JP2014138108A - Multiple mounted component of lead frame, multiple mounted component of lead frame with resin, and multiple mounted component of optical semiconductor device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multiple mounted component of a lead frame capable of suppressing warpage occurrence, a multiple mounted component of a lead frame with a resin and a multiple mounted component of an optical semiconductor device.SOLUTION: A multiple mounted component MS of a lead frame has a plurality of terminal parts 11, 12, and a reflector 20a projecting to surface sides of terminal parts 11, 12 is formed. In the multiple mounted component MS of the lead frame in which a lead frame 10 used for an optical semiconductor device 1 in which an LED element 2 is connected to at least of one surface of terminal parts 11, 12, is multiple-mounted to a frame F, at least part of a rear surface of the frame F has a step D recessed with respect to rear surfaces of terminal parts 11, 12.

Description

本発明は、光半導体素子を実装する光半導体装置用のリードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体に関するものである。   The present invention relates to a multifaceted body of a lead frame for an optical semiconductor device on which an optical semiconductor element is mounted, a multifaceted body of a lead frame with a resin, and a multifaceted body of an optical semiconductor device.

従来、ＬＥＤ素子等の光半導体素子は、電気的に絶縁され、樹脂層で覆われた２つの端子部を有するリードフレームに固定され、その周囲を透明樹脂層によって覆い、光半導体装置として照明装置等の基板に実装されていた（例えば、特許文献１）。
このような光半導体装置の中には、端子部を覆う樹脂層が、光半導体素子を囲むようにして、光半導体素子の搭載面から突出するようにリフレクタが形成され、光半導体素子から発光する光の方向等を制御するものがある。このような光半導体装置は、多面付けされたリードフレーム（リードフレームの多面付け体）に樹脂層を形成して樹脂付きリードフレームの多面付け体を作製し、光半導体素子を電気的に接続し、透明樹脂層を形成して、パッケージ単位に切断することによって製造される。
ここで、このリードフレームは、銅などの金属により形成され、樹脂層は、熱硬化性樹脂等の樹脂により形成される。そのため、リードフレームの多面付け体には、リフレクタが形成される側の面が、その面とは反対側の面に比べ樹脂が多く形成されるため、この樹脂層の硬化過程において、金属及び樹脂の線膨張率の差によって、樹脂付きリードフレームの多面付け体に反りが生じてしまう場合があった。 2. Description of the Related Art Conventionally, an optical semiconductor element such as an LED element is fixed to a lead frame having two terminal portions that are electrically insulated and covered with a resin layer, and its periphery is covered with a transparent resin layer. (For example, patent document 1).
In such an optical semiconductor device, a reflector is formed so that a resin layer covering the terminal portion surrounds the optical semiconductor element and protrudes from the mounting surface of the optical semiconductor element. Some control the direction. In such an optical semiconductor device, a resin layer is formed on a multi-sided lead frame (a multi-sided body of a lead frame) to produce a multi-sided body of a lead frame with resin, and the optical semiconductor elements are electrically connected. It is manufactured by forming a transparent resin layer and cutting it into package units.
Here, the lead frame is formed of a metal such as copper, and the resin layer is formed of a resin such as a thermosetting resin. Therefore, in the multi-faced body of the lead frame, the surface on the side where the reflector is formed is formed with more resin than the surface opposite to the surface. Therefore, in the curing process of the resin layer, metal and resin In some cases, the multifaceted body of the lead frame with resin may be warped due to the difference in linear expansion coefficient.

特開２０１１−１５１０６９号公報JP 2011-151069 A

本発明の課題は、反りの発生を抑制することができるリードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体を提供することである。   An object of the present invention is to provide a multi-sided body of a lead frame, a multi-sided body of a lead frame with resin, and a multi-sided body of an optical semiconductor device capable of suppressing the occurrence of warping.

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。   The present invention solves the above problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this. In addition, the configuration described with reference numerals may be improved as appropriate, or at least a part thereof may be replaced with another configuration.

第１の発明は、複数の端子部（１１、１２）を有し、前記端子部の表面側に突出する樹脂部（２０ａ）が形成され、前記端子部のうち少なくとも一つの表面に光半導体素子（２）が接続される光半導体装置（１）に用いられるリードフレーム（１０）が枠体（Ｆ）に多面付けされたリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記枠体は、その裏面の少なくとも一部が、前記端子部の裏面に対して窪んだ段部（Ｄ）を有すること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第２の発明は、第１の発明のリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記段部（Ｄ）は、前記枠体（Ｆ）の四隅を避けるようにして形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第３の発明は、第１の発明又は第２の発明のリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記段部（Ｄ）は、前記枠体（Ｆ）の外周縁を避けるようにして形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第４の発明は、第１の発明から第３の発明のいずれかのリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記段部（Ｄ）は、前記リードフレーム（１０）の互いに対向する前記端子部（１１、１２）間の領域（Ｓ）の延長部分と前記枠体（Ｆ）とが交差する位置に形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第５の発明は、第１の発明から第４の発明までのいずれかのリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記段部（Ｄ）は、多面付けされる前記各リードフレーム（１０）間の領域の延長部分と前記枠体（Ｆ）とが交差する位置に形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第６の発明は、第１の発明から第５の発明までのいずれかのリードフレームの多面付け体（ＭＳ）において、前記枠体（Ｆ）は孔部（Ｈ）を有し、前記段部（Ｄ）は、前記孔部及びその外周縁を避けるようにして形成されること、を特徴とするリードフレームの多面付け体である。
第７の発明は、第１の発明から第６の発明までのいずれかのリードフレームの多面付け体（ＭＳ）と、前記端子部（１１、１２）の外周側面及び前記端子部間に形成され、また、前記リードフレーム（１０）の前記光半導体素子（２）が接続される側の面に突出して形成される樹脂層（２０）とを備え、前記樹脂層は、前記枠体（Ｆ）の段部（Ｄ）にも形成されること、を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体（Ｒ）である。 1st invention has several terminal parts (11, 12), the resin part (20a) which protrudes in the surface side of the said terminal part is formed, and an optical semiconductor element is provided in at least one surface among the said terminal parts The lead frame (10) used in the optical semiconductor device (1) to which (2) is connected is a multi-faced body (MS) of a lead frame in which the lead frame (10) is multi-faced to the frame (F). At least a part of which has a stepped portion (D) that is recessed with respect to the back surface of the terminal portion.
According to a second aspect of the present invention, in the multi-faced body (MS) of the lead frame according to the first aspect, the step (D) is formed so as to avoid the four corners of the frame (F). The multi-faced body of the lead frame.
According to a third aspect of the present invention, in the multifaceted body (MS) of the lead frame according to the first aspect or the second aspect, the step (D) is formed so as to avoid the outer peripheral edge of the frame (F). A multi-faceted body of a lead frame characterized in that
According to a fourth aspect of the present invention, in the multi-faced body (MS) of the lead frame according to any one of the first to third aspects, the stepped portion (D) is the terminal of the lead frame (10) facing each other. The lead frame multi-faced body is characterized in that an extended portion of the region (S) between the portions (11, 12) and the frame (F) are formed to intersect each other.
According to a fifth aspect of the present invention, in the multifaceted body (MS) of any one of the leadframes from the first aspect to the fourth aspect, the stepped portion (D) is a multifaceted lead frame (10). The lead frame multi-faced body is characterized in that an extended portion of a region between the frame body and the frame body (F) intersects.
A sixth aspect of the present invention is the multifaceted body (MS) of any one of the first to fifth aspects of the present invention, wherein the frame (F) has a hole (H), and the stepped portion (D) is a multi-faced body of a lead frame, characterized in that it is formed so as to avoid the hole and its outer periphery.
The seventh invention is formed between the multi-faced body (MS) of any one of the lead frames from the first invention to the sixth invention, the outer peripheral side surface of the terminal part (11, 12) and the terminal part. And a resin layer (20) formed to project from the surface of the lead frame (10) on the side to which the optical semiconductor element (2) is connected, the resin layer comprising the frame (F) This is a multi-faced body (R) of a lead frame with resin, characterized in that it is also formed on the step (D).

第８の発明は、第７の発明の樹脂付きリードフレームの多面付け体（Ｒ）と、前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記各リードフレーム（１０）の前記端子部（１１、１２）のうち少なくとも一つに接続される光半導体素子（２）と、前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記光半導体素子が接続される側の面に形成され、前記光半導体素子を覆う透明樹脂層（３０）とを備えること、を特徴とする光半導体装置の多面付け体である。   According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a multifaceted body (R) of the leadframe with resin of the seventh invention and the terminal portions (11, 12) of the leadframes (10) of the multifaceted body of the leadframe with resin. An optical semiconductor element (2) connected to at least one of them, and a transparent resin formed on a surface of the multi-sided body of the resin-attached lead frame to which the optical semiconductor element is connected and covers the optical semiconductor element It is a multi-faced body of an optical semiconductor device characterized by comprising a layer (30).

本発明によれば、リードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置の多面付け体は、反りの発生を抑制することができる。   According to the present invention, the multifaceted body of the lead frame, the multifaceted body of the lead frame with resin, and the multifaceted body of the optical semiconductor device can suppress the occurrence of warpage.

第１実施形態の光半導体装置１の全体構成を示す図である。1 is a diagram illustrating an overall configuration of an optical semiconductor device 1 according to a first embodiment. 第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。1 is an overall view of a multifaceted body MS of a lead frame according to a first embodiment. 第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body MS of the lead frame of 1st Embodiment. 第１実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body R of the lead frame with resin of 1st Embodiment. 第１実施形態のリードフレーム１０の製造過程を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing process of the lead frame 10 of 1st Embodiment. 第１実施形態の光半導体装置１の多面付け体を示す図である。It is a figure which shows the multi-faced body of the optical semiconductor device 1 of 1st Embodiment. 第１実施形態の光半導体装置１の製造過程を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing process of the optical semiconductor device 1 of 1st Embodiment. トランスファ成形の概略を説明する図である。It is a figure explaining the outline of transfer molding. インジェクション成形の概略を説明する図である。It is a figure explaining the outline of injection molding. 第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。It is a general view of the multi-faced body MS of the lead frame of the second embodiment. 第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body MS of the lead frame of 2nd Embodiment. 第２実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body R of the lead frame with a resin of 2nd Embodiment. 第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。It is a general view of the multi-faced body MS of the lead frame of the third embodiment. 第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body MS of the lead frame of 3rd Embodiment. 第３実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body R of the lead frame with resin of 3rd Embodiment. 第４実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図及び樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細図である。FIG. 9 is an overall view of a multi-sided body MS of a lead frame according to a fourth embodiment and a detailed view of a multi-sided body R of a lead frame with resin. 第５実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body MS of the lead frame of 5th Embodiment. 第５実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body R of the lead frame with resin of 5th Embodiment. 第６実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body MS of the lead frame of 6th Embodiment. 第６実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body R of the lead frame with resin of 6th Embodiment. 第７実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body MS of the lead frame of 7th Embodiment. 第７実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。It is a figure explaining the detail of the multi-faced body R of the lead frame with a resin of 7th Embodiment. 変形形態の光半導体装置の多面付け体を示す図である。It is a figure which shows the multi-faced body of the optical semiconductor device of a deformation | transformation form.

