JP2014052344A - 回転センサ及び角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】物体の回転軸の位置を既知なものとして取り扱っているので、物体の回転軸の位置が仮に不明である場合、その位置を特定することができなかった。
【解決手段】回転センサ1は、1つの加速度検出軸2aを有する4つの加速度検出素子2と、4つの加速度検出素子2の検出結果(加速度A1等)と、複数の加速度検出素子2間の距離(距離D12等)と、に基づく連立方程式(上記式(4)〜(10))を解くことで、回転軸Mの位置を演算する演算部3(演算手段)と、を備える。演算部3は、連立方程式を解くことで、角速度ωを、演算する。
【選択図】図2
【解決手段】回転センサ1は、1つの加速度検出軸2aを有する4つの加速度検出素子2と、4つの加速度検出素子2の検出結果(加速度A1等)と、複数の加速度検出素子2間の距離(距離D12等)と、に基づく連立方程式(上記式(4)〜(10))を解くことで、回転軸Mの位置を演算する演算部3(演算手段)と、を備える。演算部3は、連立方程式を解くことで、角速度ωを、演算する。
【選択図】図2
Description
本発明は、回転センサ及び角速度センサに関する。
この種の技術として、特許文献1は、加速度を検出する方向が同一方向である2つの加速度センサを備え、2つの加速度センサの出力の和または差の信号と、2つの加速度センサ間の距離と、から角速度を検出するようにした角速度センサを開示している。
しかしながら、上記特許文献1の構成では、物体の回転軸の位置を既知なものとして取り扱っているので、物体の回転軸の位置が仮に不明である場合、その位置を特定することができなかった。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
第1の観点によれば、回転センサは、少なくとも1つ以上の加速度検出軸を有する、少なくとも3つ以上である複数の加速度検出素子と、前記複数の加速度検出素子の検出結果と、前記複数の加速度検出素子間の距離と、に基づく連立方程式を解くことで、回転軸の位置を演算する演算手段と、を備える。
第2の観点によれば、角速度センサは、内部に流体を封止可能な第1流体封止室及び第2流体封止室が形成された外枠体と、前記第1流体封止室内に配置された第1発熱体、温度測定用の第1測温体、温度測定用の第2測温体と、前記第2流体封止室内に配置された第2発熱体、温度測定用の第3測温体、温度測定用の第4測温体と、前記第1測温体の測定結果と前記第4測温体の測定結果の総和を演算する第1総和演算手段と、前記第2測温体の測定結果と前記第3測温体の測定結果の総和を演算する第2総和演算手段と、前記第1総和演算手段の演算結果と、前記第2総和演算手段の演算結果と、の差分を演算する差分演算手段と、を備え、前記第1測温体と前記第2測温体は、前記第1発熱体を挟んで対称に配置されており、前記第3測温体と前記第4測温体は、前記第2発熱体を挟んで対称に配置されており、前記第1流体封止室の前記第1発熱体と、前記第2流体封止室の前記第2発熱体と、は揃えられており、前記第1流体封止室の前記第1発熱体から見た前記第1測温体の方向と、前記第2流体封止室の前記第2発熱体から見た前記第3測温体の方向と、は同じ方向である。
回転軸の位置を取得することができる。
(第1実施形態)
以下、図1〜図3を参照して、第1実施形態を説明する。
以下、図1〜図3を参照して、第1実施形態を説明する。
第1実施形態において、回転センサ1は、4つの加速度検出素子2と、演算部3(演算手段)と、によって構成されている。回転センサ1は、更に、4つの加速度検出素子2と演算部3を保持する保持体4を有している。
4つの加速度検出素子2は、保持体4の平面4aに配置されている。各加速度検出素子2は、1つの加速度検出軸2aを有している。各加速度検出素子2は、加速度検出軸2aが平面4aに対して平行となるように配置されている。4つの加速度検出素子2のうち、2つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aは、図1において紙面左右方向となっている。4つの加速度検出素子2のうち、残りの2つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aは、図1において紙面上下方向となっている。従って、4つの加速度検出素子2のうち、2つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aと、残りの2つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aと、は直交する関係にある。以上の構成によれば、保持体4の平面4aに対して平行な方向に作用するあらゆる加速度を検出することができる。ここで、4つの加速度検出素子2のうち、1つの加速度検出素子2と他の3つの加速度検出素子2が直交する関係にあってもよい。
