JP2014120547A - Esd保護回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】リーク電流の増大を抑制することが可能なESD保護回路を提供すること。
【解決手段】一実施の形態によれば、ESD保護回路1は、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に縦積み接続された第1及び第2クランプ回路G1_1,G2_1を備える。第1クランプ回路G1_1は、トランジスタMN1_1を有する。第2クランプ回路G2_1は、RCタイマT2_1と、RCタイマT2_2の出力がゲート及びバックゲートに供給されるトランジスタMN2_1と、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】一実施の形態によれば、ESD保護回路1は、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に縦積み接続された第1及び第2クランプ回路G1_1,G2_1を備える。第1クランプ回路G1_1は、トランジスタMN1_1を有する。第2クランプ回路G2_1は、RCタイマT2_1と、RCタイマT2_2の出力がゲート及びバックゲートに供給されるトランジスタMN2_1と、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明はESD保護回路に関し、例えばリーク電流の低減に適したESD保護回路に関する。
一般的に、半導体集積回路には、静電気による破壊を防止するためにESD保護回路が設けられている。ESD保護回路は、例えば、I/O端子及び接地電圧端子GND間、I/O端子及び電源電圧端子VDD間、及び、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間の何れかに設けられる。このうち、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に設けられるESD保護回路は、ESD保護動作時のホールド電圧を電源電圧よりも高く設定することが望ましい。
関連する技術が特許文献1に開示されている。特許文献1には、電源電圧端子VDDと接地電圧端子GNDとの間に、RCタイマを有するクランプ回路を2つ縦積みにした半導体集積回路が開示されている。それにより、この半導体集積回路は、ホールド電圧を高く設定することができる。
しかし、関連する技術の構成では、RCタイマの働きによりトリガ電圧が電源電圧よりも低くなってしまう可能性が高い。そのため、関連する技術の構成では、通常動作時に電源電圧がトリガ電圧に達してしまい、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間にリーク電流が流れてしまう恐れがあった。この場合、関連する技術の構成は、リーク電流の増大を抑制することができないという問題があった。その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
一実施の形態によれば、ESD保護回路は、第1及び第2電源端子間に縦積み接続された第1及び第2クランプ回路と、を備え、前記第1クランプ回路は、第1高電位側ノードにドレインが接続され、第1低電位側ノードにソース及びゲートが接続された第1保護トランジスタを有し、前記第2クランプ回路は、第2高電位側ノードに一端が接続された第1抵抗素子と、第2低電位側ノードと前記第1抵抗素子の他端との間に設けられた容量素子と、前記第1抵抗素子及び前記容量素子間のノードの電位に応じた論理値の制御信号を出力するインバータと、前記第2高電位側ノードにドレインが接続され、前記第2低電位側ノードにソースが接続され、かつ、ゲート及びバックゲートに前記制御信号が供給される、第2保護トランジスタと、を有する。
前記一実施の形態によれば、リーク電流の増大を抑制することが可能なESD保護回路を提供することができる。
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について説明する。なお、図面は簡略的なものであるから、この図面の記載を根拠として実施の形態の技術的範囲を狭く解釈してはならない。また、同一の要素には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
以下の実施の形態においては便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、応用例、詳細説明、補足説明等の関係にある。また、以下の実施の形態において、要素の数等(個数、数値、量、範囲等を含む)に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でもよい。
さらに、以下の実施の形態において、その構成要素(動作ステップ等も含む)は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではない。同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数等(個数、数値、量、範囲等を含む)についても同様である。
<実施の形態1>
図1は、実施の形態1にかかるESD保護回路1の構成例を示す図である。本実施の形態にかかるESD保護回路1は、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に、RCタイマを有しない第1クランプ回路と、RCタイマを有する第2クランプ回路と、を縦積みにしている。それにより、本実施の形態にかかるESD保護回路1は、トリガ電圧を電源電圧Vpwrより大きく設定することができるため、通常動作時に電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に流れるリーク電流の増大を抑制することができる。以下、具体的に説明する。
図1は、実施の形態1にかかるESD保護回路1の構成例を示す図である。本実施の形態にかかるESD保護回路1は、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に、RCタイマを有しない第1クランプ回路と、RCタイマを有する第2クランプ回路と、を縦積みにしている。それにより、本実施の形態にかかるESD保護回路1は、トリガ電圧を電源電圧Vpwrより大きく設定することができるため、通常動作時に電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に流れるリーク電流の増大を抑制することができる。以下、具体的に説明する。
(ESD保護回路1の構成)
図1に示すESD保護回路1は、第1クランプ回路G1_1と、第2クランプ回路G2_1と、を備える。第1クランプ回路G1_1は、NチャネルMOSトランジスタ(以下、単にトランジスタと称す)MN1_1を有する。第2クランプ回路G2_1は、NチャネルMOSトランジスタ(以下、単にトランジスタと称す)MN2_1と、RCタイマ(RC−Timer)T2_1と、を有する。なお、トランジスタMN1_1は、第1保護トランジスタとも称する。トランジスタMN2_1は、第2保護トランジスタとも称する。
図1に示すESD保護回路1は、第1クランプ回路G1_1と、第2クランプ回路G2_1と、を備える。第1クランプ回路G1_1は、NチャネルMOSトランジスタ(以下、単にトランジスタと称す)MN1_1を有する。第2クランプ回路G2_1は、NチャネルMOSトランジスタ(以下、単にトランジスタと称す)MN2_1と、RCタイマ(RC−Timer)T2_1と、を有する。なお、トランジスタMN1_1は、第1保護トランジスタとも称する。トランジスタMN2_1は、第2保護トランジスタとも称する。
