JP2014104563A - Method for machining lenticular-curved-surface array - Google Patents

Method for machining lenticular-curved-surface array Download PDF

Info

Publication number
JP2014104563A
JP2014104563A JP2012260901A JP2012260901A JP2014104563A JP 2014104563 A JP2014104563 A JP 2014104563A JP 2012260901 A JP2012260901 A JP 2012260901A JP 2012260901 A JP2012260901 A JP 2012260901A JP 2014104563 A JP2014104563 A JP 2014104563A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
curved surface
surface shape
processing
axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012260901A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5980666B2 (en
Inventor
Masahiko Fukuda
田 将 彦 福
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP2012260901A priority Critical patent/JP5980666B2/en
Publication of JP2014104563A publication Critical patent/JP2014104563A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5980666B2 publication Critical patent/JP5980666B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for machining a lenticular-curved-surface array capable of machining a plurality of lenticular-curved-surface shapes to a curved surface workpiece while securing uniform machining accuracy.SOLUTION: A method for machining a lenticular-curved-surface array comprises processes of: (1) moving a tip of a tool to reference position coordinates of an initial lens shape and adjusting a rotational axis of the tool so as to form a predetermined relative angle with an optical axis of the initial lens shape; (2) machining the initial lens shape while maintaining the rotational axis of the tool parallel to the optical axis based on relative position coordinates of the initial lens shape; (3) moving the tip of the tool to reference position coordinates of the next lens shape and adjusting the rotational axis of the tool so as to form the predetermined relative angle with an optical axis of the next lens shape; and (4) processing the next lens shape while maintaining the rotational axis of the tool parallel based on the relative position coordinates of the next lens shape.

Description

本発明は、曲面状のワークに複数のレンズ用曲面形状を回転工具によって加工するレンズ用曲面アレイの加工方法に関する。   The present invention relates to a processing method for a curved surface array for lenses, in which a plurality of curved surface shapes for lenses are processed on a curved workpiece by a rotary tool.

デジタルカメラの市場規模拡大は、非球面レンズの金型加工技術を飛躍的に発展させている。さらにここ数年では、複雑光学系やコスト削減を目的として、非球面形状または球面形状を有するレンズ用曲面形状が複数配置されたレンズ用曲面アレイ(レンズアレイ)も注目されている。   The expansion of the digital camera market is advancing the die processing technology for aspheric lenses. Furthermore, in the past few years, a lens curved surface array (lens array) in which a plurality of lens curved surface shapes having an aspherical shape or a spherical shape are arranged has been attracting attention for the purpose of reducing the complexity of optical systems and costs.

直線状または平面状のワークに複数のレンズ用曲面形状を配置(加工)するために、回転工具を用いて複数の直線軸をコンタリングさせることによって、複数のレンズ用曲面形状を創成する加工方法が提案されている(非特許文献1参照)。また、特殊な加工装置を用いて回転工具とワークとを同回転数で同期回転させることによって、複数のレンズ用曲面形状を創成する加工方法も提案されている(特許文献1参照)。   A processing method for creating a plurality of curved surface shapes for lenses by contouring a plurality of linear axes using a rotary tool in order to arrange (processing) a plurality of curved surface shapes for lenses on a linear or planar workpiece. Has been proposed (see Non-Patent Document 1). In addition, there has also been proposed a machining method for creating a plurality of curved surface shapes for lenses by rotating a rotary tool and a workpiece synchronously at the same rotational speed using a special machining device (see Patent Document 1).

特開2008−238285号公報JP 2008-238285 A

福田将彦、「最新の超精密加工機と加工事例」、オプトトロニクス 29(4).172−176、2010−04Masahiko Fukuda, “Latest Ultra Precision Machining Machines and Machining Examples”, Optotronics 29 (4). 172-176, 2010-04

本件発明者によれば、直線状または平面状のワークでなくて曲面状のワークに複数のレンズ用曲面形状を配置(加工)することによって、光均質性や集光性を顕著に向上させることができ、短距離で投影可能なプロジェクタやステッパを実現できる可能性が高まることが知見された。   According to the inventor of the present invention, by arranging (processing) a plurality of curved surface shapes for lenses on a curved workpiece rather than a linear or planar workpiece, the light homogeneity and light condensing performance can be significantly improved. It has been found that the possibility of realizing a projector and a stepper capable of projecting at a short distance is increased.

しかしながら、非特許文献1または特許文献1に記載された加工方法は、前述のように直線状または平面状のワークに複数のレンズ用曲面形状を配置(加工)するための加工方法であり、曲面状のワークに複数のレンズ用曲面形状を配置(加工)することはできない。具体的には、当該加工方法を曲面状のワークへの加工に適用しても、各レンズ用曲面形状の加工品質の均一性が良好でないため、好ましい光学特性を得ることが困難である。   However, the processing method described in Non-Patent Document 1 or Patent Document 1 is a processing method for arranging (processing) a plurality of curved surface shapes for lenses on a linear or planar workpiece as described above. A plurality of curved surface shapes for lenses cannot be arranged (processed) on a workpiece. Specifically, even if the processing method is applied to processing a curved workpiece, it is difficult to obtain preferable optical characteristics because the processing quality uniformity of the curved surface shape for each lens is not good.

本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、均一な加工精度を確保しながら、曲面状のワークに複数のレンズ用曲面形状を加工できるレンズ用曲面アレイの加工方法を提供することである。   The present invention has been created based on the above findings. An object of the present invention is to provide a method for processing a curved surface array for a lens that can process a plurality of curved surface shapes for a lens on a curved workpiece while ensuring uniform processing accuracy.