演算部3は、上記4つの加速度検出素子2の検出結果を活用して、回転センサ1の保持体4の回転軸Mの位置を演算する。以下、演算部3による演算について詳しく説明する。
図2には、3つの加速度検出素子2を示している。3つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aは、同一直線上にあるものとする。3つの加速度検出素子2を、紙面上から下に向かって、説明の便宜上、加速度検出素子2A、加速度検出素子2B、加速度検出素子2C、と称する。
回転軸Mから加速度検出素子2Aまでの距離を距離r1とする。回転軸Mから加速度検出素子2Bまでの距離を距離r2とする。回転軸Mから加速度検出素子2Cまでの距離を距離r3とする。回転軸Mと加速度検出素子2Aを結んだ線分と加速度検出軸2aとの成す角度を角度θ1とする。回転軸Mと加速度検出素子2Bを結んだ線分と加速度検出軸2aとの成す角度を角度θ2とする。回転軸Mと加速度検出素子2Cを結んだ線分と加速度検出軸2aとの成す角度を角度θ3とする。加速度検出素子2Aの検出結果を加速度A1とする。加速度検出素子2Bの検出結果を加速度A2とする。加速度検出素子2Cの検出結果を加速度A3とする。加速度検出素子2Aが受ける向心力を向心力a1とする。加速度検出素子2Bが受ける向心力を向心力a2とする。加速度検出素子2Cが受ける向心力を向心力a3とする。加速度検出素子2Aと加速度検出素子2Bとの間の距離を距離D12とする。加速度検出素子2Bと加速度検出素子2Cとの間の距離を距離D23とする。回転センサ1は、回転軸M回りに角速度ωで回転しているものとする。図2を参照すると、下記式(1)〜(10)が得られる。
上記式(4)〜(10)において、加速度A1、加速度A2、加速度A3は測定結果であるから既知である。距離D12、距離D23は回転センサ1の設計値であるから既知である。従って、上記式(4)〜(10)の連立方程式を解けば、未知数である距離r1、距離r2、距離r3、角度θ1、角度θ2、角度θ3、角速度ωを求めることができる。そして、距離r1、距離r2、距離r3、角度θ1、角度θ2、角度θ3によれば、回転軸Mの位置を演算することができる。
このように、演算部3は、3つの加速度検出素子2の検出結果(加速度A1、加速度A2、加速度A3)と、3つの加速度検出素子2間の距離(距離D12、距離D23)と、に基づく連立方程式(4)〜(10)を解くことで、回転軸Mの位置を演算する。
図2では、3つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aが同一直線上であるとしたが、3つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aは必ずしも同一直線上になければならないわけではない。図3には、加速度検出素子2Bの加速度検出軸2aが、加速度検出素子2Aの加速度検出軸2aや、加速度検出素子2Cの加速度検出軸2aと同一直線上になく、且つ、加速度検出素子2Bの加速度検出軸2aが、加速度検出素子2Aの加速度検出軸2aや、加速度検出素子2Cの加速度検出軸2aに対して傾斜している場合を例示している。以下、図3の構成における、演算部3の演算について詳細に説明する。
図3において、加速度検出素子2Bの加速度検出軸2aが、加速度検出素子2Aの加速度検出軸2aや加速度検出素子2Cの加速度検出軸2aに対して傾斜する角度を角度δとする。また、加速度検出素子2Aの加速度検出軸2aと加速度検出素子2Cの加速度検出軸2aの共通する延長線上から加速度検出素子2Bまでの距離を距離H2とする。また、回転軸Mから加速度検出素子2Bまでの距離を距離r2'とする。回転軸Mと加速度検出素子2Bを結んだ線分と加速度検出素子2Bの加速度検出軸2aとがなす角度を角度θ2'とする。図3を参照すると、下記式(11)及び(12)が得られる。
また、上記式(5)に代えて、下記式(13)が得られる。
従って、上記式(11)〜(13)を上記式(1)〜(10)に適宜代入し、上記式(4)〜(10)の連立方程式を解けば、未知数である距離r1、距離r2'、距離r3、角度θ1、角度θ2'、角度θ3、角速度ωを求めることができる。そして、距離r1、距離r2'、距離r3、角度θ1、角度θ2'、角度θ3によれば、回転軸Mの位置を演算することができる。
以上に、第1実施形態を説明したが、上記第1実施形態は、以下の特長を有している。
