JP2014127583A - Semiconductor module - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor module the inductance of which can be reduced furthermore, by increasing the region of a blade part.SOLUTION: A semiconductor module 1 includes an emitter electrode 11 and a collector electrode 12, an emitter bus bar 13 connected with the emitter electrode 11, a collector bus bar 14 connected with the collector electrode 12, a first blade 15 connected with the emitter electrode 11, and a second blade 16 connected with the collector electrode 12. The emitter bus bar 13 has a region overlapping the second blade 16, the collector bus bar 14 has a region overlapping the first blade 15, a gap 17 is formed between the emitter bus bar 13 and the first blade 15, and a second gap 18 is formed between the collector bus bar 14 and the second blade 16.

Description

本発明は、半導体モジュールに関する。   The present invention relates to a semiconductor module.

従来、モータなどの電気機器を制御する電力変換装置に使用される半導体モジュールとして、スイッチング素子(例えばIGBT)及び整流素子(例えば還流ダイオード(FWD))を備えたものが知られている。このような半導体モジュールにおいては、定常電流を妨げる方向の電圧であるサージ電圧を低減するために、インダクタンスを低減することが重要である。   2. Description of the Related Art Conventionally, a semiconductor module that is used in a power conversion device that controls an electric device such as a motor includes a switching element (for example, IGBT) and a rectifying element (for example, a freewheeling diode (FWD)). In such a semiconductor module, it is important to reduce inductance in order to reduce a surge voltage that is a voltage in a direction that hinders a steady current.

スイッチング素子等に電力を供給する棒状の金属であるバスバの構造を最適化して、インダクタンスを低減する技術が知られている。具体的には、極性の異なるバスバ(正側バスバ、負側バスバ)の導電経路を近接して配置し、正側バスバ及び負側バスバ間の相互インダクタンスを大きくすることにより、インダクタンスの低減を図る。例えば特許文献1に記載された半導体モジュールでは、正側バスバ及び負側バスバをともにループ配線とし、正側バスバ及び負側バスバのループ配線が近接していない箇所に追加配線を設け、正側バスバのループ配線に正側バスバの追加配線を加えた導電経路と、負極バスバのループ配線に負極バスバの追加配線を加えた導電経路とが各箇所において近接するようにし(導電経路の形状が正極バスバと負極バスバとで対応した形の形状(同一の形状)となるようにし)、インダクタンスの低減を図っている。   There is known a technique for reducing the inductance by optimizing the structure of a bus bar that is a rod-shaped metal that supplies power to a switching element or the like. Specifically, the conductive paths of bus bars having different polarities (positive bus bar, negative bus bar) are arranged close to each other, and the mutual inductance between the positive bus bar and the negative bus bar is increased, thereby reducing the inductance. . For example, in the semiconductor module described in Patent Document 1, both the positive side bus bar and the negative side bus bar are loop wires, and additional wires are provided at locations where the loop wires of the positive side bus bar and the negative side bus bar are not close to each other. The conductive path in which the additional wiring of the positive bus bar is added to the loop wiring of the negative bus bar and the conductive path in which the additional wiring of the negative bus bar is added to the loop wiring of the negative bus bar are close to each other (the shape of the conductive path is positive bus bar). And the negative electrode bus bar have shapes corresponding to each other (same shape) to reduce inductance.

特開2002−14152号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-14152

上述したような半導体モジュールに用いられるバスバとして、電極と一体となった構造(異形構造)のものがある。このような異形構造の電極及びバスバは、厚さが厚い電極板(電極になる部分)と厚さが薄い電極板(バスバになる部分)とが一体となった部材(異形材)から生成される。具体的には、当該異形材の厚さが薄い電極板のうちバスバを設ける範囲を除いた部分を打ち抜くことにより生成される。厚さが薄い電極板を打ち抜く際、バスバになる部分だけを残して他の部分を完全に打ち抜くことは難しく、厚さが薄い電極板のうち厚さが厚い電極板との境界面の部分には、少量の電極板(バリ)が残ることとなる。   As a bus bar used in the semiconductor module as described above, there is a structure (unshaped structure) integrated with an electrode. Such an irregularly shaped electrode and bus bar are generated from a member (deformed material) in which a thick electrode plate (part that becomes an electrode) and a thin electrode plate (part that becomes a bus bar) are integrated. The Specifically, it is generated by punching out the portion of the electrode plate where the thickness of the deformed material is thin, excluding the area where the bus bar is provided. When punching out a thin electrode plate, it is difficult to completely punch out other parts, leaving only the part that will become the bus bar, and at the boundary of the thin electrode plate with the thick electrode plate This leaves a small amount of electrode plate (burrs).

発明者らは、打ち抜き時に残るバリを完全に除去するのではなく、このバリを有効利用して、インダクタンスの低減を図るべく検討した。その結果、バスバに隣接する領域を除去するのではなく、この領域を残すことで、電流経路の短縮及び断面積の拡大によるインダクタンスの低減を図ることを見出した。以下、バスバに隣接し、インダクタンスの低減に利用可能な領域を羽根部という。   The inventors have studied not to completely remove the burrs remaining at the time of punching, but to reduce the inductance by effectively using the burrs. As a result, the present inventors have found that, instead of removing the area adjacent to the bus bar, leaving this area reduces the inductance by shortening the current path and enlarging the cross-sectional area. Hereinafter, a region adjacent to the bus bar and usable for reducing the inductance is referred to as a blade portion.

しかしながら、半導体モジュール成形時の制約から、上述した羽根部を設けることができる領域は限定されていた。すなわち、通常、半導体モジュールはモールド成形により成形され、該モールド成形時には各バスバの高さを同一として曲げ加工を行う必要があるところ、例えば、正極側バスバと一体成型された羽根部を正極側バスバと同様に曲げ加工を行うと、該羽根部が、負極側バスバと接触する可能性があり、このことで羽根部を設けることができる領域は限られることとなっていた。以上より、羽根部を設けることができる領域が限られていることにより、羽根部によるインダクタンスの低減効果は十分とはいえない状況であった。   However, the region where the above-described blade portion can be provided has been limited due to restrictions during molding of the semiconductor module. That is, normally, a semiconductor module is molded by molding, and it is necessary to perform bending with the same height of each bus bar at the time of molding. For example, the blade portion integrally molded with the positive bus bar is connected to the positive bus bus bar. When bending is performed in the same manner as described above, the blade portion may come into contact with the negative electrode bus bar, and this limits the region in which the blade portion can be provided. As described above, since the region where the blade part can be provided is limited, the effect of reducing the inductance by the blade part is not sufficient.

本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、羽根部の領域を大きくすることによってインダクタンスのさらなる低減を図ることが可能な半導体モジュールを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a semiconductor module capable of further reducing inductance by enlarging the region of the blade portion.

