JP2014103201A - Component transfer device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component transfer device in which a reference mark can be captured stably regardless of the size of a component being collected by a component collecting device.SOLUTION: Since a reference member 80 includes a shading wall 81 for blocking the light from a first light irradiation device 64 for a reference mark M, the light from a first light irradiation device 64, out of the light with which the reference mark M is irradiated, is blocked and the reference mark M is irradiated mainly with the light from a second light irradiation device 65. Consequently, the brightness of the reference mark M can be maintained at a substantially constant level, regardless of the size of a component P collected by a component collecting device 41, and the reference mark M can be captured stably. Position of the component P, the image of which is recognized, can thereby be determined with high accuracy.

Description

本発明は、部品を採取して基板上に移載する部品移載装置に関し、特に、採取装置により採取された部品および基準部材に形成された基準マークを撮像装置により同時に撮像して部品位置を画像認識できるようにした部品移載装置に関するものである。   The present invention relates to a component transfer apparatus that picks up a component and transfers it onto a substrate, and in particular, picks up a component that has been picked up by the picking device and a reference mark formed on a reference member, and simultaneously picks up the position of the component with an image pickup device. The present invention relates to a component transfer apparatus that can recognize an image.

一般に部品移載装置を備えた部品実装装置においては、部品供給位置から部品を採取装置により採取し、採取した部品を基板上に移動する途中で撮像装置によって撮像する。そして、部品の画像を処理して採取装置の中心に対する部品の芯ずれおよび角度ずれを画像認識することにより、部品を基板の定められた座標位置に正確に実装できるようにしている。   In general, in a component mounting apparatus provided with a component transfer device, a component is sampled from a component supply position by a sampling device, and the sampled component is imaged by an imaging device while being moved onto a substrate. Then, by processing the image of the component and recognizing the component misalignment and angular misalignment with respect to the center of the sampling device, the component can be accurately mounted at a predetermined coordinate position on the substrate.

このような部品実装装置においては、タクトタイムを短縮するために、採取装置を撮像装置上で停止させずに部品を撮像する手法として採取装置に基準マークを設け、部品および基準マークを同時に撮像することにより、基準マークを基準として部品の位置を画像認識できるようしている。この種の部品実装装置として、例えば、特許文献1に記載されたものが知られている。   In such a component mounting apparatus, in order to shorten the tact time, a reference mark is provided in the sampling device as a method for imaging the component without stopping the sampling device on the imaging device, and the component and the reference mark are simultaneously imaged. Thus, the position of the component can be image-recognized using the reference mark as a reference. As this type of component mounting apparatus, for example, the one described in Patent Document 1 is known.

特開2005−11950号公報JP 2005-11950 A

ところで、基板に実装済みの先付け部品の厚み(高さ)が高い場合、先付け部品と基準マークとの干渉を回避するために、基準マークを高い位置に配置する必要がある。しかし、採取装置に採取された部品が大型部品の場合、下方から部品および基準マークに光を照射する光照射装置からの光の一部が大型部品に遮られ、基準マークの輝度が変化してしまうおそれがある。この場合、基準マークの撮像を安定的に行うことができず、画像認識した部品の位置に誤差が生じることになる。   By the way, when the thickness (height) of the front part mounted on the substrate is high, it is necessary to arrange the reference mark at a high position in order to avoid interference between the front part and the reference mark. However, if the part collected by the sampling device is a large part, part of the light from the light irradiation device that irradiates the part and the reference mark from below is blocked by the large part, and the brightness of the reference mark changes. There is a risk that. In this case, the reference mark cannot be stably imaged, and an error occurs in the position of the recognized component.

本発明は、上記した問題点を解決するためになされたもので、採取装置に採取される部品の大きさにかかわらず基準マークの撮像を安定的に行うことができる部品移載装置を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides a component transfer device capable of stably imaging a reference mark regardless of the size of a component collected by the sampling device. It is for the purpose.

上記の課題を解決するため、請求項1に係る発明は、部品を採取可能な採取装置と、前記採取装置に採取された前記部品を、当該部品が装着される基板上に移動可能な移動装置と、前記採取装置に採取された前記部品を下方から撮像可能な撮像装置と、前記撮像装置で前記部品を撮像するときに同時に撮像し、前記部品の画像を処理する際の基準とする基準マークが設けられた基準部材と、前記撮像装置の光軸に対し所定角度で傾斜した光を下方から前記部品および前記基準部材に照射可能な第1光照射装置と、前記光軸に平行な光を下方から前記部品および前記基準部材に照射可能な第2光照射装置と、を備え、前記基準部材は、前記基準マークに対し前記第1光照射装置からの光を遮る遮光壁を備えることである。   In order to solve the above-described problems, the invention according to claim 1 is a collection device capable of collecting a component, and a moving device capable of moving the component collected by the collection device onto a substrate on which the component is mounted. An imaging device capable of imaging the component collected by the sampling device from below, and a reference mark used as a reference when the image of the component is imaged at the same time when the component is imaged by the imaging device A reference member provided with: a first light irradiation device capable of irradiating the component and the reference member from below with light inclined at a predetermined angle with respect to the optical axis of the imaging device; and light parallel to the optical axis. A second light irradiation device capable of irradiating the component and the reference member from below, wherein the reference member includes a light shielding wall that blocks light from the first light irradiation device with respect to the reference mark. .

請求項2に係る発明は、請求項1において、前記基準部材は、前記遮光壁により前記第1光照射装置からの光が遮られるように前記基準マークの周縁に形成された段状の段差部をさらに備えることである。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the reference member is a stepped step portion formed on the periphery of the reference mark so that light from the first light irradiation device is blocked by the light shielding wall. Is further provided.

請求項3に係る発明は、請求項1又は2において、前記基準マークは、前記基準部材に対し上方向に穿設された有底穴内に形成されていることである。   According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the reference mark is formed in a bottomed hole drilled upward with respect to the reference member.

請求項1に係る発明によれば、基準マークに照射される光のうち、採取装置に採取される部品の影響を受け易い第1光照射装置からの光は遮光壁により殆ど遮られ、当該部品の影響を受け難い第2光照射装置からの光が主に照射される。これにより、採取装置に採取される部品の大きさにかかわらず、基準マークの輝度をほぼ一定値に保つことができ、基準マークの撮像を安定的に行うことができる。よって、画像認識した部品の位置を高精度に求めることができる。   According to the first aspect of the present invention, of the light emitted to the reference mark, the light from the first light irradiation device that is easily affected by the component collected by the sampling device is almost blocked by the light shielding wall, and the component. The light from the second light irradiation device which is not easily affected by the light is mainly irradiated. As a result, the luminance of the reference mark can be maintained at a substantially constant value regardless of the size of the parts collected by the sampling device, and the reference mark can be stably imaged. Therefore, the position of the image-recognized component can be obtained with high accuracy.

