JP2014083470A - Ultraviolet irradiation device and ultraviolet irradiation method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、処理容器内に設けられる被処理物に紫外線を照射する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for irradiating an object to be processed provided in a processing container with ultraviolet rays.
紫外線は、紫外光による樹脂硬化の分野や、医療や食品分野における滅菌もしくは殺菌処理などで広く用いられている。昨今において、食の安全性や衛生面に対する人々の関心の高まりとともに、O−157をはじめとする細菌やインフルエンザウイルス等の感染予防が重要視されており、効果的に殺菌処理を施すことのできる装置が求められている。 Ultraviolet rays are widely used in the fields of resin curing with ultraviolet rays, sterilization or sterilization treatment in the medical and food fields. In recent years, along with increasing people's interest in food safety and hygiene, the prevention of infections such as O-157 and other bacteria and influenza viruses has been emphasized, and can be effectively sterilized. A device is sought.
例えば、紫外線を効率的に照射して被処理物を殺菌する装置として、チャンバー内を減圧して紫外線を照射する装置が挙げられる。このような装置では、殺菌効率を高めるため、紫外線の照射によりオゾンを発生させる機構や、処理容器内の温度および湿度を調整する機構が示されている(特許文献1、2参照)。 For example, as an apparatus for efficiently irradiating an object to be processed by irradiating ultraviolet rays, an apparatus that irradiates ultraviolet rays by reducing the pressure in the chamber can be given. In such an apparatus, in order to improve sterilization efficiency, a mechanism for generating ozone by irradiation of ultraviolet rays and a mechanism for adjusting the temperature and humidity in the processing container are shown (see Patent Documents 1 and 2).
医療や食品加工の現場では、すでに様々な機器が導入されていることが多く、スペース等の制約を考えると、装置は小型であることが求められる。日常的な場面において用いる場合においても、どこにでも設置して気軽に利用できるよう小型の装置であることが望ましい。 In the field of medical treatment and food processing, various devices have already been introduced in many cases, and the device is required to be small in consideration of space constraints. Even when used in everyday situations, it is desirable that the device is small so that it can be installed anywhere and used easily.
また、水銀ランプや紫外線LED(Light Emitting Diode)などの紫外線光源は、光源が発する熱により劣化が進む場合があり、適切に冷却しながら用いることが望ましい。この場合、光源の冷却手段もあわせて小型化できることが望ましい。 In addition, an ultraviolet light source such as a mercury lamp or an ultraviolet LED (Light Emitting Diode) may be deteriorated by heat generated by the light source, and it is desirable to use it while cooling it appropriately. In this case, it is desirable that the cooling means of the light source can be reduced in size.
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、光源を冷却する手段を簡素化した小型の紫外線照射装置の提供にある。 The present invention has been made in view of these problems, and it is an object of the present invention to provide a compact ultraviolet irradiation device in which means for cooling a light source is simplified.
上記課題を解決するために、本発明のある態様の紫外線照射装置は、被処理物を入れる処理容器と、処理容器に設けられ、被処理物に紫外線を照射する光源と、処理容器の内部を減圧する真空ポンプと、真空ポンプにより吸引される空気が光源を冷却するように流れる通気部と、を備える。 In order to solve the above-described problems, an ultraviolet irradiation apparatus according to an aspect of the present invention includes a processing container for storing an object to be processed, a light source for irradiating the object to be processed with ultraviolet light, and an interior of the processing container. A vacuum pump for depressurization; and a ventilation part through which air sucked by the vacuum pump cools the light source.
上記態様の紫外線照射装置によれば、真空ポンプにより処理容器の内部を減圧することにより、処理容器内の紫外線透過率を向上させることができる。また、真空ポンプにより吸引される空気により光源を冷却することができる。 According to the ultraviolet irradiation apparatus of the said aspect, the ultraviolet-ray transmittance in a processing container can be improved by decompressing the inside of a processing container with a vacuum pump. Further, the light source can be cooled by the air sucked by the vacuum pump.
上記態様の紫外線照射装置において、前記処理容器が収容される筐体をさらに備え、前記通気部は、処理容器と筐体の間の空間により形成されてもよい。 The ultraviolet irradiation apparatus according to the above aspect may further include a housing that accommodates the processing container, and the ventilation portion may be formed by a space between the processing container and the housing.
