JP2014153300A - 気体流量計用計測方法および計測装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】偏流防止装置として簡単な整流装置を用いても効率よく正確な計測を実現できる気体流量計用計測方法および計測装置を提供することにある。
【解決手段】整流装置20を有し気体流量計Eの校正または検査を実施する第1測定器2、この第1測定器2に連接され、整流装置20を有し気体流量計Eの検査または校正を実施する第2測定器3、およびこれらの両測定器2、3に対し一方の測定器2から他方の測定器3へと共通の基準流量を供給する基準流量供給装置4からなる連続測定装置1を備え、一方の測定器2で気体流量計Eの特性値を校正した後、この校正結果に基づき気体流量計Eの特性値を調整し、この調整結果に基づく気体流量計Eの特性値を他方の測定器3で検査することにより、校正用と検査用とに基準流量を共通使用することができる。
【選択図】 図1
Description
従来より、この種の計測方法および計測装置としては、ソニックノズル方式が専ら採用されている。
このソニックノズル方式は、図4に示すように、測定管101の一端側に、ベンチュリー形状のソニックノズル102および真空ポンプ103からなる基準流量供給手段104を備えた計測装置100を用い、測定管101には他端側から基準流量を導入して、測定管101に設置した気体流量計Eの特性値を計測するものである。
そして、気体流量計Eの特性値を上記計測装置100によって具体的に計測するに際しては、第1回目の計測で校正(「較正」とも称されている。)を行い、その校正結果に基づいて気体流量計Eの特性値の調整(ROMへの書き込みや抵抗値のトリミング等)を実施した後、第2回目の計測を行うことにより、調整後の特性値が正確であるか否かの合否を検査する、という校正手段と検査手段の2段階にわたって気体流量計Eの特性値の計測を実施していた。
しかしながら、上述の方式では、一台の計測装置100で2度計測を行わなければならず、しかも、測定管101の他端側から導入する基準流量の流れに偏流が生じる恐れがあり、都度計測条件が異なることになる。そのため、煩雑で正確性に欠ける計測手法となっており、改善策が待望されている。
なお、偏流を取り除く手段としては例えば特許文献1に記載のごとき偏流防止装置(整流装置の一種)が提案されていることから、かかる偏流防止装置を測定管101の他端側に装着することが考えられる。
また、本発明は、上記計測方法を実施するのに好適な気体流量計用計測装置を提供することにある。
請求項1に記載の発明(計測方法)は、測定対象の気体流量計に対しその特性値を校正と検査の2段階にわたって調整・検査するための計測方法であって、整流機能を有する第1の測定手段、この第1の測定手段の出口側に連接され、整流機能を有する第2の測定手段、および第1および第2の両測定手段に対し一方の測定手段から他方の測定手段へと共通の基準流量を供給する基準流量供給手段からなる連続測定手段を備え、一方の測定手段で気体流量計の特性値を校正した後、この校正結果に基づき気体流量計の特性値を調整し、この調整結果に基づく気体流量計の特性値を他方の測定手段で検査することを特徴としている。
請求項3に記載の発明(計測装置)は、測定対象の気体流量計に対しその特性値を校正と検査の2段階にわたって調整・検査するための計測装置であって、整流装置を有し気体流量計の校正または検査を実施する第1測定器、この第1測定器に連接され、整流装置を有し気体流量計の検査または校正を実施する第2測定器、およびこれらの両測定器に対し一方の測定器から他方の測定器へと共通の基準流量を供給する基準流量供給装置からなる連続測定装置を備え、各測定器の整流装置は、基準流量の流れ方向の上流側に配置された多孔板およびその下流側に配置されたハニカム構造体を有しており、気体流量計は、ハニカム構造体を経由した基準流量で計測されることを特徴としている。
まず、本発明の計測方法および計測装置の基本構成を図1に基づいて説明する。
第1測定器2および第2測定器3は、それぞれ一端側に入口管2a、3a、他端側に出口管2b、3bを有しており、第1測定器2の出口管2bと第2測定器3の入口管3aとが連接され、第2測定器3の出口管3bに基準流量供給装置4が接続されている。
そして、第1測定器2および第2測定器3には、その出口管2b、3bに気体流量計Eが配置される。したがって、当該出口管2b、3bが測定管をなしている。
なお、各段で使用される基準流量は、気体流量計Eにおける計測ポイントの特性値に合わせて、例えば、上段から下段にかけて、段々大きくなる基準流量(No.1、No.2〜No.X)に設定されている。