（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態の光半導体装置１の全体構成を示す図である。
図１（ａ）は、光半導体装置１の平面図を示し、図１（ｂ）は、光半導体装置１の側面図を示し、図１（ｃ）は、光半導体装置１の裏面図を示す。図１（ｄ）は、図１（ａ）のｄ−ｄ断面図を示す。
図２は、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。
図３は、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。
図３（ａ）、図３（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの図２のａ部拡大の平面図、裏面図を示し、図３（ｃ）、図３（ｄ）は、それぞれ図３（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図４は、第１実施形態の光反射樹脂層２０が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。
図４（ａ）、図４（ｂ）は、それぞれ、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図４（ｃ）、図４（ｄ）は、それぞれ図４（ａ）のｃ−ｃ断面図と、ｄ−ｄ断面図を示す。
各図において、光半導体装置１の平面図における左右方向をＸ方向、上下方向をＹ方向、厚み方向をＺ方向とする。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings and the like.
FIG. 1 is a diagram illustrating an overall configuration of an optical semiconductor device 1 according to the first embodiment.
FIG. 1A shows a plan view of the optical semiconductor device 1, FIG. 1B shows a side view of the optical semiconductor device 1, and FIG. 1C shows a back view of the optical semiconductor device 1. . FIG.1 (d) shows the dd sectional drawing of Fig.1 (a).
FIG. 2 is an overall view of the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment.
FIG. 3 is a diagram for explaining the details of the multi-faced body MS of the lead frame according to the first embodiment.
3 (a) and 3 (b) are respectively a plan view and an enlarged back view of the portion a of FIG. 2 of the multifaceted body MS of the lead frame, and FIG. 3 (c) and FIG. The cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
FIG. 4 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin on which the light reflecting resin layer 20 of the first embodiment is formed.
4 (a) and 4 (b) respectively show a plan view and a back view of the multi-faced body R of the lead frame with resin, and FIGS. 4 (c) and 4 (d) respectively show FIG. The cc sectional view of a) and the dd sectional view are shown.
In each figure, the horizontal direction in the plan view of the optical semiconductor device 1 is the X direction, the vertical direction is the Y direction, and the thickness direction is the Z direction.

光半導体装置１は、外部機器等の基板に取り付けられることによって、実装したＬＥＤ素子２が発光する照明装置である。光半導体装置１は、図１に示すように、ＬＥＤ素子２（光半導体素子）、リードフレーム１０、光反射樹脂層２０（樹脂層）、透明樹脂層３０を備える。
光半導体装置１は、多面付けされたリードフレーム１０（図２参照）に光反射樹脂層２０を形成して樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（図４参照）を作製し、ＬＥＤ素子２を電気的に接続し、透明樹脂層３０を形成して、パッケージ単位に切断（ダイシング）することによって同時に複数製造される（詳細は後述する）。
ＬＥＤ素子２は、発光層として一般に用いられるＬＥＤ（発光ダイオード）の素子であり、例えば、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＧａＡｌＡｓ、ＧａＡｓＰ、ＡｌＩｎＧａＰ等の化合物半導体単結晶、又は、ＩｎＧａＮ等の各種ＧａＮ系化合物半導体単結晶からなる材料を適宜選ぶことにより、紫外光から赤外光に渡る発光波長を選択することができる。 The optical semiconductor device 1 is an illumination device in which the mounted LED element 2 emits light when attached to a substrate such as an external device. As shown in FIG. 1, the optical semiconductor device 1 includes an LED element 2 (optical semiconductor element), a lead frame 10, a light reflecting resin layer 20 (resin layer), and a transparent resin layer 30.
In the optical semiconductor device 1, a light reflecting resin layer 20 is formed on a multi-sided lead frame 10 (see FIG. 2) to produce a multi-sided body R (see FIG. 4) of a resin-attached lead frame. A plurality of them are manufactured at the same time by being electrically connected, forming a transparent resin layer 30, and cutting (dicing) into package units (details will be described later).
The LED element 2 is an LED (light emitting diode) element generally used as a light emitting layer. For example, a compound semiconductor single crystal such as GaP, GaAs, GaAlAs, GaAsP, and AlInGaP, or various GaN compound semiconductor single elements such as InGaN are used. By appropriately selecting a material made of crystals, an emission wavelength ranging from ultraviolet light to infrared light can be selected.

リードフレーム１０は、一対の端子部、すなわち、ＬＥＤ素子２が載置、接続される端子部１１と、ボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２に接続される端子部１２とから構成される。
端子部１１、１２は、それぞれ導電性のある材料、例えば、銅、銅合金、４２合金（Ｎｉ４０．５％〜４３％のＦｅ合金）等により形成されており、本実施形態では、熱伝導及び強度の観点から銅合金から形成されている。
端子部１１、１２は、図３に示すように、互いに対向する辺の間に空隙部Ｓが形成されており、電気的に独立している。端子部１１、１２は、１枚の金属基板（銅版）をプレス又はエッチング加工することにより形成されるため、両者の厚みは同等である。 The lead frame 10 includes a pair of terminal portions, that is, a terminal portion 11 on which the LED element 2 is placed and connected, and a terminal portion 12 connected to the LED element 2 through a bonding wire 2a.
Each of the terminal portions 11 and 12 is formed of a conductive material, for example, copper, a copper alloy, 42 alloy (Ni 40.5% to 43% Fe alloy), etc. In this embodiment, heat conduction and It is formed from a copper alloy from the viewpoint of strength.
As shown in FIG. 3, the terminal portions 11 and 12 have a gap S formed between sides facing each other, and are electrically independent. Since the terminal portions 11 and 12 are formed by pressing or etching a single metal substrate (copper plate), the thicknesses of both are the same.

端子部１１は、図１に示すように、その表面にＬＥＤ素子２が載置、接続されるＬＥＤ端子面１１ａが形成され、また、その裏面に外部機器に実装される外部端子面１１ｂが形成される、いわゆるダイパッドを構成する。端子部１１は、ＬＥＤ素子２が載置されるため、端子部１２に比べ、その外形が大きく形成されている。
端子部１２は、その表面にＬＥＤ素子２のボンディングワイヤ２ａが接続されるＬＥＤ端子面１２ａが形成され、また、その裏面に外部機器に実装される外部端子面１２ｂが形成される、いわゆるリード側端子部を構成する。
端子部１１、１２は、その表面及び裏面にめっき層Ｃが形成されており（図５（ｅ）参照）、表面側のめっき層Ｃは、ＬＥＤ素子２の発する光を反射する反射層としての機能を有し、裏面側のめっき層Ｃは、外部機器に実装されるときの半田の溶着性を高める機能を有する。 As shown in FIG. 1, the terminal portion 11 has an LED terminal surface 11a on which the LED element 2 is mounted and connected on the surface thereof, and an external terminal surface 11b mounted on an external device on the back surface. The so-called die pad is formed. Since the LED element 2 is placed on the terminal portion 11, the outer shape of the terminal portion 11 is larger than that of the terminal portion 12.
The terminal portion 12 has an LED terminal surface 12a connected to the bonding wire 2a of the LED element 2 formed on the surface thereof, and an external terminal surface 12b mounted on an external device formed on the back surface of the terminal portion 12 so-called lead side. Configure the terminal part.
As for the terminal parts 11 and 12, the plating layer C is formed in the surface and the back surface (refer FIG.5 (e)), and the plating layer C of the surface side is a reflection layer which reflects the light which LED element 2 emits. The plating layer C on the back side has a function of improving the solderability when mounted on an external device.

端子部１１、１２は、図３に示すように、それぞれの裏面側の外周部に、厚みの薄くなる凹部Ｍが設けられている。
凹部Ｍは、リードフレーム１０の裏面側から見て、各端子部１１、１２の外周部に形成された窪みであり、その窪みの厚みは、端子部１１、１２の厚みの１／３〜２／３程度に形成されている。 As shown in FIG. 3, the terminal portions 11 and 12 are each provided with a concave portion M having a reduced thickness on the outer peripheral portion on the back surface side.
The recess M is a recess formed in the outer peripheral portion of each of the terminal portions 11 and 12 when viewed from the back side of the lead frame 10, and the thickness of the recess is 1/3 to 2 of the thickness of the terminal portions 11 and 12. / 3 or so.

リードフレーム１０は、端子部１１、１２の周囲や、端子部１１、１２間の空隙部Ｓ等に、光反射樹脂層２０を形成する樹脂が充填される場合に、図４に示すように、凹部Ｍにも樹脂が充填され、光反射樹脂層２０と各端子部１１、１２との接触面積を大きくしている。また、厚み（Ｚ）方向において、リードフレーム１０と光反射樹脂層２０とを交互に構成することができる。これにより、凹部Ｍは、光反射樹脂層２０が、平面方向（Ｘ方向、Ｙ方向）及び厚み方向において、リードフレーム１０から剥離してしまうのを抑制することができる。   As shown in FIG. 4, when the lead frame 10 is filled with the resin that forms the light reflecting resin layer 20 around the terminal portions 11 and 12 or in the gap S between the terminal portions 11 and 12, as shown in FIG. The recess M is also filled with resin, and the contact area between the light reflecting resin layer 20 and the terminal portions 11 and 12 is increased. Further, the lead frames 10 and the light reflecting resin layers 20 can be alternately configured in the thickness (Z) direction. Thereby, the recessed part M can suppress that the light reflection resin layer 20 peels from the lead frame 10 in a plane direction (X direction, Y direction) and a thickness direction.

連結部１３は、枠体Ｆ内に多面付けされた各リードフレーム１０の端子部１１、１２を、隣接する他のリードフレーム１０の端子部や、枠体Ｆに連結している。連結部１３は、多面付けされた各リードフレーム１０上にＬＥＤ素子２等が搭載され、光半導体装置１の多面付け体（図６参照）が形成された場合に、リードフレーム１０を形成する外形線（図３（ａ）、図３（ｂ）中の破線）でダイシング（切断）される。
連結部１３は、端子部１１、１２を形成する各辺のうち、端子部１１、１２が対向する辺を除いた辺に形成されている。 The connecting portion 13 connects the terminal portions 11 and 12 of each lead frame 10 multifaceted in the frame F to the terminal portions of other adjacent lead frames 10 and the frame F. The connecting portion 13 has an outer shape that forms the lead frame 10 when the LED element 2 or the like is mounted on each of the multiple lead frames 10 and a multi-faced body (see FIG. 6) of the optical semiconductor device 1 is formed. Dicing (cutting) is performed along a line (broken line in FIGS. 3A and 3B).
The connection part 13 is formed in the edge | side except the edge | side which the terminal parts 11 and 12 oppose among each edge | side which forms the terminal parts 11 and 12. FIG.

具体的には、連結部１３ａは、図３（ａ）に示すように、端子部１２の右（＋Ｘ）側の辺と、右側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の左（−Ｘ）側の辺とを接続し、また、端子部１１の左側の辺と、左側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の右側の辺とを接続している。枠体Ｆに隣接する端子部１１、１２に対しては、連結部１３ａは、端子部１１の左側の辺又は端子部１２の右側の辺と、枠体Ｆとを接続している。   Specifically, as shown in FIG. 3A, the connecting portion 13a is formed on the right (+ X) side of the terminal portion 12 and the left (−) of the terminal portion 11 of another lead frame 10 adjacent to the right side. X) is connected to the side, and the left side of the terminal portion 11 is connected to the right side of the terminal portion 12 of another lead frame 10 adjacent to the left side. For the terminal portions 11 and 12 adjacent to the frame body F, the connecting portion 13a connects the frame body F with the left side of the terminal portion 11 or the right side of the terminal portion 12.

連結部１３ｂは、端子部１１の上（＋Ｙ）側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の下（−Ｙ）側の辺とを接続し、また、端子部１１の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の上側の辺とを接続する。枠体Ｆに隣接する端子部１１に対しては、連結部１３ｂは、端子部１１の上側又は下側の辺と、枠体Ｆとを接続している。
連結部１３ｃは、端子部１２の上側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の下側の辺とを接続し、また、端子部１２の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の上側の辺とを接続する。枠体Ｆに隣接する端子部１２に対しては、連結部１３ｃは、端子部１２の上側又は下側の辺と、枠体Ｆとを接続している。 The connecting portion 13 b connects the upper (+ Y) side of the terminal portion 11 and the lower (−Y) side of the terminal portion 11 of another lead frame 10 adjacent to the upper side, and the terminal portion 11. The lower side is connected to the upper side of the terminal portion 11 of another lead frame 10 adjacent to the lower side. For the terminal portion 11 adjacent to the frame F, the connecting portion 13b connects the frame F with the upper or lower side of the terminal portion 11.
The connecting portion 13c connects the upper side of the terminal portion 12 and the lower side of the terminal portion 12 of another lead frame 10 adjacent to the upper side, and the lower side and the lower side of the terminal portion 12 The upper side of the terminal portion 12 of another lead frame 10 adjacent to the side is connected. For the terminal portion 12 adjacent to the frame F, the connecting portion 13 c connects the frame F with the upper or lower side of the terminal portion 12.