上記態様の紫外線照射装置において、前記処理容器は、被処理物を入れる投入口と、被処理物を取り出す取出口と、をさらに備え、本装置は、前記投入口と前記取出口が同時に開かないようにする安全機構を備えてもよい。 In the ultraviolet irradiation apparatus according to the above aspect, the processing container further includes an input port for receiving an object to be processed and an outlet for extracting the object to be processed, and the apparatus does not open the input port and the outlet at the same time. A safety mechanism may be provided.
上記態様の紫外線照射装置において、前記光源は、発光ダイオードであってもよい。 In the ultraviolet irradiation device of the above aspect, the light source may be a light emitting diode.
上記態様の紫外線照射装置において、前記発光ダイオードは、前記処理容器の壁一面に複数設けられてもよい。 In the ultraviolet irradiation apparatus of the above aspect, a plurality of the light emitting diodes may be provided on the entire wall of the processing container.
上記態様の紫外線照射装置において、前記通気部として、前記処理容器の壁一面に設けられる複数の発光ダイオードのそれぞれに対応する箇所を結ぶように延設されるダクトを備えてもよい。 In the ultraviolet irradiation apparatus of the above aspect, the vent may include a duct extending so as to connect portions corresponding to each of the plurality of light emitting diodes provided on the entire wall of the processing container.
本発明の別の態様は、紫外線照射方法である。この紫外線照射方法は、被処理物を入れた状態で処理容器の内部を減圧する第1減圧ステップと、処理容器に設けられる光源により被処理物に紫外線を照射する照射ステップと、第1減圧ステップによる減圧を停止する減圧停止ステップと、被処理物を入れたまま処理容器の内部に空気を採り込んで減圧を解除する解除ステップと、解除ステップに続いて、処理容器の内部を減圧する第2減圧ステップと、を備える。第1減圧ステップまたは第2減圧ステップのうち、少なくとも一方のステップにおいて、処理容器を減圧する際に吸引される空気が光源を冷却するように流れる。 Another embodiment of the present invention is an ultraviolet irradiation method. The ultraviolet irradiation method includes a first pressure reducing step for reducing the pressure inside the processing container with the processing object put therein, an irradiation step for irradiating the processing object with ultraviolet light using a light source provided in the processing container, and a first pressure reducing step. A depressurization stop step for stopping depressurization, a release step for releasing the depressurization by taking air into the processing container with the object to be processed, and a second step for depressurizing the inside of the processing container following the release step. A depressurization step. In at least one of the first decompression step and the second decompression step, air sucked when decompressing the processing container flows so as to cool the light source.
上記態様の紫外線照射方法によれば、減圧ステップにおいて吸引される空気の流れを利用して、光源を冷却することができる。また、第1減圧ステップにより処理容器内が十分に減圧され、空気を吸引できなくなった場合には、解除ステップにより処理容器内に空気を採り込んだ後、第2減圧ステップにおいて吸引される空気の流れを利用して光源を冷却することができる。したがって、紫外線を照射する光源を継続して冷却することができる。 According to the ultraviolet irradiation method of the said aspect, a light source can be cooled using the flow of the air attracted | sucked in a pressure reduction step. In addition, when the inside of the processing container is sufficiently decompressed by the first decompression step and air cannot be sucked, the air sucked in the second decompression step is taken after the air is taken into the processing container by the release step. The flow can be used to cool the light source. Therefore, it is possible to continuously cool the light source that emits ultraviolet rays.
上記態様の紫外線照射方法において、解除ステップにおいて処理容器に採り込まれる空気が光源を冷却するように流れてもよい。 In the ultraviolet irradiation method of the above aspect, the air taken into the processing container in the releasing step may flow so as to cool the light source.
本発明の紫外線照射装置によれば、光源を冷却する手段を簡素化して装置を小型化できる。 According to the ultraviolet irradiation device of the present invention, the means for cooling the light source can be simplified and the device can be miniaturized.
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In all the drawings, the same reference numerals are given to the same components, and the description will be omitted as appropriate.
