JP2002141452A - Bus bar structure of semiconductor element - Google Patents

Bus bar structure of semiconductor element

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JP2002141452A
JP2002141452A JP2000331299A JP2000331299A JP2002141452A JP 2002141452 A JP2002141452 A JP 2002141452A JP 2000331299 A JP2000331299 A JP 2000331299A JP 2000331299 A JP2000331299 A JP 2000331299A JP 2002141452 A JP2002141452 A JP 2002141452A
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power supply
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bus bar
negative
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Tsutomu Harada
務 原田
Hideki Agata
秀樹 縣
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Toyota Motor Corp
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Toyota Motor Corp
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce an inductance when a power source side is observed from a switching element. SOLUTION: Additional wirings 10f are provided at a positive side bus bar 10, and additional wirings 12f are provided at a negative side bus bar 12. Thus, the bar 10 and the bar 12 become a shape of corresponding pair to reduce its inductance.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のスイッチン
グ素子を有する半導体装置において各スイッチング素子
を電源に接続する半導体素子のバスバー構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device having a plurality of switching elements, and more particularly to a bus bar structure of a semiconductor element for connecting each switching element to a power supply.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、電力回路における回路素子間
の接続や回路素子と電源乃至負荷との接続のため、帯
状、棒状乃至は短冊状の導体即ちバスバーが従来から用
いられている。例えば、モータの駆動には、三相交流が
用いられ、直流電源から三層交流を得るためにインバー
タが用いられる。このインバータは、通常6つのスイッ
チング素子(例えば、IGBT:Insulated Gate Bipol
ar Transistor)を有し、これらを2つずつ直流電源の
正側と負側との間に配置している。
2. Description of the Related Art Conventionally, strip-shaped, rod-shaped or strip-shaped conductors, that is, bus bars, have been used for connection between circuit elements in a power circuit or connection between a circuit element and a power supply or a load. For example, a three-phase AC is used to drive a motor, and an inverter is used to obtain a three-layer AC from a DC power supply. This inverter usually has six switching elements (for example, IGBT: Insulated Gate Bipol).
ar Transistors), two of which are arranged between the positive side and the negative side of the DC power supply.

【0003】例えば、ハイブリッド車や、電気自動車な
どでは、バッテリからの直流電力をインバータで所望の
交流に変換している。このハイブリッド車や、電気自動
車では、大電力の駆動が必要であり、数100A以上と
いう大電流が利用される。そこで、スイッチングの際に
スイッチング素子から電源側を見たインダクタンスに応
じて大きなフライバック電圧が生じる。そこで、高速ス
イッチングを可能とするために、スイッチング素子から
電源を見た場合のインダクタンスを小さくしたいという
要求がある。
For example, in a hybrid vehicle or an electric vehicle, DC power from a battery is converted into a desired AC by an inverter. Such a hybrid vehicle or an electric vehicle requires high-power driving, and a large current of several hundred A or more is used. Therefore, at the time of switching, a large flyback voltage is generated according to the inductance when the power supply side is viewed from the switching element. Therefore, in order to enable high-speed switching, there is a demand to reduce inductance when a power supply is viewed from a switching element.

【0004】特開平11−113244号公報では、ス
イッチング素子と電源を接続する電源側バスバーのうち
同極性のバスバーの電源側と反対側の端部をループ配線
で接続することが示されている。このように、バスバー
をループ状にすることで、スイッチング素子から電源側
を見たインダクタンスの等価回路にインダクタンスの並
列接続が現れる。そこで、インダクタンスを低減するこ
とができ、高速のスイッチングが可能になる。
Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-113244 discloses that, of the power-supply-side bus bars connecting a switching element and a power supply, ends of bus bars having the same polarity, which are opposite to the power supply side, are connected by loop wiring. In this way, by forming the bus bar in a loop shape, a parallel connection of the inductance appears in an equivalent circuit of the inductance as viewed from the power supply side from the switching element. Therefore, the inductance can be reduced, and high-speed switching can be performed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、大電力のスイ
ッチングを行う場合、スイッチング素子を大きくしたり
複数並列接続したりする必要がある。これによって、ス
イッチング素子の電極を構成するバスバーが長くなる。
これによって、バスバーのインダクタンスが大きくな
り、フライバック電圧が上昇する。そこで、スイッチン
グ素子から電源側を見た場合のインダクタンスをさらに
低減したいという要求がある。
However, when performing high-power switching, it is necessary to increase the size of the switching elements or to connect a plurality of switching elements in parallel. As a result, the length of the bus bar constituting the electrode of the switching element becomes longer.
As a result, the inductance of the bus bar increases, and the flyback voltage increases. Therefore, there is a demand for further reducing the inductance when the power supply side is viewed from the switching element.