請求項2に係る発明によれば、基準マーク周縁の段差部に照射される光のうち、採取装置に採取される部品の影響を受け易い第1光照射装置からの光は遮光壁により殆ど遮られ、当該部品の影響を受け難い第2光照射装置からの光が主に照射される。これにより、基準マークは輝度の異なる輪郭により縁取られることになるので、基準マークを高精度に画像認識することができる。よって、画像認識した部品の位置をさらに高精度に求めることができる。   According to the second aspect of the present invention, the light from the first light irradiation device that is easily influenced by the components collected by the sampling device among the light irradiated to the stepped portion around the reference mark is almost blocked by the light shielding wall. The light from the second light irradiation device that is hardly affected by the component is mainly irradiated. As a result, the reference mark is bordered by contours having different luminances, so that the reference mark can be recognized with high accuracy. Therefore, it is possible to obtain the position of the recognized component with higher accuracy.

請求項3に係る発明によれば、基準部材に有底穴を穿設することで基準マークおよび遮光壁を形成することができるので、基準部材を低コストで製作することができる。   According to the invention of claim 3, since the reference mark and the light shielding wall can be formed by drilling the bottomed hole in the reference member, the reference member can be manufactured at low cost.

本発明の実施の形態に係る部品移載装置を備えた部品実装装置の全体を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the whole component mounting apparatus provided with the component transfer apparatus which concerns on embodiment of this invention. 部品移載装置を示す図である。It is a figure which shows a components transfer apparatus. 部品実装装置を制御する制御装置を示す制御ブロック図である。It is a control block diagram which shows the control apparatus which controls a component mounting apparatus. 基準マークおよび遮光壁を有する基準部材を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the reference | standard member which has a reference | standard mark and a light-shielding wall. 基準部材の光照射面を示す平面図である。It is a top view which shows the light irradiation surface of a reference member. 基準部材に光を照射したときの輝度の状態を示す図である。It is a figure which shows the state of the brightness | luminance when light is irradiated to a reference member. 部品実装装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of a component mounting apparatus. 基準部材の別形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another form of a reference member. 基準部材のさらに別の形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another form of a reference member.

以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1に示すように、部品実装装置10は、部品供給装置20、基板搬送装置30、部品移載装置40および制御装置70(図3参照)を備えて構成される。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus 10 includes a component supply device 20, a substrate transfer device 30, a component transfer device 40, and a control device 70 (see FIG. 3).

部品供給装置20は、一例として、基台11上に複数のフィーダ21をX軸方向に並設したカセットタイプのもので構成されている。フィーダ21は、多数の部品を間隔を有して一列に収容したテープを巻回した供給リール23が取付けられ、基台11に設置されたデバイス台22に着脱可能に装着される。フィーダ21の内部には、図示していないが、テープをピッチ送りする駆動源となるモータが内蔵されている。フィーダ21は、モータによってテープを1ピッチずつ送り出すことにより、テープに収容された部品をフィーダ21の先端部に設けられた部品供給位置P1に順次供給可能に構成されている。   As an example, the component supply device 20 is configured by a cassette type device in which a plurality of feeders 21 are arranged on the base 11 in the X-axis direction. The feeder 21 is provided with a supply reel 23 around which a tape containing a large number of parts spaced in a row is wound, and is detachably attached to a device base 22 installed on the base 11. Although not shown, the feeder 21 has a built-in motor serving as a driving source for pitch-feeding the tape. The feeder 21 is configured to be capable of sequentially supplying components housed in the tape to a component supply position P1 provided at the tip of the feeder 21 by feeding the tape one pitch at a time by a motor.

基板搬送装置30は、一例として、基台11上に搬送手段31、32を2列並設したダブルコンベアタイプのもので構成されている。各搬送手段31、32には、一対のガイドレール33、34が互いに平行に対向し水平に並設され、ガイドレール33、34によって案内される基板Bを支持して搬送する一対のコンベアベルト(図示せず)が並設されている。各搬送手段31、32は、基板BをX軸方向に搬送するとともに、所定位置に位置決め保持可能に構成されている。   As an example, the substrate transfer device 30 is configured of a double conveyor type in which transfer means 31 and 32 are arranged in parallel on the base 11. A pair of guide rails 33 and 34 are parallel to each other and are arranged in parallel to each transport means 31 and 32, and support and transport the substrate B guided by the guide rails 33 and 34. (Not shown) are juxtaposed. Each of the transporting units 31 and 32 is configured to transport the substrate B in the X-axis direction and be positioned and held at a predetermined position.

部品移載装置40は、基台11上に装架されて部品供給装置20および基板搬送装置30の上方に配設され、部品を採取可能な採取装置41および当該部品を基板B上に移動する移動装置42と、部品供給装置20と基板搬送装置30との間に設けられ、採取装置41に採取された部品を認識する部品認識装置60とで構成されている。   The component transfer device 40 is mounted on the base 11 and disposed above the component supply device 20 and the substrate transport device 30, and moves the sampling device 41 capable of collecting components and the component onto the substrate B. The moving device 42 includes a component recognition device 60 that is provided between the component supply device 20 and the substrate transfer device 30 and recognizes a component collected by the collection device 41.

図1および図3に示すように、移動装置42は、ガイドレール52、Y軸移動台43、Y軸サーボモータ44、X軸移動台45、X軸サーボモータ46および基板認識用カメラ53等で構成されている。また、図1〜図3に示すように、採取装置41は、部品実装ヘッド47、昇降軸48、Z軸サーボモータ49、θ軸サーボモータ51、吸着ヘッド54および吸着ノズル55等で構成されている。部品認識装置60は、部品認識用カメラ61、レンズ62、光源カバー63、第1光照射装置64、第2光照射装置65および部品実装ヘッド47に取付けられた基準部材80等とで構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 3, the moving device 42 includes a guide rail 52, a Y-axis moving table 43, a Y-axis servo motor 44, an X-axis moving table 45, an X-axis servo motor 46, a substrate recognition camera 53, and the like. It is configured. As shown in FIGS. 1 to 3, the sampling device 41 includes a component mounting head 47, a lifting shaft 48, a Z-axis servo motor 49, a θ-axis servo motor 51, a suction head 54, a suction nozzle 55, and the like. Yes. The component recognition device 60 includes a component recognition camera 61, a lens 62, a light source cover 63, a first light irradiation device 64, a second light irradiation device 65, a reference member 80 attached to the component mounting head 47, and the like. Yes.

