JP2014097908A - Chemically strengthened glass, and cutting method of chemically strengthened glass - Google Patents

Chemically strengthened glass, and cutting method of chemically strengthened glass Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a stable scribe line without producing a crack on a chemically strengthened glass when cutting the chemically strengthened glass, and thereby to obtain the chemically strengthened glass free of a crack.SOLUTION: A cutting method of a chemically strengthened glass is a method for cutting a plate-like chemically strengthened glass G1 by folding the chemically strengthened glass G1 along a scribe line S formed thereon. The chemically strengthened glass G1 includes a chemically-strengthened effective part R, and a non-effective part N which is located next to the effective part R and of which the surface stress of at least one surface of front and rear faces is lower than that of the effective part R. A scribe line S is formed by starting the line from a starting point Y located on the one face of the non-effective part N and extending the line from the non-effective part N to the effective part R.

Description

本発明は、板状の化学強化ガラス、及び板状の化学強化ガラスに形成されたスクライブラインに沿って折割りを行うことで、当該化学強化ガラスを割断する方法に関する。   The present invention relates to a plate-shaped chemically tempered glass and a method for cleaving the chemically tempered glass by splitting along a scribe line formed on the plate-shaped chemically tempered glass.

周知のように、化学強化ガラスは、イオン交換法(化学強化処理)によって表層部が強化されており、その板厚方向における表面側、及び裏面側には、圧縮応力(表面応力)が印加された圧縮応力層が形成される。これにより、通常のガラスと比較して表層部に作用する引張応力に対する破壊強度が大幅に高められている。このような化学強化ガラスは、例えば、近年急速に普及しているスマートフォンや、タブレットPC等におけるディスプレイのカバーガラスとして採用されるに至っている。   As is well known, the surface of the chemically tempered glass is reinforced by an ion exchange method (chemical strengthening treatment), and compressive stress (surface stress) is applied to the front side and the back side in the plate thickness direction. A compressive stress layer is formed. Thereby, the fracture strength with respect to the tensile stress acting on the surface layer portion is significantly increased as compared with normal glass. Such chemically tempered glass has been adopted as a cover glass for displays in smartphones, tablet PCs, and the like that are rapidly spreading in recent years.

ところで、化学強化ガラスは、その表層部に形成された圧縮応力層の存在によって、通常のガラス(非強化ガラス)とは異なり、割断を行うことが非常に困難である。詳述すると、通常のガラスを割断する際には、ホイールカッター等でガラスの表面を押圧してスクライブラインを形成した後、当該スクライブラインの周辺に引張応力を作用させることにより、スクライブラインに沿って割断を行う手法が広く用いられている。しかしながら、この手法を化学強化ガラスの割断に適用した場合には、特許文献1,2に開示されるように、割断の起点となるスクライブライン(メディアンクラック)を、圧縮応力層を突き破った状態に形成する必要が生じる。   By the way, chemically tempered glass is very difficult to cleave unlike ordinary glass (non-tempered glass) due to the presence of a compressive stress layer formed on the surface layer portion thereof. More specifically, when cleaving normal glass, after forming the scribe line by pressing the surface of the glass with a wheel cutter or the like, by applying a tensile stress around the scribe line, along the scribe line The method of cleaving is widely used. However, when this method is applied to cleaving of chemically strengthened glass, as disclosed in Patent Documents 1 and 2, the scribe line (median crack) that is the starting point of cleaving is in a state of breaking through the compressive stress layer. There is a need to form.

WO 2011/116165 A1WO 2011/116165 A1 WO 2012/009253 A1WO 2012/009253 A1

このことに起因して、化学強化ガラスを割断する場合には、以下のような問題を生じることがある。すなわち、化学強化ガラスの板厚方向における表面側、及び裏面側に形成される圧縮応力層の間には、圧縮応力(表面応力)の反作用としての引張応力が印加された引張応力層が形成されている。そのため、図6に示すように、化学強化ガラスGの圧縮応力層Aを突き破った状態にスクライブラインSを形成した場合には、スクライブラインSの先端が引張応力層B内に位置することになる。   Due to this, the following problems may occur when the chemically strengthened glass is cleaved. That is, a tensile stress layer to which a tensile stress as a reaction of the compressive stress (surface stress) is applied is formed between the compressive stress layers formed on the front side and the back side in the plate thickness direction of the chemically strengthened glass. ing. Therefore, as shown in FIG. 6, when the scribe line S is formed in a state of breaking through the compressive stress layer A of the chemically strengthened glass G, the tip of the scribe line S is located in the tensile stress layer B. .

加えて、スクライブラインSの形成を実行する際、化学強化ガラスGには、スクライブラインSを形成するための荷重が負荷されることから、特に形成の初期段階においては、その形成状態が極めて不安定となる。このため、図7に示すように、引張応力層Bに印加された引張応力によって、スクライブラインS(メディアンクラック)から発生したクラックCが、板厚方向を表面Ga側(スクライブ面側)から裏面Gb側へと横断するように自走したり、図8に示すように、化学強化ガラスGの面方向に沿って自走したりする等して、化学強化ガラスに割れが発生してしまうという問題があった。   In addition, when the formation of the scribe line S is executed, the chemically strengthened glass G is loaded with a load for forming the scribe line S. Therefore, particularly in the initial stage of the formation, the formation state is extremely poor. It becomes stable. For this reason, as shown in FIG. 7, the crack C generated from the scribe line S (median crack) due to the tensile stress applied to the tensile stress layer B is changed from the surface Ga side (scribe surface side) to the back surface in the thickness direction. Self-propelled to cross to the Gb side or self-propelled along the surface direction of the chemically strengthened glass G as shown in FIG. There was a problem.

