JP2014087039A - 一方向性弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 - Google Patents
一方向性弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014087039A JP2014087039A JP2012247863A JP2012247863A JP2014087039A JP 2014087039 A JP2014087039 A JP 2014087039A JP 2012247863 A JP2012247863 A JP 2012247863A JP 2012247863 A JP2012247863 A JP 2012247863A JP 2014087039 A JP2014087039 A JP 2014087039A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrodes
- acoustic wave
- surface acoustic
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】すだれ状電極の正電極4と負電極10の電極間に電極幅がλ/8の開放型の浮き電極5と中心間距離がλ/2であり、その電極幅がλ/8幅、空隙が3λ/8の短絡型浮き電極6とその中心に電極幅がλ/8幅の浮き電極9を非対称に設置することにより、変換効率のよい、スプリアス特性の小さい、一方向性変換器を得る。
【選択図】図1
Description
この一方向性変換器を用いることにより、広い帯域幅、低損失、の弾性表面波フィルタ、弾性表面波機能素子が得られる。また、この電極を送受ともに分布的に重み付けすることによりカットオフ特性に優れた、低挿入損失のフィルタが得られる。
図.4は、図.1の構造の一方向性フィルタの実験値の特性例であり、約4dBの方向性が得られており、低損失、高効率の変換特性が得られている。また、図5は、図3の電極の一方向性特性の実験結果であり、一変換器当たり、約10dBの方向性が得られている。
実施例の1は、圧電・電歪物質基板1の表面或いは圧電薄膜基板にすだれ状電極を配置して弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受信する弾性表面波変換器及びこれを用いた電子装置において、基本動作周波数での波長をλとして、図1のように、基板1の表面に、正電極4と負電極10との間に、電極4と電極間距離がほぼλ/8でその幅がほぼλ/8のバスバー2、3には、結線されていな開放型の電極5が配置され、次に電極5とバスバー2、3には結線されていな電極幅がλ/8でその中心間隔がλ/2であり、導体薄膜7で結線された短絡の型の浮き電極6、8が、電極5と電極6との空隙がλ/8で配置され、この短絡電極の間に、電極幅がλ/8の開放型浮き電極9がほぼ中心位置に配置され、次に電極8と電極幅がλ/4の負電極10との空隙がλ/4,次に電極10と電極4との空隙がλ/4の電極を周期として、これらの電極を周期的に配置した構造の弾性表面波変換器、或いは、図2のように、電極10の後に、電極5から10までを配置した構造を1周期とし、これらの電極を周期的に配置した構造の弾性表面波変換器、或いは電極4,10,5,6,7,8,9及びそれらの空隙が、0.5倍から1.5倍の範囲にある構造の弾性表面波変換器、これらの変換器を用いた電子装置が実施例の1である。
実施例の2は、図3のように、電歪物質基板1の表面或いは圧電薄膜基板にすだれ状電極を配置して弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受信する弾性表面波変換器及びこれを用いた電子装置において、基本動作周波数での波長をλとして、基板1の表面に、その幅がλ/4の正電極4とその幅がλ/4の負電極14との間に、正電極4と電極幅がλ/8のバスバー2、3には、結線されていな開放型の電極11が空隙λ/8で配置され,次に電極11と正電極に接続されたλ/8幅の電極12が空隙がλ/8で配置され、次に正電極に接続されたλ/4幅の電極13が空隙がλ/4で配置され、次に電極13と電極幅がλ/4の負電極14との空隙がλ/4で配置された構造を周期とし、次に、負電極14と電極幅がλ/8のバスバー2、3には、結線されていな開放型の電極15が空隙λ/8で配置され,次に電極15と負電極に接続されたλ/8幅の電極16が空隙がλ/8で配置され、次に負電極に接続されたλ/4幅の電極17が空隙がλ/4で配置され、次に電極7と電極幅がλ/4の正電極4との空隙がλ./4で配置された構造を周期として、これらの電極を周期的に配置した構造の弾性表面波変換器、或いは電極4,11,12,13,14、15,16,17及びそれらの空隙が、0.5倍から1.5倍の範囲にある構造の弾性表面波変換器、これらの変換器を用いた電子装置が、実施例の2である。
、実施例の3は、特許請求範囲第1項、第2項、において、周期的構造として、正負電極間に開放型及び短絡型の浮き電極を1個、2個、3個など挿入した構造、或いは、中心付近は、1個、中心から離れるにつれて、2個、3個などと、分布させてこれらの電極を入れた構造,或いはこれらの電極の周期を変化させた構造の一方向性弾性表面波変換器、及びこの変換器を用いた電子装置が実施例の3である。
実施例の4は、特許請求の範囲、第1項、第2項、第3項において、上記の電極及び金属膜として、、Al、Cu,Mo,Au,Ag,W,Tiなどいはこれらの合金、また上記の電極上に誘電体膜として、SiO2,SiO,ZnO,LiNbO3,Ta2O5,PZT,ガラスなどの薄膜を付着させた構造のすだれ状電極弾性表面波変換器及びこれを用いた電子装置が、実施例の4である。
Claims (4)