第1測定器2および第2測定器3の基本構成は、図2に示す通りで、一端側の入口管2a、3aと他端側の出口管2b、3bとの間に、一対のベルマウス10、11とこの一対のベルマウス10、11にて挟持される整流装置20とを具有している。
一対のベルマウス10、11は、小径の入口管2a、3aおよび出口管2b、3bと大径の整流装置20とを流路面積が円滑に連なるように連接するためのもので、入口管2a、3a側に位置する一方のベルマウス10は上流側に向かって縮径形状を呈するラッパ型の拡大管をなしているのに対し、出口管2b、3b側に位置する他方のベルマウス11は逆に下流側に向かって縮径形状を呈するラッパ型の縮小管をなしている。
なお、整流装置20の具体的な構造の子細については後述するが、整流装置20は、基準用気体の偏流を抑制するための偏流防止装置である。
次に、上記構成の計測装置Mにおいて、気体流量計Eに実施する計測、つまり『校正工程』、『調整工程』および『検査工程』の手順を説明する。
したがって、気体流量計Eは、まず、『校正工程』において、各段の第1測定器2を(ア)〜(オ)まで上段から下段へと順次経由することにより各計測ポイントでの「校正」が実施され、その校正結果に基づいて続く『調整工程』で各計測ポイントでの特性値に対する必要な「調整」が行われる。この「調整」は、ROMへの書き込みや抵抗値のトリミング等によって気体流量計Eの特性値を調整する作業内容で、一般的に採用されている周知の手法である。
次いで、『検査工程』では、逆に(オ)〜(ア)の下段から上段まで、各段の第2測定器3を順次経由して各計測ポイントでの「検査」が実施され、調整後の特性値の確認(合否判定)がなされる。
まず、『校正工程』において、第1測定器2の入口管2aに導入される気流は偏流Aを伴なっているが、第1測定器2の整流装置20によって偏流成分が除去され整流Bとなって出口管(測定管)2bに供給される。このため,出口管(測定管)2bでは、気体流量計Eに対し、偏流Aの影響を受けることのない良好な「校正」が実施される。
また、『検査工程』においては、前工程の『校正工程』において気体流量計Eを通過することにより流れが乱れることになるため、第2測定器3の入口管3aに導入される気体にも偏流Cが含まれることになる。第2測定器3においても、整流装置20によって偏流成分が除去され整流Dとなって出口管(測定管)3bに供給される。このため,出口管(測定管)3bでは、気体流量計Eに対し、偏流Cの影響を受けることのない良好な「検査」が実施される。
なお、気体流量計Eの出口管(測定管)2b、3bへの着脱は、図示を省略しているが自動的に行えることは言うまでもなく、気体流量計Eの計測工程を一連の自動化ラインとして構築することができる。
次に、本実施例における計測装置Mの特筆すべき事項について説明する。
しかしながら、かくした場合、整流器自体の圧力損失が大きいため、基準流量供給装置4への負荷が増大し、より強力な基準流量供給装置4が必要になる(懸念点1)。また、対象とする流量レンジが広い場合には、対象とする流量レンジを決め、そのレンジ毎に整流器の形状を最適化しなければならない(懸念点2)。
図3において、一対のベルマウス10、11によって挟持する整流装置20には、中空円筒状の筐体21内に、その一端(入口側)から他端(出口側)に向かって、第1パンチングメタル(多孔板)22、第2パンチングメタル(多孔板)23、およびハニカム構造体24が順次配設されている。なお、筐体21は、組付けの関係上3分割されており、各分割筒21a、21b、21cに第1パンチングメタル22、第2パンチングメタル23、ハニカム構造体24が収納されている。
上記構成からなる第1測定器2および第2測定器3における構成要素別の作用効果は、次の通りである。
(1)拡大管(ベルマウス10);配管径を拡大させることで流速を低減させることができる。この流速を低減させることで後方に配置する多孔板(パンチングメタル22、23)をより圧力損失の小さなものとすることができる。
(2)多孔板(パンチングメタル22、23);2枚のパンチングメタル22、23のそれぞれに役割を持たせることで、トータルでの圧力損失を低減することができる。
すなわち、1枚目(第1パンチングメタル22)では、偏流の方向成分を整える機能(整流機能)に優れていると称されている、板厚と孔径の比が0.8を有するパンチングプレートを採用し、2枚目(第2パンチングメタル23)では、流速分布を平坦化できる最適の板厚、孔径、ピッチを実験にて決定するわけである。