本発明は、第1の方向に積層された第1及び第2の電極と、第1及び第2の電極間に配置され、当該第1及び第2の電極に電気的に接続された半導体素子と、第1の方向と交差する第2の方向に張り出す第1のバスバと、第2の電極に接続され、第2の方向に張り出す第2のバスバと、第1の電極に接続され、第1及び第2の方向と交差する第3の方向において前記第1のバスバと隣りあうようにして第2の方向に張り出す第1の羽根部と、第2の電極に接続され、第3の方向において第2のバスバと隣りあうようにして第2の方向に張り出す第2の羽根部と、を備え、第1のバスバは、第1の方向から見た場合に、第2の羽根部と重なる領域を有しており、第2のバスバは、第1の方向から見た場合に、第1の羽根部と重なる領域を有しており、第3の方向において隣りあう第1のバスバと第1の羽根部との間には、第1の隙間部が形成されており、第3の方向において隣りあう第2のバスバと第2の羽根部との間には、第2の隙間部が形成されている半導体モジュールを提供する。   The present invention relates to first and second electrodes stacked in a first direction, and a semiconductor element disposed between the first and second electrodes and electrically connected to the first and second electrodes. And a first bus bar projecting in a second direction intersecting the first direction and a second bus bar projecting in the second direction and connected to the second electrode. A first blade portion projecting in a second direction so as to be adjacent to the first bus bar in a third direction intersecting the first and second directions, and connected to the second electrode, And a second blade portion that projects in the second direction so as to be adjacent to the second bus bar in the direction of 3, and the first bus bar has a second shape when viewed from the first direction. The second bus bar has an area that overlaps with the first blade part when viewed from the first direction. Thus, a first gap is formed between the first bus bar and the first blade portion that are adjacent in the third direction, and the second bus bar and the second bus bar that are adjacent in the third direction. A semiconductor module in which a second gap portion is formed between the blade portions is provided.

この半導体モジュールは、第1の方向から見た場合に、第1の電極に接続された第1のバスバが、第2の電極に接続された第2の羽根部と重なる領域を有している。同様に、第1の方向から見た場合に、第2の電極に接続された第2のバスバが、第1の電極に接続された第1の羽根部と重なる領域を有している。バスバと羽根部とが重なる領域を有しているため、バスバを流れる電流から発生する磁界により、羽根部においては、バスバに流れる電流と相対方向に流れる渦電流が発生することとなり、相互インダクタンス作用によりインダクタンスが低減される。   When viewed from the first direction, this semiconductor module has a region where the first bus bar connected to the first electrode overlaps the second blade portion connected to the second electrode. . Similarly, when viewed from the first direction, the second bus bar connected to the second electrode has a region overlapping the first blade portion connected to the first electrode. Since the bus bar and the blade part overlap each other, the magnetic field generated from the current flowing through the bus bar generates an eddy current flowing in the relative direction to the current flowing through the bus bar. This reduces the inductance.

そして、第1のバスバと該第1のバスバと隣り合う第1の羽根部との間には、第1のバスバと第1の羽根部とが接続されていない領域である第1の隙間部が形成されているため、第1の羽根部と第1のバスバとを、独立した形状とすることができる。同様に、第2のバスバと該第2バスバと隣り合う第2の羽根部との間には、第2のバスバと第2の羽根部とが接続されていない領域である第2の隙間部が形成されているため、第2の羽根部と第2のバスバとを、独立した形状とすることができる。   And between the 1st bus bar and the 1st blade part which adjoins the 1st bus bar, the 1st crevice part which is the field where the 1st bus bar and the 1st blade part are not connected Therefore, the first blade portion and the first bus bar can be formed into independent shapes. Similarly, between the second bus bar and the second blade part adjacent to the second bus bar, the second gap part which is an area where the second bus bar and the second blade part are not connected. Therefore, the second blade portion and the second bus bar can be formed into independent shapes.

これにより、第1の羽根部は、第1のバスバから分離され独立した形状として形成されているので、第1のバスバを曲げ加工しても、第1の羽根部が第1のバスバの形状変化の影響を受けて変形するおそれがない。すなわち、第1の羽根部が変形してしまい第2のバスバと接触するおそれがないので、第1の羽根部の面積を拡大することができる。   Thereby, since the 1st blade part is separated from the 1st bus bar and formed as an independent shape, even if it bends the 1st bus bar, the 1st blade part is the shape of the 1st bus bar. There is no risk of deformation under the influence of changes. That is, there is no possibility that the first blade portion is deformed and comes into contact with the second bus bar, so that the area of the first blade portion can be enlarged.

同様に、第2の羽根部は、第2のバスバから分離され独立した形状として形成されているので、第2のバスバを曲げ加工しても、第2の羽根部が第2のバスバの形状変化の影響を受けて変形するおそれがない。すなわち、第2の羽根部が変形してしまい第1のバスバと接触するおそれがないので、第2の羽根部の面積を拡大することができる。   Similarly, since the second blade portion is formed as an independent shape separated from the second bus bar, even if the second bus bar is bent, the second blade portion has the shape of the second bus bar. There is no risk of deformation under the influence of changes. That is, since there is no possibility that the second blade portion is deformed and comes into contact with the first bus bar, the area of the second blade portion can be increased.

その結果、渦電流を発生させる第1の羽根部の領域を大きくすることができるので、第1の羽根部と第2のバスバとの相互インダクタンス作用をより大きくでき、第2のバスバにおけるインダクタンスを低減することが可能となる。   As a result, since the region of the first blade portion that generates eddy current can be increased, the mutual inductance action between the first blade portion and the second bus bar can be increased, and the inductance of the second bus bar can be increased. It becomes possible to reduce.

同様に、渦電流を発生させる第2の羽根部の領域を大きくすることができるので、第2の羽根部と第1のバスバとの相互インダクタンス作用をより大きくでき、第1のバスバにおけるインダクタンスを低減することが可能となる。   Similarly, since the area of the second blade portion that generates eddy current can be increased, the mutual inductance action between the second blade portion and the first bus bar can be further increased, and the inductance in the first bus bar can be increased. It becomes possible to reduce.

