JP2014165362A - Printed wiring board - Google Patents
Printed wiring board Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014165362A JP2014165362A JP2013035689A JP2013035689A JP2014165362A JP 2014165362 A JP2014165362 A JP 2014165362A JP 2013035689 A JP2013035689 A JP 2013035689A JP 2013035689 A JP2013035689 A JP 2013035689A JP 2014165362 A JP2014165362 A JP 2014165362A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed wiring
- wiring board
- layer
- conductor
- electric circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
Description
本発明は、第1のプリント配線板と第2のプリント配線板とからなるプリント配線板に関し、第1のプリント配線板の電気回路と第2のプリント配線板の電気回路でヘリカルコイルが形成されている。 The present invention relates to a printed wiring board including a first printed wiring board and a second printed wiring board, and a helical coil is formed by the electric circuit of the first printed wiring board and the electric circuit of the second printed wiring board. ing.
電圧調整用のVRMをICチップを実装しているプリント配線板上に形成することが電源ラインの短縮化のために求められている。一般にVRMとICチップとの間にデカップリング用のインダクタが設けられる。特許文献1はインダクタを内蔵するプリント配線板を開示している。特許文献1では、インダクタを金属板から製造することを開示している。そして、特許文献1では、そのインダクタが基板に接着され、特許文献1の図6に示されているように、インダクタ内蔵基板が製造されている。また、特許文献1は、プレス加工によりインダクタを製造することで、インダクタの厚みを厚くすることができると述べている。 Forming a voltage adjustment VRM on a printed wiring board on which an IC chip is mounted is required for shortening the power supply line. Generally, an inductor for decoupling is provided between the VRM and the IC chip. Patent document 1 is disclosing the printed wiring board which incorporates an inductor. Patent Document 1 discloses manufacturing an inductor from a metal plate. And in patent document 1, the inductor is adhere | attached on a board | substrate, and as FIG. 6 of patent document 1 shows, the board | substrate with a built-in inductor is manufactured. Patent Document 1 states that the thickness of the inductor can be increased by manufacturing the inductor by press working.
特許文献1では、基板上に厚いインダクタが接着されるので、インダクタを内蔵するための層間絶縁層が厚くなると考えられる。そのため、インダクタ内蔵基板の厚みが厚くなると推察される。
インダクタの厚みが厚いので、インダクタを内蔵するための層間絶縁層の厚みはそれ以外の層間絶縁層の厚みより厚いと考えられる。そのため、インダクタ内蔵基板に反りが発生すると考えられる。
特許文献1の図11に示されるように、特許文献1のインダクタ内蔵基板は、インダクタを内蔵するための層間絶縁層やそれ以外の層間絶縁層にビア導体を有している。インダクタを内蔵するための層間絶縁層の厚みはそれ以外の層間絶縁層の厚みより厚いと考えられるので、インダクタを内蔵するための層間絶縁層に形成されるビア導体用の開口が深くなると考えられる。そのため、接続信頼性が低下すると考えられる。
また、インダクタ部品が基板に接着されるので、配線の設計の自由度が低下すると予想される。
特許文献1は、インダクタを基板に接着している。そのため、特許文献1の方法では、インダクタを積層することは難しいと考えられる。従って、特許文献1では、高いインダクタンスを得ることが難しいと考えられる。
In Patent Document 1, since a thick inductor is bonded on a substrate, it is considered that an interlayer insulating layer for incorporating the inductor becomes thick. Therefore, it is assumed that the thickness of the substrate with built-in inductor is increased.
Since the inductor is thick, the thickness of the interlayer insulating layer for incorporating the inductor is considered to be thicker than the thickness of the other interlayer insulating layers. Therefore, it is considered that warpage occurs in the inductor built-in substrate.
As shown in FIG. 11 of Patent Literature 1, the inductor-embedded substrate of Patent Literature 1 has via conductors in an interlayer insulating layer for incorporating the inductor and other interlayer insulating layers. Since the thickness of the interlayer insulating layer for incorporating the inductor is considered to be thicker than the thickness of the other interlayer insulating layers, it is considered that the opening for the via conductor formed in the interlayer insulating layer for incorporating the inductor becomes deep. . Therefore, it is considered that connection reliability is lowered.
In addition, since the inductor component is bonded to the substrate, the degree of freedom in wiring design is expected to decrease.
In Patent Document 1, an inductor is bonded to a substrate. Therefore, with the method of Patent Document 1, it is considered difficult to stack inductors. Therefore, in Patent Document 1, it is considered difficult to obtain a high inductance.
本発明の目的は、高いインダクタンスやQ値を有するインダクタを内蔵しているプリント配線板を提供することである。別の目的はインダクタを内蔵しているプリント配線板の反り量を小さくすることである。 An object of the present invention is to provide a printed wiring board having a built-in inductor having high inductance and Q value. Another object is to reduce the amount of warping of the printed wiring board containing the inductor.