上記事情に鑑みなされた本発明は、化学強化ガラスを割断するにあたって、当該化学強化ガラスに割れを生じることなく、スクライブラインの安定した形成を可能とすること、及び、この目的に適した化学強化ガラスを提供することを技術的課題とする。   The present invention made in view of the above circumstances enables stable formation of a scribe line without cracking the chemically strengthened glass when cleaving the chemically strengthened glass, and chemical strengthening suitable for this purpose. Providing glass is a technical challenge.

上記課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、板状の化学強化ガラスに形成されたスクライブラインに沿って折割りを行うことで、該化学強化ガラスを割断する化学強化ガラスの割断方法であって、前記化学強化ガラスに、化学強化された有効部と、該有効部に隣接し、且つその表裏面のうち、少なくとも一方の面における表面応力の大きさが、該有効部における表面応力と比較して小さい非有効部とを設け、前記スクライブラインを、前記非有効部の前記一方の面上に位置する始端から形成し始めると共に、該非有効部から前記有効部へと進入させて形成することに特徴付けられる。   The method according to the present invention, which was created to solve the above-described problems, is a method of chemically tempered glass that cleaves the chemically tempered glass by splitting along a scribe line formed on the plate-like chemically tempered glass. A cleaving method, wherein the chemically tempered glass has a chemically strengthened effective portion, and the magnitude of the surface stress adjacent to the effective portion and at least one of the front and back surfaces thereof is determined in the effective portion. An ineffective portion that is smaller than the surface stress is provided, and the scribe line starts to be formed from the start end located on the one surface of the ineffective portion, and enters the effective portion from the ineffective portion. It is characterized by forming.

このような方法によれば、スクライブラインを、有効部と比較して表面応力の大きさが小さい非有効部の一方の面上を始端として形成し始めるため、スクライブラインの形成の初期段階(非有効部内での形成段階)において、その形成状態を安定したものとすることができる。そして、この安定した状態の下で、スクライブラインの形成を非有効部から有効部へと連続的に進行させていくことにより、有効部においても、非有効部と同様に安定したスクライブラインの形成が可能となる。すなわち、有効部を始端としてスクライブラインを形成するのではなく、非有効部を始端として有効部に向かってスクライブラインを形成していくものであるため、非有効部から有効部へのスクライブライン形成の乗り移りが円滑に行われることになる。その結果、スクライブラインの形成に不当な力が作用しなくなり、スクライブライン(メディアンクラック)から発生したクラックが化学強化ガラスの板厚方向や、面方向に自走するような事態が可及的に回避され、当該強化ガラスに割れが生じることを防止できる。   According to such a method, since the scribe line starts to be formed starting from one surface of the ineffective portion whose surface stress is smaller than that of the effective portion, the initial stage of scribe line formation (non- In the formation stage in the effective portion, the formation state can be stabilized. And under this stable state, by continuously forming the scribe line from the ineffective portion to the effective portion, the stable portion can be formed in the effective portion as well as the ineffective portion. Is possible. That is, the scribe line is formed from the ineffective portion to the effective portion because the scribe line is formed from the ineffective portion to the effective portion instead of forming the scribe line starting from the effective portion. The transfer will be carried out smoothly. As a result, unreasonable force does not act on the formation of the scribe line, and the situation where the cracks generated from the scribe line (median crack) are self-propelled in the direction of the thickness of the chemically strengthened glass or in the plane direction is as much as possible. It can avoid and it can prevent that a crack arises in the said tempered glass.

上記の方法において、前記非有効部の前記一方の面における表面応力の大きさが、0〜300MPaであることが好ましい。   In said method, it is preferable that the magnitude | size of the surface stress in the said one surface of the said ineffective part is 0-300 MPa.

このようにすれば、実質的に強化されていない状態の非有効部の一方の面上を始端として、スクライブラインを形成し始めることが可能となる。このため、スクライブラインの形成の初期段階において、その形成状態は、通常の板ガラス(非強化ガラス)に対してスクライブラインを形成する場合と略同様となる。その結果、スクライブライン(メディアンクラック)から発生したクラックの自走をより効果的に回避することができ、さらに安定したスクライブラインの形成が可能となる。   If it does in this way, it will become possible to start forming a scribe line from the one end surface of the ineffective portion in a state where it is not substantially strengthened. For this reason, in the initial stage of the formation of the scribe line, the formation state is substantially the same as the case where the scribe line is formed on a normal plate glass (non-tempered glass). As a result, the self-running of the crack generated from the scribe line (median crack) can be avoided more effectively, and a more stable scribe line can be formed.

上記の方法において、前記有効部における表面応力の大きさと、前記非有効部の前記一方の面における表面応力の大きさとの差が、30MPa以上であることが好ましい。   In the above method, it is preferable that a difference between the magnitude of the surface stress in the effective portion and the magnitude of the surface stress on the one surface of the ineffective portion is 30 MPa or more.

有効部における表面応力の大きさと、前記非有効部の一方の面における表面応力の大きさとの差が、30MPa以上あれば、上述の作用効果を得るにあたって、より有利となる。   If the difference between the magnitude of the surface stress at the effective portion and the magnitude of the surface stress at one surface of the ineffective portion is 30 MPa or more, it is more advantageous in obtaining the above-described effects.

上記の方法において、前記非有効部の前記一方の面は、該非有効部と前記有効部との境界から1mm以上の幅を有していることが好ましい。   In the above method, it is preferable that the one surface of the ineffective portion has a width of 1 mm or more from a boundary between the ineffective portion and the effective portion.

