JP2014180052A - 振動片、振動子及び発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶振動片1は、水晶の原石などから、水晶の結晶軸としての互いに直交するX軸、Y軸、Z軸に対して所定の角度で切り出されたZ板を基材とし、外形形状がエッチングによって形成された振動片であって、基部10と、基部10からY軸方向に延びる一対の振動腕11と、基部10をX軸方向に切り欠いた切り欠き部12,13と、を備え、切り欠き部12が、基部10をX軸のプラス側からマイナス側へ切り欠き、切り欠き方向に沿った辺12aと基部10の外周10bとの間に、切り欠き部12の幅が外周10bに近づくに連れて広がるように形成された傾斜部12cを有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
特許文献1の振動片は、基部に切り欠き部が形成されていることにより、振動腕から基部への振動漏れが減少し、CI(クリスタルインピーダンス)値(Q値)のばらつきの抑制が図られている。
このエッチング異方性に起因して、振動片は、基部の切り欠き部の先端部分が、オーバーエッチング(エッチング過多)されることによって、本来の位置より基部の中央側に入り込み、例えば、先端が尖ったくさびのような、応力が集中しやすい形状に形成されることがある。
これにより、振動片は、落下時などの衝撃が加わった際に、切り欠き部の先端部分に応力が集中し、その部分から破損する虞がある。
振動片は、上記方向に切り欠き部を設けることで、振動漏れをより効果的に抑制できる。そして、振動片は、切り欠き部に傾斜部を有することで、切り欠き部の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングを抑制できる。
この結果、振動片は、切り欠き部の先端部分における応力集中が緩和されることから、基部の強度が向上し、耐衝撃特性を向上させることができる。
振動片は、一方の辺と傾斜部との成す角度が上記範囲内であることにより、効果的にオーバーエッチングを抑制できる。なお、上記範囲は、発明者らが現物との整合性を検証した上でのエッチングのシミュレーションによる解析結果から得た知見である。
振動片は、他方の辺と傾斜部との成す角度が上記範囲内であることにより、効果的にオーバーエッチングを抑制できる。なお、上記範囲は、発明者らが現物との整合性を検証した上でのシミュレーションによる解析結果から得た知見である。
図1は、第1の実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、図1(a)は平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A線での断面図である。図2は、図1(a)のB部拡大図である。
ここで、Z板とは、切り出し面(主面10a)がZ軸に対して略直交したものをいい、このZ軸に直交した主面10aが、X軸のプラス側から見てY軸からZ軸の方向へ反時計回りまたは時計回りに0度〜数度の範囲で回転した状態で切り出されたものも含まれる。 水晶振動片1は、X軸が電気軸、Y軸が機械軸、Z軸が光軸となるように、水晶の単結晶から切り出される。
なお、水晶振動片1は、水晶からの切り出し角度の誤差を、X軸、Y軸及びZ軸の各々につき多少の範囲(例えば、0度〜5度程度の範囲)で許容できる。
水晶振動片1は、基部10と、一対の振動腕11とを含んで音叉を構成することで、音叉型振動片となっており、支持部14の所定の位置に形成された図示しないマウント電極を介してパッケージなどの外部部材に固定されるようになっている。
水晶振動片1は、振動腕11に形成された図示しない励振電極に、マウント電極を経由して外部から駆動信号が印加されることにより、一対の振動腕11が、所定の周波数(例えば、32kHz)で矢印C方向及び矢印D方向に交互に屈曲振動(共振)する。
切り欠き部12は、基部10をX軸のプラス側からマイナス側へ切り欠いて形成されている。
そして、図2に示すように、切り欠き部12は、切り欠き方向に沿った辺12a,12bの内、Y軸のプラス側に位置する一方の辺としての辺12aと、基部10の外周10bとの間に、切り欠き部12の幅が外周10bに近づくに連れて広がるように形成された傾斜部12cを有する。
傾斜部12cは、上記のように、切り欠き部12においてY軸のプラス側に位置する辺12aに接続され、辺12aとの成す角度θが、3度〜35度の範囲内となるように形成されている。
一方、切り欠き部13は、図1(a)に示すように、切り欠き部12と対になるように設けられ、振動腕11の延びる方向(Y軸方向)に沿った基部10の中心線10cを対称軸として、切り欠き部12と対称形状に形成されている。
図3は、切り欠き部における傾斜部の角度と、先端部分のエッチング形状との関係を示す図である。
