JP2014052245A - Substance generation source specifying system and substance generation source specifying method - Google Patents

Substance generation source specifying system and substance generation source specifying method Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substance generation source specifying system capable of specifying a generation source of substances.SOLUTION: A substance generation source specifying system includes: first and second substance detection devices 1 and 2 for detecting substances included in gas; a wind velocity sensor 3 for detecting the wind velocity of the gas; a timber 301 for measuring first time since the first substance detection device 1 detects the substances till the second substance detection device 2 detects the substances; a distance calculating portion 302 for calculating a first distance by multiplying the wind velocity of the gas detected by the wind velocity sensor 3 by the first time measured by the timer 301; and a generation source specifying portion 303 for specifying that the generation source of the substances is at an intersecting point between a first circle around a position of the first substance detection device 1 and having a first radius, and a second circle around a position of the second substance detection device 2 and having a second radius obtained by adding the first distance to the first radius.

Description

本発明は環境評価技術に関し、特に物質発生源特定システム及び物質発生源特定方法に関する。   The present invention relates to an environmental evaluation technique, and more particularly to a substance generation source identification system and a substance generation source identification method.

バイオクリーンルーム等のクリーンルームにおいては、粒子検出装置を用いて、飛散している微生物等の粒子が検出され、記録される（例えば、特許文献１及び非特許文献１参照。）。粒子の検出結果から、クリーンルームの空調機器の劣化具合を把握可能である。また、クリーンルームで製造された製品に、参考資料として、クリーンルーム内の粒子の検出記録が添付されることもある。光学式の粒子検出装置は、例えば、クリーンルーム中の気体を吸引し、吸引した気体に光を照射する。気体に粒子が含まれていると、粒子によって光が散乱されるため、気体に含まれる粒子の数や大きさ等を検出することが可能となる。   In a clean room such as a bio clean room, particles such as scattered microorganisms are detected and recorded using a particle detector (see, for example, Patent Document 1 and Non-Patent Document 1). From the particle detection result, it is possible to grasp the deterioration of the air conditioner in the clean room. In addition, a detection record of particles in the clean room may be attached to a product manufactured in the clean room as a reference material. The optical particle detection device, for example, sucks a gas in a clean room and irradiates the sucked gas with light. If the gas contains particles, light is scattered by the particles, so that the number and size of the particles contained in the gas can be detected.

特開２０１１−８３２１４号公報JP 2011-83214 A

長谷川倫男他，「気中微生物リアルタイム検出技術とその応用」，株式会社山武，azbil Technical Review 2009年12月号，p.2-7，2009年Hasegawa, M. et al., “Real-time microorganism detection technology in the air and its application”, Yamatake Corporation, azbil Technical Review December 2009, p.2-7, 2009

クリーンルーム内において粒子が検出された場合、粒子の発生源を特定することが望まれる。また、クリーンルームに限らず、あらゆるところにおいて、何らかの物質が検出された場合にも、物質の発生源を特定することが望まれる。そこで、本発明は、物質の発生源を特定可能な物質発生源特定システム及び物質発生源特定方法を提供することを目的の一つとする。   When particles are detected in a clean room, it is desirable to identify the source of the particles. Moreover, it is desirable to specify the source of a substance when any substance is detected not only in a clean room, but in any place. Accordingly, an object of the present invention is to provide a substance generation source identification system and a substance generation source identification method that can identify a substance generation source.

本発明の態様によれば、（ａ）気体に含まれる物質を検出する第１及び第２の物質検出装置と、（ｂ）気体の風速を検出する風速センサと、（ｃ）第１の物質検出装置が物質を検出してから第２の物質検出装置が物質を検出するまでの第１の時間を計測するタイマと、（ｄ）風速センサで検出された気体の風速にタイマで計測された第１の時間を乗じて第１の距離を算出する距離算出部と、（ｅ）第１の物質検出装置の位置を中心とする第１の半径を有する第１の円と、第２の物質検出装置の位置を中心とし、第１の半径に第１の距離を足した第２の半径を有する第２の円と、の交点に物質の発生源があると特定する発生源特定部と、を備える、物質発生源特定システムが提供される。   According to an aspect of the present invention, (a) first and second substance detection devices that detect a substance contained in a gas, (b) a wind speed sensor that detects a wind speed of the gas, and (c) a first substance A timer that measures a first time from when the detection device detects a substance until the second substance detection device detects the substance; and (d) a timer that measures the gas wind speed detected by the wind speed sensor. A distance calculation unit that calculates the first distance by multiplying the first time; (e) a first circle having a first radius centered on the position of the first substance detection device; and a second substance A source identifying unit that identifies a source of a substance at the intersection of a second circle having a second radius with a first distance added to the first radius, the center being the position of the detection device; A material source identification system is provided.

また、本発明の態様によれば、（ａ）第１及び第２の物質検出装置で気体に含まれる物質を検出することと、（ｂ）気体の風速を検出することと、（ｃ）第１の物質検出装置が物質を検出してから第２の物質検出装置が物質を検出するまでの第１の時間を計測することと、（ｄ）検出された気体の風速に計測された第１の時間を乗じて第１の距離を算出することと、（ｅ）第１の物質検出装置の位置を中心とする第１の半径を有する第１の円と、第２の物質検出装置の位置を中心とし、第１の半径に第１の距離を足した第２の半径を有する第２の円と、の交点に物質の発生源があると特定することと、を含む、物質発生源の特定方法が提供される。   According to the aspect of the present invention, (a) the first and second substance detection devices detect the substance contained in the gas, (b) the gas wind speed is detected, and (c) the first Measuring the first time from when the first substance detection device detects the substance until the second substance detection device detects the substance; and (d) the first time measured based on the detected wind velocity of the gas. And (e) a first circle having a first radius centered on the position of the first substance detection device, and the position of the second substance detection device. And a second circle having a second radius with a first radius plus a first distance and identifying that the source of the substance is at the intersection of A specific method is provided.

本発明によれば、物質の発生源を特定可能な物質発生源特定システム及び物質発生源特定方法を提供可能である。   According to the present invention, it is possible to provide a substance generation source identification system and a substance generation source identification method that can identify a substance generation source.

本発明の第１の実施の形態に係る物質発生源特定システムの模式図である。It is a schematic diagram of the substance generation source identification system which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係る物質発生源特定システムの第１及び第２の物質検出装置が配置されるクリーンルームの模式図である。It is a schematic diagram of the clean room where the 1st and 2nd substance detection apparatus of the substance generation source specific system which concerns on the 1st Embodiment of this invention is arrange | positioned. 本発明の第１の実施の形態に係る第１の物質検出装置としての光学式粒子検出装置の模式図である。1 is a schematic diagram of an optical particle detection device as a first substance detection device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態に係る光源素子の断面図である。It is sectional drawing of the light source element which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るマップの模式図である。It is a schematic diagram of the map which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るマップ上に描かれた第１及び第２の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 1st and 2nd circle drawn on the map which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るマップ上に描かれた第１及び第２の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 1st and 2nd circle drawn on the map which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るマップ上に描かれた第１及び第２の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 1st and 2nd circle drawn on the map which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るマップ上に描かれた第３及び第４の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 3rd and 4th circle drawn on the map which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るマップ上に描かれた第３及び第４の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 3rd and 4th circle drawn on the map which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態に係るマップ上に描かれた第３及び第４の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 3rd and 4th circle drawn on the map which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態に係る物質発生源特定システムの第１及び第２の物質検出装置が配置される二つのクリーンルームの模式図である。It is a schematic diagram of two clean rooms in which the 1st and 2nd substance detection apparatus of the substance generation source specific system which concerns on the 2nd Embodiment of this invention is arrange | positioned. 本発明の第３の実施の形態に係る物質発生源特定システムの模式図である。It is a schematic diagram of the substance generation source specific system which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係るマップの模式図である。It is a schematic diagram of the map which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係るマップ上に描かれた第１及び第２の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 1st and 2nd circle drawn on the map which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係るマップ上に描かれた第１及び第２の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 1st and 2nd circle drawn on the map which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係るマップ上に描かれた第３及び第４の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 3rd and 4th circle drawn on the map which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３の実施の形態に係るマップ上に描かれた第３及び第４の円の模式図である。It is a schematic diagram of the 3rd and 4th circle drawn on the map which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.

以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。   Embodiments of the present invention will be described below. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.