化学強化ガラスに対し、ホイールカッター等により、そのエッジ部からスクライブラインを形成し始めると、エッジ部を起点にクラックが進展し、化学強化ガラスが割れてしまう場合がある。そのため、エッジ部から離れた位置をスクライブラインの始端とすることが望ましい。そこで、非有効部における一方の面が、有効部と非有効部との境界から1mm以上の幅を有するようにすれば、エッジ部から離れた位置をスクライブラインの始端とすることが可能となり、化学強化ガラスのエッジ部を起点とした割れを効果的に防止することができる。   When a scribe line is started to be formed from the edge of a chemically tempered glass by a wheel cutter or the like, cracks may develop starting from the edge and the chemically tempered glass may be broken. Therefore, it is desirable that the position away from the edge portion is the starting end of the scribe line. Therefore, if one surface of the ineffective portion has a width of 1 mm or more from the boundary between the effective portion and the ineffective portion, a position away from the edge portion can be set as the starting end of the scribe line. It is possible to effectively prevent cracking starting from the edge portion of the chemically strengthened glass.

上記の方法において、前記非有効部の前記一方の面における表面応力の大きさが、該一方の面へのマスキング、アニール、又はエッチングの実施により調整されていることが好ましい。   In the above method, it is preferable that the magnitude of the surface stress on the one surface of the ineffective portion is adjusted by performing masking, annealing, or etching on the one surface.

非有効部の一方の面に対し、マスキング、アニール、又はエッチングを実施することにより、当該一方の面における表面応力を、有効部における表面応力よりも小さくすることができ、上述のように安定したスクライブラインの形成が可能となる。   By performing masking, annealing, or etching on one surface of the ineffective portion, the surface stress on the one surface can be made smaller than the surface stress on the effective portion, and stable as described above. A scribe line can be formed.

上記の方法において、前記化学強化ガラスの板厚が、0.3〜1.8mmであることが好ましい。   In said method, it is preferable that the plate | board thickness of the said chemically strengthened glass is 0.3-1.8 mm.

化学強化ガラスの板厚が、0.3〜1.8mmの範囲内にあれば、上述の作用効果を得るにあたって、さらに有利となる。   If the plate | board thickness of chemically strengthened glass exists in the range of 0.3-1.8 mm, it will become further advantageous in obtaining the above-mentioned effect.

上記の方法において、前記有効部が、矩形形状を有すると共に、前記非有効部の前記一方の面が、前記有効部の外周端となる四辺のうち、連続的に連なった少なくとも二辺に沿って設けられていることが好ましい。   In the above method, the effective portion has a rectangular shape, and the one surface of the ineffective portion is along at least two sides continuously connected among the four sides serving as the outer peripheral ends of the effective portion. It is preferable to be provided.

このようにすれば、非有効部の一方の面上を始端として、有効部に対し、当該有効部の外周端(輪郭)となる四辺のうち、縦方向に延びる二辺と平行な一又は複数のスクライブラインと、縦方向と直交する横方向に延びる二辺と平行な一又は複数のスクライブラインとを形成することができる。そのため、これらスクライブラインを形成した化学強化ガラスを割断した場合には、割断後の有効部から、矩形形状を有する複数の化学強化ガラスを得ることが可能となる。   If it does in this way, one side or two or more parallel to two sides extended in the vertical direction among the four sides used as the perimeter end (contour) of the effective part to the effective part from one side of the ineffective part as the starting end Scribe lines and one or a plurality of scribe lines parallel to two sides extending in the horizontal direction perpendicular to the vertical direction can be formed. Therefore, when the chemically strengthened glass in which these scribe lines are formed is cleaved, a plurality of chemically strengthened glasses having a rectangular shape can be obtained from the effective portion after the cleaving.

なお、上記のいずれかの方法によって化学強化ガラスを割断した場合、スクライブラインの形成時に、当該スクライブライン(メディアンクラック)から発生したクラックが、化学強化ガラスの板厚方向や、面方向へと自走することを回避できるため、割れのない高品質な化学強化ガラスを得ることが可能となる。   In addition, when chemically strengthened glass is cleaved by any of the above methods, cracks generated from the scribe line (median crack) at the time of forming the scribe line are automatically generated in the thickness direction or the surface direction of the chemically strengthened glass. Since it is possible to avoid running, it is possible to obtain a high-quality chemically strengthened glass without cracks.

また、上記課題を解決するために創案された本発明に係る化学強化ガラスは、板状の化学強化ガラスであって、化学強化された有効部と、該有効部に隣接し、且つその表裏面のうち、少なくとも一方の面における表面応力の大きさが、該有効部における表面応力と比較して小さい非有効部とを有することに特徴付けられる。   The chemically tempered glass according to the present invention created to solve the above-mentioned problems is a plate-shaped chemically tempered glass, which is a chemically strengthened effective portion, adjacent to the effective portion, and its front and back surfaces. Among them, the magnitude of the surface stress on at least one of the surfaces is characterized by having an ineffective portion that is smaller than the surface stress in the effective portion.

このような構成とし、非有効部の一方の面上を始端として、スクライブラインを形成し始めると共に、当該スクライブラインを非有効部から有効部へと進入させて形成すれば、上記の化学強化ガラスの切断方法について、既に述べた事項と同様の作用効果を享受することができる。そのため、この化学強化ガラスを、安定したスクライブラインの形成が可能な化学強化ガラスとすることができる。   With such a configuration, if one of the surfaces of the ineffective portion is started and a scribe line starts to be formed, and the scribe line is formed to enter the effective portion from the ineffective portion, the above chemically strengthened glass With respect to the cutting method, it is possible to enjoy the same effects as those already described. Therefore, this chemically strengthened glass can be a chemically strengthened glass capable of forming a stable scribe line.