本発明に係るプリント配線板は、第1の電気回路を有する第1のプリント配線板と、第2の電気回路を有する第2のプリント配線板と、前記第1のプリント配線板と前記第2のプリント配線板の間に位置していて、前記第1の電気回路と前記第2の電気回路を接続している複数の接続部材とを有する。そして、前記第1の電気回路と前記接続部材と前記第2の電気回路でヘリカルコイルが形成されている。 The printed wiring board according to the present invention includes a first printed wiring board having a first electric circuit, a second printed wiring board having a second electric circuit, the first printed wiring board, and the second printed circuit board. And a plurality of connecting members connecting the first electric circuit and the second electric circuit. A helical coil is formed by the first electric circuit, the connection member, and the second electric circuit.
[第1実施形態]
図6は、第1実施形態のプリント配線板100の断面図である。
プリント配線板100は、ICチップ90を実装するプリント配線板(第1のプリント配線板)10と、そのプリント配線板10を搭載するマザーボード(第2のプリント配線板)210とから成る。
[First embodiment]
FIG. 6 is a cross-sectional view of the printed
The printed
第1実施形態の第1のプリント配線板10が図5に示されている。第1のプリント配線板は、コア基板30を有する。そのコア基板は第1面Fとその第1面と反対側の第2面Sとを有する絶縁基板20zと絶縁基板の第1面F上に形成されている第1導体層34Fと絶縁基板の第2面上に形成されている第2導体層34Sと第1導体層と第2導体層を接続しているスルーホール導体36を有する。第1導体層34Fはスルーホール導体のランド36FRを含み、第2導体層34Sはスルーホール導体のランド36SRを含む。スルーホール導体のランドはスルーホール導体用の貫通孔28を覆う導体とスルーホール導体の周りの導体で形成されている。コア基板の第1面と絶縁基板の第1面は同じ面であり、コア基板の第2面と絶縁基板の第2面は同じ面である。
The first printed
コア基板30の第1面F上に層間樹脂絶縁層(最上の層間樹脂絶縁層)50Fが形成されている。この層間樹脂絶縁層50F上に導体層(最上の導体層)58Fが形成されている。最上の導体層58Fと第1導体層34Fやスルーホール導体は、最上の層間樹脂絶縁層50Fを貫通するビア導体(最上のビア導体)60Fで接続されている。層間樹脂絶縁層50Fと導体層58Fとビア導体60Fで上側のビルドアップ層55Fが形成されている。第1実施形態では、上側のビルドアップ層は1層である。
An interlayer resin insulation layer (uppermost interlayer resin insulation layer) 50F is formed on first surface F of
コア基板30の第2面S上に層間樹脂絶縁層(最下の層間樹脂絶縁層)50Sが形成されている。この層間樹脂絶縁層50S上に導体層(最下の導体層)58Sが形成されている。最下の導体層58Sと第2導体層34Sやスルーホール導体は、最下の層間樹脂絶縁層50Sを貫通するビア導体(最下のビア導体)60Sで接続されている。層間樹脂絶縁層50Sと導体層58Sとビア導体60Sで下側のビルドアップ層55Sが形成されている。第1実施形態では、下側のビルドアップ層は1層である。
An interlayer resin insulation layer (lowermost interlayer resin insulation layer) 50S is formed on the second surface S of the
上側のビルドアップ層上に上側のソルダーレジスト層70Fが形成され、下側のビルドアップ層上に下側のソルダーレジスト層70Sが形成されている。ソルダーレジスト層70Fは、導体層58Fやビア導体60Fの上面を露出する開口71Fを有する。開口71Fから露出している導体層58Fやビア導体60Fはパッドである。特に、最上の導体層に形成されているパッドはC4パッドとして機能する。ソルダーレジスト層70Sは、導体層58Sやビア導体60Sの上面を露出する開口71Sを有する。開口71Sから露出している導体層58Sやビア導体60Sはパッドである。最下の導体層に形成されているパッドはBGAパッドとして機能する。
An upper
第1のプリント配線板はインダクタを構成する第1の電気回路を有する。その例が図7(A)に示されている。図7(A)は、第1のプリント配線板10の最下の導体層の一部と最下の層間樹脂絶縁層の一部を示す平面図である。図7(A)に示されている第1の電気回路は最下の導体層58Sの一部であって、最下の導体層は第1の電気回路を含む。第1の電気回路は第1のプリント配線板内のインダクタを構成するパッド58SRとそのパッド間に形成されている配線(第1のプリント配線板内のインダクタを構成する配線)58SLを有する。
The first printed wiring board has a first electric circuit constituting an inductor. An example of this is shown in FIG. FIG. 7A is a plan view showing a part of the lowermost conductor layer and a part of the lowermost interlayer resin insulation layer of the first printed
別の例が、図12(A)に示されている。この例では、第1の電気回路は接続部材と接続しているパッド58SR(パッド58SRは最下の導体層に含まれている)と第2導体層に含まれるパッド34SPとパッド58SRとパッド34SPを接続しているビア導体60SL(ビア導体60SLは最下のビア導体に含まれる)とパッド34SPとパッド34SP間の配線34SL(配線34SLは第2導体層に含まれる)で形成される。
第1の電気回路は、C4パッドの直下に存在している。つまり、ソレノイドコイル直上にICチップが搭載される。図12(A)に示されているX1とX1との間の断面が図12(C)に示される。
Another example is shown in FIG. In this example, the first electric circuit includes a pad 58SR connected to the connection member (the pad 58SR is included in the lowermost conductor layer), a pad 34SP, a pad 58SR, and a pad 34SP included in the second conductor layer. Are formed by a via conductor 60SL (the via conductor 60SL is included in the lowermost via conductor) and a wiring 34SL between the pad 34SP and the pad 34SP (the wiring 34SL is included in the second conductor layer).
