好ましくは、0.1〜150質量部である。フィラーの配合量が、500質量部以下の場合、感光性樹脂組成物の粘度が高くなりすぎず、印刷性が良好となり、硬化物が脆くなりにくくなる。
(有機溶剤)
さらに、本発明の感光性樹脂組成物は、前記酸変性感光性エポキシ樹脂の合成や組成物の調製のため、又は基板やキャリアフィルムに塗布するための粘度調製のため、有機溶剤を使用することができる。
このような有機溶剤としては、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などを挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などが挙げられる。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。
(酸化防止剤)
本発明の感光性樹脂組成物は、酸化を防ぐために、発生したラジカルを無効化するようなラジカル捕捉剤や、発生した過酸化物を無害な物質に分解し、新たなラジカルが発生しないようにする過酸化物分解剤などの酸化防止剤を含有することができる。本発明で用いられる酸化防止剤は、樹脂等の酸化劣化を防止し、黄変を抑制することができる。さらに、酸化防止剤の添加により、上記の効果のほかに、感光性樹脂組成物の光硬化反応によるハレーションの防止、開口形状の安定化など、感光性樹脂組成物作製におけるプロセスマージンを向上させることが可能となる。酸化防止剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
ラジカル捕捉剤として働く酸化防止剤としては、例えば、ヒドロキノン、4−t−ブチルカテコール、2−t−ブチルヒドロキノン、ヒドロキノンモノメチルエーテル、2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、2,2−メチレン−ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、1,1,3−トリス(2−メチル−4−ヒドロキシ−5−t−ブチルフェニル)ブタン、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)ベンゼン、1,3,5−トリス(3’,5’−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−S−トリアジン−2,4,6−(1H,3H,5H)トリオン等のフェノール系化合物、メタキノン、ベンゾキノン等のキノン系化合物、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジル)−セバケート、フェノチアジン等のアミン系化合物などが挙げられる。市販品としては、例えば、アデカスタブAO−30、アデカスタブAO−330、アデカスタブAO−20、アデカスタブLA−77、アデカスタブLA−57、アデカスタブLA−67、アデカスタブLA−68、アデカスタブLA−87(以上、ADEKA社製、商品名)、IRGANOX1010、IRGANOX1035、IRGANOX1076、IRGANOX1135、TINUVIN 111FDL、TINUVIN 123、TINUVIN 144、TINUVIN 152、TINUVIN 292、TINUVIN 5100(以上、BASFジャパン社製、商品名)などが挙げられる。
過酸化物分解剤として働く酸化防止剤としては、例えば、トリフェニルフォスファイト等のリン系化合物、ペンタエリスリトールテトララウリルチオプロピオネート、ジラウリルチオジプロピオネート、ジステアリル3,3’−チオジプロピオネート等の硫黄系化合物などが挙げられる。市販品としては、例えば、アデカスタブTPP(ADEKA社製、商品名)、マークAO−412S(ADEKA社製、商品名)、スミライザーTPS(住友化学社製、商品名)などが挙げられる。
上記酸化防止剤を用いる場合の配合量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、0.01質量部〜10質量部が好ましく、0.01〜5質量部がより好ましい。酸化防止剤の配合量が0.01質量部以上の場合、前記した酸化防止剤添加の効果が得られやすくなる。一方、10質量部以下の場合、光反応の阻害、アルカリ水溶液に対する現像不良、指触乾燥性の悪化、塗膜物性の低下を抑制できる。
また、前記した酸化防止剤、特にフェノール系酸化防止剤は、耐熱安定剤と併用することにより、さらなる効果を発揮する場合があるため、本発明の感光性樹脂組成物に、耐熱安定剤を配合してもよい。
耐熱安定剤としては、リン系、ヒドロキシルアミン系、イオウ系耐熱安定剤などを挙げることができる。これら耐熱安定剤の市販品としては、IRGAFOX168、IRGAFOX12、IRGAFOX38、IRGASTAB PUR68、IRGASTAB PVC76、IRGASTAB FS301FF、IRGASTAB FS110、IRGASTAB FS210FF、IRGASTAB FS410FF、IRGANOX PS800FD、IRGANOX PS802FD、RECYCLOSTAB 411、RECYCLOSTAB 451AR、RECYCLOSSORB 550、RECYCLOBLEND 660(以上、BASFジャパン社製、商品名)などが挙げられる。上記耐熱安定剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
耐熱安定剤を用いる場合の配合量は、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、0.01質量部〜10質量部が好ましく、0.01〜5質量部がより好ましい。
(紫外線吸収剤)
一般に、高分子材料は光を吸収し、それにより分解・劣化を起こすことから、本発明の感光性樹脂組成物には、紫外線に対する安定化対策を行うために、上記酸化防止剤の他に、紫外線吸収剤を使用することができる。
紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン誘導体、ベンゾエート誘導体、ベンゾトリアゾール誘導体、トリアジン誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、シンナメート誘導体、アントラニレート誘導体、ジベンゾイルメタン誘導体などが挙げられる。ベンゾフェノン誘導体の具体的な例としては、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2,2’−ジヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン及び2,4−ジヒドロキシベンゾフェノンなどが挙げられる。ベンゾエート誘導体の具体的な例としては、2−エチルヘキシルサリチレート、フェニルサリチレート、p−t−ブチルフェニルサリチレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート及びヘキサデシル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエートなどが挙げられる。ベンゾトリアゾール誘導体の具体的な例としては、2−(2’−ヒドロキシ−5’−t−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)べンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−ブチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール及び2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−アミルフェニル)ベンゾトリアゾールなどが挙げられる。トリアジン誘導体の具体的な例としては、ヒドロキシフェニルトリアジン、ビスエチルヘキシルオキシフェノールメトキシフェニルトリアジンなどが挙げられる。
紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、TINUVIN PS、TINUVIN 99−2、TINUVIN 109、TINUVIN 384−2、TINUVIN 900、TINUVIN 928、TINUVIN 1130、TINUVIN 400、TINUVIN 405、TINUVIN 460、TINUVIN 479(以上、BASFジャパン社製、商品名)などが挙げられる。
上記の紫外線吸収剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。前記酸化防止剤と併用することで本発明の感光性樹脂組成物より得られる硬化物の安定化が図れる。
