KR101027289B1 - 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템 및 검출방법 - Google Patents

시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템 및 검출방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템 및 검출방법에 관한 것으로, 특히 제철소의 생산공정에서 고속으로 주행하는 제품의 표면결함을 검출하는 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템은, 시간 변조된 면적형의 광을 주행하고 있는 측정대상물체의 표면에 조사하는 면적형 광원부; 시간 변조된 선형의 광을 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 선형 광원부; 일정한 동작시간의 비율을 갖는 영상모드와 형상모드로 동작하고, 영상모드에서는 상기 시간 변조된 면적형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 면적형의 광의 전체 영상정보를 추출하고, 형상모드에서는 상기 시간 변조된 선형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 선형의 광의 전체 영상 중에서 상기 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 추출하는 면적형 수광부; 및 상기 추출된 면적형의 광의 전체 영상정보와, 상기 추출된 선형의 광의 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 얻어 상기 측정대상물체의 표면결함을 검출하는 데이터 처리장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
시간분할, 표면결함, 영상모드, 형상모드, 시간변조

Description

시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템 및 검출방법{System and method for optically detecting surface defect using time division multplexing mode}
본 발명은 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템 및 검출방법에 관한 것으로, 특히 제철소의 생산공정에서 고속으로 주행하는 제품의 표면결함을 검출하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.
철강제조공정에서 생산되는 철강 반제품 및 완제품의 표면상태는, 제품의 품질에 직접적인 영향을 미치는 중요한 성질이다. 그러나, 기존의 조업자 육안관찰에 의한 방식은 고속라인에서 생산되는 제품의 표면품질을 엄격히 보증하기 위해서는 한계를 가지고 있다. 따라서, 현재 자동화된 결함검출장치가 점점 보편화되고 있고, 광학식, 초음파식, 자기식 등의 표면검사장비가 사용되고 있다. 이 중에서 비접촉식이면서도 고정확도, 고속도로 결함을 검출할 수 있는 광학식의 표면검사장비가 널리 보급되고 있고, 그 기술 또한 급속도로 발전하고 있는 추세이다.
한편, 광학식의 표면검사장비는 철강산업뿐만 아니라, 반도체, LCD, 제지 등의 산업에도 이용되고 있다. 고화질의 영상을 초당 100회 정도의 속도로 획득할 수 있기 때문에, 이 방식은 초당 수 미터의 속도로 이송되는 제품표면의 결함 이미지를 비교적 용이하게 검출할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 면적형 광원과 면적형 수광소자를 이용한 표면결함 검출장치의 개략도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 면적형 광원(10)에서 측정대상물체(20)의 표면으로 광이 조사되고, 이 광의 반사광이나 산란광을 면적형 수광소자(30)로 수광하여 표면의 영상을 취득한다. 그리고, 표면의 영상정보로부터 광의 영상분포를 분석하여 결함을 검출한다. 이때, 표면결함의 등급판정을 위해서는 결함의 높이/깊이 정보를 담고 있는 3차원 형상정보를 얻는 것이 필수적이다. 그러나, 기존 방식에서는 측정된 표면의 영상분포에서 높이/깊이 정보를 포함하는 결함의 3차원 정보를 간접적으로 추정할 수 있지만 정확한 수치산출은 어려운 실정이다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 US1997-950854에서는 복수의 서로 다른 색깔을 갖는 광원과 3색의 수광소자를 이용하는 방법이 제시되었다. 복수의 서로 다른 색깔을 갖는 광원을 서로 다른 각도에 배치하고, 수광소자에서는 색깔별로 구분하여 복수의 영상을 취득한다. 복수의 영상은 서로 다른 각도에서 취득되었으므로, 복수의 영상에서 나타나는 영상분포의 유사함과 상이함의 정도에서 결함의 3차원 정보를 추출할 수 있다.
그러나, 이러한 방법은 장치가 복잡해지고, 3차원 정보를 얻기 위해서 2종류의 서로 다른 영상을 정확하게 정합시켜야 하며, 결함의 3차원 정보를 추출하기 위 한 방대한 데이터 처리가 요구된다. 또한, 3색의 광원에서 감도가 저하되고, 색깔별 영상 추출시에 노이즈가 발생하는 등의 단점이 있다.
