JP2014161818A

JP2014161818A - Application device

Info

Publication number: JP2014161818A
Application number: JP2013036575A
Authority: JP
Inventors: Osamu Omi; 将近江; Yasushi Shigekawa; 靖史重川; Yoshiharu Omizu; 佳治大水
Original assignee: Panasonic Healthcare Co Ltd
Current assignee: PHC Corp
Priority date: 2013-02-27
Filing date: 2013-02-27
Publication date: 2014-09-08

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an application device which can apply an application material having a precise physical measurement weight WP1 on a substrate.SOLUTION: An application device 1 includes a weight measurement part 7, and a moving stage 8 which moves an application material discharge head 4 onto a substrate 2 and the weight measurement part 7. A system control part controls the moving stage 8 to move the application material discharge head 4 onto the substrate 2 and the weight measurement part 7. The system control part controls a discharge amount control part to discharge a predetermined amount of the application material to a pedestal 9 on the weight measurement part 7 from the application material discharge head 4 and apply the application material as a second application material 10 on the pedestal 9. The system control part controls the weight measurement part 7 to measure a physical measurement weight WP2 of the second application material 10 discharged on the pedestal 9 so as to change a measurement weight reduction relationship of the application material or an application amount of the application material on the basis of at least either one of a physical measurement weight WP1 of the first application material or the physical measurement weight WP2 of the second application material.

Description

本発明は、基板上に塗布する塗布装置に関するものである。 The present invention relates to a coating apparatus for coating on a substrate.

従来の塗布装置は、基板上に、塗布材料を所定量吐出し、前記塗布材料を（第１の）塗布物として前記基板上に塗布する塗布材料吐出手段と、前記（第１の）塗布物を撮像し、前記塗布物の画像データを取得する撮像部と、前記（第１の）塗布物の画像データに基づいて、前記（第１の）塗布物の光学的測定重量を算出し、その後、前記（第１の）塗布物の光学的測定重量を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、前記（第１の）塗布物の物理的測定重量を算出する重量算出部と、前記吐出量制御部と、前記撮像部と、前記重量算出部を制御するシステム制御部と、から構成されていた（例えば特許文献１参照）。 A conventional coating apparatus discharges a predetermined amount of a coating material onto a substrate, and coats the coating material as a (first) coating material on the substrate, and the (first) coating material. An imaging unit that acquires image data of the coating material, and calculates the optical measurement weight of the (first) coating material based on the image data of the (first) coating material, and then A weight calculating unit that calculates a physical measurement weight of the (first) coating using a measurement weight conversion relationship prepared in advance for the optical measurement weight of the (first) coating; and It was comprised from the discharge amount control part, the said imaging part, and the system control part which controls the said weight calculation part (for example, refer patent document 1).

国際公開２００９／１０４３９８号International Publication No. 2009/104398

前記従来例における塗布装置は、その塗布装置によって、前記塗布物を測定し、その塗布物の塗布量が正しいかどうかを判断するのであるが、前記基板の製造ロットが変更になった等、様々な要因によって、塗布物の光学的測定重量から算出された物理的測定重量と、実際に実測された塗布物の物理的測定重量とが一致しない場合が発生し、その結果として、基板上に正確な物理的測定重量を有する塗布材料を塗布できないという課題を有していた。 The coating device in the conventional example measures the coating material by the coating device and determines whether or not the coating amount of the coating material is correct. Depending on the factors, the physical measurement weight calculated from the optically measured weight of the coating may not match the physical measurement weight of the actual coating actually measured. There is a problem that a coating material having a large physical measurement weight cannot be applied.

そこで本発明では、基板上に正確な物理的測定重量を有する塗布材料を塗布することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to apply a coating material having an accurate physical measurement weight on a substrate.

そして、この目的を達成するために本発明の塗布装置は、基板上に、塗布材料を所定量吐出し、前記塗布材料を第１の塗布物として前記基板上に塗布する塗布材料吐出手段と、前記塗布物吐出手段による前記塗布材料の吐出量を制御する吐出量制御部と、前記第１の塗布物を撮像し、前記塗布物の画像データを取得する撮像部と、前記第１の塗布物の画像データに基づいて、前記第１の塗布物の光学的測定重量を算出し、その後、前記第１の塗布物の光学的測定重量を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、前記第１の塗布物の物理的測定重量を算出する重量算出部と、前記吐出量制御部と、前記撮像部と、前記重量算出部を制御するシステム制御部と、を有する塗布装置において、重量測定部と、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させる移動手段と、を備え、前記システム制御部は、前記移動手段を制御し、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させ、前記吐出量制御部を制御し、前記塗布材料吐出手段から、前記塗布材料を、前記重量測定部上の台座に、前記所定量吐出し、前記塗布材料を第２の塗布物として前記台座上に塗布し、前記重量測定部を制御し、前記台座に吐出された第２の塗布物の物理的重量を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量、もしくは第２の塗布物の物理的重量のどちらか一方に基づいて、少なくとも前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係のどちらか一方を変更することが可能である塗布装置とした。 In order to achieve this object, the coating apparatus of the present invention discharges a predetermined amount of a coating material onto a substrate, and a coating material discharge means for coating the coating material on the substrate as a first coating material, A discharge amount control unit that controls a discharge amount of the coating material by the coating material discharge unit; an imaging unit that images the first coating material and acquires image data of the coating material; and the first coating material. On the basis of the image data, the optical measurement weight of the first application product is calculated, and then the optical measurement weight of the first application product is calculated using the measurement weight conversion relationship prepared in advance. In a coating apparatus having a weight calculation unit that calculates a physical measurement weight of a first application material, the discharge amount control unit, the imaging unit, and a system control unit that controls the weight calculation unit, weight measurement Part and the coating material discharge means, the substrate And a moving unit that moves the weight measuring unit, the system control unit controls the moving unit, and moves the coating material discharge unit onto the substrate and the weight measuring unit. The discharge amount control unit is controlled, and the coating material is discharged from the coating material discharge unit onto the pedestal on the weight measuring unit, and the coating material is used as a second coating material on the pedestal. The weight measurement unit is controlled to measure the physical weight of the second coating material discharged onto the pedestal, and at least the physical measurement weight of the first coating material, or the second coating material. Based on either one of the physical weights, at least one of the discharge amount of the coating material or the measured weight conversion relationship can be changed.

これにより所期の目的を達成するものである。 This achieves the intended purpose.