連結部１３ｄ（補強部）は、端子部１１及び端子部１２間の空隙部Ｓの延長上を横切るようにして形成される。ここで、空隙部Ｓの延長上とは、空隙部Ｓを上下（Ｙ）方向に延長させた領域をいう。本実施形態では、連結部１３ｄは、一の端子部（１２、１１）と、その端子部の空隙部Ｓを挟んだ対向する側に位置し、上又は下に隣接する他のリードフレームの端子部（１１、１２）とを連結するために、端子部１１の上側の辺及び端子部１２の下側の辺に対して、傾斜（例えば、４５度）した形状に形成される。
具体的には、連結部１３ｄは、端子部１２の上側の辺と、上側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１１の下側の辺とを接続し、また、端子部１１の下側の辺と、下側に隣接する他のリードフレーム１０の端子部１２の上側の辺とを接続する。また、枠体Ｆに隣接する端子部１１、１２に対しては、連結部１３ｄは、端子部１２の上側の辺又は端子部１１の下側の辺と、枠体Ｆとを接続している。 The connecting portion 13 d (reinforcing portion) is formed so as to cross over the extension of the gap S between the terminal portion 11 and the terminal portion 12. Here, “on the extension of the gap S” means a region where the gap S is extended in the vertical (Y) direction. In the present embodiment, the connecting portion 13d is located on the opposite side of the terminal portion (12, 11) and the gap S between the terminal portions, and is adjacent to the upper or lower lead frame. In order to connect the parts (11, 12), it is formed in a shape that is inclined (for example, 45 degrees) with respect to the upper side of the terminal part 11 and the lower side of the terminal part 12.
Specifically, the connecting part 13d connects the upper side of the terminal part 12 and the lower side of the terminal part 11 of another lead frame 10 adjacent to the upper side, and the lower side of the terminal part 11 Are connected to the upper side of the terminal portion 12 of the other lead frame 10 adjacent to the lower side. For the terminal portions 11 and 12 adjacent to the frame F, the connecting portion 13d connects the frame F with the upper side of the terminal portion 12 or the lower side of the terminal portion 11. .

連結部１３ｄが設けられることによって、リードフレームの多面付け体ＭＳは、光反射樹脂層２０を形成する工程において、端子部１１と端子部１２との間隔がずれたり、各端子部１１、１２が枠体Ｆに対して捩れたりするのを抑制することができる。また、連結部１３ｄは、光半導体装置１の空隙部Ｓの強度を向上させることができ、空隙部Ｓにおいて破損してしまうのを抑制することができる。   By providing the connecting portion 13d, in the step of forming the light reflecting resin layer 20, the multifaceted body MS of the lead frame has a gap between the terminal portion 11 and the terminal portion 12 or the terminal portions 11 and 12 are connected to each other. It is possible to suppress twisting with respect to the frame F. Moreover, the connection part 13d can improve the intensity | strength of the space | gap part S of the optical semiconductor device 1, and can suppress damaging in the space | gap part S. FIG.

なお、端子部１１、１２は、連結部１３によって、隣り合う他のリードフレーム１０の端子部１１、１２と電気的に導通されるが、光半導体装置１の多面付け体を形成した後に、光半導体装置１の外形に合わせて各連結部１３を切断（ダイシング）することによって絶縁される。また、個片化された場合に、各々の個片を同じ形状にすることができる。   The terminal portions 11 and 12 are electrically connected to the terminal portions 11 and 12 of the other adjacent lead frames 10 by the connecting portion 13. However, after the multifaceted body of the optical semiconductor device 1 is formed, Insulation is performed by cutting (dicing) each connecting portion 13 in accordance with the outer shape of the semiconductor device 1. Moreover, when it divides into pieces, each piece can be made into the same shape.

連結部１３は、図３（ｃ）、図３（ｄ）に示すように、端子部１１、１２の厚みよりも薄く、かつ、その表面が端子部１１、１２の表面と同一平面内に形成されている。具体的には、連結部１３は、その裏面が、各端子部１１、１２の凹部Ｍの底面（窪んだ部分）と略同一面内に形成されている。これにより、光反射樹脂層２０の樹脂が充填された場合に、図４（ｃ）、図４（ｄ）に示すように、連結部１３の裏面にも樹脂が流れ込み、光反射樹脂層２０がリードフレーム１０から剥離してしまうのを抑制することができる。
また、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレーム１０の裏面には、図４（ｂ）に示すように、矩形状の外部端子面１１ｂ、１２ｂが表出することとなり、光半導体装置１の外観を向上させることができることに加え、半田で基板に実装する場合に、基板側への半田印刷を容易にしたり、半田を均一に塗布したり、リフロー後に半田内へのボイドの発生を抑制したりすることができる。また、光半導体装置１の面内（ＸＹ平面内）の中心線に対して線対称であることから、熱応力等に対する信頼性を向上させることができる。 As shown in FIGS. 3 (c) and 3 (d), the connecting portion 13 is thinner than the terminal portions 11 and 12, and the surface thereof is formed in the same plane as the surfaces of the terminal portions 11 and 12. Has been. Specifically, the back surface of the connecting portion 13 is formed in substantially the same plane as the bottom surface (recessed portion) of the concave portion M of each terminal portion 11, 12. Thereby, when the resin of the light reflection resin layer 20 is filled, as shown in FIG. 4C and FIG. 4D, the resin also flows into the back surface of the connecting portion 13, and the light reflection resin layer 20 is The peeling from the lead frame 10 can be suppressed.
Further, as shown in FIG. 4B, rectangular external terminal surfaces 11 b and 12 b are exposed on the back surface of the lead frame 10 on which the light reflecting resin layer 20 is formed. In addition to being able to improve the appearance, when mounting on the board with solder, solder printing on the board side is easy, solder is evenly applied, and the generation of voids in the solder after reflow is suppressed. Can be. In addition, since it is axisymmetric with respect to the center line in the plane of the optical semiconductor device 1 (in the XY plane), the reliability against thermal stress and the like can be improved.

リードフレームの多面付け体ＭＳは、上述のリードフレーム１０を枠体Ｆ内に多面付けしたものをいう。本実施形態では、図２及び図３に示すように、縦横に複数個、連結部１３によって連結されたリードフレーム１０の集合体を、複数組（本実施形態では４組）、左右方向に配列させて枠体Ｆ内に形成したものである。
枠体Ｆは、リードフレーム１０の集合体Ｇ毎に、リードフレーム１０を固定する部材である。枠体Ｆは、図３（ｂ）〜図３（ｄ）に示すように、その裏面全面が、端子部１１、１２の外部端子面１１ｂ、１２ｂに対して窪むように段部Ｄが形成されている。より具体的には、枠体Ｆの段部Ｄは、その窪んだ面が、連結部１３の裏面と同一平面を形成するように形成されている。 The multi-faced body MS of the lead frame refers to a structure in which the above-described lead frame 10 is multi-faced in the frame F. In this embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, a plurality of sets (four sets in the present embodiment) of lead frames 10 connected vertically and horizontally by connecting portions 13 are arranged in the left-right direction. And formed in the frame F.
The frame body F is a member that fixes the lead frame 10 for each aggregate G of the lead frames 10. As shown in FIGS. 3 (b) to 3 (d), the frame F is formed with a step portion D so that the entire back surface is recessed with respect to the external terminal surfaces 11 b and 12 b of the terminal portions 11 and 12. Yes. More specifically, the stepped portion D of the frame body F is formed such that the recessed surface forms the same plane as the back surface of the connecting portion 13.

光反射樹脂層２０は、図４に示すように、各端子部１１、１２の外周側面（リードフレーム１０の外周及び各端子部間の空隙部Ｓ）と、各端子部に設けられた凹部Ｍと、連結部１３の裏面とに充填された樹脂の層である。
また、光反射樹脂層２０には、リードフレーム１０の表面（ＬＥＤ素子２が載置される側の面）に、ＬＥＤ素子２から発光する光の方向等を制御するリフレクタ２０ａが形成されている。リフレクタ２０ａは、端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａを囲むようにして、リードフレーム１０の表面側に突出しており、ＬＥＤ端子面１１ａに接続されるＬＥＤ素子２から発光する光を反射させて、光半導体装置１から光を効率よく照射させる。リフレクタ２０ａは、その厚み（高さ）寸法が、ＬＥＤ端子面１１ａに接続されるＬＥＤ素子２の厚み寸法よりも大きい寸法で形成される。 As shown in FIG. 4, the light reflecting resin layer 20 includes outer peripheral side surfaces of the terminal portions 11 and 12 (the outer periphery of the lead frame 10 and the space S between the terminal portions), and a recess M provided in each terminal portion. And a resin layer filled on the back surface of the connecting portion 13.
The light reflecting resin layer 20 is formed with a reflector 20a on the surface of the lead frame 10 (the surface on which the LED element 2 is placed) for controlling the direction of light emitted from the LED element 2 and the like. . The reflector 20a protrudes on the surface side of the lead frame 10 so as to surround the LED terminal surfaces 11a and 12a of the terminal portions 11 and 12, and reflects the light emitted from the LED element 2 connected to the LED terminal surface 11a. Then, light is efficiently emitted from the optical semiconductor device 1. The reflector 20a is formed with a thickness (height) dimension larger than the thickness dimension of the LED element 2 connected to the LED terminal surface 11a.

更に、光反射樹脂層２０は、図４（ｂ）〜図４（ｄ）に示すように、枠体Ｆの段部Ｄ（裏面全面）にも形成される。
ここで、リードフレーム１０は銅などの金属により形成され、光反射樹脂層２０は熱硬化性樹脂等の樹脂により形成され、また、両者の材料の線膨張率には差がある。リードフレームの多面付け体ＭＳは、上述したように表面側にリフレクタ２０ａが形成されることから裏面側に比べ表面側に樹脂が多く形成される。そのため、仮に、段部Ｄに光反射樹脂層２０が形成されていない場合、この樹脂の硬化過程において、上記線膨張率の差によって樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（リードフレームの多面付け体ＭＳ）に反りが発生してしまうこととなる。 Furthermore, the light reflecting resin layer 20 is also formed on the step portion D (the entire back surface) of the frame F as shown in FIGS. 4 (b) to 4 (d).
Here, the lead frame 10 is formed of a metal such as copper, the light reflecting resin layer 20 is formed of a resin such as a thermosetting resin, and the linear expansion coefficients of the two materials are different. As described above, since the reflector 20a is formed on the front surface side of the multi-sided body MS of the lead frame, more resin is formed on the front surface side than on the back surface side. Therefore, if the light-reflecting resin layer 20 is not formed on the step portion D, in the curing process of the resin, the resin-coated lead frame multi-faced body R (lead-frame multi-faceted body due to the difference in linear expansion coefficient). MS) will be warped.

上記反りの発生を抑制するために、光反射樹脂層２０の樹脂中に特定のフィラー（粉末）を含有させて線膨張率を、リードフレーム１０の金属に近づけることも可能である。しかし、光反射樹脂層２０の光反射特性を維持するために、フィラーの含有量は、制限されてしまい、樹脂の線膨張率を十分に金属に近づけられない場合がある。また、樹脂に熱可塑性樹脂を使用した場合は、線膨張率の調整自体をすることができない。
そのため、本実施形態では、段部Ｄに光反射樹脂層２０を形成することによって、リードフレーム１０の表面及び裏面に形成される樹脂の量を均等または略均等にする。これにより、本実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒは、樹脂の硬化過程において、上述の反りが発生してしまうのを抑制することができる。
なお、光反射樹脂層２０の裏面は、端子部１１、１２の外部端子面１１ｂ、１２ｂと略同一平面に形成される。これにより、光半導体装置１の製造過程において、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒは、その裏面が平坦となるので、特殊な固定治具を必要とすることなく、搬送装置等に載置することができる。 In order to suppress the occurrence of the warp, a specific filler (powder) may be included in the resin of the light reflecting resin layer 20 so that the linear expansion coefficient is close to that of the metal of the lead frame 10. However, in order to maintain the light reflection characteristics of the light reflection resin layer 20, the filler content is limited, and the linear expansion coefficient of the resin may not be sufficiently close to that of the metal. Further, when a thermoplastic resin is used as the resin, the linear expansion coefficient cannot be adjusted itself.
Therefore, in this embodiment, by forming the light reflecting resin layer 20 on the step portion D, the amount of resin formed on the front and back surfaces of the lead frame 10 is made equal or substantially equal. Thereby, the multi-faced body R of the lead frame with resin of the present embodiment can suppress the occurrence of the above-described warpage during the resin curing process.
The back surface of the light reflecting resin layer 20 is formed in substantially the same plane as the external terminal surfaces 11b and 12b of the terminal portions 11 and 12. Thereby, in the manufacturing process of the optical semiconductor device 1, the multi-faced body R of the lead frame with resin becomes flat on the back surface, so that it is placed on the transport device or the like without requiring a special fixing jig. be able to.