（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る物質発生源特定システムは、図１に示すように、気体に含まれる物質を検出する第１及び第２の物質検出装置１、２と、気体の風速ｖを検出する風速センサ３と、中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００と、を備える。ＣＰＵ３００は、第１及び第２の物質検出装置１、２、並びに風速センサ３と電気的に接続されている。ＣＰＵ３００は、第１の物質検出装置１が物質を検出してから第２の物質検出装置２が物質を検出するまでの第１の時間を計測するタイマ３０１と、風速センサ３で検出された気体の風速ｖにタイマ３０１で計測された第１の時間ｔ1を乗じて第１の距離ｄ1を算出する距離算出部３０２と、第１の物質検出装置１の位置を中心とする第１の半径ｒ1を有する第１の円６１と、第２の物質検出装置２の位置を中心とし、第１の半径ｒ1に第１の距離ｄ1を足した第２の半径ｒ2を有する第２の円６２と、の交点６５に物質の発生源があると特定する発生源特定部３０３と、を含む。 (First embodiment)
As shown in FIG. 1, the substance generation source specifying system according to the first embodiment detects the first and second substance detection devices 1 and 2 that detect a substance contained in a gas and the wind velocity v of the gas. A wind speed sensor 3 and a central processing unit (CPU) 300 are provided. The CPU 300 is electrically connected to the first and second substance detection devices 1 and 2 and the wind speed sensor 3. The CPU 300 includes a timer 301 that measures a first time from when the first substance detection device 1 detects a substance until the second substance detection device 2 detects the substance, and a gas detected by the wind speed sensor 3. A distance calculation unit 302 that calculates a first distance d 1 by multiplying the wind speed v of the first time t 1 measured by the timer 301, and a first centered on the position of the first substance detection device 1. A first circle 61 having a radius r 1 and a second radius r 2 centered on the position of the second substance detection device 2 and having a second radius r 2 obtained by adding a first distance d 1 to the first radius r 1 . A generation source specifying unit 303 that specifies that there is a generation source of the substance at the intersection 65 of the two circles 62.

図２に示すように、第１の物質検出装置１、第２の物質検出装置２、及び風速センサ３は、例えばクリーンルーム７０内に配置される。クリーンルーム７０には、ダクト７１及び噴き出し口７２を介して、清浄な空気が送り込まれる。クリーンルーム７０内の空気は清浄で粒子が飛散していないことが望まれる。しかし、粒子等の物質が飛散した場合は、第１の物質検出装置１及び第２の物質検出装置２によって検出される。ここで、粒子とは、微生物等を含む生体物質、化学物質、ごみ、ちり、及び埃等のダスト等を含む。微生物の例としては細菌が含まれる。細菌の例としては、グラム陰性菌、グラム陽性菌、及びカビ胞子を含む真菌が挙げられる。グラム陰性菌の例としては、大腸菌が挙げられる。グラム陽性菌の例としては、表皮ブドウ球菌、枯草菌芽胞、マイクロコッカス、及びコリネバクテリウムが挙げられる。カビ胞子を含む真菌の例としては、アスペルギルスが挙げられる。   As shown in FIG. 2, the first substance detection device 1, the second substance detection device 2, and the wind speed sensor 3 are arranged in a clean room 70, for example. Clean air is fed into the clean room 70 via the duct 71 and the ejection port 72. It is desirable that the air in the clean room 70 is clean and particles are not scattered. However, when a substance such as particles is scattered, it is detected by the first substance detection device 1 and the second substance detection device 2. Here, the particles include biological substances including microorganisms, chemical substances, dust, dust, and dust such as dust. Examples of microorganisms include bacteria. Examples of bacteria include gram negative bacteria, gram positive bacteria, and fungi including mold spores. Examples of gram-negative bacteria include E. coli. Examples of gram positive bacteria include Staphylococcus epidermidis, Bacillus subtilis spores, Micrococcus, and Corynebacterium. Examples of fungi containing mold spores include Aspergillus.

クリーンルーム７０内には、生産ライン８１、８２が配置されている。生産ライン８１、８２は、例えば精密機器、電子部品、又は半導体装置の生産ラインである。あるいは生産ライン８１、８２は、食品、飲料、又は医薬品の生産ラインである。生産ライン８１、８２は、通常、粒子等の物質をクリーンルーム７０内に飛散させないよう管理されている。しかし、生産ライン８１、８２は、何らかの事情で、クリーンルーム７０内に飛散する物質の発生源になる。   Production lines 81 and 82 are arranged in the clean room 70. The production lines 81 and 82 are, for example, production lines for precision equipment, electronic components, or semiconductor devices. Alternatively, the production lines 81 and 82 are food, beverage, or pharmaceutical production lines. The production lines 81 and 82 are normally managed so that substances such as particles are not scattered in the clean room 70. However, the production lines 81 and 82 become a source of substances scattered in the clean room 70 for some reason.

第１の物質検出装置１は、例えば光学式粒子検出装置であり、図３に示すように、光を発する光源素子５１と、光源素子５１が装着される台座５２と、光源素子５１から放射された光を平行光にする照射側平行光レンズ１１と、平行光を集光する照射側集光レンズ１２と、照射側集光レンズ１２で集光された光にクリーンルーム７０内から吸い込んだ空気の気流を横切らせる噴射機構５３と、を備える。噴射機構５３は、例えば気流の流速を変化させるためのエアバルブを備えていてもよい。   The first substance detection device 1 is, for example, an optical particle detection device. As shown in FIG. 3, the first substance detection device 1 emits light from a light source element 51 that emits light, a pedestal 52 on which the light source element 51 is mounted, and the light source element 51. Irradiation side parallel light lens 11 for converting the parallel light into parallel light, irradiation side condensing lens 12 for condensing the parallel light, and light sucked from the clean room 70 into the light condensed by the irradiation side condensing lens 12 And an injection mechanism 53 that crosses the airflow. The injection mechanism 53 may include an air valve for changing the flow velocity of the airflow, for example.

台座５２に装着された光源素子５１は、例えば図４に示すように、基板１０１と、基板１０１の表面に沿って設けられたアノード電極１０２と、カソード電極１０３と、基板１０１上に配置された発光ダイオード（ＬＥＤ）チップ１０４と、を備える。アノード電極１０２と、ＬＥＤチップ１０４と、は、ワイヤボンディング１０５で電気的に接続される。また、カソード電極１０３と、ＬＥＤチップ１０４と、は、ワイヤボンディング１０６で電気的に接続される。基板１０１上には、ＬＥＤチップ１０４を取り囲むように、リフレクタ１０７が配置される。また、ＬＥＤチップ１０４は、透明樹脂１０８で封止される。   The light source element 51 mounted on the pedestal 52 is disposed on the substrate 101, the anode electrode 102 provided along the surface of the substrate 101, the cathode electrode 103, and the substrate 101, for example, as shown in FIG. A light emitting diode (LED) chip 104. The anode electrode 102 and the LED chip 104 are electrically connected by wire bonding 105. The cathode electrode 103 and the LED chip 104 are electrically connected by wire bonding 106. A reflector 107 is disposed on the substrate 101 so as to surround the LED chip 104. The LED chip 104 is sealed with a transparent resin 108.

光源素子５１が発する光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。光が可視光である場合、光の波長は、例えば４００乃至４１０ｎｍの範囲内であり、例えば４０５ｎｍである。光が紫外光である場合、光の波長は、例えば３１０乃至３８０ｎｍの範囲内であり、例えば３５５ｎｍである。ただし、光源素子５１が発する光の波長は、検出対象の粒子の種類によって決定され、これらの数値に限定されない。図３に示す光源素子５１を保持する台座５２は、第１の物質検出装置１の筐体３１に固定されている。   The light emitted from the light source element 51 may be visible light or ultraviolet light. When the light is visible light, the wavelength of the light is, for example, in the range of 400 to 410 nm, for example, 405 nm. When the light is ultraviolet light, the wavelength of the light is in the range of 310 to 380 nm, for example, 355 nm. However, the wavelength of light emitted from the light source element 51 is determined by the type of particles to be detected, and is not limited to these numerical values. A pedestal 52 that holds the light source element 51 shown in FIG. 3 is fixed to the casing 31 of the first substance detection device 1.