(実施の形態1)
図1は、実施の形態1に係る紫外線照射装置100を示し、図2は紫外線照射装置100の内部構成を示す。紫外線照射装置100は、処理容器12の内部に入れた被処理物である医療器具や調理器具に紫外線を照射して殺菌もしくは滅菌したり、型に流し込んだ紫外線硬化樹脂を入れて紫外線を照射することで、樹脂を硬化させたりする目的に使用できる。
(Embodiment 1)
FIG. 1 shows an
紫外線照射装置100は、筐体10と、処理容器12と、光源18と、真空ポンプ22と、吸気弁24とを備える。筐体10の中に処理容器12が設けられる。
The
筐体10は、略直方体の箱型形状であり、鉄などを含む金属板で構成される。筐体10は、処理容器12の後述する出し入れ口40に対応する位置に開閉可能な扉42と、扉42の開閉状態を検知する扉センサ48を備える。
The
扉42は、閉状態において筐体10及び処理容器12の内部の気密性が保たれるように出し入れ口40を密閉する。扉42は窓46を備え、窓46は閉状態において処理容器12の内部を視認できるようガラス板などの透明材料が嵌め込まれている。なお、光源18が放射する紫外線が筐体10の外部に漏れないよう、窓46は、光源18が放射する紫外線を透過しない材料とする。
The
筐体10は、表示部30と、操作部32を備える。表示部30は、紫外線照射装置100の動作状態を表示する液晶ディスプレイである。操作部32は、紫外線照射装置100を作動させるためのスイッチなどで構成され、紫外線照射装置100の動作を開始または停止させることができる。また、操作部32により、減圧時における処理容器12の気圧や、光源18が放射する紫外線の強度、時間を設定する。
The
筐体10は、制御部28を備える。制御部28は、光源18、真空ポンプ22、吸気弁24、表示部30、操作部32、扉センサ48及び後述する気圧センサ50と電気的に接続され、これらの動作を制御するための制御信号を送受信する。制御部は、例えば、コンピュータのCPUをはじめとする素子等で実現される。
The
処理容器12は、筐体10と同様、略直方体の箱型形状であり、金属板などで構成される。外側の筐体10と内側の処理容器12で二重構造となり、筐体10と処理容器12の間の空間には、通気部20が形成される。処理容器12には被処理物を出し入れするための出し入れ口40が設けられる。出し入れ口40が設けられない面には、複数の光源18が壁一面に多数設けられる。
The
光源18は、処理容器12に複数設けられ、処理容器12に入れられた被処理物に対して紫外線を照射する。本実施の形態では、光源18として紫外線LEDを用い、その中心波長又はピーク波長が約200nm〜400nmの紫外領域に含まれるものを用いる。このような紫外線LEDとして、例えば、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)を用いたものが知られている。
A plurality of
光源18として用いる紫外線LEDは、紫外線照射装置100の使用目的に応じて中心波長又はピーク波長を適宜選択することが望ましい。例えば、殺菌もしくは滅菌用途に用いる場合には、波長260nm付近の殺菌線と呼ばれる紫外線を放射する光源を用いることが好ましい。樹脂硬化に用いる場合には、樹脂の材料などに応じて樹脂硬化に最適な波長を選択することが望ましい。
As for the ultraviolet LED used as the
処理容器12は、内部の気圧を調整するための排気孔34と、吸気孔36と、内部の気圧を検知する気圧センサ50を備える。排気孔34は、通気部20を介して真空ポンプ22に接続されており、真空ポンプ22を作動させることにより、図2の実線の矢印Xで示すように、排気孔34を通じて処理容器12の内部の空気が排気される。
The
吸気孔36は、吸気弁24に連通しており、吸気弁24を開けることにより、図2の破線の矢印Yで示すように、減圧された処理容器12の内部に吸気孔36を通じて外気を取り込み、処理容器12の減圧を解除する。吸気弁24の前には外気に含まれるチリや細菌を除去するためのフィルタ26が設けられる。
The
通気部20は、処理容器12の排気孔34と真空ポンプ22をつなぐ空間であり、真空ポンプ22を作動させて処理容器12を減圧する際に、処理容器12から排気される空気が通る道である。このとき、減圧時に吸引される空気は、光源18を冷却するように通気部20を流れる。光源18は、処理容器12の壁と熱的に接続されており、通気部20に空気の流れがあることで、処理容器12の壁を介して熱せられた空気は真空ポンプ22を通じて排気される。
The
処理容器12は、外壁に接するように設けられるヒートシンク52を備える。図3は、図2の紫外線照射装置におけるA−A線断面を示す。ヒートシンク52は、光源18と熱伝導性の高い部材により連結され、光源18が紫外線を放射する際に発生する熱が伝達され、通気部20を流れる空気が当たることで冷却される。ヒートシンク52は、光源18を効率的に冷却されるよう、処理容器12の壁を挟んで光源18と対向する位置に配置されることが望ましい。なお、ヒートシンク52は、筐体10を介して放熱できるように、筐体10と熱的に接続されてもよい。この場合、真空ポンプ22によって処理容器12の内部が減圧されることにより、次第に通気部20を流れる空気が少なくなっていくことによる放熱性の低下を抑えることができる。