また、本発明に係る半導体モジュールは、第1のバスバは、第1の電極側に配置された第1の基端部と、当該第1の基端部から第1の方向の内側に屈曲された後、第2の方向に張出す第1の本体部とを有し、第2のバスバは、第2の電極側に配置された第2の基端部と、当該第2の基端部から第1の方向の内側に屈曲された後、第2の方向に張出す第2の本体部とを有し、第1及び第2の基端部は、第2の方向において、同じ位置まで延在して屈曲され、第1及び第2の基端部は、第1の方向において、同じ位置に配置され、第1の羽根部は、第2の方向において、第2の本体部の第2の基端部側の屈曲位置の近傍まで延在し、第2の羽根部は、第2の方向において、第1の本体部の第1の基端部側の屈曲位置の近傍まで延在している、構成でもよい。   In the semiconductor module according to the present invention, the first bus bar is bent inward in the first direction from the first base end portion disposed on the first electrode side and the first base end portion. The second bus bar has a second base end portion disposed on the second electrode side, and the second base end portion. A second body portion that is bent inward in the first direction and then extends in the second direction, and the first and second base end portions are in the same direction in the second direction. The first and second proximal end portions are arranged at the same position in the first direction, and the first blade portion is the second main body portion in the second direction. The second blade portion extends in the second direction to the vicinity of the bending position on the first base end side of the first main body portion. Has a configuration It may be.

モールド成形時には、第1及び第2のバスバの第1の方向における高さが同じであることが好ましい。そのため、第1及び第2のバスバが第1の方向において同じ位置となるように、第1及び第2のバスバを屈曲形成することで、好適にモールド成形を行うことができる。   At the time of molding, it is preferable that the heights of the first and second bus bars in the first direction are the same. For this reason, the first and second bus bars can be bent and formed such that the first and second bus bars are in the same position in the first direction.

また、第1の羽根部が、第2の方向において、第2の本体部の第2の基端部側の屈曲位置に近接する位置まで延在しているので、第1の羽根部と第2のバスバの第2の基端部とが重なる領域を拡大して、第2のバスバのインダクタンスを一層低減させることができる。   In addition, since the first blade portion extends to a position close to the bent position on the second base end side of the second main body portion in the second direction, the first blade portion and the second blade portion The area where the second base end of the second bus bar overlaps can be enlarged, and the inductance of the second bus bar can be further reduced.

同様に、第2の羽根部が、第2の方向において、第1の本体部の第1の基端部側の屈曲位置に近接する位置まで延在しているので、第2の羽根部と第1のバスバの第1の基端部とが重なる領域を拡大して、第1のバスバのインダクタンスを一層低減させることができる。   Similarly, since the second blade portion extends to a position close to the bent position on the first base end side of the first main body portion in the second direction, the second blade portion and The area where the first base end of the first bus bar overlaps can be enlarged, and the inductance of the first bus bar can be further reduced.

また、本発明に係る半導体モジュールは、第3の方向において、離間して配置されており、第1及び第2の隙間部は、第3の方向において、第1のバスバと第2のバスバとの間に配置されている構成でもよい。   In addition, the semiconductor module according to the present invention is spaced apart in the third direction, and the first and second gap portions are arranged between the first bus bar and the second bus bar in the third direction. The structure arrange | positioned between these may be sufficient.

羽根部の、第3の方向における外側の端部を、電極の端部と接続することにより羽根部の幅を最大限広くすることができ、さらなるインダクタンスの低減が可能となる。   By connecting the outer end portion of the blade portion in the third direction to the end portion of the electrode, the width of the blade portion can be maximized, and the inductance can be further reduced.

本発明によれば、羽根部の領域を大きくすることによってインダクタンスのさらなる低減を図ることが可能な半導体モジュールを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the semiconductor module which can aim at the further reduction of an inductance by enlarging the area | region of a blade | wing part can be provided.

本発明の第1実施形態に係る半導体モジュールを示す斜視図である。1 is a perspective view showing a semiconductor module according to a first embodiment of the present invention. 図1に示した半導体モジュールの側面図である。It is a side view of the semiconductor module shown in FIG. 図1に示した半導体モジュールのIII-III線に沿った断面構成を示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional structure along the III-III line | wire of the semiconductor module shown in FIG. 図1に示した半導体モジュールの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the semiconductor module shown in FIG. 1. 渦電流の発生を説明する図である。It is a figure explaining generation | occurrence | production of an eddy current. 渦電流の発生を説明する図である。It is a figure explaining generation | occurrence | production of an eddy current. 従来の半導体モジュールの一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the conventional semiconductor module. 本発明の第2実施形態に係る半導体モジュールを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the semiconductor module which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 図8に示す半導体モジュールのIX−IX線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the IX-IX line of the semiconductor module shown in FIG. 図8に示す半導体モジュールの平面図である。It is a top view of the semiconductor module shown in FIG. 図8に示す半導体モジュールの側面図である。It is a side view of the semiconductor module shown in FIG.

以下、本発明による半導体モジュールの好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of a semiconductor module according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

以下、第1実施形態及び第2実施形態において説明する半導体モジュールは、例えば、三相交流モータを駆動源に持つ車両(例えば、ハイブリッド車両、電気自動車)に搭載されるモータシステムのインバータに適用されるものである。このようなインバータでは、例えば3つの半導体モジュール及び昇圧回路(コンデンサ、リアクトル)等を有している。   Hereinafter, the semiconductor module described in the first embodiment and the second embodiment is applied to, for example, an inverter of a motor system mounted on a vehicle (for example, a hybrid vehicle or an electric vehicle) having a three-phase AC motor as a drive source. Is. Such an inverter has, for example, three semiconductor modules and a booster circuit (capacitor, reactor).

[第1実施形態]
まず、図1〜図4を参照して、第1実施形態に係る半導体モジュールについて説明する。図1に示す半導体モジュール1は、スイッチング素子(パワー素子、半導体素子)としてIGBTを有する。図2に示すように、半導体モジュール1は、Z方向(第1の方向、厚み方向)に対向して配置された一対の電極として、エミッタ電極(第1の電極)11及びコレクタ電極(第2の電極)12を備えている。半導体モジュール1は、エミッタ電極11及びコレクタ電極12の間に、IGBT21及びFWD31を有する。
[First embodiment]
First, the semiconductor module according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. A semiconductor module 1 shown in FIG. 1 has an IGBT as a switching element (power element, semiconductor element). As shown in FIG. 2, the semiconductor module 1 includes an emitter electrode (first electrode) 11 and a collector electrode (second electrode) as a pair of electrodes arranged facing the Z direction (first direction, thickness direction). Electrode) 12. The semiconductor module 1 includes an IGBT 21 and an FWD 31 between the emitter electrode 11 and the collector electrode 12.

エミッタ電極11及びコレクタ電極12は、図3に示すように、板状を成し、Z方向に積層されている。エミッタ電極11とコレクタ電極12との間には、IGBT21を備えた第1の積層体20と、FWD31を備えた第2の積層体30とが配置されている。第1の積層体20と第2の積層体30とは、Z方向と交差するY方向(第3の方向)に離間して配置されている。   As shown in FIG. 3, the emitter electrode 11 and the collector electrode 12 form a plate shape and are stacked in the Z direction. Between the emitter electrode 11 and the collector electrode 12, the 1st laminated body 20 provided with IGBT21 and the 2nd laminated body 30 provided with FWD31 are arrange | positioned. The 1st laminated body 20 and the 2nd laminated body 30 are spaced apart and arrange | positioned at the Y direction (3rd direction) which cross | intersects Z direction.