噴射機構５３は、ファン等によって筐体３１の外部から気体を吸引し、ノズル等を介して、吸引した気体を照射側集光レンズ１２の焦点に向けて噴射する。照射側集光レンズ１２で集光された光の進行方向に対して、噴射機構５３から噴射される気流の進行方向は、例えば、略垂直に設定される。ここで、気流に粒子が含まれていると、粒子に当たった光がミー散乱により散乱し、散乱光が生じる。また、粒子が微生物である場合、光を照射された微生物に含まれるトリプトファン、ニコチンアミドアデニンジヌクレオチド、及びリボフラビン等が、蛍光を発する。   The ejection mechanism 53 sucks gas from the outside of the housing 31 with a fan or the like, and jets the sucked gas toward the focal point of the irradiation side condenser lens 12 through a nozzle or the like. For example, the traveling direction of the airflow ejected from the ejection mechanism 53 is set substantially perpendicular to the traveling direction of the light collected by the irradiation side condenser lens 12. Here, when particles are included in the airflow, light hitting the particles is scattered by Mie scattering, and scattered light is generated. When the particles are microorganisms, tryptophan, nicotinamide adenine dinucleotide, riboflavin and the like contained in the microorganisms irradiated with light emit fluorescence.

第１の物質検出装置１は、噴射機構５３が噴射した気流を横切った光を平行光にする検出側平行光レンズ１３と、検出側平行光レンズ１３で平行光にされた光を集光する検出側集光レンズ１４と、をさらに備える。気流に含まれる粒子によって散乱光が生じた場合、散乱光も、検出側平行光レンズによって平行光にされ、その後、検出側集光レンズ１４で集光される。   The first substance detection device 1 condenses the light that has been converted into parallel light by the detection-side parallel light lens 13 and the detection-side parallel light lens 13 that converts the light that has crossed the airflow ejected by the ejection mechanism 53 into parallel light. And a detection-side condensing lens 14. When scattered light is generated by particles contained in the airflow, the scattered light is also converted into parallel light by the detection-side parallel light lens, and then collected by the detection-side condensing lens 14.

検出側集光レンズ１４の焦点には、粒子によって散乱した光を検出する散乱光検出部１６が配置されている。散乱光検出部１６としては、フォトダイオード及び光電子増倍管等が使用可能である。散乱光検出部１６が散乱光を検出した回数から、粒子の数を計測することが可能である。また、粒子による散乱光の強度は、粒子の粒径と相関する。したがって、散乱光検出部１６で散乱光の強度を検出することにより、第１の物質検出装置１が配置された環境を飛散する粒子の粒径を求めることが可能である。   A scattered light detector 16 that detects light scattered by the particles is disposed at the focus of the detection-side condensing lens 14. As the scattered light detection unit 16, a photodiode, a photomultiplier tube, or the like can be used. The number of particles can be measured from the number of times the scattered light detection unit 16 detects the scattered light. Further, the intensity of the scattered light by the particles correlates with the particle size of the particles. Therefore, by detecting the intensity of the scattered light with the scattered light detection unit 16, it is possible to obtain the particle size of the particles scattered in the environment where the first substance detection device 1 is arranged.

第１の物質検出装置１の筐体３１内部には、例えば噴射機構５３から噴射される気流と平行に、凹面ミラーである集光ミラー１５がさらに配置されている。集光ミラー１５は、気流に含まれる微生物が発した蛍光を集光する。集光ミラー１５の焦点には、蛍光を検出する蛍光検出部１７が配置されている。散乱光検出部１６が散乱光を検出し、かつ蛍光検出部１７が蛍光を検出しなかった場合、気流に含まれる粒子が非生物粒子であることが分かる。散乱光検出部１６が散乱光を検出し、かつ蛍光検出部１７が蛍光を検出した場合、気流に含まれる粒子が微生物等の生物粒子であることが分かる。また、蛍光検出部１７が蛍光を検出した回数から、微生物の数を計測することが可能である。例えば、散乱光検出部１６及び蛍光検出部１７には、検出した光強度及び蛍光強度をリアルタイムに統計処理するコンピュータが接続される。   In the housing 31 of the first substance detection device 1, for example, a condensing mirror 15 that is a concave mirror is further arranged in parallel with the airflow ejected from the ejection mechanism 53. The condensing mirror 15 condenses the fluorescence emitted by the microorganisms contained in the airflow. A fluorescence detection unit 17 that detects fluorescence is disposed at the focal point of the collector mirror 15. When the scattered light detection unit 16 detects the scattered light and the fluorescence detection unit 17 does not detect the fluorescence, it can be seen that the particles included in the airflow are non-living particles. When the scattered light detection unit 16 detects scattered light and the fluorescence detection unit 17 detects fluorescence, it can be seen that the particles contained in the airflow are biological particles such as microorganisms. In addition, the number of microorganisms can be measured from the number of times that the fluorescence detection unit 17 detects fluorescence. For example, a computer that statistically processes the detected light intensity and fluorescence intensity in real time is connected to the scattered light detection unit 16 and the fluorescence detection unit 17.

図１及び図２に示す第２の物質検出装置２も、第１の物質検出装置１と同様の構成を備える。第１の物質検出装置１及び第２の物質検出装置２は、恒常的にクリーンルーム７０内の空気を検査してもよいし、一定間隔毎にクリーンルーム７０内の空気を検査してもよい。一定間隔毎にクリーンルーム７０内の空気を検査する場合、第１の物質検出装置１及び第２の物質検出装置２は、クリーンルーム７０内の空気を検査するタイミングを同期させる。   The second substance detection device 2 shown in FIGS. 1 and 2 also has the same configuration as the first substance detection device 1. The first substance detection device 1 and the second substance detection device 2 may constantly inspect the air in the clean room 70, or may inspect the air in the clean room 70 at regular intervals. When inspecting the air in the clean room 70 at regular intervals, the first substance detection device 1 and the second substance detection device 2 synchronize the timing of inspecting the air in the clean room 70.

図２に示す風速センサ３は、クリーンルーム７０内の空気の風速ｖを検出する。   The wind speed sensor 3 shown in FIG. 2 detects the wind speed v of the air in the clean room 70.

図１に示す第１の物質検出装置１は粒子等の物質を検出すると、タイマ３０１に物質を検出したことを示す第１の検出信号を送信する。ここで、物質を検出するとは、物質の検出数又は検出濃度が所定の値以上になることをいう。あるいは物質を検出するとは、単位時間あたりの物質の検出数又は検出濃度が所定の値以上になることをいう。またあるいは、物質を検出するとは、物質の検出数又は検出濃度の上昇率が所定の値以上になることをいう。また、例えば検出回路のノイズや、クリーンルーム７０内の人の移動による偶発的な物質の検出数の変動の影響を抑制するために、移動平均を用いてもよい。第１の物質検出装置１から第１の検出信号を受信したタイマ３０１は、時間の計測を開始する。   When the first substance detection device 1 shown in FIG. 1 detects a substance such as a particle, the first substance detection apparatus 1 transmits a first detection signal indicating that the substance has been detected to the timer 301. Here, “detecting a substance” means that the number of detected substances or the detected concentration becomes a predetermined value or more. Alternatively, “detecting a substance” means that the number of substances detected per unit time or the detected concentration becomes a predetermined value or more. Alternatively, “detecting a substance” means that the number of substances detected or the rate of increase in the detected concentration becomes a predetermined value or more. Further, for example, a moving average may be used in order to suppress the influence of noise in the detection circuit or an accidental change in the number of detected substances due to movement of a person in the clean room 70. The timer 301 that has received the first detection signal from the first substance detection device 1 starts measuring time.

その後、第２の物質検出装置２が粒子等の物質を検出すると、タイマ３０１に物質を検出したことを示す第２の検出信号を送信する。第２の物質検出装置２から第２の検出信号を受信したタイマ３０１は、時間の計測を終了し、第１の物質検出装置１が物質を検出してから第２の物質検出装置２が物質を検出するまでの第１の時間ｔ1を得る。タイマ３０１は、第１の時間ｔ1を、ＣＰＵ３００に接続されている時間記憶装置３５１に保存する。なお、第１の物質検出装置１が物質を検出したと判断する基準と、第２の物質検出装置２が物質を検出したと判断する基準とは、必ずしも同じでなくてもよい。 After that, when the second substance detection device 2 detects a substance such as a particle, the second detection signal indicating that the substance has been detected is transmitted to the timer 301. The timer 301 that has received the second detection signal from the second substance detection device 2 ends the time measurement, and after the first substance detection device 1 detects the substance, the second substance detection device 2 detects the substance. A first time t 1 until detecting is obtained. The timer 301 stores the first time t 1 in the time storage device 351 connected to the CPU 300. Note that the reference for determining that the first substance detection device 1 has detected a substance and the reference for determining that the second substance detection apparatus 2 has detected a substance are not necessarily the same.