シミュレーションによって得られたエッチング形状については、3段階で評価し、応力が集中しやすい形状順に×:不良、○:良、◎:優良、で表している。エッチング形状は、○、◎の評価であれば、応力が集中し難く量産に適用できるものと判断される。
この解析結果によれば、傾斜部12cの角度θは、3度〜35度の範囲内が好ましく、10度〜30度の範囲内がより好ましい。また、角度θは、エッチング異方性の影響を踏まえた傾斜部12cの形成精度の観点からすれば、ほぼ30度とすることが特に好ましい。
この場合には、切り欠き部12の先端部分が、大きくオーバーエッチングされ、実線で示した本来の円弧状の形状より基部10の中央側に入り込み、先端が尖ったくさびのような、応力が集中しやすい形状に形成されている。
これに対して、傾斜部12cの角度θが3度〜35度の範囲内の場合には、切り欠き部12の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングが抑制され、切り欠き部12の先端部分が、実線で示した本来の円弧状の形状に近似した形状で形成されている。
そして、水晶振動片1は、切り欠き部12に傾斜部12cを有することで、切り欠き部12の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングを抑制できる。
この結果、水晶振動片1は、切り欠き部12の先端部分における応力集中が緩和されることから、基部10の強度が向上し、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶振動片1は、水晶のエッチング異方性により切り欠き部13の先端部分がオーバーエッチングされ難いことから、切り欠き部13には傾斜部がなくてもよい。
図4は、第2の実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、図4(a)は平面図、図4(b)は、図4(a)のE−E線での断面図である。図5は、図4(a)のF部拡大図である。
なお、第1の実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、第1の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図5に示すように、水晶振動片2の切り欠き部12は、切り欠き方向に沿った辺12a,12bの内、Y軸のマイナス側に位置する他方の辺としての辺12bと、基部10の外周10bとの間に、切り欠き部12の幅が外周10bに近づくに連れて広がるように形成された傾斜部12dを有する。
傾斜部12dは、上記のように、切り欠き部12においてY軸のマイナス側に位置する辺12bに接続され、辺12bとの成す角度θ1が、10度〜30度の範囲内となるように形成されている。
一方、切り欠き部13は、図4(a)に示すように、切り欠き部12と対になるように設けられ、振動腕11の延びる方向(Y軸方向)に沿った基部10の中心線10cを対称軸として、切り欠き部12と対称形状に形成されている。
図6は、切り欠き部における傾斜部の角度と、先端部分のエッチング形状との関係を示す図である。
シミュレーションによって得られたエッチング形状については、2段階で評価し、応力が集中しやすい形状順に×:不良、○:良、で表している。エッチング形状は、○の評価であれば、応力が集中し難く量産に適用できるものと判断される。
この解析結果によれば、傾斜部12dの角度θ1は、10度〜30度の範囲内が好ましいことがわかる。
この場合には、第1の実施形態と同様に、切り欠き部12の先端部分が、大きくオーバーエッチングされ、実線で示した本来の円弧状の形状より基部10の中央側に入り込み、先端が尖ったくさびのような、応力が集中しやすい形状に形成されている。
これに対して、傾斜部12dの角度θ1が10度〜30度の範囲内の場合には、切り欠き部12の先端部分におけるエッチングの進行度合いが変化し、オーバーエッチングが抑制され、切り欠き部12の先端部分が、実線で示した本来の円弧状の形状に近似した形状で形成されている。
そして、水晶振動片2は、傾斜部12dと辺12bとの成す角度θ1が、10度〜30度の範囲内となるように形成されている。
この結果、水晶振動片2は、切り欠き部12の先端部分における応力集中が緩和されることから、基部10の強度が向上し、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶振動片2は、水晶のエッチング異方性により切り欠き部13の先端部分がオーバーエッチングされ難いことから、切り欠き部13には傾斜部がなくてもよい。
また、支持部14、錘部16、溝部17は、なくてもよい。また、振動腕11の屈曲振動の方向は、振動腕11の厚み方向(Z軸方向)であってもよい。また、傾斜部12cと傾斜部12dとは、併用されてもよい。
次に、第3の実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた振動子について説明する。
