JP2014059312A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
検出画素ずれおよび画素割れによる影響を回避し、概略同一の領域から発生する散乱光同士を加算可能にする欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
被検査対象物の所定の領域に照明光を照射する照明光学系と、前記照明光学系の照明光による該被検査対象物の所定の領域からの散乱光を複数画素で検出可能な検出器を備えた検出光学系と、前記検出光学系の検出器により検出した散乱光に基づく検出信号について、該被検査対象物の表面に対して垂直な方向の変動に起因する画素ずれを補正する補正部と前記補正部により補正された検出信号に基づいて該被検査対象物の表面の欠陥を判定する欠陥判定部とを備えた信号処理部と、を有する欠陥検査装置である。
【選択図】 図15
Description
の関係がある。
P=h・sinθs/tanφ ・・・(式2)
となる。
(a)1回転目の画素Bで検出している領域の出力+2回転目の画素Eで検出している領域の出力+3回転目の画素Hで検出している領域の出力→領域80における検出信号
(b)1回転目の画素Bで検出している領域の出力+2回転目の画素Eで検出している領域の出力+3回転目の画素Gで検出している領域の出力→領域81における検出信号
(c)1回転目の画素Bで検出している領域の出力+2回転目の画素Dで検出している領域の出力+3回転目の画素Gで検出している領域の出力→領域82における検出信号
以後、送りピッチを画素サイズの整数倍からずらして走査し、検出領域の共有部分が存在する画素同士の信号を統合処理することをサブピクセル加算と表記する。
Claims (4)
- 被検査対象物の所定の領域に照明光を照射する照明光学系と、
前記照明光学系の照明光による該被検査対象物の所定の領域からの散乱光を複数画素で検出可能な検出器を備えた検出光学系と、
前記検出光学系の検出器により検出した散乱光に基づく検出信号について、該被検査対象物の表面に対して垂直な方向の変動に起因する画素ずれを補正する補正部と、前記補正部により補正された検出信号に基づいて該被検査対象物の表面の欠陥を判定する欠陥判定部と、を備えた信号処理部と、を有する欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置であって、
前記検出光学系の検出器は、該被検査対象物の表面からの散乱光を該被検査対象物の表面に対して異なる方位角方向にて各々検出できるように複数個備えられており、
前記信号処理部の補正部では、複数個の検出器にて各々検出された散乱光に基づく複数の検出信号について該画素ずれを補正し、
前記信号処理部の欠陥判定部では、前記補正部にて補正された複数の検出信号を加算して該被検査対象物の表面の欠陥を判定することを特徴とする欠陥検査装置。 - 被検査対象物の所定の領域に照明光学系により照明光を照射する工程と、
前記照明する工程により照明され該被検査対象物の所定の領域から散乱した散乱光を、複数画素で検出可能な検出器を備えた検出光学系により検出する工程と、
前記検出する工程により検出した散乱光に基づく検出信号について、該被検査対象物の表面に対して垂直な方向の変動に起因する画素ずれを補正する工程と、
前記補正する工程により補正された検出信号に基づいて、該被検査対象物の表面の欠陥を判定する工程と、を有する欠陥検査方法。 - 請求項3記載の欠陥検査方法であって、
前記検出する工程では、該被検査対象物の表面からの散乱光を該被検査対象物の表面に対して異なる方位角方向にて各々検出可能な複数個の検出器により検出し、
前記補正する工程では、前記複数個の検出器にて各々検出された散乱光に基づく複数の検出信号について該画素ずれを補正し、
前記欠陥を判定する工程では、前記補正する工程により補正された複数の検出信号を加算して該被検査対象物の表面の欠陥を判定することを特徴とする欠陥検査方法。
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