距離算出部３０２は、風速センサ３から、風速センサ３が検出した風速ｖのデータを受信する。また、距離算出部３０２は、時間記憶装置３５１から第１の時間ｔ1を読み出す。さらに距離算出部３０２は、風速ｖに第１の時間ｔ1を乗じて第１の距離ｄ1を算出する。距離算出部３０２は、第１の距離ｄ1を、ＣＰＵ３００に接続されている距離記憶装置３５２に保存する。 The distance calculation unit 302 receives data on the wind speed v detected by the wind speed sensor 3 from the wind speed sensor 3. Further, the distance calculation unit 302 reads the first time t 1 from the time storage device 351. Furthermore, the distance calculation unit 302 calculates the first distance d 1 by multiplying the wind speed v by the first time t 1 . The distance calculation unit 302 stores the first distance d 1 in the distance storage device 352 connected to the CPU 300.

ＣＰＵ３００には、マップ記憶装置３５３がさらに接続されている。マップ記憶装置３５３は、図５に示すような、第１及び第２の物質検出装置１、２の位置と物質の発生源の複数の候補位置のマップを保存する。例えば、図２に示すクリーンルーム７０においては、生産ライン８１、８２の位置が、物質の発生源の複数の候補位置となる。   A map storage device 353 is further connected to the CPU 300. The map storage device 353 stores a map of the positions of the first and second substance detection apparatuses 1 and 2 and a plurality of candidate positions of the substance generation source as shown in FIG. For example, in the clean room 70 shown in FIG. 2, the positions of the production lines 81 and 82 are a plurality of candidate positions of the substance generation source.

図１に示す発生源特定部３０３は、距離記憶装置３５２から第１の距離ｄ1を読み出す。また、発生源特定部３０３は、マップ記憶装置３５３から図５に示すマップを読み出し、図６に示すように、マップ上で、第１の物質検出装置１の位置を中心とする第１の半径ｒ1を有する第１の円６１を作成する。さらに、発生源特定部３０３は、第２の物質検出装置２の位置を中心とし、第１の半径ｒ1に第１の距離ｄ1を足した第２の半径ｒ2を有する第２の円６２を作成する。ここで、第１の半径ｒ1は変数である。 The source identifying unit 303 illustrated in FIG. 1 reads the first distance d 1 from the distance storage device 352. Further, the generation source specifying unit 303 reads the map shown in FIG. 5 from the map storage device 353 and, as shown in FIG. 6, the first radius centered on the position of the first substance detection device 1 on the map. Create a first circle 61 with r 1 . Further, the generation source specifying unit 303 has a second circle having a second radius r 2 with the first distance d 1 added to the first radius r 1 with the position of the second substance detection device 2 as the center. 62 is created. Here, the first radius r 1 is a variable.

発生源特定部３０３は、第１の半径ｒ1の値を０から徐々に大きくしていく。これにより、第２の円６２の第２の半径ｒ2が第１の円６１の第１の半径ｒ1より第１の距離ｄ1だけ長いという関係を保ちながら、第１の円６１と第２の円６２の両方が大きくなる。そして、図７に示すように、第１の円６１と第２の円６２は交点６５Ａ、６５Ｂで交わるようになる。 The generation source specifying unit 303 gradually increases the value of the first radius r 1 from 0. Accordingly, the first circle 61 and the second circle 62 are kept in a relationship that the second radius r 2 of the second circle 62 is longer than the first radius r 1 of the first circle 61 by the first distance d 1 . Both two circles 62 become larger. Then, as shown in FIG. 7, the first circle 61 and the second circle 62 intersect at intersections 65A and 65B.

クリーンルーム７０において風速センサ３が検出した風速ｖで物質が発生源から等方的に拡散し、第２の物質検出装置２が第１の物質検出装置１より第１の時間ｔ1だけ遅く物質を検出した場合、第２の物質検出装置２から物質の発生源までの距離は、第１の物質検出装置１から物質の発生源までの距離より、風速ｖに第１の時間ｔ1を乗じて得られる第１の距離ｄ1だけ長い。したがって、第１の円６１と第２の円６２との交点６５Ａ、６５Ｂの少なくとも一つに、物質の発生源がある可能性が高い。 The substance isotropically diffuses from the source at the wind speed v detected by the wind speed sensor 3 in the clean room 70, and the second substance detection device 2 delays the substance by the first time t 1 from the first substance detection device 1. When detected, the distance from the second substance detection device 2 to the substance generation source is obtained by multiplying the wind speed v by the first time t 1 from the distance from the first substance detection apparatus 1 to the substance generation source. The resulting first distance d 1 is longer. Therefore, there is a high possibility that at least one of the intersection points 65A and 65B between the first circle 61 and the second circle 62 is a substance generation source.

発生源特定部３０３は、第１の半径ｒ1の値を変化させてマップ上で第１の円６１と第２の円６２との交点６５Ａ、６５Ｂを移動させ、図８に示すように、複数の候補位置である生産ライン８１、８２のうち、交点６５Ａが最も近接した生産ライン８１を、物質の発生源と特定する。 The generation source specifying unit 303 moves the intersection points 65A and 65B of the first circle 61 and the second circle 62 on the map by changing the value of the first radius r 1 , and as shown in FIG. Among the production lines 81 and 82 that are a plurality of candidate positions, the production line 81 that is closest to the intersection 65A is identified as a substance generation source.

次に、図１に示す第１の物質検出装置１より先に第２の物質検出装置２が物質を検出する場合を説明する。   Next, a case where the second substance detection device 2 detects a substance prior to the first substance detection device 1 shown in FIG. 1 will be described.

第２の物質検出装置２は物質を検出すると、タイマ３０１に物質を検出したことを示す第３の検出信号を送信する。第２の物質検出装置２から第３の検出信号を受信したタイマ３０１は、時間の計測を開始する。その後、第１の物質検出装置１が物質を検出すると、タイマ３０１に物質を検出したことを示す第４の検出信号を送信する。第１の物質検出装置１から第４の検出信号を受信したタイマ３０１は、時間の計測を終了し、第２の物質検出装置２が物質を検出してから第１の物質検出装置１が物質を検出するまでの第２の時間ｔ2を得る。タイマ３０１は、第２の時間ｔ2を、ＣＰＵ３００に接続されている時間記憶装置３５１に保存する。 When the second substance detection device 2 detects the substance, it transmits a third detection signal indicating that the substance has been detected to the timer 301. The timer 301 that has received the third detection signal from the second substance detection device 2 starts measuring time. Thereafter, when the first substance detection device 1 detects a substance, it transmits a fourth detection signal indicating that the substance has been detected to the timer 301. The timer 301 that has received the fourth detection signal from the first substance detection device 1 ends the time measurement, and after the second substance detection device 2 detects the substance, the first substance detection device 1 detects the substance. To obtain a second time t 2 until detection of. The timer 301 stores the second time t 2 in the time storage device 351 connected to the CPU 300.

距離算出部３０２は、風速センサ３から、風速センサ３が検出した風速ｖのデータを受信する。また、距離算出部３０２は、時間記憶装置３５１から第２の時間ｔ2を読み出す。さらに距離算出部３０２は、風速ｖに第２の時間ｔ2を乗じて第２の距離ｄ2を算出する。距離算出部３０２は、第２の距離ｄ2を、ＣＰＵ３００に接続されている距離記憶装置３５２に保存する。 The distance calculation unit 302 receives data on the wind speed v detected by the wind speed sensor 3 from the wind speed sensor 3. The distance calculation unit 302 reads the second time t 2 from the time storage device 351. Further, the distance calculation unit 302 calculates the second distance d 2 by multiplying the wind speed v by the second time t 2 . The distance calculation unit 302 stores the second distance d 2 in the distance storage device 352 connected to the CPU 300.

発生源特定部３０３は、距離記憶装置３５２から第２の距離ｄ2を読み出す。また、発生源特定部３０３は、マップ記憶装置３５３から図５に示すマップを読み出し、図９に示すように、マップ上で、第２の物質検出装置２の位置を中心とする第３の半径ｒ3を有する第３の円６３を作成する。さらに、発生源特定部３０３は、第１の物質検出装置１の位置を中心とし、第３の半径ｒ3に第２の距離ｄ2を足した第４の半径ｒ4を有する第４の円６４を作成する。ここで、第３の半径ｒ3は変数である。 The generation source specifying unit 303 reads the second distance d 2 from the distance storage device 352. Further, the generation source specifying unit 303 reads the map shown in FIG. 5 from the map storage device 353 and, as shown in FIG. 9, the third radius centered on the position of the second substance detection device 2 on the map. Create a third circle 63 with r 3 . Further, the generation source specifying unit 303 has a fourth circle having a fourth radius r 4 with the second distance d 2 added to the third radius r 3 with the position of the first substance detection device 1 as the center. 64 is created. Here, the third radius r 3 is a variable.

