JP2014093107A - 光情報記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体を提供する。
【解決手段】光情報記録媒体（１）では、基板（３０）の情報記録層（２０）側の面に再生光学系の解像限界より短い長さの凹部または当該長さの凸部のうち少なくとも一方を含む凹凸形状としてプリピット群（３１）が形成されており、反射膜（２２）はシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が１６／８４以上かつ７１／２９以下である合金を含む。
【選択図】図１

Description

本発明は、情報の光学的な記録再生が可能な光情報記録媒体に関するものである。

特許文献１には、基板上に、情報記録層と、透光層とが積層され、開口数０．８４以上かつ０．８６以下の対物レンズを介して波長４００ｎｍ以上かつ４１０ｎｍ以下の再生光で再生される光情報記録媒体であって、情報記録層には、ＲＬＬ（１，７）変調方式によって、記録情報が、複数の長さを有するマーク（凹部）およびスペース（凸部）として形成されるとともに、複数の長さを有するマークおよびスペースのうちの、２Ｔマークならびに２Ｔスペースの長さが０．１２ｕｍよりも短く形成されている光情報記録媒体が開示されている。この光情報記録媒体において、情報記録層は、再生光による再生信号波形が、ＰＲ（１２２２１）ＭＬ方式にて復号され、誤り訂正されて再生されることを可能とする、少なくとも１層の薄膜からなる。

つまり、特許文献１には、所定の変調方式に従って変調されたランダムパターンによって記録された高密度な情報を超解像再生可能な光情報記録媒体が開示されている。より具体的には、所定の超解像再生膜を有し、反射膜の材料がタンタルまたはチタンからなる光情報記録媒体が開示されている。

国際公開第２００８／１４９８１４号公報（２００８年１２月１１日公開）

光情報記録媒体の反射膜の材料としては、上記のタンタルおよびチタンの他にも、アルミニウムやシリコンを挙げることができる。アルミニウム反射膜およびシリコン反射膜は、コスト面で安価であり、ＣＤ、ＤＶＤなどの光情報記録媒体では広く用いられている事が知られているため、超解像媒体で検討を行ったが、高密度ランダムパターンの再生において、再生信号特性が良くないといった問題がある。このため、光情報記録媒体の反射膜の材料としてアルミニウムおよびシリコンは、それらの合金も含めて超解像媒体の反射膜として利用が検討されていない。特に、特許文献１には、反射膜にアルミニウムまたはシリコンを利用した光情報記録媒体では、ランダムパターンによって記録された高密度な情報を超解像再生不可能であることが記載されている。

さて、今後、さらなる記録情報の高密度化が求められる中、超解像媒体においては、上記反射膜材料、タンタル、およびチタンを用いた場合、当該高密度化に伴い超解像再生に必要となる再生パワーが、さらに大きくなることが懸念されている。また、再生パワーの増大に伴い、読み取りレーザーの寿命劣化なども懸念事項として挙げられる。このため、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体が望まれている。

上記課題を受け、本発明では、より記録情報を高密度化した際に求められる再生感度の改善が可能であるとともに、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る光情報記録媒体は、再生光が入射する方向から、透光層を介し情報記録層と、基板とが、順次、配置されている光情報記録媒体であって、上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長をλ、上記再生光学系の対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、上記基板の上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴としている。

また、本発明に係る光情報記録媒体は、少なくとも、複数の情報記録層と、当該複数の情報記録層の間に形成されている中間層と、基板とを備えている光情報記録媒体であって、上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長をλ、上記再生光学系の対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、少なくとも１つの上記中間層の、上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、上記凹凸形状が形成された中間層に対して上記再生光が入射する側の上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴としている。

上記構成によれば、光情報記録媒体に入射する再生光は、再生膜および反射膜により反射される。次に、当該反射された再生光が、光情報記録媒体の外部へと出射される。

ここで、基板の再生光が入射する側の面には、再生光学系の解像限界（再生光学系の再生光の波長をλ、上記再生光学系の対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）で表される長さ）より短い長さの凹部および再生光学系の解像限界より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が形成されている。

また、情報記録層が複数存在する場合には、当該情報記録層の間に中間層が形成されており、少なくとも１つの当該中間層の再生光が入射する側の面に、凹凸形状が形成されている。

また、再生膜は、当該情報を再生光学系により再生可能とさせる。つまり、凹部および凸部が再生光学系の解像限界より短いことから、再生膜は、超解像効果を生じさせることができると言える。また、再生膜とは、後述の反射膜と組み合わせることにより超解像再生が可能になる膜を意味するとも言える。

また、情報は、所定の変調方式で凹部および凸部のうち少なくとも一方を含む凹凸形状（ランダムパターン）として情報記録層に記録されている。

また、発明者達は、光情報記録媒体の反射膜としてアルミニウムおよびシリコンの合金を用い、当該合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比を、１６／８４以上かつ７１／２９以下にすることにより、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１８％に到達する再生パワーが存在することを発見した。ここで、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１８％に到達する再生パワーが存在するということは、光情報記録媒体の再生装置が実質的に機能するために必要とする再生信号特性が得られるということを意味している。

つまり、光情報記録媒体の反射膜として当該組成比の合金を用いることにより、当該光情報記録媒体の再生装置が実質的に機能するために必要とする再生信号特性を得ることができる。また、このことは、光情報記録媒体が、実用的な再生パワーで再生できることを意味している。さらに、凹部および凸部の長さが再生光学系の解像限界より短い長さであるため、光情報記録媒体が、超解像再生できることを意味している。