(添加剤)
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイト、ハイドロタルサイトなどのチキソ化剤を添加することができる。チキソ化剤としては、有機ベントナイト、ハイドロタルサイトが経時安定性に優れるので好ましく、特にハイドロタルサイトは電気特性に優れている為好ましい。また、熱重合禁止剤や、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及びレベリング剤の少なくとも何れか一方、防錆剤、さらにはビスフェノール系、トリアジンチオール系などの銅害防止剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
前記熱重合禁止剤は、前記重合性化合物の熱的な重合又は経時的な重合を防止するために用いることができる。熱重合禁止剤としては、例えば、4−メトキシフェノール、ハイドロキノン、アルキル又はアリール置換ハイドロキノン、t−ブチルカテコール、ピロガロール、2−ヒドロキシベンゾフェノン、4−メトキシ−2−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニル、ナフチルアミン、β−ナフトール、2,6−ジ−t−ブチル−4−クレゾール、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ピクリン酸、4−トルイジン、メチレンブルー、銅と有機キレート剤反応物、サリチル酸メチル、及びフェノチアジン、ニトロソ化合物、ニトロソ化合物とAlとのキレートなどが挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、プリント配線板のパターン層の形成に有用であり、中でもソルダーレジストや層間絶縁層の材料として有用である。
本発明のドライフィルムは、本発明の感光性樹脂組成物をフィルム(キャリアフィルム)に塗布乾燥してなるものであり、キャリアフィルムと、該キャリアフィルム上に形成された感光性樹脂組成物からなる層とを備える。
ドライフィルム化に際しては、本発明の感光性樹脂組成物を適切な粘度に上記有機溶剤で希釈し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等で支持体上に均一な厚さに塗布し、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥して膜を得ることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、10〜150μm、好ましくは20〜60μmの範囲で適宜選択される。
キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることが好ましい。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10〜150μmの範囲で適宜選択される。
キャリアフィルム上に成膜した後、さらに、膜の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、膜の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層することが望ましい。
剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、カバーフィルムを剥離するときに膜と支持体との接着力よりも膜とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。
本発明の硬化被膜は、例えば前記有機溶剤で塗布方法に適した粘度に調整し、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布し、約60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることにより、タックフリーの塗膜を形成できる。また、上記組成物をキャリアフィルム上に塗布し、乾燥させてフィルムとして巻き取ったドライフィルムの場合、ラミネーター等により感光性樹脂組成物層が基材と接触するように基材上に張り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、樹脂絶縁層を形成できる。
その後、接触式(又は非接触方式)により、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光もしくはレーザーダイレクト露光機により直接パターン露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば0.3〜3wt%炭酸ソーダ水溶液)により現像してレジストパターンが形成される。さらに熱硬化成分を含有している組成物の場合、例えば約140〜180℃の温度に加熱して熱硬化させることにより、前記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂及び(B)非感光性カルボン酸樹脂のカルボキシル基と、エポキシ樹脂や熱硬化成分とが反応し、耐熱性、耐薬品性、耐吸湿性、密着性、電気特性などの諸特性に優れた硬化塗膜を形成することができる。尚、熱硬化成分を含有していない場合でも、熱処理することにより、露光時に未反応の状態で残ったエチレン性不飽和結合が熱ラジカル重合し、塗膜特性が向上するため、目的・用途により、熱処理(熱硬化)してもよい。
上記基材としては、予め回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネートエステル等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板、その他ポリイミドフィルム、PETフィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。
本発明の感光性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブンなど(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用い乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法及びノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。
感光性樹脂組成物は、塗布し、溶剤を揮発乾燥した後に得られた塗膜に対し、露光(活性エネルギー線の照射)を行うことにより、露光部(活性エネルギー線により照射された部分)が硬化する。
上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350〜450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えばsコンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のレーザー光源としては、最大波長が350〜410nmの範囲にあるレーザー光を用いていればガスレーザー、固体レーザーどちらでもよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には20〜800mJ/cm、好ましくは20〜600mJ/cmの範囲内とすることができる。
前記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。
本発明の第二の実施形態において、感光性樹脂組成物は、(α)酸変性感光性樹脂、(β)スチレン骨格を有する非感光性カルボン酸樹脂(以下、単に「(β)非感光性カルボン酸樹脂」とも称する)、および、(γ)着色剤を含むことを特徴とするものである。
以下、本発明の第二の実施形態の感光性樹脂組成物の各成分について詳細に説明する。
[(α)酸変性感光性樹脂]
上記(α)酸変性感光性樹脂は、公知の樹脂をカルボキシル基含有化合物、酸無水物等により酸変性したものであり、カルボキシル基の他に、分子内にエチレン性不飽和結合を有する。エチレン性不飽和結合としては、アクリル酸もしくはメタアクリル酸又はそれらの誘導体由来のものが好ましい。カルボキシル基の存在により、樹脂組成物をアルカリ現像性とすることができる。
本発明の感光性樹脂組成物に用いることができる酸変性感光性樹脂の具体例としては、上記第一の実施形態に記載の(A)酸変性感光性エポキシ樹脂等が挙げられる。さらに具体的には、以下に列挙するような化合物が挙げられる。