IGBT21の一方の面は、はんだ23を介してコレクタ電極12に接合されている。IGBT21の他方の面は、はんだ24を介してスペーサ22に接合されている。スペーサ22は、はんだ25を介して、エミッタ電極11に接合されている。   One surface of the IGBT 21 is joined to the collector electrode 12 via the solder 23. The other surface of the IGBT 21 is joined to the spacer 22 via the solder 24. The spacer 22 is joined to the emitter electrode 11 via the solder 25.

FWD31の一方の面は、はんだ33を介してコレクタ電極12に接合されている。FWD31の他方の面は、はんだ34を介してスペーサ32に接合されている。スペーサ32は、はんだ35を介して、エミッタ電極11に接合されている。   One surface of the FWD 31 is joined to the collector electrode 12 via the solder 33. The other surface of the FWD 31 is joined to the spacer 32 via the solder 34. The spacer 32 is joined to the emitter electrode 11 via the solder 35.

FWD31は、コレクタ電極12とエミッタ電極11との間に接続され、逆方向電圧印加時の破損防止のため、負荷電流をバイパスさせる還流用ダイオードとして機能する。FWD31のカソード電極は、コレクタ電極12に接続され、FWD31のアノード電極は、エミッタ電極に接続されている。   The FWD 31 is connected between the collector electrode 12 and the emitter electrode 11 and functions as a free-wheeling diode that bypasses the load current in order to prevent breakage during reverse voltage application. The cathode electrode of the FWD 31 is connected to the collector electrode 12, and the anode electrode of the FWD 31 is connected to the emitter electrode.

エミッタ電極11及びコレクタ電極12は、それぞれ熱伝導率が高い素材で構成され、例えば銅、又はアルミニウムなどで構成されている。また、熱膨張率の制御が容易な素材(例えば、アルミ炭化珪素(AlSiC)、又は銅モリブデン(Cu−Mo)等)で構成されていると、半田応力を低減するのに好ましい。エミッタ電極11及びコレクタ電極12は、積層体20,30を冷却する放熱板としても機能する。   The emitter electrode 11 and the collector electrode 12 are each made of a material having high thermal conductivity, and are made of, for example, copper or aluminum. Moreover, it is preferable to reduce the solder stress when it is made of a material whose thermal expansion coefficient can be easily controlled (for example, aluminum silicon carbide (AlSiC) or copper molybdenum (Cu—Mo)). The emitter electrode 11 and the collector electrode 12 also function as a heat sink that cools the stacked bodies 20 and 30.

半導体モジュール1には、IGBT21のゲート電極(図示せず)に信号を与える信号ターミナル(図示せず)が設けられている。電位が異なる電極であるエミッタ電極11及びコレクタ電極12と、信号ターミナルとが導通することを防止するために、スペーサ22及びスペーサ33が設けられている。   The semiconductor module 1 is provided with a signal terminal (not shown) that gives a signal to the gate electrode (not shown) of the IGBT 21. In order to prevent conduction between the emitter electrode 11 and the collector electrode 12, which are electrodes having different potentials, and the signal terminal, a spacer 22 and a spacer 33 are provided.

上述した各部品(エミッタ電極11、コレクタ電極12、IGBT21、FWD31、スペーサ22,32、はんだ23,24,25,33,34,35)はモールド樹脂41によって封止されている。このようにモールド樹脂41によって封止することで上記の各部品を保護する。また、はんだ23,24,25,33,34,35は、モールド樹脂41によって保護され、はんだとしての信頼性が向上されている。エミッタ電極11の外面及びコレクタ電極12の外面は、外部に露出されている(モールド樹脂によって覆われていない)。なお、図1及び図2では、モールド樹脂41の図示を省略している。   Each component (emitter electrode 11, collector electrode 12, IGBT 21, FWD 31, spacers 22 and 32, solders 23, 24, 25, 33, 34, and 35) is sealed with a mold resin 41. In this way, the above-described components are protected by sealing with the mold resin 41. Further, the solders 23, 24, 25, 33, 34, and 35 are protected by the mold resin 41, and the reliability as solder is improved. The outer surface of the emitter electrode 11 and the outer surface of the collector electrode 12 are exposed to the outside (not covered with mold resin). 1 and 2, the illustration of the mold resin 41 is omitted.

本実施形態の半導体モジュール1は、図1、図2、及び図4に示すように、エミッタ電極11から張出すエミッタバスバ13、コレクタ電極12から張出すコレクタバスバ14、エミッタバスバ13に隣接して配置され、エミッタ電極11から張出す第1の羽根部15、及びコレクタバスバ14に隣接して配置され、コレクタ電極12から張出す第2の羽根部16を備えている。   The semiconductor module 1 of this embodiment is disposed adjacent to the emitter bus bar 13 extending from the emitter electrode 11, the collector bus bar 14 extending from the collector electrode 12, and the emitter bus bar 13 as shown in FIGS. 1, 2, and 4. A first blade portion 15 extending from the emitter electrode 11, and a second blade portion 16 disposed adjacent to the collector bus bar 14 and extending from the collector electrode 12.

エミッタバスバ13は、エミッタ電極11を介して、IGBT21と電気的に接続されている。コレクタバスバ14は、コレクタ電極12を介して、IGBT21と電気的に接続されている。エミッタバスバ13及びコレクタバスバ14は、同一方向に張出すように形成されている。エミッタバスバ13は、エミッタ電極11からX方向(第2の方向)に張出している。コレクタバスバ14は、コレクタ電極12からX方向に張出している。X方向は、Y方向及びZ方向と交差する方向である。   The emitter bus bar 13 is electrically connected to the IGBT 21 through the emitter electrode 11. The collector bus bar 14 is electrically connected to the IGBT 21 through the collector electrode 12. The emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14 are formed so as to project in the same direction. The emitter bus bar 13 protrudes from the emitter electrode 11 in the X direction (second direction). The collector bus bar 14 extends from the collector electrode 12 in the X direction. The X direction is a direction that intersects the Y direction and the Z direction.

エミッタバスバ13は、エミッタ電極11側に配置された第1の基端部13aと、この第1の基端部13aからZ方向の内側へ屈曲された後、X方向に張出す第1の本体部13cとを有する。第1の基端部13aと第1の本体部13cとの間には、屈曲部13bが形成されている。第1の本体部13cは、例えば、Z方向における中央に配置されている。   The emitter bus bar 13 includes a first base end portion 13a disposed on the emitter electrode 11 side, and a first main body portion that is bent inward in the Z direction from the first base end portion 13a and then extends in the X direction. 13c. A bent portion 13b is formed between the first base end portion 13a and the first main body portion 13c. The first main body 13c is disposed, for example, at the center in the Z direction.