すなわち、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体を提供することができる。

また、本発明に係る光情報記録媒体は、再生光が入射する方向から、透光層を介し情報記録層と、基板とが、順次、配置されている光情報記録媒体であって、上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長が、４００ｎｍ以上かつ４１０ｎｍ以下であり、上記再生光学系の対物レンズの開口数が０．８４以上かつ０．８６以下であり、上記再生光の波長をλ、上記対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、上記基板の上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴としている。

また、本発明に係る光情報記録媒体は、少なくとも、複数の情報記録層と、当該複数の情報記録層の間に形成されている中間層と、基板とを備えている光情報記録媒体であって、上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長が、４００ｎｍ以上かつ４１０ｎｍ以下であり、上記再生光学系の対物レンズの開口数が０．８４以上かつ０．８６以下であり、上記再生光の波長をλ、上記対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、少なくとも１つの上記中間層の、上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、上記凹凸形状が形成された中間層に対して上記再生光が入射する側の上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴としている。

上記構成によっても、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体を提供することができる。

また、上記原子量組成比が、２５／７５以上かつ５３／４７以下であることが、より好ましい。

ここで、発明者達は、上記原子量組成比を、２５／７５以上かつ５３／４７以下することにより、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１５．５％に到達する再生パワーが存在することを発見した。また、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１５．５％に到達する再生パワーが存在するということは、光情報記録媒体の再生装置の各種マージンが向上するような再生信号特性が得られるということを意味している。つまり、当該光情報記録媒体の再生装置の各種マージンが向上し、より信頼性の高い光情報記録媒体を提供することが可能となる。

ここで、各種マージンとは、例えば再生パワーマージンやチルトマージンなどを意味している。つまり、上述のように各種マージンが向上することにより、例えば再生装置が持つ再生パワーやチルトのばらつきに対し、より信頼性の高い光情報記録媒体を提供することが可能となるとも言える。あわせて、より広いマージンを確保できる事は、品質維持が容易にでき生産品質向上にもつながるため、余計な不良品の発生を抑制できることから、コスト低減にも寄与できると言える。

すなわち、光情報記録媒体の反射膜として当該組成比の合金を用いることにより、当該光情報記録媒体の再生装置の各種マージンが向上するような再生信号特性を得ることができる。また、このことは、光情報記録媒体が、より実用的な再生パワーで再生でき、再生パワーやチルトのばらつきに対して、光情報記録媒体の信頼性が、より高くなることを意味している。さらに、凹凸形状のうち少なくとも一方の長さが再生光学系の解像限界より短い長さであるため、光情報記録媒体が、超解像再生できることを意味している。

したがって、より実用的な再生パワーで超解像再生が可能な、より信頼性の高い光情報記録媒体を提供することが可能になる。

また、上記再生膜が、金属酸化物であることが好ましい。

ここで、金属酸化物からなる再生膜は、蒸着法やスパッタ法などに代表される薄膜形成が可能である方式であればよく、容易に形成することができる。すなわち、光情報記録媒体を安価に製造することができる。

また、上記金属酸化物が、酸化亜鉛であることがより好ましい。

ここで、酸化亜鉛は比較的安価な材料である。すなわち、酸化亜鉛からなる再生膜を用いることにより、光情報記録媒体をさらに安価に製造することができる。

本発明に係る光情報記録媒体は、以上のように、再生光が入射する方向から、透光層を介し情報記録層と、基板とが、順次、配置されている光情報記録媒体であって、上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長をλ、上記再生光学系の対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、上記基板の上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴としている。

また、本発明に係る光情報記録媒体は、少なくとも、複数の情報記録層と、当該複数の情報記録層の間に形成されている中間層と、基板とを備えている光情報記録媒体であって、上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長をλ、上記再生光学系の対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、少なくとも１つの上記中間層の、上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、上記凹凸形状が形成された中間層に対して上記再生光が入射する側の上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴としている。

また、本発明に係る光情報記録媒体は、再生光が入射する方向から、透光層を介し情報記録層と、基板とが、順次、配置されている光情報記録媒体であって、上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長が、４００ｎｍ以上かつ４１０ｎｍ以下であり、上記再生光学系の対物レンズの開口数が０．８４以上かつ０．８６以下であり、上記再生光の波長をλ、上記対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、上記基板の上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴としている。

また、本発明に係る光情報記録媒体は、少なくとも、複数の情報記録層と、当該複数の情報記録層の間に形成されている中間層と、基板とを備えている光情報記録媒体であって、上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長が、４００ｎｍ以上かつ４１０ｎｍ以下であり、上記再生光学系の対物レンズの開口数が０．８４以上かつ０．８６以下であり、上記再生光の波長をλ、上記対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、少なくとも１つの上記中間層の、上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、上記凹凸形状が形成された中間層に対して上記再生光が入射する側の上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴としている。

それゆえ、より記録情報を高密度化した際に求められる再生感度の改善が可能であるとともに、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体を提供することができるという効果を奏する。