(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン、不飽和ポリエステル等の不飽和基含有化合物、および、上述するような感光性モノマーとの共重合により得られる酸変性感光性共重合樹脂。
(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した酸変性感光性ポリウレタン樹脂)。
(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した酸変性感光性ポリウレタン樹脂。
(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応による酸変性感光性ポリウレタン樹脂。
(5)上記(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した酸変性感光性ポリウレタン樹脂。
(6)上記(2)又は(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化した酸変性感光性ポリウレタン樹脂。
(7)上述するような多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させた酸変性感光性エポキシ樹脂。
(8)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させた酸変性感光性エポキシ樹脂。
(9)上述するような2官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させた酸変性感光性オキセタン樹脂。
(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる酸変性感光性フェノール樹脂。
(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られる酸変性感光性フェノール樹脂。
(12)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られる酸変性感光性エポキシ樹脂。
(13)上記(1)〜(12)のいずれかの樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなる酸変性感光性樹脂。
(α)酸変性感光性樹脂としては、酸変性感光性エポキシ樹脂、酸変性感光性共重合樹脂が好ましく、酸変性感光性エポキシ樹脂がより好ましい。酸変性感光性共重合樹脂の中では、側鎖にカルボキシル基とアクリル基を有するアクリル共重合樹脂(ダイセル化学工業社製、サイクロマーPなど)がより好ましい。
本発明で用いる(α)酸変性感光性樹脂の酸価は、30〜200mgKOH/gであることが好ましい。酸変性感光性樹脂の酸価が30mgKOH/g以上の場合、アルカリ現像が良好となる。一方、200mgKOH/g以下の場合、現像液による露光部の溶解を抑制できるために、必要以上にラインが痩せ、場合によっては、露光部と未露光部の区別なく現像液で溶解剥離したりすることを抑制して、良好にレジストパターンを描画することができる。より好ましくは、50〜120mgKOH/gである。
本発明で用いる(α)酸変性感光性樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に2000〜150000であることが好ましい。重量平均分子量が2000以上の場合、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時に膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が150000以下の場合、現像性が良好で、貯蔵安定性にも優れる。より好ましくは、5000〜100000である。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定することができる。
また、本発明で用いる(α)酸変性感光性樹脂の軟化点はエポキシ樹脂等の出発原料の軟化点に依存している。出発原料の軟化点は感光基を付加することにより軟化点が40〜50℃程低くなってしまう。出発原料の軟化点が高いと指触乾燥性が良好となり、タックフリー性能が良好となる。
(α)酸変性感光性樹脂の配合量は、(α)酸変性感光性樹脂と(β)非感光性カルボン酸樹脂の合計100質量部中10〜95質量部であることが好ましい。10質量部以上の場合、無電解金めっき耐性が良好となる。一方、95質量部以下の場合、指触乾燥性が良好となる。より好ましくは20〜80質量部、さらに好ましくは20〜60質量部である。
[(β)非感光性カルボン酸樹脂]
上記(β)非感光性カルボン酸樹脂は、分子内にカルボキシル基を有し、エチレン性不飽和結合などの感光性基を有さない樹脂であり、分子内にスチレン骨格を有する。このような非感光性カルボン酸樹脂は、スチレンを必須のモノマーとして共重合により合成することができる。このような構成により、上記(α)酸変性感光性樹脂との相溶性が良くなり、良好な光沢、艶を有する硬化被膜を得ることができる。
上記非感光性カルボン酸樹脂の具体例としては、例えば、以下に挙げる化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。
(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等から選ばれる不飽和基含有化合物との共重合により得られる非感光性カルボン酸樹脂。なお、低級アルキルとは、炭素原子数1〜5のアルキル基を指す。
本発明で用いる(β)非感光性カルボン酸樹脂の重量平均分子量は、5000〜50000であることが好ましい。重量平均分子量が5000以上の場合、指触乾燥性(タックフリー性能)が良好となり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時に膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が50000以下の場合、無電解金めっき耐性、現像性が良好となり、貯蔵安定性にも優れる。より好ましくは7500〜50000、さらに好ましくは10000〜30000である。
本発明で用いる(β)非感光性カルボン酸樹脂の酸価は、120mgKOH/g以上であることが好ましく、120〜180mgKOH/gであることがより好ましく、140〜180mgKOH/gであることがさらに好ましい。(β)非感光性カルボン酸樹脂は120mgKOH/g以上の高酸価とすると高軟化点となることより、タックフリー性能に非常に優れるからである。従って、樹脂組成物の指触乾燥性を悪化させるエポキシ樹脂と組み合わせて使用しても、指触乾燥性が良好となる点で有効である。また、(β)非感光性カルボン酸樹脂の酸価が120mgKOH/g以上の場合、現像性が良好となる。
本発明で用いる(β)非感光性カルボン酸樹脂は、スチレン骨格の割合が、分子中、30〜60モル%であることが好ましい。即ち、非感光性カルボン酸樹脂の合成時に、モノマー全体量に対して30〜60モル%のスチレンを用いることが好ましい。この範囲の割合のスチレン骨格とすることで、後述するようなエポキシ樹脂が樹脂組成物中に含まれる場合に、非感光性カルボン酸樹脂とエポキシ樹脂との相溶性がよくなる。また、30モル%以上の場合、相溶性が良好となるため、その結果、光沢も良好となる。60モル%以下の場合、現像性が良好となる。通常、高酸価の共重合樹脂とエポキシ樹脂とは相溶性が悪く、分離により、塗膜の光沢がなくなることがある。これに対して、スチレン量を上記の範囲にすることにより、相溶性が良好になり、塗膜の光沢が失われることを抑制することができる。
(β)非感光性カルボン酸樹脂は、懸濁重合により製造される方が、高分子量の樹脂を製造することができ、その結果、当該樹脂を用いた組成物の指触乾燥性(タックフリー性能)に優れる点で好ましい。
一般に懸濁重合により製造すると樹脂は高分子量となるが、当該樹脂を用いた組成物の無電解金めっき耐性、現像性の特性をも考慮すると、重量平均分子量を10000〜50000の範囲に抑えることが必要である。そのため、分子量の制御においては、樹脂合成時に連鎖移動剤を用いることが好ましい。
連鎖移動剤は、上記第一の実施形態と同様のものが挙げられる。なかでも、MSD(α−メチルスチレンダイマー)が好ましい。
連鎖移動剤の配合量は、樹脂合成時、固形分換算で、樹脂100質量部中1〜10質量部であることが好ましい。