한편, 기존의 물체표면의 3차원 형상을 측정하는 광학적 방식으로는 도 2와 같은 광삼각법이 있다.
도 2는 종래의 선형 광원과 면적형 수광소자를 이용한 표면결함 검출장치의 개략도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 매우 좁은 폭을 갖는 선형 광원(40)을 측정대상물체(20)의 표면에 조사하면 표면의 3차원 형상에 따라 선형광의 굴곡이 나타난다. 이러한 굴곡이 있는 선형광을 면적형 수광소자(30)로 수광하여 선의 굴곡정보를 추출하면 측정대상물체(20)의 표면 형상을 알 수 있게 된다.
이러한 방식을 사용하면 물체의 표면에 존재하는 결함의 3차원 정보를 정확한 수치로 알 수 있는 장점을 갖는다.
그러나, 초 당 수미터 이상의 속도로 움직이는 물체에서 작은 크기를 갖는 결함의 3차원 정보를 정밀하게 얻기 위해서는, 초당 수 만회 이상 고속으로 라인정보를 취득하고, 실시간으로 처리할 수 있는 수광소자가 먼저 개발되어야 한다는 기술적 어려움 때문에 현재까지 결함의 3차원 정보를 취득하는 용도로는 적용되지 않았다.
최근에는, 고속의 수광소자가 개발되고 상용화되었기 때문에, 광삼각법을 이용하여 결함의 3차원 정보를 얻을 수 있는 기술적 토대가 마련되었다.
그러나, 이러한 광삼각법은 결함의 형상정보만을 얻을 수 있을 뿐, 결함의 영상분포에 대한 정보를 얻을 수 없기 때문에, 착색성 결함을 검출할 수 없는 등의 또 다른 단점을 갖는다. 한편, 물체의 표면 거칠기 등에 의한 영상의 질감변화나 표면상태의 변화에 따른 반사율 변화 등도 파악하기 힘들고, 표면에 다른 재질의 이물질이 붙어있는지 아니면 물체 자체의 표면형상이 변한 것인지의 여부 등도 정확히 판단할 수 없기 때문에 결함의 검출 및 분류를 위해서는 많은 제한이 따른다.
결론적으로, 광삼각법은 표면의 3차원 형상을 정밀하게 측정하여 결함의 3차원 정보만을 제공하는 것에 의의가 있다.
따라서, 상술한 기술들이 갖는 단점을 극복하기 위해 JP338411에서는 2단계로 물체의 표면을 검사하는 방식을 사용한다. 즉, 제1 광원과 제1 수광소자를 이용하여 표면의 3차원 형상을 측정하고, 제2 광원과 제2 수광소자를 이용하여 표면의 영상분포를 측정한다. 이렇게 하면, 상술한 2가지 기술을 동시에 적용할 수 있기 때문에 기존의 2가지 기술의 단점을 제거할 수 있다.
그러나, 이 경우에 광원과 수광소자들을 이중으로 사용하게 되어 전체의 결함검출 장치가 복잡하게 되므로, 시스템의 구성, 유지, 보수, 관리가 곤란해지고, 장치의 부피가 커지므로 현장에 설치하는 것이 용이하지 않게 될 뿐만 아니라, 장치의 가격이 상승하는 등의 어려움이 생기게 된다. 그러므로, 결함형상의 3차원 정보를 얻기 위해 광삼각법을 이용한 장치를 추가로 구성하여 2단계로 표면결함 검출장치를 설계하는 방식보다는 더욱 단순하게 구성되면서도 결함형상의 3차원 정보도 아울러 얻을 수 있는 타입의 표면결함 검출장치가 요구되고 있는 실정이다.