光反射樹脂層２０は、リードフレーム１０に載置されるＬＥＤ素子２の発する光を反射させるために、光反射特性を有する熱可塑性樹脂や、熱硬化性樹脂が用いられる。
光反射樹脂層２０を形成する樹脂は、凹み部分への樹脂充填に関しては、樹脂形成時には流動性が高いことが、凹み部分での接着性に関しては、分子内に反応基を導入しやすいためにリードフレームとの化学接着性を得られることが必要なため、熱硬化性樹脂が望ましい。
例えば、熱可塑性樹脂としては、ポリアミド、ポリフタルアミド、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー、ポリエーテルサルホン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン等を用いることができる。
また、熱硬化性樹脂としては、シリコーン、エポキシ、ポリエーテルイミド、ポリウレタン及びポリブチレンアクリレート等を用いることができる。
さらに、これらの樹脂中に光反射材として、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウム及び窒化ホウ素のうちいずれかを添加することによって、光の反射率を増大させることができる。
また、ポリオレフィンなどの熱可塑性樹脂を成形した後に、電子線を照射することで架橋させる方法を用いた、いわゆる電子線硬化樹脂を使用してもよい。 The light reflecting resin layer 20 is made of a thermoplastic resin having a light reflecting property or a thermosetting resin in order to reflect light emitted from the LED element 2 placed on the lead frame 10.
The resin forming the light reflecting resin layer 20 has high fluidity when the resin is formed with respect to the resin filling in the recessed portion, and the adhesiveness at the recessed portion is easy to introduce a reactive group into the molecule. Since it is necessary to obtain chemical adhesion with the lead frame, a thermosetting resin is desirable.
For example, as the thermoplastic resin, polyamide, polyphthalamide, polyphenylene sulfide, liquid crystal polymer, polyether sulfone, polybutylene terephthalate, polyolefin, or the like can be used.
As the thermosetting resin, silicone, epoxy, polyetherimide, polyurethane, polybutylene acrylate, or the like can be used.
Furthermore, the reflectance of light can be increased by adding any of titanium dioxide, zirconium dioxide, potassium titanate, aluminum nitride, and boron nitride as a light reflecting material to these resins.
Moreover, you may use what is called an electron beam cured resin using the method of bridge | crosslinking by shape | molding thermoplastic resins, such as polyolefin, after irradiating an electron beam.

透明樹脂層３０は、リードフレーム１０上に載置されたＬＥＤ素子２を保護するとともに、発光したＬＥＤ素子２の光を外部に透過させるために設けられた透明又は略透明に形成された樹脂層である。透明樹脂層３０は、光反射樹脂層２０のリフレクタ２０ａによって囲まれたＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａ上に形成される。
透明樹脂層３０は、光の取り出し効率を向上させるために、ＬＥＤ素子２の発光波長において光透過率が高く、また、屈折率が高い材料を選択するのが望ましい。例えば、耐熱性、耐光性、及び機械的強度が高いという特性を満たす樹脂として、エポキシ樹脂や、シリコーン樹脂を選択することができる。特に、ＬＥＤ素子２に高輝度ＬＥＤ素子を用いる場合、透明樹脂層３０は、強い光にさらされるため、高い耐光性を有するシリコーン樹脂からなることが好ましい。また、波長変換用の蛍光体を使用してもよく、透明樹脂に分散させてもよい。 The transparent resin layer 30 is a transparent or substantially transparent resin layer provided to protect the LED element 2 placed on the lead frame 10 and transmit the emitted light of the LED element 2 to the outside. It is. The transparent resin layer 30 is formed on the LED terminal surfaces 11 a and 12 a surrounded by the reflector 20 a of the light reflecting resin layer 20.
For the transparent resin layer 30, it is desirable to select a material having a high light transmittance and a high refractive index at the emission wavelength of the LED element 2 in order to improve the light extraction efficiency. For example, an epoxy resin or a silicone resin can be selected as a resin that satisfies the properties of high heat resistance, light resistance, and mechanical strength. In particular, when a high-brightness LED element is used for the LED element 2, the transparent resin layer 30 is preferably made of a silicone resin having high light resistance because it is exposed to strong light. Moreover, a phosphor for wavelength conversion may be used, or it may be dispersed in a transparent resin.

次に、リードフレーム１０の製造方法について説明する。
図５は、第１実施形態のリードフレーム１０の製造過程を説明する図である。
図５（ａ）は、レジストパターンを形成した金属基板１００を示す平面図と、その平面図のａ−ａ断面図とを示す。図５（ｂ）は、エッチング加工されている金属基板１００を示す図である。図５（ｃ）は、エッチング加工後の金属基板１００を示す図である。図５（ｄ）は、レジストパターンが除去された金属基板１００を示す図である。図５（ｅ）は、めっき処理が施された金属基板１００を示す図である。
なお、図５においては、１枚のリードフレーム１０の製造過程について図示するが、実際には、１枚の金属基板１００からリードフレームの多面付け体ＭＳが製造される。 Next, a method for manufacturing the lead frame 10 will be described.
FIG. 5 is a diagram for explaining the manufacturing process of the lead frame 10 of the first embodiment.
FIG. 5A shows a plan view showing a metal substrate 100 on which a resist pattern is formed, and an aa cross-sectional view of the plan view. FIG. 5B shows the metal substrate 100 that has been etched. FIG.5 (c) is a figure which shows the metal substrate 100 after an etching process. FIG. 5D shows the metal substrate 100 from which the resist pattern has been removed. FIG. 5E shows the metal substrate 100 that has been subjected to plating.
In FIG. 5, the manufacturing process of one lead frame 10 is illustrated, but actually, a multi-faced body MS of the lead frame is manufactured from one metal substrate 100.

リードフレーム１０の製造において、金属基板１００を加工してリードフレーム１０を形成するが、その加工は、プレス加工でも良いが、薄肉部を形成しやすいエッチング処理が望ましい。以下にエッチング処理によるリードフレーム１０の製造方法について説明する。   In the manufacture of the lead frame 10, the metal substrate 100 is processed to form the lead frame 10. The processing may be press processing, but an etching process that easily forms a thin portion is desirable. Below, the manufacturing method of the lead frame 10 by an etching process is demonstrated.

まず、平板状の金属基板１００を用意し、図５（ａ）に示すように、その表面及び裏面のエッチング加工を施さない部分にレジストパターン４０ａ、４０ｂを形成する。なお、レジストパターン４０ａ、４０ｂの材料及び形成方法は、エッチング用レジストとして従来公知の技術を用いる。
次に、図５（ｂ）に示すように、レジストパターン４０ａ、４０ｂを耐エッチング膜として、金属基板１００に腐食液でエッチング処理を施す。腐食液は、使用する金属基板１００の材質に応じて適宜選択することができる。本実施形態では、金属基板１００として銅板を使用しているため、塩化第二鉄水溶液を使用し、金属基板１００の両面からスプレーエッチングすることができる。 First, a flat metal substrate 100 is prepared, and as shown in FIG. 5A, resist patterns 40a and 40b are formed on portions of the front and back surfaces that are not etched. The material and the formation method of the resist patterns 40a and 40b use a conventionally known technique as an etching resist.
Next, as shown in FIG. 5B, the metal substrate 100 is etched with a corrosive liquid using the resist patterns 40a and 40b as etching resistant films. The corrosive liquid can be appropriately selected according to the material of the metal substrate 100 to be used. In this embodiment, since a copper plate is used as the metal substrate 100, an aqueous ferric chloride solution can be used and spray etching can be performed from both surfaces of the metal substrate 100.

ここで、リードフレーム１０には、端子部１１、１２の外周部や、各端子部１１、１２間の空隙部Ｓのように貫通した空間と、凹部Ｍや、連結部１３の裏面、枠体Ｆの段部Ｄのように貫通せずに厚みが薄くなった窪んだ空間とが存在する（図３参照）。本実施形態では、金属基板１００の板厚の半分程度までをエッチング加工する、いわゆるハーフエッチング処理を行い、貫通した空間に対しては、金属基板１００の両面にレジストパターンを形成しないようにし、金属基板１００の両面からエッチング加工して、貫通した空間を形成する。また、窪んだ空間に対しては、厚みが薄くなる側とは反対側の面にのみレジストパターンを形成して、レジストパターンがない面のみをエッチング加工して、窪んだ空間を形成する。
エッチング処理により金属基板１００には、図５（ｃ）に示すように、凹部Ｍが形成された端子部１１、１２が形成され、金属基板１００上にリードフレーム１０が形成される。 Here, the lead frame 10 includes an outer peripheral portion of the terminal portions 11 and 12, a space penetrating like a gap portion S between the terminal portions 11 and 12, a concave portion M, a back surface of the connecting portion 13, and a frame body. There is a recessed space in which the thickness is reduced without penetrating like the step portion D of F (see FIG. 3). In the present embodiment, a so-called half-etching process that etches up to about half the plate thickness of the metal substrate 100 is performed, and a resist pattern is not formed on both surfaces of the metal substrate 100 in the penetrating space. Etching is performed from both sides of the substrate 100 to form a penetrating space. For the recessed space, a resist pattern is formed only on the surface opposite to the side where the thickness is reduced, and only the surface without the resist pattern is etched to form a recessed space.
As shown in FIG. 5C, terminal portions 11 and 12 having recesses M are formed on the metal substrate 100 by the etching process, and the lead frame 10 is formed on the metal substrate 100.

次に、図５（ｄ）に示すように、金属基板１００（リードフレーム１０）からレジストパターン４０を除去する。
そして、図５（ｅ）に示すように、リードフレーム１０が形成された金属基板１００にめっき処理を行い、端子部１１、１２にめっき層Ｃを形成する。めっき処理は、例えば、シアン化銀を主成分とした銀めっき液を用いた電界めっきを施すことにより行われる。
なお、めっき層Ｃを形成する前に、例えば、電解脱脂工程、酸洗工程、銅ストライク工程を適宜選択し、その後、電解めっき工程を経てめっき層Ｃを形成してもよい。
以上により、リードフレーム１０は、図２及び図３に示すように、枠体Ｆに多面付けされた状態で製造される。なお、図２及び図３において、めっき層Ｃは省略されている。 Next, as shown in FIG. 5D, the resist pattern 40 is removed from the metal substrate 100 (lead frame 10).
Then, as shown in FIG. 5 (e), the metal substrate 100 on which the lead frame 10 is formed is plated to form a plating layer C on the terminal portions 11 and 12. The plating process is performed, for example, by performing electroplating using a silver plating solution containing silver cyanide as a main component.
In addition, before forming the plating layer C, for example, an electrolytic degreasing process, a pickling process, and a copper strike process may be selected as appropriate, and then the plating layer C may be formed through an electrolytic plating process.
As described above, the lead frame 10 is manufactured in a state of being multifaceted to the frame body F as shown in FIGS. In FIGS. 2 and 3, the plating layer C is omitted.

次に、光半導体装置１の製造方法について説明する。
図６は、第１実施形態の光半導体装置１の多面付け体を示す図である。
図７は、第１実施形態の光半導体装置１の製造過程を説明する図である。
図７（ａ）は、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレーム１０の断面図であり、図７（ｂ）は、ＬＥＤ素子２が電気的に接続されたリードフレーム１０の断面図を示す。図７（ｃ）は、透明樹脂層３０が形成されたリードフレーム１０の断面図を示す。図７（ｄ）は、ダイシングにより個片化された光半導体装置１の断面図を示す。
なお、図７においては、１台の光半導体装置１の製造過程について図示するが、実際には、１枚の金属基板１００から複数の光半導体装置１が製造されるものとする。また、図７（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ図５（ａ）の断面図に基づくものである。 Next, a method for manufacturing the optical semiconductor device 1 will be described.
FIG. 6 is a diagram illustrating a multifaceted body of the optical semiconductor device 1 according to the first embodiment.
FIG. 7 is a diagram illustrating a manufacturing process of the optical semiconductor device 1 according to the first embodiment.
7A is a cross-sectional view of the lead frame 10 on which the light reflecting resin layer 20 is formed, and FIG. 7B is a cross-sectional view of the lead frame 10 to which the LED elements 2 are electrically connected. . FIG. 7C shows a cross-sectional view of the lead frame 10 on which the transparent resin layer 30 is formed. FIG. 7D shows a cross-sectional view of the optical semiconductor device 1 singulated by dicing.
In FIG. 7, the manufacturing process of one optical semiconductor device 1 is illustrated, but actually, a plurality of optical semiconductor devices 1 are manufactured from one metal substrate 100. 7A to 7D are based on the cross-sectional view of FIG.