The
図4は、紫外線照射装置100の電気的構成を示すブロック図である。紫外線照射装置100は、前述した光源18、真空ポンプ22、吸気弁24、制御部28、表示部30、操作部32、扉センサ48、気圧センサ50を備える。
FIG. 4 is a block diagram showing an electrical configuration of the
制御部28は、操作部32が受け付けたユーザからの入力情報を取得する。操作部32から受け付ける入力情報は、例えば、光源18が放射する紫外線の強度および時間や、減圧時における処理容器12の気圧などの設定値である。また、制御部28は、扉センサ48が検知する扉の開閉状態および気圧センサ50が測定する気圧データを定期的に取得する。
The
制御部28は、扉42が開状態であると確認した場合、安全のため光源18をオンにしない。このとき、制御部28は、扉42が開状態であるため動作を開始できない旨を表示部30に表示させたり、アラーム音を短時間発生させたりして、ユーザに注意喚起してもよい。
When the
制御部28は、扉42が閉状態であると確認した場合、光源18をオンにして、操作部32が受け付けた所定の強度で紫外線を放射させるよう光源18を制御する。制御部28は、紫外線の照射中、気圧センサ50の測定値をもとに、真空ポンプ22を作動させて処理容器12の内部を減圧し、吸気弁24を開けて減圧を解除する。このとき、制御部28は、紫外線透過率を妨げない気圧値の範囲内で減圧と解除を繰り返しながら、紫外線を照射する。設定する気圧値の範囲は使用する真空ポンプ22の性能や、必要とする紫外線照射の強度などに応じて定めることが望ましく、例えば、5〜100kPaの範囲内で上限値と下限値を設定する。
When the
なお制御部28は、紫外線の照射が完了した場合、表示部30に紫外線照射の完了を示す表示をさせたりアラーム音を発生させたりしてユーザに通知してもよい。
Note that the
以上の構成による紫外線照射装置100の動作を説明する。
図5は、紫外線照射装置100の動作を示すフローチャートである。被処理物が処理容器12に入れられた状態でユーザから動作開始の入力操作を受け付けた場合、制御部28は、扉42の扉が閉まっているかを確認する(S10)。扉42が閉まっている場合(S10のY)、光源18をオンにして紫外線照射を開始し(S12)、真空ポンプ22を作動させて処理容器12の減圧を開始する(S14)。扉42が閉まっていない場合(S10のN)、制御部28は、光源18をオンにしない。
The operation of the
FIG. 5 is a flowchart showing the operation of the
真空ポンプ22を作動させた後、処理容器12の気圧が設定値以下となり減圧が完了した場合(S16のY)、制御部28は、真空ポンプ22を停止する(S18)。減圧が完了していない場合(S16のN)、制御部28は真空ポンプ22の作動を継続する。
After the
真空ポンプ22を停止させた後、制御部28は、処理容器12の減圧を解除するため吸気弁24を開ける(S20)。吸気弁24を開けた後、処理容器12の減圧が解除されるまでは(S22のN)、吸気弁24からの外気の取り込みを継続する。処理容器12の減圧が解除された後(S22のY)、制御部28は、設定した紫外線の照射時間が経過したか否かを判断する(S24)。設定した紫外線の照射時間が経過し、紫外線の照射が完了したと判断した場合(S24のY)、光源18をオフにして紫外線照射を停止する(S26)。一方、設定した紫外線の照射時間が経過していない場合(S24のN)、照射時間が経過するまで処理容器12の減圧(S14〜S18)と減圧解除(S20、S22)を繰り返すことにより、紫外線を放射する光源18を継続して冷却する。
After stopping the
実施の形態1に係る紫外線照射装置100は、光源18として紫外線LEDを用いている。一般に、水銀ランプなどの紫外線ランプと比較して、紫外線LEDはそのサイズを小さくすることができるため、光源18として紫外線LEDを用いることで、紫外線照射装置100を小型化することができる。また、紫外線LEDを用いることで、処理容器12の壁に多数配置して設けることができ、被処理物に効果的に紫外線を照射することができる。
The
紫外線照射装置100は、紫外線を照射する際に、真空ポンプ22により処理容器12の内部を減圧する。紫外線は、その波長帯域によっては空気中の透過率が低く、空気を透過するとその強度が減衰してしまう場合がある。そこで、処理容器12を減圧することで、光源18が放射した紫外線が被処理物に達する前に減衰してしまうことを防ぐことができる。したがって、処理容器12に入れた被処理物に対して紫外線を効率良く照射することができる。
The