본 발명은 제철소의 생산공정에서 고속으로 주행하는 제품의 표면결함을 검출하는 경우에, 시간분할 다중화방식을 이용하여 표면결함의 영상정보와 형상정보를 하나의 수광소자에서 취득하여 구별할 수 있게 하는 시스템 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면은, 시간 변조된 면적형의 광을 주행하고 있는 측정대상물체의 표면에 조사하는 면적형 광원부; 시간 변조된 선형의 광을 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 선형 광원부; 일정한 동작시간의 비율을 갖는 영상모드와 형상모드로 동작하고, 영상모드에서는 상기 시간 변조된 면적형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 면적형의 광의 전체 영상정보를 추출하고, 형상모드에서는 상기 시간 변조된 선형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 선형의 광의 전체 영상 중에서 상기 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 추출하는 면적형 수광부; 및 상기 추출된 면적형의 광의 전체 영상정보와, 상기 추출된 선형의 광의 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 얻어 상기 측정대상물체의 표면결함을 검출하는 데이터 처리장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 데이터 처리장치는 상기 측정대상물체의 결 함이 나타내는 3차원 형상정보를 얻는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템을 제공한다.
본 발명의 다른 실시예에서, 상기 면적형 광원부는 면적형 광원과, 상기 면적형 광원으로부터 조사되는 면적형의 광을 시간 변조하여 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 능동형 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템을 제공한다.
본 발명의 또 다른 실시예에서, 상기 선형 광원부는 선형 광원과, 상기 선형 광원으로부터 조사되는 선형의 광을 시간 변조하여 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 능동형 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템을 제공한다.
본 발명의 또 다른 실시예에서, 상기 영상모드와 형상모드의 시간비는 상기 면적형 수광부에 내장된 면적형 감광소자를 구성하고 있는 감광셀의 줄의 수와, 상기 영상정보 및 형상정보의 분해능에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템을 제공한다.
본 발명의 다른 측면은, 시간 변조된 면적형의 광을 주행하고 있는 측정대상물체의 표면에 조사하는 단계; 시간 변조된 선형의 광을 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 단계; 영상모드에서 상기 시간 변조된 면적형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 면적형의 광의 전체 영상정보를 추출하는 단계; 상기 영상모드와 일정한 동작시간의 비율로 동작하는 형상 모드에서, 상기 시간 변조된 선형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 선형의 광의 전체 영상 중에서 상기 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 추출하는 단계; 및 상기 추출된 면적형의 광의 전체 영상정보와, 상기 추출된 선형의 광의 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 얻어 상기 측정대상물체의 표면결함을 검출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 측정대상물체의 결함이 나타내는 3차원 형상정보를 얻는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 제철소의 생산공정에서 고속으로 주행하는 제품의 표면결함을 검출하는 경우에, 시간분할 다중화 방식을 이용하여 표면결함의 영상정보와 형상정보를 하나의 수광소자에서 취득하여 구별할 수 있게 함으로써, 표면결함 검출장치가 보다 단순화되고, 설치, 유지, 보수, 관리가 용이해진다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 3은 본 발명의 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템의 개략도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템은, 면적형 광원부(100), 선형 광원부(200), 면적형 수광부(300) 및 데이터 처리장치(400)를 포함한다.
면적형 광원부(100)는 시간 변조된 면적형의 광을 주행하고 있는 측정대상물체(20)의 표면에 조사한다. 면적형 광원부(100)는 면적형 광원과, 면적형 광원으로부터 조사되는 면적형의 광을 시간 변조하여 측정대상물체(20)의 표면에 조사하는 능동형 필터를 포함할 수 있다.
선형 광원부(200)는 시간 변조된 선형의 광을 측정대상물체(20)의 표면에 조사한다. 선형 광원부(200)는 선형 광원과, 선형 광원으로부터 조사되는 선형의 광을 시간 변조하여 측정대상물체(20)의 표면에 조사하는 능동형 필터를 포함할 수 있다. 즉, 능동형 필터는 면적형 수광부(300)가 형상모드 또는 영상모드로 있게 되는 시간을 변조하는 역할을 한다.
면적형 광원부(100) 및 선형 광원부(200)는 임의의 각도로 배치될 수 있기 때문에, 각도 배치상의 제약이 따르지 않는다.