また重合を促進するには、樹脂合成時に重合開始剤を用いることが好ましい。
重合開始剤は、BPO(ベンゾイルパーオキサイド)、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノネート、AMBN(2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル))などが挙げられる。なかでも、BPO(ベンゾイルパーオキサイド)が好ましい。
重合開始剤の配合量は、樹脂合成時、固形分換算で、樹脂100質量部中0.1〜10質量部であることが好ましく、固形分換算で、樹脂100質量部中1〜4質量部であることがより好ましい。
(β)非感光性カルボン酸樹脂の配合量は、(α)酸変性感光性樹脂と(β)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部中、5〜90質量部であることが好ましい。5質量部以上の場合、指触乾燥性が良好となる。一方、90質量部以下の場合、無電解金めっき耐性が良好となる。より好ましくは20〜80質量部、さらに好ましくは40〜80質量部である。
[(γ)着色剤]
本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤を含有する。着色剤としては、赤、青、緑、黄、白などの慣用公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよいが、高い反射率の硬化物が得られることから、白色着色剤を含有することが好ましい。着色剤については、上記第一の実施形態と同様である。ただし、本発明の感光性樹脂組成物においては、高い反射率の硬化物が得られることから、白色着色剤を含有することが好ましい。また、本発明の感光性樹脂組成物においては、アナターゼ型酸化チタンを用いた場合であっても樹脂の変色の抑制に優れることから、アナターゼ型酸化チタンも好適に用いることができる。
(γ)着色剤(白色着色剤を除く)の配合量は、特に制限はないが、前記(α)酸変性感光性樹脂と(β)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、好ましくは0.01〜10質量部、特に好ましくは0.1〜5質量部である。(γ)着色剤が白色着色剤の場合も特に制限はないが、前記(α)酸変性感光性樹脂と(β)非感光性カルボン酸樹脂との合計100質量部に対して、好ましくは50〜300質量部、より好ましくは70〜250質量部である。
本発明の感光性樹脂組成物は、熱硬化成分を含有することが好ましく、中でも、上記第一の実施形態と同様に、エポキシ樹脂を含有することが好ましい。また、本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を含有することが好ましい。また、本発明の感光性樹脂組成物は、上記第一の実施形態と同様に、光開始助剤、増感剤、連鎖移動剤、ウレタン化触媒、熱硬化触媒、密着促進剤、エチレン性不飽和基を有する化合物(感光性モノマー)、フィラー、有機溶剤、酸化防止剤、耐熱安定剤、紫外線吸収剤、熱重合禁止剤等の公知慣用の添加剤を含有することができる。これらの各成分ついては、上記第一の実施形態と同様である。ただし、配合量等の記載における「(A)酸変性感光性エポキシ樹脂」および「(B)非感光性カルボン酸樹脂」はそれぞれ、「(α)酸変性感光性樹脂」および「(β)非感光性カルボン酸樹脂」と読み替えるものとする。
本発明の感光性樹脂組成物は、プリント配線板のパターン層の形成に有用であり、中でもソルダーレジストや層間絶縁層の材料として有用である。
本発明のドライフィルムについては、上記第一の実施形態と同様である。
本発明の硬化被膜については、上記第一の実施形態と同様である。また、露光方法、硬化方法、現像方法等についても、上記第一の実施形態と同様である。ただし、「(A)酸変性感光性エポキシ樹脂」および「(B)非感光性カルボン酸樹脂」はそれぞれ、「(α)酸変性感光性樹脂」および「(β)非感光性カルボン酸樹脂」と読み替えるものとする。
以下、実施例及び比較例を示して、本発明の第一の実施形態について具体的に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。
[酸変性感光性エポキシ樹脂(A成分)の合成]
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート600gに、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製、EPICLON N−695、軟化点95℃、エポキシ当量214、平均官能基数7.6)1070g(グリシジル基数(芳香環総数):5.0モル)、アクリル酸360g(5.0モル)、およびハイドロキノン1.5gを仕込み、100℃に加熱攪拌し、均一となるまで溶解した。
次いで、上記溶液にトリフェニルホスフィン4.3gを仕込み、110℃加熱して2時間反応させた。その後、120℃に昇温してさらに12時間反応を行った。
得られた反応液に芳香族系炭化水素(ソルベッソ150)415g、テトラヒドロ無水フタル酸456.0g(3.0モル)を仕込み、110℃で4時間反応を行い、冷却後、固形分酸価89mgKOH/g、固形分65%の酸変性感光性エポキシ樹脂溶液を得た。これを樹脂溶液A−1とする。
[重合例1(非感光性カルボン酸樹脂B−1の合成)]
温度計、冷却管、撹拌機を備えた耐圧容器に脱イオン水:200質量部、硫酸ナトリウム:0.3質量部仕込み、溶解を確認した。
その後重合開始剤としてBPO(ベンゾイルパーオキサイド):5質量部と連鎖移動剤としてMSD(α−メチルスチレンダイマー):5質量部をMMA(メタクリル酸メチル):10.4質量部、n−BA(ノルマル−アクリル酸ブチル):5質量部、MAA(メタクリル酸):24.6質量部およびSt(スチレン):60質量部からなる単量体混合物に加え、十分に溶解した。
その後分散剤を濃度が300ppmになるように加え十分に撹拌し、釜内部を窒素で置換した後昇温させ、懸濁重合を行った。
重合終了後、得られた懸濁液を目開き30μmのメッシュで濾過し、40℃の温風で乾燥させ粒状樹脂を得た。これをB−1とする。
[重合例2(非感光性カルボン酸樹脂B−2の合成)]
BPO:5質量部を4.0質量部に、かつ、MSD:5質量部を4.0質量部にかえた以外は、重合例1と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−2とする。
[重合例3(非感光性カルボン酸樹脂B−3の合成)]
BPO:5質量部を2.5質量部に、かつ、MSD:5質量部を4.0質量部にかえた以外は、重合例1と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−3とする。
[重合例4(非感光性カルボン酸樹脂B−4の合成)]
BPO:5質量部を2.5質量部に、かつ、MSD:5質量部を3.0質量部にかえた以外は、重合例1と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−4とする。
[重合例5(非感光性カルボン酸樹脂B−5の合成)]
BPO:5質量部を2.5質量部に、かつ、MSD:5質量部を2.0質量部にかえた以外は、重合例1と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−5とする。
[重合例6(非感光性カルボン酸樹脂B−6の合成)]
BPO:5質量部を2.0質量部に、かつ、MSD:5質量部を1.5質量部にかえた以外は、重合例1と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−6とする。
[重合例7(非感光性カルボン酸樹脂B−7の合成)]
BPO:5質量部を1.5質量部に、かつ、MSD:5質量部を1.0質量部にかえた以外は、重合例1と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−7とする。
[重合例8(非感光性カルボン酸樹脂B−8の合成)]
温度計、冷却管、撹拌機を備えた耐圧容器に脱イオン水:145質量部、硫酸ナトリウム:0.3質量部を仕込み、溶解を確認した。
その後重合開始剤としてt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノネート(日油社製パーブチルO):5質量部と連鎖移動剤としてMSD(α−メチルスチレンダイマー):4.5質量部をMMA(メタクリル酸メチル):51.7質量部、n−BA(ノルマル−アクリル酸ブチル):6質量部、MAA(メタクリル酸):12.3質量部およびSt(スチレン):30質量部からなる単量体混合物に加え、十分に溶解した。