第1の羽根部15は、Y方向において、エミッタバスバ13と隣り合うように配置されている。第1の羽根部15とエミッタバスバ13との間には、第1の羽根部15とエミッタバスバ13とが接続されていない領域である第1の隙間部17が形成されている。   The first blade portion 15 is disposed adjacent to the emitter bus bar 13 in the Y direction. Between the 1st blade | wing part 15 and the emitter bus bar 13, the 1st clearance gap part 17 which is an area | region where the 1st blade | wing part 15 and the emitter bus bar 13 are not connected is formed.

第1の羽根部15及び第1の基端部13aは、Z方向において同じ位置に配置されている。また、第1の羽根部15は、X方向において、エミッタバスバ13の屈曲部13b近傍まで張り出している。また、エミッタバスバ13及び第1の羽根部15は、エミッタ電極11と比較して厚さが薄くなっている。   The 1st blade | wing part 15 and the 1st base end part 13a are arrange | positioned in the same position in the Z direction. Further, the first blade portion 15 projects to the vicinity of the bent portion 13b of the emitter bus bar 13 in the X direction. The emitter bus bar 13 and the first blade portion 15 are thinner than the emitter electrode 11.

コレクタバスバ14は、コレクタ電極12側に配置された第2の基端部14aと、この第2の基端部14aからZ方向の内側へ屈曲された後、X方向に張出す第2の本体部14cとを有する。第2の基端部14aと第2の本体部14cとの間には、屈曲部14bが形成されている。第2の本体部14cは、例えば、Z方向における中央に配置されている。   The collector bus bar 14 includes a second base end portion 14a disposed on the collector electrode 12 side, and a second main body that is bent inward in the Z direction from the second base end portion 14a and then extends in the X direction. Part 14c. A bent portion 14b is formed between the second base end portion 14a and the second main body portion 14c. For example, the second main body 14c is disposed at the center in the Z direction.

第2の羽根部16は、Y方向において、コレクタバスバ14と隣り合うように配置されている。第2の羽根部16とコレクタバスバ14との間には、第2の羽根部16とコレクタバスバ14とが接続されていない領域である第2の隙間部18が形成されている。   The second blade portion 16 is disposed adjacent to the collector bus bar 14 in the Y direction. Between the 2nd blade | wing part 16 and the collector bus bar 14, the 2nd clearance gap 18 which is an area | region where the 2nd blade | wing part 16 and the collector bus bar 14 are not connected is formed.

第1及び第2の隙間部17,18は、Y方向において、エミッタバスバ13とコレクタバスバ14との間に形成されている。第1の隙間部17は、Y方向において、第2の隙間部18とずれた位置に形成され、第2の隙間部18よりも、エミッタバスバ13側に形成されている。   The first and second gap portions 17 and 18 are formed between the emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14 in the Y direction. The first gap portion 17 is formed at a position shifted from the second gap portion 18 in the Y direction, and is formed closer to the emitter bus bar 13 than the second gap portion 18.

第1の本体部13cと第2の本体部14cとは、図2に示すように、Z方向において同じ位置に配置されている。第1の本体部13cと第2の本体部14cとは、Y方向から見て同一の高さに配置されている。エミッタバスバ13の屈曲部13bと、コレクタバスバ14の屈曲部14bとは、X方向において同じ位置に配置されている。   As shown in FIG. 2, the first main body portion 13c and the second main body portion 14c are arranged at the same position in the Z direction. The first main body portion 13c and the second main body portion 14c are arranged at the same height when viewed from the Y direction. The bent portion 13b of the emitter bus bar 13 and the bent portion 14b of the collector bus bar 14 are arranged at the same position in the X direction.

第2の羽根部16及び第2の基端部14aは、Z方向において同じ位置に配置されている。また、第2の羽根部16は、Z方向において、コレクタバスバ14の屈曲部14b近傍まで張り出している。また、コレクタバスバ14及び第2の羽根部16は、コレクタ電極12と比較して厚さが薄くなっている。   The 2nd blade | wing part 16 and the 2nd base end part 14a are arrange | positioned in the same position in the Z direction. Further, the second blade portion 16 extends to the vicinity of the bent portion 14b of the collector bus bar 14 in the Z direction. The collector bus bar 14 and the second blade portion 16 are thinner than the collector electrode 12.

コレクタバスバ14は、Z方向から見た場合に、エミッタバスバ13と重なる領域を有していない。エミッタバスバ13及びコレクタバスバ14は、Y方向において、異なる位置に配置されている。第1の羽根部15は、Z方向から見た場合に、コレクタバスバ14と重なる位置に配置されている。第1の羽根部15は、コレクタバスバ14の基端部14aと対面して配置されている。第1の羽根部15は、X方向において、コレクタバスバ14の屈曲部14b近傍まで延びている。第2の羽根部16は、Z方向から見た場合に、エミッタバスバ13と重なる位置に配置されている。第2の羽根部16は、エミッタバスバ13の基端部13aと対面して配置されている。第2の羽根部16は、X方向において、エミッタバスバ13の屈曲部13b近傍まで延びている。   The collector bus bar 14 does not have a region overlapping with the emitter bus bar 13 when viewed from the Z direction. The emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14 are arranged at different positions in the Y direction. The first blade portion 15 is disposed at a position overlapping the collector bus bar 14 when viewed from the Z direction. The first blade portion 15 is disposed to face the base end portion 14 a of the collector bus bar 14. The first blade portion 15 extends to the vicinity of the bent portion 14b of the collector bus bar 14 in the X direction. The second blade portion 16 is disposed at a position overlapping the emitter bus bar 13 when viewed from the Z direction. The second blade portion 16 is disposed to face the base end portion 13 a of the emitter bus bar 13. The second blade portion 16 extends to the vicinity of the bent portion 13b of the emitter bus bar 13 in the X direction.

第1の羽根部15は、コレクタバスバ14を流れる電流によって発生する磁界によって生じる渦電流が流れるように配置されている。第2の羽根部16は、エミッタバスバ13を流れる電流によって発生する磁界によって生じる渦電流が流れるように配置されている。   The first blade portion 15 is arranged so that an eddy current generated by a magnetic field generated by a current flowing through the collector bus bar 14 flows. The second blade portion 16 is arranged such that an eddy current generated by a magnetic field generated by a current flowing through the emitter bus bar 13 flows.