The first electric circuit exists immediately below the C4 pad. That is, an IC chip is mounted immediately above the solenoid coil. A cross section between X1 and X1 shown in FIG. 12A is shown in FIG.
C4パッド上に半田バンプ(C4バンプ)76Fが形成されている。BGAパッド上に半田バンプ(BGAバンプ)76Sが形成されている。C4バンプを介して第1のプリント配線板上にICチップが搭載される。 A solder bump (C4 bump) 76F is formed on the C4 pad. Solder bumps (BGA bumps) 76S are formed on the BGA pads. An IC chip is mounted on the first printed wiring board via the C4 bump.
第1実施形態のマザーボード210は、交互に積層されている複数の導体層と複数の層間絶縁層と層間絶縁層を貫通し隣接する導体層を接続している複数の層間接続用の導体で形成されている。図6に示されているマザーボードは、4層の導体層158A、158B、158C、158Dと3層の層間絶縁層150A、150、150Cを有する。導体層158Aは最上の導体層であり、第1のプリント配線板に最も近く、第1のプリント配線板の下側のソルダーレジスト層と対向している。導体層158Dは最下の導体層であり、第1のプリント配線板から最も遠い。そして、導体層と層間絶縁層は、導体層158D、層間絶縁層150C、導体層158C、層間絶縁層150B、導体層158B、層間絶縁層150A、導体層158Aの順に積層されている。図6のマザーボードは、さらに、層間絶縁層150Aを貫通し導体層158Aと導体層158Bを接続している層間接続用の導体(ビア導体)160Aと層間絶縁層150Bを貫通し導体層158Bと導体層158Cを接続している層間接続用の導体(ビア導体)160Bと層間絶縁層150Cを貫通し導体層158Cと導体層158Dを接続している層間接続用の導体(ビア導体)160Cを有している。導体層158Aと層間絶縁層150A上に上側のソルダーレジスト層170Fが形成されている。ソルダーレジスト層170Fは最上の導体層158Aを露出するための開口171Fを有する。その開口171Fにより露出する最上の導体層158Aはパッドである。最上の導体層158Aに形成されているパッドは外部端子として機能する。外部端子の一部を介して、第2のプリント配線板と第1のプリント配線板が接続される。また、外部端子の一部を介して、第1の電気回路と第2の電気回路が接続される。
導体層158Dと層間絶縁層150C上に開口171Sを有する下側のソルダーレジスト層170Sが形成されている。
The
A lower solder resist
マザーボードはインダクタを構成する第2の電気回路を有する。その例が図7(B)に示されている。図7(B)は、第2のプリント配線板10の最上の導体層158Aの一部と最上の層間絶縁層150Aの一部を示す平面図である。図7(B)に示されている第2の電気回路は最上の導体層158Aの一部であって、最上の導体層158は第2の電気回路を含む。第2の電気回路は第2のプリント配線板内のインダクタを構成する外部端子(パッド)158ARとその外部端子(パッド)間に形成されている配線(第2のプリント配線板内のインダクタを構成する配線)158ALを有する。
The motherboard has a second electrical circuit that constitutes an inductor. An example of this is shown in FIG. FIG. 7B is a plan view showing a part of the
別の例が、図12(B)に示されている。この例では、第2の電気回路は第2のプリント配線板のパッド158AR(最上の導体層158Aに含まれているパッド)と内層の導体層158Bに含まれるパッド158BPとパッド158ARとパッド158BPを接続するビア導体160AL(最上の層間絶縁層150Aに形成されているビア導体)とパッド158BPとパッド158BPを接続している配線158BL(内層の導体層 158Bに含まれる配線)で形成される。図12(B)に示されているX2とX2との間の断面が図12(D)に示されている。
第2の電気回路は、C4パッドの直下に存在している。
Another example is shown in FIG. In this example, the second electric circuit includes pads 158AR (pads included in the uppermost
The second electric circuit exists immediately below the C4 pad.
