JP2014174306A - 光導波路構造 - Google Patents
光導波路構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014174306A JP2014174306A JP2013046199A JP2013046199A JP2014174306A JP 2014174306 A JP2014174306 A JP 2014174306A JP 2013046199 A JP2013046199 A JP 2013046199A JP 2013046199 A JP2013046199 A JP 2013046199A JP 2014174306 A JP2014174306 A JP 2014174306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- core
- region
- type
- type semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
【課題】リブ型の光導波路より構成した光変調部を備える光導波路構造において、光損失や波長特性劣化を生じさせることなく、電気的な干渉が抑制できるようにする。
【解決手段】光変調部111を囲ってコア104およびスラブ層103に連続して帯状に形成された分離領域107を備える。分離領域107は、内側に配置されたp型の内側部171、および内側部171に接して内側部171の外側に配置されたn型の外側部172を備える。また、内側部171および外側部172は、コア104にも形成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】光変調部111を囲ってコア104およびスラブ層103に連続して帯状に形成された分離領域107を備える。分離領域107は、内側に配置されたp型の内側部171、および内側部171に接して内側部171の外側に配置されたn型の外側部172を備える。また、内側部171および外側部172は、コア104にも形成されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光変調部を構成するシリコンからなるリブ型の光導波路構造に関するものである。
光通信システムは、送信機と受信機とで構成され、送信機においては、電気信号を光信号へと変換を行う光変調器が核となる重要なデバイスである。現在、市販されている多くの光変調器は、強誘電体結晶であるLiNbO3の電気光学効果(ポッケルス効果)を用いており、小型化や集積化が非常に難しい。
一方、シリコンに代表されるIV族半導体材料を用いた光・電子デバイスの大規模モノリシック集積技術が注目されている。この技術を用いることにより、大量生産可能かつ小型化など優れた利点を有することから、チップ間光インターコネクションに代表される極短距離光通信から、中・長距離光通信まで幅広い応用が期待されている。また、前述した問題は、IV族半導体材料による光集積素子によって解決が可能である。
IV半導体材料を用いた光変調器について、1例を図6,図7に示す。この光変調器は、いわゆるマッハツェンダー干渉計型であり、極微小なシリコン光導波路を用いて構成している。この光変調器は、2つのシリコン光導波路を備え、2つの光導波路の干渉を利用して光の強度を変化させる。各々の光導波路において2つの光が受ける位相変化量の差により,合波後の光の強度が決まる。この位相変化量の差を変化させることで,変調器光出力の強度を変化させることが可能となる(非特許文献1参照)。
これらは、例えば、SOI(Silicon on Insulator)基板上に製作されており、SOI基板のシリコン基部を支持基板611とし、埋め込み酸化膜を下部クラッド層612とし、表面シリコン層を加工し、入力光導波路コア602,第1分岐光導波路コア603,第2分岐光導波路コア604,および出力光導波路コア605としている。各コアは、いわゆるリブ型の光導波路を構成し、コア以外の領域の表面シリコン層がスラブ層601となる。
また、これらコアは半導体材料のシリコンから構成されているため、光導波路(コア)に電気的にキャリアを注入することが可能である。このキャリアによる光の屈折率や吸収率の変化(キャリアプラズマ分散効果)を用いることで屈折率変化を誘起し、シリコン光導波路では、光強度を高速に変調することができる。
キャリア注入構造は、リブ型シリコン光導波路を構成するコアに、導波方向に直交する方向に配列されたpn接合やpin構造を形成することで実現できる。上述した例では、一部の第1分岐光導波路コア603およびこのコアに連続する一部のスラブ層601に、p+領域631aおよびn+領域631bからなるpn接合を形成し、光変調部を構成している。また、一部の第2分岐光導波路コア604およびこのコアに連続する一部のスラブ層601に、p+領域641aおよびn+領域641bからなるpn接合を形成し、光変調部を構成している。
