JP2014146525A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014146525A JP2014146525A JP2013014979A JP2013014979A JP2014146525A JP 2014146525 A JP2014146525 A JP 2014146525A JP 2013014979 A JP2013014979 A JP 2013014979A JP 2013014979 A JP2013014979 A JP 2013014979A JP 2014146525 A JP2014146525 A JP 2014146525A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- detection circuit
- temperature
- mass spectrometer
- frequency voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
【解決手段】 四重極電極111に印加される高周波電圧の振幅を検出する検波回路110と,検波回路出力をアナログ−ディジタル変換する回路107と,ディジタル化された検波回路出力と振幅目標値との誤差を算出し振幅を調整するディジタル回路101を用いてフィードバック制御を行うように構成し,検波回路110およびアナログ−ディジタル変換回路107,またはどちらか一方を有する制御基板に,同制御基板に搭載した発熱部品と,感温素子と,温度制御回路を用いて,検波回路110およびアナログ−ディジタル変換回路107を恒温化する。
【選択図】 図1
Description
具体的一例は、測定試料に電荷を与えるイオン源と、前記イオン源で生成したイオンを装置内に導入するインターフェースと、四重極電極を単数もしくは複数具備し、イオンを検出するためのイオン検出部と,高周波電圧を生成するための手段を備えた質量分析装置において,
該高周波電圧生成手段は,四重極電極に印加される高周波電圧の振幅を検出する検波回路と,検波回路出力をアナログ−ディジタル変換する回路と,ディジタル化された検波回路出力と振幅目標値との誤差を算出し振幅を調整するディジタル回路を用いてフィードバック制御を行うように構成し,
前記,検波回路およびアナログ−ディジタル変換回路,またはどちらか一方を有する制御基板に,同制御基板に搭載した発熱部品と,感温素子と,温度制御回路を用いて,検波回路およびアナログ−ディジタル変換回路を恒温化することを特徴とする。
107・・・ADコンバータ回路
110・・・検波回路
200・・・制御基板
203・・・FET
204・・・サーミスタ
205・・・温度制御回路
300・・・伝熱性材料
301a・・・表面カバー
301b・・・裏面カバー
500・・・イオン源
520・・・インターフェース
550・・・検出器
Claims (3)
- 測定試料に電荷を与えるイオン源と、前記イオン源で生成したイオンを装置内に導入するインターフェースと、四重極電極を単数もしくは複数具備し、イオンを検出するためのイオン検出部と,高周波電圧を生成するための高周波電圧生成手段を備えた質量分析装置において,
該高周波電圧生成手段は,四重極電極に印加される高周波電圧の振幅を検出する検波回路と,検波回路出力をアナログ−ディジタル変換する回路と,ディジタル化された検波回路出力と振幅目標値との誤差を算出し振幅を調整するディジタル回路を用いてフィードバック制御を行うように構成し,
前記,検波回路およびアナログ−ディジタル変換回路,またはどちらか一方を有する制御基板に,同制御基板に搭載した発熱部品と,感温素子と,温度制御回路を用いて,検波回路およびアナログ−ディジタル変換回路を恒温化することを特徴とした質量分析装置。 - 請求項1において,検波回路およびアナログ−ディジタル変換回路,またはどちらか一方と,発熱部品と,感温素子と,温度制御回路を有する制御基板の裏面に伝熱性材料を接触させ,その表面と裏面をカバーで覆い密閉することを特徴とした質量分析装置。
- 請求項2において,伝熱性材料を裏面だけでなく,表面にも配置することを特徴とした質量分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013014979A JP6047414B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013014979A JP6047414B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 質量分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014146525A true JP2014146525A (ja) | 2014-08-14 |
JP6047414B2 JP6047414B2 (ja) | 2016-12-21 |
Family
ID=51426597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013014979A Active JP6047414B2 (ja) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6047414B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113176800A (zh) * | 2020-01-27 | 2021-07-27 | 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司 | 电源供应器 |
WO2022123895A1 (ja) * | 2020-12-07 | 2022-06-16 | 株式会社堀場エステック | 四重極型質量分析計及び残留ガス分析方法 |
WO2022157905A1 (ja) | 2021-01-22 | 2022-07-28 | 株式会社日立ハイテク | 質量分析装置 |
WO2023144876A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | 株式会社日立ハイテク | 質量分析装置及び質量分析装置のrfチューニング方法 |
JP7480364B2 (ja) | 2021-01-22 | 2024-05-09 | 株式会社日立ハイテク | 質量分析装置とその制御方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11336290B2 (en) | 2020-03-30 | 2022-05-17 | Thermo Finnigan Llc | Amplifier amplitude digital control for a mass spectrometer |