図７（ａ）に示すように、金属基板１００上にエッチング加工により形成されたリードフレーム１０の外周等に上述の光反射特性を有する樹脂を充填し、光反射樹脂層２０を形成する。光反射樹脂層２０は、例えば、トランスファ成形や、インジェクション成形（射出成形）のように、樹脂成形金型にリードフレーム１０（金属基板１００）をインサートし、樹脂を注入する方法や、リードフレーム１０上に樹脂をスクリーン印刷する方法等によって形成される。このとき、樹脂は、各端子部１１、１２の外周側から凹部Ｍや、連結部１３の裏面、枠体Ｆの段部Ｄ（裏面全面）へと流れ込み、リードフレーム１０と光反射樹脂層２０とを接合している。
また、光反射樹脂層２０は、その表面側にリフレクタ２０ａが各端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａを囲むように形成される。これにより、光反射樹脂層２０の表面及び裏面には、それぞれ、各端子部１１、１２のＬＥＤ端子面１１ａ、１２ａと、外部端子面１１ｂ、１２ｂとが表出する（図４（ａ）、図４（ｂ）参照）。
以上により、図４に示す樹脂付きのリードフレームの多面付け体Ｒが形成される。 As shown in FIG. 7A, the light reflecting resin layer 20 is formed by filling the outer periphery of the lead frame 10 formed by etching on the metal substrate 100 with the resin having the above-described light reflection characteristics. The light reflecting resin layer 20 is formed by inserting a lead frame 10 (metal substrate 100) into a resin molding die and injecting resin, for example, transfer molding or injection molding (injection molding), or lead frame 10 It is formed by a method such as screen printing of resin. At this time, the resin flows from the outer peripheral side of each of the terminal portions 11 and 12 into the concave portion M, the back surface of the connecting portion 13, and the step portion D (entire back surface) of the frame F, and the lead frame 10 and the light reflecting resin layer 20. And are joined.
The light reflecting resin layer 20 is formed on the surface side so that the reflector 20a surrounds the LED terminal surfaces 11a and 12a of the terminal portions 11 and 12, respectively. As a result, the LED terminal surfaces 11a and 12a and the external terminal surfaces 11b and 12b of the terminal portions 11 and 12 are exposed on the front and back surfaces of the light reflecting resin layer 20, respectively (FIG. 4A). (Refer FIG.4 (b)).
In this way, the multi-faced body R of the lead frame with resin shown in FIG. 4 is formed.

次に、図７（ｂ）に示すように、端子部１１のＬＥＤ端子面１１ａに、ダイアタッチペーストや半田等の放熱性接着剤を介してＬＥＤ素子２を載置し、また、端子部１２のＬＥＤ端子面１２ａに、ボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２を電気的に接続する。ここで、ＬＥＤ素子２とボンディングワイヤ２ａは複数あってもよく、一つのＬＥＤ素子２に複数のボンディングワイヤ２ａが接続されてもよく、ボンディングワイヤ２ａをダイパッドに接続させてもよい。また、ＬＥＤ素子２を載置面で電気的に接続してもよい。ここで、ボンディングワイヤ２ａは、例えば、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）等の導電性の良い材料からなる。   Next, as shown in FIG. 7B, the LED element 2 is placed on the LED terminal surface 11 a of the terminal portion 11 via a heat-dissipating adhesive such as die attach paste or solder, and the terminal portion 12. The LED element 2 is electrically connected to the LED terminal surface 12a via the bonding wire 2a. Here, there may be a plurality of LED elements 2 and bonding wires 2a, a plurality of bonding wires 2a may be connected to one LED element 2, or the bonding wires 2a may be connected to a die pad. Moreover, you may electrically connect the LED element 2 by a mounting surface. Here, the bonding wire 2a is made of a material having good conductivity such as gold (Au), copper (Cu), silver (Ag), and the like.

そして、図７（ｃ）に示すように、リフレクタ２０ａに囲まれたＬＥＤ素子２を覆うようにして透明樹脂層３０を形成する。
透明樹脂層３０は平坦な形状のほかレンズ形状、屈折率勾配等、光学的な機能を持たせてもよい。以上により、図６に示すように、光半導体装置の多面付け体が形成される。
最後に、図７（ｄ）に示すように、光半導体装置１の外形に合わせて、光反射樹脂層２０及び透明樹脂層３０とともに、リードフレーム１０の連結部１３を切断（ダイシング、パンチング、カッティング等）して、１パッケージに分離（個片化）された光半導体装置１（図１参照）を得る。 Then, as shown in FIG. 7C, the transparent resin layer 30 is formed so as to cover the LED element 2 surrounded by the reflector 20a.
The transparent resin layer 30 may have an optical function such as a lens shape and a refractive index gradient in addition to a flat shape. As described above, as shown in FIG. 6, a multifaceted body of the optical semiconductor device is formed.
Finally, as shown in FIG. 7D, the connecting portion 13 of the lead frame 10 is cut (dicing, punching, cutting) together with the light reflecting resin layer 20 and the transparent resin layer 30 in accordance with the outer shape of the optical semiconductor device 1. Etc.) to obtain the optical semiconductor device 1 (see FIG. 1) separated (divided into one package).

次に、上述の図７（ａ）におけるリードフレーム１０に光反射樹脂層２０を形成するトランスファ成形及びインジェクション成形について説明する。
図８は、トランスファ成形の概略を説明する図である。図８（ａ）は、金型の構成を説明する図であり、図８（ｂ）〜図８（ｉ）は、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成するまでの工程を説明する図である。
図９は、インジェクション成形の概略を説明する図である。図９（ａ）〜図９（ｃ）は、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成するまでの工程を説明する図である。
なお、図８及び図９において、説明を明確にするために、リードフレーム１０の単体に対して光反射樹脂層２０が成形される図を示すが、実際には、リードフレームの多面付け体ＭＳに対して光反射樹脂層２０が形成される。 Next, transfer molding and injection molding for forming the light reflecting resin layer 20 on the lead frame 10 in FIG. 7A will be described.
FIG. 8 is a diagram for explaining the outline of transfer molding. FIG. 8A is a diagram for explaining the configuration of the mold, and FIGS. 8B to 8I are diagrams for explaining the steps until the multi-faced body R of the lead frame with resin is completed. It is.
FIG. 9 is a diagram for explaining the outline of injection molding. FIG. 9A to FIG. 9C are diagrams for explaining the process until the multifaceted body R of the lead frame with resin is completed.
8 and 9, for the sake of clarity, a diagram in which the light reflecting resin layer 20 is formed on a single lead frame 10 is shown. In practice, however, the lead frame multi-faced body MS is shown. On the other hand, the light reflecting resin layer 20 is formed.

（トランスファ成形）
トランスファ成形は、図８（ａ）に示すように、上型１１１及び下型１１２等から構成される金型１１０を使用する。
まず、作業者は、上型１１１及び下型１１２を加熱した後、図８（ｂ）に示すように、上型１１１と下型１１２との間にリードフレームの多面付け体ＭＳを配置するとともに、下型１１２の設けられたポット部１１２ａに光反射樹脂層２０を形成する樹脂を充填する。
そして、図８（ｃ）に示すように、上型１１１及び下型１１２を閉じて（型締め）、樹脂を加熱する。樹脂が十分に加熱されたら、図８（ｄ）及び図８（ｅ）に示すように、プランジャー１１３によって樹脂に圧力をかけて、樹脂を金型１１０内へと充填（トランスファ）させ、所定の時間その圧力を一定に保持する。 (Transfer molding)
As shown in FIG. 8A, the transfer molding uses a mold 110 composed of an upper mold 111, a lower mold 112, and the like.
First, the operator heats the upper mold 111 and the lower mold 112, and then places the multi-faced body MS of the lead frame between the upper mold 111 and the lower mold 112 as shown in FIG. 8B. The pot portion 112a provided with the lower mold 112 is filled with a resin that forms the light reflecting resin layer 20.
Then, as shown in FIG. 8C, the upper mold 111 and the lower mold 112 are closed (clamping), and the resin is heated. When the resin is sufficiently heated, as shown in FIGS. 8D and 8E, pressure is applied to the resin by the plunger 113 so that the resin is filled (transferred) into the mold 110. The pressure is kept constant for a period of time.

所定の時間の経過後、図８（ｆ）及び図８（ｇ）に示すように、上型１１１及び下型１１２を開き、上型１１１に設けられたイジェクターピン１１１ａにより、上型１１１から光反射樹脂層２０が成形されたリードフレームの多面付け体ＭＳを取り外す。その後、図８（ｈ）に示すように、上型１１１の流路（ランナー）部等の余分な樹脂部分を、製品となる部分から除去し、図８（ｉ）に示すように、光反射樹脂層２０が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成する。   After the elapse of a predetermined time, as shown in FIGS. 8 (f) and 8 (g), the upper mold 111 and the lower mold 112 are opened, and light is emitted from the upper mold 111 by the ejector pins 111 a provided on the upper mold 111. The lead frame multi-faced body MS in which the reflective resin layer 20 is molded is removed. Thereafter, as shown in FIG. 8 (h), the excess resin portion such as the flow path (runner) portion of the upper mold 111 is removed from the product portion, and the light reflection is performed as shown in FIG. 8 (i). A multi-faced body R of a lead frame with a resin on which the resin layer 20 is formed is completed.

（インジェクション成形）
インジェクション成形は、図９（ａ）に示すように、上から順に、ノズルプレート１２１、スプループレート１２２、ランナープレート１２３（上型）、下型１２４等から構成される金型１２０を使用する。
まず、作業者は、ランナープレート１２３及び下型１２４間にリードフレームの多面付け体ＭＳを配置して、金型１２０を閉じる（型締め）。
そして、図９（ｂ）に示すように、ノズル１２５をノズルプレート１２１のノズル穴に配置して、光反射樹脂層２０を形成する樹脂を金型１２０内に射出する。ノズル１２５から射出された樹脂は、スプループレート１２２のスプルー１２２ａを通過し、ランナープレート１２３のランナー１２３ａ及びゲートスプルー１２３ｂを通過した上で、リードフレームの多面付け体ＭＳが配置された金型１２０内へと樹脂が充填される。 (Injection molding)
As shown in FIG. 9A, the injection molding uses a mold 120 including a nozzle plate 121, a sprue plate 122, a runner plate 123 (upper mold), a lower mold 124, and the like in order from the top.
First, the operator arranges the multi-faced body MS of the lead frame between the runner plate 123 and the lower mold 124, and closes the mold 120 (clamping).
Then, as shown in FIG. 9B, the nozzle 125 is disposed in the nozzle hole of the nozzle plate 121, and the resin forming the light reflecting resin layer 20 is injected into the mold 120. The resin injected from the nozzle 125 passes through the sprue 122a of the sprue plate 122, passes through the runner 123a and the gate sprue 123b of the runner plate 123, and then in the mold 120 in which the multifaceted body MS of the lead frame is arranged. Filled with resin.

樹脂が充填されたら所定の時間保持した後に、作業者は、図９（ｃ）に示すように、ランナープレート１２３を下型１２４から開き、下型１２４に設けられたイジェクターピン１２４ａによって、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレームの多面付け体ＭＳを下型１２４から取り外す。そして、光反射樹脂層２０が形成されたリードフレームの多面付け体ＭＳから余分なバリなどを除去して樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒが完成する。   After the resin is filled and held for a predetermined time, the operator opens the runner plate 123 from the lower mold 124 and reflects light by the ejector pins 124a provided on the lower mold 124 as shown in FIG. 9C. The lead frame multi-faced body MS on which the resin layer 20 is formed is removed from the lower mold 124. Then, excess burrs and the like are removed from the multi-sided body MS of the lead frame on which the light reflecting resin layer 20 is formed, and the multi-sided body R of the lead frame with resin is completed.