その後分散剤を濃度が500ppmになるように加え、十分に撹拌し、釜内部を窒素で置換した後昇温させ、懸濁重合を行った。
重合終了後、得られた懸濁液を目開き30μmのメッシュで濾過し、40℃の温風で乾燥させ粒状樹脂を得た。これをB−8とする。
[重合例9(非感光性カルボン酸樹脂B−9の合成)]
MMA:51.7質量部を48.6質量部に、かつ、MAA:12.3質量部を15.4質量部にかえた以外は、重合例8と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−9とする。
[重合例10(非感光性カルボン酸樹脂B−10の合成)]
MMA:51.7質量部を45.5質量部に、かつ、MAA:12.3質量部を18.5質量部にかえた以外は、重合例8と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−10とする。
[重合例11(非感光性カルボン酸樹脂B−11の合成)]
MMA:51.7質量部を39.4質量部に、かつ、MAA:12.3質量部を24.6質量部にかえた以外は、重合例8と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−11とする。
[重合例12(非感光性カルボン酸樹脂B−12の合成)]
MMA:51.7質量部を36.3質量部に、かつ、MAA:12.3質量部を27.7質量部にかえた以外は、重合例8と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−12とする。
[重合例13(非感光性カルボン酸樹脂B−13の合成)]
MMA:51.7質量部を33.3質量部に、かつ、MAA:12.3質量部を30.7質量部にかえた以外は、重合例8と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−13とする。
[重合例14(非感光性カルボン酸樹脂B−14の合成)]
温度計、冷却管、撹拌機をセパラブルフラスコに脱イオン水:145質量部、硫酸ナトリウム:0.3質量部仕込み、溶解を確認した。
その後重合開始剤としてAMBN(2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)):0.3質量部と連鎖移動剤としてn−DM(n−ドデシルメルカプタン):4質量部をMMA(メタクリル酸メチル):55.5質量部、n−BA(ノルマル−アクリル酸ブチル):6質量部、MAA(メタクリル酸):18.5質量部およびSt(スチレン):20質量部からなる単量体混合物に加え、十分に溶解した。
その後分散剤を濃度が500ppmになるように加え、十分に撹拌し、釜内部を窒素で置換した後昇温させ、懸濁重合を行った。
重合終了後、得られた懸濁液を目開き30μmのメッシュで濾過し、40℃の温風で乾燥させ粒状樹脂を得た。これをB−14とする。
[重合例15(非感光性カルボン酸樹脂B−15の合成)]
温度計、冷却管、撹拌機を備えた耐圧容器に脱イオン水:145質量部、硫酸ナトリウム:0.3質量部仕込み、溶解を確認した。
その後重合開始剤としてt−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノネート(日油社製パーブチルO):5質量部と連鎖移動剤としてMSD(α−メチルスチレンダイマー):5質量部をMMA(メタクリル酸メチル):45.5質量部、n−BA(ノルマル−アクリル酸ブチル):6質量部、MAA(メタクリル酸):18.5質量部およびSt(スチレン):30質量部からなる単量体混合物に加え、十分に溶解した。
その後分散剤を濃度が500ppmになるように加え、十分に撹拌し、釜内部を窒素で置換した後昇温させ、懸濁重合を行った。
重合終了後、得られた懸濁液を目開き30μmのメッシュで濾過し、40℃の温風で乾燥させ粒状樹脂を得た。これをB−15とする。
[重合例16(非感光性カルボン酸樹脂B−16の合成)]
温度計、冷却管、撹拌機を備えた耐圧容器に脱イオン水:200質量部、硫酸ナトリウム:0.3質量部仕込み、溶解を確認した。
その後重合開始剤としてBPO(ベンゾイルパーオキサイド):4質量部と連鎖移動剤としてMSD(α−メチルスチレンダイマー):4質量部をMMA(メタクリル酸メチル):30.5質量部、n−BA(ノルマル−アクリル酸ブチル):6質量部、MAA(メタクリル酸):18.5質量部およびSt(スチレン):45質量部からなる単量体混合物に加え、十分に溶解した。
その後分散剤を濃度が300ppmになるように加え、十分に撹拌し、釜内部を窒素で置換した後昇温させ、懸濁重合を行った。
重合終了後、得られた懸濁液を目開き30μmのメッシュで濾過し、40℃の温風で乾燥させ粒状樹脂を得た。これをB−16とする。
[重合例17(非感光性カルボン酸樹脂B−17の合成)]
MMA:30.5質量部を15.5質量部に、かつ、St:45質量部を60.0質量部にかえた以外は、重合例16と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−17とする。
[重合例18(非感光性カルボン酸樹脂B−18の合成)]
MMA:30.5質量部を0.5質量部に、n−BA:6質量部を1.0質量部に、かつ、St:45質量部を80.0質量部にかえた以外は、重合例16と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをB−18とする。
[比較重合例1(非感光性カルボン酸樹脂R−1の合成)]
温度計、冷却管、撹拌機を備えた耐圧容器にDPM(ジプロピレングリコールメチルエーテル)を50質量部を仕込み、昇温した。
その後重合開始剤としてt−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート(日油社製パーブチルI):5質量部をMMA(メタクリル酸メチル):10.4質量部、n−BA(ノルマル−アクリル酸ブチル):5質量部、MAA(メタクリル酸):24.6質量部およびSt(スチレン):60質量部からなる単量体混合物に加え、十分に溶解させ、耐圧容器が所定温度まで昇温後、単量体混合物を容器内に滴下し、溶液重合を行った。
重合終了後、目開き5μmのメッシュで濾過し樹脂溶液を得た。これをR−1とする。
[比較重合例2(非感光性カルボン酸樹脂R−2の合成)]
BPO:5質量部を1.0質量部に、かつ、MSD:5質量部を1.0質量部にかえた以外は、重合例1と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをR−2とする。
[比較重合例3(非感光性カルボン酸樹脂R−3の合成)]
温度計、冷却管、撹拌機を備えたセパラブルフラスコに脱イオン水:145質量部、硫酸ナトリウム:0.3質量部仕込み、溶解を確認した。
その後重合開始剤としてAMBN(2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)):0.5質量部と連鎖移動剤としてn−DM(n−ドデシルメルカプタン):3質量部をMMA(メタクリル酸メチル):75.5質量部、n−BA(ノルマル−アクリル酸ブチル):6質量部、MAA(メタクリル酸):18.5質量部からなる単量体混合物に加え、十分に溶解した。
その後分散剤を濃度が400ppmになるように加え、十分に撹拌し、釜内部を窒素で置換した後昇温させ、懸濁重合を行った。
重合終了後、得られた懸濁液を目開き30μmのメッシュで濾過し、40℃の温風で乾燥させ粒状樹脂を得た。これをR−3とする。
(実施例1〜18及び比較例1〜3の感光性樹脂組成物の調製)
下記に示す共通成分と、表1、2に示す成分を表中に記載の割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、感光性樹脂組成物を調製した。
<共通成分>
・樹脂溶液A−1(A成分)(固形分量)・・・・・・・・・・ 50質量部
・有機顔料(Pigment Blue15:3)・・・・・・ 2質量部
・α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤
(BASFジャパン社製イルガキュア907)・・・・・・・ 15質量部
・2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬社製DETX−S) 1質量部
・ジシアンジアミド(DICY)・・・・・・・・・・・・・・ 1質量部