発生源特定部３０３は、第３の半径ｒ3の値を０から徐々に大きくしていく。これにより、第４の円６４の第４の半径ｒ4が第３の円６３の第３の半径ｒ3より第２の距離ｄ2だけ長いという関係を保ちながら、第３の円６３と第４の円６４の両方が大きくなる。そして、図１０に示すように、第３の円６３と第４の円６４は交点６６Ａ、６６Ｂで交わるようになる。 The generation source specifying unit 303 gradually increases the value of the third radius r 3 from 0. As a result, the fourth circle 64 and the third circle 63 are connected to the third circle 63 while maintaining the relationship that the fourth radius r 4 of the fourth circle 64 is longer than the third radius r 3 of the third circle 63 by the second distance d 2 . Both 4 circles 64 become larger. As shown in FIG. 10, the third circle 63 and the fourth circle 64 intersect at intersections 66A and 66B.

クリーンルーム７０において風速センサ３が検出した風速ｖで物質が発生源から等方的に拡散し、第１の物質検出装置１が第２の物質検出装置２より第２の時間ｔ2だけ遅く物質を検出した場合、第１の物質検出装置１から物質の発生源までの距離は、第２の物質検出装置２から物質の発生源までの距離より、風速ｖに第２の時間ｔ2を乗じて得られる第２の距離ｄ2だけ長い。したがって、第３の円６３と第４の円６４との交点６６Ａ、６６Ｂの少なくとも一つに、物質の発生源がある可能性が高い。 Wind v a substance is diffused isotropically from sources that wind speed sensor 3 detects the clean room 70, a first substance detection apparatus 1 is the second substance detection apparatus 2 than the second time t 2 only slow substance When detected, the distance from the first substance detection device 1 to the substance generation source is obtained by multiplying the wind speed v by the second time t 2 from the distance from the second substance detection apparatus 2 to the substance generation source. The resulting second distance d 2 is longer. Accordingly, there is a high possibility that a substance source is present at at least one of the intersections 66A and 66B between the third circle 63 and the fourth circle 64.

発生源特定部３０３は、第３の半径ｒ3の値を変化させてマップ上で第３の円６３と第４の円６４との交点６６Ａ、６６Ｂを移動させ、図１１に示すように、複数の候補位置である生産ライン８１、８２のうち、交点６６Ｂが最も近接した生産ライン８２を、物質の発生源と特定する。 The generation source specifying unit 303 moves the intersections 66A and 66B of the third circle 63 and the fourth circle 64 on the map by changing the value of the third radius r 3 , and as shown in FIG. Among the production lines 81 and 82 that are a plurality of candidate positions, the production line 82 that is closest to the intersection 66B is identified as a substance generation source.

以上説明したように、第１の実施の形態に係る物質発生源特定システムによれば、例えばクリーンルーム７０内において好ましくない物質が発生した場合に、物質の発生源の複数の候補位置である生産ライン８１、８２の位置のうちのどれが物質の発生源であるのかを、迅速に特定することが可能となる。そのため、物質が発生した場合に、早急に対応することが可能となり、生産ライン８１、８２の回復を早めることが可能となる。なお、物質の発生源の複数の候補位置として二つの生産ライン８１、８２を説明したが、物質の発生源の複数の候補位置は三以上の複数であってもよい。   As described above, according to the substance generation source specifying system according to the first embodiment, for example, when an undesirable substance is generated in the clean room 70, the production line is a plurality of candidate positions of the substance generation source. It becomes possible to quickly identify which of the positions 81 and 82 is the source of the substance. Therefore, when a substance is generated, it is possible to cope with it immediately, and the recovery of the production lines 81 and 82 can be accelerated. Although the two production lines 81 and 82 have been described as the plurality of candidate positions of the substance generation source, the plurality of candidate positions of the substance generation source may be three or more.

（第２の実施の形態）
第２の実施の形態においては、図１２に示すように、第１の物質検出装置１及び生産ライン８１は第１のクリーンルーム７３に配置され、第２の物質検出装置２及び生産ライン８２は第２のクリーンルーム７４に配置されている。また、風速センサ３は、第１のクリーンルーム７３と第２のクリーンルーム７４を結ぶダクト７５内に配置されている。このような配置によっても、物質の発生源の複数の候補位置である生産ライン８１、８２の位置のうちのどれが物質の発生源であるのかを、迅速に特定することが可能となる。 (Second Embodiment)
In the second embodiment, as shown in FIG. 12, the first substance detection device 1 and the production line 81 are arranged in the first clean room 73, and the second substance detection device 2 and the production line 82 are the first ones. The second clean room 74 is arranged. The wind speed sensor 3 is disposed in a duct 75 that connects the first clean room 73 and the second clean room 74. Even with such an arrangement, it is possible to quickly identify which of the positions of the production lines 81 and 82 that are a plurality of candidate positions of the substance generation source is the substance generation source.

（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る物質発生源特定システムは、図１３に示すように、第１の物質検出装置１に隣接して配置され、第１の物質検出装置１が受ける風の風速ｖ1及び風向きｗ1を検出する第１の風速センサ３３と、第２の物質検出装置２に隣接して配置され、第２の物質検出装置２が受ける風の風速ｖ2及び風向きｗ2を検出する第２の風速センサ３４と、を備える。 (Third embodiment)
As shown in FIG. 13, the substance generation source specifying system according to the third embodiment is arranged adjacent to the first substance detection apparatus 1 and the wind velocity v 1 of the wind received by the first substance detection apparatus 1. And the first wind speed sensor 33 for detecting the wind direction w 1 and the second substance detection device 2 are arranged adjacent to each other to detect the wind speed v 2 and the wind direction w 2 of the wind received by the second substance detection device 2. A second wind speed sensor 34.

図１３に示す第１の物質検出装置１は粒子等の物質を検出すると、タイマ３０１に物質を検出したことを示す第１の検出信号を送信する。第１の物質検出装置１から第１の検出信号を受信したタイマ３０１は、時間の計測を開始する。その後、第２の物質検出装置２が物質を検出すると、タイマ３０１に物質を検出したことを示す第２の検出信号を送信する。第２の物質検出装置２から第２の検出信号を受信したタイマ３０１は、時間の計測を終了し、第１の物質検出装置１が物質を検出してから第２の物質検出装置２が物質を検出するまでの第１の時間ｔ1を得る。タイマ３０１は、第１の時間ｔ1を、ＣＰＵ３００に接続されている時間記憶装置３５１に保存する。 When the first substance detection device 1 shown in FIG. 13 detects a substance such as a particle, the first substance detection apparatus 1 transmits a first detection signal indicating that the substance has been detected to the timer 301. The timer 301 that has received the first detection signal from the first substance detection device 1 starts measuring time. After that, when the second substance detection device 2 detects the substance, the second detection signal indicating that the substance has been detected is transmitted to the timer 301. The timer 301 that has received the second detection signal from the second substance detection device 2 ends the time measurement, and after the first substance detection device 1 detects the substance, the second substance detection device 2 detects the substance. A first time t 1 until detecting is obtained. The timer 301 stores the first time t 1 in the time storage device 351 connected to the CPU 300.

また、第２の物質検出装置２が物質を検出すると、第２の風速センサ３４は、第２の物質検出装置２が受ける風の風速ｖ2のデータを距離算出部３０２に送信する。また、第２の風速センサ３４は、第２の物質検出装置２が受ける風の風向きｗ2のデータを発生源特定部３０３に送信する。距離算出部３０２は、時間記憶装置３５１から第１の時間ｔ1を読み出し、風速ｖ2に第１の時間ｔ1を乗じて第１の距離ｄ1を算出する。距離算出部３０２は、第１の距離ｄ1を、ＣＰＵ３００に接続されている距離記憶装置３５２に保存する。 When the second substance detection device 2 detects the substance, the second wind speed sensor 34 transmits data of the wind speed v 2 of the wind received by the second substance detection device 2 to the distance calculation unit 302. Further, the second wind speed sensor 34 transmits data of the wind direction w 2 of the wind received by the second substance detection device 2 to the generation source specifying unit 303. The distance calculation unit 302 reads the first time t 1 from the time storage device 351, and calculates the first distance d 1 by multiplying the wind speed v 2 by the first time t 1 . The distance calculation unit 302 stores the first distance d 1 in the distance storage device 352 connected to the CPU 300.