以上のように、本発明の塗布装置は、重量測定部と、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させる移動手段と、を備え、前記システム制御部は、前記移動手段を制御し、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させ、前記吐出量制御部を制御し、前記塗布材料吐出手段から、前記塗布材料を、前記重量測定部上の台座に、前記所定量吐出し、前記塗布材料を第２の塗布物として前記台座上に塗布し、前記重量測定部を制御し、前記台座に吐出された第２の塗布物の物理的重量を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量、もしくは第２の塗布物の物理的重量のどちらか一方に基づいて、少なくとも前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係のどちらか一方を変更することが可能である塗布装置としたものであるので、基板上に正確な物理的測定重量を有する塗布材料を塗布することができる。 As described above, the coating apparatus of the present invention includes a weight measuring unit and a moving unit that moves the coating material discharge unit onto the substrate and the weight measuring unit, and the system control unit includes: The moving means is controlled, the coating material discharge means is moved on the substrate and the weight measuring section, the discharge amount control section is controlled, and the coating material is discharged from the coating material discharge means, The predetermined amount is discharged onto the pedestal on the weight measuring unit, the coating material is applied onto the pedestal as a second coating material, the weight measuring unit is controlled, and the second coating material is discharged onto the pedestal. And at least a discharge amount of the coating material or the measurement based on at least one of the physical measurement weight of the first coating material and the physical weight of the second coating material. Either of the weight conversion relations Since is obtained by that it is possible to change the coating apparatus, it can be coated with the coating material with the correct physical measurement weight on the substrate.

すなわち、本発明においては、撮像部と、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させる移動手段と、を設け、前記システム制御部は、前記移動手段を制御し、前記塗布材料吐出手段を、前記基板上、及び前記重量測定部上に移動させ、前記吐出量制御部を制御し、前記塗布材料吐出手段から、前記塗布材料を、前記重量測定部上の台座に、前記所定量吐出し、前記塗布材料を第２の塗布物として前記台座上に塗布し、前記重量測定部を制御し、前記台座に吐出された第２の塗布物の物理的測定重量を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量、もしくは第２の塗布物の物理的重量ＷＰ２のどちらか一方に基づいて、少なくとも前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係のどちらか一方を変更することができるので、前記（第１の）塗布物の物理的測定重量と、実測された前記（第２の）塗布物の物理的測定重量とが一致しない場合においても、速やかに、前記塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係を変更することができるので、その結果として、基板上に正確な物理的測定重量を有する塗布材料を塗布することができるのである。 That is, in the present invention, an imaging unit and a moving unit that moves the coating material discharge unit onto the substrate and the weight measuring unit are provided, and the system control unit controls the moving unit. The coating material discharge means is moved onto the substrate and the weight measurement section, the discharge amount control section is controlled, and the coating material is transferred from the coating material discharge means to the base on the weight measurement section. The predetermined amount is discharged, the coating material is applied as a second coating on the pedestal, the weight measuring unit is controlled, and the physical measurement weight of the second coating applied to the pedestal is calculated. Based on at least one of the physical measurement weight of the first coating material or the physical weight WP2 of the second coating material, at least the discharge amount of the coating material or the measured weight conversion relationship either Since the physical measurement weight of the (first) coating material and the actually measured physical measurement weight of the (second) coating material do not coincide with each other, Since the discharge amount of the coating material or the measurement weight conversion relationship can be changed, as a result, the coating material having an accurate physical measurement weight can be applied onto the substrate.

本発明の実施の形態１における塗布装置の斜視図The perspective view of the coating device in Embodiment 1 of this invention 本発明の実施の形態１における塗布装置の動作を示すフローチャートThe flowchart which shows operation | movement of the coating device in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態１における基板の第１の移動工程後の塗布装置の斜視図The perspective view of the coating device after the 1st movement process of the board | substrate in Embodiment 1 of this invention. 図３内の拡大斜視図Enlarged perspective view in FIG. 本発明の実施の形態１における基板の第２の移動工程後の塗布装置の斜視図The perspective view of the coating device after the 2nd movement process of the board | substrate in Embodiment 1 of this invention. 図５内の拡大斜視図Enlarged perspective view in FIG. 本発明の実施の形態１における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を示す一例を示す図The figure which shows an example which shows correlation with the physical measurement weight WP1 of the coating material 3 in Embodiment 1 of this invention, and the optical measurement weight WO1 of the coating material 3. FIG. 本発明の実施の形態１における塗布装置の動作における塗布装置校正確認工程の詳細のフローチャートFlowchart of details of coating apparatus calibration confirmation step in operation of coating apparatus in Embodiment 1 of the present invention 本発明の実施の形態１における塗布物吐出ヘッド移動工程後の塗布装置の斜視図The perspective view of the coating device after the coating material discharge head moving process in Embodiment 1 of this invention 図９内の拡大斜視図Enlarged perspective view in FIG. 本発明の実施の形態１における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）と、測定重量換算関係校正工程における測定重量換算関係を説明する図Correlation (measured weight conversion relationship) between the physically measured weight WP1 of the coated material 3 and the optically measured weight WO1 of the coated material 3 in Embodiment 1 of the present invention, and the measured weight converted relationship in the calibration process Figure explaining

以下に、本発明の一実施形態を図面とともに詳細に説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

（実施の形態１）
［１］塗布装置１の構成
まずはじめに、図１を用いて、本実施形態の塗布装置１に関して説明する。図１は、本発明の実施の形態１における塗布装置の斜視図を示すものである。
本実施形態における塗布装置１は、図１に示すように、基板２上に、塗布材料を所定量吐出し、塗布材料（図示なし）を塗布物（第１の塗布物の一例）３として基板２上に塗布する塗布物吐出ヘッド（塗布材料吐出手段の一例）４と、塗布物吐出ヘッド４による塗布材料の吐出量を制御する吐出量制御部（図示なし）と、塗布物３を撮像し、塗布物３の画像データを取得する撮像部６とが備えられている。 (Embodiment 1)
[1] Configuration of Coating Device 1 First, the coating device 1 of the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows a perspective view of a coating apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
As shown in FIG. 1, the coating apparatus 1 according to the present embodiment ejects a predetermined amount of a coating material onto a substrate 2, and uses a coating material (not shown) as a coating material (an example of a first coating material) 3. 2, a coating material ejection head (an example of a coating material ejection unit) 4 to be applied to the coating material 4, a ejection amount control unit (not shown) that controls the ejection amount of coating material by the coating material ejection head 4, And an imaging unit 6 that acquires image data of the coated material 3.

また、本実施形態における塗布装置１は、塗布物３の画像データに基づいて、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を算出し、その後、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を算出する重量算出部（図示なし）が設けられている。 In addition, the coating apparatus 1 in the present embodiment calculates the optical measurement weight WO1 of the coating 3 based on the image data of the coating 3, and then prepares the optical measurement weight WO1 of the coating 3 in advance. A weight calculation unit (not shown) is provided for calculating the physical measurement weight WP1 of the coating 3 using the measured weight conversion relationship.

また、本実施形態における塗布装置１は、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１に基づいて、基板２上に塗布された塗布物３が予め定められた範囲内であるかどうかの判定、
即ち、塗布物３の塗布量の合否判定を行う塗布量判定部（図示なし）が設けられている。 Further, the coating apparatus 1 in the present embodiment determines whether or not the coating 3 applied on the substrate 2 is within a predetermined range based on the physical measurement weight WP1 of the coating 3.
That is, an application amount determination unit (not shown) for determining whether or not the application amount of the application product 3 is acceptable is provided.