エミッタバスバ13及び第1の羽根部15は、エミッタ電極11と一体として形成されている。コレクタバスバ14及び第2の羽根部16は、コレクタ電極12と一体として形成されている。第1及び第2の羽根部15,16には、エミッタ電極11、コレクタ電極12、エミッタバスバ13、及びコレクタバスバ14と同様に、例えば銅やアルミニウムなどの導体が用いられる。   The emitter bus bar 13 and the first blade 15 are formed integrally with the emitter electrode 11. The collector bus bar 14 and the second blade portion 16 are formed integrally with the collector electrode 12. Similar to the emitter electrode 11, the collector electrode 12, the emitter bus bar 13, and the collector bus bar 14, for example, a conductor such as copper or aluminum is used for the first and second blade portions 15 and 16.

エミッタ電極11、エミッタバスバ13及び第1の羽根部15は、厚さが厚い電極板(エミッタ電極11になる部分)と厚さが薄い電極板(エミッタバスバ13及び第1の羽根部15になる部分)とが一体となった部材(異形材)から製造される。厚さが厚い電極板はそのままエミッタ電極11となる。また、厚さが薄い電極板はエミッタバスバ13及び第1の羽根部15となる部分を除き打ち抜かれ、打ち抜き後に残った部分がエミッタバスバ13及び第1の羽根部15となる。第1の隙間部17は、打ち抜き後に設けられるものであってもよいし、打ち抜き時に設けられるものであってもよい。   The emitter electrode 11, the emitter bus bar 13, and the first blade portion 15 are composed of a thick electrode plate (a portion that becomes the emitter electrode 11) and a thin electrode plate (a portion that becomes the emitter bus bar 13 and the first blade portion 15). And is manufactured from a member (deformed material) integrated with each other. The thick electrode plate becomes the emitter electrode 11 as it is. Further, the thin electrode plate is punched except for the portions that become the emitter bus bar 13 and the first blade portion 15, and the remaining portions after the punching become the emitter bus bar 13 and the first blade portion 15. The first gap portion 17 may be provided after punching or may be provided at the time of punching.

打ち抜き後に設けられるとは、打ち抜きによりエミッタバスバ13と第1の羽根部15とが生成された際には第1の隙間部17は設けられておらず、打ち抜き後にエミッタバスバ13と第1の羽根部15との間を切り離すことで第1の隙間部17が設けられるものである。一方で、打ち抜き時に第1の隙間部17が設けられるとは、打ち抜き時に第1の隙間部17の領域についても打ち抜くことで、エミッタバスバ13及び第1の羽根部15の生成と同時に第1の隙間部17が設けられるものである。なお、コレクタ電極12、コレクタバスバ14、第2の羽根部16、及び第2の隙間部18についても、上述したエミッタ電極11、エミッタバスバ13、第1の羽根部15、及び第1の隙間部17と同様の方法で生成、又は設けられる。   The term “provided after punching” means that when the emitter bus bar 13 and the first blade portion 15 are generated by punching, the first gap portion 17 is not provided, and the emitter bus bar 13 and the first blade portion 15 are formed after punching. The 1st clearance gap part 17 is provided by isolate | separating between. On the other hand, the fact that the first gap portion 17 is provided at the time of punching means that the region of the first gap portion 17 is also punched at the time of punching, so that the first gap is simultaneously formed with the generation of the emitter bus bar 13 and the first blade portion 15. A portion 17 is provided. Note that the emitter electrode 11, the emitter bus bar 13, the first blade portion 15, and the first gap portion 17 described above also apply to the collector electrode 12, the collector bus bar 14, the second blade portion 16, and the second gap portion 18. Are generated or provided in the same manner as

図4に示すように、第1及び第2の隙間部17,18は、プレス成型時に必要となる幅、及びモールド樹脂の流動に必要な幅のみを開けて、極力狭くなるように形成されている。   As shown in FIG. 4, the first and second gaps 17 and 18 are formed to be as narrow as possible by opening only the width necessary for press molding and the width necessary for the flow of the mold resin. Yes.

次に、第1実施形態に係る半導体モジュール1の作用について説明する。この半導体モジュール1では、第1の方向Zから見た場合に、エミッタ電極11に接続されたエミッタバスバ13が、コレクタ電極12に接続された第2の羽根部16と重なる領域を有している。同様に、第1の方向Zから見た場合に、コレクタ電極12に接続されたコレクタバスバ14が、エミッタ電極11に接続された第1の羽根部15と重なる領域を有している。バスバ13と羽根部16とが重なる領域、及びバスバ14と羽根部15とが重なる領域を有しているため、バスバを流れる電流から発生する磁界によって、羽根部においては、バスバに流れる電流と相対方向に流れる渦電流が発生することとなり、相互インダクタンス作用によりインダクタンスが低減される。   Next, the operation of the semiconductor module 1 according to the first embodiment will be described. In this semiconductor module 1, when viewed from the first direction Z, the emitter bus bar 13 connected to the emitter electrode 11 has a region overlapping the second blade portion 16 connected to the collector electrode 12. Similarly, when viewed from the first direction Z, the collector bus bar 14 connected to the collector electrode 12 has a region that overlaps the first blade portion 15 connected to the emitter electrode 11. Since the bus bar 13 and the blade portion 16 overlap with each other, and the bus bar 14 and the blade portion 15 overlap with each other, the magnetic field generated from the current flowing through the bus bar causes the blade portion to An eddy current flowing in the direction is generated, and the inductance is reduced by the mutual inductance action.

渦電流の発生による相互インダクタンス作用について、図5及び図6を用いて説明する。図5に示すように、エミッタバスバ13にはエミッタ電極11から離間する方向(図5の上から下に向かう方向)に電流が流れており、コレクタバスバ14にはコレクタ電極12に接近する方向(図5の下から上に向かう方向)に電流が流れている。この場合、図6に示す矢印の向きに磁界が発生するところ、第1の羽根部15は破線a,bで囲んだ箇所、第2の羽根部16は破線c,dで囲んだ箇所を磁界が貫通する。この場合、磁界の変化を打ち消す磁界が生じるように渦電流が発生することとなるため、図5に示すように、第1の羽根部15と第2の羽根部16において、エミッタバスバ13及びコレクタバスバ14に流れる電流と相対方向に流れる渦電流Tが流れる。よって、上述したように、相互インダクタンス作用によりインダクタンスが低減される。   The mutual inductance action due to the generation of eddy current will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 5, the current flows in the emitter bus bar 13 in the direction away from the emitter electrode 11 (the direction from the top to the bottom in FIG. 5), and the collector bus bar 14 approaches the collector electrode 12 (see FIG. 5). The current flows in the direction from the bottom to the top of 5). In this case, when a magnetic field is generated in the direction of the arrow shown in FIG. 6, the first blade 15 is surrounded by broken lines a and b, and the second blade 16 is surrounded by broken lines c and d. Penetrates. In this case, since an eddy current is generated so as to generate a magnetic field that cancels the change in the magnetic field, the emitter bus bar 13 and the collector bus bar in the first blade portion 15 and the second blade portion 16 as shown in FIG. 14 and an eddy current T flowing in a relative direction flows. Therefore, as described above, the inductance is reduced by the mutual inductance action.