本発明は、曲面状のワークに複数のレンズ用曲面形状を回転工具によって加工するレンズ用曲面アレイの加工方法であって、各レンズ用曲面形状は、基準位置座標と当該基準位置座標に対する相対位置座標とによって規定され、光軸を提供しており、前記加工方法は、(1)回転工具の先端を最初の加工対象であるレンズ用曲面形状の基準位置座標に移動させると共に、回転工具の回転軸を当該最初のレンズ用曲面形状の光軸と所定の相対角度をなすように調整する工程と、(2)当該最初のレンズ用曲面形状の相対位置座標に基づいて、回転工具の回転軸をそれ自身の軸方向に対して平行に維持したまま、回転工具の先端を順次移動させることで、当該レンズ用曲面形状を加工する工程と、(3)回転工具の先端を次の加工対象であるレンズ用曲面形状の基準位置座標に移動させると共に、回転工具の回転軸を当該次のレンズ用曲面形状の光軸と前記所定の相対角度をなすように調整する工程と、(4)当該次のレンズ用曲面形状の相対位置座標に基づいて、回転工具の回転軸をそれ自身の軸方向に対して平行に維持したまま、回転工具の先端を順次移動させることで、当該レンズ用曲面形状を加工する工程と、を備えたことを特徴とするレンズ用曲面アレイの加工方法である。   The present invention relates to a method of processing a curved surface array for a lens that processes a plurality of curved surface shapes for a lens on a curved workpiece with a rotary tool, and each curved surface shape for a lens has a reference position coordinate and a relative position relative to the reference position coordinate. The processing method includes (1) moving the tip of the rotary tool to the reference position coordinate of the curved surface shape for the lens that is the first processing target, and rotating the rotary tool. Adjusting the axis so as to form a predetermined relative angle with the optical axis of the first curved surface shape for the lens, and (2) based on the relative position coordinates of the curved surface shape for the first lens, the rotational axis of the rotary tool The step of processing the curved surface shape for the lens by sequentially moving the tip of the rotary tool while maintaining it parallel to its own axial direction, and (3) the tip of the rotary tool is the next processing target. Len Adjusting the rotation axis of the rotary tool so as to form the predetermined relative angle with the optical axis of the curved surface shape for the next lens, and (4) the next lens. Based on the relative position coordinates of the curved surface shape for the lens, the curved surface shape for the lens is processed by sequentially moving the tip of the rotating tool while maintaining the rotation axis of the rotating tool parallel to the axial direction of the rotating tool itself. And a process for processing a curved surface array for a lens.

本発明によれば、各レンズ用曲面形状が加工される間中、回転工具の回転軸が当該レンズ用曲面形状の光軸に対して所定の相対角度に維持されることにより、各レンズ用曲面形状の加工において回転工具の移動軌道、すなわち刃先の移動軌道(加工軌道)のバラツキが抑制される。これにより、加工される複数のレンズ用曲面形状間においてバラツキの少ない(均一な)加工精度を得ることができる。   According to the present invention, while the curved surface shape for each lens is processed, the rotation axis of the rotary tool is maintained at a predetermined relative angle with respect to the optical axis of the curved surface shape for the lens. In machining the shape, variations in the moving trajectory of the rotary tool, that is, the movement trajectory (machining trajectory) of the cutting edge are suppressed. As a result, it is possible to obtain a processing accuracy with less variation (uniform) between the plurality of curved surface shapes for lenses to be processed.

尚、複数のレンズ用曲面形状とは、当然に、3以上のレンズ用曲面形状を含む。その場合、(3)工程及び(4)工程が、順次、加工対象のレンズ用曲面形状毎に繰り返される。   The plurality of lens curved surface shapes naturally include three or more lens curved surface shapes. In that case, the steps (3) and (4) are sequentially repeated for each curved surface shape of the lens to be processed.

本発明においては、最初のレンズ用曲面形状と次のレンズ用曲面形状と(更にそれ以後のレンズ用曲面形状と)が同一である必要はない。両者が異なっていても、バラツキの少ない(均一な)加工精度が得られる。例えば光源からの距離に対応して各レンズ用曲面形状の曲率を積極的に変更することにより、レンズ用曲面アレイ全体の光学特性を向上させることも可能である。   In the present invention, the first lens curved surface shape and the next lens curved surface shape (and the subsequent lens curved surface shape) do not have to be the same. Even if they are different, processing accuracy with little variation (uniform) can be obtained. For example, it is possible to improve the optical characteristics of the entire curved lens array by actively changing the curvature of the curved surface shape for each lens in accordance with the distance from the light source.

具体的には、例えば、前記ワークは、レンズ用曲面アレイの加工前において、所定方向の断面が同一形状である。すなわち、本発明は、いわゆるシリンドリカルレンズアレイの加工に適用可能である。   Specifically, for example, the workpiece has a same cross-section in a predetermined direction before processing the lens curved surface array. That is, the present invention can be applied to the processing of so-called cylindrical lens arrays.

また、具体的には、例えば、前記回転工具は、単結晶ダイヤモンドエンドミルである。   Specifically, for example, the rotary tool is a single crystal diamond end mill.

また、本発明は、前記加工方法によって加工されたことを特徴とするレンズアレイである。   The present invention is also a lens array processed by the processing method.

本発明によれば、前記加工方法によって複数のレンズ用曲面形状間におけるバラツキの少ない(均一な)加工精度を得ることができることにより、レンズアレイ全体で好ましい光学特性を得ることができる。   According to the present invention, by the processing method, it is possible to obtain processing accuracy with less variation (uniformity) between a plurality of curved surface shapes for lenses, so that preferable optical characteristics can be obtained in the entire lens array.

本件発明者による実際の検証によれば、本発明によって、各レンズ用曲面形状の表面粗さの絶対値が5nmRa以下であるレンズアレイが実現され得る。ここで、「Ra」は、算術平均粗さであることを示し、JIS B0601の規定による。   According to the actual verification by the present inventors, a lens array in which the absolute value of the surface roughness of each lens curved surface shape is 5 nmRa or less can be realized by the present invention. Here, “Ra” indicates arithmetic mean roughness, and is defined by JIS B0601.

また、本件発明者による実際の検証によれば、本発明によって、各レンズ用曲面形状の表面粗さの偏差が±5nmRa以下であるレンズアレイが実現され得る。   Further, according to the actual verification by the present inventors, a lens array in which the deviation of the surface roughness of the curved surface shape for each lens is ± 5 nmRa or less can be realized by the present invention.

また、本発明は、前記加工方法によって加工されたことを特徴とするレンズアレイ用成形型(通常は金型)である。   The present invention also provides a lens array mold (usually a mold) processed by the above processing method.

本発明によれば、前記加工方法によって、加工される複数のレンズ用曲面形状間においてバラツキの少ない(均一な)加工精度を得ることができることにより、当該レンズアレイ用成形型から成型されるレンズアレイ全体で好ましい光学特性を得ることができる。   According to the present invention, by the processing method, it is possible to obtain a processing accuracy with less variation (uniformity) among a plurality of curved surface shapes for lenses to be processed. Overall, favorable optical properties can be obtained.

本件発明者による実際の検証によれば、本発明によって、各レンズ用曲面形状の表面粗さの絶対値が5nmRa以下であるレンズアレイ用成形型が実現され得る。   According to the actual verification by the present inventors, a lens array mold in which the absolute value of the surface roughness of the curved surface shape for each lens is 5 nmRa or less can be realized by the present invention.

また、本件発明者による実際の検証によれば、本発明によって、各レンズ用曲面形状の表面粗さの偏差が±5nmRa以下であるレンズアレイ用成形型が実現され得る。   Further, according to actual verification by the present inventors, a lens array mold in which the deviation of the surface roughness of the curved surface shape for each lens is ± 5 nmRa or less can be realized by the present invention.