更に、本実施形態における塗布装置１は、図１に示すように、例えば、その上部に物体が載せられると、その物体の重さを測定することによって、その物体の物理的重量を測定する重量測定部７が設けられている。本実施形態における重量測定部７は、その上部にのせられた物体の物理的重量を、非常に高精度で測定することが可能な電子天秤（ＭＥＴＴＬＥＲＴＯＬＥＤＯ社製、製品名：ＷＭＣ２５-ＳＨ）を用いた。 Furthermore, as shown in FIG. 1, the coating apparatus 1 in this embodiment is a weight that measures the physical weight of an object, for example, by measuring the weight of the object when the object is placed on the top. A measuring unit 7 is provided. The weight measuring unit 7 in this embodiment is an electronic balance (product name: WMC25-SH, manufactured by METTTLER TOLEDO) capable of measuring the physical weight of an object placed on the upper part with very high accuracy. Using.

更に、本実施形態における塗布装置１は、図１に示すように、塗布物吐出ヘッド４を、基板２上、及び重量測定部７上に移動させることができる移動ステージ（移動手段の一例）８が備えられている。 Furthermore, as shown in FIG. 1, the coating apparatus 1 in the present embodiment has a movable stage (an example of a moving unit) 8 that can move the coated material discharge head 4 onto the substrate 2 and the weight measuring unit 7. Is provided.

また、本実施形態における塗布装置１は、図１に示すように、基板２を載せたパレット１１を、移動させることが可能なパレット移動ステージ（基板移動手段の一例）１２を備えている。 In addition, as shown in FIG. 1, the coating apparatus 1 in the present embodiment includes a pallet moving stage (an example of a substrate moving unit) 12 that can move a pallet 11 on which a substrate 2 is placed.

また、本実施形態における塗布装置１は、それぞれ、吐出量制御部（図示なし）、撮像部６、重量算出部、塗布量判定部、重量測定部７、移動ステージ８等、個々の動作制御、及び塗布装置１全体を制御するシステム制御部（図示なし）が設けられている。 In addition, the coating apparatus 1 according to the present embodiment includes individual operation controls such as a discharge amount control unit (not shown), an imaging unit 6, a weight calculation unit, a coating amount determination unit, a weight measurement unit 7, a moving stage 8, In addition, a system controller (not shown) for controlling the entire coating apparatus 1 is provided.

以上のように、本実施形態における塗布装置１は、上述のように構成することによって、基板２上に塗布物３を塗布し、その後、基板２上に塗布物３を撮像部６によって、塗布物３の画像データを取得し、その画像データを画像処理することによって、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を測定し、更に、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を、予め準備された測定重量換算関係を用いて、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を算出し、その算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１により、基板２上に塗布物３の塗布量が、予め定められた範囲内であるかどうかを判定し、その塗布量の合否判定を行うことができるような構成となっている。 As described above, the coating apparatus 1 in the present embodiment is configured as described above, so that the coating 3 is coated on the substrate 2, and then the coating 3 is coated on the substrate 2 by the imaging unit 6. The image data of the object 3 is obtained, and the image data is processed to measure the optical measurement weight WO1 of the application object 3. Further, the optical measurement weight WO1 of the application object 3 is measured in advance. The physical measurement weight WP1 of the coating material 3 is calculated using the weight conversion relationship, and the coating amount of the coating material 3 on the substrate 2 is determined in advance by the calculated physical measurement weight WP1 of the coating material 3. In such a configuration, it can be determined whether or not the amount is within the range, and whether or not the application amount is acceptable can be determined.

更に、本実施形態における塗布装置１は、後述で詳しく説明するが、定期的に、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１が正しく測定できているかどうか、あるいは塗布物吐出ヘッド４による塗布材料の吐出量が予め定められた範囲内で吐出されているかどうか（即ち、基板２上に正しい吐出量の塗布材料が吐出されているかどうか）をチェックするために、移動ステージ８と、重量測定部７とを設け、更に、吐出量制御部（図示なし）を制御し、塗布物吐出ヘッド４から、塗布材料を、重量測定部７上の台座９に、所定量吐出し、その吐出された塗布材料を塗布物（第２の塗布物の一例）１０として、台座９上に塗布し、その後、重量測定部７を制御し、台座９上に吐出された塗布物１０の物理的重量を測定し、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１、及び塗布物１０の物理的重量ＷＰ２に基づいて、塗布材料の吐出量、もしくは前記測定重量換算関係を変更することが可能な構成となっている。 Furthermore, as will be described in detail later, the coating apparatus 1 in the present embodiment periodically checks whether the optical measurement weight WO1 of the coating 3 is correctly measured, or discharges the coating material by the coating material discharge head 4. In order to check whether or not the amount is discharged within a predetermined range (that is, whether or not the correct amount of coating material is discharged onto the substrate 2), the moving stage 8, the weight measuring unit 7, Further, a discharge amount control unit (not shown) is controlled to discharge a predetermined amount of the coating material from the coating material discharge head 4 to the base 9 on the weight measuring unit 7, and the discharged coating material is discharged. As a coated material (an example of a second coated material) 10, it is coated on the base 9, and then the weight measuring unit 7 is controlled to measure the physical weight of the coated material 10 discharged on the base 9. Physical measurement weight of object 3 WP1 And based on the physical weight WP2 of coating object 10, which is configured to be capable of changing the discharge amount or the measurement weight conversion relationship coating material.

以上のように、本実施形態における塗布装置１は構成されている。 As described above, the coating apparatus 1 in the present embodiment is configured.

[２] 塗布装置１の動作
次に、本実施形態における塗布装置の動作に関して説明する。 [2] Operation of Coating Apparatus 1 Next, the operation of the coating apparatus in the present embodiment will be described.

図２は、本発明の実施の形態１における塗布装置の動作を示すフローチャートである。
本実施形態における塗布装置１の動作は、大きく分けて、
（１）ステップ１（Ｓ１）：基板の第１の移動工程
（２）ステップ２（Ｓ２）：第１の塗布物の塗布工程
（３）ステップ３（Ｓ３）：基板の第２の移動工程
（４）ステップ４（Ｓ４）：光学的測定重量測定工程
（５）ステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程
（６）ステップ６（Ｓ６）：第１の塗布物の塗布量判定工程
（７Ａ）ステップ７Ａ（Ｓ７Ａ）：基板の第３の移動工程
（７Ｂ）ステップ７Ｂ（Ｓ７Ｂ）：基板の廃棄
（８）ステップ８（Ｓ８）：塗布装置校正確認工程
（９）ステップ９（Ｓ９）：塗布完了判定工程
のステップ１〜ステップ９にて、構成されている。 FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the coating apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
The operation of the coating apparatus 1 in this embodiment can be broadly divided into:
(1) Step 1 (S1): First movement process of the substrate (2) Step 2 (S2): Application process of the first applied product (3) Step 3 (S3): Second movement process of the substrate 4) Step 4 (S4): Optical measurement weight measurement process (5) Step 5 (S5): Physical weight calculation process of the first coating material (6) Step 6 (S6): Application of the first coating material Quantity determination step (7A) Step 7A (S7A): Third movement step of substrate (7B) Step 7B (S7B): Discard substrate (8) Step 8 (S8): Coating device calibration confirmation step (9) Step 9 (S9): Consists of Step 1 to Step 9 in the application completion determination process.