図7の従来例に示すように、従来の半導体モジュール100は、バスバ101と羽根部102とが一体として形成されていたため、モールド成形時にバスバ101と羽根部102とを同様に曲げ加工すると、羽根部102がバスバ103と接触するため、羽根部102を設けることができる領域は限られていた。   As shown in the conventional example of FIG. 7, in the conventional semiconductor module 100, the bus bar 101 and the blade portion 102 are integrally formed. Therefore, when the bus bar 101 and the blade portion 102 are similarly bent during molding, the blade Since the portion 102 is in contact with the bus bar 103, the region where the blade portion 102 can be provided has been limited.

この点、第1実施形態に係る半導体モジュール1では、エミッタバスバ13とエミッタバスバ13と隣り合う第1の羽根部15との間、及び、コレクタバスバ14とコレクタバスバ14と隣り合う第2の羽根部16との間には、それぞれバスバと羽根部とが接続されていない領域である第1の隙間部17、第2の隙間部18が形成されており、このことで、第1の羽根部15及び第2の羽根部16は、それぞれエミッタバスバ13、コレクタバスバ14から独立した形状とすることができる。そのため、第1の羽根部15及び第2の羽根部16を、それぞれエミッタバスバ13、コレクタバスバ14の形状に影響されずに設けることができ、渦電流を発生させる羽根部の範囲を大きくすることができる。よって、相互インダクタンス作用をより大きくでき、インダクタンスのさらなる低減が可能となる。   In this regard, in the semiconductor module 1 according to the first embodiment, the emitter blade bar 13 and the first blade portion 15 adjacent to the emitter bus bar 13 and the second blade portion 16 adjacent to the collector bus bar 14 and the collector bus bar 14 are included. Are formed in the first gap portion 17 and the second gap portion 18, which are regions where the bus bar and the blade portion are not connected to each other. The second blade portion 16 can be shaped independently from the emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14. Therefore, the first blade portion 15 and the second blade portion 16 can be provided without being affected by the shapes of the emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14, respectively, and the range of the blade portion that generates eddy current can be increased. it can. Therefore, the mutual inductance action can be further increased, and the inductance can be further reduced.

また、本実施形態に係る半導体モジュール1では、エミッタバスバ13及びコレクタバスバ14は、第1の方向Zにおける高さが互いに同じとなるように屈曲されており、第1の羽根部15及び第2の羽根部16は、エミッタバスバ13及びコレクタバスバ14が第1の方向Zにおいて互いに同じ高さとなる箇所の第2の方向Xにおける位置近傍まで、第2の方向Xに張り出しており、エミッタバスバ13は、第1の方向Zから見た場合に、エミッタ電極11との接続箇所13aから屈曲箇所13b(エミッタバスバ13及びコレクタバスバ14が第1の方向Zにおいて互いに同じ高さとなる箇所)までの領域が、第2の羽根部16と重なる領域であり、コレクタバスバ14は、第1の方向Zから見た場合に、コレクタ電極12との接続箇所14aから屈曲箇所14b(エミッタバスバ13及びコレクタバスバ14が第1の方向Zにおいて互いに同じ高さとなる箇所)までの領域が、第1の羽根部15と重なる領域、とすることで、モールド成形を考慮しながら、第1の羽根部15及び第2の羽根部16を最大限大きくすることができ、さらなるインダクタンスの低減が可能となる。   In the semiconductor module 1 according to the present embodiment, the emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14 are bent so that the heights in the first direction Z are the same, and the first blade portion 15 and the second The blade portion 16 extends in the second direction X to the vicinity of the position in the second direction X where the emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14 have the same height in the first direction Z. The emitter bus bar 13 When viewed from the direction Z of 1, the region from the connecting portion 13a to the emitter electrode 11 to the bent portion 13b (where the emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14 are at the same height in the first direction Z) is the second region. The collector bus bar 14 is connected to the collector electrode 12 when viewed from the first direction Z. The area from 4a to the bent part 14b (the part where the emitter bus bar 13 and the collector bus bar 14 are at the same height in the first direction Z) is an area overlapping the first blade portion 15, thereby considering molding. However, the first blade portion 15 and the second blade portion 16 can be maximized, and the inductance can be further reduced.

また、本実施形態に係る半導体モジュール1では、第1の羽根部15のY方向の端部15Xは、第1の電極11の端部11Xと同じ位置まで形成され、第2の羽根部16の端部16Xは、第2の電極12の端部12Xと同じ位置まで形成されている構成とすることで、羽根部のY方向の長さを長く形成し、渦電流を発生させる面積を大きくすることができ、さらなるインダクタンスの低減が可能となる。羽根部は、Y方向において、バスバよりも外側まで形成されている。   Further, in the semiconductor module 1 according to the present embodiment, the end portion 15X in the Y direction of the first blade portion 15 is formed up to the same position as the end portion 11X of the first electrode 11, and the second blade portion 16 The end portion 16X is configured to be formed up to the same position as the end portion 12X of the second electrode 12, so that the length of the blade portion in the Y direction is increased and the area for generating the eddy current is increased. Thus, the inductance can be further reduced. The blade part is formed to the outside of the bus bar in the Y direction.

[第2実施形態]
つぎに、図8〜図11を参照して、第2実施形態に係る半導体モジュールについて説明する。なお、本実施形態の説明では、主に、第1実施形態と異なる点について説明する。なお、図8〜図11では、モールド樹脂の図示を省略している。
[Second Embodiment]
Next, a semiconductor module according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. In the description of the present embodiment, differences from the first embodiment will be mainly described. 8 to 11, illustration of the mold resin is omitted.

図9に示すように、第2実施形態に係る半導体モジュール50は、第1実施形態に係る半導体モジュール1が有していたスペーサ22及びスペーサ32を有していない。エミッタ電極51には、凹部53が形成されている。凹部53は、X方向に隣接する部分52,54よりもコレクタ電極12側に配置された底部を有する。   As illustrated in FIG. 9, the semiconductor module 50 according to the second embodiment does not include the spacer 22 and the spacer 32 that the semiconductor module 1 according to the first embodiment has. A concave portion 53 is formed in the emitter electrode 51. The concave portion 53 has a bottom portion disposed closer to the collector electrode 12 than the portions 52 and 54 adjacent in the X direction.