(1)図1に示すように、回転センサ1は、1つの加速度検出軸2aを有する4つの加速度検出素子2と、4つの加速度検出素子2の検出結果(加速度A1等)と、複数の加速度検出素子2間の距離(距離D12等)と、に基づく連立方程式(上記式(4)〜(10))を解くことで、回転軸Mの位置を演算する演算部3(演算手段)と、を備える。以上の構成によれば、回転軸Mの位置を取得することができる。例えば、家庭用ゲーム機や携帯型ゲーム機のコントローラは、回転軸Mが常に同じであるとは限らない。従って、上記の回転センサ1は、家庭用ゲーム機や携帯型ゲーム機のコントローラの回転軸Mの位置を取得するのに適している。
なお、本実施形態では、図1に示すように、回転センサ1が4つの加速度検出素子2を備えているとしたが、これに代えて、回転センサ1は、3つでもいいし、5つ以上でもよい。回転センサ1が3つの加速度検出素子2しか備えていない場合であっても、図2を参照して説明したように、問題なく、回転軸Mの位置を取得することが可能となる。
また、本実施形態において、各加速度検出素子2は、1つの加速度検出軸2aしか備えていない。しかし、これに代えて、加速度検出素子2は、2つ以上の加速度検出軸2aを有していてもよい。
なお、複数の加速度検出素子2は、互いに離れて配置される。
(2)また、演算部3は、連立方程式(上記式(4)〜(10))を解くことで、角速度ωを演算する。以上の構成によれば、回転センサ1の角速度ωを取得することができるようになる。なお、回転センサ1の角速度ωのみを取得したいのであれば、回転センサ1は、少なくとも2つの加速度検出素子2を備えていればよい。
(3)また、回転センサ1は、前述したように、4つ以上の加速度検出素子2を備えている。以上の構成によれば、冗長な構成とすることにより、回転センサ1の検出結果に対する信頼性が向上する。
(4)また、図1に示すように、4つ以上の加速度検出素子2のうち、2つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aと、残りの2つの加速度検出素子2の加速度検出軸2aと、は直交する関係にある。以上の構成によれば、保持体4の平面4aに対して平行なあらゆる加速度を、冗長性ある構成で検出することができるようになる。また、保持体4の平面4aに対して直交する回転軸M回りの角速度ω、回転軸Mの位置も問題なく取得できる。
(第2実施形態)
次に、図4〜図7を参照しつつ、第2実施形態を説明する。
次に、図4〜図7を参照しつつ、第2実施形態を説明する。
図4〜図7に示すように、角速度センサ10は、外枠体11と、第1発熱体12と、温度測定用の第1測温体13と、温度測定用の第2測温体14と、第2発熱体15と、温度測定用の第3測温体16と、温度測定用の第4測温体17と、第1総和演算回路18と、第2総和演算回路19と、演算増幅器20(差分演算手段)と、を備えて構成されている。
図5に示すように、外枠体11は、Si基板30(半導体基板)と第1絶縁層31、第2絶縁層32、第3絶縁層33をこの順に積層して構成されている。第2絶縁層32は、積層方向で見て孔を2つ有して形成されている。これにより、外枠体11の内部には、ガスG(流体)を封止可能な第1流体チャンバー34(第1流体封止室)と第2流体チャンバー35(第2流体封止室)が形成されいる。本実施形態において、第1流体チャンバー34及び第2流体チャンバー35は、略直方体状に形成されている。第1流体チャンバー34を区画する複数の内壁面のうちSi基板30に最も近い内壁面である第1回路搭載面36には、第1発熱体12と第1測温体13、第2測温体14が配置されている。同様に、第2流体チャンバー35を区画する複数の内壁面のうちSi基板30に最も近い内壁面である第2回路搭載面37には、第2発熱体15と第3測温体16、第4測温体17が配置されている。本実施形態において、ガスGは、窒素又はアルゴンなどの不活性ガスである。このような不活性ガスを選択することで、第1発熱体12と第1測温体13、第2測温体14の腐食を防ぐことができる。同様に、第2発熱体15と第3測温体16、第4測温体17の腐食を防ぐことができる。
ここで、「搭載面直交方向」及び「チャンバー長手方向」、「チャンバー短手方向」を定義する。「搭載面直交方向」は、第1回路搭載面36や第2回路搭載面37に対して直交する方向である。搭載面直交方向のうち、第3絶縁層33から第1絶縁層31を見る方向を搭載面近接方向とし、第1絶縁層31から第3絶縁層33を見る方向を搭載面離間方向とする。「チャンバー長手方向」は、略直方体状の第1流体チャンバー34や第2流体チャンバー35の長手方向である。「チャンバー短手方向」は、略直方体状の第1流体チャンバー34や第2流体チャンバー35の短手方向である。搭載面直交方向とチャンバー長手方向、チャンバー短手方向は相互に直交する関係にある。