第1クランプ回路G1_1及び第2クランプ回路G2_1は、電源電圧端子(第1電源端子)VDDと、接地電圧端子(第2電源端子)GNDと、の間に縦積み接続されている(縦積みされている)。例えば、通常動作時、電源電圧端子VDDには電源電圧Vpwrが供給され、接地電圧端子GNDには0Vの接地電圧(電源電圧)が供給される。
具体的には、第1クランプ回路G1_1の高電位側ノード(第1高電位側ノード)A1は電源電圧端子VDDに接続され、第1クランプ回路G1_1の低電位側ノード(第1低電位側ノード)B1はノードN1に接続されている。第2クランプ回路G2_1の高電位側ノード(第2高電位側ノード)A2はノードN1に接続され、第2クランプ回路G2_1の低電位側ノード(第2低電位側ノード)B2は接地電圧端子GNDに接続されている。
より具体的には、トランジスタMN1_1では、ソース及びゲートがノードN1に接続され、ドレインが電源電圧端子VDDに接続されている。トランジスタMN2_1では、ソースが接地電圧端子GNDに接続され、ドレインがノードN1に接続されている。そして、RCタイマT2_1は、トランジスタMN2_1のソース−ドレイン間に設けられ、制御信号を当該トランジスタMN2_1のゲート及びバックゲートに供給している。
図2は、RCタイマT2_1の具体的構成例を示す図である。図2に示すRCタイマT2_1は、トランジスタmp21,mn21と、抵抗素子(第1抵抗素子)R21と、容量素子C21と、を有する。
トランジスタmp21では、ソースがノードN1に接続され、ドレインがトランジスタMN2_1のゲート及びバックゲートに接続され、ゲートがノードN21に接続されている。トランジスタmn21では、ソースが接地電圧端子GNDに接続され、ドレインがトランジスタMN2_1のゲート及びバックゲートに接続され、ゲートがノードN21に接続される。なお、トランジスタmp21,mn21によりインバータが構成されている。当該インバータは、ノードN21の電位に応じた論理値の制御信号を生成し、トランジスタMN2_1のゲート及びバックゲートに供給する。
抵抗素子R21は、ノードN1と、ノードN21と、の間に設けられている。容量素子C21は、接地電圧端子GNDと、ノードN21と、の間に設けられている。
(各クランプ回路G1_1,G2_1単体での動作)
まず、ESD保護回路1の動作を説明する前に、図3A,図3B,図4A,図4Bを用いて、各第1及び第2クランプ回路G1_1,G2_1を単体で備えたESD保護回路の動作を説明する。
まず、ESD保護回路1の動作を説明する前に、図3A,図3B,図4A,図4Bを用いて、各第1及び第2クランプ回路G1_1,G2_1を単体で備えたESD保護回路の動作を説明する。
図3Aは、第1クランプ回路G1_1単体を備えたESD保護回路100を示す図である。図3Bは、図3Aに示すESD保護回路100のIV特性を示す図である。
ESD保護回路100では、静電気により電源電圧端子VDDの電圧が上昇してトリガ電圧Vt1に達すると、トランジスタMN1_1がブレークダウンする。その後、トランジスタMN1_1では、ソース−ドレイン間に形成された寄生バイポーラが動作することで、スナップバック現象が発生する。それにより、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間の電位差は、ホールド電圧Vh1(Vh1<Vt1)にまで低下する。
図4Aは、第2クランプ回路G2_1単体を備えたESD保護回路200を示す図である。図4Bは、図4Aに示すESD保護回路200のIV特性を示す図である。
ESD保護回路200では、静電気により電源電圧端子VDDの電圧が上昇してトリガ電圧Vt2に達すると、トランジスタMN2_1がブレークダウンする前にRCタイマT2_1からの制御信号によりオンする。換言すると、静電気により電源電圧端子VDDの電圧が上昇してトリガ電圧Vt2に達すると、それに伴って、トランジスタMN2_1のゲート電圧が上昇するため当該トランジスタMN2_1はオンする。それにより、トランジスタMN2_1はチャネル電流を流す。その後、トランジスタMN2_1にスナップバック現象が発生することにより、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間の電位差は、ホールド電圧Vh2(Vh2>Vt2)にまで上昇する。
なお、トランジスタMN2_1のサイズが十分に大きい場合、トランジスタMN2_1にスナップバック現象が発生することなく、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間の電位差はホールド電圧Vh2(Vh2>Vt2)にまで上昇する。
なお、トリガ電圧Vt1,Vt2とホールド電圧Vh1,Vh2との関係は、
Vt2<Vh2≒Vh1<Vh1
と表すことができる。
Vt2<Vh2≒Vh1<Vh1
と表すことができる。
(実施の形態に至る前の構想にかかるESD保護回路300の構成及び動作)
次に、ESD保護回路1の動作を説明する前に、比較のため、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に2つの第2クランプ回路G2_1,G2_2を縦積みにしたESD保護回路300の構成及び動作について説明する。
次に、ESD保護回路1の動作を説明する前に、比較のため、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に2つの第2クランプ回路G2_1,G2_2を縦積みにしたESD保護回路300の構成及び動作について説明する。
図18は、実施の形態に至る前の構想にかかるESD保護回路300の構成を示す図である。図18に示すESD保護回路300は、電源電圧端子VDDと接地電圧端子GNDとの間に縦積み接続された第2クランプ回路G2_1,G2_2を備える。
ESD保護回路300のトリガ電圧Vtは、第2クランプ回路G2_1のトリガ電圧Vt1及び第2クランプ回路G2_2のトリガ電圧Vt1の和(2Vt1)である。ESD保護回路300のホールド電圧Vhは、第2クランプ回路G2_1のホールド電圧Vh1及び第2クランプ回路G2_2のホールド電圧Vh1の和(2Vh1)である。
ここで、ESD保護回路300のホールド電圧Vh(=Vh1+Vh1)は第2クランプ回路単体のホールド電圧と比較して略2倍になる。そのため、ESD保護回路300は、通常動作時に電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れるのを低減することができる。
例えば、ESD保護回路300のホールド電圧Vhが電源電圧Vpwrより高く設定されている場合、ESD保護回路300は、通常動作時に電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrに達している場合でも、電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れるのを防ぐことができる。
しかしながら、ESD保護回路300のトリガ電圧Vt(=Vt1+Vt1)は低い。そのため、ESD保護回路300は、静電気が発生しなくても、通常動作時に電源電圧端子VDDの電圧が上昇してトリガ電圧に達してしまい、電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れてしまう恐れがある。