第1のプリント配線板の最下の導体層に形成されているパッドや第2のプリント配線板の最上の導体層に形成されているパッドは図9に示されるように突出部PrPを有しても良い。パッドが突出部PrPを有するパッドであると、第1と第2のプリント配線板の間の距離が確保されるので、インダクタンスの値が大きくなる。第1のプリント配線板の最下の導体層に形成されているパッドと第2のプリント配線板の最上の導体層に形成されているパッドが共に突出部を有するパッドであることが好ましい。さらに、両者のパッドが後述される金属コアバンプで接続されると第1と第2のプリント配線板間の距離が長くなる。 The pads formed on the lowermost conductor layer of the first printed wiring board and the pads formed on the uppermost conductor layer of the second printed wiring board have a protrusion PrP as shown in FIG. May be. If the pad is a pad having the protrusion PrP, the distance between the first and second printed wiring boards is ensured, and the inductance value increases. It is preferable that the pad formed on the lowermost conductor layer of the first printed wiring board and the pad formed on the uppermost conductive layer of the second printed wiring board are both pads having protrusions. Furthermore, when both pads are connected by metal core bumps described later, the distance between the first and second printed wiring boards becomes longer.
図7(C)は、第1の電気回路と第2の電気回路と第1の電気回路と第2の電気回路を接続している接続部材で形成されているソレノイドコイルを模式的に示している。図7(C)中の接続部材76Sは第1の電気回路内のBGAパッドと第2の電気回路内の外部端子の間に形成されている。接続部材は半田などで形成されていて、接続部材はBGAパッドまたは外部端子上に形成されている。
図7(C)に示されるように、実施形態のソレノイドコイルは回転しながら第1のプリント配線板の表面と平行な方向に進んでいる。ここで、第1のプリント配線板の表面は第1のプリント配線板の下側のソルダーレジスト層の表面であり、その面と略平行な面は、図7(A)や図7(B)に示されている層間樹脂絶縁層や層間絶縁層の表面である。実施形態のコイルはヘリカルコイルを含む。
図7(C)に示されているように、実施形態のソレノイドコイル(インダクタ)は、第1の電気回路内の水平方向の配線と第1の電気回路と第2の電気回路を繋ぐ接続部材と第2の電気回路内の水平方向の配線で形成されている。ここで、水平方向は、第1のプリント配線板の表面と平行な方向である。さらに、第1の電気回路はビア導体のような垂直方向の配線を有してもよい。第2の電気回路もビア導体のような垂直な配線を有してもよい。両者が垂直配線を有している例が図13(A)に示されている。
FIG. 7C schematically shows a solenoid coil formed of a connecting member that connects the first electric circuit, the second electric circuit, the first electric circuit, and the second electric circuit. Yes. The connecting
As shown in FIG. 7C, the solenoid coil of the embodiment advances in a direction parallel to the surface of the first printed wiring board while rotating. Here, the surface of the first printed wiring board is the surface of the solder resist layer on the lower side of the first printed wiring board, and the surface substantially parallel to the surface is shown in FIGS. 7A and 7B. These are the surfaces of the interlayer resin insulation layer and interlayer insulation layer shown in FIG. The coil of the embodiment includes a helical coil.
As shown in FIG. 7C, the solenoid coil (inductor) of the embodiment is a connecting member that connects the horizontal wiring in the first electric circuit, the first electric circuit, and the second electric circuit. And a horizontal wiring in the second electric circuit. Here, the horizontal direction is a direction parallel to the surface of the first printed wiring board. Further, the first electric circuit may have a vertical wiring such as a via conductor. The second electrical circuit may also have vertical wiring such as via conductors. An example in which both have vertical wiring is shown in FIG.