以上のように、本発明によれば、化学強化ガラスにスクライブラインを形成する際に、当該スクライブライン(メディアンクラック)から発生したクラックが、板厚方向や面方向に自走するような事態を可及的に回避できるため、安定したスクライブラインの形成が可能となる。また、この目的の達成に適した化学強化ガラスを提供できる。   As described above, according to the present invention, when the scribe line is formed in the chemically strengthened glass, the crack generated from the scribe line (median crack) is free-running in the plate thickness direction or the surface direction. Since it can be avoided as much as possible, a stable scribe line can be formed. Moreover, the chemically strengthened glass suitable for achieving this purpose can be provided.

(a)〜(c)は、本発明の第一実施形態に係る化学強化ガラスの作製方法を示す斜視図である。(A)-(c) is a perspective view which shows the preparation methods of the chemically strengthened glass which concerns on 1st embodiment of this invention. (a)は、本発明の第一実施形態に係る化学強化ガラスの割断方法の作用を示す平面図であり、(b)は、縦断側面図である。(A) is a top view which shows the effect | action of the cutting method of the chemically strengthened glass which concerns on 1st embodiment of this invention, (b) is a vertical side view. (a)は、本発明の第一実施形態に係る化学強化ガラスの割断方法の作用を示す平面図であり、(b)は、縦断側面図である。(A) is a top view which shows the effect | action of the cutting method of the chemically strengthened glass which concerns on 1st embodiment of this invention, (b) is a vertical side view. (a),(b)は、本発明の第二実施形態に係る化学強化ガラスの作製方法を示す斜視図である。(A), (b) is a perspective view which shows the preparation methods of the chemically strengthened glass which concerns on 2nd embodiment of this invention. 本発明の第二実施形態に係る化学強化ガラスの割断方法の作用を示す平面図である。It is a top view which shows the effect | action of the cutting method of the chemically strengthened glass which concerns on 2nd embodiment of this invention. 従来における化学強化ガラスの割断方法を示す側面図である。It is a side view which shows the conventional cleaving method of chemically strengthened glass. 従来における化学強化ガラスの割断方法を示す側面図である。It is a side view which shows the conventional cleaving method of chemically strengthened glass. 従来における化学強化ガラスの割断方法を示す平面図である。It is a top view which shows the conventional cleaving method of chemically strengthened glass.

以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して説明する。なお、下記の各実施形態では、板ガラスを硝酸カリウム溶融塩に浸漬することにより、化学強化ガラスを作製した後、当該化学強化ガラスを割断する場合を例に挙げて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In each of the following embodiments, a case where a chemically tempered glass is prepared by immersing a plate glass in a potassium nitrate molten salt and then the chemically tempered glass is cleaved will be described as an example.

図1(a)〜(c)は、本発明の第一実施形態に係る化学強化ガラスの作製方法を示す斜視図である。この作製方法においては、まず、図1(a)に示すように、化学強化の対象となる一枚の板ガラスG1(日本電気硝子製:CX−01)と、板ガラスG1の表裏面にマスキングを施すための二枚のマスク用ガラスG2(日本電気硝子製:CX−01)とを準備する。なお、これら化学強化の対象となる板ガラスG1と、マスク用ガラスG2との寸法としては、例えば、強化対象の板ガラスG1:200mm×100mm×0.7mm、マスク用ガラスG2:100mm×100mm×0.7mmのものを用いることができる。   1A to 1C are perspective views showing a method for producing chemically strengthened glass according to the first embodiment of the present invention. In this production method, first, as shown in FIG. 1 (a), masking is applied to one sheet glass G1 (manufactured by Nippon Electric Glass: CX-01) to be chemically strengthened and the front and back surfaces of the sheet glass G1. Two mask glasses G2 (manufactured by Nippon Electric Glass: CX-01) are prepared. The dimensions of the plate glass G1 and the mask glass G2 to be chemically strengthened include, for example, the plate glass G1: 200 mm × 100 mm × 0.7 mm to be strengthened and the glass G2 for mask: 100 mm × 100 mm × 0.00 mm. 7 mm can be used.

次に、図1(b)に示すように、二枚のマスク用ガラスG2で、強化対象の板ガラスG1の長手方向における一端から中央までの部位を挟み込むと共に、当該方向における他端から中央までの強化対象となる部位G1aを露出させた状態として、これらを貼り合わせる。そして、貼り合わせた強化対象の板ガラスG1とマスク用ガラスG2とを、強化液としての400℃の硝酸カリウム溶融塩内に8時間浸漬させる。これにより、化学強化の対象となる部位G1の表裏面に、その厚みが23μmで、且つ600MPaの表面応力が印加された圧縮応力層を形成することができる。   Next, as shown in FIG. 1 (b), the two mask glasses G2 sandwich the part from one end to the center in the longitudinal direction of the glass sheet G1 to be reinforced, and the other end to the center in the direction. These are pasted together with the region G1a to be strengthened exposed. Then, the strengthened plate glass G1 and the mask glass G2 are immersed in a 400 ° C. potassium nitrate molten salt as a strengthening solution for 8 hours. Thereby, a compressive stress layer having a thickness of 23 μm and a surface stress of 600 MPa applied can be formed on the front and back surfaces of the part G1 to be chemically strengthened.