例えば、ESD保護回路300のトリガ電圧Vtが電源電圧Vpwrより低く設定されている場合、ESD保護回路300は、静電気が発生していなくても、通常動作時に電源電圧端子VDDの電圧が上昇してトリガ電圧に達してしまい、電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れてしまう。
以下、図19及び図20を用いて、ESD保護回路300の課題発生メカニズムを詳細に説明する。図19は、ESD保護回路300の第1の課題を説明するための図である。図20は、ESD保護回路300の第2の課題を説明するための図である。
まず、図19を用いて、電源投入時にESD保護回路300に発生する課題(第1の課題)について説明する。なお、電源の立ち上がり時間(電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrに達するまでの時間)は、抵抗素子R21及び容量素子C21によって決まる時定数よりも小さいものとする。
まず、電源が投入されることにより、電源電圧端子VDDの電圧は、抵抗素子R21及び容量素子C21によって決まる時定数よりも短い時間で電源電圧Vpwrにまで上昇する(図19のステップ1)。
電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrにまで上昇すると、それに伴って、電源電圧端子VDD及びノードN1間の電位差は大きくなる。それにより、容量素子C21を充電するための電流が抵抗素子R21に流れるため、ノードN21の電位は電源電圧端子VDDの電位(Vpwr)よりも低くなる(図19のステップ2)。同様にして、ノードN22の電位はノードN1の電位よりも低くなる(図19のステップ2)。
ノードN21の電位が電源電圧端子VDDの電位(Vpwr)よりも低くなると、トランジスタmp21はオンする(図19のステップ3)。同様にして、トランジスタmp22はオンする(図19のステップ3)。
それにより、トランジスタMN2_1はオンする(図19のステップ4)。同様にして、トランジスタMN2_2はオンする(図19のステップ4)。
このようにして、静電気が発生しなくても、通常動作時(電源投入時)、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間にはリーク電流が流れてしまう(図19のステップ5)。
次に、図20を用いて、ノイズ印加時にESD保護回路300に発生する課題(第2の課題)について説明する。なお、電源電圧端子VDDの電圧がノイズ印加後に低下してから電源電圧Vpwrに達するまでの時間は、抵抗素子R21及び容量素子C21によって決まる時定数よりも小さいものとする。
まず、ノイズにより電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrからゆっくりと低下する(図20のステップ1)。
その後、電源電圧端子VDDの電圧は、抵抗素子R21及び容量素子C21によって決まる時定数よりも短い時間で電源電圧Vpwrにまで上昇する(図20のステップ2)。
電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrにまで上昇すると、それに伴って、電源電圧端子VDD及びノードN1間の電位差は大きくなる。それにより、容量素子C21を充電するための電流が抵抗素子R21に流れるため、ノードN21の電位は電源電圧端子VDDの電位(Vpwr)よりも低くなる(図20のステップ3)。同様にして、ノードN22の電位はノードN1の電位よりも低くなる(図20のステップ3)。
ノードN21の電位が電源電圧端子VDDの電位(Vpwr)よりも低くなると、トランジスタmp21はオンする(図20のステップ4)。同様にして、トランジスタmp22はオンする(図20のステップ4)。
それにより、トランジスタMN2_1はオンする(図20のステップ5)。同様にして、トランジスタMN2_2はオンする(図20のステップ5)。
このようにして、静電気が発生しなくても、通常動作時(ノイズ印加時)、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間にはリーク電流が流れてしまう(図20のステップ6)。
(本実施の形態にかかるESD保護回路1の動作)
次に、図5を用いて、ESD保護回路1の動作を説明する。図5は、ESD保護回路1のIV特性を示す図である。
次に、図5を用いて、ESD保護回路1の動作を説明する。図5は、ESD保護回路1のIV特性を示す図である。
なお、ESD保護回路1のトリガ電圧Vtは、第1クランプ回路G1_1のトリガ電圧Vt1と、第2クランプ回路G2_1のトリガ電圧Vt2と、の和(Vt1+Vt2)である。ESD保護回路1のホールド電圧Vhは、第1クランプ回路G1_1のホールド電圧Vh1と、第2クランプ回路G2_1のホールド電圧Vh2と、の和(Vh1+Vh2)である。
ESD保護回路1のホールド電圧Vh(=Vh1+Vh2)は、ESD保護回路300のホールド電圧と同等程度のレベルを示す。そのため、ESD保護回路1は、通常動作時に電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れることを低減することができる。
好適には、ESD保護回路1のホールド電圧Vhは電源電圧Vpwrより高くなる。それにより、ESD保護回路1は、通常動作時に電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrに達している場合でも、電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れるのを防ぐことができる。本実施の形態では、ESD保護回路1のホールド電圧Vhが電源電圧Vpwrより高い場合を例に説明する。
また、ESD保護回路1のトリガ電圧Vt(=Vt1+Vt2)は、ESD保護回路300のトリガ電圧よりも高い。好適には、ESD保護回路1のトリガ電圧Vtは電源電圧Vpwrより高くなる。それにより、ESD保護回路1は、通常動作時に電源電圧端子VDDの電圧が上昇してもトリガ電圧に達しないため、電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れるのを防ぐことができる。本実施の形態では、ESD保護回路1のトリガ電圧Vtが電源電圧Vpwrより高い場合を例に説明する。
さらに好適には、ESD保護回路1のトリガ電圧Vtは被保護回路(不図示)の破壊電圧よりも低くなる。それにより、ESD保護回路1は、被保護回路の破壊を防止することができる。
(ESD保護回路1の課題解決メカニズム)
以下、図6及び図7を用いて、ESD保護回路1による課題解決メカニズムを詳細に説明する。図6及び図7は、ESD保護回路1の動作を説明するための図である。
以下、図6及び図7を用いて、ESD保護回路1による課題解決メカニズムを詳細に説明する。図6及び図7は、ESD保護回路1の動作を説明するための図である。
まず、図6を用いて、電源投入時のESD保護回路1の動作について説明する。なお、電源の立ち上がり時間(電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrに達するまでの時間)は、抵抗素子R21及び容量素子C21によって決まる時定数よりも小さいものとする。
まず、電源が投入されることにより、電源電圧端子VDDの電圧は、抵抗素子R21及び容量素子C21によって決まる時定数よりも短い時間で電源電圧Vpwrにまで上昇する(図6のステップ1)。