図1に示すように、Y軸移動台43は、ガイドレール52に沿ってX軸方向と直交するY軸方向に移動可能に設けられている。Y軸移動台43のY軸方向移動は、ボールねじを介してY軸サーボモータ44により制御される。Y軸移動台43には、X軸移動台45がX軸方向に移動可能に案内支持されている。X軸移動台45のX軸方向移動は、ボールねじを介してX軸サーボモータ46により制御される。   As shown in FIG. 1, the Y-axis moving table 43 is provided so as to be movable along the guide rail 52 in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction. The movement of the Y-axis moving table 43 in the Y-axis direction is controlled by a Y-axis servo motor 44 via a ball screw. An X-axis moving table 45 is guided and supported by the Y-axis moving table 43 so as to be movable in the X-axis direction. The movement of the X-axis moving table 45 in the X-axis direction is controlled by the X-axis servo motor 46 via a ball screw.

X軸移動台45には、基板Bに設けられた図略の基板マーク(フィデューシャルマーク)を撮像する基板認識用カメラ53が取付けられている。基板認識用カメラ53は、基板搬送装置30によって部品実装位置に搬入された基板B上に形成された基板マークの位置を認識し、認識された基板マークの位置に基づいてX軸およびY軸移動台45、43を位置補正して、部品Pを基板B上の定められた座標位置に正確に実装できるようにするために設けられている。さらに、X軸移動台45には、部品実装ヘッド47が取付けられている。   A substrate recognition camera 53 that captures an unillustrated substrate mark (fiducial mark) provided on the substrate B is attached to the X-axis moving table 45. The board recognition camera 53 recognizes the position of the board mark formed on the board B carried into the component mounting position by the board transfer device 30 and moves the X axis and the Y axis based on the recognized board mark position. It is provided to correct the positions of the bases 45 and 43 so that the component P can be accurately mounted at a predetermined coordinate position on the board B. Further, a component mounting head 47 is attached to the X-axis moving table 45.

図2に示すように、部品実装ヘッド47には、昇降軸48がX軸およびY軸方向と直交するZ軸方向(上下方向)に昇降可能に、かつ昇降軸線O1の回りに回転可能に支持されている。昇降軸48は、Z軸サーボモータ49およびθ軸サーボモータ51(図3参照)により、Z軸方向への移動および回転角度が制御される。昇降軸48の下端には、吸着ヘッド54が設けられ、この吸着ヘッド54に部品Pを吸着する吸着ノズル55が、昇降軸48の回転軸線O1上に保持されている。また、部品実装ヘッド47には、部品認識用カメラ61で部品Pを撮像するときに同時に撮像し、部品Pの画像を処理する際の基準とする基準マークM(図4A,B参照)が設けられた基準部材80が取付けられている。   As shown in FIG. 2, the component mounting head 47 supports a lifting shaft 48 that can move up and down in the Z-axis direction (vertical direction) orthogonal to the X-axis and Y-axis directions and that can rotate around the lifting axis O <b> 1. Has been. The elevating shaft 48 is controlled to move and rotate in the Z-axis direction by a Z-axis servo motor 49 and a θ-axis servo motor 51 (see FIG. 3). A suction head 54 is provided at the lower end of the lifting shaft 48, and a suction nozzle 55 that sucks the component P onto the suction head 54 is held on the rotation axis O <b> 1 of the lifting shaft 48. In addition, the component mounting head 47 is provided with a reference mark M (see FIGS. 4A and 4B) that serves as a reference when the component recognition camera 61 captures the component P at the same time and processes the image of the component P. A fixed reference member 80 is attached.

部品認識用カメラ61は、Z軸方向と平行な光軸O2を有する例えばCCDカメラである。レンズ62は、部品認識用カメラ61の上方に設けられ、第1、第2光照射装置64,65から照射され反射されてくる光を集光する。光源カバー63は、レンズ62の上方に設けられ、第1、第2光照射装置64,65が内蔵されている。第1、第2光照射装置64,65は、無影光照明のために設けられている。   The component recognition camera 61 is, for example, a CCD camera having an optical axis O2 parallel to the Z-axis direction. The lens 62 is provided above the component recognition camera 61 and collects the light irradiated and reflected from the first and second light irradiation devices 64 and 65. The light source cover 63 is provided above the lens 62 and includes first and second light irradiation devices 64 and 65. The first and second light irradiation devices 64 and 65 are provided for shadowless illumination.

第1光照射装置64には、下側に凸であって底部中央が開口したお椀状の湾曲面66aの全周に多数の光源(LED)66bを配設した第1光源66が配置されている。第1光照射装置64は、第1光源66から斜め上方に発せられる光を、吸着ノズル55に吸着された部品Pおよび基準部材80に斜め下方から照射可能な側射光源として構成されている。   The first light irradiation device 64 is provided with a first light source 66 in which a large number of light sources (LEDs) 66b are arranged on the entire circumference of a bowl-shaped curved surface 66a that is convex downward and has an open bottom center. Yes. The first light irradiation device 64 is configured as a side light source capable of irradiating light emitted obliquely upward from the first light source 66 to the component P and the reference member 80 adsorbed by the adsorption nozzle 55 from obliquely below.

第2光照射装置65は、Z軸方向と平行な平面67aに多数の光源(LED)67bを配設した第2光源67およびZ軸に対し45度傾斜させたハーフミラー68が所定間隔をあけて対向配置されている。第2光照射装置65は、第2光源67から水平方向に発せられる光を、ハーフミラー68で垂直方向に反射し、吸着ノズル55に吸着された部品Pおよび基準部材80に垂直下方から照射可能な同軸落射光源として構成されている。第1光照射装置64および第2光照射装置65は、電子部品の種類に応じて両方もしくは一方を点灯させるようになっている。   In the second light irradiation device 65, a second light source 67 in which a large number of light sources (LEDs) 67b are arranged on a plane 67a parallel to the Z-axis direction and a half mirror 68 inclined at 45 degrees with respect to the Z-axis are spaced apart from each other. Are opposed to each other. The second light irradiation device 65 reflects light emitted from the second light source 67 in the horizontal direction in the vertical direction by the half mirror 68, and can irradiate the component P and the reference member 80 sucked by the suction nozzle 55 from below vertically. It is configured as a simple coaxial incident light source. Both or one of the first light irradiation device 64 and the second light irradiation device 65 is turned on according to the type of electronic component.

