JP2014192170A - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】疑似SOCチップの形成を容易にする製造方法を提供する。
【解決手段】表面に集積回路を有する複数の半導体チップを平面上に配置した状態で複数の半導体チップそれぞれの裏面および側面を硬化状態における熱膨張係数が半導体チップより大きい第1樹脂で覆う第1工程と、硬化状態における熱膨張係数が半導体チップより大きく第1樹脂より小さい第2樹脂で第1樹脂の間を満たすとともに第1樹脂の上面を覆う第2工程と、第2工程の後に第1樹脂および第2樹脂を加熱して少なくても第2樹脂を熱硬化させる第3工程と、熱硬化された第2樹脂の半導体チップ側に集積回路を接続する再配線を形成する第4工程とを有すること。
【選択図】図2
【解決手段】表面に集積回路を有する複数の半導体チップを平面上に配置した状態で複数の半導体チップそれぞれの裏面および側面を硬化状態における熱膨張係数が半導体チップより大きい第1樹脂で覆う第1工程と、硬化状態における熱膨張係数が半導体チップより大きく第1樹脂より小さい第2樹脂で第1樹脂の間を満たすとともに第1樹脂の上面を覆う第2工程と、第2工程の後に第1樹脂および第2樹脂を加熱して少なくても第2樹脂を熱硬化させる第3工程と、熱硬化された第2樹脂の半導体チップ側に集積回路を接続する再配線を形成する第4工程とを有すること。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置の製造方法および半導体装置に関する。
複数の半導体チップの裏面を熱硬化性樹脂で覆った疑似ウエハを形成し、この疑似ウエハをダイシングしてチップ状の電子部品を形成する技術が提案されている。
疑似ウエハ上にその半導体チップを互いに接続する再配線を形成することで、疑似的なSOC(System on Chip)を形成することができる。このようなSOCを以下、疑似SOCチップと呼ぶ。
熱硬化性樹脂の熱膨張係数は、半導体チップの熱膨張係数より大きい。このため半導体チップの裏面を覆う熱硬化性樹脂を加熱して硬化させその後室温に冷やすと、半導体チップが隆起して疑似ウエハの表面に凹凸が生じる。
このような疑似ウエハ上にレジスト膜を形成し露光装置により配線パターンを投影すると、焦点ずれが生じる。このため、疑似SOCウエハ上に再配線を形成すると配線幅が設計値からずれたり断線したりする。
このため、疑似SOCチップの形成は容易でない。
上記の問題を解決するために、本製造方法の一観点によれば、表面に集積回路を有する複数の半導体チップを平面上に配置した状態で前記複数の半導体チップそれぞれの裏面および側面を硬化状態における熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂で覆う第1工程と、硬化状態における熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂で前記第1樹脂の間を満たすとともに前記第1樹脂の上面を覆う第2工程と、前記第2工程の後に前記第1樹脂および前記第2樹脂を加熱して少なくても前記第2樹脂を熱硬化させる第3工程と、熱硬化された前記第2樹脂の前記半導体チップ側に前記集積回路を接続する再配線を形成する第4工程とを有する半導体装置の製造方法が提供される。
開示の方法によれば、疑似SOCチップの形成が容易になる。
以下、図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。尚、図面が異なっても対応する部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
(1)疑似SOCチップ
図1は、実施の形態1の疑似SOCチップ(半導体装置)2の断面図である。
図1は、実施の形態1の疑似SOCチップ(半導体装置)2の断面図である。
図1に示すように、疑似SOCチップ2は、表面に集積回路を有する複数の半導体チップ4を有している。
疑似SOCチップ2はさらに、半導体チップ4それぞれの側面および裏面を覆い、熱膨張係数が半導体チップ4より大きい第1樹脂6aを有している。
疑似SOCチップ2はさらに、第1樹脂6aの半導体チップ4とは反対側の面を覆うとともに第1樹脂6aの間を満たし、熱膨張係数が半導体チップ4より大きく第1樹脂6aより小さい第2樹脂6bを有している。
第1樹脂6aは例えば、フィラーを含まない熱硬化性樹脂である。第2樹脂6bは例えば、フィラーを含む熱硬化性樹脂(フィラーと熱硬化性樹脂の混合物)である。第1樹脂6aおよび第2樹脂6bは、加熱処理により熱硬化されている。