電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrにまで上昇すると、トランジスタMN1_1の寄生容量を充電するための電流がトランジスタMN1_1からトランジスタMN2_1及び容量素子C21に流れる。このとき、容量素子C21に流れる電流が抵抗素子R21にも流れるため、抵抗素子R21の電圧降下によりノードN21の電位はノードN1の電位よりも低くなる(図6のステップ2)。
ノードN21の電位がノードN1の電位よりも低くなると、トランジスタmp21はオンする(図6のステップ3)。
それにより、トランジスタMN2_1はオンする(図6のステップ4)。しかしながら、トランジスタMN1_1は、耐圧が電源電圧Vpwrより高くブレークダウンしないため、オフしている(図6のステップ4)。そのため、トランジスタMN2_1に流れる電流は、トランジスタMN1_1の寄生容量を充電する程度の電流となる。つまり、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間には、トランジスタMN1_1,MN2_1がオンした場合に流れるリーク電流程度の大きなリーク電流は流れない。
トランジスタMN2_1がオンし、トランジスタMN1_1がオフしているため、ノードN1及び接地電圧端子GND間の電位差はゼロ付近となる。したがって、電源電圧端子VDD及びノードN1間の電位差は電源電圧Vpwr程度となる。
その後、容量素子C21、トランジスタMN1_1の寄生容量、及び、トランジスタMN2_1の寄生容量のそれぞれにキャリアが蓄積されることにより、トランジスタMN2_1はオフする。
このようにして、ESD保護回路1は、通常動作時(電源投入時)、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に流れるリーク電流を抑制している。
次に、図7を用いて、ノイズ印加時にESD保護回路1に発生する課題(第2の課題)について説明する。なお、電源電圧端子VDDの電圧がノイズ印加後に低下してから電源電圧Vpwrに達するまでの時間は、抵抗素子R21及び容量素子C21によって決まる時定数よりも小さいものとする。
まず、ノイズにより電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrからゆっくりと低下する(図7のステップ1)。
その後、電源電圧端子VDDの電圧は、抵抗素子R21及び容量素子C21によって決まる時定数よりも短い時間で電源電圧Vpwrにまで上昇する(図7のステップ2)。
電源電圧端子VDDの電圧が電源電圧Vpwrにまで上昇すると、それに伴って、ノードN1及び接地電圧端子GND間の電位差は大きくなる。それにより、容量素子C21を充電するための電流が抵抗素子R21に流れるため、ノードN21の電位はノードN1の電位よりも低くなる(図7のステップ3)。
ノードN21の電位がノードN1の電位よりも低くなると、トランジスタmp21はオンする(図7のステップ4)。
それにより、トランジスタMN2_1はオンする(図7のステップ5)。しかしながら、トランジスタMN1_1は、耐圧が電源電圧Vpwrより高くブレークダウンしないため、オフしている(図7のステップ5)。そのため、トランジスタMN2_1に流れる電流は、トランジスタMN1_1の寄生容量を充電する程度の電流となる。つまり、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間には、トランジスタMN1_1,MN2_1がオンした場合に流れる大きなリーク電流は流れない。
トランジスタMN2_1がオンし、トランジスタMN1_1がオフしているため、ノードN1及び接地電圧端子GND間の電位差はほとんどなくなり、電源電圧端子VDD及びノードN1間の電位差は電源電圧Vpwr程度となる。
その後、容量素子C21、トランジスタMN1_1の寄生容量、及び、トランジスタMN2_1の寄生容量のそれぞれにキャリアが蓄積されることにより、トランジスタMN2_1はオフする。
このようにして、ESD保護回路1は、通常動作時(ノイズ印加時)、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に流れるリーク電流を抑制している。
(ESD保護回路1のESD印加時の詳細な動作)
次に、図8を用いて、ESD印加時のESD保護回路1の動作について説明する。
次に、図8を用いて、ESD印加時のESD保護回路1の動作について説明する。
まず、電源電圧端子VDDにESDパルスが印加されることにより、電源電圧端子VDDの電位は上昇する。そのため、容量素子C21、トランジスタMN1_1の寄生容量、及び、トランジスタMN2_1の寄生容量のそれぞれに電流が流れて電荷が蓄積される。このとき、容量素子C21に流れる電流が抵抗素子R21にも流れるため、抵抗素子R21の電圧降下によりノードN21の電位はノードN1の電位よりも低くなる(図8のステップ1)。
ノードN21の電位がノードN1の電位よりも低くなると、トランジスタmp21はオンする(図8のステップ2)。
それにより、トランジスタMN2_1はオンする(図8のステップ3)。
トランジスタMN2_1がオンし、トランジスタMN1_1がオフしているため、ノードN1及び接地電圧端子GND間の電位差はほとんどなくなり、電源電圧端子VDD及びノードN1間の電位差は、トランジスタMN1_1がブレークダウンするまで上昇する。
トランジスタMN1_1では、ブレークダウン後、スナップバック現象が発生する(図8のステップ4)。それに伴って、トランジスタMN2_1では、チャネル電流が流れた後、スナップバック現象が発生する。つまり、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間の電位差が、トランジスタMN1_1のトリガ電圧Vt1及びトランジスタMN2_1のトリガ電圧Vt2の和であるトリガ電圧Vtに達すると、トランジスタMN1_1,MN2_1がオンして電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に電流が流れる(図8のステップ5)。
その後、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間の電位差は、ホールド電圧Vh(=Vh1+Vh2)にまで低下する。
このようにして、ESD保護回路1は、ESD印加時、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に電流を流すことにより、被保護回路(不図示)の破壊を防止している。
このように、本実施の形態にかかるESD保護回路1は、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に、RCタイマを有しない第1クランプ回路と、RCタイマを有する第2クランプ回路と、を縦積みにしている。それにより、本実施の形態にかかるESD保護回路1は、トリガ電圧を電源電圧Vpwrより大きく設定することができるため、通常動作時に電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に流れるリーク電流の増大を抑制することができる。
さらに、本実施の形態にかかるESD保護回路1は、ESD保護回路300と比較して、RCタイマ1個分、回路規模を小さくすることができる。
(ESD保護回路1の変形例)
図9は、ESD保護回路1の変形例をESD保護回路1aとして示す図である。図9に示すESD保護回路1aは、ESD保護回路1と比較して、第1クランプ回路G1_1に並列に設けられた抵抗素子(第2抵抗素子)Rs1_1と、第2クランプ回路G2_1に並列に設けられた抵抗素子(第2抵抗素子)Rs2_1と、をさらに備える。