(3)ハニカム構造体23;単位表面積あたりの孔面積を最大限に確保することができ、圧力損失をさほど招くことなく流速分布を平坦化できる最適長を選定することができる。
(4)縮小管(ベルマウス11);元の配管径に戻し、偏流を抑制させた最終的な流速分布を形成する。
以上、本発明の計測方法および計測装置を一実施例について詳述してきたが、本発明の精神を逸脱しない範囲で種々変形することが可能であり、その変形例のいくつかを例示する。
(2)また、図1の実施例および上記変形例(1)では、校正用を(ア)→(オ)の順とし、検査用を(オ)→(ア)の順にして相互に逆方向の計測ポイントから計測が実施されるような流れ作業の手順としたが、例えば、図1において、検査用の手順を校正用と同じく(ア)→(オ)の順にし、順方向の計測ポイントから計測が実施されるようにすることもできる。
(3)なお、気体流量計Eの特性値の計測ポイントが1点の場合には、1段の連続測定装置1だけで計測装置Mを構成しても良いことは勿論である。
つまり、図3に示す測定器2を1台単独で用い、この測定器2の出口管2bに基準流量を供給する基準流量供給装置4を直接連接することにより、入口管2aからベルマウス(拡大管)10を介して流入し整流装置20で整流されベルマウス(縮小管)11を介して出口管2bへ流出する基準流量によって気体流量計Eの特性値を計測することができる。
Claims (5)
- 測定対象の気体流量計(E)に対しその特性値を校正と検査の2段階にわたって調整・検査するための計測方法であって、
整流機能(20)を有する第1の測定手段(2)、この第1の測定手段(2)の出口側に連接され、整流機能(20)を有する第2の測定手段(3)、および前記両測定手段(2、3)に対し一方の測定手段(2)から他方の測定手段(3)へと共通の基準流量を供給する基準流量供給手段(4)からなる連続測定手段(1)を備え、
一方の前記測定手段(2)で前記気体流量計(E)の特性値を校正した後、
この校正結果に基づき前記気体流量計(E)の特性値を調整し、
この調整結果に基づく前記気体流量計(E)の特性値を他方の前記測定手段(3)で検査することを特徴とする気体流量計用計測方法。 - 請求項1に記載の気体流量計用計測方法において、
前記連続測定手段(1)を複数段備え、
各段で前記気体流量計(E)の特性値を段階的に計測していくことを特徴とする気体流量計用計測方法。 - 測定対象の気体流量計(E)に対しその特性値を校正と検査の2段階にわたって調整・検査するための計測装置(M)であって、
整流装置(20)を有し前記気体流量計(E)の校正または検査を実施する第1測定器(2)、この第1測定器(2)に連接され、整流装置(20)を有し検査または校正を実施する第2測定器(3)、および前記両測定器(2、3)に対し一方の測定器(2)から他方の測定器(3)へと共通の基準流量を供給する基準流量供給装置(4)からなる連続測定装置(1)を備え、
前記第1測定器(2)および第2測定器(3)の整流装置(20)は、基準流量の流れ方向の上流側に多孔板(21、22)、その下流側にハニカム構造体(23)をそれぞれ配置して構成されており、
前記気体流量計(E)は、前記ハニカム構造体(23)を経由した基準流量で計測されることを特徴とする気体流量計用計測装置。 - 請求項3に記載の気体流量計用計測装置において、
前記整流装置(20)には、前記多孔板(21、22)の上流側に上流に向かって縮径形状を呈する拡大管(10)、前記ハニカム構造体(24)の下流側に下流に向かって縮径形状を呈する縮小管(11)をそれぞれ配置することを特徴とする気体流量計用計測装置。 - 測定対象の気体流量計(E)に対しその特性値を計測するための計測装置(M)であって、
整流装置(20)を有し、前記気体流量計(E)の計測を実施する測定器(2、3)と、この測定器(2、3)に連接され、前記測定器(2、3)に基準流量を供給する基準流量供給装置(4)とを備え、
前記整流装置(20)は、基準流量の流れ方向の上流側に多孔板(21、22)、その下流側にハニカム構造体(23)をそれぞれ配置して構成されており、かつ、
前記整流装置(20)には、前記多孔板(21、22)の上流側に上流に向かって縮径形状を呈する拡大管(10)、前記ハニカム構造体(24)の下流側に下流に向かって縮径形状を呈する縮小管(11)がそれぞれ配置されており、
前記気体流量計(E)は、前記縮小管(11)を経由した基準流量で計測されることを特徴とする気体流量計用計測装置。
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