また、本発明は、前記加工方法によって加工されたことを特徴とするミラーである。   In addition, the present invention is a mirror characterized by being processed by the processing method.

本発明によれば、前記加工方法によって、加工される複数のレンズ用曲面形状間においてバラツキの少ない(均一な)加工精度を得ることができることにより、ミラー全体で好ましい光学特性を得ることができる。   According to the present invention, by the processing method, it is possible to obtain processing accuracy with less variation (uniformity) between the plurality of lens curved surfaces to be processed, so that preferable optical characteristics can be obtained over the entire mirror.

本件発明者による実際の検証によれば、本発明によって、各レンズ用曲面形状の表面粗さの絶対値が5nmRa以下であるミラーが実現され得る。   According to the actual verification by the present inventor, according to the present invention, a mirror having an absolute value of the surface roughness of each lens curved surface shape of 5 nmRa or less can be realized.

また、本件発明者による実際の検証によれば、本発明によって、各レンズ用曲面形状の表面粗さの偏差が±5nmRa以下であるミラーが実現され得る。   Further, according to the actual verification by the present inventor, according to the present invention, a mirror having a deviation in surface roughness of each lens curved surface shape of ± 5 nmRa or less can be realized.

本発明によれば、各レンズ用曲面形状が加工される間中、回転工具の回転軸が当該レンズ用曲面形状の光軸に対して所定の相対角度に維持されることにより、各レンズ用曲面形状の加工において回転工具の移動軌道すなわち刃先の移動軌道(加工軌道)のバラツキが抑制される。これにより、加工される複数のレンズ用曲面形状間においてバラツキの少ない(均一な)加工精度を得ることができる。   According to the present invention, while the curved surface shape for each lens is processed, the rotation axis of the rotary tool is maintained at a predetermined relative angle with respect to the optical axis of the curved surface shape for the lens. In the machining of the shape, variations in the movement trajectory of the rotary tool, that is, the movement trajectory of the cutting edge (processing trajectory) are suppressed. As a result, it is possible to obtain a processing accuracy with less variation (uniform) between the plurality of curved surface shapes for lenses to be processed.

本発明の一実施の形態のレンズ用曲面アレイの加工方法で用いられる加工機の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the processing machine used with the processing method of the curved surface array for lenses of one embodiment of this invention. 図2(a)は、レンズ用曲面アレイの加工前における曲面状のワークの一例の斜視図である。 図2(b)は、図2(a)の符号Kで示す部分の拡大断面図である。FIG. 2A is a perspective view of an example of a curved workpiece before the processing of the lens curved array. FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view of a portion indicated by a symbol K in FIG. 最初のレンズ用曲面形状を加工する工程の一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of the process of processing the curved surface shape for the first lens. 次のレンズ用曲面形状を加工する工程の一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of the process of processing the following curved surface shape for lenses. マクロプログラムと加工プログラムとの関係を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the relationship between a macro program and a machining program. 加工プログラムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a process program. 各レンズ用曲面形状の加工における回転工具の移動軌道の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the movement track | route of a rotary tool in the process of the curved surface shape for each lens. 図8(a)は、レンズ用曲面アレイの加工後における曲面状のワークの一例の斜視図である。 図8(b)は、図8(a)の部分拡大図である。FIG. 8A is a perspective view of an example of a curved workpiece after processing the curved lens array. FIG. 8B is a partially enlarged view of FIG. 最初のレンズ用曲面形状を加工する工程の他の例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other example of the process of processing the curved surface shape for the first lens. 次のレンズ用曲面形状を加工する工程の他の例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other example of the process of processing the following curved surface shape for lenses. 各レンズ用曲面形状の加工における回転工具の移動軌道の他の例を示す図である。It is a figure which shows the other example of the movement track | route of a rotary tool in the process of the curved surface shape for each lens.

以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の一実施の形態のレンズ用曲面アレイの加工方法で用いられる加工機を示す概略図である。   FIG. 1 is a schematic view showing a processing machine used in the method for processing a curved surface array for lenses according to an embodiment of the present invention.

図1に示すように、本実施の形態で用いられる加工機10は、鋳鉄製のベッド11と、ベッド11上に配置されてX軸方向に移動可能なX軸テーブル12と、ベッド11上に配置されてZ軸方向に移動可能なZ軸テーブル14と、Z軸テーブル14上に固定されたコラム13と、コラム13上に取り付けられてY軸方向に移動可能なY軸アーム17と、X軸テーブル12上に搭載されてY軸と平行なB軸を中心に回転可能なB軸回転テーブル15と、各軸方向の移動及び回転を制御する数値制御装置31と、を備えている。   As shown in FIG. 1, a processing machine 10 used in the present embodiment includes a cast iron bed 11, an X-axis table 12 that is disposed on the bed 11 and is movable in the X-axis direction, and the bed 11. A Z-axis table 14 arranged and movable in the Z-axis direction, a column 13 fixed on the Z-axis table 14, a Y-axis arm 17 attached on the column 13 and movable in the Y-axis direction, and X A B-axis rotary table 15 mounted on the axis table 12 and rotatable around a B-axis parallel to the Y-axis, and a numerical controller 31 for controlling movement and rotation in each axis direction are provided.

X軸テーブル12とY軸アーム17とZ軸テーブル14とは、具体的には、有限形V−Vころがり方式が直線案内とされ、サーボモータ(リニアモータ)によってX、Y、Z軸方向にそれぞれ直線駆動されるようになっている。また、X軸テーブル12、Y軸アーム17、Z軸テーブル14のX、Y、Z軸位置情報は、各サーボモータに取り付けられた高分解能光学スケール(リニアエンコーダ)によってそれぞれ取得されるようになっている。   Specifically, the X-axis table 12, the Y-axis arm 17, and the Z-axis table 14 are linear guides using a finite VV rolling method, and are driven in the X, Y, and Z axis directions by a servo motor (linear motor). Each is driven linearly. Further, the X, Y, and Z axis position information of the X axis table 12, the Y axis arm 17, and the Z axis table 14 is respectively acquired by a high resolution optical scale (linear encoder) attached to each servo motor. ing.

一方、B軸回転テーブル15は、具体的には、空気静圧軸受が回転軸受とされ、サーボモータによってB軸を中心に回転駆動されるようになっている。また、B軸回転テーブル15のB軸角度情報は、当該サーボモータに取り付けられた高分解能光学スケール(ロータリーエンコーダ)によって取得されるようになっている。   On the other hand, the B-axis rotary table 15 specifically has an aerostatic bearing as a rotary bearing, and is driven to rotate about the B-axis by a servo motor. Further, the B-axis angle information of the B-axis rotary table 15 is acquired by a high resolution optical scale (rotary encoder) attached to the servo motor.