図9は、ESD保護回路1の変形例をESD保護回路1aとして示す図である。図9に示すESD保護回路1aは、ESD保護回路1と比較して、第1クランプ回路G1_1に並列に設けられた抵抗素子(第2抵抗素子)Rs1_1と、第2クランプ回路G2_1に並列に設けられた抵抗素子(第2抵抗素子)Rs2_1と、をさらに備える。
なお、抵抗素子Rs1_1,Rs2_1は何れも同一の抵抗値を有する。また、抵抗素子Rs1_1に流れる電流は第1クランプ回路G1_1に流れるリーク電流よりも十分に大きい。同様にして、抵抗素子Rs2_1に流れる電流は第2クランプ回路G2_1に流れるリーク電流よりも十分に大きい。
ESD保護回路1では、トランジスタMN1_1の電源投入直後のソース−ドレイン間電圧と、トランジスタMN2_1の電源投入直後のソース−ドレイン間電圧と、が異なる値を示す可能性がある。それにより、ESD保護回路1は、精度良く被保護回路の破壊を防止することができない恐れがある。
さらに、ESD保護回路1では、トランジスタMN2_1のソース−ドレイン間にトランジスタMN1_1のソース−ドレイン間に加わる電圧よりも高い電圧が加わるため、長時間の通常動作により、トランジスタMN2_1が破壊及び劣化しやすくなる。
一方、ESD保護回路1aでは、第1クランプ回路G1_1に並列に抵抗素子Rs1_1が設けられ、第2クランプ回路G2_1に並列に抵抗素子Rs2_1が設けられる。換言すると、ESD保護回路1aでは、トランジスタMN1_1のソース−ドレイン間に抵抗素子Rs1_1が設けられ、トランジスタMN2_1のソース−ドレイン間に抵抗素子Rs2_1が設けられる。そのため、トランジスタMN1_1のソース−ドレイン間電圧と、トランジスタMN2_1のソース−ドレイン間電圧と、は均等になる。それにより、ESD保護回路1aは、精度良く被保護回路の破壊を防止することができるとともに、トランジスタMN2_1の破壊及び劣化を防ぐことができる。
<実施の形態2>
図10は、実施の形態2にかかるESD保護回路2の構成例を示す図である。図10に示すESD保護回路2は、m(mは自然数)個の第1クランプ回路G1_1〜G1_mと、n(nは自然数)個の第2クランプ回路G2_1〜G2_nと、を備える。
図10は、実施の形態2にかかるESD保護回路2の構成例を示す図である。図10に示すESD保護回路2は、m(mは自然数)個の第1クランプ回路G1_1〜G1_mと、n(nは自然数)個の第2クランプ回路G2_1〜G2_nと、を備える。
ESD保護回路2は、電源電圧Vpwrの値に基づき予め第1及び第2クランプ回路の個数を調整しておくことにより、より細かい精度で所望のトリガ電圧Vt及びホールド電圧Vhを設定することができる。
なお、ESD保護回路2のトリガ電圧Vtは、以下の式(1)のように表される。
トリガ電圧Vt=m×Vt1+n×Vt2 ・・・(1)
ここで、ESD保護回路2のトリガ電圧Vtは、以下の式(2)を満たすように設定されることが好ましい。
電源電圧Vpwr<トリガ電圧Vt=m×Vt1+n×Vt2<被保護回路の破壊電圧Vmax ・・・(2)
Nt=m+nとすると、以下の式(3)及び式(4)が成り立つ。
n<(Nt×Vt1−Vpwr)/(Vt1−Vt2) ・・・(3)
n>(Nt×Vt1−Vmax)/(Vt1−Vt2) ・・・(4)
式(3)及び式(4)により、縦積みされるクランプ回路の総数(Nt)のうち第2クランプ回路の個数を求めることができる。
一方、ESD保護回路2のホールド電圧Vhは、以下の式(5)のように表される。
ホールド電圧Vh=m×Vh1+n×Vh2 ・・・(5)
ここで、ESD保護回路2のホールド電圧Vhは、以下の式(6)を満たすように設定されることが好ましい。
電源電圧Vpwr<ホールド電圧Vh=m×Vh1+n×Vh2 ・・・(6)
(ESD保護回路2の具体的構成例)
以下、ESD保護回路2の具体的構成例について説明する。
以下、ESD保護回路2の具体的構成例について説明する。
(ESD保護回路2の第1の具体的構成例)
図11Aは、ESD保護回路2の第1の具体的構成例をESD保護回路2aとして示す図である。ESD保護回路2aは、2個の第1クランプ回路G1_1,G1_2と、2個の第2クランプ回路G2_1,G2_2と、を備える。
図11Aは、ESD保護回路2の第1の具体的構成例をESD保護回路2aとして示す図である。ESD保護回路2aは、2個の第1クランプ回路G1_1,G1_2と、2個の第2クランプ回路G2_1,G2_2と、を備える。
図11Bは、図11Aに示すESD保護回路2aのIV特性を示す図である。図11Bに示すように、ESD保護回路2aのホールド電圧Vhは、第1又は第2クランプ回路のホールド電圧の4倍となる。つまり、Vh=4Vh1(=4Vh2)となる。一方、ESD保護回路2aのトリガ電圧Vtは、第1クランプ回路のトリガ電圧の2倍と、第2クランプ回路のトリガ電圧(<第1クランプ回路のトリガ電圧)の2倍と、の和になる。つまり、Vt=2Vt1+2Vt2となる。
(ESD保護回路2の第2の具体的構成例)
図12Aは、ESD保護回路2の第2の具体的構成例をESD保護回路2bとして示す図である。ESD保護回路2bは、1個の第1クランプ回路G1_1と、3個の第2クランプ回路G2_1〜G2_3と、を備える。
図12Aは、ESD保護回路2の第2の具体的構成例をESD保護回路2bとして示す図である。ESD保護回路2bは、1個の第1クランプ回路G1_1と、3個の第2クランプ回路G2_1〜G2_3と、を備える。
図12Bは、図12Aに示すESD保護回路2bのIV特性を示す図である。図12Bに示すように、ESD保護回路2bのホールド電圧Vhは、第1又は第2クランプ回路のホールド電圧の4倍となる。つまり、Vh=4Vh1(=4Vh2)となる。一方、ESD保護回路2bのトリガ電圧Vtは、第1クランプ回路のトリガ電圧と、第2クランプ回路のトリガ電圧(<第1クランプ回路のトリガ電圧)の3倍と、の和になる。つまり、Vt=Vt1+3Vt2となる。
ESD保護回路2bのホールド電圧がESD保護回路2aのホールド電圧と同じであるのに対し、ESD保護回路2bのトリガ電圧はESD保護回路2aのトリガ電圧よりも小さい。
(実施の形態に至る前の構想にかかるESD保護回路の構成及び動作)
次に、ESD保護回路2との比較のため、実施の形態に至る前の構想にかかるESD保護回路の構成及び動作について説明する。
次に、ESD保護回路2との比較のため、実施の形態に至る前の構想にかかるESD保護回路の構成及び動作について説明する。
図21Aは、実施の形態に至る前の構想にかかるESD保護回路400の構成を示す図である。図21Aに示すESD保護回路400は、4個の第1クランプ回路G1_1〜G1_4を備える。
図21Bは、図21Aに示すESD保護回路400のIV特性を示す図である。図21Bに示すように、ESD保護回路400のホールド電圧Vhは、第1又は第2クランプ回路のホールド電圧の4倍となる。つまり、Vh=4Vh1(=4Vh2)となる。一方、ESD保護回路400のトリガ電圧Vtは、第1クランプ回路のトリガ電圧の4倍となる。つまり、Vt=4Vt1となる。
ESD保護回路400では、トリガ電圧Vtが被保護回路(不図示)の破壊電圧Vmaxよりも大きくなってしまう可能性が高い。そのため、ESD保護回路400は、被保護回路の破壊を防止することができない恐れがある。
図22Aは、実施の形態に至る前の構想にかかるESD保護回路500の構成を示す図である。図22Aに示すESD保護回路500は、4個の第2クランプ回路G2_1〜G2_4を備える。