第1実施形態のプリント配線板では、第1のプリント配線板10に形成されている第1の電気回路とマザーボードに形成されている第2の電気回路でインダクタが形成されている。第1と第2の電気回路が別のプリント配線板に形成されている。両者の間に接続部材が形成されている。第1と第2の電気回路は直接接続部材で接続されることが好ましい。そのため、コイルの径が大きくなる。インダクタンスの値が大きくなる。また、インダクタを構成する第1と第2の電気回路をICチップの直下に配置することで、ICチップ90とインダクタとの間の配線距離が短くなる。電源ノイズの低減が可能になる。ICチップに安定な電力が供給される。ICチップに瞬時に電力が供給される。
インダクタを構成する配線がプリント配線板に形成されると、その部分の導体の体積が低くなりやすい。その結果、プリント配線板内で、導体の体積がアンバランスになる。そのため、プリント配線板に反りが発生しやすい。しかしながら、実施形態では、インダクタが第1のプリント配線板と第2のプリント配線板に渡って形成されている。そのため、実施形態によれば、第1や第2のプリント配線板内で導体の体積の少ない部分が少なくなる。実施形態の第1や第2のプリント配線板の反りが小さくなる。第1のプリント配線板と第2のプリント配線板間の接続信頼性が高くなる。同様に、第1の電気回路と第2の電気回路間の接続信頼性が高くなる。
In the printed wiring board of the first embodiment, an inductor is formed by a first electric circuit formed on the first printed
When the wiring constituting the inductor is formed on the printed wiring board, the volume of the conductor in that portion tends to be low. As a result, the conductor volume becomes unbalanced in the printed wiring board. Therefore, the printed wiring board is likely to warp. However, in the embodiment, the inductor is formed across the first printed wiring board and the second printed wiring board. Therefore, according to the embodiment, the portion with a small conductor volume is reduced in the first and second printed wiring boards. The warp of the first and second printed wiring boards of the embodiment is reduced. Connection reliability between the first printed wiring board and the second printed wiring board is increased. Similarly, the connection reliability between the first electric circuit and the second electric circuit is increased.
実施形態では、第1と第2のプリント配線板にインダクタが分割されるので、それぞれのプリント配線板に含まれるインダクタを構成する配線の体積が小さくなる。
実施形態では、第1と第2の電気回路が別に製造されている。そのため、第2の電気回路内の配線の厚みを第1の電気回路内の配線の厚みより厚くすることができる。低抵抗なインダクタが得られる。
第1の電気回路内の垂直方向の配線(例えばビア導体)の長さは第2の電気回路内の垂直配線(例えばビア導体)の長さより短いことが好ましい。第1のプリント配線板の反りが小さくなるので、第1のプリント配線板を第2のプリント配線板に実装することが容易となる。第1の電気回路の垂直配線が形成されている層間樹脂絶縁層の数が第2の電気回路の垂直配線が形成されている層間絶縁層の数より少ない。例えば、第1の電気回路の垂直配線は2層の層間樹脂絶縁層に形成されていて、第2の電気回路の垂直配線は3層の層間絶縁層に形成されている。第2の電気回路の垂直配線は複数の層間絶縁層を貫通するスルーホール導体や全ての層間絶縁層を貫通するスルーホール導体であってもよい(図13(B))。
In the embodiment, since the inductor is divided into the first and second printed wiring boards, the volume of the wiring configuring the inductor included in each printed wiring board is reduced.
In the embodiment, the first and second electric circuits are manufactured separately. Therefore, the thickness of the wiring in the second electric circuit can be made larger than the thickness of the wiring in the first electric circuit. A low-resistance inductor can be obtained.
The length of the vertical wiring (for example, via conductor) in the first electric circuit is preferably shorter than the length of the vertical wiring (for example, via conductor) in the second electric circuit. Since the warp of the first printed wiring board is reduced, it becomes easy to mount the first printed wiring board on the second printed wiring board. The number of interlayer resin insulating layers in which the vertical wiring of the first electric circuit is formed is smaller than the number of interlayer insulating layers in which the vertical wiring of the second electric circuit is formed. For example, the vertical wiring of the first electric circuit is formed in two interlayer resin insulation layers, and the vertical wiring of the second electric circuit is formed in three interlayer insulation layers. The vertical wiring of the second electric circuit may be a through-hole conductor that penetrates a plurality of interlayer insulating layers or a through-hole conductor that penetrates all interlayer insulating layers (FIG. 13B).
第1実施形態では、図10に示されているように、第1の電気回路と第2の電気回路を接続するパッド間の距離P1を第1のプリント配線板と第2のプリント配線板を接続するパッド間の距離P2より小さくすることができる。ここで、パッド間の距離は隣接するパッドの中心とパッドの中心との間の距離である。
インダクタの巻き数が多くなる。インダクタンスの値が大きくなる。
実施形態では、電力はインダクタを通ってICチップなどの負荷に伝達される。安定な電力がICチップに伝達される。
In the first embodiment, as shown in FIG. 10, the distance P1 between the pads connecting the first electric circuit and the second electric circuit is set to the first printed wiring board and the second printed wiring board. It can be made smaller than the distance P2 between the pads to be connected. Here, the distance between the pads is the distance between the center of the adjacent pad and the center of the pad.
The number of windings of the inductor increases. The inductance value increases.
In an embodiment, power is transferred through an inductor to a load such as an IC chip. Stable power is transmitted to the IC chip.