図4A,Bに示すように、基準部材80には、基準マークMに対し第1光照射装置64からの光を遮る遮光壁81と、遮光壁81により第1光照射装置64からの光が遮られるように基準マークMの周縁に形成された段状の段差部84とが設けられている。   As shown in FIGS. 4A and 4B, the reference member 80 receives light from the first light irradiation device 64 through the light shielding wall 81 that blocks the light from the first light irradiation device 64 with respect to the reference mark M. A stepped step portion 84 formed on the periphery of the reference mark M is provided so as to be blocked.

基準部材80は、例えばステンレスで円筒状に形成され、基準部材80の一端面80aには、4つの有底穴82が等角度(90度)間隔で穿設されている。そして、4つの有底穴82の底面82aには、マーク部材83が螺合されている。有底穴82は、マーク部材83の頭83aより大径に形成されている。基準部材80の一端面80a、有底穴82の内周面82bおよび底面82aは、光の吸収が可能な黒色の被覆材で覆われている。マーク部材83の頭83aの頂部は、鏡面加工されて基準マークMが設けられている。   The reference member 80 is formed of, for example, stainless steel in a cylindrical shape, and four bottomed holes 82 are formed in one end surface 80a of the reference member 80 at equal angle (90 degrees) intervals. A mark member 83 is screwed onto the bottom surface 82 a of the four bottomed holes 82. The bottomed hole 82 has a larger diameter than the head 83 a of the mark member 83. One end surface 80a of the reference member 80, the inner peripheral surface 82b and the bottom surface 82a of the bottomed hole 82 are covered with a black covering material capable of absorbing light. The top of the head 83a of the mark member 83 is mirror-finished to provide a reference mark M.

このような構成の基準部材80の一端面80aおよび有底穴82の内周面82bを備える壁状部分が、基準マークMに対し第1光照射装置64からの光を遮る遮光壁81として機能する。そして、マーク部材83の頭83aの外周面83bと有底穴82の底面82aとで構成される段状部分が、遮光壁81により第1光照射装置64からの光が遮られるように基準マークMの周縁に形成された段状の段差部84として機能する。   The wall-shaped portion including the one end surface 80a of the reference member 80 and the inner peripheral surface 82b of the bottomed hole 82 having such a configuration functions as a light shielding wall 81 that blocks light from the first light irradiation device 64 from the reference mark M. To do. The reference mark is formed so that the stepped portion constituted by the outer peripheral surface 83b of the head 83a of the mark member 83 and the bottom surface 82a of the bottomed hole 82 is blocked by the light shielding wall 81 from the first light irradiation device 64. It functions as a stepped step portion 84 formed on the periphery of M.

すなわち、基準部材80の基準マークMおよび有底穴82の底面82aにおける基準マークMの周縁部分には、第1光照射装置64からの光は遮光壁81によって殆ど遮られ、第2光照射装置65からの光が主に有底穴82を通って照射される。一方、基準部材80の一端面80aには、第1、第2光照射装置64,65からの各光が照射される。   That is, the light from the first light irradiation device 64 is almost blocked by the light shielding wall 81 at the peripheral portion of the reference mark M of the reference member 80 and the bottom surface 82a of the bottomed hole 82, and the second light irradiation device. Light from 65 is mainly irradiated through the bottomed hole 82. On the other hand, one end surface 80 a of the reference member 80 is irradiated with each light from the first and second light irradiation devices 64 and 65.

従来は、特に吸着ノズル55に吸着される部品Pが大型部品の場合、第1光照射装置64からの斜め下方からの光の一部が遮られ、基準マークMの輝度が変化してしまうおそれがあった。しかし、本実施形態では、基準マークMには第2光照射装置65からの垂直下方からの光が主に照射されるので、基準マークMの輝度をほぼ一定値を保つことができる。さらに、有底穴82の底面82aにおける基準マークMの周縁部分は、第2光照射装置65からの光が主に照射され、基準部材80の一端面80aには、第1、第2光照射装置64,65からの各光が照射されるので、有底穴82の底面82aにおける基準マークMの周縁部分の輝度は、基準部材80の一端面80aの輝度よりも小さくなる。   Conventionally, in particular, when the component P sucked by the suction nozzle 55 is a large component, a part of light from the obliquely lower side from the first light irradiation device 64 is blocked, and the luminance of the reference mark M may change. was there. However, in this embodiment, since the reference mark M is mainly irradiated with light from vertically below the second light irradiation device 65, the luminance of the reference mark M can be maintained at a substantially constant value. Further, the peripheral portion of the reference mark M on the bottom surface 82 a of the bottomed hole 82 is mainly irradiated with light from the second light irradiation device 65, and the one end surface 80 a of the reference member 80 is irradiated with the first and second light irradiations. Since each light from the devices 64 and 65 is irradiated, the luminance of the peripheral portion of the reference mark M on the bottom surface 82a of the bottomed hole 82 is smaller than the luminance of the one end surface 80a of the reference member 80.

すなわち、図5に示すように、基準マークMの輝度は最大となり、基準部材80の一端面80aの輝度は基準マークMの輝度よりも小さくなり、有底穴82の底面82aにおける基準マークMの周縁部分の輝度は最小となる。これにより、吸着ノズル55に吸着される部品Pの大きさにかかわらず、基準マークMの撮像を安定的に行うことができ、さらに、基準マークMの周縁部分が輪郭となって基準マークMを鮮明に画像認識することが可能となるので、画像認識した部品Pの位置を高精度に求めることができる。   That is, as shown in FIG. 5, the luminance of the reference mark M is maximized, the luminance of the one end surface 80a of the reference member 80 is smaller than the luminance of the reference mark M, and the reference mark M on the bottom surface 82a of the bottomed hole 82 The brightness of the peripheral portion is minimized. As a result, the reference mark M can be stably imaged regardless of the size of the component P sucked by the suction nozzle 55, and the peripheral portion of the reference mark M is contoured to define the reference mark M. Since the image can be clearly recognized, the position of the recognized component P can be obtained with high accuracy.

