JP2014167485A - 透明基板における欠陥を定量化する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板、特に板ガラスの欠陥を検出して定量化する方法が開示される。この方法は、上面及び底面を有する平面状の透明基板を供給することを含む。供給された平面状の透明基板の上面の少なくとも一部の表面トポグラフィーが測定され、サブナノメートルレベルの精度を有する三次元上面プロファイルが取得される。この三次元上面プロファイル測定から、三次元上面プロファイルにおける、所定の許容範囲より大きい大きさを有する1つ以上の表面ばらつきの存在を識別及び/又は定量化できる。
【選択図】なし
Description
Claims (14)
- 平面状の透明基板における欠陥を定量化する方法であって、
上面及び底面を有する平面状の透明基板を供給する工程と、
サブナノメートルレベルの精度を有する三次元上面プロファイルを取得するために、前記平面状の透明な表面の前記上面の少なくとも一部の表面トポグラフィーを測定する工程と、
前記平面状の透明基板の前記上面における1つ以上の上面欠陥を定量化するために、前記三次元上面プロファイルにおける、所定の許容範囲より大きい大きさを有する1つ以上の欠陥を識別する工程と、
を備え、
1つ以上の欠陥を識別する前記工程の前に、まず、前記三次元上面プロファイルを横断する選択された距離に対する前記表面トポグラフィーの変化率に対応する、前記三次元上面プロファイルの第1の導関数および第2の導関数が計算され、該決定された第1および第2の導関数のプロファイルから、前記識別される1つ以上の欠陥の表面の高さ方向における位置の最大値、最小値、およびこれらの値の差から求められる前記欠陥の表面の前記高さ方向における位置に関する最大偏差である高さが決定され、その際、前記第1の導関数を計算するために、前記表面トポグラフィーの測定から得られたプロファイルデータに第1の導関数の移動窓が適用され、前記第2の導関数を計算するために、前記第1の導関数の計算から得られたプロファイルデータに第2の導関数の移動窓が適用されることを特徴とする方法。 - 前記基板の前記上面の前記表面トポグラフィーが、光干渉法によって測定されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記1つ以上の識別された欠陥が、ムラ欠陥を含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記ムラ欠陥が、ストリーク及び/又は表面不連続性を含むことを特徴とする請求項3記載の方法。
- 前記識別されたムラ欠陥が、前記基板中のシリカ及び/又は白金の内包物を含む表面不連続性欠陥であることを特徴とする請求項4記載の方法。
- 前記識別されたムラ欠陥がストリーク状欠陥であり、長さ方向に延びる面の突出及び/又は窪みを含むことを特徴とする請求項4記載の方法。
- 5nmより大きい大きさを有する1つ以上の表面欠陥を識別可能であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 5nm〜100nmの範囲の大きさを有する1つ以上の表面欠陥を識別可能であることを特徴とする請求項7記載の方法。
- 前記基板の前記上面の前記1つ以上の欠陥の識別が、前記基板の前記底面による影響を受けずに行われることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第1の導関数の移動窓の幅が4mmであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第2の導関数の山および谷の変曲点の大きさは、前記識別された1つ以上の欠陥が表面の窪みであるかまたは突出であるかの決定に用いられることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第1の導関数の山および谷の変曲点の大きさは、前記識別された1つ以上の欠陥が表面の窪みであるかまたは突出であるかの決定に用いられることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第1の導関数の山および谷の変曲点は、前記識別された1つ以上の欠陥の最大偏差位置の決定に用いられることを特徴とする請求項1記載の方法。
- さらに、前記プロファイルデータに前記第1の導関数の移動窓を適用する前に、前記プロファイルデータに最小二乗回帰モデルを適用して前記プロファイルデータを水平化することを特徴とする請求項1記載の方法。
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