[第1実施形態のプリント配線板の製造方法]
第1実施形態の第1のプリント配線板10の製造方法が図1〜図5に示される
(1)第1面Fと第1面と反対側の第2面Sを有する出発基板20が準備される。出発基板は両面銅張積層板であることが好ましい。両面銅張積層板は第1面Fとその第1面と反対側の第2面Sを有する絶縁基板20zとその両面に積層されている金属箔22、22とからなる(図1(A))。銅箔22の表面に黒化処理が施される。
[Method for Manufacturing Printed Wiring Board of First Embodiment]
A manufacturing method of the first printed
(2)出発基板の第1面F(上面)にCO2レーザが照射され、出発基板の第1面F側にスルーホール導体用の貫通孔を形成するための第1開口28aが形成される(図1(B))。ここで、第1開口28aは、第1面Fから第2面Sに向かってテーパしている。
(2) The first surface F (upper surface) of the starting substrate is irradiated with CO2 laser, and a
(3)出発基板の第2面SにCO2レーザが照射され、第1開口28aに繋がる第2開口28bが形成される。スルーホール導体用の貫通孔28が形成される(図1(C))。ここで、第2開口28bは、第2面Sから第1面Fに向かってテーパしている。
(3) The second surface S of the starting substrate is irradiated with the CO2 laser to form the
(4)無電解めっき処理により出発材料の表面と貫通孔の内壁にシード層としての無電解めっき膜31が形成される(図1(D))。
(4) An
(5)シード層31上にめっきレジスト40が形成される(図1(E))。 (5) A plating resist 40 is formed on the seed layer 31 (FIG. 1E).
(6)電解めっき処理により、めっきレジスト40から露出するシード層上に電解めっき膜32が形成される。同時に貫通孔28がめっきにより充填されスルーホール導体36が形成される(図2(A))。
(6) An
(7)めっきレジストが除去される。電解めっき膜32間の無電解めっき膜31と銅箔22が除去され、第1導体層34Fと第2導体層34Sとを有するコア基板30が完成する(図2(B))。導体層34F、34Sの表面が粗化される。
(7) The plating resist is removed. The
(8)コア基板30の第1面F上及び第2面S上に、ガラスクロスとシリカなどの無機粒子とエポキシ等の熱硬化性樹脂を含むプリプレグと金属箔(銅箔)48が順に積層される。金属箔の厚みは約2μmである。その後、加熱プレスでプリプレグから層間樹脂絶縁層50Fと層間樹脂絶縁層50Sが形成される。層間樹脂絶縁層50F、50S上に銅箔48が形成される(図2(C))。層間樹脂絶縁層として、補強材を含まないが無機粒子を含む層間樹脂絶縁層を用いることもできる。
(8) On the first surface F and the second surface S of the
(9)次に、CO2ガスレーザにて層間樹脂絶縁層50F,50Sにそれぞれビア導体用の開口51F,51Sが形成される(図2(D))。
(9) Next, via
(10)銅箔48上と開口51F、51Sの内壁に無電解めっき膜52,52が形成される(図2(E))。無電解めっき膜52,52の厚みは0.5μmである。
(10)
(11)無電解めっき膜52上にめっきレジスト54が形成される(図3(A))。 (11) A plating resist 54 is formed on the electroless plating film 52 (FIG. 3A).
(12)電解めっき処理により、めっきレジスト54から露出している無電解めっき膜上に電解めっき膜56が形成される。この時、開口51F、51Sは電解めっき膜56で充填される。ビア導体60F、60Sが形成される(図3(B))。
(12) An
(13)めっきレジスト54が除去される。電解めっき膜56から露出している金属箔48と無電解めっき膜52が除去される。層間樹脂絶縁層50F上に最上の導体層58Fが形成され、層間樹脂絶縁層50S上に最下の導体層58Sが形成される(図3(C))。最下の導体層58Sは、図7(A)に示されている第1の電気回路を含んでいる。上側と下側のビルドアップ層が完成する。最上と最下の導体層58F、58Sの表面が粗化される。
(13) The plating resist 54 is removed. The
(14)上側のビルドアップ層上に開口71Fを有する上側のソルダーレジスト層70Fが形成され、下側のビルドアップ層上に開口71Sを有する下側のソルダーレジスト層70Sが形成される(図4(A))。
(14) An upper solder resist
(15)パッド71FP、71SP上にニッケルめっき層72が形成され、さらにニッケルめっき層72上に金めっき層74が形成される(図4(B))。ニッケル−金層の代わりにニッケル−パラジウム−金層やOSP膜が形成されてもよい。
(15) The
(16)C4パッド71FPに半田ボール76fが搭載され、BGAパッド71SP上に半田ボール76sが搭載される。この時、第1の電気回路のパッド上にも半田ボールや導電性ペーストが形成される(図4(C))。
(16) The
(17)リフローにより、C4パッド71FPにC4バンプ76Fが形成される。BGAパッド71SP上にBGAバンプ76Sが形成される。第1の電気回路のパッド上に半田バンプなどの接続部材76Sが形成される。第1のプリント配線板10が完成する(図5)。
第1のプリント配線板10にICチップ90がC4バンプ76Fを介して実装される。
(17) C4 bumps 76F are formed on the C4 pads 71FP by reflow. BGA bumps 76S are formed on the BGA pads 71SP. A
An
(第2のプリント配線板の製造方法)
層間絶縁層150Bと層間絶縁層Bの両面に形成されている導体層158B、158Cとビア導体160Bを有する両面板が準備される。
層間絶縁層150Bと導体層158B上に層間絶縁層150Aと銅箔が積層される。また、層間絶縁層150Bと導体層158C上に層間絶縁層150Cと銅箔が積層される。その後、層間絶縁層150Aと層間絶縁層150Cにビア導体用の開口が形成される。