なお、基準部材80に穿設する有底穴82を円筒形状にした場合を説明したが、基準部材80の一端面80a側に拡がる円錐台形状に穿設しても同様の効果を奏する。また、基準マークMの周縁部分は、マーク部材83の頭83aの頂部よりも深い位置に形成した場合を説明したが、マーク部材83の頭83aの頂部よりも浅い位置に形成しても同様の効果を奏する。また、基準部材80には、4つの基準マークMを形成した場合を説明したが、任意の数の基準マークMを形成しても同様の効果を奏する。   In addition, although the case where the bottomed hole 82 to be drilled in the reference member 80 is formed in a cylindrical shape has been described, the same effect can be obtained by drilling in the shape of a truncated cone extending to the one end face 80a side of the reference member 80. Further, although the case where the peripheral portion of the reference mark M is formed at a position deeper than the top of the head 83a of the mark member 83 has been described, the same applies even if formed at a position shallower than the top of the head 83a of the mark member 83. There is an effect. Further, the case where four reference marks M are formed on the reference member 80 has been described, but the same effect can be obtained even if an arbitrary number of reference marks M are formed.

図3に示すように、制御装置70は、CPU71,ROM72,RAM73およびそれらを接続するバス74を備え、バス74には入出力インターフェース75が接続されている。入出力インターフェース75には、部品実装ヘッド47をX軸およびY軸方向に移動するX軸およびY軸サーボモータ46、44、および昇降軸48をZ軸方向に移動するZ軸サーボモータ49、ならびに昇降軸48を昇降軸線O1の回りに回動するθ軸サーボモータ51を制御するモータ制御ユニット76が接続されている。また、入出力インターフェース75には、第1、第2光照射装置64,65に光照射を指令する光照射制御ユニット77、および部品認識用カメラ61および基板認識用カメラ53によって撮像された画像データを画像処理する画像処理装置78が接続されている。   As shown in FIG. 3, the control device 70 includes a CPU 71, a ROM 72, a RAM 73 and a bus 74 for connecting them, and an input / output interface 75 is connected to the bus 74. The input / output interface 75 includes an X-axis and Y-axis servomotors 46 and 44 that move the component mounting head 47 in the X-axis and Y-axis directions, a Z-axis servomotor 49 that moves the lift shaft 48 in the Z-axis direction, and A motor control unit 76 that controls a θ-axis servomotor 51 that rotates the elevating shaft 48 around the elevating axis O1 is connected. The input / output interface 75 includes image data captured by the light irradiation control unit 77 that instructs the first and second light irradiation devices 64 and 65 to perform light irradiation, the component recognition camera 61, and the board recognition camera 53. An image processing device 78 for image processing is connected.

次に、上述の部品実装装置10の動作を、図6のフローチャートを参照して説明する。
制御装置70からの指令に基づいて、基板搬送装置30のコンベアベルトが駆動され、基板Bがガイドレール33(34)に案内されて所定の位置まで搬送され、位置決めクランプされる。次いで、X軸サーボモータ46およびY軸サーボモータ44が駆動されることにより、X軸移動台45およびY軸移動台43がX軸方向およびY軸方向に移動され、部品実装ヘッド47が部品供給装置20の部品供給位置P1まで移動される。部品実装ヘッド47が部品供給位置P1まで移動された状態で、昇降軸48とともに吸着ヘッド54がZ軸サーボモータ49によってZ軸方向に下降され、吸着ヘッド54に設けた吸着ノズル55により、部品供給位置P1に供給された部品Pを吸着する。
Next, the operation of the component mounting apparatus 10 will be described with reference to the flowchart of FIG.
Based on a command from the control device 70, the conveyor belt of the substrate transport device 30 is driven, the substrate B is guided to the guide rail 33 (34), transported to a predetermined position, and positioned and clamped. Next, when the X-axis servo motor 46 and the Y-axis servo motor 44 are driven, the X-axis moving table 45 and the Y-axis moving table 43 are moved in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the component mounting head 47 supplies the components. The device 20 is moved to the component supply position P1. With the component mounting head 47 moved to the component supply position P1, the suction head 54 is lowered in the Z-axis direction by the Z-axis servo motor 49 together with the lifting shaft 48, and the component is supplied by the suction nozzle 55 provided in the suction head 54. The component P supplied to the position P1 is sucked.

続いて、X軸移動台45およびY軸移動台43の移動により、部品実装ヘッド47が基板B上の定められた座標位置まで移動されるが、その途中の部品認識用カメラ61の上方を通過する際に、部品認識用カメラ61によって吸着ノズル55で吸着された部品Pを撮像することにより、吸着ノズル55に対する部品Pのずれ量や、部品Pの吸着姿勢を認識する。そして、部品Pのずれ量や、部品Pの吸着姿勢を補正した上で、部品Pを基板Bの所定位置に実装する。   Subsequently, the component mounting head 47 is moved to a predetermined coordinate position on the board B by the movement of the X-axis moving table 45 and the Y-axis moving table 43, but passes above the component recognition camera 61 on the way. At this time, by imaging the component P sucked by the suction nozzle 55 by the component recognition camera 61, the shift amount of the component P with respect to the suction nozzle 55 and the suction posture of the component P are recognized. Then, the component P is mounted at a predetermined position on the board B after correcting the displacement amount of the component P and the suction posture of the component P.

ステップ101においては、部品実装ヘッド47が部品認識用カメラ61の上方で停止されずに通過するように移動制御される。部品実装ヘッド47が部品認識用カメラ61の上方位置まで達すると、ステップ102において、部品認識用カメラ61が露光状態で、光照射制御ユニット78によって第1、第2光照射装置64,65に対し光照射指令が発せられる。   In step 101, the component mounting head 47 is controlled to move so as to pass above the component recognition camera 61 without being stopped. When the component mounting head 47 reaches the upper position of the component recognition camera 61, in step 102, the component recognition camera 61 is exposed to the first and second light irradiation devices 64 and 65 by the light irradiation control unit 78. A light irradiation command is issued.