【0006】本発明は、上記課題に鑑みなされたもので
あり、インダクタンスをさらに低減できるバスバー構造
を提供することを目的とする。
[0006] The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a bus bar structure capable of further reducing inductance.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、複数のスイッ
チング素子を有する半導体装置において各スイッチング
素子を電源に接続する半導体素子のバスバー構造であっ
て、前記複数のスイッチング素子の正側端と電源を接続
する複数の正側電源接続配線と、前記正側電源接続配線
と対になり、複数のスイッチング素子の負側端と電源を
接続する複数の負側電源接続配線と、前記複数の正側電
源接続配線同士を電源側から離れた位置で接続して正側
ループを構成する正側ループ配線と、前記複数の負側電
源接続配線同士を電源側から離れた位置で接続して負側
ループを構成する負側ループ配線と、前記正側ループま
たは負側ループのいずれかに接続されるとともに、当該
ループの外側に配置され、他方のループの外周側に近接
した位置にまで伸びる追加配線と、を有し、追加配線に
よって、正側ループと、負側ループの配置における差を
減少して、スイッチング素子から電源側を見た場合のイ
ンダクタンスを減少させることを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a semiconductor device having a plurality of switching elements, wherein the semiconductor element has a bus bar structure for connecting each switching element to a power supply. A plurality of positive-side power supply connection wires, a plurality of negative-side power supply connection wires paired with the positive-side power supply connection wire, and connecting a negative-side end of a plurality of switching elements to a power supply; A positive loop wire that connects the power connection wires at a position away from the power source side to form a positive loop; and a negative loop that connects the plurality of negative power connection wires at a position away from the power side. And connected to either the positive loop or the negative loop, and arranged outside the loop and extended to a position close to the outer periphery of the other loop. It has an additional wire that, the, the additional wiring, and the positive loop, by reducing the difference in the arrangement of the negative-loop, characterized in that reducing the inductance when viewed power source side switching element.

【0008】また、前記正側ループと、負側ループの両
方についてそれぞれ追加の配線を設け、正側ループと、
負側ループの外形部分の配置をほぼ同一にすることが好
適である。
Further, additional wiring is provided for each of the positive side loop and the negative side loop, and
It is preferable that the arrangement of the outer portion of the negative side loop be substantially the same.

【0009】このように、本発明によれば、追加配線を
設け、正側ループと負側ループを両者が対応するような
形状とした。これによって、スイッチング素子から電源
に至る正側の導電経路と負側の導電経路が比較的近接し
て配置されることになり、その結果、スイッチング素子
から電源を見たときのインダクタンスの値が小さくな
る。これによって、フライバック電圧も低くなり、従来
に比べ高速でのスイッチングが可能になる。
As described above, according to the present invention, the additional wiring is provided, and the positive side loop and the negative side loop are shaped so as to correspond to each other. As a result, the positive conductive path and the negative conductive path from the switching element to the power supply are arranged relatively close to each other. As a result, the inductance value when the power is viewed from the switching element is small. Become. As a result, the flyback voltage is also reduced, and switching can be performed at a higher speed than before.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
関し図面に基づき説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0011】図1は、実施形態のバスバー構造を示す図
である。正側バスバー10は2つの電極部10a,10
bを有している。この電極部10a,10bは、電源側
配線10cで電源に接続する端子10dに接続されてお
り、他端側がループ配線10eで接続されている。
FIG. 1 is a diagram showing a bus bar structure according to an embodiment. The positive bus bar 10 has two electrode portions 10a and 10a.
b. The electrode portions 10a and 10b are connected to a terminal 10d connected to a power supply by a power supply side wiring 10c, and the other end is connected by a loop wiring 10e.

【0012】一方、負側バスバー12は2つの電極部1
2a,12bを有している。この電極部12a,12b
は、電源側配線12cで電源に接続する端子12dに接
続されており、他端側がループ配線12eで接続されて
いる。
On the other hand, the negative side bus bar 12 has two electrode portions 1.
2a and 12b. These electrode portions 12a, 12b
Is connected to a terminal 12d connected to a power supply via a power supply side wiring 12c, and the other end is connected via a loop wiring 12e.