- 圧電・電歪物質基板1の表面或いは圧電薄膜基板にすだれ状電極を配置して弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受信する弾性表面波変換器及びこれを用いた電子装置において、基本動作周波数での波長をλとして、基板1の表面に、正電極4と負電極10との間に、電極4と電極間距離がほぼλ/8でその幅がほぼλ/8のバスバー2、3には、結線されていな開放型の電極5が配置され、次に電極5とバスバー2、3には結線されていな電極幅がλ/8でその中心間隔がλ/2であり、導体薄膜7で結線された短絡の型の浮き電極6、8が、電極5と電極6との空隙がλ/8で配置され、この短絡電極の間に、電極幅がλ/8の開放型浮き電極9がほぼ中心位置に配置され、次に電極8と電極幅がλ/4の負電極10との空隙がλ/4,次に電極10と電極4との空隙がλ/4の電極を周期として、これらの電極を周期的に配置した図1のような構造の弾性表面波変換器、或いは電極10の後に、電極5から10までを配置した図2の構造を1周期とし、これらの電極を周期的に配置した構造の弾性表面波変換器、或いは電極4,10,5,6,7,8,9及びそれらの空隙が、0.5倍から1.5倍の範囲にある構造の弾性表面波変換器、これらの変換器を用いた電子装置。
- 電歪物質基板1の表面或いは圧電薄膜基板にすだれ状電極を配置して弾性表面波を励振或いは伝搬してきた弾性表面波を受信する弾性表面波変換器及びこれを用いた電子装置において、基本動作周波数での波長をλとして、基板1の表面に、その幅がλ/4の正電極4とその幅がλ/4の負電極14との間に、正電極4と電極幅がλ/8のバスバー2、3には、結線されていない開放型の電極11が空隙λ/8で配置され,次に電極11と正電極に接続されたλ/8幅の電極12が空隙がλ/8で配置され、次に正電極に接続されたλ/4幅の電極13が空隙がλ/4で配置され、次に電極13と電極幅がλ/4の負電極14との空隙がλ/4で配置された構造を周期とし、次に、負電極14と電極幅がλ/8のバスバー2、3には、結線されていな開放型の電極15が空隙λ/8で配置され,次に電極15と負電極に接続されたλ/8幅の電極16が空隙がλ/8で配置され、次に負電極に接続されたλ/4幅の電極17が空隙がλ/4で配置され、次に電極7と電極幅がλ/4の正電極4との空隙がλ/4で配置された図3の構造を周期として、これらの電極を周期的に配置した構造の弾性表面波変換器、或いは電極4,11,12,13,14、15,16,17及びそれらの空隙が、0.5倍から1.5倍の範囲にある構造の弾性表面波変換器、これらの変換器を用いた電子装置。
- 特許請求範囲第1項、第2項、において、周期的構造として、正負電極間に開放型及び短絡型の浮き電極を1個、2個、3個など挿入した構造、或いは、中心付近は、1個、中心から離れるにつれて、2個、3個などと、分布させてこれらの電極を入れた構造,或いはこれらの電極の周期を変化させた構造の一方向性弾性表面波変換器、及びこの変換器を用いた電子装置
- 特許請求の範囲、第1項、第2項、第3項において、上記の電極及び金属膜として、Al、Cu,Mo,Au,Ag,W,Tiなど或いはこれらの合金、また上記の電極上に誘電体膜として、SiO2,SiO,ZnO,LiNbO3,Ta2O5,PZT,ガラスなどの薄膜を付着させた構造のすだれ状電極弾性表面波変換器及びこれを用いた電子装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012247863A JP2014087039A (ja) | 2012-10-23 | 2012-10-23 | 一方向性弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012247863A JP2014087039A (ja) | 2012-10-23 | 2012-10-23 | 一方向性弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014087039A true JP2014087039A (ja) | 2014-05-12 |
Family
ID=50789690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012247863A Pending JP2014087039A (ja) | 2012-10-23 | 2012-10-23 | 一方向性弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014087039A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03204212A (ja) * | 1989-12-31 | 1991-09-05 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
JPH05226961A (ja) * | 1992-01-26 | 1993-09-03 | Kazuhiko Yamanouchi | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換 器及び弾性表面波機能素子 |
JP2003209458A (ja) * | 2001-03-04 | 2003-07-25 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波基板及び弾性表面波機能素子 |
JP2005278154A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-10-06 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
JP2006253784A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
US7173360B2 (en) * | 2003-10-08 | 2007-02-06 | Rf Saw Components, Inc. | Single phase undirectional surface acoustic wave transducer and improved reflectors |
-
2012
- 2012-10-23 JP JP2012247863A patent/JP2014087039A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03204212A (ja) * | 1989-12-31 | 1991-09-05 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ |
JPH05226961A (ja) * | 1992-01-26 | 1993-09-03 | Kazuhiko Yamanouchi | 浮き電極をもつ内部反射型一方向性弾性表面波変換 器及び弾性表面波機能素子 |
JP2003209458A (ja) * | 2001-03-04 | 2003-07-25 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波基板及び弾性表面波機能素子 |
US7173360B2 (en) * | 2003-10-08 | 2007-02-06 | Rf Saw Components, Inc. | Single phase undirectional surface acoustic wave transducer and improved reflectors |
JP2005278154A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-10-06 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス |
JP2006253784A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイス |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6016011474; Junfeng Zhang, et al.: 'Research on a novel SAW actuator of floating electrode unidirectional transducer' Proceedings of the 2009 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Sys , 20090105, pp.620-622, IEEE * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109004914B (zh) | 一种声表面波器件及其制备方法 | |
US7135805B2 (en) | Surface acoustic wave transducer | |
CN1902817B (zh) | 边界声波装置 | |
TWI734153B (zh) | 共振腔表面聲波(saw)濾波器 | |
JPWO2007046236A1 (ja) | ラム波デバイス | |
JP2010521114A (ja) | 指向性バルク超音波連動素子 | |
KR100397743B1 (ko) | 탄성표면파 장치 | |
JP2000323956A (ja) | 表面波装置及び通信機装置 | |
JP2005012736A (ja) | 弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 | |
CN111527698B (zh) | 具有单向转换器的表面声波器件 | |
WO2000070758A1 (fr) | Dispositif d'onde acoustique de surface | |
KR20190096425A (ko) | 탄성표면파 소자 | |
JP6333891B2 (ja) | 弾性表面波変換器、弾性表面波フィルタおよび弾性表面波フィルタの製造方法 | |
JP2014050095A (ja) | 弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 | |
JP2014087039A (ja) | 一方向性弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 | |
JP4457914B2 (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
JP4385277B2 (ja) | 弾性表面波変換器とこれを用いた電子装置 | |
JP2008079267A (ja) | 分散型すだれ状電極変換器を用いた弾性波表面波機能素子 | |
JPH03204212A (ja) | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ | |
JP3035085B2 (ja) | 一方向性弾性表面波変換器 | |
JP2006060759A (ja) | 弾性表面波共振器とこれを用いた電子装置 | |
JP2011035872A (ja) | 表面弾性波装置 | |
JP4561337B2 (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
JP4506394B2 (ja) | 一方向性弾性表面波変換器及びそれを用いた弾性表面波デバイス | |
JP2011078072A (ja) | 一方向性分散型すだれ状電極変換器を用いた弾性表面波機能素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20150320 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20150320 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150516 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150603 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160617 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170110 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170307 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170430 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170706 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180109 |