紫外線照射装置100は、真空ポンプ22により吸引され通気部20を流れる空気により光源18を冷却することができる。そのため、光源18の冷却手段を設けない場合と比較して、光源18の発熱による紫外線強度の低下や、光源18の劣化を抑えることができる。また、真空ポンプ22は、処理容器12を減圧させる機能を兼ね備えているため、冷却手段を別途設ける必要がなく紫外線照射装置100の小型化に寄与できる。
The
紫外線照射装置100は、真空ポンプ22により処理容器12の内部を減圧した後に、再度空気を取り込んで処理容器12の空気を吸引するため、通気部20に継続的に空気を流すことができる。これにより、光源18を継続して冷却することができる。
Since the
(実施の形態1の変形例)
図6は、変形例に係る紫外線照射装置100における通気部20の外観を示し、図7は、図6の通気部20の内部構造を示す。説明の便宜上、図7では筐体10を取り除いた状態の紫外線照射装置100を示す。
(Modification of Embodiment 1)
6 shows the appearance of the
変形例に係る紫外線照射装置100は、筐体10と処理容器12の間の空間に設けられる通気部20を構成するダクト54を備える。ダクト54は、金属板などにより構成され、処理容器12の外壁に沿うように配置される。図7に示すように、ダクト54の断面形状は、コの字型をしており、ダクト54と処理容器12の外壁とに囲まれる領域が通気部20となる。また、ダクト54は、光源18が設けられる位置に対応して処理容器12の外壁にヒートシンク52に沿って設けられ、ヒートシンク52とダクト54に囲まれる領域が通気部20となるように配置される。
The
ダクト54は、図7に示すように、複数の光源18が設けられる箇所を一筆書きで結ぶように延設されている。このようにダクト54を設けることで、真空ポンプ22により吸引される空気が通気部20を通りながら、光源18を順番に冷却していくことができる。そのため、複数設けられる光源18を効率良く冷却することができる。
As shown in FIG. 7, the
(実施の形態2)
図8は、実施の形態2に係る紫外線照射装置200の外観を示す。紫外線照射装置200は、滅菌されたアイソレータやクリーンルームに外界から薬剤や器具などを導入する際に用いられるパスボックスである。例えば、取出口70を滅菌領域と接続させ、滅菌されていない被処理物を投入口60から入れて紫外線を照射し、投入口60を閉じた状態で取出口70から被処理物を取り出して、滅菌処理が施された被処理物を導入する。以下、実施の形態1における紫外線照射装置100との相違点を中心に説明する。
(Embodiment 2)
FIG. 8 shows the appearance of the
紫外線照射装置200は、筐体58と、筐体58の中に設けられる処理容器56を備える。筐体58は、実施の形態1に係る筐体10と同様、略直方体の箱型形状であり、外側の筐体58と内側の処理容器56で二重構造となる。筐体58は、処理容器12の投入口60に対応する位置に第1扉62が設けられ、取出口70に対応する位置に第2扉72が設けられる。筐体58は、第1扉62と第2扉72のそれぞれの開閉状態を検知するための第1扉センサ68と、第2扉センサ78を備える。さらに、紫外線照射装置200は、第1扉62と第2扉72のそれぞれをロックするロック機構(図示せず)を備えており、このロック機構が安全機構として機能する。
The
処理容器56は、実施の形態1に係る処理容器12と同様、略直方体の箱型形状である。処理容器56は、実施の形態1に係る処理容器12とは異なり、四つの側面のうち、一つの面に投入口60が設けられ、投入口60が設けられる面とは別の側面に取出口70が設けられる。投入口60及び取出口70が設けられないその他の側面や、上面、下面には複数の光源18が設けられる。なお、その他の構成は、実施の形態1またはその変形例と同様の構成であるため、詳しい説明は省略する。
The
制御部は、第1扉62と第2扉72が同時に開かないようロック機構を制御する。制御部は、第1扉センサ68が第1扉62の開状態を検知した場合、第2扉72をロックする。一方、第2扉センサ78が第2扉72の開状態を検知した場合、第1扉62をロックする。
The control unit controls the lock mechanism so that the
本発明は、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施の形態も本発明の範囲に含まれうるものである。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications such as design changes can be added based on the knowledge of those skilled in the art. The form can also be included in the scope of the present invention.
通気部20は、真空ポンプ22が吸引する空気を通す以外にも、吸気弁24から取り込まれる空気が通るように設けられていてもよい。例えば、処理容器12に設けられる排気孔34を吸気孔として用い、真空ポンプ22と通気部20の接続部に吸気弁24を取り付ける。こうすることで、吸気弁24から取り込まれる空気は、通気部20を流れていき、排気孔34を通じて処理容器12に達する。このような構造とすることで、処理容器12の減圧時だけでなく、処理容器12の減圧を解除する際にも光源18を空冷することができる。
The
10…筐体、12…処理容器、18…光源、20…通気部、22…真空ポンプ、24…吸気弁、34…排気孔、36…吸気孔、28…制御部、40…出し入れ口、42…扉、56…処理容器、58…筐体、60…投入口、70…取出口、100、200…紫外線照射装置。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記処理容器に設けられ、前記被処理物に紫外線を照射する光源と、
前記処理容器の内部を減圧する真空ポンプと、
前記真空ポンプにより吸引される空気が前記光源を冷却するように流れる通気部と、
を備えることを特徴とする紫外線照射装置。 A processing container for storing an object to be processed;
A light source that is provided in the processing container and that irradiates the workpiece with ultraviolet rays;
A vacuum pump for decompressing the inside of the processing vessel;
A ventilation portion through which air sucked by the vacuum pump cools the light source;
An ultraviolet irradiation device comprising:
前記通気部は、処理容器と筐体の間の空間により形成されることを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射装置。 A housing for accommodating the processing container;
The ultraviolet irradiation device according to claim 1, wherein the ventilation portion is formed by a space between the processing container and the housing.
本装置は、前記投入口と前記取出口が同時に開かないようにする安全機構を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の紫外線照射装置。 The processing container further includes an input port for storing the object to be processed, and an outlet for extracting the object to be processed.
The ultraviolet irradiation apparatus according to claim 1, wherein the apparatus includes a safety mechanism that prevents the inlet and the outlet from being opened simultaneously.
前記処理容器に設けられる光源により前記被処理物に紫外線を照射する照射ステップと、
前記第1減圧ステップによる減圧を停止する減圧停止ステップと、
被処理物を入れたまま処理容器の内部に空気を採り込んで減圧を解除する解除ステップと、
前記解除ステップに続いて、処理容器の内部を減圧する第2減圧ステップと、
を備え、
前記第1減圧ステップまたは前記第2減圧ステップのうち、少なくとも一方のステップにおいて、処理容器を減圧する際に吸引される空気が前記光源を冷却するように流れることを特徴とする紫外線照射方法。 A first depressurizing step for depressurizing the inside of the processing container with the workpiece to be processed;
An irradiation step of irradiating the object to be processed with ultraviolet rays by a light source provided in the processing container;
A decompression stop step for stopping decompression by the first decompression step;
A release step for releasing the reduced pressure by taking air into the processing container with the object to be processed;
Subsequent to the releasing step, a second decompression step for decompressing the inside of the processing container;
With
In at least one of the first pressure reducing step and the second pressure reducing step, the air sucked when the pressure is reduced in the processing container flows so as to cool the light source.
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