면적형 수광부(300)는 일정한 동작시간의 비율을 갖는 영상모드와 형상모드로 동작한다. 즉, 본 발명에서 언급하는 시간분할 다중화 방식이라 함은, 이와 같이 영상모드와 형상모드의 비율을 조절하는 것을 의미한다. 영상모드에서 면적형 수광부(300)는 시간 변조된 면적형의 광이 측정대상물체(20)의 표면에서 반사되거 나 산란되어 생긴 광을 받아 면적형의 광의 전체 영상정보를 추출한다. 그리고, 형상모드에서 면적형 수광부(300)는 시간 변조된 선형의 광이 측정대상물체(20)의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 선형의 광의 전체 영상 중에서 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 추출한다. 그리고, 면적형 수광부(300)의 동작시에, 영상모드와 형상모드의 시간비는 면적형 수광부(300)에 내장된 면적형 감광소자를 구성하고 있는 감광셀의 줄의 수와, 영상정보와 형상정보의 분해능에 따라 결정된다.
데이터 처리장치(400)는 추출된 면적형의 광의 전체 영상정보와, 추출된 선형의 광의 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 얻어 측정대상물체(20)의 표면결함을 검출한다. 그리고, 데이터 처리장치(400)는 측정대상물체(20)의 결함을 분류하고, 측정대상물체(20)의 결함이 나타내는 3차원 형상정보를 얻는다.
시간분할 다중화 방식에서 영상모드와 형상모드에는 시간이 할당된다. 통상 영상모드에서는 수광된 전체 면적에서 반사 또는 산란된 광을 모두 받으므로 형상 모드에서 형상정보를 취득할 때와 같이 고속으로 촬영될 필요는 없다. 즉, 면적형 수광부(300)의 면적형 감광부가 세로로 500줄의 감광셀을 가지고 있고, 한 줄당 분해능이 0.5mm라고 하면, 한 번 영상정보 취득시 길이 250mm에 해당하는 면적을 조사할 수 있게 된다.
한편, 강판이 0.5mm 이송될 때마다 수광소자가 한 번 촬영된다고 하면 500번 면적형 수광부(300)가 촬영될 때 영상정보는 한 번 필요하게 된다. 반면에, 표면의 형상정보를 취득하는 경우에는 수광된 전체 면적에서 선형의 광의 굴곡정보만을 추출하며, 면적형 수광부(300)의 촬영속도가 그대로 형상정보의 분해능이 된다. 만약, 0.5mm의 형상 분해능을 원한다면, 면적형 수광부(300)가 매 번 촬영할 때마다 형상정보를 한 번 취득해야 한다.
따라서, 영상정보와 형상정보의 취득속도의 비는 500:1이 된다. 따라서, 면적형 수광부(300)는 500번에 한 번씩 형상모드에서 영상모드로 전환되며, 이때 형상정보는 취득되지 않으므로 이 기간에 형상 분해능은 일시적으로 0.5mm에서 1mm 로 저하된다.
형상모드와 영상모드의 시간비는 면적형 감광부의 감광셀의 줄의 수와 측정하고자하는 영상정보 및 형상정보의 분해능 등에 의존하지만, 통상 100:1 이상의 높은 비율을 나타낸다.
도 4는 본 발명의 선형의 광과 면적형의 광의 시간 변조 그래프이다. 도 4를 도 3과 함께 살펴보면, 도 4는 선형의 광과 면적형의 광에 대하여 시간(t)에 따른 광의 세기를 같은 시간축 상에 나타내는데, 시간 변조라 함은 면적형 수광부(300)가 형상모드(a) 또는 영상모드(b)로 있게 되는 시간의 변조를 말한다.
대부분의 시간 동안 면적형 수광부(300)는 형상모드(a)에 있게 되고, 형상정보 추출을 위해 선형 광원부(200)가 동작될 수 있도록 시간 변조가 이루어진다. 그리고, 영상정보 추출을 위해 면적형 광원부(100)가 동작될 수 있도록 극히 일부의 시간 동안 면적형 수광부(300)가 영상모드(b)에 있게 된다.