【0013】ここで、上述の構成はすべて半導体基板上
に形成されており、半導体基板の電極部10aと電極部
12aで挟まれた部分に直列接続された一対のスイッチ
ング素子(図示省略)が形成され、それらの中間点が負
荷(例えばモータU相)側バスバー(図示省略)によっ
て引き出されている。また、電極部12aと電極部10
bで挟まれた部分に次の直列接続された一対のスイッチ
ング素子が形成され、それらの中間点が負荷(例えばモ
ータのV相)側バスバーによって引き出されている。さ
らに、電極部10bと電極部12bで挟まれた部分に次
の直列接続された一対のスイッチング素子が形成され、
それらの中間点が負荷(例えばモータのW相)側バスバ
ーによって引き出されている。なお、スイッチング素子
は、例えばIGBTである。
Here, all of the above-described structure is formed on a semiconductor substrate, and a pair of switching elements (not shown) connected in series is formed at a portion of the semiconductor substrate sandwiched between the electrode portion 10a and the electrode portion 12a. These intermediate points are drawn out by a load (eg, motor U phase) side bus bar (not shown). The electrode section 12a and the electrode section 10
The next pair of switching elements connected in series is formed at the portion sandwiched by b, and the intermediate point between them is drawn out by the load (for example, the V phase of the motor) side bus bar. Further, a pair of next switching elements connected in series is formed in a portion sandwiched between the electrode portion 10b and the electrode portion 12b,
The midpoint between them is drawn by the bus bar (for example, the W phase of the motor). The switching element is, for example, an IGBT.

【0014】また、図1の右側に示したように、正側バ
スバー10と負側バスバー12とは、深さおよび位置が
異なるように配置されており、両者が交差する箇所にお
いては、迂回するなどの手段で互いに絶縁されている。
この例では、電極部10a,10bは電極部12a,1
2bより深い位置にあり、電源側配線10cおよびルー
プ配線10eは、電源側配線12c、ループ配線12e
より外側に位置している。また、電源側配線10c,1
2cおよびループ側配線10e,12eは、深さ方向が
表面方向に比べ長い帯状で、電極部10a,10b,1
2a,12bは表面方向が深さ方向に比べ長い帯状であ
る。また、追加配線10f,12fについては、電源側
配線10c,12c、ループ側配線10e,12eに続
く部分が深さ方向が表面方向に比べ長い帯状で、電極部
10a,10b,12a,12bに平行な部分が表面方
向の深さ方向に比べ長い帯状である。
Further, as shown on the right side of FIG. 1, the positive bus bar 10 and the negative bus bar 12 are arranged so as to have different depths and positions, and detour at the intersection of the two. Insulated from each other by such means.
In this example, the electrode portions 10a, 10b are connected to the electrode portions 12a, 1
2b, the power supply side wiring 10c and the loop wiring 10e are connected to the power supply side wiring 12c and the loop wiring 12e.
It is located outside. Also, the power supply side wiring 10c, 1
2c and the loop-side wirings 10e and 12e are strip-shaped in the depth direction longer than the surface direction, and the electrode portions 10a, 10b, 1
Each of 2a and 12b has a belt shape whose surface direction is longer than the depth direction. As for the additional wirings 10f and 12f, the portions following the power supply wirings 10c and 12c and the loop wirings 10e and 12e have a band shape in which the depth direction is longer than the surface direction and are parallel to the electrode portions 10a, 10b, 12a and 12b. Is a belt-like shape longer than the depth direction in the surface direction.

【0015】ここで、正側バスバー10は、電極部10
a、10bの両端が電源側配線10cおよびループ配線
10eで接続されており、全体として四角形状のループ
になっている。また、負側バスバー12は、電極部12
a、12bの両端が電源側配線12cおよびループ配線
12eで接続されており、全体として四角形状のループ
になっている。
Here, the positive side bus bar 10 is
Both ends of a and 10b are connected by a power-supply-side wiring 10c and a loop wiring 10e to form a square loop as a whole. The negative bus bar 12 is connected to the electrode 12
Both ends of a and 12b are connected by a power-supply-side wiring 12c and a loop wiring 12e to form a square loop as a whole.