US11270874B2 (en) | 2020-03-30 | 2022-03-08 | Thermo Finnigan Llc | Amplifier amplitude digital control for a mass spectrometer |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002033072A (ja) * | 2000-07-18 | 2002-01-31 | Japan Atom Energy Res Inst | 四極子質量分析計用四極子電極印加電圧発生回路 |
US20130015343A1 (en) * | 2011-07-15 | 2013-01-17 | Bruker Daltonics, Inc. | Radio Frequency Voltage Temperature Stabilization |
-
2013
- 2013-01-30 JP JP2013014979A patent/JP6047414B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002033072A (ja) * | 2000-07-18 | 2002-01-31 | Japan Atom Energy Res Inst | 四極子質量分析計用四極子電極印加電圧発生回路 |
US20130015343A1 (en) * | 2011-07-15 | 2013-01-17 | Bruker Daltonics, Inc. | Radio Frequency Voltage Temperature Stabilization |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113176800A (zh) * | 2020-01-27 | 2021-07-27 | 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司 | 电源供应器 |
WO2022123895A1 (ja) * | 2020-12-07 | 2022-06-16 | 株式会社堀場エステック | 四重極型質量分析計及び残留ガス分析方法 |
WO2022157905A1 (ja) | 2021-01-22 | 2022-07-28 | 株式会社日立ハイテク | 質量分析装置 |
JP7449418B2 (ja) | 2021-01-22 | 2024-03-13 | 株式会社日立ハイテク | 質量分析装置 |
JP7480364B2 (ja) | 2021-01-22 | 2024-05-09 | 株式会社日立ハイテク | 質量分析装置とその制御方法 |
WO2023144876A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | 株式会社日立ハイテク | 質量分析装置及び質量分析装置のrfチューニング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6047414B2 (ja) | 2016-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6047414B2 (ja) | 質量分析装置 | |
CN107769589B (zh) | 温度补偿式整流组件 | |
EP2175246B1 (en) | A method for measuring a fluid composition parameter by means of a flow sensor | |
JP6662957B2 (ja) | イオン改質 | |
US9746438B2 (en) | Humidity sensor with temperature compensation | |
US9244032B2 (en) | Gas detecting apparatus and gas detecting method | |
CN102345886A (zh) | 温度传感器和具有所述温度传感器的感应加热烹饪器 | |
JP2013538612A5 (ja) | 電磁界分布を生成するシステム | |
CN109560803B (zh) | 接近传感器 | |
CN105247355A (zh) | 用于测量气体混合物的气体组份的导热能力的装置 | |
CN101776727A (zh) | 一种利用真空环境测量电子元器件工作结温和热阻的方法 | |
JP6344101B2 (ja) | ガス検出装置 | |
CN208092569U (zh) | 温度受控电子设备、控制电路以及离子光学装置 | |
WO2017122090A1 (en) | Air flow sensor for fan cooled systems | |
JP2017009472A (ja) | ガス検出装置 | |
JP2002328045A (ja) | 計測装置 | |
US20210368584A1 (en) | Passive and active calibration methods for a resistive heater | |
US10508930B2 (en) | Method of manufacturing proximity sensor and manufacturing system for proximity sensor | |
KR20150037458A (ko) | 열전 소자 측정 장치 및 방법 | |
US11562891B2 (en) | Method of temperature measurement used in radio-frequency processing apparatus for semiconductor | |
JP7449418B2 (ja) | 質量分析装置 | |
Frey et al. | Digital systems architecture to accommodate wide range resistance changes of metal-oxide sensors | |
US11650088B2 (en) | Thermal flow sensor for determining the temperature and the flow velocity of a flowing measuring medium | |
WO2016210429A1 (en) | Inertial mems sensor thermal management systems and methods | |
JPH06249864A (ja) | 風速センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151211 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151211 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161014 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6047414 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |