JP2014110384A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6365133B2 (ja) * 2014-09-01 2018-08-01 大日本印刷株式会社 インプリント装置、基準マーク基板、アライメント方法
JP7286391B2 (ja) * 2019-04-16 2023-06-05 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法
US12266579B2 (en) * 2021-08-30 2025-04-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method and system for adjusting the gap between a wafer and a top plate in a thin-film deposition process
JP2025076140A (ja) * 2023-11-01 2025-05-15 キヤノン株式会社 調整方法、インプリント方法、物品製造方法、およびインプリント装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010080714A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Canon Inc 押印装置および物品の製造方法
JP5669516B2 (ja) * 2010-10-15 2015-02-12 キヤノン株式会社 リソグラフィ装置及びデバイスの製造方法
JP2012178470A (ja) * 2011-02-25 2012-09-13 Canon Inc インプリント装置及びデバイスの製造方法

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