本発明に係る光情報記録媒体の構造を示す断面図である。 図１の光情報記録媒体の基板が情報記録層と接している面を示す斜視図である。

以下では、図１〜２および表１〜２を参照して、所定の原子量組成比のアルミニウムおよびシリコンの合金を含む反射膜を用いた光情報記録媒体について説明する。

＜光情報記録媒体１の構成＞
図１は、本発明に係る光情報記録媒体の構造を示す断面図である。図１に示すように、光情報記録媒体１は、再生レーザ光（再生光）２が入射する方向から、大きく分けて、透光層１０と、情報記録層２０と、基板３０とが、この順番に配置されている。また、情報記録層２０は、透光層１０側に位置している再生膜２１と、基板３０側に位置している反射膜２２とからなっている。

（再生レーザ光２）
再生レーザ光２は、光情報記録媒体１に入射させて、これに応じた光情報記録媒体１からの反射光を観測することにより、光情報記録媒体１に記録された情報を読み取る（再生する）ために利用される。光情報記録媒体１に入射した再生レーザ光２は、透光層１０を透過し、再生膜２１および反射膜２２により反射される。このとき、情報記録層２０表面の凹凸形状の有無によって、入射光量に対して反射される光量には、変化が生じる。凹凸形状の深さ、あるいは高さは、再生レーザ光２の波長に対し反射する光量を、減衰する様な形状に設計されており、凹凸形状の長さによって光量の減衰を時間的に変化させるように設計されている。反射光は、再び透光層１０を透過し、光情報記録媒体１の外部へと出射する。当該出射した再生レーザ光２の反射光量の減衰の有無、および減衰の時間的な長さを観測することにより、光情報記録媒体１に記録された情報を読み取る（再生する）ことができる。

再生レーザ光２を生成する再生光学系は、波長が略４０５ｎｍであるレーザ光と、開口数が略０．８５である対物レンズとからなることが好ましい。本実施の形態では、波長が４０５ｎｍであるレーザ光と、開口数が０．８５である対物レンズとからなる再生光学系を用いるが、これに限定されるわけではない。例えば、上記波長は、４００ｎｍ以上かつ４１０ｎｍ以下であっても良い。また、上記開口数は、０．８４以上かつ０．８６以下であっても良い。

（透光層１０）
透光層１０は、光情報記録媒体１の表面を保護するとともに、再生レーザ光２を受け入れて透過するための層である。ここで、再生レーザ光２は、上述のように、光情報記録媒体１に記録された情報を読み取るために、まず、透光層１０側から光情報記録媒体１に照射される。つまり、透光層１０の表面側（情報記録層２０と対向していない面の側）が光情報記録媒体１の光入射面となる。

ここで、透光層１０の厚さは１００ｕｍ程度であることが好ましい。しかしながら、この膜厚に限定されるわけではなく、再生レーザ光２を照射する光学系に応じて適宜選択可能である。

また、透光層１０は、透明基板であっても良い。さらに、透光層１０は、例えば、ポリカーボネートフィルムおよびこれを接着する透明粘着樹脂層の２層からなっていても良い。また、透光層１０は、例えば、紫外線硬化樹脂の１層からなっていても良い。しかしながら、透光層１０は、これらの材料または層数に限定されるわけではなく、再生レーザ光２を透過できるものであれば、どのような材料および層数であっても良い。上述の如く、透光層１０に求められる特性としては、再生レーザ光２が透光層１０を透過する際に、透光層１０を構成する材料に起因して減衰や散乱などにより、光学的に再生レーザ光２の透過を阻害しないことが挙げられる。つまり、透光層１０は、透過率の高い材料からなること好ましいが、このような材料に特に限定されるわけではない。

さらに、透光層１０は、表面側である光入射面に、ハードコートなどの保護膜が設けられていても良い。

（情報記録層２０）
情報記録層２０は、後述するプリピット群（凹凸形状）３１の形式にて情報が記録されている層であって、透光層１０を透過した再生レーザ光２を受け入れて、当該プリピット群に応じた再生レーザ光２を再び透光層１０の側へと反射するための層である。ここで、情報記録層２０は、上述のように、透光層１０側に位置している再生膜２１と、基板３０側に位置している反射膜２２とからなっている。

なお、情報記録層２０は、上述の構成に限定されるわけではない。例えば、情報記録層２０と別の情報記録層とがさらに積層されて、多層構造となっていても良い。この場合、各情報記録層は、互いに異なる情報を記録していても良く、異なる凹凸形状の形式にて情報が記録されていても良い。つまり、各情報記録層は、異なる凹凸形状を有していても良い。

また、情報記録層を積層する場合には、各情報記録層の間に、各情報記録層を分離する中間層を備えていても良い。さらに、当該中間層は、凹凸形状を有していても良い。

つまり、光情報記録媒体１は、少なくとも、複数の情報記録層２０と、２つの情報記録層２０の間に形成されている中間層と、基板３０とを備えており、凹凸形状が、少なくとも１つの上記中間層の、上記再生レーザ光２が入射する側の面に形成されており、上記凹凸形状が形成された中間層に対して上記再生レーザ光２が入射する側の上記情報記録層２０が、再生膜２１と、反射膜２２とを含んでいても良い。

（基板３０）
基板３０は、情報記録層２０と、情報記録層２０を介して透光層１０とを支持するための層である。また、基板３０の情報記録層２０側の面には、後述する再生光学系の解像限界より短い複数の長さのマーク（凹部）および再生光学系の解像限界より短い複数の長さのスペース（凸部）のうちの少なくとも一方として配列されているプリピットが複数組み合わさっているプリピット群（凹凸形状）３１が形成されている。