また、p+領域631aに連続して電極とのオーミック接合を形成するためのp++領域632a、およびn+領域631bに連続して電極とのオーミック接合を形成するためのn++領域632bが、スラブ層601に形成されている。同様に、p+領域641aに連続して電極とのオーミック接合を形成するためのp++領域642a、およびn+領域641bに連続して電極とのオーミック接合を形成するためのn++領域642bが、スラブ層601に形成されている。
なお、図示していないが、各コアおよびスラブ層601の上には上部クラッド層が形成され、この上に、各電極が形成されている。各電極は、上部クラッド層を貫通し、p++領域632a,n++領域632b,p++領域642a,n++領域642bに、各々オーミック接続している。また、スラブ層601は、低濃度のp型(p-型)とされている。
この光変調器では、入力光導波路コア602による入力光導波路を導波してきた光信号が、合分波部606で分波され、第1分岐光導波路コア603による第1光導波路と、第2分岐光導波路コア604による第2光導波路とに分岐する。分岐した各光信号は、第1光導波路および第2光導波路の各々で位相が変化し、合分波部607で合波されて強度が変調されて出力光導波路コア605による出力光導波路に出力される。光位相変調の場合も同様である。
ここで、第1光導波路の光変調部および第2光導波路の光変調部の各々に、変調時に逆符号の信号を与えてプッシュプル動作とすることが重要となる。これにより、光周波数チャープが抑制できるようになる。このためには、第1光導波路の光変調部と、第2光導波路の光変調部とが、完全に絶縁分離されていることが重要となる。
ここで、上述した光変調器は、コアに対するキャリア注入を行うための各導電型領域を形成するために、コアに連続するスラブ層を備えるリブ型シリコン光導波路としている。このようなリブ型シリコン光導波路の特徴的なコアの形状は、よく知られたリソグラフィー技術によるマスクパターンの形成、マスクパターンを用いた選択エッチングによるシリコン層のパターニング、およびマスクパターンの除去と言った一連のプロセスを経て形成される。
様々な形状を形成するためには、上述した一連のプロセスを各形状の形成ごとに行うことになるため、複雑な形状を形成することは、製造プロセスの増大を招くことになり、結果としてコストの増大を招くことになる。このため、上述した光変調器の作製においては、コア部分の形状を形成した後、スラブ層はほぼ全域をこのまま残すことで、製造プロセスの短縮を図っている。
しかしながら、スラブ層はわずかに伝導性を持っており、例えば、上述した例では、第1光導波路の光変調部と、第2光導波路の光変調部との間で、干渉による性能劣化が確認されている。特に、GHzオーダーの高周波領域においては、容量結合によって上述した影響が大きくなると予想される。
この問題を解消するために、光変調部などの領域を囲う溝を形成する技術が提案されている(特許文献1参照)。この技術では、溝をコアの部分にも形成している。これは、スラブ層に限らず、各変調部はコアの部分においても電気的に結合しているため、コアを経由した電流の流れ込み(干渉)が発生するためである。コアにも溝を形成することで、コアを経由した干渉を抑制することができる。また、この技術では、コアに形成する溝の幅を1nm程度としておけば、光信号の伝搬損失を抑制した状態で、十分な絶縁状態が得られるとしている。
高 磊, 山田 浩治, 土澤 泰, 都築 健, 西 英隆, 渡辺 俊文, 篠島 弘幸,板橋 聖一, 美野 真司, 井藤 幹隆, 武藤 伸一郎、「高速光変調器用PN 接合型シリコン位相シフタ」、第72回応用物理学会学術講演会 講演予稿集、1a-ZN-6、05-063、2011年。
しかしながら、上述したようにコアに溝を形成する場合、溝に形成されるコアの端面部の反射や共振によって、原理的に光損失を避けることができず、波長特性劣化が発生しやすいという問題がある。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、リブ型の光導波路より構成した光変調部を備える光導波路構造において、光損失や波長特性劣化を生じさせることなく、電気的な干渉が抑制できるようにすることを目的とする。
本発明に係る光導波路構造は、下部クラッド層の上に形成され、半導体から構成されてスラブ層を有するコアと、コアの一部を挟んでスラブ層に形成されたp型半導体領域およびn型半導体領域を備える光変調部と、光変調部を囲ってコアおよびスラブ層に連続して帯状に形成された分離領域とを備え、分離領域は、内側に配置された第1導電型の内側部、および内側部に接して内側部の外側に配置された第2導電型の外側部を備える。