疑似SOCチップ2はさらに、第2樹脂層6bの半導体チップ4側に配置された再配線層8を有している。再配線層8は、絶縁層10を有している。再配線層8はさらに、半導体チップ4の集積回路を互いに接続する再配線12(配線)を有している。
再配線12は、半導体チップ4の集積回路に接続された第1コンタクト部18aと、第1コンタクト部18aに積層された配線部20とを有している。
再配線層8はさらに、半導体チップ4の集積回路に接続された外部端子14を有している。外部端子14は、半導体チップ4の集積回路に接続された第2コンタクト部18bと、第2コンタクト部18bに積層されたパッド部22とを有している。
疑似SOCチップ2はさらに、外部端子14に接続された半田ボール16を有している。
(2)製造方法
図2は、疑似SOCチップ2の製造方法を示すフローチャートである。図3〜6は、疑似SOCチップの製造方法の工程断面図である。
図2は、疑似SOCチップ2の製造方法を示すフローチャートである。図3〜6は、疑似SOCチップの製造方法の工程断面図である。
(i)半導体チップの配置(S2)
図7は、半導体チップ4の配置方法を説明する平面図である。図3〜6は、図7のIIIA-IIIA線に沿った工程断面図である。図7のIIIA-IIIA線上には半導体チップ4が6つ配置されている。しかし図3〜6には、図面が複雑にならないように半導体チップ4を4つだけ示した。
図7は、半導体チップ4の配置方法を説明する平面図である。図3〜6は、図7のIIIA-IIIA線に沿った工程断面図である。図7のIIIA-IIIA線上には半導体チップ4が6つ配置されている。しかし図3〜6には、図面が複雑にならないように半導体チップ4を4つだけ示した。
まず図3(a)および図7に示すように、表面に集積回路を有する複数の半導体チップ4を平面上に配置する。
具体的には例えば、図3(a)示すように、複数の半導体チップ4をその表面を下にして支持基板26上に配置する。半導体チップ4は例えば、グループ(以下、半導体チップ群と呼ぶ)28ごとに一定の間隔Gで配置される。支持基板26は例えば、石英基板である。
半導体チップ群28内のチップ間隔gは、例えば50μm〜1mmである。半導体チップ群28の間隔Gは、例えば半導体チップ4の間隔gより広い(例えば、半導体チップ間隔gの2倍〜10倍程度)。
支持基板26の表面には例えば、紫外線が照射されると粘着力が低下するアクリル系の接着フィルム30が貼り付けられている。半導体チップ4は、接着フィルム30により支持基板26に固定される。
図8は、半導体チップ4の断面図の一例である。半導体チップ4は、半導体基板(例えば、Si基板)32と、半導体基板32の表面に形成された集積回路34とを有している。集積回路34は、半導体基板32の表面に形成された半導体素子(図示せず)と、多層配線36と、多層配線36の表面に形成された第1パッド38aと第2パッド38bとを有している。
同一グループ28内の半導体チップ4の構造は、それぞれ異なっている。例えば、半導体チップ4の一方の集積回路はCPU(Central Processing Unit)であり、他方の集積回路はメモリである。半導体チップ4は、プローブ検査等により選別された良品チップである。
(ii)第1樹脂による被覆(S4)
次に図3(b)〜図3(c)に示すように、複数の半導体チップ4を平面上に配置した状態で、複数の半導体チップ4それぞれの裏面および側面を硬化状態における熱膨張係数が半導体チップ4より大きい液状またはペースト状の第1樹脂6aで覆う。
次に図3(b)〜図3(c)に示すように、複数の半導体チップ4を平面上に配置した状態で、複数の半導体チップ4それぞれの裏面および側面を硬化状態における熱膨張係数が半導体チップ4より大きい液状またはペースト状の第1樹脂6aで覆う。
半導体チップ4の熱膨張係数は、半導体基板32の熱膨張係数に実質的に等しい。したがって「半導体チップ4の熱膨張係数」は、「半導体基板32の熱膨張係数」と言い換えられる。第1樹脂6aは、例えばフィラーを含まない熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂)である。
具体的には例えば、まず図3(b)に示すように、半導体チップ4に対応する開口部40を有するメタルマスク42を支持基板26の上に配置する。
開口部40の幅は、半導体チップ4の側面に形成する第1樹脂6aの厚さ分半導体チップ4より広くなっている。メタルマスク42の厚さは、半導体チップ4の裏面に形成する第1樹脂6aの厚さ分半導体チップ4より厚くなっている。
この状態でペースト状または液状の第1樹脂6aを、半導体チップ4の裏面側に射出する。第1樹脂6aは例えば、フィラーを含まない熱硬化樹脂(例えば、エポキシ樹脂)である。