図２は、図１の光情報記録媒体の基板が情報記録層と接している面を示す斜視図である。図２に示すように、基板３０の表面には、上述のプリピット群３１が形成されている。これにより、プリピット群３１が形成されている面に配置されている情報記録層２０にも、プリピット群３１が転写された状態となっている。したがって、情報記録層２０（より詳しくは、後述するように反射膜２２）は、情報を記録した状態になっていると言える。

換言するならば、凹凸形状は、上記基板３０の上記再生レーザ光２が入射する側の面に形成されている。

なお、情報記録層２０と別の情報記録層とをさらに積層して多層構造とする場合には、情報記録層２０に上述の中間層を積層し、別の情報記録層を当該中間層にさらに積層することにより、中間層に形成されている凹凸形状を転写させ、複数の情報記録層に情報を記録する構成としても良い。

つまり、再生光学系の解像限界より短い長さの凹部および再生光学系の解像限界より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状としてプリピット群３１が、基板３０の情報記録層２０側の面に形成されている。換言するならば、情報は、所定の変調方式で凹部および凸部のうち少なくとも一方を含む凹凸形状（ランダムパターン）として情報記録層２０に記録されていると言える。

すなわち、情報記録層２０は、再生レーザ光２によって、当該転写されたプリピット群３１として記録されている情報を読み出すことのみが可能な再生専用の情報記録（ＲＯＭ；Read Only Memory）層であると言える。

さて、基板３０は、透明であっても良いし、不透明であっても良い。光情報記録媒体として必要な、剛性や精度を保持できる材料であればよく基板３０を構成する材料は、例えば、ガラス、ポリカーボネート樹脂、圧縮可能な他の樹脂、金属など、またはそれらの組合せであっても良い。コスト、生産性の観点からはポリカーボネート樹脂である事が好ましい。しかしながら、これらの材料に限定されるわけではない。

また、上述の中間層は、例えば、透明紫外線硬化樹脂（再生光波長における屈折率１．５０）からなっても良い。しかしながら、中間層の材料は、これに限られたものではなく、再生光の波長において透過率が高い材料であれば良い。

（プリピット群３１）
プリピット群３１は、光情報記録媒体１に記録する情報に対応した凹凸形状であるプリピットから形成されることにより、当該情報を記録するためのパターンである。プリピットの形状は、上述の如く、再生レーザ光２の波長に対し、反射光量を減衰させるような、深さ、あるいは高さになるよう設計されている事が好ましいが、これに限定されるものではない。

また、プリピット群３１は、当該情報が所定の変調方式によって変調されることにより、複数の長さを有するマークおよびスペースとして表現されているものである。ここで、プリピット群３１には、プリピットが同心円状またはスパイラル状に形成されている。

さて、所定の変調方式とは、例えば、ＲＬＬ（１，７）変調方式や、ＥＴＭ（８／１２）変調方式などをあげることができる。本実施の形態では、前者のＲＬＬ（１，７）変調方式を用いている。以下では、ＲＬＬ（１，７）変調方式について説明する。

（ＲＬＬ（１，７）変調方式）
ＲＬＬ（１，７）変調方式は、広く普及した製品との互換性が高い変調方式である。例えば、当該変調方式は、現在広く普及しているＢｌｕ−ｒａｙ Ｄｉｓｃ（ＢＤ）にも採用されている。

本実施の形態にて用いているＲＬＬ（１，７）変調方式では、チャンネルビット長をＴ（ｎｍ）とすると、最短マーク長は２Ｔとなり、最長マーク長は８Ｔとなる。

また、所定の変調方式によって複数の長さを有するマークおよびスペースとして形成されたピットパターンによる情報記録では、主にマークエッジ記録方式（ピットの両端位置に“１”または“０”の情報を持たせる方式）を採用している。一方、単一の長さを有するマークとして形成されたパターン（いわゆるモノトーンパターン）による情報記録にて採用される方式としては、マークポジション方式（ピットの中央位置に“１”または“０”の情報を持たせる方式）が存在する。ここで、マークエッジ記録方式は、マークポジション方式より、記録できる情報の容量を向上させることが可能であることが知られている。

上述のように、記録できる情報の容量は、変調方式または記録方式によって変化するが、上述のマーク長によっても変化する。例えば、マーク長が短ければ短いほど、記録できる情報の密度を向上させることができる。しかしながら、当該長さは限りなく短くできるわけではなく、一般に、再生光学系の解像限界によって制限され得る。以下では、再生光学系の解像限界について説明する。

（再生光学系の解像限界）
再生光学系の再生光の波長をλ、再生光学系が備える対物レンズの開口数をＮＡとする。このとき、再生光学系の解像限界は、λ／（４ＮＡ）で表すことができる。例えば、再生光の波長が４０５ｎｍであるとともに、対物レンズの開口数が０．８５である再生光学系において、当該再生光学系の解像限界は、０．１２ｕｍとなる。

本実施の形態においても、再生光の波長が同波長であり同開口数を有する対物レンズを備えた再生光学系を利用している。しかしながら、本発明においては、最短のマークの２Ｔの長さが、当該再生光学系の解像限界である０．１２ｕｍより短くなっている。つまり、本発明に係る光情報記録媒体１では、再生光学系の解像限界を超えて、情報を高密度に記録していると言える。さらに、本発明に係る光情報記録媒体１では、再生光学系の解像限界を超えて情報を再生（超解像再生）していると言える。