【0016】そして、正側バスバー10のループ左端で
ある電極部10aは、負側バスバー12のループ左端で
ある電極部12aより一対のスイッチング素子の分だけ
左側にシフトしている。一方、負側バスバー12のルー
プ右端である電極部12bは、正側バスバー10のルー
プ右端である電極部10bより一対のスイッチング素子
の分だけ右側にシフトしている。すなわち、正側バスバ
ー10と負側バスバー12は、ほぼ同じ形状で、一対の
スイッチング素子分シフトして配置されている。
The electrode portion 10a at the left end of the loop of the positive bus bar 10 is shifted to the left by a pair of switching elements from the electrode portion 12a at the left end of the loop of the negative bus bar 12. On the other hand, the electrode portion 12b at the right end of the loop of the negative bus bar 12 is shifted to the right by the pair of switching elements from the electrode portion 10b at the right end of the loop of the positive bus bar 10. That is, the positive side bus bar 10 and the negative side bus bar 12 have substantially the same shape and are arranged shifted by a pair of switching elements.

【0017】本実施形態においては、正側バスバー10
において、図において右側に伸びるコ字状の追加配線1
0fが追加して設けられ、負側バスバー12において、
図において左側に伸びる逆コ字状の追加配線12fが追
加して設けられている。
In the present embodiment, the primary bus bar 10
, A U-shaped additional wiring 1 extending to the right in the drawing
0f is additionally provided, and in the negative side bus bar 12,
In the figure, an inverted U-shaped additional wiring 12f extending to the left is additionally provided.

【0018】これによって、追加配線10fが、負側バ
スバー12の電源側配線12cおよびループ配線12e
のシフト部分と、電極部12bに沿って配置され、追加
配線12fが正側バスバー10の電源側配線10cおよ
びループ配線10eのシフト部分と、電極部10aに沿
って配置される。従って、追加配線10fを含めた正側
バスバー10のループと、負側バスバー12の追加配線
12fを含めたループはほぼ同一の外側形状になってい
る。
Thus, the additional wiring 10f is connected to the power supply wiring 12c and the loop wiring 12e of the negative bus bar 12.
And the additional wiring 12f is arranged along the shift part of the power supply side wiring 10c and the loop wiring 10e of the positive side bus bar 10 and the electrode part 10a. Therefore, the loop of the positive bus bar 10 including the additional wiring 10f and the loop of the negative bus bar 12 including the additional wiring 12f have substantially the same outer shape.

【0019】このように正側バスバー10と負側バスバ
ー12のループ形状をほぼ同一にすることによって、両
者の回路としての距離が非常に小さなものになる。従っ
て、正側バスバー10と負側バスバー12間のインダク
タンスを低減することができ、スイッチング素子から電
源側を見たインダクタンスを低減することができる。
By making the loop shapes of the positive side bus bar 10 and the negative side bus bar 12 substantially the same, the distance between both circuits becomes very small. Therefore, the inductance between the positive bus bar 10 and the negative bus bar 12 can be reduced, and the inductance when the power supply side is viewed from the switching element can be reduced.

【0020】実験によれば、追加配線10f,12fを
設けることによってインダクタンスを30%程度低減す
ることができた。
According to the experiment, the inductance can be reduced by about 30% by providing the additional wirings 10f and 12f.

【0021】なお、正側バスバー10と、負側バスバー
12は、それぞれ一体的に形成してもよいし、別々に形
成された部分を接続して構成してもよい。
The positive bus bar 10 and the negative bus bar 12 may be formed integrally, or may be formed by connecting separately formed portions.

【0022】図2には、他の実施形態の構成が示されて
いる。この構成では、正側バスバー10および負側バス
バー12の両方の外側部分を深さ方向が表面方向に比べ
長い帯状とした。これによって、追加配線10f,12
fの電極に平行な部分も深さ方向が表面方向に比べ長い
帯状となっている。
FIG. 2 shows the configuration of another embodiment. In this configuration, both outer portions of the positive bus bar 10 and the negative bus bar 12 are formed in a belt shape whose depth direction is longer than the surface direction. Thereby, the additional wirings 10f, 12f
The portion parallel to the electrode f is also in a belt shape whose depth direction is longer than the surface direction.

【0023】このような構成においても、上述の実施形
態と同様の効果が得られる。また、この構成により、半
導体基板の側面側を有効に利用して配線を設けることが
できる。
In such a configuration, the same effect as in the above-described embodiment can be obtained. Further, with this configuration, the wiring can be provided by effectively utilizing the side surface of the semiconductor substrate.

【0024】なお、電極、配線等は必ずしも側面に設け
る必要はなく、すべて表面側に設けてもよい。
The electrodes, wirings, etc. do not necessarily need to be provided on the side surfaces, but may be all provided on the front surface side.