本実施形態の塗布装置１の通常時の動作としては、基板２に塗布物３を塗布し（上記Ｓ２に相当）、その後、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を算出し（上記Ｓ５に相当）、その算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が、予め定められた範囲内であるかどうかを判定（上記Ｓ６）し、その後、基板２上の塗布物３の塗布量が予め定められた範囲内であれば、良品と判定し（上記Ｓ７Ａに相当）、もしくは、基板２上に塗布物３の塗布量が、予め定められた範囲外であれば、基板２を不良品とし、図示されていない後の工程（例えば、上記Ｓ９以降）で廃棄される（上記Ｓ７Ａに相当）。そして、全ての基板２に塗布が完了した後は、この塗布装置の動作を終了し（図２中の矢印Ａ相当）、もし、別の基板２に塗布をするのであれば、これら動作を継続する（図２中の矢印Ａ相当）のである。 As a normal operation of the coating apparatus 1 of the present embodiment, the coating material 3 is coated on the substrate 2 (corresponding to S2 above), and then the physical measurement weight WP1 of the coating material 3 is calculated (corresponding to S5 above). ), It is determined whether or not the calculated physical measurement weight WP1 of the coating 3 is within a predetermined range (S6), and then the coating amount of the coating 3 on the substrate 2 is determined in advance. If it is within the determined range, it is determined as a non-defective product (corresponding to S7A above), or if the coating amount of the coating 3 on the substrate 2 is outside the predetermined range, the substrate 2 is regarded as a defective product, It is discarded in a later step (not shown) (for example, after S9) (corresponding to S7A). Then, after the application to all the substrates 2 is completed, the operation of this application apparatus is terminated (corresponding to the arrow A in FIG. 2), and if the application is to another substrate 2, these operations are continued. (Corresponding to arrow A in FIG. 2).

それでは、まずはじめに、図２〜図７を用いて、本実施形態の塗布装置１の通常時の動作に関して説明する。 First, the normal operation of the coating apparatus 1 according to this embodiment will be described with reference to FIGS.

[２]―（１）ステップ１（Ｓ１）：基板の第１の移動工程
図３は、本発明の実施の形態１における基板の第１の移動工程後の塗布装置の斜視図を示し、図４は、図３内の拡大斜視図を示すものである。 [2]-(1) Step 1 (S1): First Movement Step of Substrate FIG. 3 shows a perspective view of the coating apparatus after the first movement step of the substrate in the first embodiment of the present invention. 4 shows an enlarged perspective view in FIG.

まずはじめに、図３、図４に示すように、システム制御部は、基板２の所定位置上に塗布物吐出ヘッド４が来るように、ステージ移動ステージ１２を移動させる。 First, as shown in FIGS. 3 and 4, the system control unit moves the stage moving stage 12 so that the coating material discharge head 4 comes on a predetermined position of the substrate 2.

[２]―（２）ステップ２（Ｓ２）：第１の塗布物の塗布工程
次に、システム制御部は、基板２上に、塗布材料を所定量吐出し、塗布材料（図示なし）を塗布物（第１の塗布物の一例）３として基板２上に塗布する。 [2]-(2) Step 2 (S2): First application material application process Next, the system control unit discharges a predetermined amount of application material onto the substrate 2 to apply an application material (not shown). An object (an example of a first application object) 3 is applied on the substrate 2.

本実施形態においては、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３［ｍｇ］となるように、具体的には、重量測定部７を用いて、重量測定部７の台座９上へ塗布材料を吐出する吐出量を３［ｍｇ］となるように、予め、吐出量制御部（図示なし）によって、塗布物吐出ヘッド４の塗布材料に対する吐出圧力と吐出時間を調整している。 In the present embodiment, specifically, the coating material is applied onto the pedestal 9 of the weight measuring unit 7 by using the weight measuring unit 7 so that the physical measured weight WP1 of the coated material 3 is 3 [mg]. The discharge pressure and the discharge time for the coating material of the coated material discharge head 4 are adjusted in advance by a discharge amount control unit (not shown) so that the discharge amount to be discharged is 3 [mg].

[２]―（３）ステップ３（Ｓ３）：基板の第２の移動工程
図５は、本発明の実施の形態１における基板の第２の移動工程後の塗布装置の斜視図を示し、図６は、図５内の拡大斜視図を示すものである。 [2]-(3) Step 3 (S3): Second Movement Process of Substrate FIG. 5 is a perspective view of the coating apparatus after the second movement process of the substrate in the first embodiment of the present invention. 6 shows an enlarged perspective view in FIG.

次に、システム制御部は、基板２上の塗布物３上に、撮像部６が来るように、ステージ移動ステージ１２を移動させる。 Next, the system control unit moves the stage moving stage 12 so that the imaging unit 6 comes on the coating 3 on the substrate 2.

[２]―（４）ステップ４（Ｓ４）：光学的測定重量測定工程
次に、システム制御部は、撮像部６を動作させることによって、塗布物３を撮像し、その後、その塗布物３の画像データ３を、撮像部６より、重量算出部に出力する。 [2]-(4) Step 4 (S4): Optical Measurement Weight Measurement Step Next, the system control unit operates the imaging unit 6 to image the coating 3 and then the coating 3 The image data 3 is output from the imaging unit 6 to the weight calculation unit.

その後、重量算出部は、塗布物３の画像データに基づいて、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を算出する。この塗布物３の画像データに基づいて、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を算出する方法に関しては、よく知られた方法（例えば、特許文献である国際公開２００９／１０４３９８号等を参照）であるので、説明の煩雑化を避けるため、簡単に説明する。重量算出部は、塗布物３の画像データに基づいて、（上記特許文献である国際公開２００９／１０４３９８号に記載されて方法等を用いて）塗布物３の体積Ｍを算出する。塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を、以下の式（１）で求める。 Thereafter, the weight calculation unit calculates the optically measured weight WO1 of the application 3 based on the image data of the application 3. Regarding the method for calculating the optically measured weight WO1 of the coated material 3 based on the image data of the coated material 3, it is a well-known method (see, for example, International Publication No. 2009/104398, which is a patent document). Since there is, it will be briefly explained to avoid complication of explanation. The weight calculation unit calculates the volume M of the coating 3 based on the image data of the coating 3 (using the method described in International Publication No. 2009/104398, which is the above patent document). The optically measured weight WO1 of the coated material 3 is obtained by the following formula (1).