なお、本実施形態のインジェクション成形の金型１２０は、樹脂の流路が、一つのスプルーからランナーを介して複数のゲートへと分岐されているので、リードフレームの多面付け体ＭＳに対して、複数個所から均等に樹脂を射出するようにしている。これにより、リードフレームの多面付け体ＭＳの各リードフレーム１０に対して、樹脂を適正に充填させることができ、樹脂ムラのない樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒを得ることができる。   In the injection molding die 120 of the present embodiment, the resin flow path is branched from a single sprue to a plurality of gates via a runner, so that the multi-faced body MS of the lead frame is Resin is injected evenly from multiple locations. As a result, the resin can be appropriately filled in each lead frame 10 of the multi-sided body MS of the lead frame, and a multi-sided body R of the lead frame with resin without resin unevenness can be obtained.

本実施形態の発明には、以下のような効果がある。
（１）リードフレームの多面付け体ＭＳ（樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ）は、枠体Ｆの裏面に段部Ｄを形成し、枠体Ｆの裏面全面に光反射樹脂層２０を形成する樹脂を充填することができるので、樹脂の成形過程において発生する成形収縮による反りが生じてしまうのを抑制することができる。
また、電子線硬化樹脂を用いた場合、成形加工後の電子線照射による硬化収縮が大きいが、成形時に枠体Ｆの裏面にも光反射樹脂層２０の樹脂が充填されているため、成形過程だけでなく、電子線照射による硬化時においての反りの発生も抑制することが可能である。
（２）また、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面（ＬＥＤ素子２が接続される側とは反対側の面）を、平坦にすることができ、特殊な治具を必要とすることなく、搬送装置等に載置することができる。 The invention of this embodiment has the following effects.
(1) The lead frame multi-faced body MS (resin-attached lead frame multi-faced body R) has a step D formed on the back surface of the frame F, and a light reflecting resin layer 20 formed on the entire back surface of the frame F. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of warpage due to molding shrinkage that occurs in the molding process of the resin.
In addition, when an electron beam curable resin is used, curing shrinkage due to electron beam irradiation after molding is large, but the back surface of the frame F is filled with the resin of the light reflecting resin layer 20 at the time of molding. In addition, it is possible to suppress the occurrence of warpage during curing by electron beam irradiation.
(2) Further, the back surface of the multi-faced body R of the lead frame with resin (surface opposite to the side to which the LED element 2 is connected) can be flattened and a special jig is required. And can be placed on a transfer device or the like.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図１０は、第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、それぞれ、リードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図である。
図１１は、第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１１（ａ）、図１１（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの図１０（ａ）のａ部拡大の平面図、裏面図を示し、図１１（ｃ）、図１１（ｄ）は、それぞれ図１１（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図１２は、第２実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図１２（ａ）、図１２（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図１２（ｃ）、図１２（ｄ）は、それぞれ図１２（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 10 is an overall view of the multi-faceted body MS of the lead frame of the second embodiment. FIGS. 10A and 10B are a plan view and a back view, respectively, of the multifaceted body MS of the lead frame.
FIG. 11 is a diagram for explaining the details of the multi-faced body MS of the lead frame of the second embodiment. 11 (a) and 11 (b) show an enlarged plan view and a rear view, respectively, of FIG. 10 (a) of the multifaceted body MS of the lead frame, and FIG. 11 (c) and FIG. 11 (d). ) Shows a cc cross-sectional view and a dd cross-sectional view of FIG.
FIG. 12 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin according to the second embodiment. 12 (a) and 12 (b) show a plan view and a rear view of the multi-faced body R of the lead frame with resin, respectively, and FIGS. 12 (c) and 12 (d) respectively show FIG. 12 (a). Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

第２実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
段部Ｄは、図１０及び図１１に示すように、枠体Ｆの四隅を避けるように形成されている。すなわち、枠体Ｆは、裏面の四隅を除いた部分が、端子部１１、１２の外部端子面１１ｂ、１２ｂから窪んだ状態に形成されており、四隅のみ端子部１１、１２の最大の厚みと同等の厚みで形成されている。
光反射樹脂層２０は、図１２に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの裏面の四隅を除いた部分にも形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面には、図１２（ｂ）に示すように、リードフレームの多面付け体ＭＳの外部端子面１１ｂ、１２ｂ及び枠体Ｆの四隅の部分のみが、光反射樹脂層２０から表出することとなる。 The multi-sided body MS of the lead frame of the second embodiment is different from the multi-sided body MS of the lead frame of the first embodiment in the shape of the step portion D of the frame F.
As shown in FIGS. 10 and 11, the step portion D is formed so as to avoid the four corners of the frame F. That is, the frame F is formed in a state in which the portions excluding the four corners on the back surface are recessed from the external terminal surfaces 11b and 12b of the terminal portions 11 and 12, and only the four corners have the maximum thickness of the terminal portions 11 and 12. It is formed with the same thickness.
As shown in FIG. 12, the light reflecting resin layer 20 is formed not only on the outer peripheral side surfaces of the terminal portions 11, 12 but also on portions other than the four corners on the back surface of the frame F. As a result, only the four corners of the external terminal surfaces 11b and 12b of the multifaceted body MS of the lead frame and the frame F are provided on the back surface of the multifaceted face R of the lead frame with resin, as shown in FIG. However, it will be exposed from the light reflecting resin layer 20.

以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、枠体Ｆの四隅を避けるように段部Ｄを形成することによって、光反射樹脂層２０を形成する工程において、リードフレームの多面付け体ＭＳを金型で挟み込む場合に、挟み込みにより跳ね上がり易い枠体Ｆの四隅を金型で押さえ付けることができる。これにより、樹脂を充填して光反射樹脂層２０を成形した場合に、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒにバリが発生するのを抑制することができ、リードフレームの多面付け体ＭＳの裏面に確実に光反射樹脂層２０を配置することができる。 With the above configuration, the multi-faceted body MS of the lead frame of the present embodiment can achieve the same effects as the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment described above.
Further, by forming the step portions D so as to avoid the four corners of the frame body F, when the lead frame multi-sided body MS is sandwiched between molds in the step of forming the light reflecting resin layer 20, it is easy to jump up by sandwiching. The four corners of the frame F can be pressed with a mold. Accordingly, when the light-reflecting resin layer 20 is molded by filling the resin, it is possible to suppress the occurrence of burrs in the multi-sided body R of the lead frame with resin, and the back surface of the multi-sided body MS of the lead frame. The light reflecting resin layer 20 can be reliably disposed.

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図１３は、第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。図１３（ａ）、図１３（ｂ）は、それぞれ、リードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図である。
図１４は、第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１４（ａ）、図１４（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの図１３（ａ）のａ部拡大の平面図、裏面図を示し、図１４（ｃ）、図１４（ｄ）は、それぞれ図１４（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図１５は、第３実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図１５（ａ）、図１５（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図１５（ｃ）、図１５（ｄ）は、それぞれ図１５（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。 (Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described.
FIG. 13 is an overall view of a multi-sided body MS of a lead frame according to the third embodiment. FIGS. 13A and 13B are a plan view and a back view of the multi-sided body MS of the lead frame, respectively.
FIG. 14 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body MS of the lead frame of the third embodiment. 14 (a) and 14 (b) show an enlarged plan view and a rear view, respectively, of FIG. 13 (a) of the multifaceted body MS of the lead frame, and FIG. 14 (c) and FIG. 14 (d). ) Shows a cc cross-sectional view and a dd cross-sectional view of FIG.
FIG. 15 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin according to the third embodiment. FIGS. 15A and 15B show a plan view and a back view of the multi-faced body R of the lead frame with resin, respectively. FIGS. 15C and 15D show FIGS. 15A and 15D, respectively. Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

第３実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
段部Ｄは、図１３及び図１４に示すように、枠体Ｆの外周縁を避けるようにして形成されている。すなわち、枠体Ｆは、裏面の外周縁を除いた部分が、端子部１１、１２の外部端子面１１ｂ、１２ｂから窪むように形成されており、外周縁の部分のみが端子部１１、１２の最大の厚みと同等の厚みで形成されている。
光反射樹脂層２０は、図１５に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄ、すなわち、枠体Ｆの裏面の外周縁を除いた部分にも形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面には、図１５（ｂ）に示すように、リードフレームの多面付け体ＭＳの外部端子面１１ｂ、１２ｂ及び枠体Ｆの外周縁のみが、光反射樹脂層２０から表出することとなる。 The multi-sided body MS of the lead frame of the third embodiment is different from the multi-sided body MS of the lead frame of the first embodiment in the shape of the step portion D of the frame F.
As shown in FIGS. 13 and 14, the step portion D is formed so as to avoid the outer peripheral edge of the frame body F. That is, the frame body F is formed such that the portion excluding the outer peripheral edge on the back surface is recessed from the external terminal surfaces 11 b and 12 b of the terminal portions 11 and 12, and only the outer peripheral portion is the maximum of the terminal portions 11 and 12. It is formed with the thickness equivalent to the thickness of.
As shown in FIG. 15, the light reflecting resin layer 20 is not only formed on the outer peripheral side surfaces of the terminal portions 11 and 12, but also the stepped portion D of the frame body F, that is, the outer peripheral edge of the back surface of the frame body F. It is also formed on the removed portion. Thereby, only the outer peripheral edges of the external terminal surfaces 11b and 12b of the multi-faced body MS of the lead frame and the frame F are provided on the back surface of the multi-faceted body R of the lead frame with resin, as shown in FIG. It will be exposed from the light reflecting resin layer 20.

以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、枠体Ｆの裏面の外周縁を避けるようにして段部Ｄを形成することによって、光反射樹脂層２０を形成する工程において、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの周側縁に樹脂のバリが発生するのを抑制することができる。
更に、枠体Ｆの外周縁が端子部１１、１２の最大厚みと同等の厚みとなることで、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳに比べ枠体Ｆの強度を向上させることができ、ハンドリング時において、リードフレームの多面付け体ＭＳが変形してしまうのを抑制することができる。 With the above configuration, the multi-faceted body MS of the lead frame of the present embodiment can achieve the same effects as the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment described above.
Further, in the step of forming the light reflecting resin layer 20 by forming the step portion D so as to avoid the outer peripheral edge of the back surface of the frame F, a resin is applied to the peripheral side edge of the multifaceted body R of the lead frame with resin. The occurrence of burrs can be suppressed.
Furthermore, since the outer peripheral edge of the frame F has a thickness equivalent to the maximum thickness of the terminal portions 11 and 12, it is possible to improve the strength of the frame F compared to the multifaceted body MS of the lead frame of the first embodiment. It is possible to suppress deformation of the multi-faceted body MS of the lead frame during handling.