図22Bは、図22Aに示すESD保護回路500のIV特性を示す図である。図22Bに示すように、ESD保護回路500のホールド電圧Vhは、第1又は第2クランプ回路のホールド電圧の4倍となる。つまり、Vh=4Vh1(=4Vh2)となる。一方、ESD保護回路500のトリガ電圧Vtは、第2クランプ回路のトリガ電圧(<第1クランプ回路のトリガ電圧)の4倍となる。つまり、Vt=4Vt2となる。
ESD保護回路500では、トリガ電圧Vtが電源電圧Vpwrよりも小さくなってしまう可能性が高い。そのため、ESD保護回路500は、静電気が発生しなくても、通常動作時に電源電圧端子VDDの電圧が上昇してトリガ電圧に達してしまい、電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れてしまう恐れがある。
一方、本実施の形態にかかるESD保護回路2は、上記したように、より細かい精度で所望のトリガ電圧Vtを設定することができる。具体的には、本実施の形態にかかるESD保護回路2は、トリガ電圧Vtを、電源電圧Vpwrより高くかつ被保護回路(不図示)の破壊電圧Vmaxより低い値に設定することができる。それにより、本実施の形態にかかるESD保護回路2は、被保護回路の破壊を防止するとともに、通常動作時に電源電圧端子VDDから接地電圧端子GNDにリーク電流が流れるのを防ぐことができる。
このように、本実施の形態にかかるESD保護回路2は、電源電圧Vpwrの値に基づき予め第1及び第2クランプ回路の個数を調整しておくことにより、より細かい精度で所望のトリガ電圧Vt及びホールド電圧Vhを設定することができる。具体的には、本実施の形態にかかるESD保護回路2は、トリガ電圧Vtを、電源電圧Vpwrより高くかつ被保護回路(不図示)の破壊電圧Vmaxより低い値に設定するとともに、ホールド電圧Vhを電源電圧Vpwrより高い値に設定することができる。
(ESD保護回路2の変形例)
図13は、ESD保護回路2の変形例をESD保護回路2cとして示す図である。なお、本例ではm=2,n=2である場合を例に説明する。
図13は、ESD保護回路2の変形例をESD保護回路2cとして示す図である。なお、本例ではm=2,n=2である場合を例に説明する。
図14に示すESD保護回路2cは、ESD保護回路2aと比較して、第1クランプ回路G1_1,G1_2のそれぞれに並列に設けられた抵抗素子(第2抵抗素子)Rs1_1,Rs1_2と、第2クランプ回路G2_1,G2_2のそれぞれに並列に設けられた抵抗素子(第2抵抗素子)Rs2_1,Rs2_2と、をさらに備える。
なお、抵抗素子Rs1_1,Rs1_2,Rs2_1,Rs2_2は何れも同一の抵抗値を有する。また、抵抗素子Rs1_1,Rs1_2のそれぞれに流れる電流は、第1クランプ回路G1_1,G1_2のそれぞれに流れるリーク電流よりも十分に大きい。同様にして、抵抗素子Rs2_1,Rs2_2のそれぞれに流れる電流は、第2クランプ回路G2_1,G2_2のそれぞれに流れるリーク電流よりも十分に大きい。
ESD保護回路2cは、ESD保護回路1aと同等の効果を奏することができる。
<実施の形態3>
図14は、実施の形態3にかかるESD保護回路3の構成例を示す図である。図14に示すESD保護回路3は、図13に示すESD保護回路2cと比較して、トランジスタ(第1トランジスタ)TrN1〜TrN3及びトランジスタ(第2トランジスタ)TrP1〜TrP3をさらに備える。以下、具体的に説明する。
図14は、実施の形態3にかかるESD保護回路3の構成例を示す図である。図14に示すESD保護回路3は、図13に示すESD保護回路2cと比較して、トランジスタ(第1トランジスタ)TrN1〜TrN3及びトランジスタ(第2トランジスタ)TrP1〜TrP3をさらに備える。以下、具体的に説明する。
なお、本実施の形態では、トランジスタTrN1〜TrN3がNチャネルMOSトランジスタ、トランジスタTrP1〜TrP3がPチャネルMOSトランジスタである場合を例に説明する。また、本例ではm=2,n=2である場合を例に説明する。
トランジスタTrN1では、ソースがクランプ回路G1_1,G1_2間のノード(第1ノード)N31に接続され、ドレインが電源電圧端子VDDに接続され、ゲートがノード(第2ノード)N41に接続される。トランジスタTrN2では、ソースがクランプ回路G1_2,G2_1間のノード(第1ノード)N32に接続され、ドレインがノード(第1ノード)N31に接続され、ゲートがノード(第2ノード)N42に接続される。トランジスタTrN3では、ソースがクランプ回路G2_1,G2_2間のノード(第1ノード)N33に接続され、ドレインがノード(第1ノード)N32に接続され、ゲートがノード(第2ノード)N43に接続される。
トランジスタTrP1では、ソースがノード(第1ノード)N31に接続され、ドレインがノード(第1ノード)N32に接続され、ゲートがノード(第2ノード)N41に接続される。トランジスタTrP2では、ソースがノード(第1ノード)N32に接続され、ドレインがノード(第1ノード)N33に接続され、ゲートがノード(第2ノード)N42に接続される。トランジスタTrP3では、ソースがノード(第1ノード)N33に接続され、ドレインが接地電圧端子GNDに接続され、ゲートがノード(第2ノード)N43に接続される。
また、抵抗素子Rs1_1は、電源電圧端子VDDとノードN41との間に設けられる。抵抗素子Rs1_2は、ノードN41とノードN42との間に設けられる。抵抗素子Rs2_1は、ノードN42とノードN43との間に設けられる。抵抗素子Rs2_2は、ノードN43と接地電圧端子GNDとの間に設けられる。
続いて、ESD保護回路3の動作について説明する。
なお、安定した状態では、ノードN31,N41は同電位を示し、ノードN32,N42は同電位を示し、ノードN33,N43は同電位を示す。
例えば、ノードN31の電位がノードN41の電位より低くなった場合、トランジスタTrN1はオンする。それにより、ノードN31と、当該ノードN31より高電位側の電源電圧端子VDDと、が導通するため、ノードN31の電位は上昇する。そして、ノードN31の電位がノードN41の電位と同電位になるまで上昇すると、トランジスタTrN1はオフする。
一方、ノードN31の電位がノードN41の電位より高くなった場合、トランジスタTrP1はオンする。それにより、ノードN31と、当該ノードN31より低電位側の電源電圧端子VDDと、が導通するため、ノードN31の電位は低下する。そして、ノードN31の電位がノードN41の電位と同電位になるまで低下すると、トランジスタTrP1はオフする。
同様にして、例えば、ノードN32の電位がノードN42の電位より低くなった場合、トランジスタTrN2がオンすることでノードN32の電位が上昇する。一方、ノードN32の電位がノードN42の電位より高くなった場合、トランジスタTrP2がオンすることでノードN32の電位が低下する。
同様にして、例えば、ノードN33の電位がノードN43の電位より低くなった場合、トランジスタTrN3がオンすることでノードN33の電位が上昇する。一方、ノードN33の電位がノードN43の電位より高くなった場合、トランジスタTrP3がオンすることでノードN32の電位が低下する。
このようにして、ノードN31〜N33の電位は、それぞれノードN41〜N43の電位と同電位に保持される。