最後に、図1(c)に示すように、二枚のマスク用ガラスG2を板ガラスG1から剥がして取り除く。これにより、板ガラスG1には、化学強化された有効部R(クロスハッチングを施した部位)と、マスク用ガラスG2に覆われていた部位である非有効部Nとが形成される。本実施形態では、板ガラスG1における表裏面の各々において、半分の面積が有効部Rとなり、残りの半分の面積が非有効部Nとなる。すなわち、板ガラスG1の長手方向において、有効部Rと非有効部Nとが、それぞれ100mmずつの幅を有している。なお、この場合、非有効部Nは、化学強化が全く施されていない状態、つまり、その表裏面に化学強化によって印加された表面応力が略0MPaの状態となっている。以上の工程により、化学強化ガラスG1が作製される。このように作製された化学強化ガラスG1に対しては、後述のように、安定したスクライブラインの形成が可能となる。   Finally, as shown in FIG. 1C, the two mask glasses G2 are peeled off from the plate glass G1 and removed. Thereby, the chemically strengthened effective part R (cross hatched part) and the ineffective part N that is the part covered with the mask glass G2 are formed on the plate glass G1. In the present embodiment, in each of the front and back surfaces of the plate glass G1, half the area becomes the effective part R, and the remaining half area becomes the non-effective part N. That is, in the longitudinal direction of the plate glass G1, the effective portion R and the ineffective portion N each have a width of 100 mm. In this case, the ineffective portion N is in a state where no chemical strengthening is applied, that is, a state in which the surface stress applied to the front and back surfaces by the chemical strengthening is approximately 0 MPa. Through the above steps, the chemically strengthened glass G1 is produced. As will be described later, a stable scribe line can be formed on the chemically strengthened glass G1 thus manufactured.

ここで、上記の作製方法は、化学強化ガラスを作製するための一例に過ぎず、他の方法を採用することもできる。例えば、強化対象となる板ガラスG1へのマスキングには、ガラスの他に、例えば、ステンレス鋼繊維、ステンレス板等の金属、シリコンウエハー等のように、硝酸カリウム溶融塩に反応しないか、或いは、反応しにくいものをマスクとして用いることができる。加えて、化学強化を行うための強化液としては、硝酸カリウム溶融塩の他に、硝酸ナトリウム溶融塩、硝酸カリウムと硝酸ナトリウムとの混合塩等を用いることができる。なお、強化の対象となる板ガラスG1の厚みは、0.3〜1.8mmであることが好ましい。   Here, the above manufacturing method is only an example for manufacturing chemically strengthened glass, and other methods can also be adopted. For example, the masking to the glass plate G1 to be reinforced does not react with or react with potassium nitrate molten salt, such as, for example, stainless steel fibers, metals such as stainless steel plates, silicon wafers, etc. in addition to glass. Difficult things can be used as a mask. In addition, as a strengthening liquid for performing chemical strengthening, in addition to potassium nitrate molten salt, sodium nitrate molten salt, a mixed salt of potassium nitrate and sodium nitrate, or the like can be used. In addition, it is preferable that the thickness of the plate glass G1 used as the object of reinforcement | strengthening is 0.3-1.8 mm.

また、化学強化の対象となる部位G1aの形状は、板ガラスG1へのマスキングを実施する位置を変更することにより、自由に形成することが可能である。ただし、どのような形状に形成する場合であっても、非有効部Nは、有効部Rと非有効部Nとの境界から1mm以上の幅を有していることが好ましい。   Moreover, the shape of the site | part G1a used as the chemical strengthening object can be freely formed by changing the position which masks to the plate glass G1. However, it is preferable that the non-effective part N has a width of 1 mm or more from the boundary between the effective part R and the non-effective part N regardless of the shape.

さらに、上記の作製方法においては、強化対象の板ガラスG1の表裏面の双方を強化する態様となっているが、表裏面のうち、片面のみを化学強化するようにしてもよい。しかしながら、この場合、片面のみに表面応力が印加されることになり、この表面応力に起因して、板ガラスG1に反りが生じる恐れがある。   Furthermore, in said preparation method, although it has become the aspect which strengthens both the front and back of the plate glass G1 of the reinforcement | strengthening object, you may make it chemically strengthen only one side among front and back. However, in this case, surface stress is applied only to one side, and there is a possibility that warpage occurs in the plate glass G1 due to this surface stress.

加えて、上記の作製方法においては、非有効部Nは、化学強化が殆ど施されていない状態となっているが、有効部Rに印加された表面応力の値に対して、30MPa小さい表面応力の値を上限値(例えば、上記の作製方法の場合においては、有効部Rにおける表面応力の値である600MPaに対して、570MPaが非有効部Nにおける表面応力の上限値となる)として、非有効部Nに化学強化を施してもよい。この場合、一端、強化の対象である板ガラスG1の全面を化学強化した後、その一部にアニールや、エッチングを施すことにより、非有効部Nを形成すると共に、非有効部Nにおける表面応力の値を調整することができる。しかしながら、非有効部Nについては、実質的に化学強化が施されていない状態とすることが好ましいため、非有効部Nにおける表面応力の値は、0〜300MPaの範囲内とすることが適切である。加えて、非有効部Nと有効部Rの表面応力の差は、100MPa以上であることが好ましく、200、300、400MPa以上であることが、さらに好ましい。   In addition, in the manufacturing method described above, the non-effective portion N is in a state in which almost no chemical strengthening is applied, but the surface stress that is 30 MPa smaller than the value of the surface stress applied to the effective portion R. The upper limit value (for example, in the case of the above manufacturing method, 570 MPa is the upper limit value of the surface stress in the ineffective portion N with respect to 600 MPa, which is the value of the surface stress in the effective portion R). The effective part N may be chemically strengthened. In this case, after chemically strengthening the entire surface of the glass sheet G1 to be strengthened, an ineffective portion N is formed by annealing or etching a part of the entire surface, and the surface stress of the ineffective portion N is reduced. The value can be adjusted. However, since it is preferable that the non-effective portion N is substantially not chemically strengthened, it is appropriate that the surface stress value in the non-effective portion N is in the range of 0 to 300 MPa. is there. In addition, the difference in surface stress between the ineffective portion N and the effective portion R is preferably 100 MPa or more, and more preferably 200, 300, or 400 MPa or more.