これによって、第1、第2光源66,67が瞬間的に発光される。この結果、基準マークMが、部品認識用カメラ61によって吸着ノズル55で吸着された部品Pと同一の視野内で撮像される。この場合、第1、第2光源66,67は、ストロボのように瞬間的に発光されるだけであるので、部品認識用カメラ61が露光状態であっても、部品認識用カメラ61によって撮像された部品Pおよび基準マークMの像が流れることなく、鮮明に撮像することが可能となる。なお、部品認識用カメラ61による基準マークMと部品Pの撮像時には、吸着ノズル55に吸着された部品Pは、部品認識用カメラ61の被写界深度内に位置される。   Thereby, the first and second light sources 66 and 67 emit light instantaneously. As a result, the reference mark M is imaged in the same field of view as the component P sucked by the suction nozzle 55 by the component recognition camera 61. In this case, since the first and second light sources 66 and 67 only emit light instantaneously like a strobe light, even if the component recognition camera 61 is in an exposure state, the first and second light sources 66 and 67 are imaged by the component recognition camera 61. In addition, the image of the component P and the reference mark M can be clearly captured without flowing. When the reference mark M and the component P are imaged by the component recognition camera 61, the component P sucked by the suction nozzle 55 is positioned within the depth of field of the component recognition camera 61.

次いで、ステップ103において、画像処理装置78により、基準マークMを基準にして部品Pの位置を認識することにより、吸着ノズル55の中心に対する部品Pの芯ずれおよび角度ずれを正確に認識することができる。このように、吸着ノズル55に吸着した部品Pを、部品認識用カメラ61上で停止させずに部品位置を認識することにより、タクトタイムの短縮を図ることができる。なお、部品実装ヘッド47を部品認識用カメラ61の上方で移動停止し、部品Pおよび基準マークMを撮像するように制御しても、基準マークMを基準にして部品Pの位置を認識することができる。   Next, in step 103, the image processor 78 recognizes the position of the component P with reference to the reference mark M, thereby accurately recognizing the misalignment and angular misalignment of the component P with respect to the center of the suction nozzle 55. it can. In this way, the tact time can be shortened by recognizing the position of the component P without being stopped on the component recognition camera 61 by the component P attracted to the suction nozzle 55. Even if the component mounting head 47 is moved and stopped above the component recognition camera 61 and controlled so as to image the component P and the reference mark M, the position of the component P is recognized with reference to the reference mark M. Can do.

次に、基準部材の別形態を図7を参照して説明する。この基準部材90には、基準マークMに対し第1光照射装置64からの光を遮る遮光壁91が設けられている。基準部材90は、例えばステンレスで円筒状に形成され、基準部材90の一端面90aには、4つの有底穴92が等角度(90度)間隔で穿設されている。そして、4つの有底穴92の底面92aには、マーク部材93が螺合されている。有底穴92は、マーク部材93の頭93aと略同一径(僅かに大径)に形成されている。基準部材90の一端面90aおよび有底穴92の内周面92bは、光の吸収が可能な黒色の被覆材で覆われている。マーク部材93の頭93aの頂部は、鏡面加工されて基準マークMが設けられている。   Next, another embodiment of the reference member will be described with reference to FIG. The reference member 90 is provided with a light shielding wall 91 that blocks the light from the first light irradiation device 64 with respect to the reference mark M. The reference member 90 is formed of, for example, stainless steel in a cylindrical shape, and four bottomed holes 92 are formed at one end surface 90a of the reference member 90 at equal angles (90 degrees). A mark member 93 is screwed onto the bottom surface 92 a of the four bottomed holes 92. The bottomed hole 92 is formed to have substantially the same diameter (slightly larger diameter) as the head 93 a of the mark member 93. One end surface 90a of the reference member 90 and the inner peripheral surface 92b of the bottomed hole 92 are covered with a black covering material capable of absorbing light. The top of the head 93a of the mark member 93 is mirror-finished to provide a reference mark M.

このような構成の基準部材90の一端面90aおよび有底穴92の内周面92bを備える壁状部分が、基準マークMに対し第1光照射装置64からの光を遮る遮光壁91として機能する。すなわち、基準部材90の基準マークMには、第1光照射装置64からの光は遮光壁91によって殆ど遮られ、第2光照射装置65からの光が主に有底穴92を通って照射される。一方、基準部材90の一端面90aには、第1、第2光照射装置64,65からの各光が照射される。   The wall-shaped portion including the one end surface 90a of the reference member 90 and the inner peripheral surface 92b of the bottomed hole 92 having such a configuration functions as a light shielding wall 91 that blocks the light from the first light irradiation device 64 from the reference mark M. To do. In other words, the reference mark M of the reference member 90 is almost shielded by the light shielding wall 91 from the first light irradiation device 64, and the light from the second light irradiation device 65 is mainly irradiated through the bottomed hole 92. Is done. On the other hand, one end surface 90 a of the reference member 90 is irradiated with each light from the first and second light irradiation devices 64 and 65.

従来は、特に吸着ノズル55に吸着される部品Pが大型部品の場合、第1光照射装置64からの斜め下方からの光の一部が遮られ、基準マークMの輝度が変化してしまうおそれがあった。しかし、本形態では、基準マークMには第2光照射装置65からの垂直下方からの光が主に照射されるので、基準マークMの輝度をほぼ一定値を保つことができる。すなわち、吸着ノズル55に吸着される部品Pの大きさにかかわらず、基準マークMの撮像を安定的に行うことができ、画像認識した部品の位置を高精度に求めることができる。   Conventionally, in particular, when the component P sucked by the suction nozzle 55 is a large component, a part of light from the obliquely lower side from the first light irradiation device 64 is blocked, and the luminance of the reference mark M may change. was there. However, in this embodiment, since the reference mark M is mainly irradiated with light from vertically below the second light irradiation device 65, the luminance of the reference mark M can be maintained at a substantially constant value. That is, regardless of the size of the component P sucked by the suction nozzle 55, the reference mark M can be stably imaged, and the position of the recognized component can be obtained with high accuracy.

次に、基準部材のさらに別の形態を図8を参照して説明する。上述の各形態では、吸着ノズル55に吸着される部品Pにより第1光照射装置64からの斜め下方からの光の一部が遮られる場合に適用可能な基準部材80,90について説明したが、本形態では、吸着ノズル55に吸着される部品Pにより光が遮られない場合に適用可能な基準部材100について説明する。   Next, still another embodiment of the reference member will be described with reference to FIG. In each of the above-described embodiments, the reference members 80 and 90 that are applicable when a part of light from the obliquely lower side from the first light irradiation device 64 is blocked by the component P sucked by the suction nozzle 55 have been described. In this embodiment, a reference member 100 that can be applied when light is not blocked by the component P sucked by the suction nozzle 55 will be described.