ここで、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１は、塗布物３の画像データから算出された体積（これを本明細書内部では光学的測定重量と記述している）であるが、この塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１と、実際の塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１とは、ごく微量ではあるが、誤差が生じる。 Here, the optically measured weight WO1 of the coated object 3 is a volume calculated from the image data of the coated object 3 (this is described as an optically measured weight in the present specification). The optical measurement weight WO1 of 3 and the actual physical measurement weight WP1 of the coated material 3 are very small, but an error occurs.

そこで、本実施形態においては、ステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的測定重量算出工程において、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１に基づいて、予め、測定重量換算関係、具体的には、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を測定し、その相関関係を重量算出部に保管しておく。そして、この光学的測定重量ＷＯ１を算出後、この塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を用いて、物理的測定重量ＷＰ１を求めるのである。 Therefore, in the present embodiment, in step 5 (S5): physical measurement weight calculation process of the first application material, based on the optical measurement weight WO1 of the application material 3, the measurement weight conversion relationship, specifically, First, the correlation between the physical measurement weight WP1 of the coating 3 and the optical measurement weight WO1 of the coating 3 is measured, and the correlation is stored in the weight calculation unit. Then, after calculating the optical measurement weight WO1, the physical measurement weight WP1 is obtained using the correlation between the physical measurement weight WP1 of the coating 3 and the optical measurement weight WO1 of the coating 3.

[２]―（５）ステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的測定重量算出工程
次に、重量算出部は、前述のステップ４（Ｓ４）：光学的測定重量測定工程において求めた塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１に基づいて、予め、測定重量換算関係、具体的には、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を測定し、その相関関係を重量算出部に保管しておく。そして、この光学的測定重量ＷＯ１を算出後、この塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を用いて、物理的測定重量ＷＰ１を求める。 [2]-(5) Step 5 (S5): Physical measurement weight calculation step of the first coated material Next, the weight calculation unit was obtained in the above-described Step 4 (S4): Optical measurement weight measurement step. Based on the optically measured weight WO1 of the coating 3 in advance, the measured weight conversion relationship, specifically, the correlation between the physical measured weight WP1 of the coated 3 and the optically measured weight WO1 of the coated 3 is measured in advance. The correlation is stored in the weight calculation unit. Then, after calculating the optical measurement weight WO1, the physical measurement weight WP1 is obtained using the correlation between the physical measurement weight WP1 of the coating 3 and the optical measurement weight WO1 of the coating 3.

図７は、本発明の実施の形態１における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係を示す一例を示す図である。この図７内の縦軸は光学的測定重量ＷＯ１を示し、図７内の横軸は、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を示す。 FIG. 7 is a diagram showing an example of the correlation between the physical measured weight WP1 of the coated material 3 and the optically measured weight WO1 of the coated material 3 in Embodiment 1 of the present invention. The vertical axis in FIG. 7 indicates the optically measured weight WO1, and the horizontal axis in FIG. 7 indicates the physically measured weight WP1 of the coating 3.

図７からも理解されるように、本実施形態における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係、すなわち、測定重量換算関係は
一次関数の換算式で表す（近似する）ことができる。 As understood from FIG. 7, the correlation between the physical measurement weight WP1 of the coating 3 and the optical measurement weight WO1 of the coating 3 in this embodiment, that is, the measurement weight conversion relationship is a conversion function of a linear function. Can be expressed (approximate).

従って、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１を算出し、その後、この測定重量換算関係を用いて、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１より、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１を算出することによって、より精度の高い塗布物３の塗布量を測定することができる。 Therefore, the optically measured weight WO1 of the coated material 3 is calculated, and then the physical measured weight WP1 of the coated material 3 is calculated from the optically measured weight WO1 of the coated material 3 using this measured weight conversion relationship. By this, it is possible to measure the coating amount of the coated material 3 with higher accuracy.

なお、本実施形態における本実施形態における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係、すなわち、測定重量換算関係は、一次関数の換算式を用いたが、一次関数に限定されず、例えば、二次関数、三次関数等、近似できるのであれば、どのような関数を用いた換算式を用いてもよい。 In this embodiment, the correlation between the physical measurement weight WP1 of the coating 3 and the optical measurement weight WO1 of the coating 3 in this embodiment, that is, the measurement weight conversion relationship, uses a conversion formula of a linear function. However, the conversion formula using any function may be used as long as it can be approximated to, for example, a quadratic function or a cubic function.

[２]―（６）ステップ６（Ｓ６）：第１の塗布物の塗布量判定工程
次に、システム制御部は、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程にて算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１に基づいて、基板２上の塗布物３の塗布量（＝塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１）が、予め定められた範囲内であるかどうかを判定し、その判定結果に基づいて、塗布物３が塗布された基板３を、良品、もしくは不良品として認識する。 [2]-(6) Step 6 (S6): coating amount determination step of the first coated material
Next, the system control unit applies the coating on the substrate 2 based on the physical measured weight WP1 of the coating 3 calculated in Step 5 (S5): Physical weight calculation step of the first coating. It is determined whether the coating amount of the product 3 (= physical measurement weight WP1 of the coating product 3) is within a predetermined range, and based on the determination result, the substrate 3 to which the coating product 3 is applied is determined. , Recognized as good or defective.

本実施形態においては、システム制御部は、「予め定められた範囲内」を、３．０＋／−１［ｍｇ］と設定し、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３．０＋／−１［ｍｇ］の範囲内であれば、良品とし、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３．０＋／−１［ｍｇ］の範囲外であれば、不良品として処理するように、制御を行う。 In the present embodiment, the system control unit sets “within a predetermined range” as 3.0 +/− 1 [mg], and the physical measurement weight WP1 of the application 3 is 3.0 +/− 1. If it is within the range of [mg], it is determined to be a non-defective product, and if the physical measurement weight WP1 of the coated product 3 is outside the range of 3.0 +/− 1 [mg], control is performed so that it is processed as a defective product. .

[２]―（７Ａ）ステップ７Ａ（Ｓ７Ａ）：良品認識工程
システム制御部は、前述のステップ６（Ｓ６）：第１の塗布物の塗布量判定工程にて、
塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３．０＋／−１［ｍｇ］の範囲内であれば、その基板２を良品として認識し、次の工程へ移動させる。 [2]-(7A) Step 7A (S7A): Non-defective product recognition process The system control unit performs the above-described Step 6 (S6): application amount determination process of the first applied material.
If the physical measurement weight WP1 of the coated material 3 is within the range of 3.0 +/− 1 [mg], the substrate 2 is recognized as a non-defective product and moved to the next step.

[２]―（７Ｂ）ステップ７Ｂ（Ｓ７Ｂ）：不良品認識工程
また、システム制御部は、ステップ６（Ｓ６）：第１の塗布物の塗布量判定工程にて、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が３．０＋／−１［ｍｇ］の範囲外であれば、
基板２を不良品として認識し、図示されていない後の工程（例えば、後述のＳ９以降）で廃棄される。 [2]-(7B) Step 7B (S7B): Defective Product Recognition Process Also, the system control unit performs physical measurement of the applied product 3 in Step 6 (S6): First applied product application amount determining step. If the weight WP1 is outside the range of 3.0 +/− 1 [mg],
The substrate 2 is recognized as a defective product, and is discarded in a later process (for example, S9 and later) not shown.