制御装置31は、各高分解能光学スケールによるX、Y、Z軸位置情報及びサーボモータによるB軸角度情報を取得してフィードバックを掛けながら、各サーボモータによるX、Y、Z軸直線駆動とB軸回転駆動とを制御するようになっている。   The control device 31 obtains X, Y, Z axis position information by each high-resolution optical scale and B axis angle information by the servo motor and applies feedback, while performing X, Y, Z axis linear drive by each servo motor and B The shaft rotation drive is controlled.

そして、B軸回転テーブル15上にワーク保持具16が固定されており、加工対象であるワーク20がワーク保持具16に保持されるようになっている。   The workpiece holder 16 is fixed on the B-axis rotary table 15, and the workpiece 20 to be processed is held by the workpiece holder 16.

図2(a)は、レンズ用曲面アレイの加工前における曲面状のワーク20の一例の斜視図である。図2(a)に示すように、本実施の形態のワーク20は、透明なプラスチックからなり、レンズ用曲面アレイの加工前において所定方向の断面が同一形状である。すなわち、本実施の形態のワーク20は、レンズ用曲面アレイの加工前において、いわゆるシリンドリカル面27(一方向28には曲率を持つが、それと直交する方向29には曲率を持たない面)を有している。そして、当該シリンドリカル面27に、回転工具19の加工対象である複数のレンズ用曲面形状21が規定されている。   FIG. 2A is a perspective view of an example of the curved workpiece 20 before processing the lens curved array. As shown in FIG. 2A, the workpiece 20 of the present embodiment is made of transparent plastic, and has the same cross-section in a predetermined direction before processing the lens curved surface array. That is, the workpiece 20 of the present embodiment has a so-called cylindrical surface 27 (a surface having a curvature in one direction 28 but not having a curvature in a direction 29 orthogonal thereto) before processing the curved surface array for lenses. doing. A plurality of lens curved surface shapes 21 to be processed by the rotary tool 19 are defined on the cylindrical surface 27.

図2(b)は、シリンドリカル面27の曲率を持たない方向29に対して垂直な平面による、図2(a)の符号Kで示す部分の拡大断面図である。各レンズ用曲面形状21は、基準位置座標23と当該基準位置座標23に対する相対位置座標とによって規定され、光軸24を提供している。本実施の形態では、各レンズ用曲面形状21は凹レンズ状を有しており、各レンズ用曲面形状21の基準位置座標23は、当該レンズ用曲面形状21の光軸24とレンズ用曲面アレイの加工前におけるシリンドリカル面27との交点に一致している。   FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view of a portion indicated by reference sign K in FIG. 2A, which is a plane perpendicular to the direction 29 in which the cylindrical surface 27 does not have a curvature. Each curved surface shape 21 for a lens is defined by a reference position coordinate 23 and a relative position coordinate with respect to the reference position coordinate 23, and provides an optical axis 24. In the present embodiment, each lens curved surface shape 21 has a concave lens shape, and the reference position coordinates 23 of each lens curved surface shape 21 are the optical axis 24 of the lens curved surface shape 21 and the lens curved surface array. This coincides with the intersection with the cylindrical surface 27 before processing.

図1に戻って、Y軸アーム17には工具スピンドル18が取り付けられ、工具スピンドル18の先端に回転工具19が取り付けられている。本実施の形態では、ワーク20との干渉を防ぐために、回転工具19の回転軸がY軸及びZ軸に対して所定角度(例えば45°)傾斜されている。   Returning to FIG. 1, a tool spindle 18 is attached to the Y-axis arm 17, and a rotary tool 19 is attached to the tip of the tool spindle 18. In the present embodiment, in order to prevent interference with the workpiece 20, the rotation axis of the rotary tool 19 is inclined by a predetermined angle (for example, 45 °) with respect to the Y axis and the Z axis.

次に、以上のような加工機を用いた本実施の形態のレンズ用曲面アレイの加工方法について説明する。   Next, the processing method of the curved surface array for lenses of this Embodiment using the above processing machines is demonstrated.

まず、図1に示すように、回転工具19の先端(刃先)とB軸との相対位置関係が把握される。例えば、ワーク保持具16にダミーワークが保持された状態で、XZB軸を用いてCW/CCWの2方向から当該ダミーワークに対してシリンドリカル形状の加工が行われ、当該加工結果から回転工具19の先端とB軸との相対位置が確認される。   First, as shown in FIG. 1, the relative positional relationship between the tip (blade edge) of the rotary tool 19 and the B axis is grasped. For example, in a state where the dummy workpiece is held by the workpiece holder 16, the cylindrical workpiece is processed from the two directions of CW / CCW using the XZB axis, and the rotary tool 19 is processed based on the processing result. The relative position between the tip and the B axis is confirmed.

次に、加工対象のワーク20が、シリンドリカル面27の曲率を持たない方向29がB軸と平行になるようにして、B軸回転テーブル15上のワーク保持具16に保持される。   Next, the workpiece 20 to be processed is held by the workpiece holder 16 on the B-axis rotary table 15 so that the direction 29 having no curvature of the cylindrical surface 27 is parallel to the B-axis.

そして、数値制御装置31に対して、各レンズ用曲面形状21の情報(各レンズ用曲面形状21の基準位置座標23、基準位置座標23に対する相対位置座標、光軸24の角度、など)が指定される。これらの指定は、入力装置(例えばPC)を介してオペレータが各パラメータを手入力してもよいが、通常は、予め作成されたプログラム(マクロプログラムと呼ばれる)を読み込むことによってなされる。当該プログラムと加工プログラムとの関係を、概念的に図5に示す。また、加工プログラムの一例を図6に示す。   Then, information on each lens curved surface shape 21 (reference position coordinates 23 of each lens curved surface shape 21, relative position coordinates with respect to the reference position coordinates 23, angle of the optical axis 24, etc.) is designated for the numerical control device 31. Is done. These designations may be made manually by an operator via an input device (for example, a PC), but are usually made by reading a program (called a macro program) created in advance. FIG. 5 conceptually shows the relationship between the program and the machining program. An example of the machining program is shown in FIG.