この基準部材100には、基準マークMが基準部材100の一端面100aと同一平面上に存在するように設けられ、さらに遮光壁101により第1光照射装置64からの光が遮られるように基準マークMの周縁に段状の段差部104が設けられている。   The reference member 100 is provided so that the reference mark M is on the same plane as the one end surface 100 a of the reference member 100, and the light from the first light irradiation device 64 is blocked by the light shielding wall 101. A stepped portion 104 is provided on the periphery of the mark M.

基準部材100は、例えばステンレスで円筒状に形成され、基準部材100の一端面100aには、4つの有底穴102が等角度(90度)間隔で穿設されている。そして、4つの有底穴102の底面102aには、マーク部材103が螺合されている。有底穴102は、マーク部材103の頭103aより大径に形成されている。そして、有底穴102の深さは、マーク部材103の頭103aの長さと同一に形成されている。基準部材100の一端面100a、有底穴102の内周面102bおよび底面102aは、光の吸収が可能な黒色の被覆材で覆われている。マーク部材103の頭103aの頂部は、鏡面加工されて基準マークMが設けられている。   The reference member 100 is formed of, for example, stainless steel in a cylindrical shape, and four bottomed holes 102 are formed at one end surface 100a of the reference member 100 at equal angles (90 degrees). The mark member 103 is screwed onto the bottom surface 102 a of the four bottomed holes 102. The bottomed hole 102 has a larger diameter than the head 103 a of the mark member 103. The depth of the bottomed hole 102 is the same as the length of the head 103 a of the mark member 103. One end surface 100a of the reference member 100, the inner peripheral surface 102b and the bottom surface 102a of the bottomed hole 102 are covered with a black covering material capable of absorbing light. The top of the head 103a of the mark member 103 is mirror-finished to provide a reference mark M.

このような構成の基準部材100の一端面100aおよび有底穴102の内周面102bを備える壁状部分が、基準マークMに対し第1光照射装置64からの光を遮る遮光壁101として機能する。そして、マーク部材103の頭103aの外周面103bと有底穴102の底面102aとで構成される段状部分が、遮光壁101により第1光照射装置64からの光が遮られるように基準マークMの周縁に形成された段状の段差部104として機能する。   The wall-shaped portion including the one end surface 100a of the reference member 100 having such a configuration and the inner peripheral surface 102b of the bottomed hole 102 functions as a light shielding wall 101 that blocks light from the first light irradiation device 64 from the reference mark M. To do. The reference mark is formed so that the stepped portion formed by the outer peripheral surface 103b of the head 103a of the mark member 103 and the bottom surface 102a of the bottomed hole 102 is blocked by the light shielding wall 101 from the first light irradiation device 64. It functions as a stepped step portion 104 formed on the periphery of M.

すなわち、基準部材100の有底穴102の底面102aには、第1光照射装置64からの光は遮光壁101によって殆ど遮られ、第2光照射装置65からの光が主に照射される。一方、基準マークMおよび基準部材100の一端面には、第1、第2光照射装置64,65からの各光が照射される。   That is, the light from the first light irradiation device 64 is almost blocked by the light shielding wall 101 and the light from the second light irradiation device 65 is mainly irradiated on the bottom surface 102 a of the bottomed hole 102 of the reference member 100. On the other hand, each light from the first and second light irradiation devices 64 and 65 is irradiated to one end surfaces of the reference mark M and the reference member 100.

このように、有底穴102の底面102aにおける基準マークMの周縁部分は、第2光照射装置65からの光が主に照射され、基準マークMおよび基準部材80の一端面には、第1、第2光照射装置64,65からの各光が照射されるので、有底穴92の底面92aにおける基準マークMの周縁部分の輝度は、基準部材80の一端面の輝度よりも小さくなる。すなわち、基準マークMの周縁部分が輪郭となって基準マークMをより鮮明に画像認識することが可能となるので、画像認識した部品の位置を高精度に求めることができる。   Thus, the peripheral portion of the reference mark M on the bottom surface 102 a of the bottomed hole 102 is mainly irradiated with light from the second light irradiation device 65, and the first end of the reference mark M and the reference member 80 is exposed to the first surface. Since each light from the second light irradiation devices 64 and 65 is irradiated, the luminance of the peripheral portion of the reference mark M on the bottom surface 92a of the bottomed hole 92 is smaller than the luminance of one end surface of the reference member 80. In other words, since the peripheral portion of the reference mark M becomes an outline and the reference mark M can be recognized more clearly, the position of the image-recognized component can be obtained with high accuracy.

上記した実施の形態によれば、基準部材80,90は、基準マークMに対し第1光照射装置64からの光を遮る遮光壁81,91を備えているので、基準マークMに照射される光のうち、採取装置41に採取される部品Pの影響を受け易い第1光照射装置64からの光は遮光壁81,91により遮られ、当該部品Pの影響を受け難い第2光照射装置65からの光が主に照射される。これにより、採取装置41に採取される部品Pの大きさにかかわらず、基準マークMの輝度をほぼ一定値に保つことができ、基準マークMの撮像を安定的に行うことができる。よって、画像認識した部品Pの位置を高精度に求めることが可能となり、基板Bへの部品Pの実装精度を高めることができる。   According to the above-described embodiment, the reference members 80 and 90 include the light shielding walls 81 and 91 that block the light from the first light irradiation device 64 with respect to the reference mark M, so that the reference mark M is irradiated. Of the light, the light from the first light irradiation device 64 that is easily affected by the component P collected by the sampling device 41 is blocked by the light shielding walls 81 and 91, and is not easily affected by the component P. The light from 65 is mainly irradiated. Accordingly, the luminance of the reference mark M can be maintained at a substantially constant value regardless of the size of the component P collected by the sampling device 41, and the reference mark M can be stably imaged. Therefore, the position of the component P that has been image-recognized can be obtained with high accuracy, and the mounting accuracy of the component P on the board B can be increased.

