JP2014195998A - 圧電素子の製造方法及び圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせる、第1電極、圧電体層及び第2電極を有する圧電素子を具備した液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧電体層は、ペロブスカイト型構造を有し、前記圧電体層は(100)面に優先配向しており、前記圧電体層に印加される電界方向が、前記第2電極が設けられた面に対して垂直な<001>方向であるとき、<111>方向の分極方向を<110>方向にするのに要するエネルギーよりも大きく、<111>方向の分極方向を<001>方向にするのに要するエネルギーより小さいエネルギーの電界を印加して、前記圧電体層の分極処理を行う分極工程を有する。
【選択図】 図8
Description
かかる態様では、比較的低いエネルギーの電界強度の電界を印加して分極処理を行うことができ、コストを低減して、圧電体層の破壊を抑制することができる。
かかる態様では、低コストで且つ液体噴射特性に優れた液体噴射ヘッドを実現できる。
かかる態様では、低コストで印刷品質に優れた液体噴射装置を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図2は、流路形成基板の平面図及びそのA−A′断面図である。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、流路形成基板10としてシリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、SOI基板、ガラス基板、MgO基板等においても本発明は有効である。また、振動板の最下層に二酸化シリコンからなる弾性膜50を設けるようにしたが、振動板の構成は、特にこれに限定されるものではない。
電特性を向上することができる圧電素子の製造方法及び圧電素子を提供することを目的とする。
じさせる、第1電極、圧電体層及び第2電極を有する圧電素子を具備した圧電素子の製造方法であって、前記圧電体層は、ペロブスカイト型構造を有し、前記圧電体層は(100)面に優先配向しており、前記圧電体層に印加される電界方向が、前記第2電極が設けられた面に対して垂直な<001>方向であるとき、<111>方向の分極方向を<110>方向にするのに要するエネルギーよりも大きく、<111>方向の分極方向を<001>方向にするのに要するエネルギーより小さいエネルギーの電界を印加して、前記圧電体層の分極処理を行う分極工程を有することを特徴とする圧電素子の製造方法にある。
かかる態様では、比較的低いエネルギーの電界強度の電界を印加して分極処理を行うことができ、コストを低減して、圧電体層の破壊を抑制することができる。
かかる態様では、低コストで圧電素子を実現できる。
Claims (8)
- ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせる、第1電極、圧電体層及び第2電極を有する圧電素子を具備した液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記圧電体層は、ペロブスカイト型構造を有し、
前記圧電体層は(100)面に優先配向しており、
前記圧電体層に印加される電界方向が、前記第2電極が設けられた面に対して垂直な<001>方向であるとき、<111>方向の分極方向を<110>方向にするのに要するエネルギーよりも大きく、<111>方向の分極方向を<001>方向にするのに要するエネルギーより小さいエネルギーの電界を印加して、前記圧電体層の分極処理を行う分極工程を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記分極工程において、電界の印加により前記圧電体層の分極方向が<111>方向から<111>方向へ変化する際に、変化途中の前記分極方向が<110>方向を向くことを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記分極工程において、前記圧電体層は分極モーメントが消失する常誘電性状態とならないことを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記圧電体層が、鉛、ジルコニウム及びチタンを含むことを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記圧電体層の前記第2電極が設けられた面方向の格子定数よりも、当該第2電極が設けられた面に垂直な方向の格子定数が小さいことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記圧電体層が、単斜晶系であることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 請求項1〜6の何れか一項に記載の製造方法によって製造された液体噴射ヘッド。
- 請求項7記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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