以下、化学強化ガラスの割断方法について詳細に説明する。なお、本実施形態では、上記の作製方法で得られた化学強化ガラスG1を、その長手方向と平行に割断する場合を例に挙げて説明する。   Hereinafter, the method of cleaving chemically strengthened glass will be described in detail. In the present embodiment, the case where the chemically strengthened glass G1 obtained by the above production method is cleaved in parallel with the longitudinal direction will be described as an example.

図2(a)に示すように、化学強化ガラスG1を割断するための起点となるスクライブラインSを形成するため、化学強化ガラスG1を、その長手方向に延びる切断予定線Xに沿って、非有効部N上の位置Yから有効部R上の位置Zまで、スクライブ形成刃のホイールカッターWで押圧する。なお、位置Yと位置Zとの双方は、化学強化ガラスG1のエッジ部G1eから離間して位置している。そのため、エッジ部G1eからスクライブラインSを形成する場合のように、エッジ部G1eを起点にクラックが進展し、化学強化ガラスG1が割れてしまうような事態を可及的に回避できる。   As shown in FIG. 2A, in order to form a scribe line S that is a starting point for cleaving the chemically strengthened glass G1, the chemically strengthened glass G1 is non-stripped along a planned cutting line X extending in the longitudinal direction thereof. From the position Y on the effective portion N to the position Z on the effective portion R, the wheel cutter W of the scribe forming blade is pressed. In addition, both the position Y and the position Z are spaced apart from the edge part G1e of the chemically strengthened glass G1. Therefore, as in the case where the scribe line S is formed from the edge portion G1e, it is possible to avoid as much as possible the situation in which the crack progresses from the edge portion G1e and the chemically strengthened glass G1 breaks.

そして、この化学強化ガラスの割断方法によれば、以下のような作用効果が得られる。すなわち、化学強化ガラスG1に形成されるスクライブラインSの始端Yが、化学強化が施されていない(化学強化によって印加された表面応力の値が、略0MPaである)非有効部N上に位置していることから、スクライブラインSの形成の初期段階(非有効部N内での形成段階)において、その形成状態は、通常の板ガラス(非強化ガラス)に対してスクライブラインを形成する場合と略同様となる。このため、この段階におけるスクライブラインSの形成を安定したものとすることができる。   And according to this chemical-tempered glass cleaving method, the following effects are obtained. That is, the starting end Y of the scribe line S formed on the chemically strengthened glass G1 is positioned on the ineffective portion N that is not chemically strengthened (the value of the surface stress applied by the chemical strengthening is approximately 0 MPa). Therefore, in the initial stage of formation of the scribe line S (formation stage in the ineffective portion N), the formation state is the case where the scribe line is formed with respect to a normal plate glass (non-tempered glass). It is almost the same. For this reason, the formation of the scribe line S at this stage can be made stable.

また、図3(a)に示すように、この安定した状態の下で、スクライブラインSの形成が、非有効部Nから有効部Rへと連続的に進行していく。なお、このとき、化学強化ガラスG1に順次形成されるスクライブラインSは、図3(b)に示すように、表面応力が印加された圧縮応力層Aを突き破った状態で形成される。換言すれば、形成されたスクライブラインSにおいて、化学強化ガラスG1の板厚方向における先端は、引張応力が印加された引張応力層B内に位置している。   In addition, as shown in FIG. 3A, the formation of the scribe line S continuously proceeds from the ineffective portion N to the effective portion R under this stable state. At this time, the scribe line S sequentially formed on the chemically strengthened glass G1 is formed in a state of breaking through the compressive stress layer A to which surface stress is applied, as shown in FIG. In other words, in the formed scribe line S, the tip in the thickness direction of the chemically strengthened glass G1 is located in the tensile stress layer B to which a tensile stress is applied.

そのため、スクライブラインS(メディアンクラック)から発生したクラックが、化学強化ガラスG1の板厚方向や、面方向に自走する恐れが生じる。しかしながら、スクライブラインSの形成が、安定した状態を維持したまま、有効部Rへと連続的に進行していくことにより、この有効部Rにおいても、非有効部Nと同様に安定したスクライブラインSの形成が可能となる。   Therefore, the crack generated from the scribe line S (median crack) may be caused to self-run in the thickness direction or the surface direction of the chemically strengthened glass G1. However, since the formation of the scribe line S continuously proceeds to the effective portion R while maintaining a stable state, the effective portion R also has a stable scribe line as in the non-effective portion N. S can be formed.

すなわち、有効部Rを始端YとしてスクライブラインSを形成するのではなく、非有効部Nを始端Yとすると共に、非有効部Nから有効部Rに向かってスクライブラインSを形成していくため、非有効部Nから有効部Rへのスクライブライン形成の乗り移りが円滑に行われる。その結果、スクライブラインSの形成に不当な力が作用しなくなり、上述のような恐れを可及的に排除することができる。   That is, the scribe line S is not formed with the effective portion R as the start end Y, but the non-effective portion N is set as the start end Y and the scribe line S is formed from the ineffective portion N toward the effective portion R. The transfer of the scribe line formation from the ineffective portion N to the effective portion R is performed smoothly. As a result, an unreasonable force does not act on the formation of the scribe line S, and the above-described fear can be eliminated as much as possible.

そして、このようにしてスクライブラインSが形成された化学強化ガラスG1を、当該スクライブラインSに沿って折割ることによって割断すれば、上述の作用効果によって、割れのない高品質な化学強化ガラスを得ることが可能となる。   And if the chemically strengthened glass G1 in which the scribe line S is formed in this way is broken by breaking along the scribe line S, a high-quality chemically strengthened glass having no cracks can be obtained by the above-described effects. Can be obtained.