上記光導波路構造において、光変調部は、コアの内部で接合する第1p型半導体領域および第1n型半導体領域と、第1p型半導体領域に連続して形成された第1p型半導体領域より高濃度の第2p型領域と、第1n型半導体領域に連続して形成された第1n型半導体領域より高濃度の第2n型領域とを備えるようにしてもよい。
上記光導波路構造において、コアは、入力光導波路となる入力光導波路コアと、入力光導波路より分岐した第1光導波路となる第1分岐光導波路コア,第2光導波路となる第2分岐光導波路コアと、第1光導波路と第2光導波路が結合する出力光導波路となる出力光導波路コアを備え、入力光導波路コア,第1分岐光導波路コア,第2分岐光導波路コア,出力光導波路コアは、スラブ層を共通とし、第1分岐光導波路コアおよび第2分岐光導波路コアの各々に、光変調部が形成されているようにしてもよい。
以上説明したことにより、本発明によれば、リブ型の光導波路より構成した光変調部を備える光導波路構造において、光損失や波長特性劣化を生じさせることなく、電気的な干渉が抑制できるようになるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
[実施の形態1]
はじめに、本発明の実施の形態1について図1,図2を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1における光導波路構造の構成を示す断面図である。また、図2は、本発明の実施の形態1における光導波路構造の構成を示す平面図である。図1は、図2のAA’線における断面を示している。
はじめに、本発明の実施の形態1について図1,図2を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1における光導波路構造の構成を示す断面図である。また、図2は、本発明の実施の形態1における光導波路構造の構成を示す平面図である。図1は、図2のAA’線における断面を示している。
この光導波路構造は、まず、酸化シリコンからなる下部クラッド層102の上に形成され、シリコンから構成されてスラブ層103を有するコア104を備える。下部クラッド層102は、基板101の上に形成されている。例えば、SOI(Silicon on Insulator)基板のシリコン基部を基板101とし、埋め込み酸化膜を下部クラッド層102とし、表面シリコン層を加工することで、スラブ層103およびコア104とすればよい。スラブ層103を備えるコア104により、いわゆるリブ型の光導波路構造が構成される。なお、一般に市販されているSOI基板では、表面シリコン層がp-型とされている場合が多く、この場合、スラブ層103は、p-型となる。
また、この光導波路構造は、コア104の一部を挟んでスラブ層103に形成されたp型半導体領域105およびn型半導体領域106を備える光変調部111を備える。光変調部111においては、p型半導体領域105およびn型半導体領域106により、コア104に対してキャリア注入が可能となっている。この注入したキャリアによる光の屈折率や吸収率の変化を用いることで屈折率変化を誘起し、リブ型シリコン光導波路の光変調部111において、光強度や位相を高速に変調することができる。
加えて、実施の形態1における光導波路構造は、光変調部111を囲ってコア104およびスラブ層103に連続して帯状に形成された分離領域107を備える。分離領域107は、内側に配置されたp型(第1導電型)の内側部171、および内側部171に接して内側部171の外側に配置されたn型(第2導電型)の外側部172を備える。また、内側部171および外側部172(分離領域107)は、コア104にも形成されている。なお、コア104における分離領域107の導波方向の長さ(幅)は、自由キャリアによる光吸収を抑制するために十分に短くすることが好ましい。例えば、分離領域107におけるキャリア密度が1×1017〜1×1018[cm-3]の場合、上述した長さが100μm程度であれば、この部分における光吸収による損失はほぼ無視できる。
なお、図示していないが、スラブ層103およびコア104の上には、これらを覆う上部クラッド層が形成されている。上部クラッド層は、空気から構成することも可能であるが、p型半導体領域105およびn型半導体領域106に接続する電極構造を形成するために、酸化シリコンなどから構成した絶縁膜により上部クラッド層を形成した方がよい。
また、p型半導体領域105,n型半導体領域106,内側部171,および外側部172は、例えば、イオン注入法によりp型不純物,n型不純物を導入することで形成すればよい。なお、分離領域107(内側部171)は、p型半導体領域105およびn型半導体領域106に接して形成されていてもよく、ある程度離間して形成されていてもよい。