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
図１６は、第４実施形態のリードフレーム及び樹脂付きリードフレームの多面付け体ＭＳの全体図である。図１６（ａ）、図１６（ｂ）は、それぞれ、リードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図である。図１６（ｃ）は、光反射樹脂層２０が形成された樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面の拡大図であり図４（ｂ）に対応する図である。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。 (Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described.
FIG. 16 is an overall view of a multi-sided assembly MS of a lead frame and a lead frame with resin according to the fourth embodiment. FIGS. 16A and 16B are a plan view and a back view, respectively, of the multifaceted body MS of the lead frame. FIG. 16C is an enlarged view of the back surface of the multi-faced body R of the resin-attached lead frame on which the light reflecting resin layer 20 is formed, and corresponds to FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

第４実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、図１６（ａ）に示すように、多面付けされたリードフレーム１０の集合体Ｇが枠体Ｆ内に複数組（例えば、４組）形成されている。
枠体Ｆの段部Ｄは、図１６（ｂ）に示すように、枠体Ｆの裏面の外周縁と、上述のリードフレーム１０の集合体Ｇの外形線の延長線Ｇ１とが交差する部分を除いた部分に形成されている。すなわち、枠体Ｆは、枠体Ｆの裏面の外周縁と、リードフレーム１０の集合体Ｇの外形線の延長線Ｇ１とが交差する部分のみ、端子部１１、１２の最大厚みと同等の厚みで形成される。
光反射樹脂層２０は、図１６（ｃ）に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄにも形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面には、リードフレームの多面付け体ＭＳの外部端子面１１ｂ、１２ｂと、上述の枠体Ｆと集合体Ｇの外形線の延長線Ｇ１とが交差する部分とが、光反射樹脂層２０から表出することとなる。 The multi-sided body MS of the lead frame of the fourth embodiment is different from the multi-sided body MS of the lead frame of the first embodiment in the shape of the step portion D of the frame F.
As shown in FIG. 16A, the lead frame multi-faceted body MS of the present embodiment has a plurality of sets (for example, 4 sets) of aggregates G of the lead frames 10 that are multi-faced. ing.
As shown in FIG. 16B, the step portion D of the frame body F is a portion where the outer peripheral edge of the back surface of the frame body F and the extension line G1 of the outline of the assembly G of the lead frame 10 described above intersect. It is formed in the part except. That is, the frame F has a thickness equivalent to the maximum thickness of the terminal portions 11 and 12 only at the portion where the outer peripheral edge of the back surface of the frame F and the extension line G1 of the outline of the assembly G of the lead frame 10 intersect. Formed with.
As shown in FIG. 16C, the light reflecting resin layer 20 is formed not only on the outer peripheral side surfaces of the terminal portions 11 and 12 but also on the step portion D of the frame F. Thereby, on the back surface of the multi-faced body R of the lead frame with resin, the external terminal surfaces 11b and 12b of the multi-faced body MS of the lead frame, the extension line G1 of the outline of the frame body F and the assembly G described above, and The portion where the crosses are exposed from the light reflecting resin layer 20.

以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、枠体Ｆは、その裏面において、外周縁と、リードフレーム１０の集合体Ｇの外形線の延長線Ｇ１とが交差する部分を除いた部分に段部Ｄを形成する。これにより、樹脂を充填して光反射樹脂層２０を成形した場合に、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの上記集合体Ｇ毎に樹脂のバリが発生するのを抑制することができる。 With the above configuration, the multi-faceted body MS of the lead frame of the present embodiment can achieve the same effects as the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment described above.
Further, the frame body F has a stepped portion D formed on the back surface thereof except for a portion where the outer peripheral edge and the extended line G1 of the outline of the assembly G of the lead frame 10 intersect. Accordingly, when the light reflecting resin layer 20 is molded by filling the resin, it is possible to suppress the occurrence of resin burrs for each of the aggregates G of the multifaceted body R of the lead frame with resin.

（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
図１７は、第５実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１７（ａ）、図１７（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図を示し、図１７（ｃ）、図１７（ｄ）は、それぞれ図１７（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図１８は、第５実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図１８（ａ）、図１８（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図１８（ｃ）、図１８（ｄ）は、それぞれ図１８（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。 (Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.
FIG. 17 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body MS of the lead frame of the fifth embodiment. FIGS. 17A and 17B are a plan view and a back view, respectively, of the multifaceted body MS of the lead frame, and FIGS. 17C and 17D are views of FIG. 17A, respectively. A cc sectional view and a dd sectional view are shown.
FIG. 18 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin according to the fifth embodiment. 18 (a) and 18 (b) are respectively a plan view and a back view of the multi-faced body R of the lead frame with resin, and FIGS. 18 (c) and 18 (d) respectively show FIG. 18 (a). Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

第５実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆ及び段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
枠体Ｆは、図１７に示すように、表面から裏面に貫通する孔部Ｈが形成されている。
孔部Ｈは、リードフレームの多面付け体ＭＳを搬送する場合に使用したり、光半導体装置１の製造過程において、リードフレームの多面付け体ＭＳのアライメント（位置決め）に使用したりする円形状の孔である。孔部Ｈは、図１７中では、１つ形成されているが、枠体Ｆ上に複数個、例えば、枠体Ｆの上辺及び下辺に等間隔に３つずつ形成される。
段部Ｄは、枠体Ｆの裏面において、枠体Ｆの孔部Ｈ及びその外周縁を避けるようにして形成されている。こうすることで、リードフレームの多面付け体ＭＳに、光反射樹脂層２０を形成する樹脂が充填された場合に、樹脂が孔部Ｈに入り込んで、孔部Ｈを塞いでしまうのを防止することができる。
光反射樹脂層２０は、図１８に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄ、すなわち、枠体Ｆの裏面の孔部Ｈ及びその外周縁を除いた部分にも形成される。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの裏面には、図１８（ｂ）に示すように、リードフレームの多面付け体ＭＳの外部端子面１１ｂ、１２ｂ及び枠体Ｆの孔部Ｈ及びその外周縁のみが、光反射樹脂層２０から表出することとなる。 The multifaceted body MS of the lead frame of the fifth embodiment is different from the multifaceted body MS of the lead frame of the first embodiment in the shapes of the frame body F and the step portion D.
As shown in FIG. 17, the frame F has a hole H penetrating from the front surface to the back surface.
The hole H is a circular shape that is used when the multi-sided body MS of the lead frame is transported or used for alignment (positioning) of the multi-sided body MS of the lead frame in the manufacturing process of the optical semiconductor device 1. It is a hole. Although one hole H is formed in FIG. 17, a plurality of holes H are formed on the frame F, for example, three at equal intervals on the upper side and the lower side of the frame F.
The step portion D is formed on the back surface of the frame body F so as to avoid the hole H of the frame body F and the outer peripheral edge thereof. This prevents the resin from entering the hole H and closing the hole H when the multi-faced body MS of the lead frame is filled with the resin that forms the light reflecting resin layer 20. be able to.
As shown in FIG. 18, the light reflecting resin layer 20 is not only formed on the outer peripheral side surfaces of the terminal portions 11 and 12 but also the stepped portion D of the frame F, that is, the hole H on the back surface of the frame F. And it is formed also in the part except the outer periphery. Thereby, on the back surface of the multi-faced body R of the lead frame with resin, as shown in FIG. 18B, the external terminal surfaces 11b and 12b of the multi-faced body MS of the lead frame and the holes H of the frame F and Only the outer peripheral edge is exposed from the light reflecting resin layer 20.

以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、孔部Ｈ及び孔部Ｈの外周縁を除いた部分に段部Ｄが形成されるので、枠体Ｆに光反射樹脂層２０を形成する樹脂が充填された場合に、樹脂が孔部Ｈに流れ込んで、孔部Ｈが塞がれてしまうのを防止することができる。これにより、光反射樹脂層２０の形成後に、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒに、改めて孔部を形成する工程が発生してしまうのを防ぐことができる。また、改めて孔部を形成した場合には、位置精度の加工公差が累積されてしまうため、孔部を用いた樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの位置決めや画像アライメントが必要となる工程において精度不足となる問題を生じるおそれがある。しかし、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳでは、このような問題の発生も防ぐことができる。 With the above configuration, the multi-faceted body MS of the lead frame of the present embodiment can achieve the same effects as the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment described above.
Moreover, since the step part D is formed in the part except the outer periphery of the hole H and the hole H, when the resin which forms the light reflection resin layer 20 is filled in the frame F, resin is a hole. It is possible to prevent the hole H from being blocked by flowing into the H. Thereby, after the formation of the light reflecting resin layer 20, it is possible to prevent the occurrence of a step of forming a hole again in the multifaceted body R of the lead frame with resin. In addition, when the hole is formed again, the processing tolerance of the position accuracy is accumulated. Therefore, in the process that requires positioning and image alignment of the multifaceted body R of the lead frame with resin using the hole, accuracy is required. May cause deficiencies. However, the occurrence of such a problem can be prevented in the multi-faced body MS of the lead frame of the present embodiment.

（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態について説明する。
図１９は、第６実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図１９（ａ）、図１９（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図を示し、図１９（ｃ）、図１９（ｄ）は、それぞれ図１９（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図２０は、第６実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図２０（ａ）、図２０（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図２０（ｃ）、図２０（ｄ）は、それぞれ図２０（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。 (Sixth embodiment)
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described.
FIG. 19 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body MS of the lead frame of the sixth embodiment. 19 (a) and 19 (b) show a plan view and a back view of the multi-faced body MS of the lead frame, respectively, and FIGS. 19 (c) and 19 (d) respectively show FIG. 19 (a). A cc sectional view and a dd sectional view are shown.
FIG. 20 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin according to the sixth embodiment. 20 (a) and 20 (b) show a plan view and a rear view of the multi-faced body R of the lead frame with resin, respectively. FIGS. 20 (c) and 20 (d) respectively show FIG. 20 (a). Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

第６実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
枠体Ｆは、図１９に示すように、その裏面に溝状の段部Ｄが形成されている。
段部Ｄは、枠体Ｆの裏面において、リードフレーム１０の端子部１１、１２間の空隙部Ｓの延長部分と枠体Ｆとが交差する位置に形成されている。ここで、空隙部Ｓの延長部分とは、空隙部Ｓを上下（Ｙ）方向（端子部１１、１２の配列方向とは直交する方向）に延長させた領域をいう。
光反射樹脂層２０は、図２０に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄにも形成される。 The multi-faceted body MS of the lead frame of the sixth embodiment is different from the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment in the shape of the step portion D of the frame F.
As shown in FIG. 19, the frame body F has a groove-shaped step portion D formed on the back surface thereof.
The step portion D is formed on the back surface of the frame F at a position where the extended portion of the gap S between the terminal portions 11 and 12 of the lead frame 10 and the frame F intersect. Here, the extended portion of the gap S refers to a region in which the gap S is extended in the vertical (Y) direction (a direction orthogonal to the arrangement direction of the terminal portions 11 and 12).
As shown in FIG. 20, the light reflecting resin layer 20 is formed not only on the outer peripheral side surfaces of the terminal portions 11 and 12 but also on the step portion D of the frame F.

以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、段部Ｄが、端子部１１、１２間の空隙部Ｓの延長部分と枠体Ｆとが交差する位置に形成されているので、樹脂付きリードフレームの中でも、金属部分が最も少ない部分である空隙部Ｓの位置に対応させて、枠体Ｆの裏面に樹脂を充填することができる。これにより、リードフレームの多面付け体ＭＳの枠体Ｆ部分とリードフレーム１０部分との変形の度合いを合わせることができるため、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（リードフレームの多面付け体ＭＳ）の反り及び微小な歪をより効果的に抑制することができる。 With the above configuration, the multi-faceted body MS of the lead frame of the present embodiment can achieve the same effects as the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment described above.
Further, since the step portion D is formed at a position where the extended portion of the gap S between the terminal portions 11 and 12 and the frame body F intersect, the lead portion with resin has the smallest metal portion. Corresponding to the position of a certain gap S, the back surface of the frame F can be filled with resin. As a result, the degree of deformation of the frame body F portion and the lead frame 10 portion of the multi-sided body MS of the lead frame can be matched, so that the multi-sided body R of the lead frame with resin (multi-sided body MS of the lead frame) Warpage and minute distortion can be more effectively suppressed.

（第７実施形態）
次に、本発明の第７実施形態について説明する。
図２１は、第７実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳの詳細を説明する図である。図２１（ａ）、図２１（ｂ）は、それぞれリードフレームの多面付け体ＭＳの平面図、裏面図を示し、図２１（ｃ）、図２１（ｄ）は、それぞれ図２１（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
図２２は、第７実施形態の樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの詳細を説明する図である。図２２（ａ）、図２２（ｂ）は、それぞれ樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒの平面図、裏面図を示し、図２２（ｃ）、図２２（ｄ）は、それぞれ図２２（ａ）のｃ−ｃ断面図、ｄ−ｄ断面図を示す。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。 (Seventh embodiment)
Next, a seventh embodiment of the present invention will be described.
FIG. 21 is a diagram for explaining the details of the multi-faced body MS of the lead frame according to the seventh embodiment. FIGS. 21A and 21B are a plan view and a back view, respectively, of the multi-faced body MS of the lead frame. FIGS. 21C and 21D are respectively the views of FIG. A cc sectional view and a dd sectional view are shown.
FIG. 22 is a diagram for explaining the details of the multifaceted body R of the lead frame with resin according to the seventh embodiment. 22 (a) and 22 (b) are a plan view and a back view, respectively, of the multifaceted body R of the lead frame with resin, and FIGS. 22 (c) and 22 (d) are respectively the same as FIG. Cc cross-sectional view and dd cross-sectional view of FIG.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.