次に、図3に示すように、指定された最初のレンズ用曲面形状211の情報に基づいて、X軸テーブル12とY軸アーム17とZ軸テーブル14とが直線移動されることにより、回転工具19の先端が最初のレンズ用曲面形状211の基準位置座標231に移動されると共に、B軸回転テーブル15がB軸回転されることにより、回転工具19の回転軸が当該最初のレンズ用曲面形状211の光軸241と所定の相対角度(例えば45°)をなすように調整される。以後、最初のレンズ用曲面形状211の加工が終了するまで、B軸回転テーブル15のB軸回転は停止される。これにより、回転工具19の回転軸は、最初のレンズ用曲面形状211の光軸241に対して前記所定の相対角度に維持される。   Next, as shown in FIG. 3, the X-axis table 12, the Y-axis arm 17, and the Z-axis table 14 are linearly moved based on the information of the designated first curved surface shape for lens 211, so that the rotation is performed. The tip of the tool 19 is moved to the reference position coordinate 231 of the first lens curved surface shape 211, and the B-axis rotation table 15 is rotated by the B-axis, so that the rotation axis of the rotary tool 19 is changed to the first lens curved surface. The optical axis 241 of the shape 211 is adjusted to form a predetermined relative angle (for example, 45 °). Thereafter, the B-axis rotation of the B-axis rotary table 15 is stopped until the processing of the first lens curved surface shape 211 is completed. Accordingly, the rotation axis of the rotary tool 19 is maintained at the predetermined relative angle with respect to the optical axis 241 of the first lens curved surface shape 211.

続いて、当該最初のレンズ用曲面形状211の相対位置座標に基づいて、回転工具19の回転軸をそれ自身の軸方向に対して平行に維持したまま、回転工具19の先端を順次移動させることで、当該最初のレンズ用曲面形状211を加工する。最初のレンズ用曲面形状211の加工には、従来より公知のサブプログラムが用いられる。具体的には、例えば図7に示すように、回転工具19の移動軌道25は、一方向のラスター走査と、それと直交する方向のピックフィードと、によって構成される。   Subsequently, based on the relative position coordinates of the first curved surface shape 211 for the lens, the tip of the rotary tool 19 is sequentially moved while the rotary axis of the rotary tool 19 is maintained parallel to its own axial direction. Thus, the first lens curved surface shape 211 is processed. A conventionally known subprogram is used for processing the first lens curved surface shape 211. Specifically, for example, as shown in FIG. 7, the moving track 25 of the rotary tool 19 is constituted by raster scanning in one direction and pick feed in a direction orthogonal thereto.

次に、図4に示すように、指定された次のレンズ用曲面形状212の情報に基づいて、X軸テーブル12とY軸アーム17とZ軸テーブル14とが直線移動されることにより、回転工具19の先端が次の加工対象であるレンズ用曲面形状212の基準位置座標232に移動されると共に、B軸回転テーブル15がB軸回転されることにより、回転工具19の回転軸が当該次のレンズ用曲面形状212の光軸242と前記所定の相対角度をなすように調整される。以後、当該次のレンズ用曲面形状212の加工が終了するまで、B軸回転テーブル15のB軸回転は停止される。これにより、回転工具19の回転軸は、当該次のレンズ用曲面形状212の光軸242に対して前記所定の相対角度に維持される。   Next, as shown in FIG. 4, the X-axis table 12, the Y-axis arm 17, and the Z-axis table 14 are linearly moved based on the information on the designated next curved surface shape 212 for lens, thereby rotating. The tip of the tool 19 is moved to the reference position coordinate 232 of the curved surface shape 212 for the lens to be processed next, and the B-axis rotary table 15 is rotated by the B-axis, so that the rotation axis of the rotary tool 19 is changed to the next axis. The optical axis 242 of the lens curved surface shape 212 is adjusted to make the predetermined relative angle. Thereafter, the B-axis rotation of the B-axis rotary table 15 is stopped until the processing of the next lens curved surface shape 212 is completed. Accordingly, the rotation axis of the rotary tool 19 is maintained at the predetermined relative angle with respect to the optical axis 242 of the next lens curved surface shape 212.

続いて、当該次のレンズ用曲面形状212の相対位置座標に基づいて、回転工具19の回転軸をそれ自身の軸方向に対して平行に維持したまま、回転工具19の先端を順次移動させることで、当該次のレンズ用曲面形状212を加工する。当該次のレンズ用曲面形状211の加工にも、従来より周知のサブプログラムが用いられる。なお、本実施の形態においては、当該次のレンズ用曲面形状212の加工に用いられるマクロプログラムが、最初のレンズ用曲面形状211の加工に用いられるマクロプログラムと同一である必要はない。   Subsequently, based on the relative position coordinates of the curved surface shape 212 for the next lens, the tip of the rotary tool 19 is sequentially moved while the rotary axis of the rotary tool 19 is maintained parallel to the axial direction of itself. Thus, the next lens curved surface shape 212 is processed. A conventionally well-known subprogram is also used for processing the next lens curved surface shape 211. In the present embodiment, the macro program used for processing the next lens curved surface shape 212 need not be the same as the macro program used for processing the first lens curved surface shape 211.

各レンズ用曲面形状211、212が加工される間中、回転工具19の回転軸が当該レンズ用曲面形状211、212の光軸241、242に対して所定の相対角度に維持されることにより、各レンズ用曲面形状211、212の加工において回転工具19の移動軌道25、すなわち刃先の移動軌道(加工軌道)のバラツキが抑制される。これにより、加工される最初のレンズ用曲面形状211と次のレンズ用曲面形状212との間においてバラツキの少ない(均一な)加工精度を得ることができる。   While the curved surface shapes 211 and 212 for each lens are processed, the rotation axis of the rotary tool 19 is maintained at a predetermined relative angle with respect to the optical axes 241 and 242 of the curved surface shapes 211 and 212 for the lenses. In the processing of the curved surface shapes 211 and 212 for each lens, variations in the movement trajectory 25 of the rotary tool 19, that is, the movement trajectory (machining trajectory) of the cutting edge are suppressed. Accordingly, it is possible to obtain a processing accuracy with less variation (uniform) between the first lens curved surface shape 211 and the next lens curved surface shape 212 to be processed.

その後、同様にして、曲面状のワーク20における残りのレンズ用曲面形状21が順次加工されることにより、図8(a)及び図8(b)に示すようなレンズ用曲面アレイが加工される。   Thereafter, in the same manner, the remaining lens curved surface shape 21 in the curved workpiece 20 is sequentially processed, so that a lens curved surface array as shown in FIGS. 8A and 8B is processed. .

次に、具体的な実施例について説明する。   Next, specific examples will be described.

加工機10として、東芝機械株式会社製ULC/ULGシリーズの同時5軸制御型超精密加工機が使用され、回転工具19には、単結晶ダイヤモンドエンドミル(R=0.3mm)が使用された。回転工具19の回転軸が工具スピンドル18の回転軸と一致するように取り付けられ、回転工具19の回転半径と回転工具19の刃先半径とがほぼ一致された。回転工具19の回転軸は、ワーク20との干渉を防ぐため、Y軸及びZ軸に対して45°傾斜された。   As the processing machine 10, a simultaneous 5-axis control type ultra-precision processing machine of ULC / ULG series manufactured by Toshiba Machine Co., Ltd. was used, and for the rotary tool 19, a single crystal diamond end mill (R = 0.3 mm) was used. The rotary tool 19 was mounted so that the rotational axis thereof coincided with the rotational axis of the tool spindle 18, and the rotational radius of the rotary tool 19 and the cutting edge radius of the rotary tool 19 were substantially matched. The rotation axis of the rotary tool 19 was inclined 45 ° with respect to the Y axis and the Z axis in order to prevent interference with the workpiece 20.