・メラミン・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 5質量部
・シリコーン系消泡剤(信越化学工業社製KS−66)・・・・ 3質量部
・ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(DPM) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 36質量部
・硫酸バリウム(堺化学工業社製B−30)・・・・・・・・・140質量部
・ノボラック型エポキシ樹脂
(DIC社製エピクロンN−695)・・・・・・・・・・・ 40質量部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(日本化薬社製KAYARAD DPHA)・・・・・・・・ 30質量部
Figure 2014209172
*1:樹脂B−1
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60(モル%)/160(mgKOH/g)/10000)(以下、単位は略する)
*2:樹脂B−2
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/15000)
*3:樹脂B−3
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/20000)
*4:樹脂B−4
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/25000)
*5:樹脂B−5
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/30000)
*6:樹脂B−6
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/35000)
*7:樹脂B−7
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/50000)
*8:樹脂B−8
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=30/80/20000)
*9:樹脂B−9
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=30/100/20000)
*10:樹脂B−10
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=30/120/20000)
*11:樹脂B−11
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=30/160/20000)
*12:樹脂B−12
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=30/180/20000)
*13:樹脂B−13
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=30/200/20000)
Figure 2014209172
*14:樹脂B−14
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=20/120/15000)
*15:樹脂B−15
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=30/120/15000)
*16:樹脂B−16
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=45/120/15000)
*17:樹脂B−17
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/120/15000)
*18:樹脂B−18
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=80/120/15000)
*19:樹脂R−1
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/8000)
*20:樹脂R−2
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/65000)
*21:樹脂R−3
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=0/120/15000)
(評価方法)
<現像性>
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上に、乾燥膜厚が20μmになるようにスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分間乾燥し、室温まで放冷した。この基板を、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液により、スプレー圧0.2MPaの条件で、90秒間現像を行い、パターンを得た。
得られた評価基板を用いて残渣の状況を目視にて確認、評価した。得られた結果を下記表3、4に示す。
○:残渣無し。
△:若干の残渣残り(フィラー残り)有り。
×:残渣有り。
<無電解金めっき耐性>
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上に、乾燥膜厚が20μmになるようにスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分間乾燥し、室温まで放冷した。この基板に高圧水銀灯を搭載した露光装置を用いて、最適露光量でパターンを露光した後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液により、スプレー圧0.2MPaの条件で、90秒間現像を行い、パターンを得た。この基板を、150℃で60分加熱して硬化させ、硬化物パターンの形成された評価基板を得た。
得られた評価基板を用いて、無電解金めっき耐性について、以下のように評価した。
評価基板について、市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル5μm、金0.05μmの条件でめっきを行った。メッキされた評価基板において、レジスト層の剥がれの有無やめっきのしみ込みの有無を評価した後、テープピーリングによりレジスト層の剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。得られた結果を下記表3、4に示す。
○:剥がれ無し。
△:軽微な剥がれ有り。
×:剥がれ有り。
<指触乾燥性>
実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、それぞれパターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させ、室温まで放冷した。この基板にPETフィルムを押し当て、その後、ネガフィルムを剥がしたときのフィルムの張り付き状態を評価した。得られた結果を下記表3、4に示す。
◎:べた付きが全く無い。
○:べた付きが無い。
△:若干のべた付き有り。
×:べた付き有り。
<光沢>
実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、それぞれパターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃の熱風循環式乾燥炉で30分間乾燥させ、室温まで放冷した。この基板にネガフィルムを当て、露光し、スプレー圧0.2MPaの1wt%NaCO水溶液で現像した。この基板を、熱風循環式乾燥炉で、150℃、60分熱硬化し、評価基板を作製した。
得られた評価基板における硬化被膜部の光沢を目視にて確認、評価した。得られた結果を表3、4に示す。
○:光沢がある。
△:光沢、無光沢どちらとも言えない(半光沢)。
×:光沢がない。
Figure 2014209172
Figure 2014209172
表3、4から明らかなように、何れの実施例も現像性、無電解金めっき耐性、指触乾燥性、相溶性、光沢何れにおいても優れていることが確認された。これに対し、非感光性カルボン酸樹脂の重量平均分子量が10000より少ない非感光性カルボン酸樹脂を使用した比較例1は指触乾燥性に劣り、50000より多い感光性カルボン酸樹脂を使用した比較例2は現像性に劣り、スチレン骨格を有しない感光性カルボン酸樹脂を使用した比較例3は光沢に劣ることが確認された。