発生源特定部３０３は、距離記憶装置３５２から第１の距離ｄ1を読み出す。また、発生源特定部３０３は、マップ記憶装置３５３から図１４に示すマップを読み出し、図１５に示すように、マップ上で、第１の物質検出装置１の位置を中心とする第１の半径ｒ1を有する第１の円６１を作成する。さらに、発生源特定部３０３は、第２の物質検出装置２の位置を中心とし、第１の半径ｒ1に第１の距離ｄ1を足した第２の半径ｒ2を有する第２の円６２を作成する。 The generation source specifying unit 303 reads the first distance d 1 from the distance storage device 352. Further, the generation source specifying unit 303 reads the map shown in FIG. 14 from the map storage device 353 and, as shown in FIG. 15, the first radius centered on the position of the first substance detection device 1 on the map. Create a first circle 61 with r 1 . Further, the generation source specifying unit 303 has a second circle having a second radius r 2 with the first distance d 1 added to the first radius r 1 with the position of the second substance detection device 2 as the center. 62 is created.

発生源特定部３０３は、第１の半径ｒ1の値を変化させてマップ上で第１の円６１と第２の円６２との交点６５Ａ、６５Ｂを移動させる。ここで、図１６に示すように、複数の候補位置である生産ライン８１、８２の位置の両方に、交点６５Ａ、６５Ｂが同様に近接する場合がある。この場合、発生源特定部３０３は、第２の風速センサ３４から受信した風向きｗ2のデータに基づき、生産ライン８１、８２のうち、風が吹いてきた方向にある一つを、物質の発生源と特定する。 The generation source specifying unit 303 moves the intersections 65A and 65B of the first circle 61 and the second circle 62 on the map by changing the value of the first radius r 1 . Here, as shown in FIG. 16, the intersections 65A and 65B may be similarly close to both of the positions of the production lines 81 and 82, which are a plurality of candidate positions. In this case, the generation source specifying unit 303 selects one of the production lines 81 and 82 in the direction in which the wind is blowing, based on the data of the wind direction w 2 received from the second wind speed sensor 34. Identify the source.

次に、図１３に示す第１の物質検出装置１より先に第２の物質検出装置２が物質を検出する場合を説明する。   Next, a case where the second substance detection device 2 detects a substance prior to the first substance detection device 1 shown in FIG. 13 will be described.

図１３に示す第２の物質検出装置２は粒子等の物質を検出すると、タイマ３０１に物質を検出したことを示す第３の検出信号を送信する。第２の物質検出装置２から第３の検出信号を受信したタイマ３０１は、時間の計測を開始する。その後、第１の物質検出装置１が物質を検出すると、タイマ３０１に物質を検出したことを示す第４の検出信号を送信する。第１の物質検出装置１から第４の検出信号を受信したタイマ３０１は、時間の計測を終了し、第２の物質検出装置２が物質を検出してから第１の物質検出装置１が物質を検出するまでの第２の時間ｔ2を得る。タイマ３０１は、第２の時間ｔ2を、ＣＰＵ３００に接続されている時間記憶装置３５１に保存する。 When the second substance detection device 2 shown in FIG. 13 detects a substance such as a particle, the second substance detection apparatus 2 transmits a third detection signal indicating that the substance has been detected to the timer 301. The timer 301 that has received the third detection signal from the second substance detection device 2 starts measuring time. Thereafter, when the first substance detection device 1 detects a substance, it transmits a fourth detection signal indicating that the substance has been detected to the timer 301. The timer 301 that has received the fourth detection signal from the first substance detection device 1 ends the time measurement, and after the second substance detection device 2 detects the substance, the first substance detection device 1 detects the substance. To obtain a second time t 2 until detection of. The timer 301 stores the second time t 2 in the time storage device 351 connected to the CPU 300.

また、第１の物質検出装置１が物質を検出すると、第１の風速センサ３３は、第１の物質検出装置１が受ける風の風速ｖ1のデータを距離算出部３０２に送信する。また、第１の風速センサ３３は、第１の物質検出装置１が受ける風の風向きｗ1のデータを発生源特定部３０３に送信する。距離算出部３０２は、時間記憶装置３５１から第２の時間ｔ2を読み出し、風速ｖ1に第２の時間ｔ2を乗じて第２の距離ｄ2を算出する。距離算出部３０２は、第２の距離ｄ2を、ＣＰＵ３００に接続されている距離記憶装置３５２に保存する。 When the first substance detection device 1 detects a substance, the first wind speed sensor 33 transmits data on the wind speed v 1 of the wind received by the first substance detection device 1 to the distance calculation unit 302. Further, the first wind speed sensor 33 transmits data of the wind direction w 1 of the wind received by the first substance detection device 1 to the generation source specifying unit 303. Distance calculating unit 302 reads from the time storage unit 351 the second time t 2, to calculate a second distance d 2 by multiplying a second time to wind velocity v 1 t 2. The distance calculation unit 302 stores the second distance d 2 in the distance storage device 352 connected to the CPU 300.

発生源特定部３０３は、距離記憶装置３５２から第２の距離ｄ2を読み出す。また、発生源特定部３０３は、マップ記憶装置３５３から図１４に示すマップを読み出し、図１７に示すように、マップ上で、第２の物質検出装置２の位置を中心とする第３の半径ｒ3を有する第３の円６３を作成する。さらに、発生源特定部３０３は、第１の物質検出装置１の位置を中心とし、第３の半径ｒ3に第２の距離ｄ2を足した第４の半径ｒ4を有する第４の円６４を作成する。 The generation source specifying unit 303 reads the second distance d 2 from the distance storage device 352. Further, the generation source specifying unit 303 reads the map shown in FIG. 14 from the map storage device 353 and, as shown in FIG. 17, the third radius centered on the position of the second substance detection device 2 on the map. Create a third circle 63 with r 3 . Further, the generation source specifying unit 303 has a fourth circle having a fourth radius r 4 with the second distance d 2 added to the third radius r 3 with the position of the first substance detection device 1 as the center. 64 is created.

発生源特定部３０３は、第３の半径ｒ3の値を変化させてマップ上で第３の円６３と第４の円６４との交点６６Ａ、６６Ｂを移動させる。ここで、図１８に示すように、複数の候補位置である生産ライン８３、８４の両方に、交点６６Ａ、６６Ｂが同様に近接する場合がある。この場合、発生源特定部３０３は、第１の風速センサ３３から受信した風向きｗ1のデータに基づき、生産ライン８３、８４の位置のうち、風が吹いてきた方向にある一つを、物質の発生源と特定する。 The generation source specifying unit 303 moves the intersections 66A and 66B of the third circle 63 and the fourth circle 64 on the map by changing the value of the third radius r 3 . Here, as shown in FIG. 18, the intersections 66A and 66B may approach the production lines 83 and 84, which are a plurality of candidate positions, in the same manner. In this case, the generation source specifying unit 303 selects one of the positions of the production lines 83 and 84 in the direction in which the wind is blowing based on the data of the wind direction w 1 received from the first wind speed sensor 33. Identified as the source of

以上説明したように、風速センサを複数配置し、風向きを検出することによって、より高い精度で物質の発生源を特定することが可能となる。また、物質検出装置の数をさらに増やすことによっても、物質の発生源の特定精度を上げることが可能となる。   As described above, by disposing a plurality of wind speed sensors and detecting the direction of the wind, it is possible to specify the source of the substance with higher accuracy. Further, it is possible to increase the identification accuracy of the substance generation source by further increasing the number of substance detection devices.