図3(c)に示すように、射出された第1樹脂6aをスキージブレード44(図3(b)参照)で引き伸ばして、開口部40内に充填する。この時、第1樹脂6aの高さはメタルマスク42の厚さに略一致する。
(iii)第1樹脂の乾燥(S6)
この状態で、第1樹脂6aを例えば70〜100℃(好ましくは、80℃)に加熱して、第1樹脂6aの溶剤を気化させる。これにより、第1樹脂6aは半硬化状態(ハーフキュアー状態)になる。半硬化状態とは、熱硬化の中間状態(Bステージ)のことである。
この状態で、第1樹脂6aを例えば70〜100℃(好ましくは、80℃)に加熱して、第1樹脂6aの溶剤を気化させる。これにより、第1樹脂6aは半硬化状態(ハーフキュアー状態)になる。半硬化状態とは、熱硬化の中間状態(Bステージ)のことである。
その後、図4(a)に示すように、メタルマスク42を取り除く。
(iv)第2樹脂による被覆(S8)
次に図4(b)〜4(c)に示すように、硬化状態における熱膨張係数が半導体チップ4より大きく第1樹脂6aより小さい液状またはペースト状の第2樹脂6bで、半硬化させた第1樹脂6aの間を満たすとともに第1樹脂6aの上面を覆う。
次に図4(b)〜4(c)に示すように、硬化状態における熱膨張係数が半導体チップ4より大きく第1樹脂6aより小さい液状またはペースト状の第2樹脂6bで、半硬化させた第1樹脂6aの間を満たすとともに第1樹脂6aの上面を覆う。
具体的には例えば、図4(b)に示すようにまず、ペースト状または液状の第2樹脂6bを、支持基板26の上に射出する。第2樹脂6bは例えば、フィラー(例えば、Si粒子)を含む熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂)である。フィラーの含有率は例えば、80〜90重量%である。
次に図4(c)に示すように、射出した第2樹脂6bを蓋形の金型46で押圧して、第1樹脂6aの間を満たすとともに第1樹脂6aの上面を覆うように、第2樹脂6bを整形する。
(v)加熱(S10)
次に第1樹脂6aおよび第2樹脂6bを加熱して、第1樹脂6aおよび第2樹脂6bを熱硬化させる。
次に第1樹脂6aおよび第2樹脂6bを加熱して、第1樹脂6aおよび第2樹脂6bを熱硬化させる。
具体的には例えば、図4(c)に示すように第2樹脂6bを金型46で押圧した状態で、第1樹脂6aおよび第2樹脂6bを例えば100〜140℃(好ましくは、120℃)に加熱する。第1樹脂6aおよび第2樹脂6bに加える圧力は、例えば80〜120kN/cm2(好ましくは、98kN/cm2)である。
これにより、第1樹脂6aおよび第2樹脂6bが硬化状態(フルキュアー状態)になり、疑似SOCウエハ50(以下、モールド基板と呼ぶ)が形成される。
その後、モールド基板50を室温(例えば、25℃)まで冷却する。
次に、支持基板26の裏面から紫外線48を接着フィルム30に照射して、その粘着力を弱くする。そして図5(b)に示すように、モールド基板50を支持基板26から剥離する。
熱硬化後のモールド基板50を室温に冷やすと、第2樹脂6bと半導体チップ4はそれぞれの熱膨張係数にしたがって収縮する。その結果、半導体チップ4の収縮量と第2樹脂6bの収縮量にミスマッチが生じる。
しかし第2樹脂6bより大きい熱膨張係数を有する第1樹脂6aにより、半導体チップ4の収縮量と第2樹脂6bの収縮量のミスマッチが緩和される(「(4)第1樹脂の厚さ」参照)。このため、モールド基板50の表面は平坦に保たれる。
図5(b)には、モールド基板50の構造が示されている。
モールド基板50は図5(b)に示すように、表面に集積回路を有する複数の半導体チップ4を有している。モールド基板50はさらに、半導体チップ4それぞれの側面および裏面を覆い、熱膨張係数が半導体チップより大きい第1樹脂6aを有している。モールド基板50はさらに、第1樹脂6aの半導体チップ4とは反対側の面を覆うとともに第1樹脂6aの間を満たし、熱膨張係数が半導体チップ4より大きく第1樹脂6aより小さい第2樹脂6bを有する。第1樹脂6aおよび第2樹脂6bは、熱硬化している。
半導体チップ4の厚さは例えば、100〜800μmである。半導体チップ4の側面における第1樹脂層6aの厚さは、例えば50〜500μmである。半導体チップ4の裏面における第1樹脂層6aの厚さは、例えば10〜100μmである。
(vi)再配線(S12)
次に、第2樹脂6bの半導体チップ4側に再配線層を形成する。再配線層には、半導体チップ4の集積回路を互いに接続する再配線が含まれる。
次に、第2樹脂6bの半導体チップ4側に再配線層を形成する。再配線層には、半導体チップ4の集積回路を互いに接続する再配線が含まれる。