上述した実施の形態1における光導波路構造によれば、まず、光変調部111は、分離領域107により囲われた状態とされている。また、分離領域107は、動作時には逆バイアス状態となり、内側部171と外側部172とによる接合領域が空乏化し、キャリア密度が小さくなり絶縁状態となる。この結果、光変調部111は、分離領域107の周囲(外側)とは絶縁されるようになり、光変調部111に対する電気的な干渉が抑制できるようになる。また、コア104にも分離領域107は形成されるが、上述したように、コア104における導波方向の長さを100μmより短くしておけば、この部分における光吸収による損失はほぼ無視でき、光損失や波長特性劣化を生じさせることがない。
また、電圧の印加は、光変調部111の動作のために、p型半導体領域105およびn型半導体領域106に対して行えばよく、素子間干渉を防ぐために分離領域107に電圧印加領域を改めて付加する必要はない。
[実施の形態2]
次に、本発明の実施の形態2について、図3および図4を用いて説明する。図3は、本発明の実施の形態2における光導波路構造の構成を示す平面図である。また、図4は、本発明の実施の形態2における光導波路構造の構成を示す断面図である。図4は、図3のAA’線における断面を示している。
次に、本発明の実施の形態2について、図3および図4を用いて説明する。図3は、本発明の実施の形態2における光導波路構造の構成を示す平面図である。また、図4は、本発明の実施の形態2における光導波路構造の構成を示す断面図である。図4は、図3のAA’線における断面を示している。
この光導波路構造は、まず、酸化シリコンからなる下部クラッド層312の上に形成され、シリコンから構成されてスラブ層301を有する入力光導波路コア302,第1分岐光導波路コア303,第2分岐光導波路コア304,および出力光導波路コア305を備える。下部クラッド層312は、基板311の上に形成されている。
例えば、SOI基板のシリコン基部を基板311とし、埋め込み酸化膜を下部クラッド層312とし、表面シリコン層を加工することで、スラブ層301および各コアとすればよい。スラブ層301を備える各コアにより、いわゆるリブ型の光導波路構造が構成される。各コアは、断面形状が、幅400−600nm,高さ150−300nm程度である。また、スラブ層301は、層厚100−200nm程度である。また、各コア(光導波路)の導波路長さは数mm程度である。
また、この光導波路構造は、一部の第1分岐光導波路コア303および一部のスラブ層301に、p+領域(第1p型領域)331aおよびn+領域(第1n型領域)331bからなるpn接合を形成し、光変調部を構成している。また、一部の第2分岐光導波路コア304および一部のスラブ層301に、p+領域(第1p型領域)341aおよびn+領域(第1n型領域)341bからなるpn接合を形成し、光変調部を構成している。
各光変調部においては、p+領域とn+領域とからなるpn接合により、コアに対してキャリア注入が可能となっている。この注入したキャリアによる光の屈折率や吸収率の変化を用いることで屈折率変化を誘起し、リブ型シリコン光導波路の光変調部において、光強度や位相を高速に変調することができる。
また、p+領域331aに連続して電極とのオーミック接合を形成するためのp++領域(第2p型領域)332a、およびn+領域331bに連続して電極とのオーミック接合を形成するためのn++領域(第2n型領域)332bが、スラブ層301に形成されている。同様に、p+領域341aに連続して電極とのオーミック接合を形成するためのp++領域(第2p型領域)342a、およびn+領域341bに連続して電極とのオーミック接合を形成するためのn++領域(第2n型領域)342bが、スラブ層301に形成されている。
なお、図示していないが、各コアおよびスラブ層301の上には、例えば酸化シリコンからなる上部クラッド層が形成され、この上に、各電極,配線構造が形成されている。各電極は、Al,Cu,Auから構成すればよい。各電極は、上部クラッド層を貫通し、p++領域332a,n++領域332b,p++領域342a,n++領域342bに各々オーミック接続している。また、スラブ層301は、低濃度のp型(p-型)とされている。
ここで、実施の形態2では、入力光導波路コア302,第1分岐光導波路コア303,第2分岐光導波路コア304,出力光導波路コア305は、スラブ層301を共通としている状態である。このように、スラブ層301のほぼ全域を残して各コアに共通とすることで、前述したように、製造プロセスの短縮が図れる。
加えて、実施の形態2における光導波路構造は、第1分岐光導波路コア303,第2分岐光導波路コア304の各々は、各々の光変調部を囲ってコアの部分およびスラブ層301に連続して帯状に形成された分離領域307,分離領域308を備える。