図14に示すESD保護回路3では、図13に示すESD保護回路2cの場合と異なり、抵抗素子Rs1_1,Rs1_2,Rs2_1,Rs2_2のそれぞれに流れる電流と、クランプ回路G1_1,G1_2,G2_1,G2_2のそれぞれに流れる電流と、が分離されている。そのため、抵抗素子Rs1_1,Rs1_2,Rs2_1,Rs2_2のそれぞれの抵抗値は、クランプ回路G1_1,G1_2,G2_1,G2_2のそれぞれに流れるリーク電流に関係なく決めることができる。それにより、ESD保護回路3は、例えば、抵抗素子Rs1_1,Rs1_2,Rs2_1,Rs2_2のそれぞれの抵抗値を小さくすることにより回路規模を小さくすることができる。
<実施の形態4>
図15は、実施の形態4にかかるESD保護回路4の構成例を示す図である。図15に示すESD保護回路4は、図14に示すESD保護回路3と比較して、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのゲート−ソース間に、それぞれダイオードdn1〜dn3,dp1〜dp3をさらに備える。ESD保護回路4のその他の回路構成については、ESD保護回路3の場合と同様であるため、その説明を省略する。
図15は、実施の形態4にかかるESD保護回路4の構成例を示す図である。図15に示すESD保護回路4は、図14に示すESD保護回路3と比較して、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのゲート−ソース間に、それぞれダイオードdn1〜dn3,dp1〜dp3をさらに備える。ESD保護回路4のその他の回路構成については、ESD保護回路3の場合と同様であるため、その説明を省略する。
なお、ダイオードdn1〜dn3,dp1〜dp3は、それぞれトランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのゲート−ソース間の破壊電圧(酸化膜耐圧)以上の順方向電圧を有する。
ESD印加時、ノードN41〜N43の電位は非常に高くなる可能性がある。そのため、図14に示すESD保護回路3では、ESD印加時のノードN41〜N43の電位の上昇により、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのゲートが破壊されてしまう恐れがある。
一方、図15に示すESD保護回路4は、上記したように、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのゲート−ソース間に、それぞれダイオードdn1〜dn3,dp1〜dp3を備える。それにより、ESD保護回路4は、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのゲート(酸化膜)の破壊を防ぐことができる。
<実施の形態5>
図16は、実施の形態5にかかるESD保護回路5の構成例を示す図である。図16に示すESD保護回路5は、図15に示すESD保護回路4と比較して、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのドレイン側に、それぞれトランジスタ(第3トランジスタ)TrN1'〜TrN3'及びトランジスタ(第4トランジスタ)TrP1'〜TrP3'をさらに備える。
図16は、実施の形態5にかかるESD保護回路5の構成例を示す図である。図16に示すESD保護回路5は、図15に示すESD保護回路4と比較して、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのドレイン側に、それぞれトランジスタ(第3トランジスタ)TrN1'〜TrN3'及びトランジスタ(第4トランジスタ)TrP1'〜TrP3'をさらに備える。
なお、本実施の形態では、トランジスタTrN1'〜TrN3'がNチャネルMOSトランジスタ、トランジスタTrP1'〜TrP3'がPチャネルMOSトランジスタである場合を例に説明する。
より具体的には、トランジスタTrN1'では、ソースがトランジスタTrN1のドレインに接続され、ドレイン及びゲートが電源電圧端子VDDに接続される。トランジスタTrN2'では、ソースがトランジスタTrN2のドレインに接続され、ドレイン及びゲートがノードN31に接続される。トランジスタTrN3'では、ソースがトランジスタTrN3のドレインに接続され、ドレイン及びゲートがノードN32に接続される。トランジスタTrP1'では、ソースがトランジスタTrP1のドレインに接続され、ドレイン及びゲートがノードN32に接続される。トランジスタTrP2'では、ソースがトランジスタTrP2のドレインに接続され、ドレイン及びゲートがノードN33に接続される。トランジスタTrP3'では、ソースがトランジスタTrP3のドレインに接続され、ドレイン及びゲートが接地電圧端子GNDに接続される。ESD保護回路5のその他の回路構成については、ESD保護回路4の場合と同様であるため、その説明を省略する。
ESD印加時、ノードN31〜N33間の電位差は大きくなる可能性がある。そのため、図15に示すESD保護回路4では、ESD印加時のノードN31〜N33間の電位差の上昇により、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3が破壊されてしまう可能性がある。
一方、図16に示すESD保護回路5は、上記したように、トランジスタTrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3のそれぞれのドレイン側に、それぞれトランジスタTrN1'〜TrN3',TrP1'〜TrP3'を備える。それにより、ESD保護回路5は、ノードN31〜N33間のトランジスタの耐圧が2倍になるため、これらトランジスタの破壊を防ぐことができる。
<実施の形態6>
本実施の形態では、第1及び第2クランプ回路に設けられたNチャネルMOSトランジスタのレイアウト構成例について説明する。以下では、代表して第1クランプ回路に設けられたNチャネルMOSトランジスタのレイアウト構成例について説明する。
本実施の形態では、第1及び第2クランプ回路に設けられたNチャネルMOSトランジスタのレイアウト構成例について説明する。以下では、代表して第1クランプ回路に設けられたNチャネルMOSトランジスタのレイアウト構成例について説明する。
図17は、第1クランプ回路に設けられたNチャネルMOSトランジスタのレイアウト構成例を示す図である。図17に示すように、NチャネルMOSトランジスタを構成する拡散層部分のうちコンタクトが接触する拡散層部分のみシリサイド化し、その他の拡散層部分及びゲートポリシリコンをシリサイド化しない。
一般的に、NチャネルMOSトランジスタは、ゲート上及び拡散層をシリサイド化すると、ESD等の大電流により破壊されやすくなる。そのため、上記対策を施すことにより、NチャネルMOSトランジスタは、ESD等の大電流により破壊されるのを防ぐことができる。
以上のように、上記実施の形態1〜6にかかるESD保護回路は、電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に、RCタイマを有しない第1クランプ回路と、RCタイマを有する第2クランプ回路と、を縦積みにしている。それにより、上記実施の形態1〜6にかかるESD保護回路は、トリガ電圧を電源電圧Vpwrより大きく設定することができるため、通常動作時に電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に流れるリーク電流の増大を抑制することができる。
さらに、上記実施の形態にかかるESD保護回路は、ESD保護回路300と比較してRCタイマの使用個数を減らすことができるため、回路規模を小さくすることができる。