선형의 광은 형상모드(a)에 있는 동안 일정 크기의 광의 세기(A)를 갖고, 영상모드(b)에 있는 동안 광의 세기가 0이 된다. 그리고, 면적형의 광은 형상모드(a)에 있는 동안 광의 세기가 0이고, 영상모드(b)에 있는 동안 일정 크기의 광의 세기(B)를 갖는다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 아니한다. 첨부된 청구범위에 의해 권리범위를 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
도 1은 종래의 면적형 광원과 면적형 수광소자를 이용한 표면결함 검출장치의 개략도이다.
도 2는 종래의 선형 광원과 면적형 수광소자를 이용한 표면결함 검출장치의 개략도이다.
도 3은 본 발명의 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 선형의 광과 면적형의 광의 시간 변조 그래프이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
20 : 측정대상물체 100 : 면적형 광원부 200 : 선형 광원부 300 : 면적형 수광부 400 : 데이터 처리장치

Claims (7)

  1. 시간 변조되어, 기 설정된 시간동안 기 설정된 광의 세기로 면적형의 광을 주행하고 있는 측정대상물체의 표면에 조사하는 면적형 광원부;
    시간 변조되어, 상기 면적형 광원부와 대응하도록 기 설정된 시간동안 기 설정된 광의 세기로 선형의 광을 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 선형 광원부;
    일정한 동작시간의 비율에 따라 선택적으로 영상모드 또는 형상모드로 동작하고, 영상모드에서는 상기 시간 변조된 면적형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 면적형의 광의 전체 영상정보를 추출하고, 형상모드에서는 상기 시간 변조된 선형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 선형의 광의 전체 영상 중에서 상기 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 추출하는 면적형 수광부; 및
    상기 추출된 면적형의 광의 전체 영상정보와, 상기 추출된 선형의 광의 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 얻어 상기 측정대상물체의 표면결함을 검출하는 데이터 처리장치;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 데이터 처리장치는 상기 측정대상물체의 결함이 나타내는 3차원 형상정 보를 얻는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 면적형 광원부는 면적형 광원과, 상기 면적형 광원으로부터 조사되는 면적형의 광을 시간 변조하여 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 능동형 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 선형 광원부는 선형 광원과, 상기 선형 광원으로부터 조사되는 선형의 광을 시간 변조하여 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 능동형 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 영상모드와 형상모드의 시간비는 상기 면적형 수광부에 내장된 면적형 감광소자를 구성하고 있는 감광셀의 줄의 수와, 상기 영상정보 및 형상정보의 분해능에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출시스템.
  6. 시간 변조된 면적형의 광을 기 설정된 시간동안 기 설정된 광의 세기로 측정대상물체의 표면에 조사하는 단계;
    시간 변조된 선형의 광을 상기 면적형의 광을 조사하는 시간과 세기에 대응하도록 기 설정된 시간동안 기 설정된 광의 세기로 상기 측정대상물체의 표면에 조사하는 단계;
    영상모드에서 상기 시간 변조된 면적형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 면적형의 광의 전체 영상정보를 추출하는 단계;
    상기 영상모드와 일정한 동작시간의 비율에 따라 선택적으로 동작하는 형상모드에서, 상기 시간 변조된 선형의 광이 상기 측정대상물체의 표면에서 반사되거나 산란되어 생긴 광을 받아 상기 선형의 광의 전체 영상 중에서 상기 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 추출하는 단계; 및
    상기 추출된 면적형의 광의 전체 영상정보와, 상기 추출된 선형의 광의 전체 영상이 나타내는 라인의 형상정보를 얻어 상기 측정대상물체의 표면결함을 검출하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 측정대상물체의 결함이 나타내는 3차원 형상정보를 얻는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 시간분할 다중화 방식을 이용한 광학식 표면결함 검출방법.
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JP2001007276A (ja) 1999-06-24 2001-01-12 Sumitomo Metal Mining Co Ltd リードフレーム形状の計測装置とこの装置を用いたリードフレーム形状の計測方法
JP2001056297A (ja) * 1999-08-17 2001-02-27 Electro Techno Kk 表面検査方法及び装置

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