図6に示すように、第1流体チャンバー34及び第2流体チャンバー35は、チャンバー短手方向に一列に揃えて形成されている。第2絶縁層32は、第1流体チャンバー34をチャンバー長手方向で区画する小内壁面32a及び小内壁面32bを有している。小内壁面32aと小内壁面32bは、互いに平行な面である。同様に、第2絶縁層32は、第2流体チャンバー35をチャンバー長手方向で区画する小内壁面32c及び小内壁面32dを有している。小内壁面32cと小内壁面32dは、互いに平行な面である。
図5に示すように、第1発熱体12及び第1測温体13、第2測温体14は、チャンバー短手方向に沿って細長い形状をしている。そして、第1発熱体12及び第1測温体13、第2測温体14は、何れも、第1回路搭載面36に対して平行となるように、第1回路搭載面36上に形成されている。図5及び図6に示すように、第1測温体13及び第1発熱体12、第2測温体14は、小内壁面32aから小内壁面32bに向かってこの順に配置されている。第1測温体13及び第1発熱体12、第2測温体14は、チャンバー長手方向に沿って一列に並べて配置されている。第1測温体13及び第2測温体14は、第1発熱体12を挟んで対称に配置されている。即ち、第1測温体13から第1発熱体12までの距離と、第2測温体14から第1発熱体12までの距離と、は等しい。
同様に、第2発熱体15及び第3測温体16、第4測温体17は、チャンバー短手方向に沿って細長い形状をしている。そして、第2発熱体15及び第3測温体16、第4測温体17は、何れも、第2回路搭載面37に対して平行となるように、第2回路搭載面37上に形成されている。第3測温体16及び第2発熱体15、第4測温体17は、小内壁面32cから小内壁面32dに向かってこの順に配置されている。第3測温体16及び第2発熱体15、第4測温体17は、チャンバー長手方向に沿って一列に並べて配置されている。第3測温体16及び第4測温体17は、第2発熱体15を挟んで対称に配置されている。即ち、第3測温体16から第2発熱体15までの距離と、第4測温体17から第2発熱体15までの距離と、は等しい。
そして、図6に示すように、第1発熱体12と第2発熱体15は、チャンバー短手方向で同一直線上に配置されている。換言すれば、第1発熱体12と第2発熱体15は、揃えられている。同様に、第2測温体14と第4測温体17は、チャンバー短手方向で同一直線上に配置されている。同様に、第1測温体13と第3測温体16は、チャンバー短手方向で同一直線上に配置されている。
図7に示すように、第1総和演算回路18は、第1測温体13の測定結果と第4測温体17の測定結果の総和を演算する回路である。第1総和演算回路18は、第1測温体13と第4測温体17を直列に接続することで実現されている。第2総和演算回路19は、第2測温体14の測定結果と第3測温体16の測定結果の総和を演算する回路である。第2総和演算回路19は、第2測温体14と第3測温体16を直列に接続することで実現されている。第1測温体13及び第4測温体17には、定電流電源Iにより定電流が流れている。同様に、第2測温体14及び第3測温体16には、定電流電源Iにより定電流が流れている。
演算増幅器20は、第1総和演算回路18の演算結果と、第2総和演算回路19の演算結果と、の差分を演算する。具体的には、第1総和演算回路18の高電位側の電圧と、第2総和演算回路19の高電位側の電圧と、が演算増幅器20に入力され、両者の差分が演算増幅器20の出力電圧として出力される。
以上の構成で、図6の角速度センサ10が紙面右方向に加速すると、ガスGの移動により、第2測温体14と第4測温体17の測定結果である測定温度が上昇し、一方で、第1測温体13と第3測温体16の測定結果である測定温度が下降する。しかし、図7に示すように、第1測温体13、第2測温体14、第3測温体16、第4測温体17は互い違いに接続しているので、第1総和演算回路18の演算結果と第2総和演算回路19の演算結果は等しくなる。即ち、角速度センサ10は、回転センサ1のチャンバー長手方向への加速を無視することができる。なお、回転センサ1のチャンバー短手方向への加速については、図6から明らかに、無視するような構成となっている。
これに対し、角速度センサ10が例えば時計回りに回転すると、ガスGの移動により、第2測温体14と第3測温体16の測定結果である測定温度が上昇し、一方で、第1測温体13と第4測温体17の測定結果である測定温度が下降する。図7に示すように、第2測温体14と第3測温体16が直列的に接続され、第1測温体13と第4測温体17が直列的に接続されている。従って、角速度センサ10の角速度に応じて、第1総和演算回路18の演算結果と第2総和演算回路19の演算結果に差分が生じることになり、演算増幅器20の演算結果をモニタリングすれば、角速度センサ10の角速度を取得することができるようになる。