そして、前述のような本実施の形態の加工方法によって、レンズ用曲面アレイ(レンズアレイ)が加工された。本件発明者の知見によれば、表面粗さは加工条件(加工工具の送り速度等)によって決定される。一般的には、安価なレンズ(30万画素程度)であれば10nmRa以下、中程度のレンズ(400万画素程度)であれば5nmRa以下の表面粗さが光学面として要求される。   And the curved surface array (lens array) for lenses was processed by the processing method of this Embodiment as mentioned above. According to the knowledge of the present inventors, the surface roughness is determined by the processing conditions (such as the feed speed of the processing tool). Generally, an optical surface is required to have a surface roughness of 10 nmRa or less for an inexpensive lens (about 300,000 pixels) and a surface roughness of 5 nmRa or less for a medium lens (about 4 million pixels).

ここでは、回転工具19の回転数は22000/minとされた。また、各レンズ用曲面形状21の加工において、回転工具19の移動軌道25は、加工時間と加工精度の均一性との観点から、図7に示すパターン(Y軸方向のラスター走査、X軸方向のピックフィード)が採用され、送り速度は、表面粗さが5nmRa以下になるように、45mm/minとされた。また、各レンズ用曲面形状21は、R=0.8mmの凹球面とされ、レンズ用曲面形状21の加工個数は、96個(12×8)とされた。   Here, the rotational speed of the rotary tool 19 was set to 22000 / min. In the processing of the curved surface shape 21 for each lens, the moving trajectory 25 of the rotary tool 19 has a pattern (raster scanning in the Y axis direction, raster scanning in the Y axis direction, X axis direction) from the viewpoint of processing time and uniformity of processing accuracy. The feed rate was 45 mm / min so that the surface roughness was 5 nmRa or less. Each curved surface shape 21 for lenses is a concave spherical surface with R = 0.8 mm, and the number of processed curved surface shapes 21 for lenses is 96 (12 × 8).

そして、加工後に、各レンズ用曲面形状21の形状精度と表面粗さとがそれぞれ評価された。なお、曲面上に位置するレンズ用曲面形状21を適切に評価することが困難であったため、任意位置で形状精度の評価が行われた。また、形状のひずみを確認するため、図8(b)に示すように、十字方向による形状評価が行われた。そして、評価結果から、形状精度83nmPV、表面粗さの絶対値4nmRa、表面粗さの偏差±1nmRa、という値が得られた。これらの値は、光学面としての要求を満たす精度であることが確認された。   Then, after processing, the shape accuracy and surface roughness of each curved surface shape 21 for lens were evaluated. Since it was difficult to properly evaluate the lens curved surface shape 21 located on the curved surface, the shape accuracy was evaluated at an arbitrary position. Further, in order to confirm the distortion of the shape, as shown in FIG. 8B, the shape evaluation in the cross direction was performed. From the evaluation results, values of a shape accuracy of 83 nm PV, an absolute value of surface roughness of 4 nm Ra, and a deviation of surface roughness of ± 1 nm Ra were obtained. These values were confirmed to be accurate enough to satisfy the requirements for optical surfaces.

すなわち、以上のような本件発明者による実際の検証によって、本実施の形態によって各レンズ用曲面形状21の表面粗さの絶対値が5nmRa以下であるレンズアレイが実現されることが確認された。また、本実施の形態によって、各レンズ用曲面形状21の表面粗さの偏差が±5nmRa以下であるレンズアレイが実現されることも確認された。さらに、本実施の形態の加工方法によってレンズアレイ用成形型(通常は金型)またはミラーを加工する場合も、レンズアレイを加工する場合と同じ効果が得られた。   That is, the actual verification by the present inventors as described above confirmed that the lens array in which the absolute value of the surface roughness of each curved surface shape 21 for the lens is 5 nmRa or less is realized by the present embodiment. It was also confirmed that the lens array in which the deviation of the surface roughness of each lens curved surface shape 21 is ± 5 nmRa or less is realized by this embodiment. Further, when the lens array mold (usually a mold) or a mirror is processed by the processing method of the present embodiment, the same effect as when the lens array is processed is obtained.

すなわち、以上のような本実施の形態によれば、各レンズ用曲面形状21が加工される間中、回転工具19の回転軸が当該レンズ用曲面形状21の光軸に対して所定の相対角度に維持されることにより、各レンズ用曲面形状21の加工において回転工具19の移動軌道、すなわち刃先の移動軌道(加工軌道)25のバラツキが抑制される。これにより、加工される複数のレンズ用曲面形状21間においてバラツキの少ない(均一な)加工精度を得ることができる。   That is, according to the present embodiment as described above, the rotational axis of the rotary tool 19 is at a predetermined relative angle with respect to the optical axis of the curved surface shape 21 for lens while each curved surface shape 21 for lens is processed. Thus, variation in the movement trajectory of the rotary tool 19, that is, the movement trajectory (machining trajectory) 25 of the cutting edge, is suppressed in the processing of the curved surface shape 21 for each lens. Accordingly, it is possible to obtain a processing accuracy with less variation (uniform) between the plurality of lens curved surface shapes 21 to be processed.

また、本実施の形態においては、最初のレンズ用曲面形状211と次のレンズ用曲面形状212とが同一である必要はない。両者が異なっていても、バラツキの少ない(均一な)加工精度が得られる。従って、例えば光源からの距離に対応して各レンズ用曲面形状21の曲率を積極的に変更することにより、レンズ用曲面アレイ全体の光学特性を向上させることも可能である。   In the present embodiment, the first lens curved surface shape 211 and the next lens curved surface shape 212 do not have to be the same. Even if they are different, processing accuracy with little variation (uniform) can be obtained. Therefore, for example, by actively changing the curvature of the curved surface shape 21 for each lens in accordance with the distance from the light source, it is possible to improve the optical characteristics of the entire curved lens array.

なお、本実施の形態では、図3及び図4に示すように、曲面状のワーク20に凹レンズ状を有するレンズ用曲面形状211、212を加工したが、図9及び図10に示すように、凸レンズ状を有するレンズ用曲面形状211’、212’を加工することもできる。   In this embodiment, as shown in FIGS. 3 and 4, the curved surface shapes 211 and 212 for concave lenses are processed on the curved workpiece 20, but as shown in FIGS. 9 and 10, The curved surface shapes 211 ′ and 212 ′ having a convex lens shape can be processed.