そして、ビア導体用の開口内と銅箔上にめっき膜が形成される。それから、めっき膜上にエッチングレジストが形成される。その後、エッチングレジストから露出するめっき膜と銅箔が除去される。層間絶縁層150A上に最上の導体層158Aが形成される。最上の導体層158Aは第2の電気回路を含んでいる。同時に層間絶縁層150C上に最下の導体層158Dが形成される。また、層間絶縁層150Aに導体層158Aと内層の導体層158Bを繋ぐ最上のビア導体160Aが形成され、層間絶縁層150Cに最下の導体層158Dと内層の導体層158Cを繋ぐ最下のビア導体160Cが形成される。
(Second printed wiring board manufacturing method)
A double-sided board having
An interlayer insulating
Then, a plating film is formed in the via conductor opening and on the copper foil. Then, an etching resist is formed on the plating film. Thereafter, the plating film and the copper foil exposed from the etching resist are removed. An
(プリント配線板の製造方法)
第1のプリント配線板10が、BGAバンプ76Sを介してマザーボード210に搭載される。同時に、接続部材を介して第1の電気回路のパッドと第2の電気回路のパッドが接続される。プリント配線板が完成する(図6)。
BGAバンプや接続部材は銅などの金属ボール76Cとその金属ボールの周りに形成されている半田76SLとからなる金属コアバンプ76SSでもよい(図8)。第1と第2のプリント配線板の間の距離が確保されるので、インダクタンスの値が大きくなる。
第1のプリント配線板とマザーボードとの間に磁性粒子を含む樹脂91を充填することができる。磁性を有する樹脂91の周りにコイルが形成されるのでインダクタンスの値が大きくなる。
(Printed wiring board manufacturing method)
The first printed
The BGA bump and the connecting member may be a metal core bump 76SS composed of a
A
また、第1実施形態では、図10に示されているように、第1と第2のプリント配線板の間にチップコンデンサ98を搭載することができる。チップコンデンサ98は第1のプリント配線板または第2のプリント配線板に実装される。図10に示されるように、チップコンデンサの電源電極が第1のプリント配線板に接続され、グランド電極が第2のプリント配線板に接続されてもよい。チップコンデンサは誘電体の表裏に形成されている電極とそれらを繋ぐ側面電極を有しているので図10に示されている実装が可能である。チップコンデンサは第1の電気回路と第2の電気回路との間に実装されてもよい(図11)。
In the first embodiment, as shown in FIG. 10, a
図13に第1の電気回路と第2の電気回路の例が示されている。図13(A)では、第1と第2の電気回路の垂直配線はスタックビアで形成されている。第1の電気回路では、パッドとパッドの間に1層の層間樹脂絶縁層が形成されて、第2の電気回路では、パッドとパッドの間に1層の層間絶縁層が形成されている。
図13(B)は、第2の電気回路の垂直配線の例を示している。図13(B)では、垂直配線がスルーホール導体であって、全ての層間絶縁層を貫通している。垂直配線として機能するスルーホール導体は全層を貫通することなく所定の数の層間絶縁層を貫通しても良い。
図13(C)は、第1と第2の電気回路の水平配線と垂直配線の例を示している。この例では、異なる層に形成されている複数の水平配線で電流は水平方向に伝送される。このような配線でプリント配線板にソレノイドコイルが形成される。
FIG. 13 shows an example of the first electric circuit and the second electric circuit. In FIG. 13A, the vertical wiring of the first and second electric circuits is formed by stack vias. In the first electric circuit, one interlayer resin insulating layer is formed between the pads, and in the second electric circuit, one interlayer insulating layer is formed between the pads.
FIG. 13B illustrates an example of the vertical wiring of the second electric circuit. In FIG. 13B, the vertical wiring is a through-hole conductor and penetrates all interlayer insulating layers. The through-hole conductor functioning as a vertical wiring may penetrate a predetermined number of interlayer insulating layers without penetrating all layers.
FIG. 13C shows an example of horizontal wiring and vertical wiring of the first and second electric circuits. In this example, current is transmitted in the horizontal direction through a plurality of horizontal wirings formed in different layers. With such wiring, a solenoid coil is formed on the printed wiring board.