以上に、第2実施形態を説明したが、第2実施形態は、以下の特長を有している。
(5)角速度センサ10は、内部に流体を封止可能な第1流体チャンバー34(第1流体封止室)及び第2流体チャンバー35(第2流体封止室)が形成された外枠体11と、第1流体チャンバー34内に配置された第1発熱体12、温度測定用の第1測温体13、温度測定用の第2測温体14と、第2流体チャンバー35内に配置された第2発熱体15、温度測定用の第3測温体16、温度測定用の第4測温体17と、第1測温体13の測定結果と第4測温体17の測定結果の総和を演算する第1総和演算回路18(第1総和演算手段)と、第2測温体14の測定結果と第3測温体16の測定結果の総和を演算する第2総和演算回路19(第2総和演算手段)と、第1総和演算回路18の演算結果と、第2総和演算回路19の演算結果と、の差分を演算する演算増幅器20(差分演算手段)と、を備えている。第1測温体13と第2測温体14は、第1発熱体12を挟んで対称に配置されている。第3測温体16と第4測温体17は、第2発熱体15を挟んで対称に配置されている。第1流体チャンバー34の第1発熱体12と、第2流体チャンバー35の第2発熱体15と、は揃えられている。第1流体チャンバー34の第1発熱体12から見た第1測温体13の方向と、第2流体チャンバー35の第2発熱体15から見た第3測温体16の方向と、は同じ方向である。以上の構成によれば、角速度センサ10の角速度を検出することができる。また、角速度センサ10に作用する角速度以外の加速度を相殺して排除することができる。
上記第1実施形態においてガスGは、窒素又はアルゴンなどの不活性ガスとした。しかし、これに代えて、ガスGは、空気やヘリウムであってもよい。ヘリウムは、窒素よりも熱伝導率が高いので加速度検出素子1の感度の面では優れている。一方、ヘリウムは、分子が小さいので第1流体チャンバー34及び第2流体チャンバー35からリークしやすいという短所も持ち合わせている。
(第3実施形態)
次に、図8を参照しつつ、第3実施形態を説明する。ここでは、本実施形態が上記第2実施形態と異なる点を中心に説明し、重複する説明は適宜省略する。また、上記第2実施形態の各構成要素に対応する構成要素には原則として同一の符号を付すこととする。
次に、図8を参照しつつ、第3実施形態を説明する。ここでは、本実施形態が上記第2実施形態と異なる点を中心に説明し、重複する説明は適宜省略する。また、上記第2実施形態の各構成要素に対応する構成要素には原則として同一の符号を付すこととする。
上記第2実施形態において、第1流体チャンバー34や第2流体チャンバー35の搭載面離間方向側は、第3絶縁層33で閉塞することとした。しかし、これに代えて、本実施形態では、第1流体チャンバー34や第2流体チャンバー35の搭載面離間方向側を、モールド樹脂50により閉塞している。この場合、第1流体チャンバー34や第2流体チャンバー35のチャンバー短手方向の厚みtは、10マイクロメートル以下であることが好ましい。以上の構成によれば、モールド樹脂50は、第1流体チャンバー34の第1回路搭載面36や第2流体チャンバー35の第2回路搭載面37に達することがなく、問題なく第1流体チャンバー34や第2流体チャンバー35が形成されることになる。
以上に、第3実施形態を説明したが、第3実施形態は、以下の特長を有している。
(6)第1流体チャンバー34の、第1発熱体12及び第1測温体13、第2測温体14が配置されている第2回路搭載面37(内壁面)と反対側は、モールド樹脂50により閉塞されている。以上の構成によれば、第3絶縁層33を省略することができ、簡素な構成となる。
(7)また、第1流体チャンバー34のチャンバー短手方向の厚みtは、10マイクロメートル以下である。以上の構成によれば、モールド樹脂50の第1流体チャンバー34内への侵入を効果的に抑えることができ、もって、第1流体チャンバー34が問題なく形成されることになる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は既に述べた実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることはいうまでもない。
1 回転センサ
2 加速度検出素子
2a 加速度検出軸
3 演算部
M 回転軸
ω 角速度
10 角速度センサ
11 外枠体
12 第1発熱体