具体的には例えば、図5(c)に示すようにまず、モールド基板50の半導体チップ4側に、第1絶縁膜52aを形成する。
この第1絶縁膜52aに例えばレーザ照射により、半導体チップ4の第1パッド38a(図8参照)に達する接続孔を形成する。
次に、第1絶縁膜52aの表面および接続孔の内部に、例えば無電解メッキにより第1導電膜54aを形成する。
この第1導電膜54aをシード層として、図5(d)に示すように、例えばSAP(Semi Additive Process)により再配線12を形成する。この時第1導電膜54aはエッチングされ、再配線12の第1コンタクト部18a(図1参照)になる。配線部20は、メッキにより形成される。
この再配線12および第1絶縁膜52aの上に、図6(a)に示すように、第2絶縁膜52bを形成する。
この第2絶縁膜52bに例えばレーザ照射により、半導体チップ4の第2パッド38b(図8参照)に達する接続孔を形成する。
次に、第2絶縁膜52bの表面および接続孔内に、例えば無電解メッキにより第2導電膜(図示せず)を形成する。
この第2導電膜をシード層として、例えばSAP(Semi Additive Process)により外部端子14を形成する。この時第2導電膜はエッチングされ、外部端子14の第2コンタクト部18b(図1参照)になる。パッド部22は、メッキにより形成される。
外部端子14および第2絶縁膜52bの上に、図6(b)に示すように、第3絶縁膜52cを形成する。
第3絶縁膜52cに例えばレーザ照射により外部端子14に達する開口部を形成し、外部端子14の頂部を露出させる。この頂部に、半田ボール16を接続する。
以上により、再配線層8が形成される。
第1絶縁膜52a〜第3絶縁膜52cは、例えばエポキシ樹脂やフェノール樹脂である。第1絶縁膜52a〜第3絶縁膜52cは、疑似SOCチップ2の絶縁層10(図1参照)になる。
SAPでは露光装置により、モールド基板50に塗布したレジスト膜に配線パターンを転写し、この配線パターン内にメッキ層を形成する。上述したように、モールド基板50の表面は平坦なので焦点ずれによる配線幅の設計値からのずれや断線は起こり難い。したがって、疑似SOCチップ2の形成は容易である。
(vii)チップ化(S14)
図6(c)に示すように、再配線層8が形成されたモールド基板50を、再配線12により互いに接続された半導体チップ4(半導体チップ群28)を含む領域ごとに分割する。これにより、モールド基板50が疑似SOCチップ2に分割される。
図6(c)に示すように、再配線層8が形成されたモールド基板50を、再配線12により互いに接続された半導体チップ4(半導体チップ群28)を含む領域ごとに分割する。これにより、モールド基板50が疑似SOCチップ2に分割される。
疑似SOCチップ2は例えば、プリント基板やパケージ基板に実装される。
(3)樹脂を一層だけ有する疑似SOCチップ
図9は、樹脂を一層だけ有する疑似SOCチップの製造方法の工程断面図である。
図9は、樹脂を一層だけ有する疑似SOCチップの製造方法の工程断面図である。
まず図2に示す「半導体チップの配置」(S2)と同じ手順で、図9(a)に示すように、複数の半導体チップ4を支持基板26上に配置する。
次に図2に示す「第2樹脂による被覆」(S8)と略同じ手順で、図9(b)に示すように、ベアチップ状態の半導体チップ4の裏面側に第3樹脂6cを射出する。第3樹脂6cの組成は、第2樹脂6bと同じである。すなわち第3樹脂6cは例えば、フィラーを含む熱硬化性樹脂である。さらに図9(c)に示すように、第3樹脂6cを蓋形の金型46で押圧して、半導体チップ4の間を満たすとともに半導体チップ4の裏面を覆うように第3樹脂6cを整形する。
次に、図2に示す「加熱」(S10)と略同じ手順で、第3樹脂6cを加熱してモールド基板を形成する。その後、図2に示す「再配線」(S12)および「チップ化」(S14)と略同じ手順により、疑似SOCチップを形成する。
図10は、第3樹脂6cの加熱により形成されるモールド基板56の断面図である。図10(a)は、第3樹脂6cの加熱温度におけるモールド基板56の断面図である。図10(b)は、室温におけるモールド基板56の断面図である。
図10(a)に示すように、加熱温度におけるモールド基板56の表面は略平坦である。この状態のモールド基板56には、内部応力は殆ど発生していない。しかしモールド基板56を室温に冷やすと、硬化状態の第3樹脂6cと半導体4の熱膨張係数の違いによりモールド基板56に内部応力が発生する。すると、図10(b)に示すように半導体チップ4が隆起し、内部応力は緩和する。