上記実施の形態3以降では、m=2,n=2である場合を例に説明したが、これに限られない。当然ながらm,nの値は任意に変更可能である。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は既に述べた実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることはいうまでもない。
なお、トリガ電圧とは、縦積みされた複数の保護トランジスタのそれぞれがオンして電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に電流が流れ始めるときの電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間の電位差のことである。
また、ホールド電圧とは、縦積みされた複数の保護トランジスタのそれぞれがオンして電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間に電流が流れた後に保持される電源電圧端子VDD及び接地電圧端子GND間の電位差のことである。
1〜5 ESD保護回路
C21,C22 容量素子
dn1〜dn3,dp1〜dp3 容量素子
G1_1〜G1_m クランプ回路
G2_1〜G2_n クランプ回路
MN1_1〜MN1_m トランジスタ
MN2_1〜MN2_n トランジスタ
mp21,mp22 トランジスタ
mn21,mn22 トランジスタ
R21,R22 抵抗素子
Rs1_1,Rs1_2,Rs2_1,Rs2_2 抵抗素子
T2_1〜T2_n RCタイマ
TrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3 トランジスタ
TrN1'〜TrN3',TrP1'〜TrP3' トランジスタ
C21,C22 容量素子
dn1〜dn3,dp1〜dp3 容量素子
G1_1〜G1_m クランプ回路
G2_1〜G2_n クランプ回路
MN1_1〜MN1_m トランジスタ
MN2_1〜MN2_n トランジスタ
mp21,mp22 トランジスタ
mn21,mn22 トランジスタ
R21,R22 抵抗素子
Rs1_1,Rs1_2,Rs2_1,Rs2_2 抵抗素子
T2_1〜T2_n RCタイマ
TrN1〜TrN3,TrP1〜TrP3 トランジスタ
TrN1'〜TrN3',TrP1'〜TrP3' トランジスタ
Claims (14)
- 第1及び第2電源端子と、
前記第1及び前記第2電源端子間に縦積み接続された第1及び第2クランプ回路と、を備え、
前記第1クランプ回路は、
第1高電位側ノードにドレインが接続され、第1低電位側ノードにソース及びゲートが接続された第1保護トランジスタを有し、
前記第2クランプ回路は、
第2高電位側ノードに一端が接続された第1抵抗素子と、
第2低電位側ノードと前記第1抵抗素子の他端との間に設けられた容量素子と、
前記第1抵抗素子及び前記容量素子間のノードの電位に応じた論理値の制御信号を出力するインバータと、
前記第2高電位側ノードにドレインが接続され、前記第2低電位側ノードにソースが接続され、かつ、ゲート及びバックゲートに前記制御信号が供給される、第2保護トランジスタと、を有する、ESD保護回路。 - 前記第1及び前記第2保護トランジスタのそれぞれがオンして前記第1及び前記第2電源端子間に電流が流れ始めるときの前記第1及び前記第2電源端子間の電位差は、通常動作時に前記第1及び前記第2電源端子のそれぞれに供給される電源電圧の差よりも大きい、請求項1に記載のESD保護回路。
- 前記第1及び前記第2保護トランジスタのそれぞれがオンして前記第1及び前記第2電源端子間に電流が流れ始めるときの前記第1及び前記第2電源端子間の電位差は、前記第1及び前記第2電源端子間に設けられた被保護回路の破壊電圧よりも小さい、請求項1に記載のESD保護回路。
- 前記第1及び前記第2保護トランジスタのそれぞれがオンして前記第1及び前記第2電源端子間に電流が流れた後に保持される前記第1及び前記第2電源端子間の電位差は、通常動作時に前記第1及び前記第2電源端子のそれぞれに供給される電源電圧の差よりも大きい、請求項1に記載のESD保護回路。
- 前記第1及び前記第2クランプ回路のそれぞれに並列に設けられた複数の第2抵抗素子をさらに備えた請求項1に記載のESD保護回路。
- m(mは自然数)個の前記第1クランプ回路と、
n(nは自然数)個の前記第2クランプ回路と、を備えた請求項1に記載のESD保護回路。 - m個の前記第1保護トランジスタ及びn個の前記第2保護トランジスタのそれぞれがオンして前記第1及び前記第2電源端子間に電流が流れ始めるときの前記第1及び前記第2電源端子間の電位差は、通常動作時に前記第1及び前記第2電源端子のそれぞれに供給される電源電圧の差よりも大きい、請求項6に記載のESD保護回路。
- m個の前記第1保護トランジスタ及びn個の前記第2保護トランジスタのそれぞれがオンして前記第1及び前記第2電源端子間に電流が流れ始めるときの前記第1及び前記第2電源端子間の電位差は、前記第1及び前記第2電源端子間に設けられた被保護回路の破壊電圧よりも小さい、請求項6に記載のESD保護回路。
- m個の前記第1保護トランジスタ及びn個の前記第2保護トランジスタのそれぞれがオンして前記第1及び前記第2電源端子間に電流が流れた後に保持される前記第1及び前記第2電源端子間の電位差は、通常動作時に前記第1及び前記第2電源端子のそれぞれに供給される電源電圧の差よりも大きい、請求項6に記載のESD保護回路。
- m個の前記第1クランプ回路及びn個の前記第2クランプ回路のそれぞれに並列に設けられた(m+n)個の第2抵抗素子をさらに備えた請求項6に記載のESD保護回路。
- m個の前記第1クランプ回路及びn個の前記第2クランプ回路のそれぞれに対応して前記第1及び前記第2電源端子間に直列に設けられた(m+n)個の第2抵抗素子と、
ソースが、複数の前記第1及び前記第2クランプ回路間の複数の第1ノードにそれぞれ接続され、ドレインが、ソースに接続された前記第1ノードより高電位の前記第1ノード又は前記第1電源端子にそれぞれ接続され、ゲートが、複数の前記第2抵抗素子間の複数の第2ノードのうちソースに接続された前記第1ノードに対応する第2ノードにそれぞれ接続された、複数のNチャネル型の第1トランジスタと、
ソースが、前記複数の第1ノードにそれぞれ接続され、ドレインが、ソースに接続された前記第1ノードより低電位の前記第1ノード又は前記第2電源端子にそれぞれ接続され、ゲートが、前記複数の第2ノードのうちソースに接続された前記第1ノードに対応する第2ノードにそれぞれ接続された、複数のPチャネル型の第2トランジスタと、をさらに備えた請求項6に記載のESD保護回路。 - 複数の前記第1及び前記第2トランジスタのそれぞれのソース−ゲート間に設けられた複数のダイオードをさらに備えた請求項11に記載のESD保護回路。
- 複数の前記第1トランジスタのそれぞれのドレイン側に設けられた複数のNチャネル型の第3トランジスタと、
複数の前記第2トランジスタのそれぞれのドレイン側に設けられた複数のPチャネル型の第4トランジスタと、をさらに備えた請求項12に記載のESD保護回路。 - 複数の前記第1及び前記第2保護トランジスタでは、それぞれ、拡散層部分のうちコンタクトが接触する拡散層部分がシリサイド化され、その他の拡散層部分及びゲートポリシリコンがシリサイド化されない、請求項6に記載のESD保護回路。
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