以下、本発明の第二実施形態に係る化学強化ガラスの作製方法、及び、作製された化学強化ガラスを割断する方法について説明する。   Hereinafter, a method for producing chemically tempered glass according to the second embodiment of the present invention and a method for cleaving the produced chemically tempered glass will be described.

図4(a)は、本発明の第二実施形態に係る化学強化ガラスの作製方法を示す斜視図である。この作製方法は、上記の第一実施形態に係る化学強化ガラスの作製方法において、板ガラスG1に対し、マスキングを実施する位置(マスク用ガラスG2を板ガラスG1に貼り付ける位置)を変更したものである。詳述すると、板ガラスG1の矩形形状を形成する四辺のうち、連続的に連なった二辺に沿って、板ガラスG1の外周部に対してマスキングを実施することにより、図4(b)に示すような、矩形形状を有する有効部Rと、有効部Rの外周端となる四辺のうち、連続的に連なった二辺に沿った非有効部Nとを形成することができる。   Fig.4 (a) is a perspective view which shows the preparation methods of the chemically strengthened glass which concerns on 2nd embodiment of this invention. This manufacturing method changes the position (position which pastes the glass G2 for masks on the plate glass G1) with respect to the plate glass G1 in the manufacturing method of the chemically strengthened glass which concerns on said 1st embodiment. . More specifically, as shown in FIG. 4B, masking is performed on the outer peripheral portion of the plate glass G1 along two continuous sides among the four sides forming the rectangular shape of the plate glass G1. In addition, it is possible to form the effective portion R having a rectangular shape and the ineffective portion N along two continuously connected sides of the four sides serving as the outer peripheral ends of the effective portion R.

このような化学強化ガラスG1に対しては、図5に示すように、非有効部Nを始端Yとして、有効部Rに対し、有効部Rの外周端(輪郭)となる四辺のうち、縦方向に延びる二辺と平行なスクライブラインSと、縦方向と直交する横方向に延びる二辺と平行なスクライブラインSとを形成することができる。そのため、これらスクライブラインSを形成した化学強化ガラスG1を割断した場合には、割断後の有効部Rから、矩形形状を有する複数の化学強化ガラスを得ることが可能となる。なお、この場合においても、スクライブラインSの始端Yと終端Zとの双方は、エッジ部G1eから離間して位置させることが好ましい。   For such chemically tempered glass G1, as shown in FIG. 5, with the ineffective portion N as the starting end Y, the effective portion R is vertically out of the four sides that are the outer peripheral ends (contours) of the effective portion R. A scribe line S parallel to the two sides extending in the direction and a scribe line S parallel to the two sides extending in the lateral direction orthogonal to the vertical direction can be formed. Therefore, when the chemically strengthened glass G1 on which these scribe lines S are formed is cut, a plurality of chemically strengthened glasses having a rectangular shape can be obtained from the effective portion R after the cutting. Even in this case, it is preferable that both the start end Y and the end end Z of the scribe line S are located apart from the edge portion G1e.

ここで、本発明に係る化学強化ガラスの割断方法は、上記の各実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、上記の各実施形態において、化学強化が施された有効部は、いずれも矩形形状を有しているが、強化の対象となる板ガラスに対してマスクキングを施す位置、又は、マスクの形状を変更することで、他の形状に形成してもよい。   Here, the method for cleaving chemically strengthened glass according to the present invention is not limited to the aspect described in the above embodiments. For example, in each of the embodiments described above, the effective portion subjected to chemical strengthening has a rectangular shape, but the position where masking is performed on the plate glass to be strengthened, or the shape of the mask You may form in another shape by changing.

また、上記の各実施形態においては、有効部内にスクライブラインの終端が位置しているが、非有効部に位置させてもよい。この場合、例えば、上記の第二実施形態に係る化学強化ガラスにおいて、非有効部は、有効部の外周端となる四辺のうち、連続した二辺に沿って設けられているが、四辺全てに沿って非有効部を設ければ、スクライブラインの始端と終端との双方を、非有効部内に位置させることができる。   Further, in each of the above embodiments, the end of the scribe line is located in the effective part, but it may be located in the ineffective part. In this case, for example, in the chemically strengthened glass according to the second embodiment, the ineffective portion is provided along two continuous sides among the four sides that are the outer peripheral ends of the effective portion, but on all four sides. If an ineffective portion is provided along the scribe line, both the start end and the end of the scribe line can be positioned in the ineffective portion.

さらに、スクライブラインは、化学強化ガラスのエッジ部を始端、及び終端として形成してもよい。しかしながら、エッジ部を起点としてクラックが進展し、化学強化ガラスに割れが生じるような事態の発生を防止するため、エッジ部から離間した位置を始端、及び終端とすることが望ましい。加えて、マスク用ガラスとして、強化対象の板ガラスと同一の板ガラスを使用したが、異なった種類の板ガラスを使用してもよい。   Further, the scribe line may be formed with the edge portion of the chemically strengthened glass as the start end and the end end. However, in order to prevent the occurrence of a situation in which a crack progresses from the edge portion and the chemically tempered glass is cracked, it is desirable to set the positions separated from the edge portion as the start end and the end point. In addition, although the same plate glass as the glass plate to be strengthened is used as the mask glass, a different type of plate glass may be used.