(実施例19〜27及び比較例4、5の感光性樹脂組成物の調製)
下記表5に示す化合物を、表中に記載の割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、感光性樹脂組成物を調製した。なお、それぞれの成分は上記と同様である。
Figure 2014209172

*4:樹脂B−4(B成分)
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60(モル%)/160(mgKOH/g)/25000)
*22:樹脂溶液A−1(A成分)(表中の配合量は固形分量を示す)
*23:有機顔料(Pigment Blue15:3)
*24:α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤(BASFジャパン社製イルガキュア907)
*25:2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬社製DETX−S)
*26:ジシアンジアミド(DICY)
*27:シリコーン系消泡剤(信越化学工業社製KS−66)
*28:ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(DPM)
*29:硫酸バリウム(堺化学工業社製B−30)
*30:ノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製エピクロンN−695)
*31:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬社製KAYARAD DPHA)
(評価)
実施例19〜27、および比較例4、5の感光性樹脂組成物について、上記と同様に指触乾燥性、無電解金めっき耐性について評価した。結果を下記表6に示す。
Figure 2014209172
上記表6から明らかなように、何れの実施例も(A)酸変性感光性エポキシ樹脂、(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂との組合せにより、無電解金めっき耐性、及び、指触乾燥性に優れることが確認された。特に、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂が、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)非感光性カルボン酸樹脂合計100質量部中20〜80質量部である場合、両特性において顕著に優れていることが確認された。これに対し、(A)酸変性感光性エポキシ樹脂、(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂の何れかを欠く比較例は両特性の何れかに劣ることが確認された。
<相溶性>
各実施例、比較例に用いたB−1〜B−18、R−1〜R−3の各樹脂とjER828(ビスフェノールA型エポキシ樹脂、三菱化学社製)を質量比で、1:1となるように配合し、攪拌機を用いて30℃、600回転で0.5時間混合攪拌した。樹脂における攪拌直後の初期の混合状態、及び、攪拌後室温で24時間放置した後の混合状態をそれぞれ目視にて確認、評価した。得られた結果を表7、8に示す。
◎:攪拌直後の初期の混合状態が半透明であり、室温で24時間放置した後の混合状態が透明である。
○:攪拌直後の初期の混合状態が不透明であり、室温で24時間放置した後の混合状態が透明である。
△:攪拌直後の初期の混合状態が不透明であり、室温で24時間放置した後の混合状態が半透明である。
×:攪拌直後の初期の混合状態が不透明であり、室温で24時間放置した後の混合状態が不透明である。
Figure 2014209172
Figure 2014209172
表7、8から明らかなように、スチレン骨格を有する非感光性カルボン酸樹脂はビスフェノールA型エポキシ樹脂との相溶性において、良好であることが確認された。これに対し、スチレン骨格を有しない非感光性カルボン酸樹脂はビスフェノールA型エポキシ樹脂との相溶性において、悪いことが確認された。
以下、実施例及び比較例を示して、本発明の第二の実施形態について具体的に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。
[酸変性感光性樹脂α−1の調整]
上記第一の実施形態の樹脂溶液A−1と同じ方法で、固形分酸価89mgKOH/g、固形分65%の樹脂溶液を得た。以下、樹脂溶液α−1とする。
[酸変性感光性樹脂α―2の調整]
酸変性感光性共重合樹脂として、ダイセル社製サイクロマーACA Z250(固形分酸価32gKOH/g、固形分45%)を用いた。以下、樹脂溶液α−2とする。
[重合例19(非感光性カルボン酸樹脂β−1の合成)]
温度計、冷却管、撹拌機をセパラブルフラスコに脱イオン水:145質量部、硫酸ナトリウム:0.3質量部仕込み、溶解を確認した。
その後重合開始剤としてAMBN(2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)):0.3質量部と連鎖移動剤としてn−DM(n−ドデシルメルカプタン):4質量部をMMA(メタクリル酸メチル):55.5質量部、n−BA(ノルマル−アクリル酸ブチル):6質量部、MAA(メタクリル酸):18.5質量部およびSt(スチレン):20質量部からなる単量体混合物に加え、十分に溶解した。
その後分散剤を濃度が500ppmになるように加え、十分に撹拌し、釜内部を窒素で置換した後昇温させ、懸濁重合を行った。
重合終了後、得られた懸濁液を目開き30μmのメッシュで濾過し、40℃の温風で乾燥させ粒状樹脂を得た。これをβ−1とする。
[重合例20(非感光性カルボン酸樹脂β−2の合成)]
上記重合例1と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをβ−2とする。
[重合例21(非感光性カルボン酸樹脂β−3の合成)]
上記重合例2と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをβ−3とする。
[重合例22(非感光性カルボン酸樹脂β−4の合成)]
上記重合例5と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをβ−4とする。
[重合例23(非感光性カルボン酸樹脂β−5の合成)]
上記重合例8と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをβ−5とする。
[比較重合例4(非感光性カルボン酸樹脂R−4の合成)]
上記比較重合例3と同じ方法で粒状樹脂を得た。これをR−4とする。
(実施例28〜41及び比較例6〜10の感光性樹脂組成物の調製)
表9、10に示す成分を表中に記載の割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルで混練し、感光性樹脂組成物を調製した。
Figure 2014209172
*41:樹脂溶液α−1(α成分)(表中の配合量は固形分量を示す)
*42:樹脂溶液α−2(α成分)(表中の配合量は固形分量を示す)
*43:樹脂β−1(β成分)
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=20(モル%)/120(mgKOH/g)/15000)(以下、単位は略する)
*44:ルチル型酸化チタン(石原産業社製CR−97)(γ成分)
*45:アナターゼ型酸化チタン(チタン工業社製KRONOS酸化チタン KA−15)(γ成分)
*46:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製jER828)
*47:α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤(BASFジャパン社製イルガキュア907)
*48:2,4−ジエチルチオキサントン(日本化薬社製DETX−S)
*49:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬社製KAYARAD DPHA)
Figure 2014209172
*50:樹脂β−2(β成分)
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/10000)
*51:樹脂β−3(β成分)
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/15000)