[２]―（８）ステップ８（Ｓ８）：塗布装置校正確認工程
次に、システム制御部は、塗布装置１の塗布動作、及び塗布物３の塗布量の測定が正しく行われているかどうかを確認する必要性の要否を判定し、「要」であった場合、塗布装置校正確認工程を実施する。 [2]-(8) Step 8 (S8): Coating device calibration confirmation process Next, the system control unit determines whether the coating operation of the coating device 1 and the measurement of the coating amount of the coating material 3 are correctly performed. The necessity of confirmation is determined. If it is “necessary”, a coating apparatus calibration confirmation step is performed.

例えば、一般的に、製造シフト開始前、基板３の製造管理ロットが変更になった場合、もしくは、規定枚数の基板を処理した場合において、塗布装置1の塗布動作、及び塗布物３の塗布量の測定が正しく行われているかどうかを確認する必要があるため、この必要性を「要」となるように、予め設定されており、これらのタイミング、すなわち、塗布装置校正確認工程にて「要」と判定された場合は、この塗布装置校正確認を行う。 For example, generally, when the production control lot of the substrate 3 is changed before the start of the production shift, or when a specified number of substrates are processed, the coating operation of the coating apparatus 1 and the coating amount of the coating 3 Therefore, it is necessary to confirm whether or not the measurement is correctly performed. Therefore, this necessity is set in advance so that it becomes “necessary”. When it is determined that the coating apparatus is calibrated, this calibration is confirmed.

この塗布装置校正確認工程に関しては、後述にて詳しく説明する。 This coating apparatus calibration confirmation process will be described in detail later.

[２]―（９）ステップ９（Ｓ９）：塗布完了判定工程
次に、システム制御部は、全ての基板３に塗布が完了したかどうかを確認する。 [2]-(9) Step 9 (S9): Application Completion Determination Process Next, the system control unit checks whether or not the application to all the substrates 3 is completed.

本実施形態において、塗布物３を塗布する基板３の枚数は、予め、システム制御部に登録されている。 In the present embodiment, the number of substrates 3 on which the coating 3 is applied is registered in advance in the system control unit.

その登録されている基板３の枚数の塗布動作、及び塗布量の測定が完了していない場合、図２にしめすように、ステップ１（Ｓ１）：基板の第１の移動工程へ戻り（図２中の矢印Ａ）、再び、ステップ１〜ステップ９の工程を繰り返す。 When the application operation for the number of registered substrates 3 and the measurement of the application amount have not been completed, as shown in FIG. 2, step 1 (S1): return to the first movement process of the substrate (FIG. 2). Middle arrow A), the steps 1 to 9 are repeated again.

また、その登録されている基板３の枚数の塗布動作、及び塗布量の測定が完了すると、自動的に、塗布装置１の塗布動作と、塗布量の測定・判定動作を停止（図２中の矢印Ｂ）、もしくは、次のパレット１１を投入し、次のパレット１１上の基板２に対する塗布動作を開始する。 When the coating operation for the number of registered substrates 3 and the measurement of the coating amount are completed, the coating operation of the coating apparatus 1 and the measurement / determination operation of the coating amount are automatically stopped (in FIG. 2). Arrow B) or the next pallet 11 is loaded, and the coating operation on the substrate 2 on the next pallet 11 is started.

以上が、本実施形態における塗布装置１の動作である。 The above is the operation of the coating apparatus 1 in the present embodiment.

［３］ステップ８（Ｓ８）：塗布装置校正確認工程の詳細説明
次に、本実施形態における塗布装置１の動作のうち、ステップ８（Ｓ８）：塗布装置校正確認工程に関して、詳しく説明する。 [3] Step 8 (S8): Detailed Description of Coating Device Calibration Confirmation Step Next, among the operations of the coating device 1 in the present embodiment, Step 8 (S8): Coating device calibration confirmation step will be described in detail.

図８は、本発明の実施の形態１における塗布装置の動作における塗布装置校正確認工程の詳細のフローチャートを示すものである。 FIG. 8 is a flowchart showing details of the coating device calibration confirmation step in the operation of the coating device according to Embodiment 1 of the present invention.

図８に示すように、本実施形態における塗布装置の動作における塗布装置校正確認工程は、
（１）ステップ８０１（Ｓ８０１）：要否判定工程
（２）ステップ８０２（Ｓ８０２）：塗布物吐出ヘッド移動工程
（３）ステップ８０３（Ｓ８０３）：第２の塗布物の塗布工程
（４）ステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程
（５）ステップ８０５（Ｓ８０５）：吐出量校正工程
（６）ステップ８０６（Ｓ８０６）：測定重量換算関係校正工程
のステップ１〜ステップ９にて、構成されている。 As shown in FIG. 8, the coating device calibration check process in the operation of the coating device in the present embodiment is as follows.
(1) Step 801 (S801): Necessity determining step
(2) Step 802 (S802): Application Discharge Head Moving Process (3) Step 803 (S803): Second Application Application Process (4) Step 804 (S804): Physical Weight of Second Application Measurement step (5) Step 805 (S805): Discharge amount calibration step (6) Step 806 (S806): Steps 1 to 9 of the calibration step related to measurement weight conversion are configured.

それでは、図１、図８〜図１１を用いて、本実施形態の塗布装置１の動作における塗布装置校正確工程に関して、詳しく説明する。 Now, with reference to FIG. 1 and FIGS. 8 to 11, the application apparatus calibration process in the operation of the application apparatus 1 of the present embodiment will be described in detail.

[３]―（１）ステップ８０１（Ｓ８０１）：要否判定工程
まずはじめに、システム制御部は、塗布装置１の塗布動作、及び塗布物３の塗布量の測定が正しく行われているかどうかを確認する必要性の要否の判定する。 [3]-(1) Step 801 (S801): Necessity determination process First, the system control unit confirms whether the coating operation of the coating apparatus 1 and the measurement of the coating amount of the coating 3 are correctly performed. Judgment of necessity of necessity.

前述のように、例えば、一般的に、製造シフト開始前や、基板２の製造管理ロットが変更になった場合、及び規定枚数の基板２を製造した場合には、塗布装置１の塗布動作、及び塗布物３の塗布量の測定が正しく行われているかどうかを確認する必要があるため、この必要性を「要」となるように、予め設定されており、これらのタイミング、すなわち、塗布装置校正確認工程にて「要」と判定された場合は、後述のステップ８０２〜ステップ８０６を実施する。 As described above, for example, in general, before the start of the manufacturing shift, when the manufacturing management lot of the substrate 2 is changed, and when a specified number of substrates 2 are manufactured, the coating operation of the coating apparatus 1, In addition, since it is necessary to confirm whether or not the measurement of the coating amount of the coated material 3 is correctly performed, this necessity is set in advance so as to be “necessary”. When it is determined as “necessary” in the calibration confirmation process, Steps 802 to 806 described later are performed.