13 第1測温体
14 第2測温体
15 第2発熱体
16 第3測温体
17 第4測温体
18 第1総和演算回路
19 第2総和演算回路
20 演算増幅器
2 加速度検出素子
2a 加速度検出軸
3 演算部
M 回転軸
ω 角速度
10 角速度センサ
11 外枠体
12 第1発熱体
13 第1測温体
14 第2測温体
15 第2発熱体
16 第3測温体
17 第4測温体
18 第1総和演算回路
19 第2総和演算回路
20 演算増幅器
Claims (7)
- 少なくとも1つ以上の加速度検出軸を有する、少なくとも3つ以上である複数の加速度検出素子と、
前記複数の加速度検出素子の検出結果と、前記複数の加速度検出素子間の距離と、に基づく連立方程式を解くことで、回転軸の位置を演算する演算手段と、
を備えた、回転センサ。 - 請求項1に記載の回転センサであって、
前記演算手段は、角速度を演算する、
回転センサ。 - 請求項1に記載の回転センサであって、
4つ以上の前記加速度検出素子を備える、
回転センサ。 - 請求項3に記載の回転センサであって、
4つ以上の前記加速度検出素子のうち、少なくとも1つの前記加速度検出素子の前記加速度検出軸と、残りの前記加速度検出素子の前記加速度検出軸と、は直交する関係にある、
回転センサ。 - 内部に流体を封止可能な第1流体封止室及び第2流体封止室が形成された外枠体と、
前記第1流体封止室内に配置された第1発熱体、温度測定用の第1測温体、温度測定用の第2測温体と、
前記第2流体封止室内に配置された第2発熱体、温度測定用の第3測温体、温度測定用の第4測温体と、
前記第1測温体の測定結果と前記第4測温体の測定結果の総和を演算する第1総和演算手段と、
前記第2測温体の測定結果と前記第3測温体の測定結果の総和を演算する第2総和演算手段と、
前記第1総和演算手段の演算結果と、前記第2総和演算手段の演算結果と、の差分を演算する差分演算手段と、
を備え、
前記第1測温体と前記第2測温体は、前記第1発熱体を挟んで対称に配置されており、
前記第3測温体と前記第4測温体は、前記第2発熱体を挟んで対称に配置されており、
前記第1流体封止室の前記第1発熱体と、前記第2流体封止室の前記第2発熱体と、は揃えられており、
前記第1流体封止室の前記第1発熱体から見た前記第1測温体の方向と、前記第2流体封止室の前記第2発熱体から見た前記第3測温体の方向と、は同じ方向である、
角速度センサ。 - 請求項5に記載の角速度センサであって、
前記第1流体封止室の、前記第1発熱体及び前記第1測温体、前記第2測温体が配置されている内壁面と反対側は、モールド樹脂により閉塞されている、
角速度センサ。 - 請求項6に記載の角速度センサであって、
前記第1流体封止室の厚みは、10マイクロメートル以下である、
角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012198567A JP2014052344A (ja) | 2012-09-10 | 2012-09-10 | 回転センサ及び角速度センサ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012198567A JP2014052344A (ja) | 2012-09-10 | 2012-09-10 | 回転センサ及び角速度センサ |
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ID=50610929
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JP (1) | JP2014052344A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107110952A (zh) * | 2015-01-29 | 2017-08-29 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 位置检测系统 |
-
2012
- 2012-09-10 JP JP2012198567A patent/JP2014052344A/ja active Pending
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CN107110952A (zh) * | 2015-01-29 | 2017-08-29 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 位置检测系统 |
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