図7は、第3の実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、図7(a)は平面図、図7(b)は、図7(a)のG−G線での断面図である。
パッケージ80は、パッケージベース81、シームリング82、蓋体85などから構成されている。
パッケージベース81は、水晶振動片1を収容できるように凹部が形成され、その凹部に水晶振動片1の図示しないマウント電極と接続される接続パッド88が設けられている。
接続パッド88は、パッケージベース81内の配線に接続され、パッケージベース81の外周部に設けられた外部接続端子83と導通可能に構成されている。
水晶振動片1は、パッケージベース81の接続パッド88に導電性接着剤84を介して接着固定されている。そして、パッケージ80は、パッケージベース81の凹部を覆う蓋体85とシームリング82とがシーム溶接されている。
パッケージベース81の貫通穴86には、金属材料などからなる封止材87が充填されている。この封止材87は、減圧雰囲気内で溶融後固化され、パッケージベース81内が減圧状態を保持できるように、貫通穴86を気密に封止している。
水晶振動子5は、外部接続端子83を介した外部からの駆動信号により水晶振動片1が励振され、所定の周波数(例えば、32kHz)で発振する。
なお、水晶振動子5は、水晶振動片1に代えて水晶振動片2を用いても、同様の効果を得ることができる。
次に、第4の実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた発振器について説明する。
図8は、第4の実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、図8(a)は平面図、図8(b)は図8(a)のJ−J線での断面図である。
図8に示すように、水晶発振器6は、第1の実施形態の水晶振動片1と、水晶振動片1を発振させる発振回路を有する回路素子としてのICチップ91と、水晶振動片1及びICチップ91を収容するパッケージ80と、を備えている。
ICチップ91は、パッケージベース81の底部に固着され、金線などの金属ワイヤー92により他の配線と接続されている。
水晶発振器6は、ICチップ91の発振回路からの駆動信号により水晶振動片1が励振され、所定の周波数(例えば、32kHz)で発振する。
なお、水晶発振器6は、水晶振動片1に代えて水晶振動片2を用いても、同様の効果を得ることができる。
本発明のある形態にかかる振動片は、エッチング加工して得られた振動片であって、第1の方向に沿って延在している切り欠きが設けられている基部と、前記基部から前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って突出している振動腕と、を備え、前記切り欠きは、平面視で前記振動腕の前記第1の方向に沿った幅の中心を通ると共に前記第2の方向に沿っている仮想直線と交差しており、かつ、平面視で前記第1の方向に開口している開口側とは反対側の先端側に位置している先端領域と、前記開口側に位置し、前記第1の方向に対して傾斜した傾斜部を含んでいる基端領域と、を含み、前記基端領域は、前記先端領域よりも前記第2の方向に沿った長さが長いことを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動片は、平面視で、前記切り欠きは、前記基部の前記第1の方向に沿った幅の中心を通ると共に前記第2の方向に沿った仮想中心線と、前記仮想直線との間にまで延在していることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動片は、前記振動腕には前記第2の方向に沿って延在している溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動片は、音叉型水晶振動片であることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動子は、前記振動片と、前記振動片が収容されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる発振器は、前記振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動片は、エッチング加工して得られた振動片であって、第1の方向に沿って並んでいる切り欠きおよび連結部、前記第1の方向と交差する方向に沿って前記切り欠きおよび前記連結部の一方側に並んでおり前記連結部に連結されている第1の部分、及び前記交差する方向に沿って前記切り欠きおよび前記連結部の他方側に並んでおり前記連結部に連結されている第2の部分、を含む基部と、前記第1の部分から前記第1の方向と直交している第2の方向に沿って突出している振動腕と、を含み、前記切り欠きは、平面視で前記振動腕の前記第1の方向に沿った幅の中心を通ると共に前記第2の方向に沿っている仮想直線と交差しており、かつ、平面視で前記第1の方向に開口している開口側とは反対側の先端側に位置している先端領域と、前記開口側に位