（再生膜２１）
再生膜２１は、情報記録層２０の一部に含まれる膜である。

ここで、再生膜２１は、プリピット群３１として再生光学系の解像限界を超えて高密度に記録された情報を、再生可能とし得る。つまり、再生膜２１は、超解像効果を生じさせることができると言える。例えば、再生膜２１の中で、再生レーザ光２の光源波長λにおける複素屈折率が、熱によって変化することにより、再生レーザ光２によるビームスポットが擬似的に縮小して、当該超解像効果が生じても良い。

さて、再生膜２１は、例えば、金属酸化物からなっていても良い。このような金属酸化物からなる再生膜２１は、蒸着法やスパッタ法などに代表される薄膜形成方法であればよく、容易に形成することができる。さらに、当該金属酸化物は、例えば、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化セリウム、チタン酸ストロンチウムなどであっても良い。特に、酸化亜鉛は比較的安価な材料であるため、酸化亜鉛からなる再生膜２１を用いることにより、光情報記録媒体１を安価に製造することができる。よって、再生膜２１は、酸化亜鉛からなることが、より好ましい。しかしながら、再生膜２１の材料は、このような材料に限定されるわけではない。

また、再生膜２１の膜厚は、例えば、３５〜８０ｎｍ程度であることが好ましい。しかしながら、この範囲の膜厚に限定されるわけではなく、上述の材料の如何によって変化し得る。このため、再生膜２１として使用する材料に従って、膜厚を調整しても良い。

（反射膜２２）
反射膜２２は、情報記録層２０の一部に含まれる膜であって、再生レーザ光２を反射するための膜である。また、反射膜２２の再生膜２１側の面には、プリピット群３１と略同一のプリピット群３２が存在する。ここで、反射膜２２は、主にアルミニウムおよびシリコンの合金を含んでいるとともに、当該合金の、シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下である。

さて、反射膜２２は、再生膜２１を透過した再生レーザ光２の反射のみに寄与しているわけではない。つまり、反射膜２２は、超解像再生にも寄与し得る。以下では、反射膜２２が、超解像再生に寄与することについて説明する。

まず、反射膜２２は、再生レーザ光２を１００％反射するのではなく、そのエネルギーの一部を吸収する。これにより、反射膜２２自体が昇温する。当該昇温による熱は、再生膜２１に伝わる。ここで、上述のように、再生膜２１の中で、再生レーザ光２の光源波長λにおける複素屈折率が、熱によって変化することにより、再生レーザ光２によるビームスポットが擬似的に縮小して超解像効果が生じ得る。つまり、反射膜２２は、再生レーザ光２が有するエネルギーの一部を吸収し、熱として再生膜２１へ伝えることにより、再生膜２１において複素屈折率を変化させ、超解像再生に寄与し得る。

（アルミニウムおよびシリコンの合金の詳細）
上述のように、反射膜２２は、アルミニウムおよびシリコンの合金を含んでいる。以下では、当該アルミニウムおよびシリコンの合金の詳細について説明する。

まず、反射膜２２は、少なくともアルミニウムおよびシリコンを主とした、アルミニウムおよびシリコンの合金を含んでおり、当該合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比は、１６／８４以上かつ７１／２９以下である。このような組成の反射膜２２を用いることにより、後述のように、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体１を提供することができる。また、これにより、再生レーザ光２による情報再生において、レーザ光の出力を抑えることが可能となるため、消費電力も抑えることができるようになる。さらに、これにより、再生レーザ光２の出力が抑えられ、再生レーザ光２による再生光学系へのダメージを抑えることができる。

また、上述の組成比は、２５／７５以上かつ５３／４７以下であることが、より好ましい。このような組成の反射膜２２を用いることにより、後述のように、より実用的な再生パワーで超解像再生が可能な、より信頼性の高い光情報記録媒体１を提供することができる。

これは、光情報記録媒体１の再生装置の各種マージンが向上するような再生信号特性が得られるということを意味している。

ここで、各種マージンとは、例えば再生パワーマージンやチルトマージンなどを意味している。つまり、上述のように各種マージンが向上することにより、例えば再生装置が持つ再生パワーやチルトのばらつきに対し、より信頼性の高い光情報記録媒体１を提供することが可能となるとも言える。

なお、反射膜２２の材料には、上述の条件を満たす合金であれば、アルミニウムおよびシリコン以外の元素が含まれていても良い。例えば、酸素、窒素や他の金属元素が含まれても良い。

従来においては、光情報記録媒体の反射膜の材料としてアルミニウムおよびシリコンの合金は検討されていなかった。なぜならば、アルミニウム反射膜およびシリコン反射膜は、高密度ランダムパターンの再生において、再生信号特性が良くないといった問題があったため、それらの合金についても再生信号特性が良くないと考えられていたからである。

＜反射膜の組成比を変化させる実験＞
以下では、反射膜の組成比を変化させる実験の詳細とその結果を示し、本発明に係る光情報記録媒体１を用いることにより、実用的な再生パワーで超解像再生が可能となることを説明する。

まず、本実験においては、光情報記録媒体を模した複数の試料を準備している。また、評価装置を用いて、各試料について再生信号特性を評価している。

（評価装置）
一般的なＢＤ用評価装置であるパルステック製ＯＤＵ−１０００（再生光学系：再生光波長（λ）４０５ｎｍ、開口数（ＮＡ）０．８５）と、ｉ−ＭＬＳＥ（Integrated-Maximum-Likelihood-Sequence-Error-Estimation）を計測するための装置であるパルステック製ＳＤ３を用いている。つまり、本評価装置における再生光学系の解像限界は、０．１２ｕｍである。