G1 化学強化ガラス(強化の対象となる板ガラス)
G1a 強化対象となる部位
G1e エッジ部
R 有効部
N 非有効部
X 切断予定線
S スクライブライン
Y スクライブラインの始端
Z スクライブラインの終端
A 圧縮応力層
B 引張応力層
W ホイールカッター
G2 マスク用ガラス
G1 chemically tempered glass (plate glass to be tempered)
G1a Reinforcement target part G1e Edge part R Effective part N Non-effective part X Cutting line S Scribe line Y Starting point of scribe line Z End of scribe line A Compressive stress layer B Tensile stress layer W Wheel cutter G2 Glass for mask

Claims (9)

板状の化学強化ガラスに形成されたスクライブラインに沿って折割りを行うことで、該化学強化ガラスを割断する化学強化ガラスの割断方法であって、
前記化学強化ガラスに、化学強化された有効部と、
該有効部に隣接し、且つその表裏面のうち、少なくとも一方の面における表面応力の大きさが、該有効部における表面応力と比較して小さい非有効部とを設け、
前記スクライブラインを、前記非有効部の前記一方の面上に位置する始端から形成し始めると共に、該非有効部から前記有効部へと進入させて形成することを特徴とする化学強化ガラスの割断方法。
By cleaving along the scribe line formed on the plate-shaped chemically tempered glass, a method of cleaving the chemically tempered glass to cleave the chemically tempered glass,
In the chemically strengthened glass, an effective part chemically strengthened,
Provided with an ineffective portion which is adjacent to the effective portion and whose surface stress on the front and back surfaces is small compared to the surface stress in the effective portion,
A method of cleaving chemically strengthened glass, characterized in that the scribe line is formed by starting from a start end located on the one surface of the ineffective portion and entering the effective portion from the ineffective portion. .
前記非有効部の前記一方の面における表面応力の大きさが、0〜300MPaであることを特徴とする請求項1に記載の化学強化ガラスの割断方法。   The method of cleaving chemically strengthened glass according to claim 1, wherein the magnitude of the surface stress on the one surface of the ineffective portion is 0 to 300 MPa. 前記有効部における表面応力の大きさと、前記非有効部の前記一方の面における表面応力の大きさとの差が、30MPa以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の化学強化ガラスの割断方法。   3. The chemically tempered glass according to claim 1, wherein a difference between a surface stress magnitude in the effective portion and a surface stress magnitude on the one surface of the ineffective portion is 30 MPa or more. Cleaving method. 前記非有効部の前記一方の面は、該非有効部と前記有効部との境界から1mm以上の幅を有していることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の化学強化ガラスの割断方法。   4. The chemically strengthened glass according to claim 1, wherein the one surface of the ineffective portion has a width of 1 mm or more from a boundary between the ineffective portion and the effective portion. Cleaving method. 前記非有効部の前記一方の面における表面応力の大きさが、該一方の面へのマスキング、アニール、又はエッチングの実施により調整されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の化学強化ガラスの割断方法。   The magnitude of the surface stress on the one surface of the ineffective portion is adjusted by performing masking, annealing, or etching on the one surface. Cleaving method of the described chemically strengthened glass. 前記化学強化ガラスの板厚が、0.3〜1.8mmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の化学強化ガラスの割断方法。   The thickness of the said chemically strengthened glass is 0.3-1.8 mm, The cleaving method of the chemically strengthened glass in any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned. 前記有効部が、矩形形状を有すると共に、
前記非有効部の前記一方の面が、前記有効部の外周端となる四辺のうち、連続的に連なった少なくとも二辺に沿って設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の化学強化ガラスの割断方法。
The effective portion has a rectangular shape,
The said one surface of the said ineffective part is provided along the at least 2 side continuously connected among the four sides used as the outer periphery end of the said effective part, The any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. A method for cleaving chemically strengthened glass according to any one of the above.
請求項1〜7のいずれかの方法によって割断された化学強化ガラス。   The chemically strengthened glass cut | disconnected by the method in any one of Claims 1-7. 板状の化学強化ガラスであって、
化学強化された有効部と、
該有効部に隣接し、且つその表裏面のうち、少なくとも一方の面における表面応力の大きさが、該有効部における表面応力と比較して小さい非有効部とを有することを特徴とする化学強化ガラス。
A plate-shaped chemically strengthened glass,
A chemically enhanced effective part;
A chemical strengthening characterized by having an ineffective portion that is adjacent to the effective portion and has a surface stress on the front and back surfaces that is smaller than the surface stress in the effective portion. Glass.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016158623A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 旭硝子株式会社 Glass plate
WO2016185880A1 (en) * 2015-05-19 2016-11-24 日本電気硝子株式会社 Chemically strengthened glass, glass article to be chemically strengthened, and chemically strengthened glass production method and cleaving method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005298312A (en) * 2004-04-16 2005-10-27 Nippon Sheet Glass Co Ltd Microprocessing method for glass and microprocessed glass
JP2008007360A (en) * 2006-06-28 2008-01-17 Optrex Corp Mother glass substrate, glass substrate and method for manufacturing the glass substrate
JP2011251879A (en) * 2010-06-02 2011-12-15 Asahi Glass Co Ltd Method and device for cutting chemically strengthened glass
JP2013095642A (en) * 2011-11-02 2013-05-20 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Method for scribing tempered glass substrate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005298312A (en) * 2004-04-16 2005-10-27 Nippon Sheet Glass Co Ltd Microprocessing method for glass and microprocessed glass
JP2008007360A (en) * 2006-06-28 2008-01-17 Optrex Corp Mother glass substrate, glass substrate and method for manufacturing the glass substrate
JP2011251879A (en) * 2010-06-02 2011-12-15 Asahi Glass Co Ltd Method and device for cutting chemically strengthened glass
JP2013095642A (en) * 2011-11-02 2013-05-20 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd Method for scribing tempered glass substrate

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016158623A1 (en) * 2015-03-31 2016-10-06 旭硝子株式会社 Glass plate
JPWO2016158623A1 (en) * 2015-03-31 2018-01-25 旭硝子株式会社 Glass plate
WO2016185880A1 (en) * 2015-05-19 2016-11-24 日本電気硝子株式会社 Chemically strengthened glass, glass article to be chemically strengthened, and chemically strengthened glass production method and cleaving method

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