このようなモールド基板56の上に再配線を形成すると、配線パターンの焦点がずれにより再配線の幅が設計値からずれたり再配線が断線したりする。
図11は、樹脂を一層だけ有するモールド基板56に発生する内部応力を説明する図である。図11には、加熱温度から室温に冷える途中のモールド基板56の断面が示されている。
モールド基板56は、支持基板26(図示せず)に半導体チップ4側が固定された状態で室温に冷やされる。この間、モールド基板56の表面は略平坦である。
第3樹脂6cの熱膨張係数は、半導体チップ4の熱膨張係数より大きい。このためモールド基板56が冷えると、図11に示すように、半導体チップ4の側方におけるモールド基板の厚さdが、半導体チップ部分の厚さDより収縮する。このため半導体チップ4の裏面には、圧縮応力S1が加わる。
同様にモールド基板56が冷えると、モールド基板56の表面側(半導体チップ4を含む領域)R1よりモールド基板56の裏面側R2が、モールド基板56の表面に平行な方向に収縮する。このため半導体チップ4には第3樹脂6cから、モールド基板56の表面に平行な圧縮応力が加わる。この反作用として、モールド基板56の表面側R1で第3樹脂6cに圧縮応力S2,S3が加わる。
この圧縮応力S2,S3は均一ではなく、半導体チップ4が接近した樹脂領域62に加わる圧縮応力S2はこの半導体チップ4の外側の樹脂領域に加わる圧縮応力S3より大きい。
モールド基板56を支持基板26から剥離すると、図10(b)に示すように半導体チップ4が隆起して、樹脂領域62に加わる圧縮応力S2を緩和する。この半導体チップ4の隆起は、半導体チップ4の裏面に加わる圧縮応力S1により促進される。この時、半導体チップ4の外側の樹脂領域に加わる圧縮応力S3も緩和される。
一方、図2に示す方法で製造されるモールド基板50では、半導体チップ4の収縮量と第2樹脂6bの収縮量のミスマッチが第1樹脂6cにより緩和されるので、半導体チップ4の隆起は抑制される(「(4)第1樹脂の厚さ」参照)。
例えば、樹脂を一層だけ有するモールド基板56(図10(b)参照)における半導体チップ4の隆起64は6μm以上である。一方、第1樹脂6aを有するモールド基板50(図5(b)参照)における半導体チップ4の隆起量は1〜3μm程度である。
(4)第1樹脂の厚さ
―チップ側面における厚さ―
図12は、図10(a)のモールド基板56における半導体チップ4近傍を拡大した断面図である。図13は、半導体チップ4と第3樹脂6cの収縮量の関係を示す図である。
―チップ側面における厚さ―
図12は、図10(a)のモールド基板56における半導体チップ4近傍を拡大した断面図である。図13は、半導体チップ4と第3樹脂6cの収縮量の関係を示す図である。
上述したように第3樹脂6cの組成は、モールド基板50(図5(b)参照)の第2樹脂6bと同じである。したがって第3樹脂6cの熱膨張係数は、第2樹脂6bの熱膨張係数に等しい。ここで、第2樹脂6bと第3樹脂6cの加熱温度は等しいとする。
図12のモールド基板56の表面に平行な方向(以下、水平方向と呼ぶ)における半導体チップ4の収縮量Δl1は、式(1)で表される。
一方、半導体チップ4の下側60における第3樹脂6cの水平方向の収縮量Δl2は、式(2)で表される。
第3樹脂6cおよび第2樹脂6bの熱膨張係数Mは、半導体チップ4の熱膨張係数Cより大きい。したがって、図13に示すように、半導体チップ4の収縮量Δl1は、半導体チップ4の下側60における第3樹脂6cの収縮量Δl2より小さい。
このため、半導体チップ4の収縮量Δl1と第3樹脂6cの収縮量Δl2にミスマッチΔ1(=Δl2−Δl1)が生じる。このため、図10(b)に示すように半導体チップ4が隆起する。
図14は、図5(b)のモールド基板50における半導体チップ4近傍の断面図である。図15は、半導体チップ4、第1樹脂6a、および第2樹脂6bそれぞれの収縮量の関係を示す図である。
モールド基板50の水平方向における半導体チップ4の収縮量Δl1は、式(1)で表される。
第1樹脂6aのうち半導体チップ4の側面に接する部分の収縮量Δl3(水平方向の収縮量)は、式(3)で表される。
したがって、半導体チップ4の側面における第1樹脂6aの収縮量Δl3と半導体チップ4の収縮量Δl1の和ΔLは、式(4)で表される。
図5(b)のモールド樹脂50における収縮量のミスマッチΔ2は、半導体チップ4の収縮量Δl1と第1樹脂6aの収縮量Δl3との和ΔL(図15参照)と第1樹脂6aの下側における第2樹脂6bの収縮量Δl4の差(=Δl4―ΔL)である。
この収縮量のミスマッチΔ2は、式(6)で表される。