（ｉ−ＭＬＳＥ）
ｉ−ＭＬＳＥとは、高密度な記録情報の再生信号特性を評価するための指標の１つである。ここで、ｉ−ＭＬＳＥは、小さな値を示す程再生信号特性が良くなることを意味する。また、従来の評価指標であるジッタと似たような評価が可能となる指標であると言える。

本実験における評価指標のｉ−ＭＬＳＥは、復号方式としてＰＲ（１２２２１）ＭＬを用いている。以下では、当該復号方式について説明する。

まず、ＰＲＭＬ復号について説明する。近年、光情報記録媒体の高密度化が進み、ＢＤ−ＲＯＭのような非超解像媒体であっても、ＰＲＭＬ（Partial Response Maximum Likelihood）復号を用いた記録情報の再生が事実上必須となっている。このため、最近の記録情報が高密度である光情報記録媒体においては、ＰＲＭＬ復号方式が一般的に用いられている。当該ＰＲＭＬ復号の一例として、汎用性の高いＰＲ（１２２２１）ＭＬなどが挙げられる。

（試料）
光情報記録媒体１を模した、複数の試料により実験を行っている。まず、当該試料は、ＲＬＬ（１，７）変調方式で変調されたプリピット群が形成されている、１．１ｕｍ厚のポリカーボネート基板を備えている。ここで、当該変調方式は、ＢＤで採用されている変調方式である。

次に、上述した最短マーク長２Ｔについて説明する。まず、本実験の各試料において、当該最短マーク長２Ｔは８４ｎｍである。ここで、従来のＢＤ−ＲＯＭ（Blu-ray Disc Read Only Memory）においては、最短マーク長は１４９ｎｍであって、２５ＧＢの容量（単層）を有している。これらの数値から、各試料における線密度をＢＤ−ＲＯＭに換算した場合、およそ４５ＧＢの容量を有することになる。つまり、各試料は、従来の非超解像媒体（２Ｔ≧０．１２ｕｍ）であるＢＤ−ＲＯＭより高密度である。さらに、各試料は、特許文献１に記載されている、ＢＤ−ＲＯＭ換算で線密度４０ＧＢに相当する光情報記録媒体よりも、高密度である。

さて、各試料の透光層として、１００ｕｍの透明樹脂層を用いている。また、各試料の再生膜として酸化亜鉛からなる膜を用いている。また、各試料の反射膜として、シリコン（アルミニウムを含まない）、シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が５／９５，１６／８４，２５／７５，３３／６７，５３／４７，７１／２９，９３／７であるアルミニウムおよびシリコンの合金、アルミニウム（シリコンを含まない）を含む膜を用いている（試料Ａ〜Ｉ）。

ここで、アルミニウムおよびシリコンの合金における、シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比の分析は、断面試料のＥＤＸ組成分析にて行っている。具体的には、各資料に対してＦＩＢ加工を行い、厚さ１００ｎｍ程度まで薄片化した断面試料を作製し、次に、走査透過電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ製 HF-2000）および元素分析装置（NORAN製 VOYAGER III M3100）を使用して、断面試料の反射膜の膜厚方向中央部に対し、加速電圧２００ｋＶ、ビーム径約１ｎｍφの電子ビームを照射することで、エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ）の点分析を行っている。

また、上述の酸化亜鉛からなる再生膜ならびにアルミニウムおよびシリコンの合金を含む反射膜は、芝浦エレテック製スパッタ装置ＣＦＳ−８ＥＰ−５５成膜装置にて成膜している。また、各試料において、再生膜の膜厚は、資料Ａ：８０ｎｍ、資料Ｂ：７０ｎｍ、資料Ｃ：６０ｎｍ、資料ＤおよびＥ：４５ｎｍ、資料Ｆ：４０ｎｍ、資料ＧおよびＨ：３５ｎｍ、資料Ｉ：５０ｎｍであり、反射膜の膜厚は、資料Ｃ：８ｎｍ、資料Ｃ以外の資料：６ｎｍとなるように成膜している。

（その他の実験条件）
上述の評価装置において、各試料の再生速度は、５．４６ｍ／ｓとしている。これは、ＢＤ−ＲＯＭの基準線速（クロック周波数６６ＭＨｚに相当）に対して、２倍の速さの線速（クロック周波数１３２ＭＨｚ）に相当している。

（実験結果）

表１は、各試料のシリコン（Ｓｉ）に対するアルミニウム（Ａｌ）の組成比と、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１８％に到達する最小再生レーザパワーの数値を示した表である。ここで、当該再生レーザパワーの数値が「×」と記載されている試料では、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１８％に到達し得る再生レーザパワーが存在せず、記録情報を再生できなかったことを示している。ここで、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１８％（再生装置が実質的に機能するために必要とする再生信号特性であるｉ−ＭＬＳＥ値）に到達する再生レーザパワーが存在するということは、光情報記録媒体の再生装置が実質的に機能するために必要とする再生信号特性が得られるということを意味している。