また、基準部材80は、遮光壁81により第1光照射装置64からの光が遮られるように基準マークMの周縁に形成された段状の段差部84をさらに備えているので、基準マークMの周縁の段差部84に照射される光のうち、採取装置41に採取される部品Pの影響を受け易い第1光照射装置64からの光は遮光壁84により遮られ、当該部品Pの影響を受け難い第2光照射装置65からの光が主に照射される。これにより、基準マークMは輝度の異なる輪郭により縁取られることになるので、基準マークMを高精度に画像認識することができる。よって、画像認識した部品Pの位置をさらに高精度に求めることが可能となり、基板Bへの部品Pの実装精度をさらに高めることができる。   Further, since the reference member 80 further includes a stepped step portion 84 formed at the periphery of the reference mark M so that the light from the first light irradiation device 64 is blocked by the light shielding wall 81, the reference mark M is provided. Of the light irradiated to the stepped portion 84 at the periphery of the light, the light from the first light irradiation device 64 that is easily affected by the component P collected by the sampling device 41 is blocked by the light shielding wall 84, and the influence of the component P The light from the second light irradiation device 65 that is difficult to receive is mainly irradiated. As a result, the reference mark M is bordered by contours having different luminances, so that the reference mark M can be recognized with high accuracy. Therefore, the position of the component P that has been image-recognized can be determined with higher accuracy, and the mounting accuracy of the component P on the board B can be further increased.

また、基準マークMは、基準部材80,90,100に対し上方向に穿設された有底穴82,92,102内に形成されているので、基準部材80,90,100に有底穴82,92,102を穿設することで基準マークMおよび遮光壁81,101を形成することができ、基準部材80,90,100を低コストで製作することができる。   Further, since the reference mark M is formed in the bottomed holes 82, 92, 102 drilled upward with respect to the reference members 80, 90, 100, the reference members 80, 90, 100 have bottomed holes. By drilling 82, 92, 102, the reference mark M and the light shielding walls 81, 101 can be formed, and the reference members 80, 90, 100 can be manufactured at low cost.

なお、上述の実施の形態においては、フィーダ式の部品供給装置20を備えた部品実装装置10について説明したが、本発明は、トレイ式の部品供給装置20を備えたものにも適用可能であり、基板搬送装置30および部品移載装置40についても、実施の形態のものに限定されるものではない。   In the above-described embodiment, the component mounting apparatus 10 including the feeder-type component supply apparatus 20 has been described. However, the present invention can also be applied to an apparatus including the tray-type component supply apparatus 20. The substrate transfer device 30 and the component transfer device 40 are not limited to those in the embodiment.

また、移動装置42としては、図1に示す直交座標形ロボットの他に、円筒座標形ロボットあるいは間接形ロボット等を用いることができ、吸着ノズル55を部品供給位置P1と部品実装位置との間で移動できるものであれば、どのような形態のものであってもよい。また、部品移載装置40は、部品実装装置10に適用した場合を説明したが、部品Pを採取して移動することが必要な装置であれば適用可能である。   In addition to the Cartesian coordinate robot shown in FIG. 1, a cylindrical coordinate robot or an indirect robot can be used as the moving device 42, and the suction nozzle 55 is placed between the component supply position P1 and the component mounting position. Any form can be used as long as it can move. Moreover, although the component transfer apparatus 40 demonstrated the case where it applied to the component mounting apparatus 10, if it is an apparatus which needs to extract | collect and move the components P, it is applicable.

10…部品実装装置、20…部品供給装置、30…基板搬送装置、40…部品移載装置、47…部品実装ヘッド、54…吸着ヘッド、55…吸着ノズル、61…部品認識用カメラ、64…第1光照射装置、65…第2光照射装置、66…第1光源、67…第2光源、70…制御装置、80,90,100…基準部材、81,101…遮光壁、82,92,102…有底穴、83,93,103…マーク部材、84,104…段差部、M…基準マーク、B…基板、P…部品。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Component mounting apparatus, 20 ... Component supply apparatus, 30 ... Board | substrate conveyance apparatus, 40 ... Component transfer apparatus, 47 ... Component mounting head, 54 ... Suction head, 55 ... Suction nozzle, 61 ... Camera for component recognition, 64 ... 1st light irradiation apparatus, 65 ... 2nd light irradiation apparatus, 66 ... 1st light source, 67 ... 2nd light source, 70 ... control apparatus, 80, 90, 100 ... reference | standard member, 81, 101 ... light shielding wall, 82, 92 , 102 ... Bottomed holes, 83, 93, 103 ... Mark members, 84, 104 ... Stepped portions, M ... Reference mark, B ... Substrate, P ... Parts.

Claims (3)

部品を採取可能な採取装置と、
前記採取装置に採取された前記部品を、当該部品が装着される基板上に移動可能な移動装置と、
前記採取装置に採取された前記部品を下方から撮像可能な撮像装置と、
前記撮像装置で前記部品を撮像するときに同時に撮像し、前記部品の画像を処理する際の基準とする基準マークが設けられた基準部材と、
前記撮像装置の光軸に対し所定角度で傾斜した光を下方から前記部品および前記基準部材に照射可能な第1光照射装置と、
前記光軸に平行な光を下方から前記部品および前記基準部材に照射可能な第2光照射装置と、を備え、
前記基準部材は、前記基準マークに対し前記第1光照射装置からの光を遮る遮光壁を備える部品移載装置。
A collecting device capable of collecting parts;
A moving device capable of moving the component collected by the collecting device onto a substrate on which the component is mounted;
An imaging device capable of imaging the component collected by the sampling device from below;
A reference member provided with a reference mark as a reference when imaging the component with the imaging device and processing the image of the component at the same time;
A first light irradiation device capable of irradiating the component and the reference member from below with light inclined at a predetermined angle with respect to the optical axis of the imaging device;
A second light irradiation device capable of irradiating the component and the reference member with light parallel to the optical axis from below;
The component transfer device, wherein the reference member includes a light shielding wall that blocks light from the first light irradiation device with respect to the reference mark.
前記基準部材は、前記遮光壁により前記第1光照射装置からの光が遮られるように前記基準マークの周縁に形成された段状の段差部をさらに備える請求項1の部品移載装置。   The component transfer device according to claim 1, wherein the reference member further includes a stepped step portion formed on a periphery of the reference mark so that light from the first light irradiation device is blocked by the light shielding wall. 前記基準マークは、前記基準部材に対し上方向に穿設された有底穴内に形成されている請求項1又は2の部品移載装置。   The component transfer apparatus according to claim 1, wherein the reference mark is formed in a bottomed hole formed in an upward direction with respect to the reference member.
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