JP2014109022A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- 操作（ａ）：良溶媒と貧溶媒を含む溶液中に樹脂が分散しているスラリーを撹拌する操作、次いで、
操作（ｂ）：前記スラリーに貧溶媒を追加して良溶媒の貧溶媒に対する比率を下げた後に、樹脂と溶液を分離する操作、
を含むことを特徴とするフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法。 - 操作（ａ）における樹脂が、重合反応後の重合液から得られたものである、請求項１に記載のフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法。
- 操作（ａ）が、重合反応後の重合液を貧溶媒と接触させて樹脂を析出させたスラリーを撹拌する操作である、請求項１または２に記載のフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法。
- 操作（ａ）が、重合反応後の重合液を貧溶媒と接触させて樹脂を析出させたスラリーを撹拌する操作であり、操作（ｂ）においてスラリーに追加する貧溶媒の量が、操作（ａ）および操作（ｂ）で使用する貧溶媒総量の２０質量％以上である、請求項１または２に記載のフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法。
- 操作（ａ）が、重合反応後の重合液と貧溶媒との接触により析出させた樹脂を固液分離して得られた樹脂と、良溶媒と貧溶媒を含む溶液と、を混合したスラリーを撹拌する操作である、請求項１または２に記載のフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法。
- 操作（ａ）が、重合反応後の重合液と貧溶媒との接触により析出させた樹脂を固液分離して得られた樹脂と、良溶媒と貧溶媒を含む溶液と、を混合したスラリーを撹拌する操作であり、操作（ｂ）において追加する貧溶媒の量が、操作（ａ）および操作（ｂ）で使用する貧溶媒総量の４０質量％以上である、請求項１または２に記載のフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法。
- 操作（ｂ）で追加する貧溶媒が水を含んでなる、請求項１〜６の何れか一項に記載のフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法。
- 前記スラリー中の樹脂が粉体状である、請求項１〜７の何れか一項に記載のフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法。
- 請求項１〜８の何れか一項に記載のフォトリソグラフィー用樹脂の精製方法を含む、フォトリソグラフィー用樹脂の製造方法。
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