[３]―（２）ステップ８０２（Ｓ８０２）：塗布物吐出ヘッド移動工程
図９は、本発明の実施の形態１における塗布物吐出ヘッド移動工程後の塗布装置の斜視図を示し、図１０は、図９内の拡大斜視図を示すものである。 [3]-(2) Step 802 (S802): Coating Product Discharge Head Moving Step FIG. 9 is a perspective view of the coating apparatus after the coating material discharge head moving step in Embodiment 1 of the present invention, and FIG. FIG. 10 is an enlarged perspective view in FIG. 9.

まずはじめに、図９、図１０に示すように、システム制御部は、移動ステージ８によって、塗布物吐出ヘッド４を、重量測定部７の台座９上に移動させる。 First, as shown in FIGS. 9 and 10, the system control unit moves the coating material discharge head 4 onto the base 9 of the weight measuring unit 7 by the moving stage 8.

[３]―（３）ステップ８０３（Ｓ８０３）：第２の塗布物の塗布工程
次に、システム制御部は、重量測定部７の台座９上に、塗布材料を所定量吐出し、塗布材料（図示なし）を塗布物（第２の塗布物の一例、図１に図示）１０として台座９上に塗布する。本実施形態においては、塗布物１０の物理的重量ＷＰ２が、前述の塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と同量の３［ｍｇ］となる条件（吐出圧力、吐出時間）にて塗布を行う。 [3]-(3) Step 803 (S803): Application process of second application material Next, the system control unit discharges a predetermined amount of application material onto the base 9 of the weight measurement unit 7, and applies the application material ( (Not shown) is applied on the base 9 as an application (an example of the second application, shown in FIG. 1) 10. In the present embodiment, the coating is performed under conditions (discharge pressure, discharge time) in which the physical weight WP2 of the coating 10 is 3 [mg], which is the same amount as the physical measurement weight WP1 of the coating 3 described above. .

[３]―（４）ステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程
次に、システム制御部は、重量測定部７を用いて、台座９上に塗布された塗布物１０の重量である物理的測定重量ＷＰ２を測定する。 [3]-(4) Step 804 (S804): Physical Weight Measurement Step of Second Application Next, the system control unit uses the weight measurement unit 7 to apply the application 10 applied on the base 9. The physical measurement weight WP2 is measured.

本実施形態における重量測定部７は、前述のように、電子天秤（ＭＥＴＴＬＥＲＴＯＬＥＤＯ社製、製品名：ＷＭＣ２５-ＳＨ）を用いた。
[３]―（５）ステップ８０５（Ｓ８０５）：吐出量校正工程
次に、システム制御部は、前述のステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程にて測定された塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２に基づいて、塗布物吐出ヘッド４から吐出される塗布材料の吐出量を変更する。
本実施形態においては、塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２が、予め定められた範囲外であった場合に、具体的には、３．０＋／−２０％以上乖離している場合に、システム制御部は、吐出量制御部（図示なし）を制御し、塗布物吐出ヘッド４の塗布材料の吐出圧力や吐出時間を調整することによって、塗布物吐出ヘッド４から吐出される塗布材料の吐出量を変更する。 As described above, an electronic balance (manufactured by METTTLER TOLEDO, product name: WMC25-SH) was used for the weight measuring unit 7 in the present embodiment.
[3]-(5) Step 805 (S805): Discharge amount calibration process Next, the system control unit applies the coating measured in the above-described Step 804 (S804): Physical weight measurement process of the second coated material. Based on the physical measurement weight WP2 of the article 10, the ejection amount of the coating material ejected from the application material ejection head 4 is changed.
In the present embodiment, when the physical measurement weight WP2 of the coated object 10 is out of a predetermined range, specifically, when the deviation is 3.0 +/− 20% or more, the system The control unit controls the discharge amount control unit (not shown) and adjusts the discharge pressure and discharge time of the coating material of the coating material discharge head 4 to thereby discharge the coating material discharged from the coating material discharge head 4. To change.

[３]―（６）ステップ８０６（Ｓ８０６）：測定重量換算関係校正工程
次に、システム制御部は、前述のステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程にて測定された塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２と、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程にて算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１とに基づいて、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程における測定重量換算関係を変更する。
本実施形態においては、予め定められた範囲外であった場合に、具体的には、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１が塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２に対し＋／−５％以上乖離している場合に、システム制御部は、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程における測定重量換算関係を変更する。
図１１は、本発明の実施の形態１における塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）と、測定重量換算関係校正工程における測定重量換算関係を説明する図を示すものである。
図１１中の実線は、変更前の塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）を示す一次関数近似直線である。
図１１に示すように、塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２が１．０ｇであり、その時、塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１が０．０５ｇとなっている場合に関して説明する。
この場合、ＷＯ１−ＷＰ２は、−０．０５［ｍｇ］であるため、システム制御部は、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）を示す一次関数近似直線を、図１１中の点線で示すように、＋０．０５［ｍｇ］分（図１１においては上方に）シフトさせる。このようにして、システム制御部は、前述のステップ８０４（Ｓ８０４）：第２の塗布物の物理的重量測定工程にて測定された塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２と、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程にて算出された塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１とに基づいて、前述のステップ５（Ｓ５）：第１の塗布物の物理的重量算出工程における測定重量換算関係を変更するのである。 [3]-(6) Step 806 (S806): Measurement weight conversion relation calibration process Next, the system control unit is measured in the above-described Step 804 (S804): Physical weight measurement process of the second coating material. Based on the physical measured weight WP2 of the applied product 10 and the physical measured weight WP1 of the applied product 3 calculated in the aforementioned step 5 (S5): physical weight calculating step of the first applied product, Step 5 (S5) described above: The measurement weight conversion relationship in the physical weight calculation step of the first coated material is changed.
In this embodiment, when it is outside the predetermined range, specifically, the physical measurement weight WP1 of the coating 3 is +/− 5% or more with respect to the physical measurement weight WP2 of the coating 10. When there is a divergence, the system control unit changes the measured weight conversion relationship in the above-described step 5 (S5): physical weight calculation step of the first applied material.
FIG. 11 shows the correlation (measured weight conversion relationship) between the physical measurement weight WP1 of the coating 3 and the optical measurement weight WO1 of the coating 3 in the first embodiment of the present invention, and the measured weight conversion relationship calibration step. The figure explaining the measurement weight conversion relationship is shown.
The solid line in FIG. 11 is a linear function approximate line indicating the correlation (measured weight conversion relationship) between the physical measured weight WP1 of the coated material 3 and the optically measured weight WO1 of the coated material 3 before the change.
As shown in FIG. 11, the case where the physical measurement weight WP2 of the coating 10 is 1.0 g and the optical measurement weight WO1 of the coating 3 is 0.05 g at that time will be described.
In this case, since WO1-WP2 is −0.05 [mg], the system control unit correlates the physical measurement weight WP1 of the coating 3 and the optical measurement weight WO1 of the coating 3 (measurement weight). The linear approximation line indicating the conversion relationship) is shifted by +0.05 [mg] (upward in FIG. 11) as indicated by the dotted line in FIG. In this way, the system control unit performs the above-described step 804 (S804): the physical measurement weight WP2 of the coating 10 measured in the physical weight measurement process of the second coating, and the above-described step 5 ( S5): Based on the physical measured weight WP1 of the coating 3 calculated in the physical weight calculation step of the first coating, Step 5 (S5): Physical weight of the first coating The measured weight conversion relationship in the calculation process is changed.