置し、前記第1の方向に対して傾斜した傾斜部を含んでいる基端領域と、を含み、前記基端領域は、前記先端領域よりも前記第2の方向に沿った長さが長いことを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動片は、平面視で、前記切り欠きは、前記連結部の前記第1の方向に沿った幅の中心を通ると共に前記第2の方向に沿った仮想中心線と、前記仮想直線との間にまで延在していることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動片は、前記振動腕には前記第2の方向に沿って延在している溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動片は、音叉型水晶振動片であることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる振動子は、前記振動片と、前記振動片が収容されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
本発明のある別の形態にかかる発振器は、前記振動片と、回路と、を備えていることを特徴とする。
水晶振動片1は、振動腕11に形成された図示しない励振電極に、マウント電極を経由して外部から駆動信号が印加されることにより、一対の振動腕11が、所定の周波数(例えば、32kHz)で矢印C方向及び矢印D方向に交互に屈曲振動(共振)する。
切り欠き部12は、基部10をX軸のプラス側からマイナス側へ切り欠いて形成されている。
そして、図2に示すように、切り欠き部12は、切り欠き方向に沿った辺12a,12bの内、Y軸のプラス側に位置する一方の辺としての辺12aと、基部10の外周10bとの間に、切り欠き部12の幅が外周10bに近づくに連れて広がるように形成された傾斜部12cを有する。すなわち、切り欠き部12は、平面視で開口側とは反対側の先端側に位置している先端領域と、開口側に位置し、傾斜部12cを含んでいる基端領域と、を含み、基端領域は、先端領域よりもY軸方向に沿った長さが長くなっている。
傾斜部12cは、上記のように、切り欠き部12においてY軸のプラス側に位置する辺12aに接続され、辺12aとの成す角度θが、3度〜35度の範囲内となるように形成されている。
一方、切り欠き部13は、図1(a)に示すように、切り欠き部12と対になるように設けられ、振動腕11の延びる方向(Y軸方向)に沿い、基部10の幅方向(X軸方向)に沿った幅の中心を通る中心線(仮想中心線)10cを対称軸として、切り欠き部12と対称形状に形成されている。
また、切り欠き部12、13は、平面視で、中心線10cと、仮想直線L1との間にまで延在している。
Claims (7)
- 水晶の結晶軸としての互いに直交するX軸、Y軸、Z軸に対して所定の角度で切り出されたZ板を基材とし、外形形状がエッチングによって形成された振動片であって、
基部と、
前記基部から前記Y軸方向に延びる少なくとも1本の振動腕と、
前記基部を前記X軸方向に切り欠いた切り欠き部と、を備え、
前記切り欠き部の少なくとも1つは、前記基部を前記X軸のプラス側からマイナス側へ切り欠き、切り欠き方向に沿った少なくとも1つの辺と前記基部の外周との間に、前記切り欠き部の幅が前記外周に近づくに連れて広がるように形成された傾斜部を有することを特徴とする振動片。 - 請求項1に記載の振動片において、前記傾斜部は、前記切り欠き部において前記Y軸のプラス側に位置する一方の辺に接続され、前記一方の辺との成す角度が3度〜35度の範囲内であることを特徴とする振動片。
- 請求項1に記載の振動片において、前記傾斜部は、前記切り欠き部において前記Y軸のマイナス側に位置する他方の辺に接続され、前記他方の辺との成す角度が10度〜30度の範囲内であることを特徴とする振動片。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の振動片において、前記切り欠き部は、対で設けられ、前記振動腕の延びる方向に沿った前記基部の中心線を対称軸として、対称形状に形成されていることを特徴とする振動片。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の振動片において、前記振動腕を複数本備え、前記複数本の振動腕と、前記基部とを含んで音叉を構成することを特徴とする振動片。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする振動子。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を発振させる発振回路を有する回路素子と、
前記振動片及び前記回路素子を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする発振器。
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