そして、第1実施形態の半導体モジュール1において、スペーサ22及びスペーサ32が担っていた導通防止の役割は、図8に示すように、第2実施形態の半導体モジュール50では、リードフレーム形状とされたエミッタ電極51の凹部53の底部が担っている。凹部53の底部が、はんだ24,34と接合されている。   And in the semiconductor module 1 of 1st Embodiment, the role of the electrical conduction prevention which the spacer 22 and the spacer 32 were carrying out was made into the lead frame shape in the semiconductor module 50 of 2nd Embodiment, as shown in FIG. The bottom of the concave portion 53 of the emitter electrode 51 bears. The bottom of the recess 53 is joined to the solders 24 and 34.

半導体モジュール50では、上述したように、エミッタ電極51がスペーサの役割を担うため、スペーサを廃止することができる。このことで、物品費、加工費を削減しながら、半導体モジュール1と同様にインダクタンス低減効果が得られる。   In the semiconductor module 50, as described above, the emitter electrode 51 serves as a spacer, so that the spacer can be eliminated. Thus, the inductance reduction effect can be obtained in the same manner as the semiconductor module 1 while reducing the article cost and the processing cost.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明に係る半導体モジュールは、実施形態に係る上記半導体モジュール1及び半導体モジュール50に限られたものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し又は他のものに適用したものであってもよい。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described, the semiconductor module which concerns on this invention is not restricted to the said semiconductor module 1 and semiconductor module 50 which concern on embodiment, The summary described in each claim It may be modified within a range not changed or applied to other things.

例えば、上記第1実施形態及び第2実施形態においては、スイッチング素子としてIGBT21、整流素子としてFWD31を例示して説明を行ったが、これに限定されるものではなく、種々のスイッチング素子、及び整流素子を用いることができる。   For example, in the first embodiment and the second embodiment, the IGBT 21 is exemplified as the switching element and the FWD 31 is exemplified as the rectifying element. However, the present invention is not limited to this, and various switching elements and rectifying elements are described. An element can be used.

1,50…半導体モジュール、11…エミッタ電極、12…コレクタ電極、11X,12X,15X,16X…端部、13…エミッタバスバ、14…コレクタバスバ、13a,14a…接続箇所、13b,14b…屈曲部、15…第1の羽根部、16…第2の羽根部、17…第1の隙間部,18…第2の隙間部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,50 ... Semiconductor module, 11 ... Emitter electrode, 12 ... Collector electrode, 11X, 12X, 15X, 16X ... End part, 13 ... Emitter bus bar, 14 ... Collector bus bar, 13a, 14a ... Connection location, 13b, 14b ... Bending part 15 ... 1st blade | wing part, 16 ... 2nd blade | wing part, 17 ... 1st clearance gap part, 18 ... 2nd clearance gap part.

Claims (3)

第1の方向に積層された第1及び第2の電極と、
前記第1及び第2の電極間に配置され、当該第1及び第2の電極に電気的に接続された半導体素子と、
前記第1の電極に接続され、前記第1の方向と交差する第2の方向に張り出す第1のバスバと、
前記第2の電極に接続され、前記第2の方向に張り出す第2のバスバと、
前記第1の電極に接続され、前記第1及び第2の方向と交差する第3の方向において前記第1のバスバと隣りあうようにして前記第2の方向に張り出す第1の羽根部と、
前記第2の電極に接続され、前記第3の方向において前記第2のバスバと隣りあうようにして前記第2の方向に張り出す第2の羽根部と、を備え、
前記第1のバスバは、前記第1の方向から見た場合に、前記第2の羽根部と重なる領域を有しており、
前記第2のバスバは、前記第1の方向から見た場合に、前記第1の羽根部と重なる領域を有しており、
前記第3の方向において隣りあう前記第1のバスバと前記第1の羽根部との間には、第1の隙間部が形成されており、
前記第3の方向において隣りあう前記第2のバスバと前記第2の羽根部との間には、第2の隙間部が形成されていることを特徴とする半導体モジュール。
First and second electrodes stacked in a first direction;
A semiconductor element disposed between the first and second electrodes and electrically connected to the first and second electrodes;
A first bus bar connected to the first electrode and projecting in a second direction intersecting the first direction;
A second bus bar connected to the second electrode and extending in the second direction;
A first blade portion connected to the first electrode and extending in the second direction so as to be adjacent to the first bus bar in a third direction intersecting the first and second directions; ,
A second blade connected to the second electrode and projecting in the second direction so as to be adjacent to the second bus bar in the third direction,
The first bus bar has a region overlapping with the second blade portion when viewed from the first direction;
The second bus bar has a region overlapping with the first blade portion when viewed from the first direction;
A first gap is formed between the first bus bar and the first blade that are adjacent in the third direction,
A semiconductor module, wherein a second gap is formed between the second bus bar and the second blade adjacent to each other in the third direction.
前記第1のバスバは、前記第1の電極側に配置された第1の基端部と、当該第1の基端部から前記第1の方向の内側に屈曲された後、前記第2の方向に張出す第1の本体部とを有し、
前記第2のバスバは、前記第2の電極側に配置された第2の基端部と、当該第2の基端部から前記第1の方向の内側に屈曲された後、前記第2の方向に張出す第2の本体部とを有し、
前記第1及び第2の基端部は、前記第2の方向において、同じ位置まで延在して屈曲され、
前記第1及び第2の基端部は、前記第1の方向において、同じ位置に配置され、
前記第1の羽根部は、前記第2の方向において、前記第2の本体部の前記第2の基端部側の屈曲位置の近傍まで延在し、
前記第2の羽根部は、前記第2の方向において、前記第1の本体部の前記第1の基端部側の屈曲位置の近傍まで延在している、請求項1に記載の半導体モジュール。
The first bus bar includes a first base end portion disposed on the first electrode side, the first bus bar being bent inward in the first direction from the first base end portion, and then the second bus bar. A first body portion extending in a direction,
The second bus bar includes a second base end portion disposed on the second electrode side, the second bus bar being bent inward in the first direction from the second base end portion, and then the second bus bar. A second body portion extending in the direction,
The first and second proximal end portions are bent to extend to the same position in the second direction;
The first and second proximal ends are arranged at the same position in the first direction,
The first blade portion extends in the second direction to the vicinity of a bent position on the second base end side of the second main body portion,
2. The semiconductor module according to claim 1, wherein the second blade portion extends to a vicinity of a bent position on the first base end side of the first main body portion in the second direction. .
前記第1のバスバと、前記第2のバスバとは、前記第3の方向において、離間して配置されており、
前記第1及び第2の隙間部は、前記第3の方向において、前記第1のバスバと前記第2のバスバとの間に配置されている、請求項1または2に記載の半導体モジュール。
The first bus bar and the second bus bar are spaced apart from each other in the third direction,
3. The semiconductor module according to claim 1, wherein the first and second gap portions are disposed between the first bus bar and the second bus bar in the third direction.
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