*52:樹脂β−4(β成分)
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=60/160/30000)
*53:樹脂β−5(β成分)
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=30/80/20000)
*54:樹脂R−4
(スチレン骨格含有量/酸価/重量平均分子量=0/120/15000)
(評価方法)
<反射率の変化及び変色>
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上に、乾燥膜厚が20μmになるようにスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分間乾燥し、室温まで放冷した。この基板に高圧水銀灯を搭載した露光装置を用いて、最適露光量でパターンを露光した後、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液により、スプレー圧0.2MPaの条件で、90秒間現像を行い、パターンを得た。この基板を、150℃で60分加熱して硬化させ、硬化物パターンの形成された評価基板を得た。
得られた評価基板について、コニカミノルタ社製色彩色差計CR−400を用い、波長360〜740nmでXYZ表色系のY値の初期値、及び、L表色系のL、a、bの初期値を測定した。その後、評価基板に対して下記のように金めっき処理、光照射処理、または、熱処理を行った後、再度、コニカミノルタ社製色彩色差計CR−400で各数値を測定し、Y値の変化とΔEabから、反射率の変化及び変色を評価した。判定基準は以下のとおりである。得られた結果を上記表9に示す。
反射率の変化:
◎:Y値の減少率が5%未満
○:Y値の減少率が5%以上10%未満
△:Y値の減少率が10%以上20%未満
×:Y値の減少率が20%以上
変色:
◎:ΔEabが3未満
○:ΔEabが3以上5未満
△:ΔEabが5以上10未満
×:ΔEabが10以上
尚、Y値は、数値が大きいほど高い反射率を示す。ΔEabは、L表色系において初期値と各処理後の差を算出したもので、数値が大きいほど、変色が大きいことを示す。ΔEabの計算式は以下の通りである。
ΔEab=[(L*2−L*1+(a*2−a*1)+(b*2−b*1)1/2
式中、L*1、a*1、b*1は、各々L、a、bの初期値を表し、L*2、a*2、b*2は、それぞれ各処理後のL、a、bの値を表す。
金めっき処理:
上記で得た評価基板を市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル5μm、金0.05μmの条件でめっきを行った。
光照射処理:
上記で得た評価基板をUVコンベア炉(出力150W/cm、メタルハライドランプコールドミラー)で100J/cmの光を照射して加速劣化させた。
熱処理:
上記で得た評価基板をIPC/JETEC J−STD−020の規格に準拠して、加熱温度を260℃に設定し、リフロー5回を実施した。ここで、リフロー5回とは、260℃の赤外線炉に10秒通過、常温に戻す操作を5回繰り返したことを意味する。
<現像性>
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上に、乾燥膜厚が20μmになるようにスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分間乾燥し、室温まで放冷した。この基板を、30℃の1wt%炭酸ナトリウム水溶液により、スプレー圧0.2MPaの条件で現像し、残渣の状況を目視にて確認し、残渣が出ない現像時間を測定、評価した。得られた結果を上記表9に示す。
◎:30秒以内
○:30秒以上60秒未満
△:60秒以上120秒未満
×:120秒以上
<感度>
実施例および比較例の光硬化性組成物を、銅べた基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で30分間乾燥した。次いで、この基板にステップタブレット(コダックNo.2)を介し、メタルハライドランプで500mJ/cmで露光後、スプレー圧0.2MPaの1wt%NaCO水溶液で現像し、残渣が出ない最大段数を測定し、評価した。得られた結果を上記表9に示す。
◎:7段以上
○:4段以上7段未満
△:1段以上4段未満
×:1段未満
何れの実施例も、感度が良好で、硬化物の金めっき、光照射、熱による反射率の低下および変色の抑制に優れることが確認された。これに対して、(β)スチレン骨格を有する非感光性カルボン酸樹脂を含有しない比較例6、8および10は、反射率の変化および変色の抑制に劣ることが確認された。また、(α)酸変性感光性樹脂を含有しない比較例7、9は、感度に劣ることが確認された。

Claims (15)

  1. (A)酸変性感光性エポキシ樹脂、および、
    (B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂、
    を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
  2. 前記(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂が、樹脂合成時に連鎖移動剤を用いて合成されたものであることを特徴とする請求項1記載の感光性樹脂組成物。
  3. 前記(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂の酸価が120mgKOH/g以上であることを特徴とする請求項1または2記載の感光性樹脂組成物。
  4. 前記(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂のスチレン骨格の含有量が30〜60モル%であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。
  5. 前記(A)酸変性感光性エポキシ樹脂と(B)スチレン骨格を有し、重量平均分子量が10000〜50000である非感光性カルボン酸樹脂との含有割合が、質量比で、(A):(B)=90:10〜10:90であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。
  6. さらに、エポキシ樹脂を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物。
  7. 請求項1〜6のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物をフィルムに塗布乾燥してなることを特徴とするドライフィルム。
  8. 請求項1〜6のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物、または、請求項1〜6のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物をフィルムに塗布乾燥してなるドライフィルムを、硬化を行うことによって得られることを特徴とする硬化被膜。
  9. 請求項8記載の硬化被膜を備えることを特徴とするプリント配線板。
  10. (α)酸変性感光性樹脂、(β)スチレン骨格を有する非感光性カルボン酸樹脂、および、(γ)着色剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
  11. 前記(α)酸変性感光性樹脂と(β)スチレン骨格を有する非感光性カルボン酸樹脂との含有割合が、質量比で(α):(β)=95:5〜10:90であることを特徴とする請求項10記載の感光性樹脂組成物。
  12. さらに、熱硬化成分を含むことを特徴とする請求項10または11記載の感光性樹脂組成物。
  13. 請求項10〜12のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物をフィルムに塗布乾燥してなることを特徴とするドライフィルム。
  14. 請求項10〜12のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物、または、請求項10〜12のいずれか一項記載の感光性樹脂組成物をフィルムに塗布乾燥してなるドライフィルムを硬化を行うことによって得られることを特徴とする硬化被膜。
  15. 請求項14記載の硬化被膜を備えることを特徴とするプリント配線板。
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