また、本実施の形態では、図7に示すように、回転工具19の移動軌道25が、一方向のラスター走査、それと直交する方向のピックフィード、によって規定されたが、このパターンに限定されない。例えば、図11の符号25に示すように、回転工具19がレンズ用曲面形状21の中心から遠ざかるように移動されてもよい。凸レンズ状を有するレンズ用曲面形状を加工する場合、当該加工方法によれば、最初の切込み量が小さくて済むため好ましい。   Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 7, the moving trajectory 25 of the rotary tool 19 is defined by raster scanning in one direction and pick feed in a direction orthogonal thereto, but is not limited to this pattern. For example, as shown by reference numeral 25 in FIG. 11, the rotary tool 19 may be moved away from the center of the lens curved surface shape 21. When processing a curved surface shape for a lens having a convex lens shape, the processing method is preferable because an initial cutting amount is small.

また、ワーク20がB軸回転テーブル15上においてA(C)軸を中心に回転されるようになっていてもよい。これによれば、図2に示すような所定方向の断面が同一形状であるワーク20だけでなく、3次元曲面を有するワークにも複数のレンズ用曲面形状を加工することが可能である。   Further, the workpiece 20 may be rotated about the A (C) axis on the B-axis rotary table 15. According to this, it is possible to process a plurality of curved surface shapes for lenses not only on the workpiece 20 having the same shape in cross section in a predetermined direction as shown in FIG. 2 but also on a workpiece having a three-dimensional curved surface.

10 加工機
11 ベッド
12 X軸テーブル
13 コラム
14 Z軸テーブル
15 B軸回転テーブル
16 ワーク保持具
17 Y軸アーム
18 工具スピンドル
19 回転工具
20 ワーク
21 レンズ用曲面形状
23 基準位置座標
24 光軸
25 回転工具の移動軌道
211、211’ 最初のレンズ用曲面形状
212、212’ 次のレンズ用曲面形状
231 最初のレンズ用曲面形状の基準位置座標
232 次のレンズ用曲面形状の基準位置座標
241 最初のレンズ用曲面形状の基準位置座標における光軸
242 次のレンズ用曲面形状の基準位置座標における光軸
31 数値制御装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Processing machine 11 Bed 12 X-axis table 13 Column 14 Z-axis table 15 B-axis rotary table 16 Work holder 17 Y-axis arm 18 Tool spindle 19 Rotating tool 20 Work 21 Lens curved surface shape 23 Reference position coordinate 24 Optical axis 25 Rotation Tool movement trajectories 211, 211 ′ First lens curved surface shape 212, 212 ′ Next lens curved surface shape 231 First lens curved surface shape reference position coordinates 232 Next lens curved surface shape reference position coordinates 241 First lens Optical axis 242 at the reference position coordinates of the curved surface shape for the optical axis 31 at the reference position coordinates of the curved surface shape for the next lens

Claims (13)

曲面状のワークに複数のレンズ用曲面形状を回転工具によって加工するレンズ用曲面アレイの加工方法であって、
各レンズ用曲面形状は、基準位置座標と当該基準位置座標に対する相対位置座標とによって規定され、光軸を提供しており、
前記加工方法は、
(1)回転工具の先端を最初の加工対象であるレンズ用曲面形状の基準位置座標に移動させると共に、回転工具の回転軸を当該最初のレンズ用曲面形状の光軸と所定の相対角度をなすように調整する工程と、
(2)当該最初のレンズ用曲面形状の相対位置座標に基づいて、回転工具の回転軸をそれ自身の軸方向に対して平行に維持したまま、回転工具の先端を順次移動させることで、当該最初のレンズ用曲面形状を加工する工程と、
(3)回転工具の先端を次の加工対象であるレンズ用曲面形状の基準位置座標に移動させると共に、回転工具の回転軸を当該次のレンズ用曲面形状の光軸と前記所定の相対角度をなすように調整する工程と、
(4)当該次のレンズ用曲面形状の相対位置座標に基づいて、回転工具の回転軸をそれ自身の軸方向に対して平行に維持したまま、回転工具の先端を順次移動させることで、当該次のレンズ用曲面形状を加工する工程と、
を備えたことを特徴とするレンズ用曲面アレイの加工方法。
A method of processing a curved surface array for a lens, wherein a curved surface shape for a plurality of lenses is processed with a rotary tool on a curved workpiece,
Each lens curved surface shape is defined by reference position coordinates and relative position coordinates relative to the reference position coordinates, and provides an optical axis.
The processing method is:
(1) The tip of the rotary tool is moved to the reference position coordinates of the curved surface shape for the lens that is the first object to be processed, and the rotation axis of the rotary tool is at a predetermined relative angle with the optical axis of the first curved surface shape for the lens. Adjusting the process so that
(2) Based on the relative position coordinates of the first curved surface shape for the lens, the tip of the rotary tool is sequentially moved while the rotary axis of the rotary tool is maintained parallel to its own axial direction. Processing the first curved surface shape for the lens;
(3) The tip of the rotating tool is moved to the reference position coordinate of the curved surface shape for the lens to be processed next, and the rotation axis of the rotating tool is set to the predetermined relative angle with the optical axis of the curved surface shape for the next lens. The process of making adjustments,
(4) Based on the relative position coordinates of the curved surface shape for the next lens, the tip of the rotary tool is sequentially moved while maintaining the rotary axis of the rotary tool parallel to its own axial direction. The process of processing the curved surface shape for the next lens,
A method of processing a curved surface array for lenses, comprising:
最初のレンズ用曲面形状と次のレンズ用曲面形状とが異なる
ことを特徴とする請求項1に記載のレンズ用曲面アレイの加工方法。
2. The method of processing a curved surface array for a lens according to claim 1, wherein the first curved surface shape for a lens is different from the next curved surface shape for a lens.
前記ワークは、レンズ用曲面アレイの加工前において、所定方向の断面が同一形状である
ことを特徴とする請求項1または2に記載のレンズ用曲面アレイの加工方法。
3. The processing method for a curved surface array for a lens according to claim 1, wherein the workpiece has a same cross-section in a predetermined direction before processing the curved surface array for a lens.
前記回転工具は、単結晶ダイヤモンドエンドミルである
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のレンズ用曲面アレイの加工方法。
4. The method for processing a curved surface array for a lens according to claim 1, wherein the rotary tool is a single crystal diamond end mill.
請求項1乃至4のいずれかに記載の加工方法によって加工された
ことを特徴とするレンズアレイ。
A lens array processed by the processing method according to claim 1.
各レンズ用曲面形状の表面粗さの絶対値が5nmRa以下である
ことを特徴とする請求項5に記載のレンズアレイ。
6. The lens array according to claim 5, wherein the absolute value of the surface roughness of each lens curved surface shape is 5 nmRa or less.
各レンズ用曲面形状の表面粗さの偏差が±5nmRa以下である
ことを特徴とする請求項5または6に記載のレンズアレイ。
The lens array according to claim 5 or 6, wherein a deviation of surface roughness of each lens curved surface shape is ± 5 nmRa or less.
請求項1乃至4のいずれかに記載の加工方法によって加工された
ことを特徴とするレンズアレイ用成形型。
5. A lens array mold processed by the processing method according to claim 1.
各レンズ用曲面形状の表面粗さの絶対値が5nmRa以下である
ことを特徴とする請求項8に記載のレンズアレイ用成形型。
9. The mold for a lens array according to claim 8, wherein the absolute value of the surface roughness of each lens curved surface shape is 5 nmRa or less.
各レンズ用曲面形状の表面粗さの偏差が±5nmRa以下である
ことを特徴とする請求項8または9に記載のレンズアレイ用成形型。
The lens array molding die according to claim 8 or 9, wherein the deviation of the surface roughness of each lens curved surface shape is ± 5 nmRa or less.
請求項1乃至4のいずれかに記載の加工方法によって加工された
ことを特徴とするミラー。
A mirror processed by the processing method according to claim 1.
各レンズ用曲面形状の表面粗さの絶対値が5nmRa以下である
ことを特徴とする請求項11に記載のミラー。
The mirror according to claim 11, wherein the absolute value of the surface roughness of each lens curved surface shape is 5 nmRa or less.
各レンズ用曲面形状の表面粗さの偏差が±5nmRa以下である
ことを特徴とする請求項11または12に記載のミラー。
The mirror according to claim 11 or 12, wherein a deviation in surface roughness of each lens curved surface shape is ± 5 nmRa or less.
JP2012260901A 2012-11-29 2012-11-29 Processing method of curved surface array for lens Active JP5980666B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012260901A JP5980666B2 (en) 2012-11-29 2012-11-29 Processing method of curved surface array for lens