分離領域307は、内側に配置されたp型の内側部333、および内側部333に接して内側部333の外側に配置されたn型の外側部334を備える。また、内側部333および外側部334(分離領域307)は、第1分岐光導波路コア303にも形成されている。
同様に、分離領域308は、内側に配置されたp型の内側部343、および内側部343に接して内側部343の外側に配置されたn型の外側部344を備える。また、内側部343および外側部344(分離領域308)は、第2分岐光導波路コア304にも形成されている。
各コアにおける各分離領域の導波方向の長さ(幅)は、自由キャリアによる光吸収を抑制するために十分に短くすることが好ましい。例えば、分離領域におけるキャリア密度が1×1017〜1×1018[cm-3]の場合、上述した長さが100μm程度であれば、この部分における光吸収による損失はほぼ無視できる。
また、p+領域331a,n+領域331b,p+領域341a,n+領域341b,p++領域332a,n++領域332b,p++領域342a,n++領域342b,内側部333,外側部334,内側部343,および外側部344は、例えば、イオン注入法によりp型不純物,n型不純物を導入することで形成すればよい。また、各導電型領域は、平面視で、幅10−100μm程度とし、数mmの長さにわたって形成されていればよい。また、各導電型領域の深さは、150−300nm程度に形成すればよい。
また、p+領域は、キャリア密度を約1017−1018cm-3とし、p++領域は、キャリア密度を約1020cm-3とし、n+領域は、キャリア密度を約1017−1018cm-3とし、n++領域は、キャリア密度を約1020cm-3とすればよい。なお、分離領域307,分離領域308(内側部333,内側部343)は、これより内側の各導電型の領域に接して形成されていてもよく、ある程度離間して形成されていてもよい。
例えば、まず、p型の内側部,p+領域,p++領域に、内側部に必要なキャリア濃度となるようにp型不純物をイオン注入する。次に、p+領域,p++領域に、p+領域に必要なキャリア濃度となるまで,p型不純物をイオン注入する。この後、p++領域に、p++領域に必要なキャリア濃度となるまで,p型不純物をイオン注入する。同様に、まず、n型の外側部,n+領域,n++領域に、外側部に必要なキャリア濃度となるようにn型不純物をイオン注入する。次に、n+領域,n++領域に、n+領域に必要なキャリア濃度となるまで,n型不純物をイオン注入する。この後、n++領域に、n++領域に必要なキャリア濃度となるまで,n型不純物をイオン注入する。
この光変調器は、極微小なシリコン光導波路を用いて構成したいわゆるマッハツェンダー干渉計型の構造を備える。この光変調器では、入力光導波路コア302による入力光導波路を導波してきた光信号が、合分波部313で分波され、第1分岐光導波路コア303による第1光導波路と、第2分岐光導波路コア304による第2光導波路とに分岐する。分岐した各光信号は、第1光導波路および第2光導波路の各々で位相が変化し、合分波部314で合波されて強度が変調されて出力光導波路コア305による出力光導波路に出力される。光位相変調の場合も同様である。
上述した実施の形態2における光導波路構造によれば、まず、各光変調部は、分離領域307,分離領域308により囲われた状態とされている。また、分離領域307は、動作時には逆バイアス状態となり、内側部371と外側部372とによる接合領域が空乏化し、キャリア密度が小さくなり絶縁状態となる。同様に、分離領域308は、動作時には逆バイアス状態となり、内側部381と外側部382とによる接合領域が空乏化し、キャリア密度が小さくなり絶縁状態となる。この結果、各光変調部は、分離領域307,分離領域308の周囲(外側)とは絶縁されるようになり、各光変調部の間における電気的な干渉が抑制できるようになる。
また、第1分岐光導波路コア303,第1分岐光導波路コア304にも分離領域307,分離領域308は形成されるが、上述したように、第1分岐光導波路コア303,第1分岐光導波路コア304における導波方向の長さを100μmより短くしておけば、この部分における光吸収による損失はほぼ無視でき、光損失や波長特性劣化を生じさせることがない。