さて、表１に示すように、シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下である場合には、上述の再生レーザパワーが存在していることが分かる。つまり、当該組成比を有する反射膜を用いることにより、光情報記録媒体の再生装置が実質的に機能するために必要とする再生信号特性が得られる。すなわち、従来より高密度（線密度４５ＧＢ相当）な記録情報の容量を有する光情報記録媒体において、実用的な再生パワーで超解像再生が可能となる。

なお、上述のように、アルミニウムを含まないシリコンを含む反射膜、アルミニウムの含有量が少ないシリコンおよびアルミニウムの合金を含む反射膜（シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が５／９５）、シリコンの含有量が少ないシリコンおよびアルミニウムの合金を含む反射膜（シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が９３／７）、およびシリコンを含まないアルミニウムを含む反射膜を用いている試料Ａ、Ｂ、Ｈ、Ｉにおいては、上述の再生レーザパワーが存在していない。つまり、当該試料を用いた場合には、光情報記録媒体の再生装置が実質的に機能するために必要とする再生信号特性が得られず、高密度情報を再生することは不可能であると言える。

以下では、さらに小さいｉ−ＭＬＳＥ閾値を設定した場合の実験結果について説明する。なお、表１と同様の記載について、以下では説明を省略している。

表２は、各試料のシリコンに対するアルミニウムの組成比と、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１５．５％に到達する最小再生レーザパワーの数値を示した表である。ここで、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１５．５％に到達する再生レーザパワーが存在するということは、光情報記録媒体の再生装置の各種マージンが向上するような再生信号特性が得られるということを意味している。また、各種マージンとは、上述のように、例えば再生（レーザ）パワーマージンやチルトマージンなどを意味している。つまり、この場合、上述のように各種マージンが向上することにより、例えば再生装置が持つ再生パワーやチルトのばらつきに対し、より信頼性の高い光情報記録媒体を提供することが可能となると言える。

さて、表２に示すように、シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、２５／７５以上かつ５３／４７以下である場合には、上述の再生レーザパワーが存在していることが分かる。つまり、当該組成比を有する反射膜を用いることにより、光情報記録媒体の再生装置の各種マージンが向上するような再生信号特性が得られる。すなわち、従来よりも高密度（線密度４５ＧＢ相当）な記録情報の容量を有する光情報記録媒体において、より実用的な再生パワーで超解像再生が可能となり、より信頼性を高くすることができる。

なお、上述のように、アルミニウムを含まないシリコンを含む反射膜、アルミニウムの含有量が少ないシリコンおよびアルミニウムの合金を含む反射膜（シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が５／９５〜１６／８４）、シリコンの含有量が少ないシリコンおよびアルミニウムの合金を含む反射膜（シリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が７１／２９〜９３／７）、およびシリコンを含まないアルミニウムを含む反射膜を用いている試料Ａ〜ＣおよびＧ〜Ｉにおいては、上述の再生レーザパワーが存在していない。つまり、当該試料を用いた場合には、光情報記録媒体の再生装置の各種マージンが向上するような再生信号特性は得られないと言える。

＜光情報記録媒体１の効果＞
以上のように、光情報記録媒体１によって、反射膜２２としてアルミニウムおよびシリコンの合金を用い、当該合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比を、１６／８４以上かつ７１／２９以下とすることにより、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１８％に到達する再生パワーを得ることができる。つまり、光情報記録媒体１の再生装置が実質的に機能するために必要とする再生信号特性を得ることができる。また、このことは、光情報記録媒体１が、実用的な再生パワーで再生できることを意味している。さらに、マークおよびスペースのうちの少なくとも一方の長さが再生光学系の解像限界より短い長さであるため、光情報記録媒体１が、超解像再生できることを意味している。

すなわち、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体１を提供することができる。

また、上記原子量組成比を、２５／７５以上かつ５３／４７以下とすることにより、ｉ−ＭＬＳＥ閾値１５．５％に到達する再生パワーを得ることができる。つまり、光情報記録媒体１の再生装置の各種マージンが向上するような再生信号特性を得ることができる。また、このことは、光情報記録媒体１が、より実用的な再生パワーで再生でき、再生パワーやチルトのばらつきに対して、光情報記録媒体１の信頼性が、より高くなることを意味している。さらに、マークおよびスペースのうちの少なくとも一方の長さが再生光学系の解像限界より短い長さであるため、光情報記録媒体が、超解像再生できることを意味している。

したがって、より実用的な再生パワーで超解像再生が可能な、より信頼性の高い光情報記録媒体１を提供することができる。

以上をまとめると、組成比を限定したアルミニウムおよびシリコンの合金を含む反射膜２２を用いることで、より記録情報を高密度化した際に求められる再生感度の改善が可能であるとともに、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体１を提供することができると言える。

＜本発明の技術的意義＞
まず、本発明は、反射膜としてアルミニウムおよびシリコンの合金を用い、当該合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比を、１６／８４以上かつ７１／２９以下の範囲（第１の範囲）にすることにより、実用的な再生パワーで超解像再生が可能な光情報記録媒体を提供することができるという効果を奏する。また、本発明は、上記原子量組成比が第１の範囲から外れる場合には、当該効果を奏し得ない。

つまり、第１の範囲における最小値および最大値は、臨界的意義を有していると言える。

次に、本発明は、上記原子量組成比を２５／７５以上かつ５３／４７以下の範囲（第２の範囲）にすることによって、より実用的な再生パワーで超解像再生が可能な、より信頼性の高い光情報記録媒体を提供することができるという効果を奏する。また、本発明は、上記原子量組成比が第２の範囲から外れる場合には、当該効果を奏し得ない。