なお、本実施形態においては、塗布物３の物理的測定重量ＷＰ１と塗布物３の光学的測定重量ＷＯ１との相関関係（測定重量換算関係）を示す一次関数近似直線を、図１１中の点線で示すように、＋０．２［ｍｇ］分（図１１においては上方に）シフトさせる方法を用いたが、その他、複数の物理的重量ＷＰ２に対し、複数の物理的測定重量ＷＰ１を求め、その結果を用いて、新たな測定重量換算式を算出する方法も用いてもよい。 In the present embodiment, a linear approximation line indicating the correlation (measured weight conversion relationship) between the physical measurement weight WP1 of the coating 3 and the optical measurement weight WO1 of the coating 3 is represented by a dotted line in FIG. As shown in FIG. 11, a method of shifting by +0.2 [mg] (upward in FIG. 11) was used, but in addition, a plurality of physical measurement weights WP1 were obtained for a plurality of physical weights WP2, You may also use the method of calculating a new measured weight conversion formula using a result.

以上が、本実施形態の塗布装置１の動作における塗布装置校正確工程の説明である。 The above is the description of the coating apparatus calibration process in the operation of the coating apparatus 1 of the present embodiment.

[４]本実施形態における効果
すなわち、本発明においては、重量測定部７と、塗布材料吐出ヘッド４を、基板２上、及び重量測定部７上に移動させる移動ステージ８と、を設け、システム制御部は、移動ステージ８を制御し、塗布材料吐出ヘッド４を、基板２上、及び重量測定部７上に移動させ、吐出量制御部（図示なし）を制御し、塗布材料吐出ヘッド４から、塗布材料を、重量測定部７上の台座９に、所定量吐出し、塗布材料を第２の塗布物１０として台座９上に塗布し、重量測定部７を制御し、台座９に吐出された第２の塗布物１０の物理的測定重量ＷＰ２を測定し、少なくとも前記第１の塗布物の物理的測定重量ＷＰ１、もしくは第２の塗布物の物理的測定重量ＷＰ２のどちらか一方に基づいて、前記塗布材料の前記測定重量換算関係もしくは前記塗布材料の塗布量を変更することができるので、その結果として、基板上に正確な物理的測定重量ＷＰ１を有する塗布材料を塗布することができるのである。 [4] Effects in the Present Embodiment That is, in the present invention, the weight measuring unit 7 and the moving stage 8 for moving the coating material discharge head 4 onto the substrate 2 and the weight measuring unit 7 are provided, and the system The control unit controls the moving stage 8, moves the coating material discharge head 4 onto the substrate 2 and the weight measurement unit 7, controls a discharge amount control unit (not shown), and starts from the coating material discharge head 4. The coating material is discharged onto the pedestal 9 on the weight measuring unit 7 by a predetermined amount, the coating material is applied onto the pedestal 9 as the second coated material 10, and the weight measuring unit 7 is controlled and discharged onto the pedestal 9. The physical measurement weight WP2 of the second coating 10 is measured, and is based on at least one of the physical measurement weight WP1 of the first coating and the physical measurement weight WP2 of the second coating. , The measured weight conversion function of the coating material Or it is possible to change the application amount of the coating material, as a result, it is possible to apply the coating material having a precise physical measurement weight WP1 on the substrate.

本発明は、基板上に正確な物理的測定重量ＷＰ１を有する塗布材料を塗布することができる塗布装置を提供することができるので、例えば、超精密で微量な材料を塗布する必要がある分野における塗布装置として有用である。 Since the present invention can provide a coating apparatus that can apply a coating material having an accurate physical measurement weight WP1 on a substrate, for example, in a field where it is necessary to apply an ultra-precise and trace amount of material. It is useful as a coating device.

１塗布装置
２基板
３塗布物（第１の塗布物の一例）
４塗布物吐出ヘッド（塗布材料吐出手段の一例）
６撮像部
７重量測定部
８移動ステージ（移動手段の一例）
９台座
１０塗布物（第２の塗布物の一例）
１１パレット
１２パレット移動ステージ（基板移動手段の一例） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Application | coating apparatus 2 Board | substrate 3 Application | coating material (an example of 1st application material)
4 Coating material ejection head (an example of coating material ejection means)
6 Imaging unit 7 Weight measuring unit 8 Moving stage (an example of moving means)
9 Base 10 Application (Example of second application)
11 Pallet 12 Pallet moving stage (an example of substrate moving means)

Claims

A coating material discharging means for discharging a predetermined amount of a coating material onto the substrate, and coating the coating material on the substrate as a first coated material;
A discharge amount control unit for controlling a discharge amount of the coating material by the coating material discharge unit;
An imaging unit that images the first application and acquires image data of the application;
Based on the image data of the first coating material, an optical measurement weight of the first coating material is calculated, and then the optical measurement weight of the first coating material is converted into a measurement weight prepared in advance. Using a relationship, a weight calculation unit for calculating a physical measurement weight of the first coated material;
A system control unit for controlling the discharge amount control unit, the imaging unit, and the weight calculation unit;
In a coating apparatus having
A weight measuring unit;
Moving means for moving the coating material discharging means on the substrate and on the weight measuring unit;
With
The system controller is
Controlling the moving means, moving the coating material discharging means on the substrate and on the weight measuring section;
The discharge amount control unit is controlled, and the coating material is discharged from the coating material discharge unit onto the pedestal on the weight measuring unit, and the coating material is discharged onto the pedestal as a second coating material. Apply,
Controlling the weight measuring unit, measuring the physical weight of the second applied material discharged to the pedestal,
Based on at least one of the physical measurement weight of the first coating material or the physical weight of the second coating material, at least one of the discharge amount of the coating material or the measured weight conversion relationship is determined. Is possible to change,
Coating device.

The system control unit compares the physical measurement weight of the first coating material with the physical weight of the second coating material, and compares the physical measurement weight of the first coating material with the second coating material. If the difference from the physical weight of the coating is outside the predetermined range, change the measured weight conversion relationship,
The coating apparatus according to claim 1.

The system control unit compares the physical measurement weight of the first coating material with the physical weight of the second coating material, and compares the physical measurement weight of the first coating material with the second coating material. If the physical weight of the coating does not match, based on the physical weight of the second coating, the first measured weight of the first coating in the measured weight conversion relationship is used. Change the conversion formula to convert to the physical measured weight of the coating of
The coating device according to claim 1.

The said conversion formula is a linear function, The coating device as described in any one of Claims 2-3.