以上に説明したように、本発明によれば、リブ型の光導波路より構成した光変調部を囲ってコアおよびスラブ層に連続して帯状に、第1導電型(例えばp型)の内側部と第2導電型(例えばn型)の外側部からなる分離領域を設けるようにしたので、光損失や波長特性劣化を生じさせることなく、電気的な干渉が抑制できるようになる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。例えば、図5の平面図に示すように、分離領域307の周囲のスラブ層301に、下部クラッド層に達する溝部335,溝部336を形成し、分離領域308の周囲のスラブ層301に、下部クラッド層に達する溝部345,溝部346を形成してもよい。この場合、溝部は、各コアには形成しない。これら溝部により、スラブ層301が、完全に絶縁分離されるようになる。
また、上述では、分離領域の内側をp型とし、外側をn型としたが、これに限るものではなく、内側に配置する変調器の構造に合わせ、内側をn型とし、外側をp型としてもよい。また、分離領域は、2重,3重に形成してもよい。また、上述では、主にシリコンからコアおよびスラブ層を構成する場合を例に説明したが、これに限るものではなく、他のIV族半導体からコアおよびスラブ層を構成してもよい。
101…基板、102…下部クラッド層、103…スラブ層、104…コア、105…p型半導体領域、106…n型半導体領域、107…分離領域、111…光変調部、171…内側部、172…外側部。
Claims (3)
- 下部クラッド層の上に形成され、半導体から構成されてスラブ層を有するコアと、
前記コアの一部を挟んで前記スラブ層に形成されたp型半導体領域およびn型半導体領域を備える光変調部と、
前記光変調部を囲って前記コアおよび前記スラブ層に連続して帯状に形成された分離領域と
を備え、
前記分離領域は、内側に配置された第1導電型の内側部、および前記内側部に接して前記内側部の外側に配置された第2導電型の外側部を備えることを特徴とする光導波路構造。 - 請求項1記載の光導波路構造において、
前記光変調部は、
前記コアの内部で接合する第1p型半導体領域および第1n型半導体領域と、
前記第1p型半導体領域に連続して形成された前記第1p型半導体領域より高濃度の第2p型領域と、
前記第1n型半導体領域に連続して形成された前記第1n型半導体領域より高濃度の第2n型領域と
を備えることを特徴とする光導波路構造。 - 請求項1または2記載の光導波路構造において、
前記コアは、入力光導波路となる入力光導波路コアと、前記入力光導波路より分岐した第1光導波路となる第1光導波路コア,第2光導波路となる第2光導波路コアと、前記第1光導波路と前記第2光導波路が結合する出力光導波路となる出力光導波路コアを備え、
前記入力光導波路コア,前記第1光導波路コア,前記第2光導波路コア,前記出力光導波路コアは、前記スラブ層を共通とし、
前記第1光導波路コアおよび前記第2光導波路コアの各々に、前記光変調部が形成されている
ことを特徴とする光導波路構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013046199A JP2014174306A (ja) | 2013-03-08 | 2013-03-08 | 光導波路構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013046199A JP2014174306A (ja) | 2013-03-08 | 2013-03-08 | 光導波路構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014174306A true JP2014174306A (ja) | 2014-09-22 |
Family
ID=51695582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013046199A Pending JP2014174306A (ja) | 2013-03-08 | 2013-03-08 | 光導波路構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014174306A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001189516A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Ricoh Co Ltd | 半導体レーザ装置および光ピックアップ |
JP2010520506A (ja) * | 2007-03-01 | 2010-06-10 | アルカテル−ルーセント ユーエスエー インコーポレーテッド | 高速の半導体光変調器 |
JP2010266766A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 集積光デバイス |
JP2012027199A (ja) * | 2010-07-22 | 2012-02-09 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその駆動方法 |