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012260901A JP5980666B2 (en) 2012-11-29 2012-11-29 Processing method of curved surface array for lens

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014104563A true JP2014104563A (en) 2014-06-09
JP5980666B2 JP5980666B2 (en) 2016-08-31

Family

ID=51026485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012260901A Active JP5980666B2 (en) 2012-11-29 2012-11-29 Processing method of curved surface array for lens

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5980666B2 (en)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04331028A (en) * 1991-01-17 1992-11-18 Mitsubishi Materials Corp Manufacture of turning tool with three-dimensional curved surface
JPH0811223A (en) * 1994-06-30 1996-01-16 Canon Inc Optical element and its molding method
JP2000198001A (en) * 1999-01-05 2000-07-18 Toshiba Corp Cutting tool and cutting work method
JP2002036001A (en) * 1999-09-27 2002-02-05 Canon Inc Cutting method, cutting device, tool holding device, optical element, and molding die for optical element
JP2002160223A (en) * 2000-10-31 2002-06-04 Eastman Kodak Co Apparatus for molding micro-lens array mold
JP2003251634A (en) * 2002-03-04 2003-09-09 Mitsubishi Rayon Co Ltd Mold for manufacturing fly-eye lens sheet and manufacturing method adapted thereto
JP2005254422A (en) * 2004-03-15 2005-09-22 Canon Inc Driving device for cutting tool
JP2006320970A (en) * 2005-05-17 2006-11-30 Morikawa Seisakusho:Kk Machining device
JP2007118117A (en) * 2005-10-27 2007-05-17 Olympus Corp Machining device and method for fly-eye lens forming die

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04331028A (en) * 1991-01-17 1992-11-18 Mitsubishi Materials Corp Manufacture of turning tool with three-dimensional curved surface
JPH0811223A (en) * 1994-06-30 1996-01-16 Canon Inc Optical element and its molding method
JP2000198001A (en) * 1999-01-05 2000-07-18 Toshiba Corp Cutting tool and cutting work method
JP2002036001A (en) * 1999-09-27 2002-02-05 Canon Inc Cutting method, cutting device, tool holding device, optical element, and molding die for optical element
JP2002160223A (en) * 2000-10-31 2002-06-04 Eastman Kodak Co Apparatus for molding micro-lens array mold
JP2003251634A (en) * 2002-03-04 2003-09-09 Mitsubishi Rayon Co Ltd Mold for manufacturing fly-eye lens sheet and manufacturing method adapted thereto
JP2005254422A (en) * 2004-03-15 2005-09-22 Canon Inc Driving device for cutting tool
JP2006320970A (en) * 2005-05-17 2006-11-30 Morikawa Seisakusho:Kk Machining device
JP2007118117A (en) * 2005-10-27 2007-05-17 Olympus Corp Machining device and method for fly-eye lens forming die

Also Published As

Publication number Publication date
JP5980666B2 (en) 2016-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5384196B2 (en) Ultra precision roll lathe
JP5355206B2 (en) Processing apparatus and processing method
CN105917282B (en) The control device of processing method and lathe
CN105195901A (en) Method and device for engraving three-dimensional image on glass with regular cambered surface
CN100571979C (en) The parallel grinding and cutting method of non-axisymmetric aspheric surface optical element
CN103260800A (en) Die manufacturing method
JP2006218554A (en) Method for creating shape of tool grinding wheel
JPH0253557A (en) Method and device for working non-spherical body
JP2007118117A (en) Machining device and method for fly-eye lens forming die
JP5980666B2 (en) Processing method of curved surface array for lens
JP4662018B2 (en) Curved surface processing apparatus and parallel link mechanism calibration method
JP2004042188A (en) Working method of die
JP4843539B2 (en) Processing apparatus and processing method
JP2007090489A (en) Die cutting method and device therefor
JP3938540B2 (en) Method and apparatus for grinding mold of microlens array
KR20070121858A (en) Apparatus and method for grinding and polishing without tilting axis
JP2006231463A (en) Curved surface grinding device, and curved surface grinding method
JP6602056B2 (en) Optical element manufacturing method, mold, lens array, image forming apparatus, and image reading apparatus
JP2018043444A (en) Production method of metal mold and production method of microlens array
JP4548550B2 (en) Optical element mold processing method
JP3367102B2 (en) Aspheric processing machine
JP2008265130A (en) Fly eye lens molding die, and fly eye lens molding die machining device, and fly eye lens molding die machining method
JP2019072788A (en) Processing method, processing device and grindstone
CN106862677A (en) A kind of star-wheel grinder structure
JP2009018381A (en) Surface processing machine

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150810

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160412

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160414

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160602

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160701

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160727

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5980666

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350