【0025】また、上述の実施形態においては、3相の
インバータにおいて、U相の電極を他の相の電極と共用
したが、これらを別々に設けてもよい。
In the above-described embodiment, the U-phase electrode is shared with the other-phase electrodes in the three-phase inverter, but they may be provided separately.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
追加配線を設け、正側ループと負側ループを対になるよ
うな形状とした。これによって、スイッチング素子から
電源に至る正側の導電経路と負側の導電経路が比較的近
接して配置されることになり、その結果、スイッチング
素子から電源を見たときのインダクタンスの値が小さく
なる。これによって、フライバック電圧も低くなり、従
来に比べ高速でのスイッチングが可能になる。
As described above, according to the present invention,
Additional wiring was provided, and the shape was such that the positive side loop and the negative side loop were paired. As a result, the positive conductive path and the negative conductive path from the switching element to the power supply are arranged relatively close to each other. As a result, the inductance value when the power is viewed from the switching element is small. Become. As a result, the flyback voltage is also reduced, and switching can be performed at a higher speed than before.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施形態に係るバスバー配置を示す
図である。
FIG. 1 is a diagram showing a bus bar arrangement according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の他の実施形態に係るバスバー配置を
示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a bus bar arrangement according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 正側バスバー、12 負側バスバー、10a,1
0b,12a,12b電極部、10c,12c 電源側
配線、10d,12d 端子、10e,12e ループ
配線、10f,12f 追加配線。
10 positive busbar, 12 negative busbar, 10a, 1
0b, 12a, 12b electrode part, 10c, 12c power supply side wiring, 10d, 12d terminal, 10e, 12e loop wiring, 10f, 12f additional wiring.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のスイッチング素子を有する半導体
装置において各スイッチング素子を電源に接続する半導
体素子のバスバー構造であって、 前記複数のスイッチング素子の正側端と電源を接続する
複数の正側電源接続配線と、 前記正側電源接続配線と対になり、複数のスイッチング
素子の負側端と電源を接続する複数の負側電源接続配線
と、 前記複数の正側電源接続配線同士を電源側から離れた位
置で接続して正側ループを構成する正側ループ配線と、 前記複数の負側電源接続配線同士を電源側から離れた位
置で接続して負側ループを構成する負側ループ配線と、 前記正側ループまたは負側ループのいずれかに接続され
るとともに、当該ループの外側に配置され、他方のルー
プの外周側に近接した位置にまで伸びる追加配線と、 を有し、 追加配線によって、正側ループと、負側ループの配置に
おける差を減少して、スイッチング素子から電源側を見
た場合のインダクタンスを減少させることを特徴とする
半導体素子のバスバー構造。
1. A semiconductor device having a plurality of switching elements, comprising a bus bar structure of a semiconductor element for connecting each switching element to a power supply, wherein a plurality of positive power supplies connecting a positive end of the plurality of switching elements to a power supply. Connection wiring, a plurality of negative power supply connection wires that are paired with the positive power supply connection wire, and connect the negative ends of the plurality of switching elements and the power supply; and a plurality of the positive power supply connection wires from the power supply side. A positive loop wiring connected at a distant position to form a positive loop; and a negative loop wiring connected to the plurality of negative power supply connection wires at a position distant from the power supply side to form a negative loop. An additional wiring connected to one of the positive loop and the negative loop, arranged outside the loop, and extending to a position close to the outer periphery of the other loop; A bus bar structure for a semiconductor device, wherein additional wiring reduces a difference in arrangement of a positive side loop and a negative side loop to reduce inductance when a power supply side is viewed from a switching element.
【請求項2】 請求項1に記載の半導体素子のバスバー
構造であって、 前記正側ループと、負側ループの両方についてそれぞれ
追加の配線を設け、正側ループと、負側ループの外形部
分の配置をほぼ同一にすることを特徴とする半導体素子
のバスバー構造。
2. The bus bar structure of a semiconductor device according to claim 1, wherein additional wirings are provided for both the positive side loop and the negative side loop, and outer portions of the positive side loop and the negative side loop. A bus bar structure of a semiconductor device, wherein the arrangement of the bus bars is substantially the same.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014127583A (en) * 2012-12-26 2014-07-07 Toyota Motor Corp Semiconductor module
US10128625B2 (en) 2014-11-18 2018-11-13 General Electric Company Bus bar and power electronic device with current shaping terminal connector and method of making a terminal connector

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2014127583A (en) * 2012-12-26 2014-07-07 Toyota Motor Corp Semiconductor module
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