つまり、第２の範囲における最小値および最大値についても、臨界的意義を有していると言える。

本発明の発明者達は、実験を繰り返し、当該実験結果を分析することにより上記事実を発見した。

一方、従来においては、アルミニウム反射膜およびシリコン反射膜において、上記事実は確認できず、上記効果も見出せなかった。このため、光情報記録媒体の反射膜の材料としてアルミニウムおよびシリコンは、それらの合金も含めて利用が検討されてこなかった。

よって、本発明に係る光情報記録媒体は、従来において開示も示唆もされていない独自の構成を有しており、従来技術と比べ有利な効果を奏するという技術的意義を有していると言える。それゆえ、本発明に係る光情報記録媒体は、従来技術から容易には想到できないものである。

〔付記事項〕
以上では、透光層１０と、情報記録層２０（再生膜２１、反射膜２２）と、基板３０とを備えた光情報記録媒体１について説明した。しかしながら、本発明に係る光情報記録媒体１は、保護膜や熱調整膜などの他の構成部材をさらに備えても良い。

また、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

さらに、本発明は、記録の方式および記録容量の大きさを問うものではない。よって、光情報記録媒体１の構成を、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）、ＤＶＤ−ＲＯＭ（Digital Versatile Disc Read Only Memory）、ＢＤ−ＲＯＭ（Blu-ray Disc Read Only Memory）、ＨＤ ＤＶＤ−ＲＯＭ（High Definition Digital Versatile Disc Read Only Memory）などの光学読取式のディスクなど、種々の光ディスクに適用することが可能である。また、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、ＢＤ−Ｒ、ＨＤ ＤＶＤ−Ｒ、およびＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＢＤ−ＲＥ、ＨＤ ＤＶＤ−ＲＷ、ＣＤ＋ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＨＤ ＤＶＤ−ＲＡＭなどの追記可能または書き換え可能な光情報記録媒体などに、本実施の形態の再生膜２１、反射膜２２を適用することで、本願技術を適用することも可能である。例えば、再生レーザ光２の入射側から順に、再生膜２１、反射膜２２に加えて、追記可能または書き換え可能な記録膜を設ける構成とすることも可能である。また、反射膜２２が、上記追記可能または書き換え可能な記録膜の役割を兼ねる構成とすることも可能である。

本発明は、超解像再生を行うための光情報記録媒体に関連する産業分野に好適に用いることができる。

１ 光情報記録媒体
２ 再生レーザ光（再生光）
１０ 透光層
２０ 情報記録層
２１ 再生膜
２２ 反射膜
３０ 基板
３１ プリピット群（凹凸形状）

Claims (7)

1. 再生光が入射する方向から、透光層を介し情報記録層と、基板とが、順次、配置されている光情報記録媒体であって、
   上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長をλ、上記再生光学系の対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、上記基板の上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、
   上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、
   上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、
   上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、
   上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴とする光情報記録媒体。
2. 少なくとも、複数の情報記録層と、当該複数の情報記録層の間に形成されている中間層と、基板とを備えている光情報記録媒体であって、
   上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長をλ、上記再生光学系の対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、少なくとも１つの上記中間層の、上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、
   上記凹凸形状が形成された中間層に対して上記再生光が入射する側の上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、
   上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、
   上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、
   上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴とする光情報記録媒体。
3. 再生光が入射する方向から、透光層を介し情報記録層と、基板とが、順次、配置されている光情報記録媒体であって、
   上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長が、４００ｎｍ以上かつ４１０ｎｍ以下であり、
   上記再生光学系の対物レンズの開口数が０．８４以上かつ０．８６以下であり、
   上記再生光の波長をλ、上記対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、上記基板の上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、
   上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、
   上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、
   上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、
   上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴とする光情報記録媒体。
4. 少なくとも、複数の情報記録層と、当該複数の情報記録層の間に形成されている中間層と、基板とを備えている光情報記録媒体であって、
   上記情報記録層に記録された情報を再生するための再生光学系の再生光の波長が、４００ｎｍ以上かつ４１０ｎｍ以下であり、
   上記再生光学系の対物レンズの開口数が０．８４以上かつ０．８６以下であり、
   上記再生光の波長をλ、上記対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／（４ＮＡ）より短い長さの凹部およびλ／（４ＮＡ）より短い長さの凸部のうちの少なくとも一方を含む凹凸形状が、少なくとも１つの上記中間層の、上記再生光が入射する側の面から情報として読み取り可能な状態に形成されており、
   上記凹凸形状が形成された中間層に対して上記再生光が入射する側の上記情報記録層は、少なくとも再生膜と、上記再生光を反射するための膜（反射膜）とからなり、
   上記反射膜は、少なくともアルミニウムとシリコンからなる合金であって、
   上記再生膜は、上記情報を上記再生光学系により再生可能とさせる膜であり、
   上記反射膜に用いられる、アルミニウムおよびシリコン合金のシリコンに対するアルミニウムの原子量組成比が、１６／８４以上かつ７１／２９以下であることを特徴とする光情報記録媒体。
5. 上記原子量組成比が、２５／７５以上かつ５３／４７以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の光情報記録媒体。
6. 上記再生膜が、金属酸化物であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の光情報記録媒体。
7. 上記金属酸化物が、酸化亜鉛であることを特徴とする請求項６に記載の光情報記録媒体。

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