10 第1のプリント配線板
30 コア基板
34F 第1導体層
34S 第2導体層
36 スルーホール導体
50F、50S 層間樹脂絶縁層
58F 最上の導体層
58S 最下の導体層
58SL 配線
76S 半田バンプ
100 プリント配線板
158A 導体層
210 マザーボード
DESCRIPTION OF
Claims (5)
第2の電気回路を有する第2のプリント配線板と、
前記第1のプリント配線板と前記第2のプリント配線板の間に位置していて、前記第1の電気回路と前記第2の電気回路を接続している複数の接続部材とからなるプリント配線板であって、
前記第1の電気回路と前記接続部材と前記第2の電気回路でソレノイドコイルが形成されている。 A first printed wiring board having a first electrical circuit;
A second printed wiring board having a second electrical circuit;
A printed wiring board, which is located between the first printed wiring board and the second printed wiring board, and includes a plurality of connecting members connecting the first electric circuit and the second electric circuit. There,
A solenoid coil is formed by the first electric circuit, the connection member, and the second electric circuit.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013035689A JP2014165362A (en) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | Printed wiring board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013035689A JP2014165362A (en) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | Printed wiring board |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014165362A true JP2014165362A (en) | 2014-09-08 |
Family
ID=51615701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013035689A Pending JP2014165362A (en) | 2013-02-26 | 2013-02-26 | Printed wiring board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014165362A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180082282A (en) * | 2017-01-09 | 2018-07-18 | 삼성전기주식회사 | Printed circuit board |
JP2018113432A (en) * | 2017-01-09 | 2018-07-19 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | Printed circuit board |
WO2021205986A1 (en) * | 2020-04-07 | 2021-10-14 | 凸版印刷株式会社 | Glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter, high-frequency module in which said glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter is used, and method for manufacturing glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter |
-
2013
- 2013-02-26 JP JP2013035689A patent/JP2014165362A/en active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180082282A (en) * | 2017-01-09 | 2018-07-18 | 삼성전기주식회사 | Printed circuit board |
JP2018113432A (en) * | 2017-01-09 | 2018-07-19 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | Printed circuit board |
KR102426202B1 (en) * | 2017-01-09 | 2022-07-29 | 삼성전기주식회사 | Printed circuit board |
JP7379774B2 (en) | 2017-01-09 | 2023-11-15 | サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド. | printed circuit board |
JP7383866B2 (en) | 2017-01-09 | 2023-11-21 | サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド. | printed circuit board |
WO2021205986A1 (en) * | 2020-04-07 | 2021-10-14 | 凸版印刷株式会社 | Glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter, high-frequency module in which said glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter is used, and method for manufacturing glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter |
EP4134992A4 (en) * | 2020-04-07 | 2023-09-27 | Toppan Inc. | Glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter, high-frequency module in which said glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter is used, and method for manufacturing glass core wiring substrate with built-in high-frequency filter |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9478343B2 (en) | Printed wiring board | |
JP5122932B2 (en) | Multilayer wiring board | |
US9204552B2 (en) | Printed wiring board | |
US20150213946A1 (en) | Printed wiring board | |
US9338891B2 (en) | Printed wiring board | |
JP2016207958A (en) | Wiring board and manufacturing method for wiring board | |
US20140290997A1 (en) | Multilayer wiring substrate and manufacturing method thereof | |
KR101204233B1 (en) | A printed circuit board comprising embeded electronic component within and a method for manufacturing | |
JP2013051336A (en) | Wiring board with built-in component, and manufacturing method therefor | |
KR20080076241A (en) | Printed circuit board having electronic component and method for manufacturing thereof | |
JP2015015285A (en) | Wiring board and method for manufacturing wiring board | |
US9307645B2 (en) | Printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board | |
JP2015220281A (en) | Printed wiring board | |
JP2014216375A (en) | Printed wiring board and method of manufacturing multilayer core board | |
JP2015185564A (en) | Printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board | |
US20140360760A1 (en) | Wiring substrate and manufacturing method of wiring substrate | |
JP6337775B2 (en) | Wiring board and method of manufacturing wiring board | |
JP2016207959A (en) | Wiring board and manufacturing method for wiring board | |
JP2009170941A (en) | Capacitor mounting wiring board | |
JP2014049578A (en) | Wiring board and manufacturing method of wiring board | |
JP2004134679A (en) | Core substrate, manufacturing method thereof, and multilayer wiring board | |
JP2014165362A (en) | Printed wiring board | |
JP2015060981A (en) | Printed wiring board | |
JP2013102047A (en) | Component built-in wiring board and method of manufacturing the same | |
JP4219541B2 (en) | Wiring board and method of manufacturing wiring board |