（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、実施の形態では、物質の例として粒子を挙げたが、物質の例はこれに限定されない。物質は、有害又は無害な分子、及び放射性物質等であってもよい。この場合、第１及び第２の物質検出装置１、２としては、分子検出装置、及び放射性物質検出装置等が使用される。また、第１及び第２の物質検出装置１、２の配置も、クリーンルーム７０内に限定されない。第１及び第２の物質検出装置１、２は、一般的な屋内に配置されてもよいし、屋外に配置されてもよい。さらに、物質の発生源の複数の候補のそれぞれも、生産ライン８１、８２に限定されない。第１及び第２の物質検出装置１、２が屋内に配置される場合は、物質の発生源の複数の候補のそれぞれは、例えば、人、動物、薬品庫、コンテナ、タンク、及び配管等であってもよい。また、第１及び第２の物質検出装置１、２が屋外に配置される場合は、物質の発生源の複数の候補のそれぞれは、工場、ごみ処理施設、水処理施設、ガス貯蔵施設、及び発電所等であってもよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。 (Other embodiments)
As mentioned above, although this invention was described by embodiment, it should not be understood that the description and drawing which form a part of this indication limit this invention. From this disclosure, various alternative embodiments, embodiments, and operation techniques should be apparent to those skilled in the art. For example, in the embodiment, particles are given as an example of the substance, but the example of the substance is not limited to this. The substance may be a harmful or harmless molecule, a radioactive substance, or the like. In this case, as the first and second substance detection devices 1 and 2, a molecular detection device, a radioactive substance detection device, and the like are used. Further, the arrangement of the first and second substance detection devices 1 and 2 is not limited to the clean room 70. The 1st and 2nd substance detection apparatuses 1 and 2 may be arrange | positioned indoors generally, and may be arrange | positioned outdoors. Further, each of the plurality of candidates for the substance generation source is not limited to the production lines 81 and 82. When the first and second substance detection devices 1 and 2 are arranged indoors, each of a plurality of candidate substance generation sources is, for example, a person, an animal, a medicine warehouse, a container, a tank, and a pipe. There may be. In addition, when the first and second substance detection devices 1 and 2 are disposed outdoors, each of the plurality of candidate substance generation sources includes a factory, a waste treatment facility, a water treatment facility, a gas storage facility, and It may be a power plant or the like. Thus, it should be understood that the present invention includes various embodiments and the like not described herein.

１ 第１の物質検出装置
２ 第２の物質検出装置
３ 風速センサ
１１ 照射側平行光レンズ
１２ 照射側集光レンズ
１３ 検出側平行光レンズ
１４ 検出側集光レンズ
１５ 集光ミラー
１６ 散乱光検出部
１７ 蛍光検出部
３１ 筐体
３３ 第１の風速センサ
３４ 第２の風速センサ
５１ 光源素子
５２ 台座
５３ 噴射機構
６１ 第１の円
６２ 第２の円
６３ 第３の円
６４ 第４の円
６５、６５Ａ、６６Ａ、６６Ｂ 交点
７０、７３、７４ クリーンルーム
７１、７５ ダクト
７２ 噴き出し口
８１、８２、８３、８４ 生産ライン
１０１ 基板
１０２ アノード電極
１０３ カソード電極
１０４ チップ
１０５、１０６ ワイヤボンディング
１０７ リフレクタ
１０８ 透明樹脂
３０１ タイマ
３０２ 距離算出部
３０３ 発生源特定部
３５１ 時間記憶装置
３５２ 距離記憶装置
３５３ マップ記憶装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st substance detection apparatus 2 2nd substance detection apparatus 3 Wind speed sensor 11 Irradiation side parallel light lens 12 Irradiation side condensing lens 13 Detection side parallel light lens 14 Detection side condensing lens 15 Condensing mirror 16 Scattered light detection part 17 Fluorescence detection unit 31 Housing 33 First wind speed sensor 34 Second wind speed sensor 51 Light source element 52 Base 53 Injection mechanism 61 First circle 62 Second circle 63 Third circle 64 Fourth circle 65, 65A , 66A, 66B Intersection 70, 73, 74 Clean room 71, 75 Duct 72 Outlet 81, 82, 83, 84 Production line 101 Substrate 102 Anode electrode 103 Cathode electrode 104 Chip 105, 106 Wire bonding 107 Reflector 108 Transparent resin 301 Timer 302 Distance calculation unit 303 Source identification unit 351 Time storage device 352 Distance storage device 353 -Up storage device

Claims (34)