第７実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、枠体Ｆの段部Ｄの形状が、第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと相違する。
枠体Ｆは、図２１に示すように、その裏面に溝状の段部Ｄが形成されている。
段部Ｄは、枠体Ｆの裏面において、多面付けされた各リードフレーム１０間の空隙となる領域の延長部分と枠体Ｆとが交差する位置に形成されている。また、段部Ｄは、リードフレーム１０及び枠体Ｆ間の空隙となる領域の延長部分と枠体Ｆとが交差する位置にも形成されている。 The multi-sided body MS of the lead frame of the seventh embodiment is different from the multi-sided body MS of the lead frame of the first embodiment in the shape of the step portion D of the frame F.
As shown in FIG. 21, the frame body F has a groove-shaped step D formed on the back surface thereof.
The step portion D is formed on the back surface of the frame body F at a position where the frame body F and an extended portion of a region serving as a gap between the multiple lead frames 10 are crossed. Further, the stepped portion D is also formed at a position where the extended portion of the region serving as a gap between the lead frame 10 and the frame F intersects the frame F.

ここで、各リードフレーム１０間の空隙となる領域の延長部分とは、左右（Ｘ）方向（端子部１１、１２の配列方向）に隣接するリードフレーム１０間の空隙となる領域を上下（Ｙ）方向（端子部１１、１２の配列方向とは直交する方向）に延長させた領域と、上下方向に隣接するリードフレーム１０間の空隙となる領域を左右方向に延長させた領域とをいう。また、リードフレーム１０及び枠体Ｆ間の空隙となる領域の延長部分とは、左右方向に隣接する枠体Ｆ及びリードフレーム１０間の空隙となる領域を上下方向に延長させた領域と、上下方向に隣接する枠体Ｆ及びリードフレーム１０間の空隙となる領域を左右方向に延長させた領域とをいう。
光反射樹脂層２０は、図２２に示すように、端子部１１、１２の外周側面等に形成されるだけでなく、枠体Ｆの段部Ｄにも形成される。 Here, the extended portion of the region that becomes the gap between the lead frames 10 is the area that becomes the gap between the lead frames 10 adjacent in the left and right (X) direction (the arrangement direction of the terminal portions 11 and 12). ) Region extending in the direction (a direction orthogonal to the arrangement direction of the terminal portions 11 and 12), and a region extending in the left-right direction a region serving as a gap between the lead frames 10 adjacent in the vertical direction. Further, the extended portion of the area that becomes a gap between the lead frame 10 and the frame body F is an area in which the area that becomes a gap between the frame body F and the lead frame 10 adjacent to each other in the left-right direction is extended vertically. A region obtained by extending a region that becomes a gap between the frame F adjacent to the direction and the lead frame 10 in the left-right direction.
As shown in FIG. 22, the light reflecting resin layer 20 is formed not only on the outer peripheral side surfaces of the terminal portions 11 and 12 but also on the step portion D of the frame F.

以上の構成により、本実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳは、上述の第１実施形態のリードフレームの多面付け体ＭＳと同様の効果を奏することができる。
また、上述したように、段部Ｄは、各リードフレーム１０間の空隙となる領域の延長部分と枠体Ｆとが交差する位置と、リードフレーム１０及び枠体Ｆ間の空隙となる領域の延長部分と枠体Ｆとが交差する位置とに形成されている。そのため、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒは、リフレクタ２０ａが存在する部分、すなわち、最も光反射樹脂層２０が厚くなる部分に対応させて、枠体Ｆの裏面に光反射樹脂層２０を形成することができる。これにより、樹脂付きリードフレームの多面付け体Ｒ（リードフレームの多面付け体ＭＳ）の反りをより効果的に抑制することができる。特に、光反射樹脂層２０にゴムのような柔らかい樹脂が使用されている場合、反りの抑制を更に効果的にすることができる。 With the above configuration, the multi-faceted body MS of the lead frame of the present embodiment can achieve the same effects as the multi-faceted body MS of the lead frame of the first embodiment described above.
In addition, as described above, the step portion D includes the position where the extended portion of the region serving as the space between the lead frames 10 and the frame F intersect, and the region serving as the space between the lead frame 10 and the frame F. It is formed at a position where the extended portion and the frame F intersect. Therefore, the multi-faced body R of the lead frame with resin forms the light reflecting resin layer 20 on the back surface of the frame F so as to correspond to the portion where the reflector 20a exists, that is, the portion where the light reflecting resin layer 20 is thickest. can do. Thereby, the curvature of the multifaceted body R (leadframe multifaceted body MS) of the lead frame with resin can be more effectively suppressed. In particular, when a soft resin such as rubber is used for the light reflecting resin layer 20, it is possible to further effectively suppress warping.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made as in the modifications described later, and these are also included in the present invention. Within the technical scope. In addition, the effects described in the embodiments are merely a list of the most preferable effects resulting from the present invention, and the effects of the present invention are not limited to those described in the embodiments. It should be noted that the above-described embodiment and modifications described later can be used in appropriate combination, but detailed description thereof is omitted.

図２３は、本発明の変形形態を示す図である。
（変形形態）
（１）各実施形態においては、リードフレーム１０は、端子部１１及び端子部１２を備える例を示したが、リードフレームは、２以上の端子部を備えていてもよい。例えば、図２３に示すように、端子部を３つ設け、その１つ（２１１）にはＬＥＤ素子を実装し、他の２つ（２１２）にはボンディングワイヤ２ａを介してＬＥＤ素子２と接続してもよい。 FIG. 23 is a diagram showing a modification of the present invention.
(Deformation)
(1) In each embodiment, although the lead frame 10 showed the example provided with the terminal part 11 and the terminal part 12, the lead frame may be provided with the 2 or more terminal part. For example, as shown in FIG. 23, three terminal portions are provided, one of which (211) is mounted with an LED element, and the other two (212) are connected to the LED element 2 via bonding wires 2a. May be.

（２）各実施形態において、リードフレーム１０は、ＬＥＤ素子２を載置、接続するダイパッドとなる端子部１１と、ＬＥＤ素子２とボンディングワイヤ２ａを介して接続されるリード側端子部となる端子部１２とから構成する例を説明したが、これに限定されない。例えば、ＬＥＤ素子２が２つの端子部を跨ぐようにして載置、接続されるようにしてもよい。この場合、２つの端子部のそれぞれの外形は、同等に形成されてもよい。
（３）各実施形態においては、リードフレーム１０は、ＬＥＤ素子２等の光半導体素子を接続する光半導体装置１に使用する例を示したが、光半導体素子以外の半導体素子を用いた半導体装置にも使用することができる。
（４）第５実施形態において、孔部Ｈは、円形状の孔の例を示したが、これに限定されるものでなく、楕円や、矩形状の孔であってもよい。 (2) In each embodiment, the lead frame 10 is a terminal portion 11 that becomes a die pad on which the LED element 2 is placed and connected, and a terminal that becomes a lead side terminal portion connected to the LED element 2 via the bonding wire 2a. Although the example comprised from the part 12 was demonstrated, it is not limited to this. For example, the LED element 2 may be placed and connected so as to straddle two terminal portions. In this case, the outer shapes of the two terminal portions may be formed equally.
(3) In each embodiment, although the lead frame 10 showed the example used for the optical semiconductor device 1 which connects optical semiconductor elements, such as the LED element 2, the semiconductor device using semiconductor elements other than an optical semiconductor element was shown. Can also be used.
(4) In 5th Embodiment, although the hole H showed the example of the circular hole, it is not limited to this, An ellipse or a rectangular hole may be sufficient.

１ 光半導体装置
２ ＬＥＤ素子
１０ リードフレーム
１１ 端子部
１２ 端子部
１３ 連結部
２０ 光反射樹脂層
２０ａ リフレクタ
３０ 透明樹脂層
Ｄ 段部
Ｆ 枠体
Ｇ 集合体
Ｍ 凹部
ＭＳ リードフレームの多面付け体
Ｒ 樹脂付きリードフレームの多面付け体
Ｓ 空隙部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical semiconductor device 2 LED element 10 Lead frame 11 Terminal part 12 Terminal part 13 Connection part 20 Light reflection resin layer 20a Reflector 30 Transparent resin layer D Step part F Frame G Assembly M Concave MS Multi-adhesion body of lead frame R Resin Multi-faceted body of lead frame with S S Gap

Claims (8)

複数の端子部を有し、前記端子部の表面側に突出する樹脂部が形成され、前記端子部のうち少なくとも一つの表面に光半導体素子が接続される光半導体装置に用いられるリードフレームが枠体に多面付けされたリードフレームの多面付け体において、
前記枠体は、その裏面の少なくとも一部が、前記端子部の裏面に対して窪んだ段部を有すること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。 A lead frame used in an optical semiconductor device having a plurality of terminal portions, formed with a resin portion protruding on the surface side of the terminal portions, and having an optical semiconductor element connected to at least one surface of the terminal portions. In the multi-faceted body of the lead frame that is multi-faced to the body,
The frame body has a stepped portion at least a part of the back surface of which is recessed with respect to the back surface of the terminal portion;
Multi-faceted body of lead frame characterized by 請求項１に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記段部は、前記枠体の四隅を避けるようにして形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。 The lead frame multi-faced body according to claim 1,
The step is formed so as to avoid the four corners of the frame;
Multi-faceted body of lead frame characterized by 請求項１又は請求項２に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記段部は、前記枠体の外周縁を避けるようにして形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。 In the multifaceted body of the lead frame according to claim 1 or 2,
The step is formed so as to avoid the outer periphery of the frame;
Multi-faceted body of lead frame characterized by 請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記段部は、前記リードフレームの互いに対向する前記端子部間の領域の延長部分と前記枠体とが交差する位置に形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。 In the multi-faced body of the lead frame according to any one of claims 1 to 3,
The stepped portion is formed at a position where an extension portion of the region between the terminal portions facing each other of the lead frame intersects the frame.
Multi-faceted body of lead frame characterized by 請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記段部は、多面付けされる前記各リードフレーム間の領域の延長部分と前記枠体とが交差する位置に形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。 In the multi-faced body of the lead frame according to any one of claims 1 to 4,
The stepped portion is formed at a position where an extended portion of a region between the lead frames to be multifaceted intersects the frame body;
Multi-faceted body of lead frame characterized by 請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のリードフレームの多面付け体において、
前記枠体は孔部を有し、
前記段部は、前記孔部及びその外周縁を避けるようにして形成されること、
を特徴とするリードフレームの多面付け体。 The multi-faced body of a lead frame according to any one of claims 1 to 5,
The frame has a hole,
The step is formed so as to avoid the hole and the outer periphery thereof;
Multi-faceted body of lead frame characterized by 請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載のリードフレームの多面付け体と、
前記端子部の外周側面及び前記端子部間に形成され、また、前記リードフレームの前記光半導体素子が接続される側の面に突出して形成される樹脂層とを備え、
前記樹脂層は、前記枠体の段部にも形成されること、
を特徴とする樹脂付きリードフレームの多面付け体。 A multi-faced body of a lead frame according to any one of claims 1 to 6,
A resin layer formed between the outer peripheral side surface of the terminal portion and the terminal portion, and protruding from the surface of the lead frame to which the optical semiconductor element is connected;
The resin layer is also formed on the step of the frame;
Multi-faceted body of resin-attached lead frame characterized by 請求項７に記載の樹脂付きリードフレームの多面付け体と、
前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記各リードフレームの前記端子部のうち少なくとも一つに接続される光半導体素子と、
前記樹脂付きリードフレームの多面付け体の前記光半導体素子が接続される側の面に形成され、前記光半導体素子を覆う透明樹脂層とを備えること、
を特徴とする光半導体装置の多面付け体。 A multi-faced body of a lead frame with resin according to claim 7;
An optical semiconductor element connected to at least one of the terminal portions of each lead frame of the multi-faced body of the resin-attached lead frame;
A transparent resin layer that is formed on a surface to which the optical semiconductor element is connected of the multifaceted body of the lead frame with resin, and covers the optical semiconductor element;
A multifaceted body of an optical semiconductor device characterized by the above.
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