これは第1樹脂6aの収縮量Δl3(図15参照)により、半導体チップ4の収縮量Δl1と第2樹脂6bの収縮量Δl4のミスマッチが緩和されるためである。このため、第1樹脂6aを有するモールド樹脂50では、半導体チップ4の隆起が小さくなる。
ところで図15に示す例では、第1樹脂層6aの厚さstは式(8)で表される。
しかし収縮量のミスマッチΔ2は、第1樹脂6aを有さないモールド基板56における収縮量のミスマッチΔ1より小さければよい。
ただし第1樹脂6aが式(8)のstより厚くなると、収縮量のミスマッチΔ2がゼロ未満になる。第1樹脂6aがさらに厚くなると、やがて収縮量のミスマッチΔ2は−Δ1より小さくなる。この場合、モールド基板50の表面側に大きな引張応力の不均一性が発生するので好ましくない。
したがってミスマッチΔ2は、第1樹脂6aを有さないモールド基板56における収縮量のミスマッチΔ1より小さく−Δ1より大きいことが好ましい。
この場合、第1樹脂層6aの厚さstの範囲は式(9)で表される。
ただし、第1樹脂6aを有するモールド基板50における収縮量のミスマッチΔ2が第1樹脂6aを有さないモールド基板56における収縮量のミスマッチΔ1の0.5倍より小さく−0.5×Δ1より大きければ、さらに好ましい。
この場合、第1樹脂層6aの厚さstの範囲は式(10)で表される。
この場合、第1樹脂層6aの厚さstの範囲は式(11)で表される。
同様に式(12)によれば、モールド基板50の表面に垂直な方向における半導体チップ4と第2樹脂6bの収縮量のミスマッチが小さくなり、半導体チップ4の隆起が抑制される。
式(12)の2×tは、式(9)のlに対応している。ここで“t”の係数2は、“l”の係数1の2倍である。これは、半導体チップ4の表面側に第1樹脂6aが存在しないためである。
式(13)によれば、半導体チップ4の隆起がさらに抑制される。
半導体チップ4の長辺l1は9mmである。半導体チップ4の短辺l2は5mmである。半導体チップ群28内におけるチップ間隔gは0.5mmである。半導体チップ群28の間隔G1及びG2はそれぞれ、6.5mmおよび6.0mmである。半導体チップ4の基板は、Siである。
図17は、第1樹脂6aを有さないモールド基板56のシミュレーション結果を説明する図である。図17(a)は、図16内の領域66を拡大した平面図である。図17(b)は、領域66の断面図である。
半導体チップ4の厚さt(図17(b)参照)は、0.525mmである。モールド基板56の厚さは、0.625mmである。半導体チップ4の熱膨張係数は、2.6ppm/Kである。第3樹脂6cの熱膨張係数Mは、8.0ppm/Kである。ΔTは、95℃である。
図17(a)に示すように、半導体チップ4の左辺には176.5MPaの圧縮応力S4が加わる。一方、半導体チップ4の右辺には181.1MPaの圧縮応力S5が加わる。したがって、半導体チップ4が接近した樹脂領域62(図11参照)に加わる圧縮応力S2(S5の反作用)は半導体チップ4の外側の樹脂領域に加わる圧縮応力S3(S4の反作用)より大きくなる。応力差(=S2−S3)は、4.5MPaである。
図18は、第1樹脂6aを有するモールド基板50のシミュレーション結果を説明する図である。図18(a)は、図16内の領域66を拡大した平面図である。図18(b)は、領域66の断面図である。
半導体チップ4の厚さなど図17のモデルと共通するパラメータ値の説明は省略する。半導体チップ4の短辺に接する第1樹脂6aの厚さstは0.19mmである。半導体チップ4の長辺に接する第1樹脂6aの厚さstは0.34mmである。半導体チップ4の裏面に接する第1樹脂6aの厚さbtは、0.04mmである。
この場合、半導体チップ4が接近した樹脂領域62に加わる圧縮応力と半導体チップ4の外側の樹脂領域に加わる圧縮応力の応力差は、1.9MPaである。すなわち第1樹脂6aが存在することで、圧縮応力の不均一性は42%(=1.9MPa/4.5MPa)に減少する。このため、半導体チップ4の隆起は小さくなる。
以上の例では、半導体チップ群28内のチップ間隔gが半導体チップ群28の間隔Gより狭くなっている。この間隔g,Gの相違により、第1樹脂6aを有さないモールド基板56では内部応力が不均一になり、半導体チップ4が隆起する。
半導体チップ群28の内および外でチップ間隔g,Gが一定であれば、第1樹脂6aを有さないモールド基板56でも、内部応力は均一になる。しかし内部応力の不均一性は、チップ間隔のバラつき、第2樹脂6bの厚さのバラつき、および半導体チップ4の配置方法(レイアウト)などによっても大きくなることがある。したがって半導体チップ4の側面および裏面を第1樹脂6aで覆うことは、チップ間隔g,Gが一定の場合でも有効である。
また以上の例では、第1樹脂6aは第2樹脂6bとともに熱硬化される(S10)。しかし第1樹脂6aは、第1樹脂6aの被覆(S4)と第2樹脂6bの被覆(S8)の間に熱硬化されてもよい。例えば、第1樹脂6aを乾燥(S6)させる代わりに、第1樹脂6aを高温(例えば、120℃)で加熱して熱硬化させてもよい。
また以上の例では、外部端子14(図1参照)は平面視において半導体チップ4の内側に形成される。しかし外部端子14は、平面視において半導体チップ4の外側に形成されてもよい。
また以上の例では、第1樹脂6aおよび第2樹脂6bはエポキシ樹脂である。しかし第1樹脂6aおよび第2樹脂6bは、別の熱硬化性樹脂(例えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリオリフイン、ポリベンゾオキサゾール、ベンゾシクロブテンなど)であってもよい。
また以上の例では、疑似SOCチップに含まれるチップ数は2つである。しかし、疑似SOCチップに含まれるチップ数は3つ以上であってもよい。
以上の実施の形態に関し、更に以下の付記を開示する。
(付記1)
表面に集積回路を有する複数の半導体チップを平面上に配置した状態で、前記複数の半導体チップそれぞれの裏面および側面を、硬化状態における熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂で覆う第1工程と、
硬化状態における熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂で、前記第1樹脂の間を満たすとともに前記第1樹脂の上面を覆う第2工程と、
前記第2工程の後に、前記第1樹脂および前記第2樹脂を加熱して少なくても前記第2樹脂を熱硬化させる第3工程と、
熱硬化された前記第2樹脂の前記半導体チップ側に、前記集積回路を接続する再配線を形成する第4工程とを有する
半導体装置の製造方法。
表面に集積回路を有する複数の半導体チップを平面上に配置した状態で、前記複数の半導体チップそれぞれの裏面および側面を、硬化状態における熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂で覆う第1工程と、
硬化状態における熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂で、前記第1樹脂の間を満たすとともに前記第1樹脂の上面を覆う第2工程と、
前記第2工程の後に、前記第1樹脂および前記第2樹脂を加熱して少なくても前記第2樹脂を熱硬化させる第3工程と、
熱硬化された前記第2樹脂の前記半導体チップ側に、前記集積回路を接続する再配線を形成する第4工程とを有する
半導体装置の製造方法。
(付記2)
付記1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1樹脂を、第1工程と第2工程の間または前記第3工程で熱硬化させることを
特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1樹脂を、第1工程と第2工程の間または前記第3工程で熱硬化させることを
特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記3)
付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1樹脂は、熱硬化性樹脂を含み、
前記第2樹脂は、前記熱硬化性樹脂とフィラーとを含むことを
特徴とする半導体装置の製造方法。
付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1樹脂は、熱硬化性樹脂を含み、
前記第2樹脂は、前記熱硬化性樹脂とフィラーとを含むことを
特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記4)
付記1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体チップの側面における前記第1樹脂の厚さstの範囲は、式
付記1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体チップの側面における前記第1樹脂の厚さstの範囲は、式
で表されることを
特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記5)
付記4に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体チップの裏面における前記第1樹脂の厚さbtの範囲は、式
付記4に記載の半導体装置の製造方法において、
前記半導体チップの裏面における前記第1樹脂の厚さbtの範囲は、式
(付記6)
表面に集積回路を有する複数の半導体チップと、
前記半導体チップそれぞれの側面および裏面を覆い、熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂と、
前記第1樹脂の前記半導体チップとは反対側の面を覆うとともに前記第1樹脂の間を満たし、熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂と、
前記第2樹脂の前記半導体チップ側で前記半導体チップの集積回路を接続する再配線とを有する
半導体装置。
表面に集積回路を有する複数の半導体チップと、
前記半導体チップそれぞれの側面および裏面を覆い、熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂と、
前記第1樹脂の前記半導体チップとは反対側の面を覆うとともに前記第1樹脂の間を満たし、熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂と、
前記第2樹脂の前記半導体チップ側で前記半導体チップの集積回路を接続する再配線とを有する
半導体装置。
(付記7)
表面に集積回路を有する複数の半導体チップと、
前記半導体チップそれぞれの側面および裏面を覆い、熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂と、
前記第1樹脂の前記半導体チップとは反対側の面を覆うとともに前記第1樹脂の間を満たし、熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂とを有する
モールド基板。
表面に集積回路を有する複数の半導体チップと、
前記半導体チップそれぞれの側面および裏面を覆い、熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂と、
前記第1樹脂の前記半導体チップとは反対側の面を覆うとともに前記第1樹脂の間を満たし、熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂とを有する
モールド基板。
2・・・疑似SOCチップ
4・・・半導体チップ
6a・・・第1樹脂
6b・・・第2樹脂
12・・・再配線
50・・・モールド基板
4・・・半導体チップ
6a・・・第1樹脂
6b・・・第2樹脂
12・・・再配線
50・・・モールド基板
Claims (6)
- 表面に集積回路を有する複数の半導体チップを平面上に配置した状態で、前記複数の半導体チップそれぞれの裏面および側面を、硬化状態における熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂で覆う第1工程と、
硬化状態における熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂で、前記第1樹脂の間を満たすとともに前記第1樹脂の上面を覆う第2工程と、
前記第2工程の後に、前記第1樹脂および前記第2樹脂を加熱して少なくても前記第2樹脂を熱硬化させる第3工程と、
熱硬化された前記第2樹脂の前記半導体チップ側に、前記集積回路を接続する再配線を形成する第4工程とを有する
半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第1樹脂を、第1工程と第2工程の間または前記第3工程で熱硬化させることを
特徴とする半導体装置の製造方法。 - 表面に集積回路を有する複数の半導体チップと、
前記半導体チップそれぞれの側面および裏面を覆い、熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂と、
前記第1樹脂の前記半導体チップとは反対側の面を覆うとともに前記第1樹脂の間を満たし、熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂と、
前記第2樹脂の前記半導体チップ側で前記半導体チップの集積回路を接続する再配線とを有する
半導体装置。 - 表面に集積回路を有する複数の半導体チップと、
前記半導体チップそれぞれの側面および裏面を覆い、熱膨張係数が前記半導体チップより大きい第1樹脂と、
前記第1樹脂の前記半導体チップとは反対側の面を覆うとともに前記第1樹脂の間を満たし、熱膨張係数が前記半導体チップより大きく前記第1樹脂より小さい第2樹脂とを有する
モールド基板。
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