気体に含まれる物質を検出する第１及び第２の物質検出装置と、
前記気体の風速を検出する風速センサと、
前記第１の物質検出装置が前記物質を検出してから前記第２の物質検出装置が前記物質を検出するまでの第１の時間を計測するタイマと、
前記風速センサで検出された前記気体の風速に前記タイマで計測された第１の時間を乗じて第１の距離を算出する距離算出部と、
前記第１の物質検出装置の位置を中心とする第１の半径を有する第１の円と、前記第２の物質検出装置の位置を中心とし、前記第１の半径に前記第１の距離を足した第２の半径を有する第２の円と、の交点に前記物質の発生源があると特定する発生源特定部と、
を備える、物質発生源特定システム。 First and second substance detection devices for detecting a substance contained in a gas;
A wind speed sensor for detecting the wind speed of the gas;
A timer for measuring a first time from when the first substance detection device detects the substance until the second substance detection device detects the substance;
A distance calculating unit that calculates a first distance by multiplying a wind speed of the gas detected by the wind speed sensor by a first time measured by the timer;
A first circle having a first radius centered on the position of the first substance detection device and a position of the second substance detection device as a center, and the first distance being the first radius. A second circle having the added second radius, and a source identifying unit that identifies that there is a source of the substance at the intersection of the second circle,
A material source identification system comprising: 前記発生源特定部が、前記第１の半径の値を変化させる、請求項１に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source identification system according to claim 1, wherein the generation source identification unit changes a value of the first radius. 前記物質の発生源の複数の候補位置のマップを保存するマップ記憶装置を更に備える、請求項２に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source specifying system according to claim 2, further comprising a map storage device that stores a map of a plurality of candidate positions of the substance generation source. 前記発生源特定部が前記第１の半径の値を変化させて前記マップ上で前記第１の円と前記第２の円との交点を移動させ、前記複数の候補位置のうち、前記交点が最も近接した候補位置を前記物質の発生源と特定する、請求項３に記載の物質発生源特定システム。   The generation source specifying unit changes the value of the first radius to move an intersection of the first circle and the second circle on the map, and the intersection of the plurality of candidate positions is 4. The substance generation source specifying system according to claim 3, wherein a closest candidate position is specified as the substance generation source. 前記風速センサが前記第２の物質検出装置が受ける風の風速を検出する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の物質発生源特定システム。   5. The substance generation source specifying system according to claim 1, wherein the wind speed sensor detects a wind speed of the wind received by the second substance detection device. 前記風速センサが前記第２の物質検出装置が受ける風の風向きを検出し、
前記発生源特定部が、前記交点が最も近接し、前記風の吹いてくる方向にある候補位置を、前記物質の発生源と特定する、請求項４に記載の物質発生源特定システム。 The wind speed sensor detects the wind direction of the wind received by the second substance detection device;
5. The substance generation source identification system according to claim 4, wherein the generation source identification unit identifies a candidate position at which the intersection is closest and in the direction in which the wind blows, as the substance generation source. 前記タイマが、前記第２の物質検出装置が前記物質を検出してから前記第１の物質検出装置が前記物質を検出するまでの第２の時間を計測し、
前記距離算出部が、前記風速センサで検出された前記気体の風速に前記タイマで計測された第２の時間を乗じて第２の距離を算出し、
前記発生源特定部が、前記第２の物質検出装置の位置を中心とする第３の半径を有する第３の円と、前記第１の物質検出装置の位置を中心とし、前記第３の半径に前記第２の距離を足した第４の半径を有する第４の円と、の交点に前記物質の発生源があると特定する、
請求項１に記載の物質発生源特定システム。 The timer measures a second time from when the second substance detection device detects the substance until the first substance detection device detects the substance;
The distance calculation unit calculates a second distance by multiplying the wind speed of the gas detected by the wind speed sensor by a second time measured by the timer,
The generation source specifying unit has a third circle having a third radius centered on the position of the second substance detection device, and the third radius centered on the position of the first substance detection device. A source of the substance is identified at the intersection of a fourth circle having a fourth radius with the second distance added to
The material generation source identification system according to claim 1. 前記発生源特定部が、前記第３の半径の値を変化させる、請求項７に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source identification system according to claim 7, wherein the generation source identification unit changes a value of the third radius. 前記物質の発生源の複数の候補位置のマップを保存するマップ記憶装置を更に備える、請求項８に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source specifying system according to claim 8, further comprising a map storage device that stores a map of a plurality of candidate positions of the substance generation source. 前記発生源特定部が前記第３の半径の値を変化させて前記マップ上で前記第３の円と前記第４の円との交点を移動させ、前記複数の候補位置のうち、前記交点が最も近接した候補位置を前記物質の発生源と特定する、請求項９に記載の物質発生源特定システム。   The generation source specifying unit changes the value of the third radius to move an intersection of the third circle and the fourth circle on the map, and the intersection of the plurality of candidate positions is 10. The substance generation source specifying system according to claim 9, wherein a closest candidate position is specified as the substance generation source. 前記風速センサが前記第１の物質検出装置が受ける風の風速を検出する、請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source specifying system according to any one of claims 7 to 10, wherein the wind speed sensor detects a wind speed of the wind received by the first substance detection device. 前記風速センサが前記第１の物質検出装置が受ける風の風向きを検出し、
前記発生源特定部が、前記交点が最も近接し、前記風の吹いてくる方向にある候補位置を、前記物質の発生源と特定する、請求項１０に記載の物質発生源特定システム。 The wind speed sensor detects the wind direction of the wind received by the first substance detection device;
The substance generation source specifying system according to claim 10, wherein the generation source specifying unit specifies a candidate position that is closest to the intersection and is in the wind blowing direction as the substance generation source. 前記物質が生体物質である、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source specifying system according to any one of claims 1 to 12, wherein the substance is a biological substance. 前記生体物質が微生物である、請求項１３に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source specifying system according to claim 13, wherein the biological substance is a microorganism. 前記物質が粒子である、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source specifying system according to any one of claims 1 to 12, wherein the substance is a particle. 前記物質が分子である、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source specifying system according to any one of claims 1 to 12, wherein the substance is a molecule. 前記物質が放射性物質である、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の物質発生源特定システム。   The substance generation source specifying system according to any one of claims 1 to 12, wherein the substance is a radioactive substance. 第１及び第２の物質検出装置で気体に含まれる物質を検出することと、
前記気体の風速を検出することと、
前記第１の物質検出装置が前記物質を検出してから前記第２の物質検出装置が前記物質を検出するまでの第１の時間を計測することと、
前記検出された気体の風速に前記計測された第１の時間を乗じて第１の距離を算出することと、
前記第１の物質検出装置の位置を中心とする第１の半径を有する第１の円と、前記第２の物質検出装置の位置を中心とし、前記第１の半径に前記第１の距離を足した第２の半径を有する第２の円と、の交点に前記物質の発生源があると特定することと、
を含む、物質発生源の特定方法。 Detecting a substance contained in a gas with the first and second substance detection devices;
Detecting the wind speed of the gas;
Measuring a first time from when the first substance detection device detects the substance until the second substance detection device detects the substance;
Multiplying the detected gas wind speed by the measured first time to calculate a first distance;
A first circle having a first radius centered on the position of the first substance detection device and a position of the second substance detection device as a center, and the first distance being the first radius. Identifying that there is a source of the substance at the intersection of a second circle having the added second radius;
A method for identifying a material source including 前記特定することにおいて、前記第１の半径の値を変化させる、請求項１８に記載の物質発生源の特定方法。   The method for identifying a substance generation source according to claim 18, wherein in the identifying, the value of the first radius is changed. 前記物質の発生源の複数の候補位置のマップを用意することを更に含む、請求項１９に記載の物質発生源の特定方法。   20. The method of identifying a substance generation source according to claim 19, further comprising preparing a map of a plurality of candidate positions of the substance generation source. 前記特定することにおいて、前記第１の半径の値を変化させて前記マップ上で前記第１の円と前記第２の円との交点を移動させ、前記複数の候補位置のうち、前記交点が最も近接した候補位置を前記物質の発生源と特定する、請求項２０に記載の物質発生源の特定方法。   In the specifying, the intersection point between the first circle and the second circle is moved on the map by changing the value of the first radius, and the intersection point among the plurality of candidate positions is 21. The method of identifying a substance generation source according to claim 20, wherein a closest candidate position is identified as the substance generation source. 前記風速を検出することにおいて、前記第２の物質検出装置が受ける風の風速を検出する、請求項１８乃至２１のいずれか１項に記載の物質発生源の特定方法。   The method for identifying a substance generation source according to any one of claims 18 to 21, wherein in detecting the wind speed, a wind speed of the wind received by the second substance detection device is detected. 前記風速を検出することにおいて、前記第２の物質検出装置が受ける風の風向きを検出し、
前記特定することにおいて、前記交点が最も近接し、前記風の吹いてくる方向にある候補位置を、前記物質の発生源と特定する、請求項２１に記載の物質発生源の特定方法。 In detecting the wind speed, detecting the wind direction of the wind received by the second substance detection device,
22. The method of identifying a substance generation source according to claim 21, wherein in the identification, the candidate position that is closest to the intersection and is in the wind blowing direction is identified as the generation source of the substance. 前記第２の物質検出装置が前記物質を検出してから前記第１の物質検出装置が前記物質を検出するまでの第２の時間を計測することと、
前記検出された前記気体の風速に前記第２の時間を乗じて第２の距離を算出することと、
前記第２の物質検出装置の位置を中心とする第３の半径を有する第３の円と、前記第１の物質検出装置の位置を中心とし、前記第３の半径に前記第２の距離を足した第４の半径を有する第４の円と、の交点に前記物質の発生源があると特定することと、
を更に含む、請求項１８に記載の物質発生源の特定方法。 Measuring a second time from when the second substance detection device detects the substance to when the first substance detection device detects the substance;
Multiplying the detected wind speed of the gas by the second time to calculate a second distance;
A third circle having a third radius centered on the position of the second substance detection device, and a position of the first substance detection device as a center, and the second distance at the third radius. Identifying a source of the substance at the intersection of a fourth circle having a fourth radius added; and
The method for identifying a substance generation source according to claim 18, further comprising: 前記特定することにおいて、前記第３の半径の値を変化させる、請求項２４に記載の物質発生源の特定方法。   25. The method of specifying a substance generation source according to claim 24, wherein in the specifying, the value of the third radius is changed. 前記物質の発生源の複数の候補位置のマップを用意することを更に含む、請求項２５に記載の物質発生源の特定方法。   26. The method for identifying a substance generation source according to claim 25, further comprising preparing a map of a plurality of candidate positions of the substance generation source. 前記特定することにおいて、前記第３の半径の値を変化させて前記マップ上で前記第３の円と前記第４の円との交点を移動させ、前記複数の候補位置のうち、前記交点が最も近接した候補位置を前記物質の発生源と特定する、請求項２６に記載の物質発生源の特定方法。   In the specifying, the intersection of the third circle and the fourth circle is moved on the map by changing the value of the third radius, and the intersection of the plurality of candidate positions is 27. The method of identifying a substance generation source according to claim 26, wherein a closest candidate position is identified as the generation source of the substance. 前記風速を検出することにおいて、前記第１の物質検出装置が受ける風の風速を検出する、請求項２４乃至２７のいずれか１項に記載の物質発生源の特定方法。   28. The method for identifying a substance generation source according to claim 24, wherein the wind speed of the wind received by the first substance detection device is detected in detecting the wind speed. 前記風速を検出することにおいて、前記第１の物質検出装置が受ける風の風向きを検出し、
前記特定することにおいて、前記交点が最も近接し、前記風の吹いてくる方向にある候補位置を、前記物質の発生源と特定する、請求項２７に記載の物質発生源の特定方法。 In detecting the wind speed, detecting the wind direction of the wind received by the first substance detection device,
28. The method of identifying a substance generation source according to claim 27, wherein in the identification, the candidate position that is closest to the intersection and is in the wind blowing direction is identified as the generation source of the substance. 前記物質が生体物質である、請求項１８乃至２９のいずれか１項に記載の物質発生源の特定方法。   30. The method of identifying a substance generation source according to claim 18, wherein the substance is a biological substance. 前記生体物質が微生物である、請求項３０に記載の物質発生源の特定方法。   The method for identifying a substance generation source according to claim 30, wherein the biological substance is a microorganism. 前記物質が粒子である、請求項１８乃至２９のいずれか１項に記載の物質発生源の特定方法。   30. The method for identifying a substance generation source according to claim 18, wherein the substance is a particle. 前記物質が分子である、請求項１８乃至２９のいずれか１項に記載の物質発生源の特定方法。   30. The method for identifying a substance generation source according to any one of claims 18 to 29, wherein the substance is a molecule. 前記物質が放射性物質である、請求項１８乃至２９のいずれか１項に記載の物質発生源の特定方法。   30. The method for identifying a substance generation source according to any one of claims 18 to 29, wherein the substance is a radioactive substance.
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