-
2013
- 2013-03-08 JP JP2013046199A patent/JP2014174306A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001189516A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Ricoh Co Ltd | 半導体レーザ装置および光ピックアップ |
JP2010520506A (ja) * | 2007-03-01 | 2010-06-10 | アルカテル−ルーセント ユーエスエー インコーポレーテッド | 高速の半導体光変調器 |
JP2010266766A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 集積光デバイス |
JP2012027199A (ja) * | 2010-07-22 | 2012-02-09 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその駆動方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9632335B2 (en) | Electro-optical modulator with a vertical capacitor structure | |
US10921517B2 (en) | Electro-optic waveguide device and optical module | |
US7085443B1 (en) | Doping profiles in PN diode optical modulators | |
US7116853B2 (en) | PN diode optical modulators fabricated in rib waveguides | |
US9612503B2 (en) | Hybrid MOS optical modulator | |
JP5321598B2 (ja) | 光変調器とその製造方法 | |
CN101384931B (zh) | 光波导 | |
US10078233B2 (en) | Optical waveguide resonators | |
US20120033910A1 (en) | High data-rate soi optical modulator | |
JP6622228B2 (ja) | 光変調器及びその製造方法 | |
US9195112B2 (en) | Electro-optic modulator | |
US8300990B2 (en) | Slotted optical waveguide with electro-optic material | |
US11054675B2 (en) | Optical modulator and method for manufacturing the same | |
US8676017B2 (en) | Light control element and optical waveguide circuit | |
JP2019008163A (ja) | 電界吸収型光変調器 | |
US9285651B2 (en) | Electro-optic silicon modulator with longitudinally nonuniform modulation | |
JP6992961B2 (ja) | 電気光学変調器 | |
JP2003177368A (ja) | 半導体光変調器、マッハツェンダ型光変調器、及び光変調器一体型半導体レーザ | |
US9891451B2 (en) | Rib-type waveguide silicon modulators and optical devices | |
US11275261B2 (en) | Optical modulator | |
JP2014174306A (ja) | 光導波路構造 | |
WO2022042229A1 (zh) | 一种行波电极调制器及光子集成芯片 | |
WO2014156480A1 (ja) | 光変調器 | |
CN114035348B (zh) | 微环调制器 | |
CN114217460A (zh) | 微盘调制器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150204 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151110 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160329 |