JP2014120545A - 電磁レンズ及び電子ビーム露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子ビームの光軸に対して回転対称に巻かれた電磁コイル3と、電磁コイル3を覆うポールピース2とを有する電磁レンズにおいて、ポールピース2の内周側に形成された内周壁2b又は電子ビームの出射側の端部に形成された下端壁2dの何れか一方または両者の境界の部分に一体的にギャップ2aを形成する。そして、内周壁2bを、ギャップ2aに近い部分を最も薄くし、ギャップ2aから離れるにしたがって徐々に厚くなるように形成する。また、内周壁2bの厚さの変化に応じて、電磁レンズ3の半径方向の幅をギャップ2aに近くなるほど大きくなるように形成する。
【選択図】図4
Description
図4(a)は、第1実施形態に係る電磁レンズ4を示す斜視図であり、図4(b)は図4(a)の電磁レンズ4のポールピース2を示す斜視図である。なお、図4(a)、(b)は、内部の構造を示すために一部を切り欠いた状態で示している。また、図中の一点鎖線は電子ビームEBの光軸cを示しており電子ビームEBは、図中の矢印の方向に進む。
図7は、本実施形態に係るマルチコラム電子ビーム露光装置の概略構成図である。
図10は、本実施形態に係る電磁レンズ50を示す斜視図である。なお、図示の電磁レンズは、内部の構造を理解しやすくするために電子ビームの光軸cに平行な面で切断して示したものであり、実際には電子ビームの光軸cまわりに回転対称に形成されている。また図中の矢印は電子ビームの出射方向を示している。
Claims (10)
- 電子ビームの光軸に対して回転対称に巻かれた電磁コイルと、
前記電磁コイルの内周側を覆う内周壁と、前記電子ビームの入射側で前記電磁コイルを覆う上端壁と、前記電子ビームの出射側で前記電磁コイルを覆う下端壁と、前記電磁コイルの外周側を覆う外周壁と、前記内周壁、下端壁及び上端壁の少なくとも一部分を前記光軸に対して回転対称に切り欠いたギャップと、を有するポールピースとを備え、
前記内周壁の厚さは、前記ギャップに近い部分が最も薄く、前記ギャップからの距離の増加に伴って徐々に厚くなると共に、
前記電磁コイルの半径方向の幅は、前記ギャップに近くなるほど増加すること
を特徴とする電磁レンズ。 - 前記内周壁の最も厚い部分の厚さは、前記外周壁の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項1に記載の電磁レンズ。
- 前記ギャップは前記内周壁、下端壁及び上端壁の少なくとも一部に形成されており、前記内周壁の前記光軸側の面が光軸に平行であり、且つ前記内周壁の前記電磁コイル側の面が前記ギャップにかけて前記光軸側に近づくように傾斜していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電磁レンズ。
- 前記電磁コイルは前記光軸に平行な面で切断した断面が台形状となっていることを特徴とする請求項3に記載の電磁レンズ。
- 前記ギャップが形成された前記内周壁及び下端壁の少なくとも一部分が、前記電子ビームを結像させる試料の表面に対向させて配置されることを特徴とする請求項3又は請求項4に記載の電磁レンズ。
- 前記ギャップは前記内周壁の中央に形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れか1項に記載の電磁レンズ。
- 前記ポールピースと前記電磁コイルとの隙間が冷媒の流路となっていることを特徴とする請求項1ないし請求項6の何れか1項に記載の電磁レンズ。
- 前記ポールピースのギャップは、非磁性材料よりなる封止部材によって封止されていることを特徴とする請求項7に記載の電磁レンズ。
- 電子ビームの光軸に対して回転対称に巻かれた電磁コイルと、前記電磁コイルの内周側を覆う内周壁と、前記電子ビームの入射側で前記電磁コイルを覆う上端壁と、前記電子ビームの出射側で前記電磁コイルを覆う下端壁と、前記電磁コイルの外周側を覆う外周壁と、前記内周壁、下端壁及び上端壁の少なくとも一部分を前記光軸に対して回転対称に切り欠いたギャップと、を有するポールピースとを備え、前記内周壁の厚さは、前記ギャップに近い部分が最も薄く、前記ギャップからの距離の増加に伴って徐々に厚くなると共に、前記電磁コイルの半径方向の幅は、前記ギャップに近くなるほど増加する電磁レンズを備えた電子ビーム露光装置。
- さらに、電子ビームを放出する複数の電子銃を有し、前記電磁レンズを前記各電子ビームの光軸上に複数備えてなる請求項9に記載の電子ビーム露光装置。
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